JP2005186221A - Surface coated cutting tool - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a long service life cutting tool, heightening the adhesiveness of a hard coating layer without the occurrence of peel-off between a TiCN layer and Al<SB>2</SB>O<SB>3</SB>layer under severe cutting conditions in which strong impact is applied to a cutting blade of a tool for intermittent cutting or the like, and having excellent breakage resistance and wear resistance. <P>SOLUTION: This surface coated cutting tool 1 has at least a charcoal titanium nitride layer 4 and a hard coated layer 3 including an aluminum oxide layer 6 as an upper layer on the surface of a base body 2. In observing an abrasion mark 7 of Calotest(R) for the hard coated layer 3 is worn away in a ball curved surface to expose the base body 2 around the abrasion mark 7 in which the surface coated cutting tool 1 is locally worn away so that the hard ball 13 turns on its axis while rolling, with hard balls 13 brought into contact with the surface of the surface coated cutting tool 1, the charcoal titanium nitride layer 4 observed in the periphery of the exposed base body 2 existing in the center of the abrasion mark 7 is composed of a lower texture 11 having zero or smaller crack width and an upper texture 12 observed in the periphery of the lower texture 11 and having larger crack width than the lower texture 11. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、硬質被覆層を表面に被着形成した表面被覆切削工具に関し、特に鋳鉄の断続切削等の大きな衝撃が切刃にかかるような切削に際しても、優れた耐チッピング性および耐欠損性を有する表面被覆切削工具に関する。   The present invention relates to a surface-coated cutting tool having a hard coating layer formed on the surface thereof, and particularly has excellent chipping resistance and chipping resistance even in cutting where a large impact is applied to the cutting blade, such as intermittent cutting of cast iron. The present invention relates to a surface-coated cutting tool.

従来より、金属の切削加工に広く用いられている切削工具は、超硬合金やサーメット、セラミックス等の基体の表面に、炭化チタン(TiC)層、窒化チタン(TiN)層、炭窒化チタン(TiCN)層および酸化アルミニウム(Al)層等の硬質被覆層を複数層被着形成した表面被覆切削工具が多用されている。 Conventionally, cutting tools widely used for metal cutting are titanium carbide (TiC) layer, titanium nitride (TiN) layer, titanium carbonitride (TiCN) on the surface of a substrate such as cemented carbide, cermet, and ceramics. ) And a surface-coated cutting tool in which a plurality of hard coating layers such as an aluminum oxide (Al 2 O 3 ) layer are formed.

かかる表面被覆切削工具においては、最近の切削加工の高能率化に従って金属の重断続切削等の大きな衝撃が切刃にかかるような過酷な切削条件で使われるようになっており、従来の工具では硬質被覆層が突発的に発生する大きな衝撃に耐えきれず、チッピングや硬質被覆層が剥離にて基体が露出してしまい、これが引き金となって切刃に大きな欠損や異常摩耗が発生して工具寿命の長寿命化ができないという問題があった。   In such surface-coated cutting tools, in accordance with recent high-efficiency cutting, heavy impacts such as heavy interrupted cutting of metals are used under severe cutting conditions where the cutting blade is applied. In conventional tools, The hard coating layer cannot withstand the large impacts that occur suddenly, and the base is exposed due to chipping or peeling of the hard coating layer, which triggers a large chipping or abnormal wear on the cutting edge. There was a problem that the life could not be extended.

そこで、特許文献1には、筋状炭窒化チタン結晶(縦長成長炭窒化チタン結晶)からなる炭窒化チタン層を設けるとともに、その間を粒状の窒化チタン層で分割することにより、層間剥離を抑制できることが記載され、工具の耐欠損性が向上すると記載されている。
特許第3230372号公報
Therefore, Patent Document 1 can suppress delamination by providing a titanium carbonitride layer made of streaked titanium carbonitride crystal (vertically grown titanium carbonitride crystal) and dividing the layer with a granular titanium nitride layer. Is described to improve the fracture resistance of the tool.
Japanese Patent No. 3230372

しかしながら、上記特許文献1に記載された炭窒化チタン層の構成によっても、重断続切削等の突発的に大きな衝撃がかかるような切削においては依然として切刃のチッピングによる異常摩耗や突発欠損等が発生し、工具寿命が短くなっていた。   However, even with the structure of the titanium carbonitride layer described in Patent Document 1, abnormal wear due to chipping of the cutting edge, sudden defects, etc. still occur in cutting that suddenly receives a large impact such as heavy interrupted cutting. However, the tool life was shortened.

また、炭窒化チタン層の結晶幅を単純に小さくしたり、大きくしたりしても、基体耐摩耗性または耐欠損性のいずれかが悪化して、突発欠損やチッピングの発生による異常摩耗が発生したり、摩耗が進行しやすい等の問題が発生して硬質被覆層全体の最適化がうまくいかず工具寿命には限界があった。   In addition, even if the crystal width of the titanium carbonitride layer is simply reduced or increased, either the substrate wear resistance or chipping resistance deteriorates, and abnormal wear due to sudden chipping or chipping occurs. Or the problem of easy progress of wear, the optimization of the entire hard coating layer was not successful, and the tool life was limited.

従って、本発明は上記課題を解決するためになされたもので、その目的は、断続切削等の突発的に工具切刃に強い衝撃がかかるような過酷な切削条件においても、チッピングや欠損が発生することなく、優れた耐チッピング性および耐欠損性を有するとともに、耐摩耗性にも優れる長寿命の切削工具を提供することにある。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to generate chipping and chipping even under severe cutting conditions such as intermittent cutting that suddenly applies a strong impact to the tool cutting edge. Accordingly, an object of the present invention is to provide a long-life cutting tool that has excellent chipping resistance and chipping resistance, and also has excellent wear resistance.

本発明者は、上記課題に対して検討した結果、基体の表面に少なくとも炭窒化チタン層およびその上層に酸化アルミニウム層を含む硬質被覆層を有する表面被覆切削工具において、いわゆるカロテストの摩耗痕を観察すれば前記硬質被覆層の部分的な耐摩耗性および耐欠損性の分布を評価することができることを知見した。そして、その摩耗痕を観察した際に、前記摩耗痕の中心に存在する露出した基体の周囲に観察される炭窒化チタン層が、クラック幅がゼロまたは小さい下部組織と、該下部組織の周囲に観察されて前記下部組織よりもクラック幅が大きい上部組織とが存在することによって、上部組織にクラックが生成することにより炭窒化チタン層と上層の酸化アルミニウム層との間に発生する残留応力を開放して、断続切削時において例え突発的に大きな衝撃が硬質被覆層にかかったときであっても新たに大きなクラックが発生して硬質被覆層がチッピングしたり欠損したりすることなく衝撃を吸収できるとともに、クラックの生成しにくい炭窒化チタン層の下部組織が存在することによって、上部組織にて生成したクラックの進展が阻害されるために炭窒化チタン層または硬質被覆層全体がチッピングや剥離することなく、結果的に硬質被覆層全体のチッピングや剥離を防止できるとともに、硬質被覆層全体の耐摩耗性が向上することを発明した。   As a result of studying the above problems, the present inventor observed so-called calotest wear marks on a surface-coated cutting tool having a hard coating layer including at least a titanium carbonitride layer on the surface of the substrate and an aluminum oxide layer thereon. It has been found that the distribution of partial wear resistance and fracture resistance of the hard coating layer can be evaluated. Then, when the wear scar is observed, the titanium carbonitride layer observed around the exposed substrate existing at the center of the wear scar has a substructure with a zero or small crack width, and around the substructure. The presence of an upper structure that is observed and has a crack width larger than that of the lower structure releases residual stress generated between the titanium carbonitride layer and the upper aluminum oxide layer by generating cracks in the upper structure. Thus, even when a sudden large impact is applied to the hard coating layer during interrupted cutting, a new large crack can be generated and the hard coating layer can be absorbed without chipping or chipping. At the same time, the presence of the lower structure of the titanium carbonitride layer that is less likely to generate cracks inhibits the progress of cracks generated in the upper structure. Of total titanium layer or hard coating layer without chipping or peeling, along with consequently possible to prevent chipping and peeling of the entire hard coating layer, wear resistance of the overall hard coating layer has invented improved.

すなわち、本発明の表面被覆切削工具は、基体の表面に少なくとも炭窒化チタン層と、その上層として酸化アルミニウム層を含む硬質被覆層を有する表面被覆切削工具において、該表面被覆切削工具の表面に硬質球を接触させた状態で該硬質球をころがしながら自転させるように前記表面被覆切削工具の前記硬質球接触部分を局所的に摩耗させて、中心に前記基体が露出するように前記硬質被覆層に球曲面の摩耗痕を形成させるカロテストを行い、前記摩耗痕を観察した際に、該摩耗痕の中心に存在する露出した基体の外周位置に観察される炭窒化チタン層が、クラック幅がゼロまたは小さい下部組織と、該下部組織の外周位置に観察されて前記下部組織よりもクラック幅が大きい上部組織とが存在することを特徴とするものである。   That is, the surface-coated cutting tool of the present invention is a surface-coated cutting tool having a hard coating layer including at least a titanium carbonitride layer and an aluminum oxide layer as an upper layer on the surface of the substrate. The hard sphere contact portion of the surface-coated cutting tool is locally worn so that the hard sphere rotates while rolling while the sphere is in contact with the hard coating layer so that the base is exposed at the center. When a calotest is performed to form a spherically curved wear mark and the wear mark is observed, the titanium carbonitride layer observed at the outer peripheral position of the exposed substrate present at the center of the wear mark has a crack width of zero or A small substructure and an upper structure observed at the outer peripheral position of the substructure and having a crack width larger than that of the substructure are present.

