JP2005183125A - Plasma display panel and manufacturing method of same - Google Patents

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Masahiro Sakai
全弘 坂井
Seigo Shiraishi
誠吾 白石
Takehito Zukawa
武央 頭川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a PDP with high image quality restrained from deterioration in a passage of time, maintaining high light emission efficiency even in long termed operation, stable in a passage of time. <P>SOLUTION: A front panel 10 and a back panel 20 of the PDP 1 are arranged so as to face each other and sealed to form a discharge space 30 between them. A blue color phosphor layer 25B of the back panel 20 is composed of alkali earth metal aluminate phosphor, and a discharge gas composed of Ne-Xe (Xe: 10 to 30 vol.%) as main component, containing minute quantity (partial pressure of 0.05 Pa to 0.5 Pa) of O<SB>2</SB>is sealed in the discharge space 30 with a prescribed pressure (for example, in a level of 6.7×10<SP>4</SP>to 1.0×10<SP>5</SP>Pa). <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関し、特に、青色蛍光体層を構成する蛍光体としてユーロピウム(Eu)付活蛍光体Ba(1-x)SryEuzMgAl1017(0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦z)が用いられ、且つ、放電ガス中のXeの比率が10(体積%)以上である場合における放電ガスの組成に関する。 The present invention relates to a plasma display panel and a manufacturing method thereof, europium (Eu) -activated phosphor Ba (1-x) As phosphors of the blue phosphor layer Sr y Eu z MgAl 10 O 17 (0. 05 ≦ x ≦ 0.40, 0 ≦ y ≦ 0.25, 0.05 ≦ z ≦ 0.20, (x−y) ≦ z), and the ratio of Xe in the discharge gas is 10 ( It relates to the composition of the discharge gas in the case where it is equal to or greater than (volume%).

プラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」という。)は、直流(DC)型と交流(AC)型とに大別されるが、現在では、微細なセル構造を採ることが可能であり、高精細化に適したAC型が主流となっている。
AC型のPDPは、一般に、前面パネルと背面パネルとが、互いの間に放電空間を有する状態で対向配置され、互いの外周部どうしが封止された構造を有している。構成要素の内、前面パネルは、前面基板における一方の主表面上にストライプ状に表示電極が配され、この上を誘電体層及び保護層(MgO)で順に覆われた構造を有している。
Plasma display panels (hereinafter referred to as “PDP”) are roughly classified into direct current (DC) type and alternating current (AC) type, but at present, it is possible to adopt a fine cell structure, and high definition. The AC type suitable for conversion has become the mainstream.
In general, an AC type PDP has a structure in which a front panel and a back panel are arranged to face each other with a discharge space between them, and their outer peripheral portions are sealed. Among the components, the front panel has a structure in which display electrodes are arranged in a stripe shape on one main surface of the front substrate, and this is sequentially covered with a dielectric layer and a protective layer (MgO). .

一方、背面パネルは、背面基板の一方の主表面上にストライプ状のデータ電極が配され、この上が誘電体層で覆われ、さらにその上にデータ電極と並行する方向に伸びる隔壁が突設された構成を有している。そして、誘電体層と隔壁とで構成される溝部分の壁面には、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各蛍光体層が溝毎に分けて形成されている。
前面パネルと背面パネルとは、それぞれに配された表示電極とデータ電極とが互いに交差する方向に配置され、互いの外周部どうしで封着されている。そして、封着によってパネル間に形成される放電空間には、Ne−Xe系あるいはHe−Xe系の混合ガス(放電ガス)が封入されている。
On the other hand, the back panel has stripe-shaped data electrodes on one main surface of the back substrate, covered with a dielectric layer, and a partition wall extending in a direction parallel to the data electrodes. It has the structure which was made. The red (R), green (G), and blue (B) phosphor layers are formed separately for each groove on the wall surface of the groove formed by the dielectric layer and the partition walls.
The front panel and the back panel are arranged in the direction in which the display electrodes and the data electrodes arranged on each of the front panel and the rear panel intersect with each other, and are sealed with each other at the outer peripheral portions. Then, Ne—Xe-based or He—Xe-based mixed gas (discharge gas) is sealed in the discharge space formed between the panels by sealing.

ところで、PDPにおいては、その発光効率の向上が望まれており、その方策として、放電ガスの組成や用いる蛍光体の組成などについての研究・開発が行われている。この内、放電ガスの組成については、組成中におけるXe比率を10(体積%)以上まで高めることで紫外線発光効率を向上させ、もってPDPの発光効率の向上を図る研究・開発がなされている。   By the way, in the PDP, it is desired to improve the light emission efficiency, and as a measure therefor, research and development on the composition of the discharge gas, the composition of the phosphor used, and the like are being conducted. Among these, with respect to the composition of the discharge gas, research and development have been made to improve the ultraviolet light emission efficiency by increasing the Xe ratio in the composition to 10 (volume%) or more, thereby improving the light emission efficiency of the PDP.

一方、蛍光体の組成に関しては、特に青色蛍光体にBa(1-x)SryEuzMgAl1017(0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦z)の組成で示されるEu付活蛍光体を用いることで真空紫外領域における波長変換効率の向上を図り、PDPの発光効率を向上させるという研究・開発がなされている。ただし、上記組成の青色蛍光体は、PDPの駆動に伴って波長変換効率が経時的に劣化することが知られている。また、このような青色蛍光体が経時的に劣化するという現象は、紫外線発光効率を高めるために放電ガス中のキセノン(Xe)の含有比率を10(体積%)以上まで高めた場合に一層顕著に現れる。 On the other hand, with regard to the composition of the phosphor, especially a blue phosphor Ba (1-x) Sr y Eu z MgAl 10 O 17 (0.05 ≦ x ≦ 0.40,0 ≦ y ≦ 0.25,0.05 ≦ z ≦ 0.20, (x−y) ≦ z) By using an Eu-activated phosphor having a composition, the wavelength conversion efficiency in the vacuum ultraviolet region is improved and the luminous efficiency of the PDP is improved.・ Development has been made. However, it is known that the wavelength conversion efficiency of the blue phosphor having the above composition deteriorates with time as the PDP is driven. In addition, such a phenomenon that the blue phosphor deteriorates with time is more remarkable when the content ratio of xenon (Xe) in the discharge gas is increased to 10 (volume%) or more in order to increase the ultraviolet light emission efficiency. Appears in

これに対して、PDPなどにおける蛍光体の経時的な劣化を抑制するための方策としては、蛍光体原料に5(mol%)以下の比率でガドリニウム(Gd)を含有させる技術(特許文献1)、蛍光体粒子の表面をアルカリ土類金属などの2価金属珪酸塩で被覆する技術(特許文献2)、さらには、蛍光体粒子の表面をアンチモン(Sb)の酸化物からなる膜で被覆する技術(特許文献3)が開発されている。
特公平6−29418号公報 特開2000−34478号公報 特開平10−330746号公報
On the other hand, as a measure for suppressing deterioration of the phosphor over time in a PDP or the like, a technique in which gadolinium (Gd) is contained in the phosphor material at a ratio of 5 (mol%) or less (Patent Document 1). A technique for coating the surface of phosphor particles with a divalent metal silicate such as an alkaline earth metal (Patent Document 2), and further coating the surface of the phosphor particles with a film made of an oxide of antimony (Sb) Technology (Patent Document 3) has been developed.
Japanese Patent Publication No. 6-29418 JP 2000-34478 A JP-A-10-330746

しかしながら、上記特許文献1〜3の技術を用いたとしても、青色蛍光体の経時劣化を十分に抑制することは困難である。即ち、特許文献1、2の技術を適用した場合には、熱の影響による蛍光体の劣化を抑制することは出来ても、真空紫外線の照射に起因する蛍光体の劣化を抑制する効果を十分に得ることは出来ない。また、特許文献3の技術を適用し効果を得ようとする場合には、蛍光体表面に均一な膜厚でSb酸化物の膜を形成する必要があるが、このように蛍光体表面にSb酸化物の膜を均一な膜厚で形成することは現実的に困難である。加えて、特許文献3の技術では、色度変化と発光強度維持率とが相反する関係にあるという問題をも包含している。   However, even if the techniques disclosed in Patent Documents 1 to 3 are used, it is difficult to sufficiently suppress the deterioration over time of the blue phosphor. That is, when the techniques of Patent Documents 1 and 2 are applied, the phosphor can be prevented from deterioration due to heat, but the effect of suppressing phosphor deterioration due to vacuum ultraviolet irradiation is sufficient. Can not get to. In order to obtain the effect by applying the technique of Patent Document 3, it is necessary to form a Sb oxide film with a uniform film thickness on the phosphor surface. It is practically difficult to form an oxide film with a uniform thickness. In addition, the technique of Patent Document 3 includes a problem that the chromaticity change and the emission intensity maintenance rate are in a contradictory relationship.

本発明は、上記問題を解決しようとなされたものであって、経時的な蛍光体の劣化を抑制し、駆動が長期に及んだ場合にも高い発光効率が維持され、経時的に安定した高い画像品質を有するPDPおよびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and suppresses deterioration of the phosphor over time, and maintains high light emission efficiency even when driving is performed over a long period of time, and is stable over time. It is an object of the present invention to provide a PDP having a high image quality and a manufacturing method thereof.

