JP2005172426A - 連続熱処理炉 - Google Patents

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Abstract

【課題】被処理材の品質悪化と大きさの影響なく、雰囲気ガス消費量の低減、熱効率とスループットの向上、被処理材の効率良い円滑な搬送ができる連続熱処理炉を提供する。
【解決手段】被処理材Wを導入側パージ部4の第1搬送機構21から、熱処理部3の第2、第3、第4搬送機構を介し、排出側パージ部の第5搬送機構に受け渡す。第1、第3、第5搬送機構は周回駆動される無端体により、第2搬送機構22は第1搬送機構21寄りの高速回転駆動されるローラー22bと第3搬送機構23寄りの低速回転駆されるローラー22cにより、第4搬送機構は第5搬送機構寄りの高速回転駆動されるローラーと第3搬送機構23寄りの低速回転駆動されるローラーにより、被処理材Wを搬送する。第1、第5搬送機構は第3搬送機構23よりも高速搬送する。
【選択図】図1

Description

本発明は、被処理材を連続的に搬送しつつ熱処理する連続熱処理炉に関する。
被処理材を連続的に搬送しつつ熱処理する連続熱処理炉においては、熱処理部内における酸素濃度の変動防止のために水素ガス等の雰囲気ガスが導入される。その雰囲気ガスは高価であることから、熱処理部の出入口に雰囲気ガスカーテンや、ステンレス線やステンレス箔等のカーテンが設けられ、消費量の節約が図られている。
しかし、出入口の開口寸法が大きくなると雰囲気ガス消費量が増大する。特に、雰囲気ガスカーテンを設けた場合、被処理材の高さが高い場合は雰囲気ガスの消費量が増大する。また、ステンレス線やステンレス箔等のカーテンは、被処理材に接触して品質を悪化させる。また、被処理材の搬送速度は熱処理を行うため低速であることから、被処理材の出入りに要する時間が長くなり、雰囲気ガスの消費量が増大する。
本発明は、上記問題を解決することのできる連続熱処理炉を提供することを目的とする。
本発明の連続熱処理炉は、雰囲気ガスが導入される熱処理部と、その熱処理部に接続される導入側パージ部と、その熱処理部に接続される排出側パージ部と、その導入側パージ部の入口、その導入側パージ部と熱処理部との接続口、その熱処理部と排出側パージ部との接続口、および排出側パージ部の出口の開閉手段と、その導入側パージ部内を、ガスパージまたは真空パージする手段と、その排出側パージ部内を、ガスパージまたは真空パージする手段と、その導入側パージ部内において被処理材を搬送する第1搬送機構と、その熱処理部内の導入側において前記第1搬送機構から受渡された被処理材を搬送する第2搬送機構と、その熱処理部内の導入側と排出側との間の熱処理領域において前記第2搬送機構から受渡された被処理材を搬送する第3搬送機構と、その熱処理部内の排出側において前記第3搬送機構から受渡された被処理材を搬送する第4搬送機構と、その排出側パージ部内において前記第4搬送機構から受渡された被処理材を搬送する第5搬送機構とを備える。前記第1、第5搬送機構の搬送速度は前記第3搬送機構の搬送速度よりも高速とされ、前記第2搬送機構の搬送速度は、前記第1搬送機構から被処理材を受渡される時は前記第3搬送機構に被処理材を受渡す時よりも高速とされ、前記第4搬送機構の搬送速度は、前記第3搬送機構から被処理材を受渡される時は前記第5搬送機構に被処理材を受渡す時よりも低速とされる。
これにより、導入側パージ部に導入された被処理材を、雰囲気ガスが導入される熱処理部を経て排出側パージ部から排出するまで、連続的に搬送しつつ熱処理する方法であって、被処理材を導入側パージ部内に導入し、その被処理材が導入された導入側パージ部内を、その導入側パージ部の入口と熱処理部との接続口とを閉鎖した状態で、ガスパージまたは真空パージし、次に、その導入側パージ部と熱処理部との接続口を開いて熱処理部内に被処理材を導入し、その熱処理部内に導入された被処理材を搬送しつつ熱処理し、その熱処理部から排出側パージ部に被処理材を排出する前に、その排出側パージ部内を、その排出側パージ部の出口と熱処理部との接続口とを閉鎖した状態で、ガスパージまたは真空パージし、次に、その熱処理部と排出側パージ部との接続口を開いて排出側パージ部内に被処理材を排出し、次に、その被処理材を排出側パージ部から外部に排出するに際して、被処理材の導入側パージ部内と排出側パージ部内での搬送速度を、熱処理部内の熱処理領域における搬送速度よりも高速とし、その熱処理部内において、被処理材の搬送速度を熱処理領域に至る前に減速すると共に熱処理領域を過ぎた後に増速することができる。