また、前記カロテストの摩耗痕観察において、前記炭窒化チタン層の下部組織中に観察されるクラックの幅が、前記上部組織中に観察されるクラックの幅に比べて1/2以下であることが、炭窒化チタン層と酸化アルミニウム層との密着性を高めることができるとともに、炭窒化チタン層自身のクラックの進展を抑制することもできる結果、硬質被覆層全体の耐チッピング性、耐欠損性が向上するとともに、耐摩耗性が維持されるために望ましい。   Further, in the observation of the wear marks of the Calotest, the width of the crack observed in the lower structure of the titanium carbonitride layer should be 1/2 or less than the width of the crack observed in the upper structure. As a result, the adhesion between the titanium carbonitride layer and the aluminum oxide layer can be improved, and the progress of cracks in the titanium carbonitride layer itself can be suppressed. As a result, the chipping resistance and chipping resistance of the entire hard coating layer can be reduced. It is desirable to improve and maintain wear resistance.

ここで、前記炭窒化チタン層が、前記摩耗痕中心に存在する露出した基体の周囲に観察されてクラック幅がゼロまたは小さい下部炭窒化チタン層と、該下部炭窒化チタン層の周囲に観察されて前記下部炭窒化チタン層よりもクラック幅が大きい上部炭窒化チタン層との複数層が存在することが、炭窒化チタン層の上部にて生成したクラックが止まることなく進展して下部にまで達してしまうことなく、チッピングや欠損を確実に抑制できる点で望ましい。   Here, the titanium titanium carbonitride layer is observed around the exposed substrate existing at the center of the wear scar, and is observed around the lower titanium carbonitride layer having a crack width of zero or small and the lower titanium carbonitride layer. The presence of multiple layers with the upper titanium carbonitride layer having a crack width larger than that of the lower titanium carbonitride layer means that cracks generated at the upper part of the titanium carbonitride layer progress without stopping and reach the lower part. This is desirable because chipping and chipping can be surely suppressed.

また、前記下部炭窒化チタン層の膜厚tが1μm≦t≦10μm、前記上部炭窒化チタン層の膜厚tが0.5μm≦t≦5μmで、かつ、1<t/t≦5の関係を満たすことが、前記炭窒化チタン層と前記酸化アルミニウム層との密着性を高め、前記炭窒化チタン層自身のクラックの進展を抑制することもでき、前記硬質被覆層全体の耐衝撃性を高めて、工具全体としてのチッピングや欠損を防止し、かつ高い耐摩耗性を維持することができるために望ましい。 Further, the film thickness t 1 of the lower titanium carbonitride layer is 1 μm ≦ t 1 ≦ 10 μm, the film thickness t 2 of the upper titanium carbonitride layer is 0.5 μm ≦ t 2 ≦ 5 μm, and 1 <t 1 / Satisfying the relationship of t 2 ≦ 5 can improve the adhesion between the titanium carbonitride layer and the aluminum oxide layer, and can suppress the development of cracks in the titanium carbonitride layer itself, and the entire hard coating layer This is desirable because the impact resistance of the tool can be improved, chipping and chipping as a whole tool can be prevented, and high wear resistance can be maintained.

さらに、前記炭窒化チタン層が前記基体表面に対して垂直に伸びる筋状組織の炭窒化チタン粒子からなるとともに、前記上部炭窒化チタン層をなす炭窒化チタン粒子の平均結晶幅が前記下部炭窒化チタン層をなす炭窒化チタン粒子の平均結晶幅より大きいことが、上部炭窒化チタン層に生成したクラックが下部炭窒化チタン層に進展することを抑制できるとともに、酸化アルミニウム層と炭窒化チタン層との残留応力を低減してクラックの発生を最小限に抑えて両者間の付着力を制御できる。これによって、硬質被覆層の耐摩耗性と耐剥離性を高めて、工具全体としての耐摩耗性と耐欠損性を最適な状態にすることができるために望ましい。   Further, the titanium carbonitride layer is composed of titanium carbonitride particles having a streak structure extending perpendicularly to the substrate surface, and the average crystal width of the titanium carbonitride particles forming the upper titanium carbonitride layer is the lower carbonitride Being larger than the average crystal width of the titanium carbonitride particles forming the titanium layer can suppress the cracks generated in the upper titanium carbonitride layer from progressing to the lower titanium carbonitride layer, and also include an aluminum oxide layer and a titanium carbonitride layer. It is possible to control the adhesive force between the two by reducing the residual stress of the material and minimizing the occurrence of cracks. This is desirable because the wear resistance and delamination resistance of the hard coating layer can be improved and the wear resistance and fracture resistance of the entire tool can be brought into an optimum state.

なお、この場合には、前記炭窒化チタン層中の前記上部層における平均結晶幅wが0.2〜1.5μmであり、かつ、前記下部炭窒化チタン層における平均結晶幅wが前記上部炭窒化チタン層の平均結晶幅wの0.7倍以下であることが、炭窒化チタン結晶自身の耐欠損性および耐チッピング性を高めることができるとともに、酸化アルミニウム層との付着力を制御して、硬質被覆層全体としての耐摩耗性および耐欠損性を高めるために望ましい。 In this case, the average crystal width w 2 in the upper layer in the titanium carbonitride layer is 0.2 to 1.5 μm, and the average crystal width w 1 in the lower titanium carbonitride layer is When the average crystal width w 2 of the upper titanium carbonitride layer is 0.7 times or less, the fracture resistance and chipping resistance of the titanium carbonitride crystal itself can be improved, and the adhesion with the aluminum oxide layer can be increased. It is desirable to control and increase the wear resistance and fracture resistance of the hard coating layer as a whole.

また、前記炭窒化チタン層をTi(C1−x)と表したとき、前記下部炭窒化チタン層におけるxが0.55〜0.80、前記上部炭窒化チタン層におけるxが0.40〜0.55の組成からなることが、基体上部炭窒化チタン層に生成したクラックが下部炭窒化チタン層に進展することを抑制し、硬質被覆層の耐チッピング性および耐欠損性を高め、高い耐摩耗性を維持することができるために望ましい。 Further, when the titanium carbonitride layer was expressed as Ti (C 1-x N x ), x in the lower titanium carbonitride layer is 0.55 to .80, x in the upper titanium carbonitride layer is 0. Containing 40 to 0.55 suppresses the crack generated in the base upper titanium carbonitride layer from progressing to the lower titanium carbonitride layer, and increases the chipping resistance and chipping resistance of the hard coating layer, It is desirable because high wear resistance can be maintained.

さらに、前記酸化アルミニウム層のスクラッチ試験における付着力が10〜50Nであることによって、連続切削においては硬質被覆層の剥離を抑制できて耐摩耗性が高く、かつ断続切削においては酸化アルミニウム層が適度の剥離を生じさせることで基体までに至る硬質層剥離を抑制させることで耐欠損性および耐チッピング性を高めることができるために望ましい。   Further, since the adhesion force in the scratch test of the aluminum oxide layer is 10 to 50 N, it is possible to suppress the peeling of the hard coating layer in continuous cutting and to have high wear resistance, and in the intermittent cutting, the aluminum oxide layer is appropriate. This is desirable because it is possible to increase the chipping resistance and chipping resistance by suppressing the peeling of the hard layer that reaches the substrate.

ここで、前記カロテストの摩耗痕観察において、前記酸化アルミニウム層の前記炭窒化チタン層との界面から酸化アルミニウム層の内部にわたってクラックが観察されることが、炭窒化チタン層と酸化アルミニウム層との界面に発生する残留応力を効果的に解消でき、かつ炭窒化チタン層に過剰なクラックが発生することを防止して、炭窒化チタン層のチッピングおよび剥離を防止できる点で望ましい。   Here, in the observation of wear marks in the Calotest, cracks are observed from the interface between the aluminum oxide layer and the titanium carbonitride layer to the inside of the aluminum oxide layer, indicating that the interface between the titanium carbonitride layer and the aluminum oxide layer It is desirable in that it can effectively eliminate the residual stress generated in the film, and can prevent the occurrence of excessive cracks in the titanium carbonitride layer, thereby preventing chipping and peeling of the titanium carbonitride layer.

本発明の表面被覆切削工具は、基体の表面に少なくとも炭窒化チタン層およびその上層に酸化アルミニウム層を含む硬質被覆層を有する表面被覆切削工具において、いわゆるカロテストの摩耗痕を観察すれば前記硬質被覆層の部分的な耐摩耗性および耐欠損性の分布を評価することができること、その摩耗痕の観察にて、前記摩耗痕の中心に存在する露出した基体の周囲に観察される炭窒化チタン層が、クラック幅がゼロまたは小さい下部組織と、該下部組織の周囲に観察されて前記下部組織よりもクラック幅が大きい上部組織とが存在することによって、上部組織にクラックが生成することにより炭窒化チタン層と上層の酸化アルミニウム層との間に発生する残留応力を開放して、基体特にねずみ鋳鉄(FC材)やダクタイル鋳鉄(FCD材)のような高硬度黒鉛粒子が分散した鋳鉄等の金属の重断続切削等のような工具切刃に強い衝撃がかかる過酷な切削条件や、連続切削条件、さらにはこれら断続切削と連続切削とを組み合わせた複合切削条件において、例え突発的に大きな衝撃が硬質被覆層にかかったときであっても新たに大きなクラックが発生して硬質被覆層がチッピングしたり欠損したりすることなく衝撃を吸収できるとともに、クラックの生成しにくい炭窒化チタン層の下部組織が存在することによって、上部組織にて生成したクラックの進展が阻害されるために炭窒化チタン層がチッピングや剥離することなく、結果的に硬質被覆層全体のチッピングや剥離を防止できるとともに、硬質被覆層全体の耐摩耗性が維持される優れた耐チッピング性および耐欠損性を有する切削工具が得られる。   The surface-coated cutting tool of the present invention is a surface-coated cutting tool having a hard coating layer including at least a titanium carbonitride layer on the surface of a substrate and an aluminum oxide layer on the surface. It is possible to evaluate the distribution of partial wear resistance and fracture resistance of the layer, and by observing the wear scar, the titanium carbonitride layer observed around the exposed substrate existing in the center of the wear scar However, the presence of a substructure whose crack width is zero or small and an upper structure which is observed around the lower structure and has a crack width larger than that of the lower structure, thereby generating a crack in the upper structure, thereby carbonitriding. Residual stress generated between the titanium layer and the upper aluminum oxide layer is released, and the base, especially gray cast iron (FC material) and ductile cast iron (FCD) ) Severe cutting conditions such as heavy interrupted cutting of metal such as cast iron in which high-hardness graphite particles are dispersed, such as severe cutting conditions that apply a strong impact to the cutting edge, continuous cutting conditions, and these intermittent and continuous cutting Under the combined cutting conditions, even if a sudden large impact is applied to the hard coating layer, a new large crack is generated and the hard coating layer is absorbed without chipping or chipping. As a result, the presence of the lower structure of the titanium carbonitride layer in which cracks are difficult to generate prevents the progress of cracks generated in the upper structure, so that the titanium carbonitride layer does not chip or peel off. In addition to preventing chipping and peeling of the entire hard coating layer, it has excellent chipping and chipping resistance that maintains the wear resistance of the entire hard coating layer. Cutting tools that can be obtained.

