JP2005199571A - Manufacturing process of recording head - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To contribute to a highly reliable recording head manufacturing process by forming an ink channel surely. <P>SOLUTION: In the manufacturing process of recording head where a second member including an ink channel for supplying ink externally into a liquid chamber is bonded to a first member including a nozzle for ejecting ink, a liquid chamber for supplying ink to the nozzle, first and second modules including an element generating energy for ejecting ink and a drive circuit, and a module connection means for electrically connecting the first and second modules, the first and second members abut against each other while inclining previously, first sealing agent is injected to the abutting part and second sealing agent is formed at the abutting part after elapsing a predetermined time. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、記録用液体(インク等)を飛翔的液滴として吐出口(オリフィス)から吐出させて、記録媒体に付着させることによって記録を行うインクジェット記録ヘッド、記録ヘッドを搭載するインクジェット記録装置ならびに該ヘッドの製造方法に関するものである。 The present invention relates to an ink jet recording head that performs recording by ejecting a recording liquid (ink or the like) from a discharge port (orifice) as a flying droplet and depositing it on a recording medium, an ink jet recording apparatus equipped with the recording head, and The present invention relates to a method for manufacturing the head.

インクジェット記録装置に使用される記録ヘッドには、一般に、インクを吐出するための吐出口と、その吐出口に供給されるインクを一時的に貯える液室と、吐出口と液室とを連通する液流路と、その液流路の一部に設けられたインク吐出のためのエネルギを発生するエネルギ発生素子と、液室に外部からインクを供給するための供給口と、装置の形状などにより形状は変わるが、供給口と連通してインクを供給させる、インク通路部材によって構成される。   In general, a recording head used in an inkjet recording apparatus communicates an ejection port for ejecting ink, a liquid chamber for temporarily storing ink supplied to the ejection port, and the ejection port and the liquid chamber. Depending on the shape of the liquid flow path, the energy generating element for generating the energy for discharging ink provided in a part of the liquid flow path, the supply port for supplying ink from the outside to the liquid chamber, etc. Although the shape is changed, the ink passage member is configured to supply ink in communication with the supply port.

以下、従来技術によるインクジェット記録ヘッド(以下記録ヘッドと呼ぶ)の構成を詳細に説明する
図1は記録ヘッドの分解図で、図2は部分的な拡大図である。110は例えばセラミック製のベースプレートである。
Hereinafter, the configuration of an ink jet recording head (hereinafter referred to as a recording head) according to the prior art will be described in detail. FIG. 1 is an exploded view of the recording head, and FIG. 2 is a partially enlarged view. Reference numeral 110 denotes a ceramic base plate, for example.

ベースプレート110はプリント基板120と、インクを吐出させるためのノズル、ノズルヒータ等を含むシリコンチップ150とを位置決め後に固定する。固定された後、プリント基板120とシリコンチップはワイヤボンディング190にて電気的に接続される。   The base plate 110 fixes the printed circuit board 120 and the silicon chip 150 including nozzles, nozzle heaters, and the like for discharging ink after positioning. After being fixed, the printed circuit board 120 and the silicon chip are electrically connected by wire bonding 190.

図3は結合された断面図で、上述のシリコンチップ150は、インク吐出口(ノズル)151、吐出口151に供給されるインクを一時的に貯える液室(A)153、吐出口151と液室(A)153とを連通するインク流路152、及びインク流路152に設けられたノズルヒータ154等を具える。   FIG. 3 is a combined cross-sectional view. The above-described silicon chip 150 includes an ink discharge port (nozzle) 151, a liquid chamber (A) 153 for temporarily storing ink supplied to the discharge port 151, the discharge port 151 and the liquid. An ink flow path 152 communicating with the chamber (A) 153, a nozzle heater 154 provided in the ink flow path 152, and the like are provided.

ノズルヒータ154は記録ヘッドが持つ多数のインク吐出口(ノズル)151毎独立に備えられており、画像データに応じて選択的に加熱される。   The nozzle heater 154 is provided independently for each of a large number of ink discharge ports (nozzles) 151 included in the recording head, and is selectively heated according to image data.

前記ベースプレ−ト110、シリコンチップ150、プリント基板120を一体的に結合したものを以降インク吐出エレメント160と呼ぶ。   Hereinafter, the base plate 110, the silicon chip 150, and the printed circuit board 120 that are integrally connected will be referred to as an ink discharge element 160.

図1に戻り、上記結合されたインク吐出エレメント160に対して適度な位置決め後、インク通路部材210が更に結合される。
インク供給口155(図2,3参照)にインクを供給するインク通路部材210はある程度加熱されても塑性変形しにくい材質を使用する必要があり、本記録ヘッドで使用したものはポリフェニレンサルファイド(PPS)であるが、耐熱温度が高くかつ、記録ヘッドに使用されるインクと高温、高圧力環境内に浸水させて出てくる析出物によって吐出エレメント内のノズルヒータ154になんら悪影響を及ぼさなければ他の材質でも良い。
Returning to FIG. 1, after appropriate positioning with respect to the combined ink discharge element 160, the ink passage member 210 is further combined.
The ink passage member 210 that supplies ink to the ink supply port 155 (see FIGS. 2 and 3) needs to be made of a material that is not easily plastically deformed even if heated to some extent. The material used in this recording head is polyphenylene sulfide (PPS). However, if the heat-resistant temperature is high and the ink used in the recording head and the precipitates that are immersed in the high-temperature, high-pressure environment do not adversely affect the nozzle heater 154 in the discharge element, the other Material may be used.

図4、図5、はヘッドの完成を示す図である。   4 and 5 are diagrams showing the completion of the head.