また、被処理材を導入側パージ部内に導入する時、導入側パージ部と熱処理部との接続口を閉鎖することで、熱処理部への外気の拡散は防止される。その被処理材が導入された導入側パージ部内をガスパージまたは真空パージする時、その導入側パージ部の入口と熱処理部との接続口とを閉鎖することで、熱処理部への外気の拡散は防止される。そのガスパージまたは真空パージ後に、導入側パージ部と熱処理部との接続口から熱処理部内に被処理材が導入されるので、熱処理部内への外気拡散が防止され、熱処理部内の酸素濃度変動が防止される。
また、排出側パージ部に被処理材を排出する前に、排出側パージ部内をガスパージまたは真空パージする時、その排出側パージ部の出口と熱処理部との接続口とを閉鎖することで、熱処理部への外気の拡散は防止される。そのガスパージまたは真空パージ後に、排出側パージ部と熱処理部との接続口から排出側パージ部内に被処理材が排出されるので、熱処理部内への外気拡散が防止され、熱処理部内の酸素濃度変動が防止される。被処理材を排出側パージ部から外部に排出する時、排出側パージ部と熱処理部との接続口を閉鎖することで、熱処理部への外気の拡散は防止される。
被処理材の導入側パージ部内と排出側パージ部内での搬送速度を、熱処理部内での熱処理領域における搬送速度よりも高速とし、その熱処理部内において、被処理材の搬送速度を熱処理領域に至る前に減速すると共に熱処理領域を過ぎた後に増速する、被処理材の導入側パージ部から熱処理部への導入時と、熱処理部から排出側パージ部への排出時において、熱処理領域におけるよりも搬送速度を高速にし、熱処理部への外気の拡散をより防止でき、さらに、本体内からの熱の逃げを防止すると共にスループットを向上できる。
前記第1、第3、第5搬送機構は、周回駆動される無端体により被処理材を搬送するコンベヤにより構成され、前記第2、第4搬送機構は、搬送方向の間隔をおいて並列する複数のローラーにより被処理材を搬送するコンベヤにより構成され、その第2搬送機構における複数のローラーは、低速回転駆動されるものと高速回転駆動されるものとを有し、その低速回転駆動されるローラーは高速回転駆動されるローラーよりも第3搬送機構寄りに配置され、その第4搬送機構における複数のローラーは、低速回転駆動されるものと高速回転駆動されるものとを有し、その低速回転駆動されるローラーは高速回転駆動されるローラーよりも第3搬送機構寄りに配置される。
これにより、被処理材を第1搬送機構から第2搬送機構に高速回転駆動されるローラーを介して受渡し、次に低速回転駆動されるローラーを介して第3搬送機構に受渡し、次に第3搬送機構から第4搬送機構に低速回転駆動されるローラーを介して受渡し、次に高速回転駆動されるローラーを介して第5搬送機構に受渡すことができる。これにより、各搬送機構間での被処理材の受渡しを円滑に行うことができる。しかも、複数の被処理材の熱処理を行う場合に、前方の被処理材を第2搬送機構から第3搬送機構に受渡すと同時に、後方の被処理材を第1搬送機構から第2搬送機構に受渡し、また、前方の被処理材を第4搬送機構から第5搬送機構に受渡すと同時に、後方の被処理材を第3搬送機構から第4搬送機構に受渡すことが可能になり、搬送効率を向上できる。
その第1、第5搬送機構をチェーンコンベヤにより構成し、第3搬送機構をメッシュベルトコンベヤにより構成することで、製造コストの低減を図ることができる。