本発明の表面被覆切削工具の一例についておよびカロテストの摩耗痕の金属顕微鏡像である図1((a)は本発明例、(b)は比較例)、硬質被覆層を含む破断面の走査型電子顕微鏡(SEM)写真である図2を基に説明する。   FIG. 1 (a is an example of the present invention, (b) is a comparative example) of an example of a surface-coated cutting tool of the present invention and a metallographic image of a wear mark of Calotest, a scanning surface of a fractured surface including a hard coating layer Description will be made based on FIG. 2 which is an electron microscope (SEM) photograph.

図1、2によれば、表面被覆切削工具(以下、単に工具と略す。)1は、炭化タングステン(WC)と、所望により周期律表第4a、5a、6a族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物の群から選ばれる少なくとも1種からなる硬質相をコバルト(Co)および/またはニッケル(Ni)等の鉄属金属からなる結合相にて結合させた超硬合金や、Ti基サーメット、または窒化ケイ素、酸化アルミニウム、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素等のセラミックスのいずれかからなる基体2の表面に硬質被覆層3を化学蒸着法(CVD)にて被着形成したものである。   According to FIGS. 1 and 2, a surface-coated cutting tool (hereinafter simply abbreviated as a tool) 1 includes tungsten carbide (WC) and, if desired, carbides, nitrides of Group 4a, 5a, and 6a metals in the periodic table. A cemented carbide obtained by bonding a hard phase composed of at least one selected from the group of carbonitrides with a binder phase composed of an iron group metal such as cobalt (Co) and / or nickel (Ni), a Ti-based cermet, Alternatively, the hard coating layer 3 is formed by chemical vapor deposition (CVD) on the surface of the substrate 2 made of ceramics such as silicon nitride, aluminum oxide, diamond, cubic boron nitride or the like.

本実施態様によれば、図2に示すように、硬質被覆層3として少なくとも炭窒化チタン(TiCN)層4およびその上層として酸化アルミニウム層6を有している。また、図1はカロテストの摩耗痕7を金属顕微鏡または走査型電子顕微鏡により例えば倍率4〜50倍(図1では5倍)で観察したものである。   According to this embodiment, as shown in FIG. 2, the hard coating layer 3 has at least a titanium carbonitride (TiCN) layer 4 and an aluminum oxide layer 6 as an upper layer thereof. Further, FIG. 1 shows the wear scar 7 of the Calotest observed with a metal microscope or a scanning electron microscope, for example, at a magnification of 4 to 50 times (5 times in FIG. 1).

また、本発明の評価項目として規定するカロテストとは、図3に示すように、工具1の表面、すなわち硬質被覆層3の表面に金属製または超硬合金製の硬質球13を接触させた状態で硬質球13を支持する支持棒14を回転させて硬質球13をころがしながら自転させることによって、工具1を局所的に摩耗させ、図1に示すように摩耗痕7の中心に基体2が露出するように硬質被覆層3を球曲面に摩耗させたものであり、一般的にはこの摩耗痕7中に観察される硬質被覆層3の各層の幅を観察することによって各層の膜厚を見積もる方法である。   In addition, as shown in FIG. 3, the calotest defined as the evaluation item of the present invention is a state in which a hard sphere 13 made of metal or cemented carbide is brought into contact with the surface of the tool 1, that is, the surface of the hard coating layer 3. The tool 1 is locally worn by rotating the support rod 14 supporting the hard sphere 13 and rotating the hard sphere 13 while rolling, and the base 2 is exposed at the center of the wear mark 7 as shown in FIG. In this way, the hard coating layer 3 is worn on a spherical curved surface, and generally the film thickness of each layer is estimated by observing the width of each layer of the hard coating layer 3 observed in the wear scar 7. Is the method.

本発明によれば、図1のようなカロテストの摩耗痕7の観察において、(a)のように摩耗痕7の中心に存在する露出した基体の外周位置に観察される炭窒化チタン層4に、クラック幅がゼロまたは小さい下部組織11と、下部組織11の外周位置に観察されて下部組織11よりもクラック幅が大きい上部組織12とが存在することが大きな特徴である。   According to the present invention, in the observation of the wear scar 7 of the Calotest as shown in FIG. 1, the titanium carbonitride layer 4 observed at the outer peripheral position of the exposed substrate existing at the center of the wear scar 7 as shown in FIG. A major feature is that the lower structure 11 having a zero or small crack width and the upper structure 12 observed at the outer peripheral position of the lower structure 11 and having a crack width larger than that of the lower structure 11 exist.

上記構成によって、コーティング後の冷却時に酸化アルミニウム層6と炭窒化チタン層4との熱膨張係数差に起因する残留応力が、炭窒化チタン層4の表面側である上部組織12にクラック5が発生することによって応力解放されて、例え突発的に大きな衝撃が硬質被覆層3にかかったときであっても新たに大きなクラックが発生して硬質被覆層がチッピングしたり欠損したりすることなく衝撃を吸収できるとともに、クラック5の生成しにくい炭窒化チタン層4の下部組織11が存在することによって、上部組織12にて生成したクラック5の進展が阻害されるために炭窒化チタン層4がチッピングや剥離することなく、結果的に硬質被覆層3全体のチッピングや剥離を防止できるとともに、硬質被覆層3全体の耐摩耗性が向上する結果、特にねずみ鋳鉄(FC材)やダクタイル鋳鉄(FCD材)のような高硬度黒鉛粒子が分散した鋳鉄等の重断続切削においても優れた耐欠損性および耐チッピング性を有する工具1が得られる。   With the above configuration, the residual stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the aluminum oxide layer 6 and the titanium carbonitride layer 4 is generated in the upper structure 12 on the surface side of the titanium carbonitride layer 4 during cooling after coating. Thus, even when a sudden large impact is applied to the hard coating layer 3, a new large crack is generated and the hard coating layer is not chipped or broken. The presence of the lower structure 11 of the titanium carbonitride layer 4 that can absorb and hardly generate the crack 5 prevents the progress of the crack 5 generated in the upper structure 12, so that the titanium carbonitride layer 4 is chipped or As a result, the chipping and peeling of the entire hard coating layer 3 can be prevented without peeling, and the wear resistance of the entire hard coating layer 3 is improved. Gray cast iron (FC material) and ductile iron tool 1 having the heavy intermittent excellent chipping resistance and chipping resistance even in the cutting of cast iron such as high hardness graphite particles are dispersed like (FCD material) is obtained.

すなわち、摩耗痕7の観察において、TiCN層4の上部組織12にクラック5がないと炭窒化チタン層4と酸化アルミニウム層6との間の残留応力が解放されず、硬質被覆層3に大きな衝撃が加わった場合に炭窒化チタン層4と酸化アルミニウム層6のいずれか、または両方に大きなクラック5が進展して硬質被覆層にチッピングが発生したり、欠損したりしやすくなる。また、図1(b)のように炭窒化チタン層4全体においてクラック5の生成割合が同じであると、上記酸化アルミニウム層6との残留応力に起因するクラック5が発生した際にクラック5が炭窒化チタン層4全体に進展してしまい、この場合にも硬質被覆層3にチッピングが発生したり、欠損したりしやすくなる。   That is, in the observation of the wear scar 7, if there is no crack 5 in the upper structure 12 of the TiCN layer 4, the residual stress between the titanium carbonitride layer 4 and the aluminum oxide layer 6 is not released, and the hard coating layer 3 has a large impact. Is added, a large crack 5 develops in one or both of the titanium carbonitride layer 4 and the aluminum oxide layer 6, and the hard coating layer is likely to be chipped or chipped. Moreover, when the generation ratio of the crack 5 is the same in the entire titanium carbonitride layer 4 as shown in FIG. 1B, the crack 5 is generated when the crack 5 due to the residual stress with the aluminum oxide layer 6 is generated. It progresses to the entire titanium carbonitride layer 4, and in this case also, the hard coating layer 3 is likely to be chipped or chipped.