本発明の発明者らは、上記課題を解決するための研究・開発の過程において、PDPの駆動に伴う青色蛍光体の劣化が、放電空間中の雰囲気と密接な関係を有することを見出した。即ち、完成後のPDPにおいては、放電空間あるいはこれを臨む種々の部分に製造段階での微量有機成分が残留しており、放電空間は、この有機成分の存在により、還元性の雰囲気を有する。そして、上記組成の青色蛍光体においては、その粒子表面およびその近傍に3価ユーロピウム(Eu(III))の酸化物が偏析され、この酸化物の存在によって真空紫外線からの蛍光体の保護がなされるのであるが、放電空間内の還元性雰囲気の影響を受けることによって、時間の経過とともに粒子表面から徐々に酸化物が破壊されて行く。上記組成の青色蛍光体は、この粒子表面およびその近傍のEu(III)の酸化物の破壊に伴って、真空紫外線の影響を受けることとなり、その波長変換効率が経時的に低下して行く。   The inventors of the present invention have found that in the course of research and development for solving the above problems, the deterioration of the blue phosphor accompanying the driving of the PDP has a close relationship with the atmosphere in the discharge space. That is, in the completed PDP, trace organic components at the manufacturing stage remain in the discharge space or various portions facing the discharge space, and the discharge space has a reducing atmosphere due to the presence of the organic component. In the blue phosphor having the above composition, an oxide of trivalent europium (Eu (III)) is segregated on and near the particle surface, and the presence of this oxide protects the phosphor from vacuum ultraviolet rays. However, due to the influence of the reducing atmosphere in the discharge space, the oxide is gradually destroyed from the particle surface over time. The blue phosphor having the above composition is affected by vacuum ultraviolet rays with the destruction of the oxide of Eu (III) in the vicinity of the particle surface and its wavelength, and the wavelength conversion efficiency decreases with time.

本発明は、本発明者らが見出した上記Eu付活蛍光体の経時的な劣化メカニズムを踏まえてなされたものであって、以下のような特徴を有する。
(1)放電空間内に放電ガスが充填されてなる密閉容器によって複数の放電セルが構成され、当該放電空間を臨む一部領域に青色蛍光体層が形成されてなるPDPにおいて、青色蛍光体層は、Ba(1-x)SryEuzMgAl1017(0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦z)で示される組成のEu付活蛍光体から構成され、放電ガスには、10体積%以上の比率でXeが含有されているとともに、0.05(Pa)以上0.5(Pa)以下の分圧で酸化性ガスが含有されていることを特徴とする。
The present invention has been made in consideration of the temporal degradation mechanism of the Eu-activated phosphor discovered by the present inventors, and has the following characteristics.
(1) In a PDP in which a plurality of discharge cells are configured by a sealed container in which a discharge gas is filled in a discharge space, and a blue phosphor layer is formed in a partial region facing the discharge space, the blue phosphor layer is, Ba (1-x) Sr y Eu z MgAl 10 O 17 (0.05 ≦ x ≦ 0.40,0 ≦ y ≦ 0.25,0.05 ≦ z ≦ 0.20, (x-y) ≦ z), the discharge gas contains Xe in a ratio of 10% by volume or more, and 0.05 (Pa) or more and 0.5 (Pa). An oxidizing gas is contained at the following partial pressure.

(2)上記(1)に係るPDPにおいて、Eu付活蛍光体が、0<y≦0.25の関係を満足する組成を有することを特徴とする。
(3)上記(1)または(2)に係るPDPにおいて、酸化性ガスは、酸素(O2)であることを特徴とする。
なお、このように酸化性ガスとしてO2を用いたPDPにおいては、O2に対して緩衝効果を有する水素(H2)、一酸化炭素(CO)、二酸化炭素(CO2)などの各残留量を、放電空間中において、O2量の1/10以下に設定しておくことが望ましい。
(2) The PDP according to (1) is characterized in that the Eu-activated phosphor has a composition that satisfies a relationship of 0 <y ≦ 0.25.
(3) In the PDP according to the above (1) or (2), the oxidizing gas is oxygen (O 2 ).
In addition, in the PDP using O 2 as the oxidizing gas in this way, each residual such as hydrogen (H 2 ), carbon monoxide (CO), carbon dioxide (CO 2 ) and the like having a buffering effect on O 2 . It is desirable that the amount be set to 1/10 or less of the O 2 amount in the discharge space.

(4)本発明に係るPDPの製造方法は、内部に放電空間を有し、且つ、当該放電空間を臨む壁面の一部領域にBa(1-x)SryEuzMgAl1017(0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦z)の組成を有するEu付活蛍光体からなる青色蛍光体層が形成された容器に対し、放電空間から残存ガスを排気する排気ステップと、排気ステップの後に、放電空間に対して、窒素(N2)を導入して行うN2パージと、不純物をN2パージで導入したN2とともに排気する真空パージとを交互に各複数回ずつ繰り返して放電空間内の清浄化を図る清浄化ステップと、清浄化ステップの後に、放電空間に対して、当該放電空間内における分圧が0.05(Pa)以上0.5(Pa)以下となる量の酸化性ガスと、比率が10(体積%)以上となる量のXeとを含む混合ガスを導入するガス導入ステップとを備えることを特徴とする。 (4) A method of manufacturing a PDP according to the present invention has an interior discharge space, and, Ba (1-x) in the partial region of the wall surface facing the discharge space Sr y Eu z MgAl 10 O 17 (0 .05 ≦ x ≦ 0.40, 0 ≦ y ≦ 0.25, 0.05 ≦ z ≦ 0.20, (xy) ≦ z) Blue phosphor layer made of Eu-activated phosphor Are exhausted from the discharge space to the container, and after the exhaust step, N 2 purge is performed by introducing nitrogen (N 2 ) into the discharge space, and impurities are N 2. A purging step for purifying the inside of the discharge space by alternately repeating a plurality of times of vacuum purging with N 2 introduced by the purging, and after the cleaning step, Oxidation in an amount such that the partial pressure at 0.05 to 0.5 (Pa) Gas, the ratio is characterized in that it comprises a gas introduction step of introducing the mixed gas containing the amount of Xe to be 10 (vol%) or more.

(5)上記(4)に係るPDPの製造方法において、青色蛍光体層を構成するEu付活蛍光体の組成においては、0<y≦0.25の関係を満足することを特徴とする。
(6)上記(4)または(5)に係るPDPの製造方法において、ガス導入ステップにおける混合ガス中の酸化性ガスとしてO2を用いることを特徴とする。
なお、このように酸化性ガスとしてO2を用いる場合には、清浄化ステップおよびガス導入ステップにおいて、放電空間中におけるH2、CO、CO2の各残留量を、O2量に対して1/10以下にすることが望ましい。
(5) In the method for producing a PDP according to the above (4), the composition of the Eu-activated phosphor constituting the blue phosphor layer satisfies a relationship of 0 <y ≦ 0.25.
(6) In the method for producing a PDP according to (4) or (5), O 2 is used as an oxidizing gas in the mixed gas in the gas introduction step.
When O 2 is used as the oxidizing gas in this way, in the cleaning step and the gas introduction step, the residual amounts of H 2 , CO, and CO 2 in the discharge space are set to 1 with respect to the O 2 amount. / 10 or less is desirable.

(7)上記(4)〜(6)に係るPDPの製造方法において、清浄化ステップでは、99.999(%)以上の純度のN2を0.01(MPa)以上となるまで導入することによってN2パージを行い、放電空間内が10-3(Pa)となるまで排気してN2および不純物を除去する真空パージを行い、これら両パージをもって放電空間内の清浄化を図ることを特徴とする。 (7) In the method for producing a PDP according to the above (4) to (6), in the cleaning step, N 2 having a purity of 99.999 (%) or higher is introduced until the pressure becomes 0.01 (MPa) or higher. N 2 purge is performed, and the inside of the discharge space is evacuated to 10 −3 (Pa), vacuum purge is performed to remove N 2 and impurities, and the discharge space is cleaned with both purges. And

(8)上記(4)〜(7)の何れかに係るPDPの製造方法において、清浄化ステップでは、N2パージの際に前記放電空間内で放電を生じさせることを特徴とする。 (8) In the PDP manufacturing method according to any one of (4) to (7), in the cleaning step, a discharge is generated in the discharge space during the N 2 purge.

本発明に係るPDPでは、放電空間に充填されている放電ガスの中に、比率で10(体積%)以上のXeを含有するので、駆動放電による紫外線発生効率が高く、さらに、青色蛍光体としてBa(1-x)SryEuzMgAl1017(0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦z)の組成を有するEu付活蛍光体を備えているので、真空紫外領域における波長変換効率が高い。よって、本発明のPDPでは、駆動初期の段階から高い発光効率を有する。 In the PDP according to the present invention, the discharge gas filled in the discharge space contains 10 (volume%) or more of Xe in a ratio, so that the efficiency of UV generation by driving discharge is high, and further, as a blue phosphor Ba (1-x) Sr y Eu z MgAl 10 O 17 (0.05 ≦ x ≦ 0.40,0 ≦ y ≦ 0.25,0.05 ≦ z ≦ 0.20, (x-y) ≦ z ), The wavelength conversion efficiency in the vacuum ultraviolet region is high. Therefore, the PDP of the present invention has high luminous efficiency from the initial driving stage.