その被処理材の第1搬送機構から第2搬送機構への受渡し時に、その第2搬送機構の搬送速度は第1搬送機構の搬送速度に同期され、被処理材の第2搬送機構から第3搬送機構への受渡し時に、その第2搬送機構の搬送速度は第3搬送機構の搬送速度に同期され、被処理材の第3搬送機構から第4搬送機構への受渡し時に、その第4搬送機構の搬送速度は第3搬送機構の搬送速度に同期され、被処理材の第4搬送機構から第5搬送機構への受渡し時に、その第4搬送機構の搬送速度は第5搬送機構の搬送速度に同期されるのが好ましい。これにより被処理材を円滑に搬送できる。
本発明によれば、被処理材の品質を悪化させることなく、被処理材の大きさに影響されることなく、雰囲気ガス消費量を低減でき、熱効率とスループットを向上でき、しかも被処理材を効率良く円滑に搬送できる連続熱処理炉を提供できる。
図1、図2に示すメッシュベルト式連続熱処理炉1は、支持台2により支持される熱処理部3、この熱処理部3に接続される導入側パージ部4および排出側パージ部6、搬送装置7を備える。この熱処理炉1により、その導入側パージ部4に導入された被処理材Wを、雰囲気ガスが導入される熱処理部3を経て排出側パージ部6ら排出されるまで、図において左方から右方に連続的に搬送しつつ熱処理する。なお、本実施形態では、被処理材Wはトレイにセットされた状態で搬送される。
その熱処理部3は、筒状の本体10と、この本体10を囲むヒーター11および冷却体12を有する。その本体10は、導入部10aと、この導入部10aにベローズ10bを介して接続されるマッフル10cと、このマッフル10cに接続される排出部10dとから構成される。その本体10内に窒素、水素等の雰囲気ガスが、内部酸素濃度を一定に保持するため、例えばマッフル10cから導入部10aと排出部10dとに向かうガス流が生じるように適宜導入される。これにより、そのマッフル10c内の酸素濃度は例えば10ppm以下に保持される。そのマッフル10c内で被処理材Wは搬送されつつヒーター11により加熱され、冷却体12により冷却されることで熱処理され、そのマッフル10cの熱変形はベローズ10bにより吸収される。その導入部10aと排出部10dに雰囲気ガスの排気口10f、10gが設けられる。
その導入側パージ部4の入口の開閉用第1扉15、その導入側パージ部4と熱処理部3との接続口の開閉用第2扉16、その熱処理部3と排出側パージ部との接続口の開閉用第3扉17、および排出側パージ部の出口の開閉用第4扉18が設けられている。各扉15、16、17、18は、本実施形態ではエアシリンダ15a、16a、17a、18aにより開閉される。
その導入側パージ部4はボックス状の筐体4aを有し、その筐体4aにガス導入口4bとガス排出口4cとが形成されている。そのガス導入口4bから筐体4a内に、雰囲気ガスと同種のガスや他の不活性ガスをパージガスとして導入すると共に、導入側パージ部4内のガスをガス排出口4cから排出することで、ガスパージを行うことができる。また、そのガス排出口4cに接続される真空ポンプにより筐体4aから内部ガスを吸引して排気し、そのガス導入口4bから雰囲気ガスと同種のガスや他の不活性ガスを導入して復圧することで、真空パージを行うことができる。
その排出側パージ部6はボックス状の筐体6aを有し、その筐体6aにガス導入口6bとガス排出口6cとが形成されている。そのガス導入口6bから筐体6a内に、雰囲気ガスと同種のガスや他の不活性ガスをパージガスとして導入すると共に、排出側パージ部6内のガスをガス排出口6cから排出することで、ガスパージを行うことができる。また、そのガス排出口6cに接続される真空ポンプにより筐体6aから内部ガスを吸引して排気し、そのガス導入口6bから雰囲気ガスと同種のガスや他の不活性ガスを導入して復圧することで、真空パージを行うことができる。
その搬送装置7は、その導入側パージ部4内において被処理材Wを搬送する第1搬送機構21と、その熱処理部3の本体10の導入側において第1搬送機構21から受渡された被処理材Wを搬送する第2搬送機構22と、その熱処理部3の本体10の導入側と排出側との間の熱処理領域において第2搬送機構22から受渡された被処理材Wを搬送する第3搬送機構23と、その熱処理部3の本体10の排出側において第3搬送機構23から受渡された被処理材Wを搬送する第4搬送機構24と、その排出側パージ部6内において第4搬送機構24から受渡された被処理材Wを搬送する第5搬送機構25とを備える。