着脱自在なインクタンク(不図示)から供給されるインクはフィルタ215で濾過され記録ヘッドの液室153内にゴミやチリが侵入するのを防ぐ。フィルタ215は例えば金属の繊維を四方8μmの間隔で織込まれたものである、つまり四方8μmまでのゴミはフィルタ215にてトラップされる。   Ink supplied from a detachable ink tank (not shown) is filtered by a filter 215 to prevent dust and dirt from entering the liquid chamber 153 of the recording head. The filter 215 is made of, for example, metal fibers woven at intervals of 8 μm on all sides, that is, dust up to 8 μm on all sides is trapped by the filter 215.

インク通路部材210にはフィルタ215から、シリコンチップ150に設けられたインク供給口155までのインク通路が設けられている。   The ink passage member 210 is provided with an ink passage from the filter 215 to the ink supply port 155 provided in the silicon chip 150.

図6はヘッドの構成をよく表す断面図である。
シリコンチップ150とインク通路部材210との結合部ではインク流路(220〜155)と外部とを遮断しておく必要があるので、インク吐出エレメント160とインク通路部材210とを結合した後、封止剤を注入する工程がある。該封止工程は2つの工程に分けられ、封止剤注入口240から注入された封止剤301と、注入口241から注入された封止剤302によって前記インク流路は全周にわたり外部から遮断される。
FIG. 6 is a cross-sectional view that well represents the configuration of the head.
Since it is necessary to shut off the ink flow path (220 to 155) and the outside at the joint between the silicon chip 150 and the ink passage member 210, the ink discharge element 160 and the ink passage member 210 are joined and sealed. There is a step of injecting a stopper. The sealing step is divided into two steps, and the ink flow path from the outside by the sealing agent 301 injected from the sealing agent injection port 240 and the sealing agent 302 injected from the injection port 241 from the outside. Blocked.

図7はインク通路部材210を示した図であり、図8はその一部を詳細に説明したものである。封止剤301,302の注入は、図6にて説明した如く該インク通路部材210をインク吐出エレメント160に結合した後に行うが、理解を容易にするため以下にはインク通路部材210単体による封止剤301,302の注入方法及び、流動状態を説明する。   FIG. 7 is a view showing the ink passage member 210, and FIG. 8 is a detailed description of a part thereof. The injection of the sealing agents 301 and 302 is performed after the ink passage member 210 is coupled to the ink discharge element 160 as described with reference to FIG. 6, but in order to facilitate understanding, the sealing agent using the ink passage member 210 alone will be described below. The injection method 301 and 302 and the flow state will be described.

シリコンチップ150(図3参照)に設けられるインク供給口155とを連通させる液室(B)220の周囲には封止剤を封入するための溝211が掘り込まれる。また該溝211には反対面に通じる注入口240が設けられ、図示反対面から該穴(図1,6参照)より注入(図1,6参照)された封止剤はシリコンチップ面156とで形成される管流路を毛細管現象によって進み、215(図8参照)で示される範囲において液室(B)220と外部との封止が行われる(該工程を以後、前封止工程と呼ぶ)。   A groove 211 for encapsulating a sealant is dug around the liquid chamber (B) 220 that communicates with the ink supply port 155 provided in the silicon chip 150 (see FIG. 3). The groove 211 is provided with an injection port 240 leading to the opposite surface, and the sealant injected (see FIGS. 1 and 6) from the opposite surface (see FIGS. 1 and 6) is formed on the silicon chip surface 156. In the range indicated by 215 (see FIG. 8), the liquid chamber (B) 220 is sealed from the outside in the range indicated by 215 (see FIG. 8). Call).

さらに液室(B)220上部には同様に封止剤を注入するための反対面に通じる注入口241が設けられており、少なくとも該注入口241に対し、液室(B)220が下方にくるよう傾きを持った状態で、図の裏面になる該注入口241から封止剤を注入(図1,6参照)する。該注入口241から注入された封止剤302は、自らの自重により、液室(B)220方向に流動するが、後に述べるようにリブ230先端面とシリコンチップ面156とは僅かなクリアランスf(図6参照)が設けられており、図6に示されるように封止剤302は毛管力をもって該クリアランスfに浸透し、g部で毛管力の働きが無くなり自らの表面張力により流動を停止する。   Further, an upper part of the liquid chamber (B) 220 is similarly provided with an inlet 241 leading to the opposite surface for injecting the sealing agent, and at least the inlet 241 has the liquid chamber (B) 220 downward. In a state where it is inclined, a sealing agent is injected from the injection port 241 on the back surface of the figure (see FIGS. 1 and 6). The sealant 302 injected from the injection port 241 flows in the direction of the liquid chamber (B) 220 due to its own weight. However, as described later, a slight clearance f is formed between the tip end surface of the rib 230 and the silicon chip surface 156. (See Fig. 6) As shown in Fig. 6, the sealant 302 penetrates the clearance f with a capillary force, and the capillary force does not work at the portion g and stops flowing due to its own surface tension. To do.

よって図8の216に示す範囲において液室220は外部に対し封止される(この工程を以降、後ろ封止と呼ぶ)。またこの時、同時にワイヤボンディング190部分にも封止剤302が封入されるので、インクに対する電気的な絶縁も為される。   Therefore, the liquid chamber 220 is sealed from the outside in the range indicated by 216 in FIG. 8 (this process is hereinafter referred to as back sealing). At this time, since the sealing agent 302 is also sealed in the wire bonding 190 portion, electrical insulation with respect to the ink is also achieved.

上述した封止剤の注入は、液体を一定量排出することが可能なディスペ−サによって行われ、例えば、注入口240では図6に示されるように反対面では穴径を大きくし、ディスペ−サの先端部が容易に入るよう配慮されている。   The above-described sealing agent injection is performed by a disperser capable of discharging a certain amount of liquid. For example, the injection port 240 has a hole diameter increased on the opposite surface as shown in FIG. Care is taken so that the tip of the hook can easily enter.

