JP2005191311A - 固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来の固体撮像装置の受光部(光電変換領域)より深い、また、欠陥の少ない光電変換領域を有する受光部を備える固体撮像装置の製造方法及びそのような製造方法により製造される固体撮像装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板1に対して法線方向からボロンのイオン注入4を行い、受光部のp型領域5を形成する。ボロンのイオン注入条件は、イオン注入エネルギ数百〜4MeV、イオン注入量1×1010〜1×1012ions/cm2 であり、半導体基板1表面の法線方向に対するイオン注入角度(θ)は0度±0.2度である。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体基板1に対して法線方向からボロンのイオン注入4を行い、受光部のp型領域5を形成する。ボロンのイオン注入条件は、イオン注入エネルギ数百〜4MeV、イオン注入量1×1010〜1×1012ions/cm2 であり、半導体基板1表面の法線方向に対するイオン注入角度(θ)は0度±0.2度である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、イオン注入により形成する受光部を備える固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置に関する。
従来の固体撮像装置の製造方法では、シリコンなどの半導体基板へのイオン注入により転送部とpn接合(光電変換領域)を有する受光部を形成し、ゲート酸化膜を形成した後、CVD(化学気相成長)によって形成された多結晶からなるゲート電極を形成する。受光部は、n型基板にp型不純物としてのボロンを高エネルギで深くイオン注入して形成されたpウエル(p−well)と、画素部のみにpウエルより浅くn型不純物としてのリンをイオン注入して形成されるpn接合と、半導体基板表面のSi−SiO2 界面でのリーク電流を抑制する為に半導体基板の表面に浅くイオン注入されるボロンにより形成されるp+ 領域にてよって構成される。このときのイオン注入条件はチャネリングを起こさないような、イオン注入角度を選択し注入することが一般的である。
図6は従来の固体撮像装置の製造工程途中での状態を説明する断面図である。なお、図面の見易さを考慮して断面を示す斜線は全て省略している。半導体基板21にエピタキシャル層22を積層形成した後、受光部を形成するために、レジスト膜23を塗布し、受光部パターンに対応する開口部23hを形成する。次に、受光部のp型領域25を形成するために、イオン注入24によりボロンイオンが半導体基板21に注入される。このときのイオン注入角度θは半導体基板21の法線21vに対して通常は7度に設定される。
固体撮像装置の製造方法として、センサ部(受光部)を形成するイオン注入工程でのイオン注入角度はウエハ法線から7度以上45度以下の範囲内で傾斜させて行い、このイオン注入工程をウエハ法線から傾斜したイオン注入角度の方向が相異なる2回以上のイオン注入工程に分けて行うものが知られている(例えば特許文献1参照)。これによれば、センサ部を形成するイオン注入工程を、ウエハ法線から7度以上45度以下の範囲内で傾斜させて行い、かつイオン注入方向を異にして2回以上行うことにより、センサ部の不純物拡散領域を傾斜させた方向に横に広げて形成することができる。このような方法を採る理由は、シリコンの100結晶(半導体基板の表面が100結晶面)に対しては、7度以下、45度以上ではいわゆるチャネリングが発生するからである。
チャネリングとは、結晶格子に対して特定の方向からイオン注入したときに、イオンが散乱されずに結晶深部にまで到達する現象である(例えば特許文献2参照)。従って、通常は軸チャネリング防止のために、イオン注入角度θは7度に設定され、オリエンテーションフラットが<110>方向のウエハにおいては、面チャネリング防止のために、回転角Φは45度、135度、225度、315度(以下45度で代表する)を避けて設定される。
また、他の従来の固体撮像装置の製造方法として、トランスファゲート(電荷転送部と受光部との間のゲート電極に対応する部分)のフォトダイオード(受光部)側のエッジの方向を<100>方向に±15度以内のずれでほぼ一致させ、このエッジの方向に平行にイオン注入することにより、面チャネリングの発生を防止したものが知られている(例えば特許文献2参照)。これによれば、従来に比べて同一ウエハに形成される各トランスファゲートに対しスタッガ配置された各フォトダイオードのポテンシャルを均一にすることができ、エネルギバリアによる読出不良の発生を防止することが可能となり、歩留りの向上を図ることができるとしている。つまり、固体撮像装置の特性の安定化にはチャネリングを発生させないイオン注入条件でイオン注入することの必要性が示されている。
特開平10−209423号公報
特開平5−160382号公報
ところが、チャネリングを生じないイオン注入角度θでイオン注入する場合には、イオン注入深さはチェネリングを生じる場合よりも当然浅くなり、本来受光部(光電変換領域)として有効に働くべき半導体基板の表面からの深さ4μm〜6μm領域には、イオン注入が到達できず光電変換領域が形成されないことになる。また、このような深さの領域に光電変換領域を形成するとすれば、p型不純物としてのボロン(B)では約4MeV以上、n型不純物としての砒素(As)では約2MeV以上の高エネルギでのイオン注入が必要となる。これを実現するにはイオン注入エネルギとするために大きな加速器を必要とすることから、巨大かつ高価なイオン注入装置が必要となり、実用上の大きな問題がある。
上述したように、従来の固体撮像装置の製造方法においては、チャネリングを生じないイオン注入角度θでイオン注入することにより光電変換領域を形成することから、必要な深さの光電変換領域を形成することが容易ではないという問題があった。また、必要な深さの光電変換領域を形成するためには大型のイオン注入装置が必要になるという問題があった。