なお、本発明によれば、上記カロテストの摩耗痕7として、摩耗痕7の中心に基体2が露出するように硬質被覆層3を球曲面に摩耗させた状態としたものであり、この摩耗痕7中に含まれる硬質被覆層3の各層の摩耗、剥離、クラック5の進展状態等を各層ごとに観察することにより、硬質被覆層3の性状および特性を評価できることを見出したものである。   According to the present invention, the wear mark 7 of the calotest is a state in which the hard coating layer 3 is worn on the spherical curved surface so that the base 2 is exposed at the center of the wear mark 7. It was found that the properties and characteristics of the hard coating layer 3 can be evaluated by observing the wear, delamination, and the progress of cracks 5 of each layer of the hard coating layer 3 included in 7 for each layer.

ここで、露出した基体2の大きさが大きすぎたり、小さすぎたりすると、炭窒化チタン層4中のクラック5を正確に観察することができない場合があるため、摩耗痕7中に露出する基体2の直径が摩耗痕7全体の直径の0.1倍〜0.6倍になるようにカロテストの摩耗条件(時間、硬質球の種類、研磨剤等)を調節するのがよい。   Here, since the crack 5 in the titanium carbonitride layer 4 may not be observed accurately if the size of the exposed substrate 2 is too large or too small, the substrate exposed in the wear scar 7. It is preferable to adjust the wear conditions (time, type of hard sphere, abrasive, etc.) of the calotest so that the diameter of 2 is 0.1 to 0.6 times the diameter of the entire wear scar 7.

また、図2の硬質被覆層3の組織を説明するための図面代用走査型電子顕微鏡写真(SEM)に記載されるように、炭窒化チタン層4の下部組織11にて観察されるクラック幅wが、上部組織12にて観察されるクラック幅bに対する比(b/b)で1/2以下、特に1/3以下であることが、炭窒化チタン層4と酸化アルミニウム層6との密着性を高めることができるとともに、炭窒化チタン層4自身のクラック5の進展を抑制することもでき、硬質被覆層3全体の耐チッピング性、耐欠損性が向上するとともに、耐摩耗性が維持されるために望ましい。 Further, as described in a drawing-substitute scanning electron micrograph (SEM) for explaining the structure of the hard coating layer 3 in FIG. 2, the crack width w observed in the lower structure 11 of the titanium carbonitride layer 4. 1 is 1/2 or less, particularly 1/3 or less in terms of the ratio (b 1 / b 2 ) to the crack width b 2 observed in the upper structure 12, the titanium carbonitride layer 4 and the aluminum oxide layer 6. In addition to improving the adhesion to the titanium carbonitride layer 4, it is also possible to suppress the development of cracks 5 in the titanium carbonitride layer 4 itself, improving the chipping resistance and fracture resistance of the hard coating layer 3 as a whole, and wear resistance. Is desirable to maintain.

また、図1、2、または図1の要部拡大図である図3によれば、炭窒化チタン層4が、摩耗痕7中心に存在する露出した基体2の外周位置に観察されてクラック幅がゼロまたは小さい下部炭窒化チタン層(以下、単に下部層と略す。)15と、下部層15の周囲に観察されて下部層15よりもクラック幅が大きい上部炭窒化チタン層(以下、単に上部層と略す。)16との複数層が存在した状態となっており、この構成によって、炭窒化チタン層4の上部にて生成したクラック5が進展して下部にまで達してしまうことなく、確実に硬質被覆層3のチッピングや欠損を防止できる。   Further, according to FIG. 3, which is an enlarged view of the main part of FIG. 1, 2 or FIG. 1, the titanium carbonitride layer 4 is observed at the outer peripheral position of the exposed base 2 existing at the center of the wear scar 7 and crack width And a lower titanium carbonitride layer (hereinafter simply referred to as a lower layer) 15 and an upper titanium carbonitride layer (hereinafter simply referred to as an upper layer) that is observed around the lower layer 15 and has a crack width larger than that of the lower layer 15. (This is abbreviated as a layer.) With this structure, the crack 5 generated in the upper part of the titanium carbonitride layer 4 does not progress and reach the lower part. In addition, chipping and chipping of the hard coating layer 3 can be prevented.

さらに、上部層16の膜厚tが0.5μm≦t≦5μm、下部層15の膜厚tが1μm≦t≦10μmで、かつ、1<t/t≦5の関係を満たすことが、炭窒化チタン層4と酸化アルミニウム層6との密着性を高め、かつ炭窒化チタン層4自身のクラック5の進展を抑制することもでき、硬質被覆層3全体の耐衝撃性を高めて、工具1全体としてのチッピングや欠損を防止し、かつ高い耐摩耗性を維持することができるために望ましい。 Further, the thickness t 2 of the upper layer 16 is 0.5 μm ≦ t 2 ≦ 5 μm, the thickness t 1 of the lower layer 15 is 1 μm ≦ t 1 ≦ 10 μm, and 1 <t 1 / t 2 ≦ 5. Satisfying the condition can improve the adhesion between the titanium carbonitride layer 4 and the aluminum oxide layer 6 and can suppress the development of the crack 5 of the titanium carbonitride layer 4 itself, and the impact resistance of the hard coating layer 3 as a whole. This is desirable because it can prevent chipping and chipping of the tool 1 as a whole and maintain high wear resistance.

また、図4に示すように、炭窒化チタン層4が基体2表面に対して垂直に伸びる筋状組織の炭窒化チタン粒子からなるとともに、上部層16が炭窒化チタン粒子の平均結晶幅wが大きい筋状組織からなり、下部層15が炭窒化チタン粒子の平均結晶幅wが小さい筋状組織からなることが、上部層16に生成したクラック5が下部層15に進展することを抑制できるとともに、酸化アルミニウム層6と炭窒化チタン層4との残留応力を低減してクラックの発生を最小限に抑えて両者間の付着力を制御できる。これによって、硬質被覆層3の耐摩耗性と耐剥離性を高めて、工具1全体としての耐摩耗性と耐欠損性を最適な状態にすることができるために望ましい。 As shown in FIG. 4, the titanium carbonitride layer 4 is composed of titanium carbonitride particles having a streak structure extending perpendicularly to the surface of the substrate 2, and the upper layer 16 is an average crystal width w 1 of the titanium carbonitride particles. The lower layer 15 is formed of a streak structure in which the average crystal width w 2 of the titanium carbonitride particles is small, so that the crack 5 generated in the upper layer 16 is prevented from progressing to the lower layer 15. In addition, the residual stress between the aluminum oxide layer 6 and the titanium carbonitride layer 4 can be reduced to minimize the occurrence of cracks and control the adhesion between them. This is desirable because the wear resistance and delamination resistance of the hard coating layer 3 can be improved, and the wear resistance and fracture resistance of the tool 1 as a whole can be brought into an optimum state.

ここで、基体2表面に対して垂直に伸びる筋状組織の炭窒化チタン粒子とは、基体2との界面に対して垂直な方向の結晶長さ/平均結晶幅=アスペクト比が2以上の結晶組織を指す。また、図2に示すような硬質被覆層3の断面組織観察にて、粒状炭窒化チタン結晶が30面積%以下の割合で混合した混晶であってもよい。   Here, the titanium carbonitride particles having a streak structure extending perpendicularly to the surface of the substrate 2 are crystals having a crystal length in the direction perpendicular to the interface with the substrate 2 / average crystal width = aspect ratio of 2 or more. Refers to an organization. Moreover, in the cross-sectional structure | tissue observation of the hard coating layer 3 as shown in FIG. 2, the mixed crystal which the granular titanium carbonitride crystal mixed in the ratio of 30 area% or less may be sufficient.

なお、この場合には、炭窒化チタン層4中の上部層16における平均結晶幅wが0.2〜1.5μm、特に0.2〜0.5μmであり、かつ、下部層15における平均結晶幅wが上部層16の平均結晶幅wの0.7倍以下であることが、炭窒化チタン層4自身の耐欠損性および耐チッピング性を高めることができるとともに、酸化アルミニウム層6との付着力を制御して、硬質被覆層3全体としての耐摩耗性および耐欠損性を高めるために望ましい。 In this case, the average crystal width w 2 in the upper layer 16 in the titanium carbonitride layer 4 is 0.2 to 1.5 μm, particularly 0.2 to 0.5 μm, and the average in the lower layer 15 is When the crystal width w 1 is 0.7 times or less of the average crystal width w 2 of the upper layer 16, the fracture resistance and chipping resistance of the titanium carbonitride layer 4 itself can be improved, and the aluminum oxide layer 6 It is desirable to control the adhesion force between the hard coating layer 3 and the wear resistance and fracture resistance of the hard coating layer 3 as a whole.

また、本発明において筋状結晶からなる炭窒化チタン粒子の平均結晶幅を測定する方法としては、硬質被覆層3を含む断面について走査型電子顕微鏡写真観察を行い、炭窒化チタン層4の各高さ領域において基体2と硬質被覆層3との界面と平行な直線を引き(図4の線分A、B参照)、この線分上にある各粒子の幅の平均値、すなわち線分長さを線分上を横切る粒界の数で割った値を平均結晶幅wとする。   Further, in the present invention, as a method for measuring the average crystal width of the titanium carbonitride particles comprising streak-like crystals, the cross section including the hard coating layer 3 is observed with a scanning electron micrograph, A straight line parallel to the interface between the substrate 2 and the hard coating layer 3 is drawn in the thickness region (see line segments A and B in FIG. 4), and the average value of the width of each particle on the line segment, that is, the line segment length Is divided by the number of grain boundaries crossing the line segment to be the average crystal width w.

また、炭窒化チタン層4をTi(C1−x)と表したとき、下部層15においてxが0.55〜0.80、上部層16においてxが0.40〜0.55の組成からなることが、上部層16に生成したクラックが下部層15に進展することを抑制し、硬質被覆層3の耐チッピング性および耐欠損性を高めるために望ましい。 Further, when the titanium carbonitride layer 4 is expressed as Ti (C 1-x N x ), x is 0.55 to 0.80 in the lower layer 15, and x is 0.40 to 0.55 in the upper layer 16. The composition is desirable in order to suppress the crack generated in the upper layer 16 from progressing to the lower layer 15 and to improve the chipping resistance and fracture resistance of the hard coating layer 3.