図9はインク通路部材210の断面図を表したものであり、前封止時の封止剤通路211を形成するためのリブ231,232と、後ろ封止時の封止剤302をせき止めるためのリブ230を有する。これらのリブは、インク吐出エレメント160との結合時に少なくともリブ231,232が確実にシリコンチップ面156に当接するよう、リブ230がリブ231,232に対しhだけ低くなるよう設計される。   FIG. 9 shows a cross-sectional view of the ink passage member 210. The ribs 231 and 232 for forming the sealing agent passage 211 at the time of the front sealing and the ribs for blocking the sealing agent 302 at the time of the rear sealing are shown. 230. These ribs are designed such that the rib 230 is lower than the ribs 231 and 232 by h to ensure that at least the ribs 231 and 232 abut against the silicon chip surface 156 when coupled to the ink ejection element 160.

詳細には、インク通路部材210はビス112(図5参照)をボス先端面212(図7,9参照)とセラミックプレ−ト面111面(図3,6参照)が当接するまで締め付けることによってインク吐出エレメント160に固定される。   Specifically, the ink passage member 210 tightens the screw 112 (see FIG. 5) until the boss tip surface 212 (see FIGS. 7 and 9) and the ceramic plate surface 111 (see FIGS. 3 and 6) contact each other. It is fixed to the ink discharge element 160.

該過程ではリブ231,232がまずシリコンチップ面156に当接し、この時点では前記、ボス先端面212とベースプレ−ト面111間にはまだクリアランスが残され、その後該クリアランスが0になるまでビスを締め付けることでリブ231,232をシリコンチップ面156に押圧する。   In this process, the ribs 231 and 232 first come into contact with the silicon chip surface 156, and at this point, the clearance is still left between the boss tip surface 212 and the base plate surface 111, and then the screws are tightened until the clearance becomes zero. As a result, the ribs 231 and 232 are pressed against the silicon chip surface 156.

この時リブ230とシリコンチップ面156とのクリアランスfは部品公差を考慮し、なるべく狭められるよう設定される。もしくは前記リブ231,232がシリコンチップ面156に当接してからのビス112の締め付けによるインク通路部材210のたわみを利用しリブ230をシリコンチップ面156に当接させることも可能だが、部品の公差管理をより厳密に行う必要がある。   At this time, the clearance f between the rib 230 and the silicon chip surface 156 is set to be as narrow as possible in consideration of component tolerances. Alternatively, the rib 230 can be brought into contact with the silicon chip surface 156 by using the deflection of the ink passage member 210 by tightening the screws 112 after the ribs 231 and 232 have been brought into contact with the silicon chip surface 156. It needs to be done more strictly.

参考には、逆にリブ230がリブ231,232に対し高い場合は、まずリブ230がシリコンチップ面156に当接するため、その後ビス112の締め付けに対しリブ231,232はシ−ソ−状態になり、シリコンチップ面156には当接されず、封止剤301注入時に外部に漏れ出してしまう。
上記従来例とは多少異なるが、本発明の目的と類似する明瞭な提案として記録ヘッドのインク供給口とインク供給部材間の空隙の回りに熱膨張部材を設けた提案もある。
(例えば特許文献1)
For reference, when the rib 230 is higher than the ribs 231 and 232, the rib 230 first comes into contact with the silicon chip surface 156, and then the ribs 231 and 232 are in a seesaw state when the screw 112 is tightened. It does not contact the surface 156 and leaks to the outside when the sealant 301 is injected.
Although somewhat different from the above conventional example, there is also a proposal in which a thermal expansion member is provided around the gap between the ink supply port of the recording head and the ink supply member as a clear proposal similar to the object of the present invention.
(For example, Patent Document 1)

特開平07-032597(第3〜4頁、図3)JP 07-032597 (pages 3-4, Fig. 3)

これらインクジェットヘッドはいくつかに分割された部品を押圧する方法や、時には接着といった方法でインク流路を形成している。   In these ink jet heads, an ink flow path is formed by a method of pressing a component divided into several parts, or a method of bonding sometimes.

特に本インクジェットヘッドにおけるシリコンチップ供給口とインク通路部材の接続部でのインク流路形成には上述したように封止剤を用いている。このような封止工程を確実に行うためには、前記インク流路が確実に外部と遮断されるとともに封止剤がインク流路部に流れ込まないよう配慮する必要がある。   In particular, as described above, the sealant is used to form the ink flow path at the connection portion between the silicon chip supply port and the ink passage member in the ink jet head. In order to reliably perform such a sealing step, it is necessary to consider that the ink flow path is reliably blocked from the outside and that the sealant does not flow into the ink flow path portion.

しかしながら従来の構成によれば、前後封止工程を行うためのリブをすべてシリコンチップ面に確実に当接させることは難しい。よって通常はシリコンチップ面と後ろ封止側のリブに僅かなクリアランスを設けているが、これにより注入する封止材の流動状況が安定せず、インク流路内に封止材が流れ込む危険性があった。   However, according to the conventional configuration, it is difficult to make sure that all the ribs for performing the front-rear sealing process are in contact with the silicon chip surface. Therefore, a slight clearance is usually provided between the silicon chip surface and the rib on the back sealing side. However, the flow of the sealing material to be injected is not stable, and the risk of the sealing material flowing into the ink flow path. was there.