また、本発明に係るPDPでは、放電ガス中に0.05(Pa)以上の分圧で酸化性ガスが含有されているので、上記青色蛍光体の粒子表面およびその近傍に偏析された3価Euの酸化物が破壊されにくく、青色蛍光体が真空紫外線の照射を受けて劣化するのが抑制される。即ち、放電ガス中に0.05(Pa)以上の分圧で酸化性ガスが含有されていない上記従来のようなPDPにおいては、放電空間内における還元性雰囲気の影響を受けて青色蛍光体の粒子表面およびその近傍の3価Euの酸化物が時間の経過とともに徐々に破壊され、これに伴って真空紫外線の照射を受けることで経時的な劣化を生ずるのに対して、本発明のPDPにおいては、放電ガス中に0.05(Pa)以上の分圧で酸化性ガスが含有されていることから、青色蛍光体の粒子表面およびその近傍に偏析された3価Euの酸化物が時間の経過によっても破壊されにくく、青色蛍光体の経時的な劣化が抑制される。   Moreover, in the PDP according to the present invention, since the oxidizing gas is contained in the discharge gas at a partial pressure of 0.05 (Pa) or more, the trivalent segregated on the surface of the blue phosphor particles and in the vicinity thereof. It is difficult to destroy the Eu oxide, and the blue phosphor is prevented from being deteriorated by the irradiation of vacuum ultraviolet rays. That is, in the conventional PDP in which the discharge gas does not contain an oxidizing gas at a partial pressure of 0.05 (Pa) or more, the blue phosphor is affected by the reducing atmosphere in the discharge space. In the PDP of the present invention, the trivalent Eu oxide on the particle surface and its vicinity is gradually destroyed over time, and as a result, it is deteriorated with time by being irradiated with vacuum ultraviolet rays. Since the oxidizing gas is contained in the discharge gas at a partial pressure of 0.05 (Pa) or more, the trivalent Eu oxide segregated on the surface of the blue phosphor particles and in the vicinity thereof has a long time. It is hard to be destroyed by the progress, and the deterioration of the blue phosphor over time is suppressed.

また、本発明に係るPDPでは、放電ガス中における酸化性ガスの分圧が0.5(Pa)以下に設定されているので、パネルの発光効率が実質的に問題となるレベルまで低下することはない。即ち、PDPにおいては、放電ガス中に酸化性ガスを多く含有させれば、それだけ青色蛍光体の経時的な劣化を抑制することが出来るものの、放電の電子温度が低下して紫外線発光効率が低下し、また、放電により発生した真空紫外線が酸化性ガスに吸収されることから、パネルの発光効率が低下してしまう。これに対して、本発明に係るPDPでは、酸化性ガスの分圧0.5(Pa)以下に設定されているので、上記作用による実質的なレベルまでの発光効率の低下が抑制される。   In the PDP according to the present invention, since the partial pressure of the oxidizing gas in the discharge gas is set to 0.5 (Pa) or less, the light emission efficiency of the panel is lowered to a level that is substantially problematic. There is no. That is, in the PDP, if the discharge gas contains a larger amount of oxidizing gas, the blue phosphor can be prevented from deteriorating over time, but the discharge electron temperature is lowered and the ultraviolet light emission efficiency is lowered. Moreover, since the vacuum ultraviolet rays generated by the discharge are absorbed by the oxidizing gas, the light emission efficiency of the panel is lowered. On the other hand, in the PDP according to the present invention, since the partial pressure of the oxidizing gas is set to 0.5 (Pa) or less, a decrease in light emission efficiency to a substantial level due to the above action is suppressed.

さらに、PDPにおいては、通常、保護層にMgOが用いられるが、この場合には、放電ガス中における酸化性ガスの分圧を0.5(Pa)よりも大きくすると、MgOの経時劣化が顕著となり、PDPとしての放電開始電圧の上昇が余儀なくされる。よって、本発明に係るPDPでは、このような点も考慮して、放電ガス中における酸化性ガスの分圧を0.5(Pa)以下に設定している。   Further, in the PDP, MgO is usually used for the protective layer. In this case, if the partial pressure of the oxidizing gas in the discharge gas is larger than 0.5 (Pa), the deterioration of MgO with time is remarkable. Thus, the discharge start voltage as the PDP is inevitably increased. Therefore, in the PDP according to the present invention, in consideration of such points, the partial pressure of the oxidizing gas in the discharge gas is set to 0.5 (Pa) or less.

従って、本発明に係るPDPは、経時的な青色蛍光体の劣化を抑制し、駆動が長期に及んだ場合にも高い発光効率が維持され、経時的に安定した高い画像品質を有する。
なお、具体的な酸化性ガスとしては、酸素(O2)、オゾン(O3)、酸素ラジカル(O*)、二酸化炭素(CO2)を用いることができる。
また、本発明に係るPDPの製造方法は、封着ステップ、清浄化ステップの後に、清浄化が図られた放電空間に対して、当該放電空間内における分圧が0.05(Pa)以上0.5(Pa)以下となる量の酸化性ガスと、比率が10(体積%)以上となるXeとを含む混合ガスを導入するガス導入ステップを設けているので、 経時的な青色蛍光体の劣化を抑制し、駆動が長期に及んだ場合にも高い発光効率が維持され、経時的に安定した高い画像品質を有するPDPを確実に製造することが出来る。
Therefore, the PDP according to the present invention suppresses deterioration of the blue phosphor over time, maintains high luminous efficiency even when driven for a long time, and has high image quality that is stable over time.
As specific oxidizing gas, oxygen (O 2 ), ozone (O 3 ), oxygen radical (O * ), carbon dioxide (CO 2 ) can be used.
Further, in the PDP manufacturing method according to the present invention, the partial pressure in the discharge space is 0.05 (Pa) or more to the discharge space cleaned after the sealing step and the cleaning step. Since there is a gas introduction step for introducing a mixed gas containing an oxidizing gas in an amount of 0.5 (Pa) or less and Xe having a ratio of 10 (volume%) or more, the time-dependent blue phosphor It is possible to reliably manufacture a PDP having a high image quality that is stable over time, while suppressing deterioration and maintaining high luminous efficiency even when driven for a long period of time.

以下においては、本発明を実施するための最良の形態について、一例を挙げて説明する。なお、以下で説明の実施の形態については、あくまでも本発明を実施するための一例であって、本発明は、これに限定を受けるものではない。
1.パネル1の構成
本実施の形態に係るAC型PDP(以下、単に「PDP」という)1について、図1を用いて説明する。図1は、PDP1の要部斜視図(一部断面図)であって、パネルにおける表示領域の一部分を抜き出して示している。
In the following, the best mode for carrying out the present invention will be described with an example. Note that the embodiment described below is merely an example for carrying out the present invention, and the present invention is not limited thereto.
1. Configuration of Panel 1 An AC type PDP (hereinafter simply referred to as “PDP”) 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view (partial cross-sectional view) of a main part of a PDP 1 and shows a part of a display area in a panel.

図1に示すように、PDP1は、前面パネル10と背面パネル20とが間隙をおいて対向配置された構造を有している。そして、前面パネル10と背面パネル20との間の間隙は、背面パネル20の主面上に突設された複数条の隔壁24によって複数の放電空間30に仕切られている。
前面パネル10は、前面基板11の一方の主表面上に、複数のスキャン電極12と複数のサスティン電極13とが交互に形成され、これら電極12、13が形成された前面基板11の面上が誘電体層14および保護層15によって順に被覆された構成を有する。ここで、スキャン電極12は、透明電極12aとバスライン12bとの積層構造を有し、同様に、サスティン電極13は、透明電極13aとバスライン13bとの積層構造を有している。透明電極12a、13aは、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)からなる厚さ0.1(μm)、幅150(μm)のサイズを有するものであり、また、バスライン12b、13bは、例えば、銀(Ag)などの金属材料からなる厚さ7(μm)、幅95(μm)のサイズを有するものである。
As shown in FIG. 1, the PDP 1 has a structure in which a front panel 10 and a rear panel 20 are arranged to face each other with a gap. The gap between the front panel 10 and the back panel 20 is partitioned into a plurality of discharge spaces 30 by a plurality of strips 24 protruding on the main surface of the back panel 20.
In the front panel 10, a plurality of scan electrodes 12 and a plurality of sustain electrodes 13 are alternately formed on one main surface of the front substrate 11, and the surface of the front substrate 11 on which these electrodes 12 and 13 are formed is The dielectric layer 14 and the protective layer 15 are sequentially covered. Here, the scan electrode 12 has a laminated structure of the transparent electrode 12a and the bus line 12b, and similarly, the sustain electrode 13 has a laminated structure of the transparent electrode 13a and the bus line 13b. The transparent electrodes 12a and 13a have, for example, a thickness of 0.1 (μm) and a width of 150 (μm) made of ITO (Indium Tin Oxide), and the bus lines 12b and 13b have, for example, It has a thickness of 7 (μm) and a width of 95 (μm) made of a metal material such as silver (Ag).