さらに、酸化アルミニウム層6のスクラッチ試験における付着力が10〜50Nであることによって、連続切削においては硬質被覆層3の剥離を抑制できて耐摩耗性を高め、断続切削においては酸化アルミニウム層6が適度の剥離を生じさせることで基体2までに至る硬質層3の剥離を抑制させることができ、耐欠損性および耐チッピング性が向上するために望ましい。   Furthermore, since the adhesion force in the scratch test of the aluminum oxide layer 6 is 10 to 50 N, peeling of the hard coating layer 3 can be suppressed in continuous cutting and the wear resistance is improved. In the intermittent cutting, the aluminum oxide layer 6 is By causing moderate peeling, it is possible to suppress the peeling of the hard layer 3 that reaches the substrate 2, which is desirable because the chipping resistance and chipping resistance are improved.

ここで、前記カロテストの摩耗痕観察において、酸化アルミニウム層6の炭窒化チタン層4との界面から酸化アルミニウム層6の内部にわたってクラックが観察されることが、炭窒化チタン層4と酸化アルミニウム層6との界面に発生する残留応力を効果的に解消でき、かつ炭窒化チタン層4に過剰なクラックが発生することを防止して、炭窒化チタン層4のチッピングおよび剥離を防止できる点で望ましい。   Here, in the observation of wear marks in the calotest, it is observed that cracks are observed from the interface between the aluminum oxide layer 6 and the titanium carbonitride layer 4 to the inside of the aluminum oxide layer 6, that is, the titanium carbonitride layer 4 and the aluminum oxide layer 6. This is desirable in that it can effectively eliminate the residual stress generated at the interface with the carbon black and prevent excessive cracks from occurring in the titanium carbonitride layer 4 to prevent chipping and peeling of the titanium carbonitride layer 4.

また、基体2と炭窒化チタン層4との間、炭窒化チタン層4と酸化アルミニウム層6との層間、多層に形成された炭窒化チタン層の層間、酸化アルミニウム層の上層に、窒化チタン(TiN)層、炭化チタン(TiC)層、炭窒酸化チタン(TiCNO)層、炭酸化チタン(TiCO)層、窒酸化チタン(TiNO)層の群から選ばれる少なくとも1層、最下層18では特に窒化チタン層を介装することによって、基体2の成分の拡散防止、硬質被覆層3の各層間密着力の向上、炭窒化チタン層4、酸化アルミニウム層6の組織、結晶構造、密着力およびクラックの発生状態を制御する等が可能である。   Titanium nitride (between the substrate 2 and the titanium carbonitride layer 4, between the titanium carbonitride layer 4 and the aluminum oxide layer 6, between the titanium carbonitride layer formed in multiple layers, and above the aluminum oxide layer) At least one layer selected from the group consisting of a TiN) layer, a titanium carbide (TiC) layer, a titanium carbonitride oxide (TiCNO) layer, a titanium carbonate (TiCO) layer, and a titanium nitride oxide (TiNO) layer, and the lowermost layer 18 is particularly nitrided By interposing the titanium layer, the diffusion of the components of the substrate 2 is improved, the adhesion between the hard coating layers 3 is improved, the structure of the titanium carbonitride layer 4 and the aluminum oxide layer 6, the crystal structure, the adhesion and cracking. It is possible to control the occurrence state.

また、炭窒化チタン層4の上層として形成する酸化アルミニウム層6は、スクラッチ試験にて行った付着力の測定で10〜50N、特に、10〜30Nの付着力を有することが、連続切削中に膜剥離が発生せずに優れた耐摩耗性を発揮することができ、断続切削中には酸化アルミニウム層6のみが剥離し、強靭な炭窒化チタン層4は剥離することなく残存して摩耗が急激に進行することを抑制し、優れた耐欠損性を発揮することができるため望ましい。   In addition, the aluminum oxide layer 6 formed as the upper layer of the titanium carbonitride layer 4 has an adhesive force of 10 to 50 N, particularly 10 to 30 N as measured by an adhesive force measured in a scratch test. Excellent abrasion resistance can be exhibited without occurrence of film peeling, and only the aluminum oxide layer 6 peels during intermittent cutting, and the tough titanium carbonitride layer 4 remains without peeling and wear. This is desirable because it can suppress rapid progress and can exhibit excellent fracture resistance.

なお、上記スクラッチ試験とは、試料表面に触針を接触させた状態で一定の負荷をかけながら前記触針を一定の速度で試料表面をこすりながら傷をつけ、試料の硬質被覆層が剥離する負荷の値を剥離した層の付着力として読み取ることによって硬質被覆層中の各層の付着力を測定する試験法である。   The scratch test refers to scratching the stylus while rubbing the sample surface at a constant speed while applying a constant load while the stylus is in contact with the sample surface, and the hard coating layer of the sample is peeled off. This is a test method for measuring the adhesion of each layer in the hard coating layer by reading the load value as the adhesion of the peeled layer.

ここで、本発明に使用される酸化アルミニウム層6としては、結晶構造がα型であることが望ましい。従来ではα型結晶構造をもつ酸化アルミニウム結晶は優れた耐摩耗性を持つが、核生成によって生成する酸化アルミニウム結晶の粒径が大きいため酸化アルミニウム層6と炭窒化チタン層4との界面における粒子同士の接触面積が小さくなって付着力が弱くなってしまい酸化アルミニウム層6が膜剥離を起こしやすいものである。しかし、上記構成によれば、酸化アルミニウム層6中の酸化アルミニウム結晶をα型結晶構造としても酸化アルミニウム層6の付着力を10〜50Nの範囲に容易に制御することができ、工具寿命のより長い工具1を得ることができる。   Here, the aluminum oxide layer 6 used in the present invention desirably has an α-type crystal structure. Conventionally, an aluminum oxide crystal having an α-type crystal structure has excellent wear resistance, but the particle size at the interface between the aluminum oxide layer 6 and the titanium carbonitride layer 4 is large because the particle size of the aluminum oxide crystal produced by nucleation is large. The contact area between them becomes small and the adhesive force becomes weak, so that the aluminum oxide layer 6 is easily peeled off. However, according to the above configuration, even if the aluminum oxide crystal in the aluminum oxide layer 6 has an α-type crystal structure, the adhesive force of the aluminum oxide layer 6 can be easily controlled in the range of 10 to 50 N, and the tool life can be improved. A long tool 1 can be obtained.

なお、Al層6をα型結晶構造とする場合には、炭窒化チタン層4と酸化アルミニウム層6との間に0.2μm以下の炭酸化チタン層、酸窒化チタン層または炭酸窒化チタン層のいずれかよりなる中間層8を介装することにより安定してα型結晶構造を成長させることができる。また、酸化アルミニウム層6の層厚は3〜8μmであることが耐摩耗性、特に鋳鉄に対する耐摩耗性および耐溶着性を維持しつつ、膜剥離を防止して耐欠損性を高めることができる点で望ましい。 When the Al 2 O 3 layer 6 has an α-type crystal structure, a titanium carbonate layer, a titanium oxynitride layer, or a carbonitridation layer of 0.2 μm or less between the titanium carbonitride layer 4 and the aluminum oxide layer 6 is used. By interposing the intermediate layer 8 made of any of the titanium layers, the α-type crystal structure can be stably grown. Further, the thickness of the aluminum oxide layer 6 is 3 to 8 μm, and while maintaining wear resistance, particularly wear resistance and welding resistance to cast iron, film peeling can be prevented and chipping resistance can be improved. Desirable in terms.

また、炭窒化チタン層4と基体2の間に、付着力向上のおよび基体2成分の拡散による耐摩耗性の低下を防ぐため窒化チタン(TiN)層からなる最下層18を被覆することが望ましい。また、最下層18の層厚は0.1〜2μmの範囲であることが付着力の低下を防ぐ点で望ましい。   In addition, it is desirable to coat the lowermost layer 18 made of a titanium nitride (TiN) layer between the titanium carbonitride layer 4 and the substrate 2 in order to improve adhesion and prevent a decrease in wear resistance due to diffusion of components of the substrate 2. . In addition, it is desirable that the layer thickness of the lowermost layer 18 is in a range of 0.1 to 2 μm from the viewpoint of preventing a decrease in adhesive force.

また、硬質被覆層3の最表面層19として窒化チタン層を形成することによって、工具1が金色を呈するため、工具1を使用したときに変色して使用済みかどうかの判別がつきやすく、また、摩耗の進行を容易に確認できるため望ましい。   In addition, by forming a titanium nitride layer as the outermost surface layer 19 of the hard coating layer 3, the tool 1 exhibits a gold color, so that it is easy to determine whether the tool 1 has been discolored and used, It is desirable because the progress of wear can be easily confirmed.

(製造方法)
また、上述した表面被覆切削工具を製造するには、まず、上述した硬質合金を焼成によって形成しうる金属炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物等の無機物粉末に、金属粉末、カーボン粉末等を適宜添加、混合し、プレス成形、鋳込成形、押出成形、冷間静水圧プレス成形等の公知の成形方法によって所定の工具形状に成形した後、真空中または非酸化性雰囲気中にて焼成することによって上述した硬質合金からなる基体2を作製する。
(Production method)
In order to manufacture the above-mentioned surface-coated cutting tool, first, an inorganic powder such as a metal carbide, nitride, carbonitride, oxide, etc. that can form the above-mentioned hard alloy by firing, metal powder, carbon powder, etc. Are added and mixed as appropriate, and then molded into a predetermined tool shape by a known molding method such as press molding, cast molding, extrusion molding, or cold isostatic pressing, and then fired in a vacuum or non-oxidizing atmosphere. By doing so, the base body 2 made of the hard alloy described above is produced.