本発明は、斯かる問題に鑑みてなされたものであり、結晶面を制御したSi基板に、故意にチャネリングを生じる条件下でイオン注入を行うことにより、従来と同様な低エネルギで安定性良く、また、従来に比較して深く、ダメージの少ないイオン注入を行うことができ、従来の固体撮像装置の受光部(光電変換領域)より深い、また、欠陥の少ない光電変換領域を有する受光部を備える固体撮像装置の製造方法及びそのような製造方法により製造される固体撮像装置を提供することを目的とする。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法は、半導体基板に電荷転送部とpn接合を有する受光部とを備える固体撮像装置の製造方法において、前記pn接合のp型領域は半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件でイオン注入を行うことにより形成されることを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法では、前記pn接合のn型領域は半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件でイオン注入を行うことにより形成されることを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法では、前記半導体基板の表面は100結晶面であることを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法では、前記イオン注入条件はイオン注入角度が前記半導体基板表面の法線方向に対して±0.2度以内であることを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置の製造方法では、前記イオン注入条件はイオン注入角度が前記半導体基板の法線方向に対して7度であり、かつ前記半導体基板のノッチに対して回転角が45度、135度、225度、315度のいずれかであることを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置は、半導体基板に電荷転送部とpn接合を有する受光部とを備える固体撮像装置において、前記pn接合のp型領域は半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件でのイオン注入により形成されたものであることを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置では、前記pn接合のn型領域は半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件でのイオン注入により形成されたものであることを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置では、前記p層は半導体基板の表面から4〜6μmの深さを有することを特徴とする。
本発明にあっては、pn接合を有する受光部の形成に際し、p型領域をチャネリングを生じるイオン注入条件でイオン注入することとしたので、低いイオン注入エネルギで深いp型領域を形成することができ、光電変換効率の良い受光部を備えた固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置となる。
本発明にあっては、pn接合を有する受光部の形成に際し、n型領域をチャネリングを生じるイオン注入条件でイオン注入することとしたので、低いイオン注入エネルギで深いn型領域を形成することができ、光電変換効率の良い受光部を備えた固体撮像装置の製造方法及び固体撮像装置となる。
本発明にあっては、固体撮像装置の受光部のpn領域を半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件(イオン注入角度)のもとで形成するので、低エネルギでのイオン注入により深い拡散領域(pn接合部)を有するフォトダイオードを形成することができる。また、低エネルギでのイオン注入でフォトダイオードを形成するのでダメージの少ないフォトダイオードを形成することができる。また、大型のイオン注入装置を必要としないで、簡単なイオン注入工程で受光部を形成することができる。従って、光電変換効率の高い高感度の固体撮像装置の製造方法及びそのような固体撮像装置を提供することができる。
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて説明する。
図1〜図5は本発明の実施の形態に係る固体撮像装置の各製造工程での状態を説明する断面図である。各図はいずれも断面図であるが、図面の見易さを考慮して斜線は全て省略する。
図1は受光部(光電変換部)のp型領域を形成するためのイオン注入の状況を説明する断面図である。例えばn型のSi単結晶で構成される半導体基板1は、100面精度を0〜0.5度以下、オリエンテーションフラット又はノッチ位置精度を0〜0.5度以下に制御されている。半導体基板1の表面にはn型のエピタキシャル層2が堆積される。エピタキシャル層2の表面にレジスト膜3を塗布した後、フォトリソグラフィ技術を適用して受光部パターンに対応する開口部3hを開口する。その後、ボロンのイオン注入4を行い、受光部のp型領域5を形成する。
ボロンのイオン注入条件は、イオン注入エネルギ数百〜4MeV、イオン注入量1×1010〜1×1012ions/cm2 であり、半導体基板1表面の法線方向に対するイオン注入角度(θ)は0度±0.2度である。イオン注入角度としては、この他に法線方向に対するイオン注入角度(γ)は7度で、かつ半導体基板1のノッチ(又はウエハ状態での半導体基板1のオリエンテーションフラット)に対して回転角(Φ)は45度(135度、225度、又は315度)としても同様な作用効果が得られる。なお、角度の数値の0.2度、7度、45度、135度、225度、又は315度について、多少の許容範囲があることは技術常識として言うまでもない。イオン注入条件によっても変動するが、チャネリングが発生することから、注入飛程Rpで約1.5倍程度深く注入できる。従って、p型領域5の深さを4〜6μm程度に形成することが容易に可能となる。また、結晶性への影響についてはチャネリングが発生することから、結晶へのダメージはほとんど問題にならない。