また、仮に厳格な部品公差管理を施し、前後封止工程を行うためのリブをすべてシリコンチップ面に当接させても、押圧が不充分であったり、不均一な場合があり、同様に封止剤がインク流路に流れ込む危険性がある。   In addition, even if strict part tolerance management is performed and all the ribs for performing the front-rear sealing process are brought into contact with the silicon chip surface, the pressing may be insufficient or non-uniform. There is a risk that the stopper flows into the ink flow path.

インク流路に流れ込んでしまった封止剤の量によっては、インクの流れに悪影響を及ぼし、場合によってはインク流路を塞いでしまうことも考えられ、記録ヘッドの記録特性を不安定にする。   Depending on the amount of the sealant that has flowed into the ink flow path, the ink flow may be adversely affected, and the ink flow path may be blocked in some cases, making the recording characteristics of the recording head unstable.

更に上記特許文献1(特開平07-032597)による改善された方法であっても、熱膨張剤の塗布ムラや幅方向へのだれ込みによって下部の発熱体領域に侵入の懸念が残る。   Further, even with the improved method according to Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 07-032597), there is still a concern of intrusion into the lower heating element region due to uneven application of the thermal expansion agent and sag in the width direction.

上記の課題を解決するために本発明は考案され、下記に述べる各手段を実施した。
即ち本発明による記録ヘッド製造方法は、
インクを吐出するノズルと、前記ノズルにインクを供給する液室と、インク吐出のためのエネルギを発生するエネルギ発生素子及び駆動回路を含む第1と第2のモジュール、前記第1と第2のモジュールを電気的に接続するモジュール接続手段を含む第1の部材と、前記液室に外部からインクを供給するインク通路を含む第2の部材とを結合する記録ヘッド製造方法において、
前記第1、及び第2部材を予め傾けて当接し、当接部に第1の封止材を注入し、所定時間後該当接部に第2の封止材を形成することを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention has been devised, and each means described below has been implemented.
That is, the recording head manufacturing method according to the present invention includes:
A first and a second module including a nozzle for ejecting ink, a liquid chamber for supplying ink to the nozzle, an energy generating element for generating energy for ejecting the ink, and a drive circuit; the first and second modules; In the recording head manufacturing method for coupling the first member including module connecting means for electrically connecting the module and the second member including an ink passage for supplying ink to the liquid chamber from the outside,
The first and second members are inclined and contacted in advance, a first sealing material is injected into the contact portion, and a second sealing material is formed at the corresponding contact portion after a predetermined time. .

又本発明の記録ヘッド製造方法は、
前記第1の封止材を形成して当接する領域は前記エネルギ発生素子、及び前記液室が配置された領域を含まないことを特徴とする。
Also, the recording head manufacturing method of the present invention includes:
The region where the first sealing material is formed and is in contact does not include the region where the energy generating element and the liquid chamber are arranged.

又本発明の記録ヘッド製造方法は、
前記第1の封止材を形成して当接する領域は前記モジュール接続手段が配置された領域を包含することを特徴とする。
Also, the recording head manufacturing method of the present invention includes:
A region where the first sealing material is formed and abutted includes a region where the module connecting means is disposed.

又本発明の記録ヘッド製造方法は、
前記第2の封止材を形成する領域は前記液室及び前記モジュール接続手段が配置された領域を含まないことを特徴とする。
Also, the recording head manufacturing method of the present invention includes:
The region where the second sealing material is formed does not include a region where the liquid chamber and the module connecting means are arranged.

又本発明の記録ヘッド製造方法は、
前記第1の封止材は流動性から非流動性の弾性体に硬化する封止剤であることを特徴とする。
Also, the recording head manufacturing method of the present invention includes:
The first sealing material is a sealing agent that hardens from a fluidity to a non-fluid elastic body.

又本発明の記録ヘッド製造方法は、
前記第2の封止材は流動性から非流動性の弾性体に硬化する封止剤であることを特徴とする。
Also, the recording head manufacturing method of the present invention includes:
The second sealing material is a sealing agent that cures from a fluid to a non-fluid elastic body.

又本発明の記録ヘッド製造方法は、
前記第1、第2の封止材は同材料であることを特徴とする。
Also, the recording head manufacturing method of the present invention includes:
The first and second sealing materials are the same material.

本発明を実施することによってインク流路を確実に形成し、信頼性の高い記録ヘッド製造方法に寄与できる効果が得られる。   By carrying out the present invention, it is possible to reliably form an ink flow path and contribute to a highly reliable recording head manufacturing method.

本発明の実施形態に関して、以下に図を用いて詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図10、11に本発明を実施した記録ヘッドを搭載した、インクジェット記録装置の一例を示す。   10 and 11 show an example of an ink jet recording apparatus equipped with a recording head embodying the present invention.

本発明を実施した記録ヘッド100はキャリッジ600に搭載され、インクタンク700からインクが供給される。900は記録ヘッドの回復ユニット、シート(記録媒体)1000は搬送装置500により矢印方向に搬送される。   The recording head 100 embodying the present invention is mounted on a carriage 600 and supplied with ink from an ink tank 700. 900 is a recovery unit of the recording head, and a sheet (recording medium) 1000 is conveyed by the conveying device 500 in the direction of the arrow.

シート1000を検知するセンサS10、S20を備え、シート1000を搬送するためのローラ510、530上に位置し、記録ヘッド100のインク吐出領域に空間が設けられたプラテン515、および搬送ローラ510をシート1000と接離可能に支持する支持軸511、搬送ローラ510をシート1000に当接させる当接バネ512、搬送ローラ510をシート1000から離間させる、離間ソレノイド513、を備えている。   A platen 515 provided with sensors S10 and S20 for detecting the sheet 1000 and positioned on the rollers 510 and 530 for conveying the sheet 1000 and having a space in the ink ejection area of the recording head 100, and the conveying roller 510 A support shaft 511 that is detachably supported by 1000, a contact spring 512 that contacts the conveyance roller 510 with the sheet 1000, and a separation solenoid 513 that separates the conveyance roller 510 from the sheet 1000 are provided.