その第1搬送機構21は、横軸回りに周回駆動される無端体の外周上面により被処理材Wを搬送するコンベヤにより構成される。本実施形態では無端体としてチェーン21aを用いるチェーンコンベヤが用いられている。この第1搬送機構21は、支持台2により支持される第1巻き掛け駆動機構21bによって駆動される。
その第2搬送機構22は、搬送方向の間隔をおいて並列する4本の横軸回りに回転するローラーにより被処理材Wを搬送するローラーコンベヤにより構成される。その4本のローラーの中で、第1搬送機構21側の2本のローラー22aは自由回転するものとされ、第3搬送機構23側の2本のローラー22b、22cは支持台2により支持される第2、第3巻き掛け駆動機構22d、22eによって駆動される。その第2巻き掛け駆動機構22dは、モータ出力回転を第1搬送機構21側の回転駆動ローラ22bにクラッチを介して増速して伝達し、第3巻き掛け駆動機構22eモータは、出力回転を第3搬送機構23側の回転駆動ローラ22cにクラッチを介して減速して伝達する。これにより、その回転駆動される2本のローラー22b、22cの一方は低速回転駆動され、他方は高速回転駆動され、低速回転駆動されるローラー22cは高速回転駆動されるローラー22bよりも第3搬送機構23寄りに配置される。
その第3搬送機構23は、横軸回りに周回駆動される無端体の外周上面により、被処理材Wを熱処理に適した速度で搬送するコンベヤにより構成される。本実施形態では無端体としてメッシュベルト23aを用いるメッシュベルトコンベヤが用いられている。そのメッシュベルト23aは、熱処理部3の本体10内に配置される駆動ローラ23c、従動ローラ23d、およびフリーローラー23e、23fに巻き掛けられ、その駆動ローラ23cは支持台2により支持される駆動機構23bによって駆動される。そのメッシュベルト23aの一部は、上記排気口10f、10gを介して本体10の外部に位置するものとされている。
その第4搬送機構24は、搬送方向の間隔をおいて並列する4本の横軸回りに回転するローラーにより被処理材Wを搬送するローラーコンベヤにより構成される。その4本のローラーの中で、第3搬送機構23側から1本目と3本目のローラー24aは自由回転するものとされ、残りの2本のローラー24b、24cは支持台2により支持される第4、第5巻き掛け駆動機構24d、24eによって駆動される。その第4巻き掛け駆動機構24dは、モータ出力回転を第5搬送機構25側の回転駆動ローラ24bにクラッチを介して増速して伝達し、第5巻き掛け駆動機構24eは、モータ出力回転を第3搬送機構23側の回転駆動ローラ24cにクラッチを介して減速して伝達する。これにより、その回転駆動される2本のローラー24b、24cの一方は低速回転駆動され、他方は高速回転駆動され、低速回転駆動されるローラー24cは高速回転駆動されるローラー24bよりも第3搬送機構23寄りに配置される。
その第5搬送機構25は、横軸回りに周回駆動される無端体の外周上面により被処理材Wを搬送するコンベヤにより構成される。本実施形態では無端体としてチェーン25aを用いるチェーンコンベヤが用いられている。この第5搬送機構25は、支持台2により支持される第6巻き掛け駆動機構25bによって駆動される。
その第1搬送機構21と第5搬送機構25の搬送速度は、第3搬送機構23の搬送速度よりも高速とされている。その第2搬送機構22の搬送速度は、第1搬送機構21から被処理材Wを受渡される時は第3搬送機構23に被処理材Wを受渡す時よりも高速とされている。その第4搬送機構24の搬送速度は、第3搬送機構23から被処理材Wを受渡される時は第5搬送機構25に被処理材Wを受渡す時よりも低速とされている。
