JP2005171207A - Resin sheet - Google Patents

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JP2005171207A JP2003417178A JP2003417178A JP2005171207A JP 2005171207 A JP2005171207 A JP 2005171207A JP 2003417178 A JP2003417178 A JP 2003417178A JP 2003417178 A JP2003417178 A JP 2003417178A JP 2005171207 A JP2005171207 A JP 2005171207A
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Koichi Shibayama
晃一 柴山
Kazunori Akaho
和則 赤穂
Mitsuharu Yonezawa
光治 米澤
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prepare a resin sheet, which is excellent in dynamic physical properties, dimensional stability, heat-resistance, transparency, low water absorbing property, flame-resistance, laser-processing property, and the like, in particular, excellent in high-temperature physical properties. <P>SOLUTION: This resin sheet comprises a resin composition containing 100 pts.wt. of a thermoplastic resin and/or a light curable resin and 0.1 to 100 pts.wt. of layered silicate, wherein the thickness ranges from 10 to 200μm, the proportion of a portion having post-hardening tensional modulus of elasticity of 2.0 GPa or less is 20 to 70% in thickness from at least one surface, and when such a portion having post-hardening tensional modulus of elasticity of 2.0 GPa or less is present on both surfaces, the total proportion of such portions is 70% or less in thickness from both surfaces. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、力学的物性、寸法安定性、耐熱性、透明性、低吸水性、難燃性、レーザー加工性等に優れ、特に高温物性に優れた樹脂シートに関する。   The present invention relates to a resin sheet excellent in mechanical properties, dimensional stability, heat resistance, transparency, low water absorption, flame retardancy, laser processability, etc., and particularly excellent in high temperature properties.

近年、電子機器の高性能化、高機能化、小型化が急速に進んでおり、電子機器に用いられる電子部品の小型化、軽量化の要請が高まっている。これに伴い、電子部品の素材についても、耐熱性、機械的強度、電気特性等の諸物性の更なる改善が求められており、例えば、半導体素子のパッケージ方法や半導体素子を実装する配線板についても、より高密度、高機能、かつ、高性能なものが求められている。   2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices with high performance, high functionality, and miniaturization are rapidly progressing, and there is an increasing demand for miniaturization and weight reduction of electronic components used in electronic devices. As a result, further improvements in physical properties such as heat resistance, mechanical strength, and electrical characteristics have been demanded for the materials of electronic components. For example, for semiconductor device packaging methods and wiring boards for mounting semiconductor devices. However, higher density, higher functionality, and higher performance are required.

電子機器に用いられる多層プリント基板は、複数層の絶縁基板により構成されており、従来、この層間絶縁基板としては、例えば、熱硬化性樹脂をガラスクロスに含浸させた熱硬化性樹脂プリプレグや、熱硬化性樹脂又は光硬化性樹脂からなるフィルムが用いられてきた。上記多層プリント基板においても高密度化、薄型化のために層間を極めて薄くすることが望まれており、薄型のガラスクロスを用いた層間絶縁基板やガラスクロスを用いない層間絶縁基板が必要とされている。
そのような層間絶縁基板としては、例えば、ゴム(エラストマー)類、アクリル樹脂等で変性した熱硬化性樹脂材料、無機充填剤を大量に配合した熱可塑性樹脂材料等からなるものが知られており、特許文献1には、高分子量エポキシ重合体及び多官能エポキシ樹脂等を主成分とするワニスに、所定の粒子径を有する無機充填剤を配合し、支持体に塗布して絶縁層とする多層絶縁基板の製造方法が開示されている。
Multilayer printed circuit boards used in electronic devices are composed of a plurality of insulating substrates, and conventionally, as this interlayer insulating substrate, for example, a thermosetting resin prepreg in which a glass cloth is impregnated with a thermosetting resin, Films made of thermosetting resins or photocurable resins have been used. Even in the multilayer printed circuit board, it is desired to make the interlayer extremely thin for high density and thinning, and an interlayer insulating board using a thin glass cloth or an interlayer insulating board not using a glass cloth is required. ing.
As such an interlayer insulating substrate, for example, those made of rubber (elastomer), thermosetting resin material modified with acrylic resin, thermoplastic resin material containing a large amount of inorganic filler, etc. are known. In Patent Document 1, a varnish mainly composed of a high molecular weight epoxy polymer and a polyfunctional epoxy resin is blended with an inorganic filler having a predetermined particle diameter, and applied to a support to form an insulating layer. A method for manufacturing an insulating substrate is disclosed.