次に、上記基体2の表面を所望によって研磨加工した後、その表面に例えば化学気相蒸着(CVD)法によって硬質被覆層3を成膜する。筋状炭窒化チタン層4の成膜条件は、例えば、反応ガス組成として、体積%で塩化チタン(TiCl)ガスを0.1〜10体積%、窒素(N)ガスを0〜60体積%、メタン(CH)ガスを0〜0.1体積%、アセトニトリル(CHCN)ガスを0.1〜3体積%、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを調整して反応チャンバ内に導入し、チャンバ内を800〜1100℃、5〜85kPaにて成膜する。 Next, after polishing the surface of the base 2 as desired, the hard coating layer 3 is formed on the surface by, for example, chemical vapor deposition (CVD). The film formation conditions of the streaky titanium carbonitride layer 4 are, for example, 0.1% to 10% by volume of titanium chloride (TiCl 4 ) gas and 0% to 60% of nitrogen (N 2 ) gas as a reaction gas composition. %, Methane (CH 4 ) gas is 0 to 0.1% by volume, acetonitrile (CH 3 CN) gas is 0.1 to 3% by volume, and the balance is hydrogen (H 2 ) gas to adjust the reaction It introduce | transduces in a chamber and forms into a film at 800-1100 degreeC and 5-85 kPa inside the chamber.

ここで、本実施形態では、炭窒化チタン層の成膜前期(下部層11の成膜)に使用する反応ガス中のCHCNの割合よりも炭窒化チタン層の成膜後期(上部層12の成膜)に使用する反応ガス中のアセトニトリル(CHCN)ガスの混合割合を増やすことによって、下部層11よりも上部層12の炭窒化チタン粒子の粒径を大きくする。 Here, in the present embodiment, the film formation late stage of the titanium carbonitride layer (upper layer 12) is higher than the proportion of CH 3 CN in the reaction gas used in the film formation early period of the titanium carbonitride layer (film formation of the lower layer 11). The particle diameter of the titanium carbonitride particles in the upper layer 12 is made larger than that in the lower layer 11 by increasing the mixing ratio of acetonitrile (CH 3 CN) gas in the reaction gas used for the film formation.

具体的には、炭窒化チタン層の成膜前期に使用するアセトニトリルガスの導入割合に対して炭窒化チタン層の成膜後期時に導入するアセトニトリルガスの割合を1.5倍以上とすることにより制御可能である。   Specifically, it is controlled by setting the ratio of acetonitrile gas introduced at the latter stage of the formation of the titanium carbonitride layer to 1.5 times or more with respect to the introduction ratio of acetonitrile gas used at the first stage of the formation of the titanium carbonitride layer. Is possible.

ここで、上記成膜条件のうち、反応ガス中のアセトニトリルガスの割合が0.1体積%より少ないと筋状炭窒化チタン結晶に成長させることができず粒状結晶となる。逆に反応ガス中のアセトニトリルガスの混合割合が3体積%を超えると炭窒化チタン結晶の平均結晶幅が大きくなって、その比を制御することができない。   Here, if the ratio of acetonitrile gas in the reaction gas is less than 0.1% by volume among the above film forming conditions, it cannot be grown into a streaky titanium carbonitride crystal and becomes a granular crystal. Conversely, if the mixing ratio of acetonitrile gas in the reaction gas exceeds 3% by volume, the average crystal width of the titanium carbonitride crystal becomes large, and the ratio cannot be controlled.

なお、反応ガス中のアセトニトリルガス導入量の変化に代えて、成膜温度を成膜前期よりも成膜後期において高めるといった方法によっても炭窒化チタン結晶の平均結晶幅を所定の構成に制御することが可能である。   Note that the average crystal width of the titanium carbonitride crystal can be controlled to a predetermined configuration by a method in which the film formation temperature is increased in the later stage of film formation rather than in the earlier stage of film formation instead of changing the amount of acetonitrile gas introduced into the reaction gas. Is possible.

そして、本発明によれば、引き続き、酸化アルミニウム層6を成膜する。酸化アルミニウム層6の成膜方法としては、塩化アルミニウム(AlCl)ガスを3〜20体積%、塩化水素(HCl)ガスを0.5〜3.5体積%、二酸化炭素(CO)ガスを0.01〜5.0体積%、硫化水素(HS)ガスを0〜0.01体積%、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを用い、900〜1100℃、5〜10kPaとすることが望ましい。 And according to this invention, the aluminum oxide layer 6 is formed into a film continuously. As a method of forming the aluminum oxide layer 6, 3 to 20% by volume of aluminum chloride (AlCl 3 ) gas, 0.5 to 3.5% by volume of hydrogen chloride (HCl) gas, and carbon dioxide (CO 2 ) gas are used. Using a mixed gas composed of 0.01 to 5.0% by volume, 0 to 0.01% by volume of hydrogen sulfide (H 2 S) gas, and the remainder consisting of hydrogen (H 2 ) gas, 900 to 1100 ° C. and 5 to 10 kPa Is desirable.

また、窒化チタン(TiN)層を成膜するには、反応ガス組成として塩化チタン(TiCl)ガスを0.1〜10体積%、窒素(N)ガスを0〜60体積%、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを順次調整して反応チャンバ内に導入し、チャンバ内を800〜1100℃、5〜85kPaとすればよい。 Further, in order to form a titanium nitride (TiN) layer, the reaction gas composition is 0.1 to 10% by volume of titanium chloride (TiCl 4 ) gas, 0 to 60% by volume of nitrogen (N 2 ) gas, and the rest A mixed gas composed of hydrogen (H 2 ) gas is sequentially adjusted and introduced into the reaction chamber, and the inside of the chamber may be set to 800 to 1100 ° C. and 5 to 85 kPa.

さらに、炭酸窒化チタン(TiCNO層を成膜するには、塩化チタン(TiCl)ガスを0.1〜3体積%、メタン(CH)ガスを0.1〜10体積%、二酸化炭素(CO
ガスを0.01〜5体積%、窒素(N)ガスを0〜60体積%、残りが水素(H)ガスからなる混合ガスを順次調整して反応チャンバ内に導入し、チャンバ内を800〜1100℃、5〜85kPaとすればよい。
Further, titanium carbonitride (for forming a TiCNO layer, titanium chloride (TiCl 4 ) gas is 0.1 to 3% by volume, methane (CH 4 ) gas is 0.1 to 10% by volume, carbon dioxide (CO 2 )
A mixed gas consisting of 0.01 to 5% by volume of gas, 0 to 60% by volume of nitrogen (N 2 ) gas, and the remainder of hydrogen (H 2 ) gas is sequentially adjusted and introduced into the reaction chamber. What is necessary is just to set it as 800-1100 degreeC and 5-85 kPa.

このとき、上述した方法に加えて、上記化学蒸着法にて硬質被覆層を成膜した後700℃までのチャンバの冷却速度を12〜30℃/分に制御することによって、炭窒化チタン層の組織を、上記カロテストにて所定のクラックが観察される組織に制御することができる。   At this time, in addition to the above-described method, after the hard coating layer is formed by the chemical vapor deposition method, the cooling rate of the chamber up to 700 ° C. is controlled to 12 to 30 ° C./min. A structure | tissue can be controlled to the structure | tissue by which a predetermined crack is observed by the said Calotest.

なお、本発明は上記実施態様に限定されるものではなく、例えば、上記説明においては成膜方法として化学蒸着(CVD)法を用いた場合について説明したが、硬質被覆層の一部または全部を物理蒸着(PVD)法によって形成したものであってもよい。   The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above description, the case where the chemical vapor deposition (CVD) method is used as the film forming method has been described. It may be formed by a physical vapor deposition (PVD) method.

平均粒径1.5μmの炭化タングステン(WC)粉末に対して、平均粒径1.2μmの金属コバルト(Co)粉末を6質量%、平均粒径2.0μmの炭化チタン(TiC)粉末を0.5質量%、TaC粉末を5質量%の割合で添加、混合して、プレス成形により切削工具形状(CNMA120412)に成形した後、脱バインダ処理を施し、0.01Paの真空中、1500℃で1時間焼成して超硬合金を作製した。さらに、作製した超硬合金にブラシ加工にて刃先処理(ホーニングR)を施した。   6% by mass of metallic cobalt (Co) powder with an average particle size of 1.2 μm and 0% of titanium carbide (TiC) powder with an average particle size of 2.0 μm with respect to tungsten carbide (WC) powder with an average particle size of 1.5 μm. .5% by mass, TaC powder was added and mixed at a rate of 5% by mass, formed into a cutting tool shape (CNMA120204) by press molding, and then subjected to binder removal treatment at 1500 ° C. in a vacuum of 0.01 Pa. A cemented carbide was prepared by firing for 1 hour. Further, the prepared cemented carbide was subjected to blade edge processing (Honing R) by brushing.