その第1搬送機構21から第2搬送機構22への被処理材Wの受渡し当初は、被処理材Wは第2搬送機構22の自由回転するローラー22aにより搬送され、しかる後に第2巻き掛け駆動機構22dからの回転伝達により高速回転駆動されるローラー22bにより搬送される。その第1搬送機構21による搬送速度と高速回転駆動されるローラー22bによる搬送速度は等しくされている。この受渡しの完了前には、低速回転駆動されるローラー22cが自由回転するように、そのローラー22cへの第3巻き掛け駆動機構22eからの回転伝達は切断される。その被処理材Wの第1搬送機構21から第2搬送機構22への受渡し完了後であって、第2搬送機構22から第3搬送機構23への受渡し前に、高速回転駆動されるローラー22bが自由回転するように、そのローラー22bへの第2巻き掛け駆動機構22dからの回転伝達は切断され、第3巻き掛け駆動機構22eからの回転伝達により低速回転駆動されるローラー22cにより被処理材Wは搬送される。しかる後に、第2搬送機構22から第3搬送機構23へ被処理材Wが受渡される。これにより、被処理材Wの第1搬送機構21から第2搬送機構22への受渡し時に、その第2搬送機構22の搬送速度は第1搬送機構21の搬送速度に同期され、被処理材Wの第2搬送機構22から第3搬送機構23への受渡し時に、その第2搬送機構22の搬送速度は第3搬送機構23の搬送速度に同期される。
その第3搬送機構23から第4搬送機構24への被処理材Wの受渡し当初は、被処理材Wは第4搬送機構24の自由回転するローラー24aによる搬送され、しかる後に第5巻き掛け駆動機構24eからの回転伝達により低速回転駆動されるローラー24cにより搬送される。その第3搬送機構23による搬送速度と低速回転駆動されるローラー24cによる搬送速度は等しくされている。この受渡しの完了前には、高速回転駆動されるローラー24bが自由回転するように、そのローラー24bへの第4巻き掛け駆動機構24dからの回転伝達は切断される。その被処理材Wの第3搬送機構23から第4搬送機構24への受渡し完了後であって、第4搬送機構24から第5搬送機構25への受渡し前に、低速回転駆動されるローラー24cが自由回転するように、そのローラー24cへの第5巻き掛け駆動機構24eからの回転伝達は切断され、第4巻き掛け駆動機構24dからの回転伝達により高速回転駆動されるローラー24bにより被処理材Wは搬送される。しかる後に、第4搬送機構24から第5搬送機構25へ被処理材Wが受渡される。これにより、被処理材Wの第3搬送機構23から第4搬送機構24への受渡し時に、その第4搬送機構24の搬送速度は第3搬送機構23の搬送速度に同期され、被処理材Wの第4搬送機構24から第5搬送機構25への受渡し時に、その第4搬送機構24の搬送速度は第5搬送機構25の搬送速度に同期される。
上記構成により熱処理を行うには、先ず被処理材Wを導入側パージ部4に導入する。この導入は第1搬送機構21と同一の搬送速度のコンベヤ等により行うのが好ましい。次に、その被処理材Wが導入された導入側パージ部4内を、その導入側パージ部4の入口と熱処理部3との接続口とを第1、第2扉15、16により閉鎖した状態で、ガスパージまたは真空パージする。次に、その導入側パージ部4と熱処理部3との接続口を開き、第1搬送機構21から第2搬送機構22に搬送速度が同期された状態で被処理材Wを受渡すことで、熱処理部3内に被処理材Wを導入する。その熱処理部3内に導入された被処理材Wを、第2搬送機構22から第3搬送機構23に搬送速度が同期された状態で受渡し、その第3搬送機構23により第1搬送機構21よりも低速で搬送しつつ熱処理する。その第3搬送機構23から第4搬送機構24に搬送速度が同期された状態で受渡された被処理材Wを、熱処理部3から排出側パージ部6に排出する前に、その排出側パージ部6内を、その排出側パージ部6の出口と熱処理部3との接続口とを第3、第4扉17、18により閉鎖した状態で、ガスパージまたは真空パージする。次に、その熱処理部3と排出側パージ部6との接続口を開き、第4搬送機構24から第5搬送機構25に搬送速度が同期された状態で被処理材Wを受渡すことで、排出側パージ部6内に被処理材Wを排出する。次に、排出側パージ部6と熱処理部3との接続口を閉鎖した状態で、被処理材Wを第5搬送機構25により第3搬送機構23よりも高速で排出側パージ部6から排出する。なお、第2搬送機構22、第4搬送機構24の速度変更タイミングの制御や各扉15、16、17、18の開閉タイミングの制御は、公知の制御機構を用いて行えばよく、例えばセンサにより検出した被処理材Wの位置に応じて速度変更や開閉を行えばよい。