スキャン電極12とサスティン電極13との間隔は、例えば、略80(μm)に設定されている。そして、これら電極12、13の上を覆うように形成される誘電体層14は、例えば、低融点鉛ガラスからなる厚さ30(μm)の層であり、保護層15は、例えば、MgOからなる厚さ約1.0(μm)の層である。
他方、背面パネル20は、背面基板21の一方の主表面上に、複数のデータ電極22が形成され、このデータ電極22が形成された前面基板21の面上が誘電体層23によって被覆され、さらに、誘電体層23の面上における隣り合うデータ電極22間となる位置に隔壁24が立設されて構成されている。ここで、データ電極22は、例えば、Agなどの金属材料からなる厚さ5(μm)、幅60(μm)のサイズを有するものであり、約150(μm)のピッチをもって並設されている。そして、誘電体層23は、例えば、低融点鉛ガラスにTiOが混入された材料からなり、厚み30(μm)を有する。
The distance between the scan electrode 12 and the sustain electrode 13 is set to, for example, approximately 80 (μm). The dielectric layer 14 formed so as to cover the electrodes 12 and 13 is a layer having a thickness of 30 (μm) made of low melting point lead glass, for example, and the protective layer 15 is made of MgO, for example. A layer having a thickness of about 1.0 (μm).
On the other hand, the back panel 20 has a plurality of data electrodes 22 formed on one main surface of the back substrate 21, and the surface of the front substrate 21 on which the data electrodes 22 are formed is covered with a dielectric layer 23. Further, a partition wall 24 is erected at a position between adjacent data electrodes 22 on the surface of the dielectric layer 23. Here, the data electrodes 22 are made of a metal material such as Ag and have a thickness of 5 (μm) and a width of 60 (μm), and are arranged in parallel at a pitch of about 150 (μm). . The dielectric layer 23 is made of, for example, a material in which low melting point lead glass is mixed with TiO and has a thickness of 30 (μm).

また、隔壁24は、データ電極22のピッチにあわせて形成されており、例えば、高さ約150(μm)、幅約40(μm)のサイズを有する。
背面パネル20においては、隣り合う一対の隔壁24と誘電体層23とで構成される溝の壁面部分に蛍光体層25が形成されている。蛍光体層25は、溝毎に赤色(R)蛍光体層25R、緑色(G)蛍光体層25G、青色(B)蛍光体層25Bに分けて形成されている。各蛍光体層25R、25G、25Bを構成する各蛍光体としては、例えば、以下に示すようなものが使用されている。
The partition walls 24 are formed according to the pitch of the data electrodes 22 and have a size of about 150 (μm) in height and about 40 (μm) in width, for example.
In the back panel 20, a phosphor layer 25 is formed on a wall surface portion of a groove formed by a pair of adjacent barrier ribs 24 and a dielectric layer 23. The phosphor layer 25 is divided into a red (R) phosphor layer 25R, a green (G) phosphor layer 25G, and a blue (B) phosphor layer 25B for each groove. As each phosphor constituting each phosphor layer 25R, 25G, 25B, for example, the following is used.

赤色(R)蛍光体;(Y、Gd)BO3:Eu
緑色(G)蛍光体;Zn2SiO4:Mn
青色(B)蛍光体;Ba(1-x)SryEuzMgAl1017:Eu
ただし、上記各蛍光体の組成の内、青色蛍光体として用いているアルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体においては、 0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦zの関係を満足する。
Red (R) phosphor; (Y, Gd) BO 3 : Eu
Green (G) phosphor; Zn 2 SiO 4 : Mn
Blue (B) phosphor; Ba (1-x) Sr y Eu z MgAl 10 O 17: Eu
However, among the compositions of the above phosphors, in the alkaline earth metal aluminate phosphor used as the blue phosphor, 0.05 ≦ x ≦ 0.40, 0 ≦ y ≦ 0.25, 0. The relationship of 05 ≦ z ≦ 0.20 and (xy) ≦ z is satisfied.

PDP1は、前面パネル10と背面パネル20とが対向配置され、互いの外周部どうしで封止されて密閉容器が形成された構成を有しており、パネル10、20間に形成される放電空間30を有する。
放電空間30には、Ne−Xe(Xe:10〜30体積%)系の混合ガス(放電ガス)が、所定の圧力(例えば、6.7×104〜1.0×105Pa程度)で封入されている。また、本実施の形態に係るPDP1においては、放電ガスの一構成要素として、微量(0.05Pa以上0.5Pa以下の範囲内の分圧)のO2が含有されている。また、放電ガス中におけるO2の含有に伴い、放電空間30中におけるH2、CO、CO2の分圧を、O2の分圧の1/10以下になるように設定している。これは、真空紫外線照射下において、O2に対して緩衝効果が生じるのを抑制するためである。
The PDP 1 has a configuration in which a front panel 10 and a rear panel 20 are arranged to face each other and sealed between each other outer peripheral portion to form a sealed container, and a discharge space formed between the panels 10 and 20. 30.
In the discharge space 30, a Ne—Xe (Xe: 10 to 30% by volume) -based mixed gas (discharge gas) has a predetermined pressure (for example, about 6.7 × 10 4 to 1.0 × 10 5 Pa). It is enclosed with. In the PDP1 according to the present embodiment, as a component of the discharge gas, O 2 traces (partial pressure within 0.5Pa following range of 0.05 Pa) it is contained. Further, with the inclusion of O 2 in the discharge gas, the partial pressures of H 2 , CO, and CO 2 in the discharge space 30 are set to be 1/10 or less of the partial pressure of O 2 . This is to suppress the buffering effect on O 2 under vacuum ultraviolet irradiation.

このように構成されたPDP1にあっては、スキャン電極12およびサスティン電極13とデータ電極22とが放電空間30を挟んで交差する各領域が、画像表示に係る放電セルに対応する。また、PDP1における画素ピッチは、例えば、データ電極22に沿った方向およびスキャン電極12、サスティン電極13に沿った方向に対して、それぞれ約1080(μm)と約360(μm)に設定されている。
2.PDP1が有する優位性
上記構成を有するPDP1が従来のPDPに比して優れる点について、図1および図2を参酌しながら説明する。図2は、PDP1で青色蛍光体として用いたアルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体(以下では、単に「Eu付活蛍光体」という。)の粒子断面を模式的に示す断面図である。
In the PDP 1 configured as described above, each region where the scan electrode 12, the sustain electrode 13, and the data electrode 22 intersect with the discharge space 30 therebetween corresponds to a discharge cell for image display. Further, the pixel pitch in the PDP 1 is set to about 1080 (μm) and about 360 (μm), respectively, with respect to the direction along the data electrode 22 and the direction along the scan electrode 12 and the sustain electrode 13, for example. .
2. Advantages of PDP 1 The advantages of the PDP 1 having the above configuration over the conventional PDP will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a particle cross section of an alkaline earth metal aluminate phosphor (hereinafter simply referred to as “Eu-activated phosphor”) used as a blue phosphor in the PDP 1.

図2に示すように、Eu付活蛍光体では、作製された状態において、表面およびその近傍に、Eu(III)の酸化物が偏析している。このEu(III)の酸化物(以下、「Eu(III)酸化物」という。)が表面およびその近傍に偏析した状態のEu付活蛍光体においては、Eu(III)酸化物によって真空紫外線照射による蛍光体への影響が抑制される。   As shown in FIG. 2, in the Eu-activated phosphor, Eu (III) oxide is segregated on the surface and in the vicinity thereof in the manufactured state. In the Eu activated phosphor in which this Eu (III) oxide (hereinafter referred to as “Eu (III) oxide”) is segregated on the surface and in the vicinity thereof, vacuum ultraviolet irradiation is performed by the Eu (III) oxide. The influence on the phosphor due to is suppressed.

ところで、従来のPDPにおいては、上述のように、放電空間30内に製造段階での微量有機成分が残留しており、この有機成分の存在により、還元性の雰囲気を有する。そして、この還元性雰囲気の影響を受けることによって、上記図2のEu付活蛍光体の表面およびその近傍に偏析されたEu(III)酸化物が時間の経過とともに徐々に破壊されて行き、これに伴って、
真空紫外線の照射による影響を受ける結果となり、蛍光体に劣化を生じる。
By the way, in the conventional PDP, as described above, a trace amount of organic components in the manufacturing stage remain in the discharge space 30, and the presence of this organic component has a reducing atmosphere. The Eu (III) oxide segregated on and near the surface of the Eu-activated phosphor of FIG. 2 is gradually destroyed over time due to the influence of the reducing atmosphere. With
As a result, the phosphor is deteriorated by being affected by the irradiation of vacuum ultraviolet rays.

これに対して、本実施の形態に係るPDP1では、放電空間30に封入の放電ガス中に、0.05(Pa)以上の分圧でO2を含有させているので、Eu付活蛍光体のEu(III)酸化物
が時間の経過に関わらず維持され、真空紫外線の照射の影響による蛍光体の劣化を招くことがない。また、PDP1では、放電空間30内におけるH2、CO、CO2の分圧を、O2の分圧の1/10以下になるように設定しているので、上記効果を奏するO2に対して緩衝効果の問題を生じることがなく、安定的にEu付活蛍光体の劣化の抑制を行うことが可能である。
On the other hand, in the PDP 1 according to the present embodiment, the discharge gas sealed in the discharge space 30 contains O 2 at a partial pressure of 0.05 (Pa) or more. This Eu (III) oxide is maintained regardless of the passage of time, and the phosphor is not deteriorated by the influence of irradiation with vacuum ultraviolet rays. Further, the PDP 1, H 2, CO in the discharge space 30, the partial pressure of CO 2, since the set to be 1/10 or less of the partial pressure of O 2, to O 2 to achieve the above effects Therefore, it is possible to stably suppress deterioration of the Eu-activated phosphor without causing a problem of the buffer effect.