そして、上記超硬合金に対して、CVD法により各種の硬質被覆層を表1に示す条件で表2に示す構成の多層膜からなる硬質被覆層を成膜した試料No.1〜8の表面被覆切削工具を作製した。

Figure 2005186221
And for the above cemented carbide, sample No. 1 was formed by forming a hard coating layer composed of a multilayer film having the structure shown in Table 2 under the conditions shown in Table 1 on the various hard coating layers by the CVD method. 1 to 8 surface-coated cutting tools were produced.
Figure 2005186221

得られた工具について、硬質被覆層の断面を含む任意破断面または研磨面5ヵ所について走査型電子顕微鏡(SEM)写真を撮り、各写真おいてTiCN層の組織を観察した。このとき、炭窒化チタン層の総膜厚に対して基体側から総膜厚の1/5の高さ位置と酸化アルミニウム層(表面)側から総膜厚の1/5の高さ位置にそれぞれ図2に示すような線Aおよび線Bを引いて、それぞれの線分上を横切る粒界数を測定して炭窒化チタン結晶の結晶幅に換算した値を算出し、写真5ヶ所についてそれぞれ算出した結晶幅の平均値を平均結晶幅(w、w)として算出した。 About the obtained tool, the scanning electron microscope (SEM) photograph was taken about the arbitrary fractured surfaces including the cross section of a hard coating layer, or 5 places of grinding | polishing surfaces, and the structure | tissue of the TiCN layer was observed in each photograph. At this time, the height of the total thickness of the titanium carbonitride layer is 1/5 of the total thickness from the substrate side and the height of 1/5 of the total thickness from the aluminum oxide layer (surface) side, respectively. The line A and the line B as shown in FIG. 2 are drawn, the number of grain boundaries crossing each line segment is measured, and the value converted into the crystal width of the titanium carbonitride crystal is calculated. The average value of the obtained crystal widths was calculated as the average crystal width (w 1 , w 2 ).

上記金属顕微鏡写真またはSEM写真にて炭窒化チタン層が単層か多層かを確認し、多層である場合には、上部層と下部層との膜厚t、tを測定し、関係式t/tの値を計算した。なお、炭窒化チタン層の観察において層境界が明確でない場合には、上記破断面を研磨して鏡面状態とし、さらにアルカリ赤血塩溶液(村上(?)試薬:10%KOH+10%KFe(CN))によるエッチング処理を施した状態とし、これを金属顕微鏡またはSEMにて観察した。結果は表2に示した。 Whether the titanium carbonitride layer is a single layer or a multilayer is confirmed by the above metal micrograph or SEM photograph. If the titanium carbonitride layer is a multilayer, the film thicknesses t 2 and t 1 of the upper layer and the lower layer are measured, and the relational expression The value of t 1 / t 2 was calculated. Note that when the layer boundaries in the observation of the titanium carbonitride layer is not clear, the mirror surface by polishing the fracture surface, further alkaline potassium ferricyanide solution (Murakami () Reagent:? 10% KOH + 10% K 3 Fe The etching treatment according to (CN) 6 ) was performed, and this was observed with a metallographic microscope or SEM. The results are shown in Table 2.

また、上記表面被覆切削工具の硬質被覆層のクラック状態を、下記条件で行ったカロテスト試験によって生じた摩耗痕を金属顕微鏡またはSEMにて観察し、カロテスト摩耗痕で観察される炭窒化チタン層の下部組織と上部組織におけるクラックの幅b、bをそれぞれ測定した。結果は表2に示した。 In addition, the crack state of the hard coating layer of the surface-coated cutting tool was observed with a metal microscope or SEM for the wear scar generated by the calotest test performed under the following conditions, and the titanium carbonitride layer observed with the calotest wear scar was observed. The widths b 1 and b 2 of the cracks in the lower structure and the upper structure were measured, respectively. The results are shown in Table 2.

装置:ナノテック社製CSEM−CALOTEST
鋼球
直径30mm球形鋼玉
ダイヤモンドペースト 1/4MICRON
摩耗痕中に露出する基体の直径が摩耗痕全体の直径に対して0.1〜0.6倍、(今回の測定では0.3〜0.7mm)となるように摩耗させた状態でクラックを観察した。なお、前記クラックの幅については、摩耗痕の炭窒化チタン層領域の基体(内)側から1/5長さの位置に存在するクラック幅の平均値=b、摩耗痕7の炭窒化チタン層領域の酸化アルミニウム層(外)側から1/5長さの位置に存在するクラック幅の平均値=bとして算出した。結果は表2に示した。
Equipment: CSEM-CALOTEST manufactured by Nanotech
Steel balls 30 mm diameter spherical steel balls Diamond paste 1/4 MICRON
Cracks in a worn state so that the diameter of the substrate exposed in the wear scar is 0.1 to 0.6 times the diameter of the entire wear scar (0.3 to 0.7 mm in this measurement) Was observed. Incidentally, the width of the cracks, the average value = b 1, titanium carbonitride of wear scar 7 crack width at the position of 1/5 length from the substrate (in) side of the titanium carbonitride layer region of the wear track aluminum oxide layer of the layer region was calculated as the average value = b 2 crack width at the position of the (outer) side 1/5 length. The results are shown in Table 2.

さらに、硬質被覆層の付着力を、下記条件のスクラッチ試験によって測定した。結果は表2に示した。   Furthermore, the adhesive force of the hard coating layer was measured by a scratch test under the following conditions. The results are shown in Table 2.

装置:ナノテック社製CSEM−REVETEST
測定条件
テーブルスピード:0.17mm/sec
荷重スピード100N/min
圧子
円錐形ダイヤモンド圧子(東京ダイヤモンド工具製作所社製ダイヤモンド接触子:N2−1487)
曲率半径:0.2mm
稜線角度:120°

Figure 2005186221
Apparatus: CSEM-REVETEST manufactured by Nanotech
Measurement conditions Table speed: 0.17 mm / sec
Load speed 100N / min
Indenter Conical diamond indenter (Diamond contactor manufactured by Tokyo Diamond Tool Mfg. Co., Ltd .: N2-1487)
Curvature radius: 0.2mm
Ridge angle: 120 °
Figure 2005186221

なお、表2中の試料No.5は、表1の炭窒化チタン層6(TiCN6)の条件、すなわち、混合ガス中のアセトニトリル(CHCN)ガスの割合を連続的に増加させて作製した傾斜組織の炭窒化チタン層からなるものである。 In Table 2, the sample No. 5 consists of a titanium carbonitride layer having a gradient structure prepared by continuously increasing the conditions of the titanium carbonitride layer 6 (TiCN6) in Table 1, that is, the ratio of acetonitrile (CH 3 CN) gas in the mixed gas continuously. Is.

そして、この切削工具を用いて下記の条件により、連続切削試験および断続切削試験を行い、耐摩耗性および耐欠損性を評価した。   Then, using this cutting tool, a continuous cutting test and an intermittent cutting test were performed under the following conditions to evaluate the wear resistance and fracture resistance.

(連続切削試験)
被削材 :ダクタイル鋳鉄スリーブ材(FCD700)
工具形状:CNMA120412
切削速度:250m/分
送り速度:0.4mm/rev
切り込み:2mm
切削時間:20分
その他 :水溶性切削液使用
評価項目:顕微鏡にて切刃を観察し、フランク摩耗量・先端摩耗量を測定
(断続試験)
被削材 :ダクタイル鋳鉄4本溝付スリーブ材(FCD700)
工具形状:CNMA120412
切削速度:200m/分
送り速度:0.3〜0.5mm/rev
切り込み:2mm
その他 :水溶性切削液使用
評価項目:欠損に至る衝撃回数
衝撃回数1000回時点で顕微鏡にて切刃の硬質被覆層の剥離状態を観察

Figure 2005186221
(Continuous cutting test)
Work Material: Ductile Cast Iron Sleeve Material (FCD700)
Tool shape: CNMA120204
Cutting speed: 250 m / min Feed speed: 0.4 mm / rev
Cutting depth: 2mm
Cutting time: 20 minutes Others: Use of water-soluble cutting fluid Evaluation item: Observe the cutting edge with a microscope and measure the amount of flank wear and tip wear (intermittent test)
Work material: Ductile cast iron 4-slot sleeve material (FCD700)
Tool shape: CNMA120204
Cutting speed: 200 m / min Feeding speed: 0.3 to 0.5 mm / rev
Cutting depth: 2mm
Other: Use of water-soluble cutting fluid Evaluation item: Number of impacts leading to breakage
Observe the peeling state of the hard coating layer of the cutting edge with a microscope at the point of impact 1000 times
Figure 2005186221

表1〜3より、炭窒化チタン層単層からなり炭窒化チタン層全体にクラックが均一に存在する試料No.8では、切刃部の硬質被覆層に切削初期からチッピングが発生し、また、このチッピングが要因となって早期に欠損した。   From Tables 1 to 3, sample No. 1 consisting of a single layer of titanium carbonitride layer and having uniform cracks in the entire titanium carbonitride layer. In No. 8, chipping occurred in the hard coating layer of the cutting edge portion from the beginning of cutting, and the chipping occurred early due to this chipping.

また、成膜後から700℃までの冷却速度が10℃/分より遅い試料No.6では、クラックの発生が試料No.8よりも全体的に小さくなったがクラックの分布は一様であった。そして、切削においては微小チッピングが発生して衝撃回数1100回で欠損した。   In addition, the sample No. 1 whose cooling rate from the film formation to 700 ° C. is slower than 10 ° C./min. No. 6 indicates that the occurrence of cracks was sample No. The distribution of cracks was uniform although it was smaller overall than 8. In the cutting, fine chipping occurred and the chip was lost after 1100 impacts.

さらに、同じ成膜条件で炭窒化チタン層を2層成膜した試料No.7でも、カロテストの摩耗痕観察においてクラック幅は一様であり、やはりチッピングが発生して2500個加工した時点で欠損した。   Furthermore, Sample No. 2 in which two titanium carbonitride layers were formed under the same film formation conditions. In No. 7, the crack width was uniform in the observation of the wear marks of the Calotest, and chipping occurred again and chipped when 2500 pieces were processed.