キャリッジ600は、記録ヘッド100を保持する回動可能なヘッドガイド610、ヘッドキャリッジ600を図中H方向に移動可能に支持するキャリッジ軸620、前記キャリッジシャフト上を駆動させるアクチュエータ630、アクチュエータ630の駆動をヘッドキャリッジ600へ伝える伝達ベルト635により構成される。   The carriage 600 includes a rotatable head guide 610 that holds the recording head 100, a carriage shaft 620 that supports the head carriage 600 movably in the H direction in the figure, an actuator 630 that drives the carriage shaft, and driving of the actuator 630. Is transmitted to the head carriage 600.

ヘッド回復ユニット900はヘッド吐出口面をキャッピングするキャップゴム910、ヘッド吐出口面をワイピングする、ワイパブレード920、またキャッピングゴムを保持し、記録動作ではなく予備的に記録ヘッド100から吐出されたインクや、図示しないインクポンプにより記録ヘッド100から強制的に吸引されたインクをキャッチするインク溜り930を備えている。   The head recovery unit 900 has a cap rubber 910 for capping the head discharge port surface, a wiper blade 920 for wiping the head discharge port surface, and a capping rubber. In addition, an ink reservoir 930 for catching ink that is forcibly sucked from the recording head 100 by an ink pump (not shown) is provided.

記録装置の動作について説明する。   The operation of the recording apparatus will be described.

ユーザからの印刷指令を受けた記録装置は、図示しない中央演算装置により、ヘッド回復ユニット上で密閉キャップされていた待機中の記録ヘッド100を搭載するキャリッジ600を、アクチュエータ(キャリッジモータ)630により、用紙(シート)1000の幅方向に移動させる。次にユーザーはセンサS10方向にシート1000を投入すると搬送ローラ510、530は駆動を開始して、シート1000を図中Z方向へ搬送、やがてセンサS20を通過する。シート1000の先端を検知した記録装置は、検知された位置から算出し、静止した記録ヘッド100の記録位置まで到達したタイミングで記録データに基づき記録動作を開始する。   The recording apparatus that has received a print command from the user uses a central processing unit (not shown) to mount a carriage 600 on which the recording head 100 that is in a sealed state on the head recovery unit is mounted by an actuator (carriage motor) 630. Move the paper (sheet) 1000 in the width direction. Next, when the user inputs the sheet 1000 in the direction of the sensor S10, the conveyance rollers 510 and 530 start driving, convey the sheet 1000 in the Z direction in the figure, and eventually pass through the sensor S20. The recording apparatus that has detected the leading edge of the sheet 1000 calculates from the detected position and starts a recording operation based on the recording data at the timing when the recording position of the recording head 100 that has been stationary is reached.

記録の終了したシートは排出され、続いて2枚目のシート1000が搬送され、記録動作は連続的に繰り返される。   The recording-completed sheet is discharged, then the second sheet 1000 is conveyed, and the recording operation is continuously repeated.

記録ヘッド100に関わる基本構成は従来例で述べたものと同様なため省略し、以下に本発明による記録ヘッド100の封止方法を後ろ封止工程に適用した実施例について詳細な説明を加える。   Since the basic configuration related to the recording head 100 is the same as that described in the conventional example, it will be omitted, and a detailed description will be given below on an embodiment in which the recording head 100 sealing method according to the present invention is applied to the back sealing step.

本発明による後ろ封止工程は2つの工程に分けられ、第一の後ろ封止工程では図12に示すように吐出エレメント160を水平方向に対してθ1(0≦θ1<90)の傾きを保った状態で、プリント基板120とワイヤボンディング190の結線部付近、0の位置に封止剤351を滴下し、図の面迄充填する。滴下中、封止剤351はワイヤボンディング190を包含しながら、下方シリコンチップ150方向に流動し、第一のシリコンチップエッジ171を超え、続いて第二のシリコンチップエッジ172にまで到達した段階で、自らの表面張力により、流動を停止させる。よって、前記θ1の値と滴下する封止剤351の量及び滴下位置は前記、第一のシリコンチップエッジ171を超え、かつ第二のシリコンチップエッジ172で停止する値に調整する必要がある。   The back sealing step according to the present invention is divided into two steps. In the first back sealing step, as shown in FIG. 12, the discharge element 160 is maintained at an inclination of θ1 (0 ≦ θ1 <90) with respect to the horizontal direction. In this state, a sealant 351 is dropped at a position of 0 near the connection portion between the printed circuit board 120 and the wire bonding 190 and filled to the surface of the figure. During dropping, the encapsulant 351 flows in the direction of the lower silicon chip 150 while including the wire bonding 190, beyond the first silicon chip edge 171, and subsequently reaches the second silicon chip edge 172. The flow is stopped by its surface tension. Therefore, it is necessary to adjust the value of the θ1, the amount of the sealing agent 351 to be dropped, and the dropping position so as to exceed the first silicon chip edge 171 and stop at the second silicon chip edge 172.

前記第一の封止工程終了後、封止剤351の硬化が所望の値に進行するまで吐出エレメント160を放置する。
好ましくは、表面上にスキン層が形成された半硬化状態迄待って次工程に移行させるようにする。
After completion of the first sealing step, the discharge element 160 is left until the curing of the sealing agent 351 proceeds to a desired value.
Preferably, the process proceeds to the next step after waiting for a semi-cured state in which the skin layer is formed on the surface.