上記構成によれば、被処理材Wを導入側パージ部4内に導入する時、導入側パージ部4と熱処理部3との接続口は閉鎖されるので、熱処理部への外気の拡散は防止される。その被処理材Wが導入された導入側パージ部4内をガスパージまたは真空パージする時、その導入側パージ部4の入口と熱処理部3との接続口とは閉鎖されるので、熱処理部3への外気の拡散は防止される。そのガスパージまたは真空パージ後に、導入側パージ部4と熱処理部3との接続口から熱処理部3内に被処理材Wが導入されるので、熱処理部3内への外気拡散が防止され、熱処理部3内の酸素濃度変動が防止される。
また、排出側パージ部6に被処理材Wを排出する前に、排出側パージ部6内をガスパージまたは真空パージする時、その排出側パージ部6の出口と熱処理部3との接続口とは閉鎖されるので、熱処理部3への外気の拡散は防止される。そのガスパージまたは真空パージ後に、排出側パージ部6と熱処理部3との接続口から排出側パージ部6内に被処理材Wが排出されるので、熱処理部3内への外気拡散が防止され、熱処理部3内の酸素濃度変動が防止される。被処理材Wを排出側パージ部6から外部に排出する時、排出側パージ部6と熱処理部3との接続口は閉鎖されるので、熱処理部3への外気の拡散は防止される。
被処理材Wの導入側パージ部4内と排出側パージ部6内での搬送速度を、熱処理部3内の熱処理時領域における搬送速度よりも高速とし、その熱処理部3内において、被処理材Wの搬送速度を熱処理領域に至る前に減速すると共に熱処理領域を過ぎた後に増速するので、被処理材Wの導入側パージ部4から熱処理部3への導入時と、熱処理部3から排出側パージ部6への排出時において、その熱処理領域におけるよりも搬送速度を高速にし、熱処理部3への外気の拡散をより防止でき、これにより雰囲気ガスの消費量を低減できる。例えば、メッシュベルト23aの幅を400mm、熱処理部3に導入可能な被処理材Wの有効高さを250mmとした場合、パージ部4、6を設置しない場合は50〜60m3 /hの雰囲気ガスが消費されるのに対して、各パージ部4、6においてガスパージを行った場合、その消費量を21m3 /hに低減でき、真空パージを行った場合、その消費量を16m3 /hに低減できた。
また、各搬送機構21、22、23、24、25間で被処理材Wを搬送速度を同期した状態で受渡すので、被処理材Wを円滑に搬送できる。
また、被処理材Wを第1搬送機構21から第2搬送機構22に高速回転駆動されるローラーを介して受渡し、次に低速回転駆動されるローラーを介して第3搬送機構23に受渡し、次に第3搬送機構23から第4搬送機構24に低速回転駆動されるローラーを介して受渡し、次に高速回転駆動されるローラーを介して第5搬送機構25に受渡すことができる。これにより、各搬送機構間での被処理材Wの受渡しを円滑に行うことができるだけでなく、複数の被処理材Wの熱処理を行う場合に、前方の被処理材Wを第2搬送機構22から第3搬送機構23に受渡すと同時に、後方の被処理材Wを第1搬送機構21から第2搬送機構22に受渡し、また、前方の被処理材Wを第4搬送機構24から第5搬送機構25に受渡すと同時に、後方の被処理材Wを第3搬送機構23から第4搬送機構24に受渡すことが可能になり、搬送効率を向上できる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されない。例えば、熱処理部やパージ部等の形態は特に限定されない。また、第2、第4搬送機構のローラーコンベヤとして高速回転駆動されるローラと低速回転駆動されるローラとを有するものを示したが、同一ローラの駆動速度を高速と低速との間で切り換えるようにしてもよい。また、上記実施形態においては第1、第5搬送機構の種類としてチェーンコンベヤを示し、第2、第4搬送機構としてローラーコンベヤを示したが、各搬送機構の種類はこれに限定されるものではない。さらに、上記実施形態においては第1搬送機構と第5搬送機構とを共にチェーンコンベヤとしたが互いに異なる種類の搬送機構としてもよく、第2搬送機構と第4搬送機構とを共にローラーコンベヤとしたが互いに異なる種類の搬送機構としてもよい。