さらに、PDP1では、放電ガス中におけるO2の分圧を0.5(Pa)以下に規定しているので、パネルの発光効率の低下が効率よく抑制される。即ち、仮に放電ガス中に0.5(Pa)を越えるO2を含有させた場合には、Eu付活蛍光体の経時劣化抑制という観点からは望ましいものの、放電の電子温度が低下して紫外線発光効率が低下し、また、放電により発生した真空紫外線がO2に吸収され、また、MgOからなる保護層15の経時劣化が顕著となることから、パネルの発光効率の低下を招いてしまうことになる。 Further, in the PDP 1, since the partial pressure of O 2 in the discharge gas is regulated to 0.5 (Pa) or less, a decrease in the light emission efficiency of the panel is efficiently suppressed. That is, if O 2 exceeding 0.5 (Pa) is contained in the discharge gas, it is desirable from the viewpoint of suppressing deterioration with time of the Eu-activated phosphor. Luminous efficiency is reduced, vacuum ultraviolet rays generated by discharge are absorbed by O 2 , and deterioration of the protective layer 15 made of MgO is significant over time, leading to a reduction in luminous efficiency of the panel. become.

これに対して、PDP1では、放電ガス中におけるO2の分圧を0.5(Pa)以下に規定しているので、実質的にパネルの発光効率の低下を招くことはなく、高い画像品質を経時的に維持できる。
さらに、PDP1では、放電ガス中のXeの比率が10〜30(体積%)の範囲内で設定されており、青色蛍光体層25Bが上記組成のEu付活蛍光体から構成されていることから、駆動放電による高い紫外線発生効率と、真空紫外領域における高い波長変換効率が得られるので、高い発光効率を有する。
3.PDP1の製造方法
次に、PDP1の製造方法について、図3を用いて説明する。
On the other hand, in the PDP 1, since the partial pressure of O 2 in the discharge gas is regulated to 0.5 (Pa) or less, the panel does not substantially reduce the light emission efficiency and has high image quality. Can be maintained over time.
Further, in the PDP 1, the ratio of Xe in the discharge gas is set within a range of 10 to 30 (volume%), and the blue phosphor layer 25B is composed of the Eu-activated phosphor having the above composition. Since high ultraviolet generation efficiency by driving discharge and high wavelength conversion efficiency in the vacuum ultraviolet region can be obtained, the light emission efficiency is high.
3. Method for Manufacturing PDP 1 Next, a method for manufacturing PDP 1 will be described with reference to FIG.

図3(a)に示すように、排気および放電ガスの導入を行うための通気孔101が設けられた前面パネル10と、背面パネル20とを対向配置し、互いの外周部どうしをフリットガラスなどを用いて封着する。ここで、前面パネル10の形成および背面パネル20の形成については、従来のPDPの製造方法を用いることが出来るので、ここでの説明は省略する。ただし、背面パネル20における青色蛍光体層25Bの形成については、後述する。   As shown in FIG. 3A, a front panel 10 provided with a vent 101 for introducing exhaust gas and discharge gas and a rear panel 20 are arranged to face each other, and the outer peripheral portions of each other are frit glass or the like. Seal with. Here, the formation of the front panel 10 and the formation of the back panel 20 can be performed using a conventional method for manufacturing a PDP, and thus the description thereof is omitted here. However, the formation of the blue phosphor layer 25B in the back panel 20 will be described later.

次に、図3(b)に示すように、前面パネル10に設けられた通気孔101に通気管61を接続し、これを用いて、放電空間30の内部圧力が10-3(Pa)程度となるまで真空排気を行う(真空パージ)。ここで、並行してパネルの焼成を行っても良い。
なお、真空排気を開始するタイミングは、上述の図3(a)における封着時のフリットガラスの温度が軟化点よりも低くなった時点であることが好ましい。ただし、パネル周辺の雰囲気が真空である場合には、この限りではない。
Next, as shown in FIG. 3B, a vent pipe 61 is connected to the vent hole 101 provided in the front panel 10, and using this, the internal pressure of the discharge space 30 is about 10 −3 (Pa). Evacuate until it becomes (vacuum purge). Here, the panel may be fired in parallel.
Note that the timing of starting evacuation is preferably the time when the temperature of the frit glass at the time of sealing in FIG. 3A is lower than the softening point. However, this is not the case when the atmosphere around the panel is a vacuum.

続いて、図3(c)に示すように、真空排気された後の放電空間30に対して、99.999(%)以上のN2を圧力0.01(MPa)以上となるまで導入する(N2パージ)。この際に、前面パネル10および背面パネル20の各電極(不図示)を用いて、放電空間30内に放電を発生させ、エージングを実施しても良い。また、図3(c)のパージに際して、N2の代わりにNeやNe−Xe混合ガスなどを用いることもできる。 Subsequently, as shown in FIG. 3C, 99.999 (%) or more of N 2 is introduced into the discharge space 30 after being evacuated until the pressure becomes 0.01 (MPa) or more. (N 2 purge). At this time, aging may be performed by generating a discharge in the discharge space 30 using each electrode (not shown) of the front panel 10 and the back panel 20. Further, in purging in FIG. 3C, Ne or Ne—Xe mixed gas may be used instead of N 2 .

本実施の形態では、上記図3(b)の真空パージと、図3(c)のN2パージとを交互に各複数回ずつ繰り返し、放電空間30内の清浄化を十分に行う。この清浄化の一つの目安としては、放電空間30内におけるH2、CO、CO2の分圧が、完成後のPDP1において、O2の分圧の1/10以下となる量となるまでである。
図3(d)に示すように、上記清浄化を実施し、図3(b)の排気を行った後に、Ne−Xe系ガスあるいはHe−Xe系ガスと、酸化性ガスとしてのO2を含有した混合ガス(放電ガス)を通気管61を介して導入する。混合ガスの導入量は、放電空間30内の圧力が、例えば、6.7×104〜1.0×105(Pa)の範囲となる量である。ここで、放電ガス中におけるXeの比率については、上述のように、10〜30(体積%)の範囲内とし、O2の含有量については、分圧0.05(Pa)以上0.5(Pa)以下となる量である。
In the present embodiment, the vacuum purge in FIG. 3B and the N 2 purge in FIG. 3C are alternately repeated a plurality of times to sufficiently clean the inside of the discharge space 30. One guideline for this cleaning is until the partial pressures of H 2 , CO, and CO 2 in the discharge space 30 become 1/10 or less of the partial pressure of O 2 in the PDP 1 after completion. is there.
As shown in FIG. 3D, after performing the above-described cleaning and exhausting in FIG. 3B, Ne—Xe-based gas or He—Xe-based gas and O 2 as an oxidizing gas are used. The mixed gas (discharge gas) contained is introduced through the vent pipe 61. The amount of the mixed gas introduced is such that the pressure in the discharge space 30 is in the range of 6.7 × 10 4 to 1.0 × 10 5 (Pa), for example. Here, the ratio of Xe in the discharge gas is in the range of 10 to 30 (volume%) as described above, and the content of O 2 is 0.05 (Pa) or more in partial pressure to 0.5. (Pa) is an amount that is less than or equal to.

最後に、図示はしていないが、放電ガスが外部に漏れたり、逆に放電空間30に外部から不純ガスが混入しないように注意しながら、通気管61を撤去した後、前面パネル10に設けられた通気孔101を塞いで、PDP1が完成する。
4.青色蛍光体層25Bの形成
上記図3のPDP1の製造方法中の青色蛍光体層25Bの形成について、以下で補足しておく。
Finally, although not shown in the figure, the vent tube 61 is removed and then provided on the front panel 10 while being careful not to leak the discharge gas to the outside or conversely enter the discharge space 30 from the outside. The PDP 1 is completed by closing the vent hole 101 formed.
4). Formation of Blue Phosphor Layer 25B The following description supplements the formation of the blue phosphor layer 25B in the method for manufacturing the PDP 1 shown in FIG.

4−1.Eu付活蛍光体の作製
まず、Eu付活蛍光体の作製に際して、アルミニウム(Al)源となる材料として、高純度(純度99%以上)の水酸化アルミニウム、硝酸アルミニウム、ハロゲン化アルミニウム等の、焼成によりアルミナになるアルミニウム化合物を用いることができる。また、直接高純度(純度99%以上)のアルミナ(結晶形はαアルミナでも中間アルミナでもよい)を用いることもできる。
4-1. Preparation of Eu-activated phosphor First, in preparation of Eu-activated phosphor, as a material to be an aluminum (Al) source, high purity (purity 99% or more) aluminum hydroxide, aluminum nitrate, aluminum halide, etc. An aluminum compound that becomes alumina by firing can be used. It is also possible to directly use high-purity (purity 99% or more) alumina (the crystal form may be α alumina or intermediate alumina).