図13には本発明を反映させたインク通路部材250の特にシリコンチップ面156との当接部付近を詳細に表す断面を示す。前封止工程に用いるリブ261、262は後ろ封止側のリブ263に対し従来同様、hだけ高くなっているが、本発明により新たに設けられた後ろ封止に用いられるリブ264はリブ261、262いずれに対しても高く設けられる。   FIG. 13 shows a cross section showing in detail the vicinity of the contact portion of the ink passage member 250 reflecting the present invention, particularly with the silicon chip surface 156. The ribs 261 and 262 used in the front sealing process are higher than the rib 263 on the rear sealing side by h as in the conventional case, but the rib 264 used for rear sealing newly provided by the present invention is the rib 261. , 262 is provided high.

図14は第一の後ろ封止工程が終了したインク吐出エレメント160にインク通路部材250を結合した状態を示しており、前記新たに設けられたリブ264と、第一の後ろ封止工程によって形成された硬化封止剤351とでオ−バラップ領域Pが形成される。また、リブ263は従来例で述べたように前封止リブ261、262とシリコンチップ面156の当接状態に影響を与えないよう、シリコンチップ面156との間にクリアランスfが設けられる。もし、インク流路の形状で問題なければ、クリアランスfを拡大するか、リブ263自体を無くしても良い。   FIG. 14 shows a state in which the ink passage member 250 is coupled to the ink discharge element 160 after the first back sealing step, and is formed by the newly provided rib 264 and the first back sealing step. The overlap region P is formed with the cured sealant 351 thus formed. Further, as described in the prior art, the rib 263 is provided with a clearance f between the silicon chip surface 156 so as not to affect the contact state between the front sealing ribs 261 and 262 and the silicon chip surface 156. If there is no problem with the shape of the ink flow path, the clearance f may be enlarged or the rib 263 itself may be eliminated.

このようにしてインク吐出エレメント160にインク通路部材250を結合後、図15に示す通り従来同様に前封止工程を行った後、インク通路部材250に設けられた注入口270より第2の封止剤352を注入する第二の後ろ封止工程を行う。   After the ink passage member 250 is coupled to the ink discharge element 160 in this way, as shown in FIG. 15, a pre-sealing process is performed as in the prior art, and then the second sealing is performed from the inlet 270 provided in the ink passage member 250. A second back sealing step for injecting the stop agent 352 is performed.

本発明によれば、第二の後ろ封止工程によって注入された第2の封止剤352は、リブ264と第一の後ろ封止工程によって形成された硬化封止剤351とのオ−バ−ラップ領域Pにより得られるパッキン効果により該当接位置で流動がせき止められる。該当接部は、硬化後に弾性を持つ封止剤351によって片側が形成されているため、リブ264の高さ公差は広い範囲で許容できると共に信頼性の高いパッキン効果を得られる。   According to the present invention, the second sealant 352 injected by the second back sealing step is an overfill of the rib 264 and the cured sealant 351 formed by the first back sealing step. -The flow is blocked at the corresponding contact position by the packing effect obtained by the wrap region P. Since the contact portion is formed on one side by the sealant 351 having elasticity after curing, the height tolerance of the rib 264 can be allowed in a wide range and a highly reliable packing effect can be obtained.

さらに前記オ−バ−ラップ領域Pの位置はワイヤボンディング190の範囲Tにかららないことが好ましい。これによりインク通路部材250結合時、硬化封止材351の変型がワイヤボンディング190自身及び、シリコンチップ150、プリント基板120との結線部に及ぼすストレスをより軽減できる。   Further, it is preferable that the position of the overlap region P does not fall within the range T of the wire bonding 190. Thereby, when the ink passage member 250 is coupled, the stress exerted on the wire bonding 190 itself, the connection portion between the silicon chip 150 and the printed circuit board 120 by the deformation of the cured sealing material 351 can be further reduced.

更にリブ264の形状は、本実施例に示される形状に限定されるものではなく、第二の後ろ封止工程による第2の封止剤352注入時に、第一の後ろ封止工程で形成された硬化封止剤351と当接する形状をインク通路部材250に設けることで同様の効果が得られることは明らかである。   Further, the shape of the rib 264 is not limited to the shape shown in the present embodiment, and is formed in the first back sealing step when the second sealing agent 352 is injected in the second back sealing step. It is obvious that the same effect can be obtained by providing the ink passage member 250 with a shape that contacts the cured sealant 351.

また、第一の後ろ該封止工程で形成する硬化封止剤はシリコンチップ面156に対し出っ張りを持たせても良い。この場合、リブ264はリブ261、262に対し低くなる形状も本発明に含まれる。
また本発明は後ろ封止工程に限定されるものではなく、特に精密な組み付けが要求されるインクジェット用記録ヘッドには広く適用が期待できる。
Further, the cured sealant formed in the first rear sealing step may have a protrusion on the silicon chip surface 156. In this case, a shape in which the rib 264 is lower than the ribs 261 and 262 is also included in the present invention.
Further, the present invention is not limited to the back sealing process, and can be widely applied to inkjet recording heads that require particularly precise assembly.

本発明によれば実施例1に述べたように後ろ封止工程の二工程化及び、インク通路部材が有するリブに特徴を持たせることで所望の目的を達したが、本実施例ではインク通路部材は従来のままに目的を達する手段について説明する、具体的には第一の後ろ封止工程で、インク通路部材との間でパッキン効果を持たせるための突起形状を形成する手段を持たせる。   According to the present invention, as described in the first embodiment, the desired purpose is achieved by making the back sealing process into two steps and giving the rib the ink passage member a characteristic. The member will be described as a conventional means for achieving the purpose. Specifically, in the first back sealing step, a means for forming a protrusion shape for providing a packing effect with the ink passage member is provided. .

