JP2005179708A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空成膜装置1は、壁部14に排気口10を有する成膜室2と、前記排気口10を介して前記成膜室2の内部を排気する排気手段4と、所定の開口率を有して前記排気口10を覆うことが可能なように前記成膜室2の内部に配置されたバッフル12と、前記バッフルを駆動する駆動手段21とを備えており、前記バッフル12は枠体18と前記枠体18に隙間24を有して配置された複数の遮蔽板15とを有し、前記駆動手段21は、前記バッフル12を、前記排気口10を覆うように進出させかつ前記排気口10を覆わないように退避させるものである。
【選択図】 図2
Description
これによって遮蔽板を支持部材に固定させた状態でバッフルを駆動装置によって排気口の領域内外を移動させることができ、成膜室の可動点における摩擦磨耗粉の発生を改善させ得る。
以下、図面を参照して実施の形態1を説明する。
以下、図面を参照して実施の形態2を説明する。
2 真空チャンバ
3 内部空間
4 真空排気系
5 ロータリポンプ
6 ラフバルブ
7 第一の排気口
8 油拡散ポンプ
9 メインバルブ
10 第二の排気口
11 フォアラインバルブ
12 バッフル
13 真空計
14 壁部
15 遮蔽板
16 壁部側面
18 額縁状枠体(遮蔽板支持部材)
19 ブラケット
20 支持棒
21 駆動装置
22 回転フランジ
23a 第一のAlスパッタターゲット
23b 第二のAlスパッタターゲット
24 遮蔽板間の隙間
25 壁部下面
26 ガス導入ポート
27 駆動軸
30 基板
31 基板ホルダ
32 MF電源
40 回転軸
41 軸受け
42 蒸発源
43 高周波電源
44 蒸発電源
45 直流電源
Claims (7)
- 壁部に排気口を有する成膜室と、前記排気口を介して前記成膜室の内部を排気する排気手段と、所定の開口率を有して前記排気口を覆うことが可能なように前記成膜室の内部に配置されたバッフルと、前記バッフルを駆動する駆動手段とを備え、
前記バッフルは枠体と前記枠体に隙間を有して配置された複数の遮蔽板とを有し、前記駆動手段は、前記バッフルを、前記排気口を覆うように進出させかつ前記排気口を覆わないように退避させる成膜装置。 - 壁部に排気口を有する成膜室と、前記排気口を介して前記成膜室の内部を排気する排気手段と、所定の開口率を有して前記排気口を覆うことが可能なように前記成膜室の内部に配置されたバッフルと、前記バッフルを駆動する駆動手段とを備え、
前記バッフルは、前記開口率相当分の間隔を保つように前記壁部から離して配置される遮蔽板を有し、前記駆動手段は、前記バッフルを、前記排気口を覆うように進出させかつ前記排気口を覆わないように退避させる成膜装置。 - 壁部に排気口を有する成膜室と、前記排気口を介して前記成膜室の内部を排気する排気手段と、前記内部空間に配置され、複数の遮蔽板および前記遮蔽板を支持する支持部材からなって所定の開口率を有するバッフルと、前記バッフルを駆動する駆動装置とを備えた成膜装置であって、前記遮蔽板を前記支持部材に固定させた状態で前記バッフルを前記駆動装置によって前記排気口の領域内外を移動させる成膜装置。
- 前記バッフルは隙間を隔てて配置された複数の遮蔽板を備えており、前記隙間および前記遮蔽板からなるバッフルによって、前記排気口のほぼ全域を覆うことができる請求項1乃至3の何れかに記載の成膜装置。
- 前記成膜室の内部には基板と前記基板に被膜材料を供給する成膜粒子源とを配置されている請求項1乃至4の何れかに記載の成膜装置。
- 前記成膜粒子源がスパッタリング用のターゲットまたは蒸発用の蒸発源である請求項5記載の成膜装置。
- 前記遮蔽板は短冊状板であり、前記短冊状板は前記隙間を隔ててその長手方向端を前記支持部材に固定して並べられ、前記排気口を前記バッフルによって覆った状態で、前記ターゲットまたは前記蒸発源から前記バッフルを投影した場合、前記短冊状板によって前記隙間が隠されて、前記ターゲットまたは蒸発源から前記排気口に向けて放出された成膜粒子が前記短冊状板に衝突する請求項6記載の成膜装置。
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JP2003419216A JP4393856B2 (ja) | 2003-12-17 | 2003-12-17 | 成膜装置 |
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- 2003-12-17 JP JP2003419216A patent/JP4393856B2/ja not_active Expired - Lifetime
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