バリウム(Ba)源となる材料として、高純度(純度99%以上)の水酸化バリウム、炭酸バリウム、硝酸バリウム、ハロゲン化バリウム、シュウ酸バリウム等の、焼成により酸化バリウムになるバリウム化合物を用いることができる。また、直接高純度(純度99%以上)の酸化バリウムを用いることもできる。
カルシウム(Ca)源となる材料として、高純度(純度99%以上)の水酸化カルシウム、炭酸カルシウム、硝酸カルシウム、ハロゲン化カルシウム、シュウ酸カルシウム等の、焼成により酸化カルシウムになるカルシウム化合物を用いることができる。また、直接高純度(純度99%以上)の酸化カルシウムを用いることもできる。
Use barium compounds that become barium oxide by firing, such as barium hydroxide with a high purity (99% or more purity), barium carbonate, barium nitrate, barium halide, barium oxalate, etc. Can do. In addition, barium oxide having high purity (purity 99% or more) can also be used directly.
Use calcium compounds that become calcium oxide when fired, such as high-purity (purity 99% or more) calcium hydroxide, calcium carbonate, calcium nitrate, calcium halide, calcium oxalate, etc. Can do. In addition, calcium oxide having high purity (purity 99% or more) can also be used directly.

ストロンチウム(Sr)源となる材料として、高純度(純度99%以上)の水酸化ストロンチウム、炭酸ストロンチウム、硝酸ストロンチウム、ハロゲン化ストロンチウム、シュウ酸ストロンチウム等の、焼成により酸化ストロンチウムになるストロンチウム化合物を用いることができる。また、直接高純度(純度99%以上)の酸化ストロンチウムを用いることもできる。   As a strontium (Sr) source material, a high purity (purity 99% or more) strontium hydroxide, strontium carbonate, strontium nitrate, strontium halide, strontium oxalate, or the like is used, and a strontium compound that becomes strontium oxide by firing is used. Can do. Further, strontium oxide having high purity (purity 99% or more) can also be used directly.

マグネシウム(Mg)源となる材料として、高純度(純度99%以上)の水酸化マグネシウム、炭酸マグネシウム、硝酸マグネシウム、ハロゲン化マグネシウム、シュウ酸マグネシウム等の、焼成によりMgOになるマグネシウム化合物を用いることができる。また、直接高純度(純度99%以上)の酸化マグネシウムを用いることもできる。
ユーロピウム(Eu)源となる材料として、高純度(純度99%以上)の水酸化ユーロピウム、炭酸ユーロピウム、硝酸ユーロピウム、ハロゲン化ユーロピウム、シュウ酸ユーロピウム等の、焼成により酸化ユーロピウムになるユーロピウム化合物を用いることができる。また、直接高純度(純度99%以上)の酸化ユーロピウムを用いることもできる。
A magnesium compound that becomes MgO by firing, such as magnesium hydroxide, magnesium carbonate, magnesium nitrate, magnesium halide, magnesium oxalate, etc., having high purity (purity 99% or more) is used as the material for the magnesium (Mg) source. it can. In addition, magnesium oxide having high purity (purity 99% or more) can also be used directly.
Use europium compounds that become europium oxide upon firing, such as europium hydroxide, europium carbonate, europium nitrate, europium halide, europium oxalate, etc. Can do. Further, europium oxide having high purity (purity 99% or more) can also be used directly.

具体的な各蛍光体の材料の配合について、Ba(1-x)SryEuzMgAl1017:Eu(x=0.02、y=0.01、z=0.01)の組成を持つアルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体を作製する場合を一例に以下に示す。
BaCO3:0.80(mol)
SrCO3:0.10(mol)
Eu23:0.05(mol)
MgCO3:1.00(mol)
Al23:5.00(mol)
各蛍光体原料の混合には、工業的に通常用いられるV型混合機、撹拌機等を用いることができ、また、粉砕機能を有したボールミル、振動ミル、ジェットミル等も用いることができる。
The formulation of the material of each specific phosphors, Ba (1-x) Sr y Eu z MgAl 10 O 17: Eu (x = 0.02, y = 0.01, z = 0.01) The composition of the An example of the production of the alkaline earth metal aluminate phosphor is shown below.
BaCO 3 : 0.80 (mol)
SrCO 3 : 0.10 (mol)
Eu 2 O 3 : 0.05 (mol)
MgCO 3 : 1.00 (mol)
Al 2 O 3 : 5.00 (mol)
For mixing each phosphor raw material, a V-type mixer, a stirrer, or the like that is generally used in industry can be used, and a ball mill, a vibration mill, a jet mill, or the like having a pulverizing function can also be used.

以上のようにして、平均粒径2(μm)のEu付活蛍光体の混合粉が得られる。
本実施の形態に係る蛍光体の形成方法では、上記混合粉の焼成工程の降温時に水素(H2)の供給を停止させ、不活性ガス雰囲気(一例として、N2のみを含む雰囲気)とする。この点は、従来の蛍光体の形成方法と相違する点である。
上記のように蛍光体材料の混合粉を秤量する。そして、焼成炉を用いて窒素と水素の混合ガス(一例として、N2:96%、H2:4%の混合ガス)中で、温度1500(℃)で4(hr.)還元焼成する。
As described above, a mixed powder of Eu-activated phosphors having an average particle size of 2 (μm) is obtained.
In the method for forming a phosphor according to the present embodiment, the supply of hydrogen (H 2 ) is stopped when the temperature of the mixed powder firing step is lowered, and an inert gas atmosphere (for example, an atmosphere containing only N 2 ) is set. . This point is different from the conventional phosphor forming method.
The mixed powder of the phosphor material is weighed as described above. Then, reduction firing is performed for 4 (hr.) At a temperature of 1500 (° C.) in a mixed gas of nitrogen and hydrogen (for example, a mixed gas of N 2 : 96% and H 2 : 4%) using a firing furnace.

ここで、焼成過程においては、焼成開始後7(hr.)程度経過時点で、最高温度1500(℃)に達するようにしている。そして、この最高温度を維持して4(hr.)焼成を行い、その後雰囲気を不活性ガス(N2のみ)とする。この雰囲気下で、約10(hr.)かけて降温させる。
なお、本実施の形態においては、焼成温度1500(℃)、焼成時間4(hr.)に設定する例について説明したが、当然ながら焼成温度、焼成時間等は原料の粒径や使用するフラックス(AlF3)の量、原料アルミナの結晶性により最適値を合わせるために適宜調整が必要であることは言うまでもない。
Here, in the firing process, the maximum temperature of 1500 (° C.) is reached when about 7 (hr.) Has elapsed after the start of firing. Then, 4 (hr.) Firing is performed while maintaining this maximum temperature, and then the atmosphere is set to an inert gas (N 2 only). Under this atmosphere, the temperature is lowered over about 10 (hr.).
In the present embodiment, an example in which the firing temperature is set to 1500 (° C.) and the firing time is 4 (hr.) Has been described, but naturally, the firing temperature, the firing time, and the like depend on the particle size of the raw material and the flux ( It goes without saying that appropriate adjustment is necessary to match the optimum value depending on the amount of AlF 3 ) and the crystallinity of the raw material alumina.

また、本実施の形態においては、混合粉を還元焼成する場合に関して記述したが、還元焼成前に一度大気中で焼成し、焼成粉を得るステップを経るようにしても構わない。
以上のようにして、PDP1で青色蛍光体層25Bの構成要素として用いるEu付活蛍光体が作製される。
4−2.青色蛍光体層25Bの形成
次に、上記形成されたEu付活蛍光体を用いての青色蛍光体層25Bの形成方法について、以下で説明する。
Further, in the present embodiment, the case where the mixed powder is reduced and fired has been described. However, the powder may be baked once in the air before the reduction and baking to obtain a fired powder.
As described above, the Eu-activated phosphor used as a component of the blue phosphor layer 25B in the PDP 1 is manufactured.
4-2. Formation of Blue Phosphor Layer 25B Next, a method for forming the blue phosphor layer 25B using the formed Eu-activated phosphor will be described below.

上記Eu付活蛍光体30(質量%)に対して、エチルセルロース(分子量20万)を4.5(質量%)、溶剤(例えば、ブチルカルビトールアセテート)を65.5(質量%)を混合し、青色蛍光体層25B用の蛍光体インクを作製する。このとき、蛍光体インクの粘度については、蛍光体インクが確実に隔壁24に付着させることが出来るようにするために、例えば、2.0〜6.0(Pa・s)程度に調整しておく。   To the Eu-activated phosphor 30 (mass%), ethyl cellulose (molecular weight 200,000) 4.5 (mass%) and a solvent (for example, butyl carbitol acetate) 65.5 (mass%) are mixed. Then, the phosphor ink for the blue phosphor layer 25B is prepared. At this time, the viscosity of the phosphor ink is adjusted to, for example, about 2.0 to 6.0 (Pa · s) in order to ensure that the phosphor ink can adhere to the partition wall 24. deep.

このように作製された蛍光体インクを、例えば、メニスカス法を用いて隔壁24および誘電体層23で形成された溝の壁面に塗布する。そして、蛍光体インクを乾燥・焼成(例えば、500℃で10min.)し、青色蛍光体層25Bが形成される。
なお、蛍光体インクを作製する上で用いる各混合材料の成分については、上記成分に限定を受けるものではない。また、蛍光体インクを溝の壁面に塗布する方法についても、上記においては、メニスカス法を用いたが、これに限定を受けるものでもない。例えば、ラインジェット法などを用いることも勿論可能である。
The phosphor ink thus produced is applied to the wall surface of the groove formed by the partition wall 24 and the dielectric layer 23 using, for example, the meniscus method. Then, the phosphor ink is dried and baked (for example, at 500 ° C. for 10 min.) To form the blue phosphor layer 25B.
In addition, about the component of each mixed material used when producing fluorescent substance ink, it is not limited to the said component. Also, the method for applying the phosphor ink to the wall surface of the groove is the meniscus method in the above description, but is not limited thereto. For example, it is of course possible to use a line jet method or the like.