図16に示すように吐出エレメント160のシリコンチップ面156に所望の突起量と同等の厚みを持つテ−プ部材380を貼り付けた状態で、該吐出エレメント160を図中θ2(0≦θ2<90)の傾きを持たせた状態にし、電気配線板120と配線(ワイヤボンディング)190の結線部付近、Qの位置に封止剤401を滴下する。   As shown in FIG. 16, in a state where a tape member 380 having a thickness equivalent to a desired protrusion amount is attached to the silicon chip surface 156 of the discharge element 160, the discharge element 160 is shown as θ2 (0 ≦ θ2 < 90), the sealant 401 is dropped at a position Q near the connection portion between the electric wiring board 120 and the wiring (wire bonding) 190.

滴下後、封止剤401はワイヤボンディング190を含有しながら、下方シリコンチップ150方向に流動し、第一のシリコンチップエッジ171を超え、流動する封止剤の先端部がシリコンチップ面156上に貼り付けられたテ−プ部材エッジ381にまで到達した段階で、自らの表面張力により、流動を停止させる。   After dripping, the sealant 401 flows downward in the direction of the silicon chip 150 while containing the wire bonding 190, exceeds the first silicon chip edge 171, and the tip of the flowing sealant is on the silicon chip surface 156. When the tape member edge 381 is reached, the flow is stopped by its own surface tension.

よって、前記θ2の値と滴下する封止剤401の量及び滴下位置Qは前記、第一のシリコンチップエッジ171を超え、かつテ−プ部材エッジ381で停止する値に調整する必要がある。   Therefore, it is necessary to adjust the value of θ2, the amount of the sealing agent 401 to be dropped, and the dropping position Q to a value that exceeds the first silicon chip edge 171 and stops at the tape member edge 381.

前記作業後、該封止剤401が所望の硬化を終えるまで、硬化条件に沿って吐出エレメント160を放置する。その後シリコンチップ面156上に貼り付けられたテ−プ部材380を剥がすことで、所望の突起量Rを持つ硬化封止剤401が形成される。尚、該テ−プ部材380は剥がし取った後、シリコン面156上に粘着層が残留すると洗浄が困難なため、粘着層を残留させないか、もしくは残留量がシリコンチップ150内に形成されるエネルギ−発生素子154やインク流路に悪影響を及ぼさない量に抑えられるもの、もしくは粘着層自身が悪影響を及ぼさない物質で形成されるものを使用することが好ましい。   After the operation, the discharge element 160 is left in accordance with the curing conditions until the sealant 401 finishes the desired curing. Thereafter, the tape member 380 attached on the silicon chip surface 156 is peeled off to form a cured sealant 401 having a desired projection amount R. After the tape member 380 is peeled off, if the adhesive layer remains on the silicon surface 156, it is difficult to clean. Therefore, the adhesive layer does not remain or the amount of energy formed in the silicon chip 150 does not remain. It is preferable to use an element that can be suppressed to an amount that does not adversely affect the generating element 154 and the ink flow path, or an element that is formed of a substance that does not adversely affect the adhesive layer itself.

図17は第一の後ろ封止工程を終了した吐出エレメント160にインク通路部材210を組み付けた状態を示し、特にシリコンチップ150付近を詳細に表したものである。尚、本実施例における特徴を理解し易くするため、インク通路部材は従来例で述べたものと同様とする。   FIG. 17 shows a state in which the ink passage member 210 is assembled to the ejection element 160 after the first back sealing step, and particularly shows the vicinity of the silicon chip 150 in detail. In order to facilitate understanding of the characteristics of this embodiment, the ink passage member is the same as that described in the conventional example.

第二の後ろ封止に用いるリブ230とシリコンチップ面156にあるクリアランスfは、第一の後ろ封止工程によって形成された突起量Rを持つ硬化封止剤401で埋められ、さらにオ−バ−ラップ領域Sが形成される。   The clearance f on the rib 230 used for the second back sealing and the silicon chip surface 156 is filled with the hardened sealant 401 having the protrusion amount R formed by the first back sealing process, and further the overfill. -A wrap region S is formed.

第二の封止工程は実施例1と同様であり、詳細な説明は省略するが、前記オ−バ−ラップ領域Sにより得られるパッキン効果により滴下される封止材の流動がせき止められる。   The second sealing step is the same as that of the first embodiment, and detailed description thereof is omitted. However, the flow of the sealing material dripped by the packing effect obtained by the overlap region S is blocked.

また、前記テ−プ部材380の貼り付け位置は前記説明に用いた位置でなくともよく、例えばシリコンチップ面156上に設けても、リブ230とのクリアランスを適度に設定することで、同様な効果が得られることは明らかである。   The tape member 380 may not be attached to the position used in the above description. For example, even if the tape member 380 is provided on the silicon chip surface 156, a similar clearance can be obtained by setting the clearance with the rib 230. It is clear that an effect can be obtained.

更に実施例1に述べた形態と本実施例を複合的に用いても良い。   Furthermore, the embodiment described in Example 1 and this example may be used in combination.

また本発明は後ろ封止工程に限定されるものではなく、特に精密な組み付けが要求されるインクジェットヘッドには広く適用が期待できる。   The present invention is not limited to the back sealing process, and can be widely applied to inkjet heads that require particularly precise assembly.

本発明は信頼性の高い記録ヘッドの製造方法に利用可能である。   The present invention can be used in a method for manufacturing a recording head with high reliability.