図2は電荷転送部のp型領域を形成するためのイオン注入の状況を説明する断面図である。受光部のp型領域5を形成した後、半導体基板1の表面にレジスト膜6を塗布し、フォトリソグラフィ技術を適用して電荷転送部パターンに対応する開口部6hを開口する。その後、ボロンのイオン注入7を行い、電荷転送部8(ポテンシャルの井戸)を形成する。なお、このときのイオン注入条件は従来のイオン注入条件と同様である。
図3は受光部(光電変換部)のn型領域を形成するためのイオン注入の状況を説明する断面図である。図2の工程の後、例えばSiO2 、又はSiNで構成されるゲート酸化膜9をSiO2換算で約30〜60nm程度形成し、その上に導電性のSi配線膜を形成した後、適宜のパターンでパターニングすることでSi配線10を形成する。Si配線10などの表面にレジスト膜11を塗布した後、フォトリソグラフィ技術を適用して受光部パターン(p型領域5)に対応する開口部11hを開口する。その後、リンのイオン注入12を行い、p型領域5の表面部分に受光部のn型領域13を形成する。つまり、pn接合を備えたフォトダイオード(受光部)が形成される。
リンのイオン注入条件は、イオン注入エネルギ200〜4MeV、イオン注入量1×1012〜5×1014ions/cm2 であり、半導体基板1表面の法線方向に対するイオン注入角度(θ)は0度±0.2度である。イオン注入角度としては、この他に法線方向に対するイオン注入角度(γ)は7度で、かつ半導体基板1のノッチ(又はウエハ状態での半導体基板1のオリエンテーションフラット)に対して回転角(Φ)は45度(135度、225度、又は315度)としても同様な作用効果が得られる。なお、角度の数値の0.2度、7度、45度、135度、225度、又は315度について、多少の許容範囲があることは技術常識として言うまでもない。イオン注入条件によっても変動するが、チャネリングが発生することから、注入飛程Rpで約1.5倍程度深く注入できる。従って、n型領域13の深さを2〜4μm程度に形成することが容易に可能となる。また、結晶性への影響についてはチャネリングが発生することから、結晶へのダメージはほとんど問題にならない。
図4は半導体基板の表面に保護膜及び遮光膜を形成した状態を示す断面図である。n型領域13を形成した後、受光部(n型領域13)の表面付近に、光電変換された電荷の取り出し効率を向上するためにボロンをイオン注入(図示省略)する。ボロンのイオン注入条件は、イオン注入エネルギ20〜100keV、イオン注入量1×1013〜5×1015ions/cm2 である。その後、アニ−ルにより、イオン注入したイオンを活性化し受光部(p型領域5、n型領域13)、転送部8を確立する。次に半導体基板1の全面に保護膜14を形成し、さらに受光部以外の領域を遮光膜15で覆う。
図5は遮光膜の上部に層間保護膜を形成した状態を示す断面図である。遮光膜15を形成した後、層間保護膜16を形成し、さらに半導体基板1の内部に形成された各部との間で必要なコンタクトを取るためのコンタクトホール(図示省略)を開口し、アルミニウムなどで構成される配線(図示省略)を形成することにより、固体撮像装置が製造される。
1 半導体基板
2 エピタキシャル層
4 イオン注入
5 p型領域
8 電荷転送部
12 イオン注入
13 n型領域
2 エピタキシャル層
4 イオン注入
5 p型領域
8 電荷転送部
12 イオン注入
13 n型領域
Claims (8)
- 半導体基板に電荷転送部とpn接合を有する受光部とを備える固体撮像装置の製造方法において、
前記pn接合のp型領域は半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件でイオン注入を行うことにより形成されることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記pn接合のn型領域は半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件でイオン注入を行うことにより形成されることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記半導体基板の表面は100結晶面であることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記イオン注入条件はイオン注入角度が前記半導体基板表面の法線方向に対して±0.2度以内であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記イオン注入条件はイオン注入角度が前記半導体基板の法線方向に対して7度であり、かつ前記半導体基板のノッチに対して回転角が45度、135度、225度、315度のいずれかであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の固体撮像装置の製造方法。
- 半導体基板に電荷転送部とpn接合を有する受光部とを備える固体撮像装置において、
前記pn接合のp型領域は半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件でのイオン注入により形成されたものであることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記pn接合のn型領域は半導体基板に対してチャネリングを生じるイオン注入条件でのイオン注入により形成されたものであることを特徴とする請求項6記載の固体撮像装置。
- 前記p層は半導体基板の表面から4〜6μmの深さを有することを特徴とする請求項6又は7記載の固体撮像装置。
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