また、赤色蛍光体層25R、緑色蛍光体層25Gの形成方法については、用いる蛍光体材料が異なる他は、基本的に上記青色蛍光体層25Bの形成方法と同様である。よって、これについての詳しい説明は省略する。
5.優位性確認実験
以下では、本実施の形態に係るPDP1が有する優位性を確認するために実施した実験について、説明する。
The formation method of the red phosphor layer 25R and the green phosphor layer 25G is basically the same as the formation method of the blue phosphor layer 25B except that the phosphor material used is different. Therefore, the detailed description about this is abbreviate | omitted.
5). Superiority Confirmation Experiment Hereinafter, an experiment conducted to confirm the superiority of the PDP 1 according to the present embodiment will be described.

5−1.真空紫外線照射による蛍光体劣化の確認
まず、放電ガス中におけるO2の分圧によって、真空紫外線照射によるEu付活蛍光体の劣化の変化を観測し、その結果を図4に示す。ここで、Eu付活蛍光体の劣化の指標として、本実験では、相対輝度を用いた。また、実験に用いたPDPモデルとしては、内部に上記組成のEu付活蛍光体粉体を収納し、且つ、O2を含有してなるNe−Xe系の混合ガス(Xe濃度:10体積%)を充填した密閉容器を用いた。この密閉容器に対して、波長147(nm)の真空紫外線を照射し、相対輝度を測定することで、蛍光体の劣化を評価した。なお、密閉容器内に充填する混合ガス中におけるO2分圧は、モデル毎に0〜1.0(Pa)の間で6水準で変化させた。
5-1. Confirmation of phosphor degradation due to vacuum ultraviolet irradiation First, the change in degradation of the Eu-activated phosphor due to vacuum ultraviolet irradiation was observed based on the partial pressure of O 2 in the discharge gas, and the results are shown in FIG. Here, relative brightness was used in this experiment as an index of deterioration of the Eu-activated phosphor. In addition, as a PDP model used in the experiment, a Ne—Xe-based mixed gas (Xe concentration: 10% by volume) containing Eu-activated phosphor powder having the above composition inside and containing O 2 is used. ) Was used. The hermetic container was irradiated with vacuum ultraviolet rays having a wavelength of 147 (nm), and the relative luminance was measured to evaluate the deterioration of the phosphor. Incidentally, O 2 partial pressure in the mixed gas to be filled into the sealed containers were each model varied 6 levels between 0 to 1.0 (Pa).

図4に示すように、混合ガス中におけるO2の分圧が1.0(Pa)のモデルについては、時間の経過によっても相対輝度の低下はないのに対して、0〜0.5(Pa)のPDPモデルについては、時間の経過とともに相対輝度が低下している。そして、O2分圧が0〜0.5(Pa)の5種類のモデルの中でも、混合ガス中に全くO2を含有させなかった、即ち、分圧0(Pa)のモデルの相対輝度の低下が著しく、500(min.)経過時点における相対輝度が90(%)にまで低下していた。 As shown in FIG. 4, in the model in which the partial pressure of O 2 in the mixed gas is 1.0 (Pa), the relative luminance does not decrease over time, but 0 to 0.5 ( For the PDP model of Pa), the relative luminance decreases with the passage of time. Of the five models having an O 2 partial pressure of 0 to 0.5 (Pa), the mixed gas did not contain any O 2 , that is, the relative luminance of the model having a partial pressure of 0 (Pa). The decrease was remarkable, and the relative luminance at the time when 500 (min.) Elapsed had decreased to 90 (%).

これに対して、混合ガス中にごく僅かなO2を含有させただけのO2分圧が0.05(Pa)のモデルでは、500(min.)経過時点における相対輝度は、95(%)に維持されていた。
従って、この結果より、混合ガス中に0.05(Pa)以上の分圧でO2を含有させることで、Eu付活蛍光体の経時劣化が抑制されることが分かる。即ち、0.05(Pa)以上の分圧でO2を含有させることによって、PDPにおける放電空間内が酸化性になり、実質的に画質に影響を及ぼさないレベルまでEu付活蛍光体の劣化が抑制される。
On the other hand, in the model in which the partial pressure of O 2 in which only a slight amount of O 2 is contained in the mixed gas is 0.05 (Pa), the relative luminance at the time when 500 (min.) Has elapsed is 95 (% ) Was maintained.
Therefore, it can be seen from this result that deterioration of the Eu-activated phosphor over time is suppressed by adding O 2 at a partial pressure of 0.05 (Pa) or more in the mixed gas. That is, by including O 2 at a partial pressure of 0.05 (Pa) or more, the discharge space in the PDP becomes oxidizing, and the Eu-activated phosphor is deteriorated to a level that does not substantially affect the image quality. Is suppressed.

5−2.O2含有による保護層劣化の確認
次に、放電ガス中におけるO2分圧の差によって、MgOからなる保護層15の劣化がどのように変化するかを確認し、図5にその結果を示す。ここで、本確認実験においては、PDPモデルとして、上記図1に示す実施の形態と同一のPDPを用い、保護層15の劣化を示す指標として、放電開始電圧の変化を測定した。なお、本実験においては、放電によるXeからの真空紫外線と同時に発生する赤外線量が一定値となるようにするために必要な放電開始電圧を確認し、図5にプロットした。
5-2. Confirmation of deterioration of protective layer due to inclusion of O 2 Next, it was confirmed how the deterioration of the protective layer 15 made of MgO changes depending on the difference in O 2 partial pressure in the discharge gas, and the result is shown in FIG. . Here, in this confirmation experiment, the same PDP as the embodiment shown in FIG. 1 was used as the PDP model, and the change in the discharge start voltage was measured as an index indicating the deterioration of the protective layer 15. In this experiment, the discharge start voltage required to make the amount of infrared rays generated simultaneously with the vacuum ultraviolet rays from Xe due to discharge become a constant value was confirmed and plotted in FIG.

図5に示すように、放電開始電圧の経時的な上昇は、放電ガス中におけるO2分圧が高ければ高いほど、大きくなっている。即ち、放電ガス中におけるO2は、MgOからなる保護層15を劣化させる原因となり、特に、図5に示すように、分圧1.0(Pa)では、劣化が顕著なものとなる。
従って、保護層15の劣化抑制という観点からは、放電ガス中におけるO2分圧を0.5(Pa)以下にしておくことが望ましい、といえる。
As shown in FIG. 5, the increase in discharge start voltage with time increases as the O 2 partial pressure in the discharge gas increases. That is, O 2 in the discharge gas causes the protective layer 15 made of MgO to deteriorate. In particular, as shown in FIG. 5, the deterioration becomes remarkable at a partial pressure of 1.0 (Pa).
Therefore, it can be said that it is desirable that the O 2 partial pressure in the discharge gas be 0.5 (Pa) or less from the viewpoint of suppressing deterioration of the protective layer 15.

5−3.放電ガス中におけるO2の分圧についての考察
以上の2つの確認実験の結果より、放電ガス中におけるO2の分圧については、0.05(Pa)以上0.5(Pa)以下の範囲内とすることが望ましい。即ち、Eu付活蛍光体の経時的な劣化を抑制するという観点からは、放電ガス中におけるO2分圧を0.05(Pa)以上とすることが望ましく、保護層15の経時的な劣化を抑制するという観点からは、放電ガス中におけるO2分圧を0.5(Pa)以下とすることが望ましい。
5-3. Consideration about the partial pressure of O 2 in the discharge gas From the results of the above two confirmation experiments, the partial pressure of O 2 in the discharge gas ranges from 0.05 (Pa) to 0.5 (Pa). It is desirable to be inside. That is, from the viewpoint of suppressing the temporal deterioration of the Eu-activated phosphor, it is desirable that the O 2 partial pressure in the discharge gas is 0.05 (Pa) or more, and the protective layer 15 is deteriorated with time. From the viewpoint of suppressing the above, it is desirable that the O 2 partial pressure in the discharge gas is 0.5 (Pa) or less.

また、確認実験の結果を示してはいないが、放電ガス中のO2分圧を0.5(Pa)以上とした場合には、放電の電子温度が低下して紫外線発光効率が低下し、また、放電により発生した真空紫外線が酸化性ガスに吸収されることから、パネルの発光効率が実用上で問題となるレベルまで低下してしまう。
なお、PDP1におけるO2分圧については、従来のPDPにおける放電空間中に残留していたO2分圧とは明らかに差異を有する範囲のものである。従来のPDPの放電空間中に残留するO2分圧については、実質的に測定不可能なレベルのものである。
6.その他の事項
上記本発明の実施の形態に係るPDP1は、本発明の構成および作用等を説明するために用いた一例であって、本発明がこれに限定を受けるものではないことは明らかである。
Moreover, although the result of the confirmation experiment is not shown, when the O 2 partial pressure in the discharge gas is 0.5 (Pa) or more, the electron temperature of the discharge is lowered and the ultraviolet light emission efficiency is lowered. Further, since the vacuum ultraviolet rays generated by the discharge are absorbed by the oxidizing gas, the light emission efficiency of the panel is lowered to a level that causes a problem in practical use.
Note that the partial pressure of O 2 in the PDP 1, the O 2 partial pressure remained in the discharge space in a conventional PDP is in a range clearly have differences. The O 2 partial pressure remaining in the discharge space of the conventional PDP is of a level that cannot be measured.
6). Other Matters The PDP 1 according to the embodiment of the present invention is an example used for explaining the configuration and operation of the present invention, and it is obvious that the present invention is not limited thereto. .