記録ヘッドの分解図である。FIG. 3 is an exploded view of a recording head. 記録ヘッドの分解図(部分詳細図)である。It is an exploded view (partially detailed view) of the recording head. シリコンチップ周辺部の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of a silicon chip peripheral part. 記録ヘッドの外観図である。It is an external view of a recording head. 記録ヘッドの外観図である。It is an external view of a recording head. 従来の記録ヘッドにおけるシリコンチップ周辺部の断面図である。It is sectional drawing of the silicon chip periphery part in the conventional recording head. インク通路部材の外観図である。It is an external view of an ink passage member. インク通路部材の部分詳細図である。FIG. 6 is a partial detail view of an ink passage member. インク通路部材の部分詳細断面図である。It is a partial detail sectional view of an ink passage member. 本発明による記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を示す 模式図である。It is a schematic diagram showing an example of an ink jet recording apparatus equipped with a recording head according to the present invention. 本発明による記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を示す 正面断面図である。It is a front sectional view showing an example of an ink jet recording apparatus equipped with a recording head according to the present invention. 本発明の第一実施例による第一の後ろ封止工程を表す断面図である。It is sectional drawing showing the 1st back sealing process by the 1st Example of this invention. 本発明の第一実施例によるインク通路部材の断面詳細図である。FIG. 3 is a detailed cross-sectional view of an ink passage member according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施例によるによるインク流路部材組み付け時の断面詳細図 である。FIG. 5 is a detailed cross-sectional view of the ink flow path member when assembled according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施例による封止工程後の断面詳細図である。FIG. 3 is a detailed cross-sectional view after the sealing step according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第二実施例による第一の後ろ封止工程を表す断面図である。It is sectional drawing showing the 1st back sealing process by the 2nd Example of this invention. 本発明の第一実施例によるインク流路部材組み付け時の断面詳細図 である。FIG. 3 is a detailed cross-sectional view when the ink flow path member is assembled according to the first embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 記録ヘッド
110 ベースプレート
120 プリント基板
150 シリコンチップ
151 ノズル(吐出口)
152 インク流路
153 液室(A)
154 ノズルヒータ(エネルギ発生素子)
155 インク供給口
156 シリコンチップ面
160 吐出エレメント
171 第一のシリコンチップエッジ
172 第二のシリコンチップエッジ
190 ワイヤボンディング

220 液室(B)
250 インク通路部材

301 封止剤
302 封止剤
351 封止剤

401 封止剤

500 搬送装置
510 搬送ローラ
530 搬送ローラ

600 キャリッジ
700 インクタンク
900 記録ヘッド回復ユニット
1000 シート(記録媒体)
100 recording head
110 Base plate
120 PCB
150 silicon chip
151 Nozzle (Discharge port)
152 Ink channel
153 Liquid chamber (A)
154 Nozzle heater (energy generating element)
155 Ink supply port
156 Silicon chip surface
160 Dispensing element
171 First silicon chip edge
172 Second silicon chip edge
190 Wire bonding

220 Liquid chamber (B)
250 Ink passage member

301 Sealant
302 Sealant
351 Sealant

401 Sealant

500 Conveyor
510 Conveyor roller
530 Transport roller

600 carriage
700 ink tank
900 recording head recovery unit
1000 sheets (recording medium)

Claims (7)

インクを吐出するノズルと、前記ノズルにインクを供給する液室と、インク吐出のためのエネルギを発生するエネルギ発生素子及び駆動回路を含む第1と第2のモジュール、前記第1と第2のモジュールを電気的に接続するモジュール接続手段を含む第1の部材と、前記液室に外部からインクを供給するインク通路を含む第2の部材とを結合する記録ヘッド製造方法において、
前記第1、及び第2部材を予め傾けて当接し、当接部に第1の封止材を注入し、所定時間後該当接部に第2の封止材を形成することを特徴とする記録ヘッド製造方法。
A first and a second module including a nozzle for ejecting ink, a liquid chamber for supplying ink to the nozzle, an energy generating element for generating energy for ejecting the ink, and a drive circuit; the first and second modules; In the recording head manufacturing method for coupling the first member including module connecting means for electrically connecting the module and the second member including an ink passage for supplying ink to the liquid chamber from the outside,
The first and second members are inclined and contacted in advance, a first sealing material is injected into the contact portion, and a second sealing material is formed at the corresponding contact portion after a predetermined time. Recording head manufacturing method.
前記第1の封止材を形成して当接する領域は前記エネルギ発生素子、及び前記液室が配置された領域を含まないことを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド製造方法。 2. The recording head manufacturing method according to claim 1, wherein a region where the first sealing material is formed and abutted does not include a region where the energy generating element and the liquid chamber are arranged. 前記第1の封止材を形成して当接する領域は前記モジュール接続手段が配置された領域を包含することを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド製造方法。 2. The method for manufacturing a recording head according to claim 1, wherein the area where the first sealing material is formed and abutted includes an area where the module connecting means is disposed. 前記第2の封止材を形成する領域は前記液室及び前記モジュール接続手段が配置された領域を含まないことを特徴とする請求項1から3に記載の記録ヘッド製造方法。 4. The recording head manufacturing method according to claim 1, wherein a region where the second sealing material is formed does not include a region where the liquid chamber and the module connecting means are arranged. 前記第1の封止材は流動性から非流動性の弾性体に硬化する封止剤であることを特徴とする請求項1から4に記載の記録ヘッド製造方法。 5. The recording head manufacturing method according to claim 1, wherein the first sealing material is a sealing agent that hardens from a fluidity to a non-fluid elastic body. 前記第2の封止材は流動性から非流動性の弾性体に硬化する封止剤であることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド製造方法。 2. The recording head manufacturing method according to claim 1, wherein the second sealing material is a sealing agent that hardens from a fluidity to a non-fluid elastic body. 前記第1、第2の封止材は同材料であることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド製造方法。
2. The recording head manufacturing method according to claim 1, wherein the first and second sealing materials are the same material.
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