これに対して、本発明に従い、炭窒化チタン層の基体側の下部組織(下部層)のクラック幅よりも、酸化アルミニウム層側の上部組織(上部層)クラック幅が大きい状態にした構成であるNo.1〜5では、いずれも硬質被覆層の剥離が発生せず、連続切削においても断続切削においても長寿命であり、耐欠損性および耐チッピング性とも優れた切削性能を有するものであった。特に、炭窒化チタン層を多層とした試料No.1〜4、中でも下部層のクラック幅が0.5μm以下と観察されにくくなっている試料2,3が最も耐摩耗性、耐欠損性ともに優れていた。   On the other hand, according to the present invention, the upper structure (upper layer) crack width on the aluminum oxide layer side is larger than the crack width of the lower structure (lower layer) on the substrate side of the titanium carbonitride layer. No. In Nos. 1 to 5, peeling of the hard coating layer did not occur, it had a long life both in continuous cutting and intermittent cutting, and had excellent cutting performance in both chipping resistance and chipping resistance. In particular, Sample No. 2 having a multilayered titanium carbonitride layer. Samples 2 and 3 in which the crack width of the lower layer was difficult to be observed as 1 to 4 and the crack width of 0.5 μm or less were the most excellent in both wear resistance and fracture resistance.

表面被覆切削工具をカロテストした摩耗痕の金属顕微鏡像((a)本発明例、(b)従来例)である。It is a metal-microscope image ((a) example of this invention, (b) conventional example) of the abrasion trace which carried out the calotest of the surface coating cutting tool. 本発明の表面被覆切削工具の破断面における硬質被覆層領域についての走査型電子顕微鏡像である。It is a scanning electron microscope image about the hard coating layer area | region in the torn surface of the surface coating cutting tool of this invention. カロテストの試験方法を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the testing method of a caro test. 図1の摩耗痕の金属顕微鏡像についての要部拡大写真である。It is a principal part enlarged photograph about the metal microscope image of the wear scar of FIG. 図4を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察した写真である。It is the photograph which observed FIG. 4 with the scanning electron microscope (SEM).

符号の説明Explanation of symbols

1: 表面被覆切削工具
2: 基体
3: 硬質被覆層
4: 炭窒化チタン層
5: クラック
6: 酸化アルミニウム層
7: 摩耗痕8: 中間層
11: 炭窒化チタン層の下部組織
12: 炭窒化チタン層の上部組織
13: 硬質球
14: 支持棒
15: 下部炭窒化チタン層(下部層)
16: 上部炭窒化チタン層(上部層)
18: 最下層
19: 最表面層
: 炭窒化チタン層の下部組織(基体側)における平均クラック幅
: 炭窒化チタン層の上部組織(酸化アルミニウム層側)における平均クラック幅
: 炭窒化チタン層の基体側の平均結晶幅
: 炭窒化チタン層のAl層側の平均結晶幅
: 炭窒化チタン層の下部層の膜厚
: 炭窒化チタン層の上部層の膜厚
1: Surface coating cutting tool 2: Substrate 3: Hard coating layer 4: Titanium carbonitride layer 5: Crack 6: Aluminum oxide layer 7: Wear scar 8: Intermediate layer 11: Substructure 12 of titanium carbonitride layer: Titanium carbonitride Layer upper structure 13: Hard sphere 14: Support rod 15: Lower titanium carbonitride layer (lower layer)
16: Upper titanium carbonitride layer (upper layer)
18: Lowermost layer 19: Outermost surface layer b 1 : Average crack width b 2 in the lower structure (substrate side) of the titanium carbonitride layer Average crack width w 1 in the upper structure (aluminum oxide layer side) of the titanium carbonitride layer: Average crystal width w 2 on the substrate side of the titanium carbonitride layer: Average crystal width t 1 on the Al 2 O 3 layer side of the titanium carbonitride layer: Film thickness t 2 of the lower layer of the titanium carbonitride layer: of the titanium carbonitride layer Upper layer thickness

Claims (9)

基体の表面に少なくとも炭窒化チタン層と、その上層として酸化アルミニウム層とを含む硬質被覆層を有する表面被覆切削工具において、該表面被覆切削工具の表面に硬質球を接触させた状態で該硬質球をころがしながら自転させるように前記表面被覆切削工具の前記硬質球接触部分を局所的に摩耗させて、中心に前記基体が露出するように前記硬質被覆層に球曲面の摩耗痕を形成させるカロテストを行い、前記摩耗痕を観察した際、該摩耗痕の中心に存在する露出した基体の外周位置に観察される炭窒化チタン層に、クラック幅がゼロまたは小さい下部組織と、該下部組織の外周位置に観察されて前記下部組織よりもクラック幅が大きい上部組織とが存在することを特徴とする表面被覆切削工具。 In a surface-coated cutting tool having a hard coating layer including at least a titanium carbonitride layer on the surface of a substrate and an aluminum oxide layer as an upper layer thereof, the hard sphere is brought into contact with the surface of the surface-coated cutting tool. A carotest that locally wears the hard sphere contact portion of the surface-coated cutting tool so as to rotate while rolling, and forms a spherical curved wear mark on the hard coating layer so that the substrate is exposed at the center. And when the wear scar is observed, the titanium carbonitride layer observed at the outer peripheral position of the exposed substrate present at the center of the wear scar has a substructure with a zero or small crack width, and the outer peripheral position of the substructure. A surface-coated cutting tool characterized in that an upper structure having a crack width larger than that of the lower structure exists. 前記カロテストの摩耗痕観察において、前記炭窒化チタン層の下部組織中に観察されるクラックの幅が、前記上部組織中に観察されるクラックの幅に比べて1/2以下であること特徴とする請求項1記載の表面被覆切削工具。 In the observation of wear marks of the Calotest, the width of the crack observed in the lower structure of the titanium carbonitride layer is 1/2 or less than the width of the crack observed in the upper structure. The surface-coated cutting tool according to claim 1. 前記炭窒化チタン層が、前記摩耗痕中心に存在する露出した基体の周囲に観察されてクラック幅がゼロまたは小さい下部炭窒化チタン層と、該下部炭窒化チタン層の周囲に観察されて前記下部炭窒化チタン層よりもクラック幅が大きい上部炭窒化チタン層との複数層からなることを特徴とする請求項1または2に記載の表面被覆切削工具。 The titanium carbonitride layer is observed around the exposed substrate existing at the center of the wear scar, and the lower titanium carbonitride layer having a crack width of zero or small and the lower titanium carbonitride layer is observed around the lower titanium carbonitride layer. The surface-coated cutting tool according to claim 1 or 2, comprising a plurality of layers including an upper titanium carbonitride layer having a crack width larger than that of the titanium carbonitride layer. 前記下部炭窒化チタン層の膜厚tが1μm≦t≦10μm、前記上部炭窒化チタン層の膜厚tが0.5μm≦t≦5μmで、かつ、1<t/t≦5の関係を満たすことを特徴とする請求項3に記載の表面被覆切削工具。 The film thickness t 1 of the lower titanium carbonitride layer is 1 μm ≦ t 1 ≦ 10 μm, the film thickness t 2 of the upper titanium carbonitride layer is 0.5 μm ≦ t 2 ≦ 5 μm, and 1 <t 1 / t 2 The surface-coated cutting tool according to claim 3, wherein a relationship of ≦ 5 is satisfied. 前記炭窒化チタン層が前記基体表面に対して垂直に伸びる筋状組織の炭窒化チタン粒子からなるとともに、前記上部炭窒化チタン層をなす炭窒化チタン粒子の平均結晶幅が前記下部炭窒化チタン層をなす炭窒化チタン粒子の平均結晶幅より大きいことを特徴とする請求項3または4に記載の表面被覆切削工具。 The titanium carbonitride layer is composed of titanium carbonitride particles having a streak structure extending perpendicularly to the substrate surface, and the average crystal width of the titanium carbonitride particles forming the upper titanium carbonitride layer is the lower titanium carbonitride layer 5. The surface-coated cutting tool according to claim 3, wherein the surface-coated cutting tool is larger than an average crystal width of titanium carbonitride particles forming the following. 前記炭窒化チタン層中の前記上部層における平均結晶幅wが0.2〜1.5μmであり、かつ、前記下部炭窒化チタン層における平均結晶幅wが前記上部炭窒化チタン層の平均結晶幅wの0.7倍以下であることを特徴とする請求項5記載の表面被覆切削工具。 The average crystal width w 2 in the upper layer in the titanium carbonitride layer is 0.2 to 1.5 μm, and the average crystal width w 1 in the lower titanium carbonitride layer is the average of the upper titanium carbonitride layer. surface-coated cutting tool according to claim 5, wherein a is less than 0.7 times the crystal width w 2. 前記炭窒化チタン層をTi(C1−x)と表したとき、前記下部炭窒化チタン層におけるxが0.55〜0.80、前記上部炭窒化チタン層におけるxが0.40〜0.55の組成からなることを特徴とする請求項3乃至6のいずれかに記載の表面被覆切削工具。 When said titanium carbonitride layer was expressed as Ti (C 1-x N x ), x in the lower titanium carbonitride layer is 0.55 to 0.80, x in the upper titanium carbonitride layer is 0.40 The surface-coated cutting tool according to any one of claims 3 to 6, which has a composition of 0.55. 前記酸化アルミニウム層のスクラッチ試験における付着力が10〜50Nであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の表面被覆切削工具。 The surface-coated cutting tool according to any one of claims 1 to 7, wherein an adhesion force in the scratch test of the aluminum oxide layer is 10 to 50N. 前記カロテストの摩耗痕観察において、前記酸化アルミニウム層の前記炭窒化チタン層との界面から酸化アルミニウム層の内部にわたってクラックが観察されることを特徴とする請求項8に記載の表面被覆切削工具。 9. The surface-coated cutting tool according to claim 8, wherein cracks are observed from an interface between the aluminum oxide layer and the titanium carbonitride layer in the wear trace of the calotest from the inside of the aluminum oxide layer.
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