例えば、青色蛍光体層25Bを構成するEu付活蛍光体の組成は、上記で示した通り、Ba(1-x)SryEuzMgAl1017(0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦z)であることから、組成中にストロンチウム(Sr)を含有してもしなくてもよい。
また、上記PDP1では、酸化性ガスの一例として、O2を用いたが、これ以外にもO3、O*、CO2などを用いることが出来る。ただし、これらの酸化性ガスを含有させる場合には、それと連動して、これらの酸化性ガスとの間で緩衝効果のある物質の含有量(分圧)を規制しておくことが望ましい。例えば、酸化性ガスとしてCO2を用いる場合には、H2の分圧をCO2の分圧に対して1/10以下に設定しておくことが望ましい。
For example, the composition of the Eu-activated phosphors of the blue phosphor layer 25B, as indicated above, Ba (1-x) Sr y Eu z MgAl 10 O 17 (0.05 ≦ x ≦ 0.40, Since 0 ≦ y ≦ 0.25, 0.05 ≦ z ≦ 0.20, and (x−y) ≦ z), strontium (Sr) may or may not be contained in the composition.
In the PDP 1, O 2 is used as an example of the oxidizing gas, but O 3 , O * , CO 2 or the like can also be used. However, when these oxidizing gases are contained, it is desirable to regulate the content (partial pressure) of a substance having a buffering effect with these oxidizing gases in conjunction with the oxidizing gases. For example, when CO 2 is used as the oxidizing gas, it is desirable to set the partial pressure of H 2 to 1/10 or less of the partial pressure of CO 2 .

また、上記実施の形態に係るPDP1の構成等についても、一例を示したものであって、必ずしも前面パネル10と背面パネル20とを対向配置した構成を有する必要はなく、放電空間30を備える容器を有し、放電空間内に酸化性ガスと10(体積%)以上のXeと0.05(Pa)以上0.5(Pa)以下の酸化性ガスとを含む放電ガスが充填され、上記組成で示されるEu付活蛍光体からなる青色蛍光体層25Bが形成されているようなPDPに対して、本発明を適用することが出来る。   Further, the configuration of the PDP 1 according to the above-described embodiment is also an example, and it is not always necessary to have a configuration in which the front panel 10 and the back panel 20 are arranged to face each other. The discharge space is filled with a discharge gas containing an oxidizing gas, 10 (volume%) or more of Xe, and 0.05 (Pa) or more and 0.5 (Pa) or less of an oxidizing gas, The present invention can be applied to a PDP in which a blue phosphor layer 25B made of Eu-activated phosphor shown in FIG.

本発明に係るPDPは、コンピュータやテレビ等の表示デバイス、特に、高精細・高輝度であって経時的にも画像品質の安定した表示デバイスを実現するのに有効である。   The PDP according to the present invention is effective for realizing a display device such as a computer or a television, in particular, a display device having high definition and high brightness and stable image quality over time.

本発明の実施の形態に係るPDP1を示す要部斜視図(一部断面図)である。It is a principal part perspective view (partial cross section figure) which shows PDP1 which concerns on embodiment of this invention. PDP1で用いる青色蛍光体粒子(アルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体粒子)の構成を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows the structure of the blue fluorescent substance particle (alkaline earth metal aluminate fluorescent substance particle) used by PDP1. PDP1の製造過程中におけるパネル封止から放電ガスの導入までに係る工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the process which concerns on the introduction of discharge gas from the panel sealing in the manufacture process of PDP1. 2分圧とパネル輝度の低下(青色蛍光体の劣化)との関係を示す特性図である。Reduction of O 2 partial pressure and the panel brightness is a characteristic diagram showing the relationship between (the deterioration of the blue phosphor). 2分圧と放電開始電圧(MgOの劣化)との関係を示す特性図である。O 2 partial pressure and is a characteristic diagram showing the relationship between the firing voltage (deterioration of MgO).

符号の説明Explanation of symbols

1.PDP
10.前面パネル
12.スキャン電極
13.サスティン電極
15.保護層
20.背面パネル
22.データ電極
25.蛍光体層
30.放電空間
1. PDP
10. Front panel 12. Scan electrode 13. Sustain electrode 15. Protective layer 20. Rear panel 22. Data electrode 25. Phosphor layer 30. Discharge space

Claims (8)

放電空間内に放電ガスが充填されてなる密閉容器によって複数の放電セルが構成され、当該放電空間を臨む一部領域に青色蛍光体層が形成されてなるプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記青色蛍光体層は、Ba(1-x)SryEuzMgAl1017(0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦z)で示される組成のEu付活蛍光体から構成され、
前記放電ガスには、10体積%以上の比率でXeが含有されているとともに、0.05Pa以上0.5Pa以下の分圧で酸化性ガスが含有されている
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
In a plasma display panel in which a plurality of discharge cells are constituted by a sealed container filled with a discharge gas in a discharge space, and a blue phosphor layer is formed in a partial region facing the discharge space.
The blue phosphor layer, Ba (1-x) Sr y Eu z MgAl 10 O 17 (0.05 ≦ x ≦ 0.40,0 ≦ y ≦ 0.25,0.05 ≦ z ≦ 0.20, (X−y) ≦ z) composed of an Eu-activated phosphor having a composition represented by
The plasma display panel, wherein the discharge gas contains Xe at a ratio of 10% by volume or more and an oxidizing gas at a partial pressure of 0.05 Pa to 0.5 Pa.
前記Eu付活蛍光体の組成において、0<y≦0.25の関係を満足する
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。
The plasma display panel according to claim 1, wherein the composition of the Eu-activated phosphor satisfies a relationship of 0 <y ≦ 0.25.
前記酸化性ガスは、O2である
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマディスプレイパネル。
The plasma display panel according to claim 1, wherein the oxidizing gas is O 2 .
内部に放電空間を有し、且つ、当該放電空間を臨む壁面の一部領域にBa(1-x)SryEuzMgAl1017(0.05≦x≦0.40、0≦y≦0.25、0.05≦z≦0.20、(x−y)≦z)の組成を有するEu付活蛍光体からなる青色蛍光体層が形成された容器に対し、前記放電空間から残存ガスを排気する排気ステップと、
前記排気ステップの後に、前記放電空間に対して、N2を導入して行うN2パージと、不純物を前記N2パージで導入したN2とともに排気する真空パージとを複数回繰り返して前記放電空間内の清浄化を図る清浄化ステップと、
前記清浄化ステップの後に、前記放電空間に対して、当該放電空間内における分圧が0.05Pa以上0.5Pa以下となる量の酸化性ガスと、比率が10体積%以上となる量のXeとを含む混合ガスを導入するガス導入ステップとを備える
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
It has an internal discharge space, and, in a partial region of the wall surface facing the discharge space Ba (1-x) Sr y Eu z MgAl 10 O 17 (0.05 ≦ x ≦ 0.40,0 ≦ y ≦ 0.25, 0.05 ≦ z ≦ 0.20, (xy) ≦ z) with respect to the container in which the blue phosphor layer made of the Eu-activated phosphor is formed, remains from the discharge space. An exhaust step for exhausting the gas;
After it said pumping step, the relative discharge space, and N 2 purge performed by introducing N 2, the discharge space and a vacuum purge is repeated a plurality of times for exhausting with N 2 was introduced impurity in the N 2 purge A cleaning step for purifying the inside,
After the cleaning step, with respect to the discharge space, an oxidizing gas in an amount such that the partial pressure in the discharge space is 0.05 Pa or more and 0.5 Pa or less, and an amount of Xe in which the ratio is 10 vol% or more. And a gas introduction step of introducing a mixed gas including: a method of manufacturing a plasma display panel.
前記青色蛍光体層を構成するEu付活蛍光体の組成においては、0<y≦0.25の関係を満足する
ことを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 4, wherein the composition of the Eu-activated phosphor constituting the blue phosphor layer satisfies a relationship of 0 <y ≦ 0.25.
前記混合ガス中に含まれる酸化性ガスは、O2である
ことを特徴とする請求項4または5に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 4, wherein the oxidizing gas contained in the mixed gas is O 2 .
前記清浄化ステップにおいては、99.999%以上の純度のN2を0.01MPa以上となるまで導入することによってN2パージを行い、前記放電空間内が10-3Paとなるまで排気することによって真空パージを行う
ことを特徴とする請求項4から6の何れかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
In the cleaning step, N 2 purge is performed by introducing N 2 having a purity of 99.999% or more until it becomes 0.01 MPa or more, and the discharge space is exhausted until 10 −3 Pa is reached. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 4, wherein a vacuum purge is performed.
前記清浄化ステップにおいては、N2パージの際に前記放電空間内で放電を生じさせる
ことを特徴とする請求項4から7の何れかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
The method for manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 4 to 7, wherein in the cleaning step, discharge is generated in the discharge space during N 2 purge.
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