本発明の実施形態の連続熱処理炉の導入側の側断面図 本発明の実施形態の連続熱処理炉の排出側の側断面図
符号の説明
3 熱処理部
4 導入側パージ部
6 排出側パージ部
15、16、17、18 扉
21 第1搬送機構
22 第2搬送機構
22b、22c ローラー
23 第3搬送機構
24 第4搬送機構
24b、24c ローラー
25 第5搬送機構

Claims (3)

  1. 雰囲気ガスが導入される熱処理部と、
    その熱処理部に接続される導入側パージ部と、
    その熱処理部に接続される排出側パージ部と、
    その導入側パージ部の入口、その導入側パージ部と熱処理部との接続口、その熱処理部と排出側パージ部との接続口、および排出側パージ部の出口の開閉手段と、
    その導入側パージ部内を、ガスパージまたは真空パージする手段と、
    その排出側パージ部内を、ガスパージまたは真空パージする手段と、
    その導入側パージ部内において被処理材を搬送する第1搬送機構と、
    その熱処理部内の導入側において前記第1搬送機構から受渡された被処理材を搬送する第2搬送機構と、
    その熱処理部内の導入側と排出側との間の熱処理領域において前記第2搬送機構から受渡された被処理材を搬送する第3搬送機構と、
    その熱処理部内の排出側において前記第3搬送機構から受渡された被処理材を搬送する第4搬送機構と、
    その排出側パージ部内において前記第4搬送機構から受渡された被処理材を搬送する第5搬送機構とを備え、
    前記第1、第5搬送機構の搬送速度は前記第3搬送機構の搬送速度よりも高速とされ、
    前記第2搬送機構の搬送速度は、前記第1搬送機構から被処理材を受渡される時は前記第3搬送機構に被処理材を受渡す時よりも高速とされ、
    前記第4搬送機構の搬送速度は、前記第3搬送機構から被処理材を受渡される時は前記第5搬送機構に被処理材を受渡す時よりも低速とされ、
    前記第1、第3、第5搬送機構は、周回駆動される無端体により被処理材を搬送するコンベヤにより構成され、
    前記第2、第4搬送機構は、搬送方向の間隔をおいて並列する複数のローラーにより被処理材を搬送するコンベヤにより構成され、
    その第2搬送機構における複数のローラーは、低速回転駆動されるものと高速回転駆動されるものとを有し、その低速回転駆動されるローラーは高速回転駆動されるローラーよりも第3搬送機構寄りに配置され、
    その第4搬送機構における複数のローラーは、低速回転駆動されるものと高速回転駆動されるものとを有し、その低速回転駆動されるローラーは高速回転駆動されるローラーよりも第3搬送機構寄りに配置される連続熱処理炉。
  2. 前記第1、第5搬送機構はチェーンコンベヤにより構成され、第3搬送機構はメッシュベルトコンベヤにより構成される請求項1に記載の連続熱処理炉。
  3. 被処理材の第1搬送機構から第2搬送機構への受渡し時に、その第2搬送機構の搬送速度は第1搬送機構の搬送速度に同期され、
    被処理材の第2搬送機構から第3搬送機構への受渡し時に、その第2搬送機構の搬送速度は第3搬送機構の搬送速度に同期され、
    被処理材の第3搬送機構から第4搬送機構への受渡し時に、その第4搬送機構の搬送速度は第3搬送機構の搬送速度に同期され、
    被処理材の第4搬送機構から第5搬送機構への受渡し時に、その第4搬送機構の搬送速度は第5搬送機構の搬送速度に同期される請求項1または2に記載の連続熱処理炉。
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CN102042752A (zh) * 2010-12-17 2011-05-04 湖南航天工业总公司 一种工业级微波高温辊道连续烧结窑炉的辊道动力系统
JP2013057107A (ja) * 2011-09-09 2013-03-28 Dowa Thermotech Kk 熱処理方法及び熱処理装置
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