しかしながら、上記製造方法により作製された多層絶縁基板では、無機充填剤と高分子量エポキシ重合体や多官能エポキシ樹脂との界面面積を確保して機械的強度等の力学的物性を充分に向上させるために、多量の無機充填剤を配合する必要があり、層間を薄くすることが困難であったりするという問題点があった。特に、多量の無機充填剤が配合されているため、冷熱サイクルテストなどの信頼性試験時に、クラックが発生することがあった。   However, in the multilayer insulating substrate produced by the above production method, in order to sufficiently improve the mechanical properties such as mechanical strength by securing the interface area between the inorganic filler and the high molecular weight epoxy polymer or polyfunctional epoxy resin. In addition, it is necessary to blend a large amount of an inorganic filler, which makes it difficult to thin the interlayer. In particular, since a large amount of inorganic filler is blended, cracks may occur during reliability tests such as a thermal cycle test.

また、薄型のガラスクロスを用いた層間絶縁基板やガラスクロスを用いない層間絶縁基板には、耐熱性や寸法安定性等が不充分であるという問題点や、脆く割れやすいために製造工程で不具合が生じることが多いという問題点があった。特に、ガラスクロスを用いない場合は、線膨張率を低下させることが困難であり、ガラスクロスを用いたリジッド基板や銅回路との線膨張率差のために、これも、冷熱サイクルテストなどの信頼性試験時に、クラックが発生することがあった。   In addition, interlayer insulation substrates that use thin glass cloth and interlayer insulation substrates that do not use glass cloth have problems such as insufficient heat resistance and dimensional stability. There was a problem that often occurred. In particular, when glass cloth is not used, it is difficult to reduce the linear expansion coefficient, and because of the difference in linear expansion coefficient between the rigid substrate using the glass cloth and the copper circuit, this is also applied to a thermal cycle test or the like. Cracks sometimes occurred during the reliability test.

上記多層プリント基板は、層上での回路形成と積層とを繰り返すことにより多層積層板を得るビルドアップ法や、回路が形成された層を一括して積層する一括積層法等により製造されるが、いずれの製造方法においても、工程数が多いため材料の品質が、歩留りに大きく影響し、メッキ工程、硬化工程、ハンダリフロー工程、レーザー穿孔工程等の工程を含むことから、材料には、耐溶剤性、耐水性、耐熱性及び高温での寸法安定性等が要求される。具体的には、例えば、酸、アルカリ及び有機溶剤への耐性;電気特性に影響を与える吸湿が少ないこと;上下層間の高精度な回路接続に影響を与える高温時及び加熱後の寸法安定性;鉛フリーハンダでの実装に必要な260℃までの耐熱性;接続信頼性に影響を与える銅のマイグレーションが、起こりにくいこと等が要求される。   The multilayer printed circuit board is manufactured by a build-up method for obtaining a multilayer laminate by repeating circuit formation and lamination on a layer, a batch lamination method for laminating layers on which circuits are formed, or the like. In any manufacturing method, since the number of processes is large, the quality of the material greatly affects the yield and includes processes such as a plating process, a curing process, a solder reflow process, and a laser drilling process. Solvent resistance, water resistance, heat resistance and dimensional stability at high temperatures are required. Specifically, for example, resistance to acids, alkalis, and organic solvents; low moisture absorption that affects electrical characteristics; dimensional stability at high temperatures and after heating that affects high-precision circuit connections between upper and lower layers; Heat resistance up to 260 ° C. required for mounting with lead-free solder; copper migration that affects connection reliability is required to occur less easily.

例えば、ICパッケージに用いられるビルドアップ基板やプリント多層基板は、発熱による高温条件下になることがあり、このような環境下でも高い信頼性を維持できることが求められるが、高温時の樹脂寸法変化が大きいと、回路を形成する銅等の金属配線と剥離が発生し、ショートや断線を起こすという問題があった。
また、最近、薄厚基板として注目されているフレキシブル多層基板でも、単層のフレキシブル基板同士を接着する接着層とフレキシブル基板を形成するポリイミドフィルム及び回路を形成する銅等の金属配線との熱寸法変化の差が大きいと、同様な問題が発生する。
For example, build-up boards and printed multilayer boards used in IC packages may be subject to high-temperature conditions due to heat generation, and it is required to maintain high reliability even in such an environment. If it is large, there is a problem that peeling occurs from a metal wiring such as copper forming a circuit, causing a short circuit or disconnection.
In addition, even in a flexible multilayer substrate that has recently attracted attention as a thin substrate, the thermal dimensional change between the adhesive layer that bonds single-layer flexible substrates to each other, the polyimide film that forms the flexible substrate, and the metal wiring such as copper that forms the circuit If the difference is large, the same problem occurs.

本来、冷熱サイクルテストなどの信頼性試験時に、クラックが発生しないようにするためには、基材との線膨張率差を小さくすることが有効であるとされてきた。近年、線膨張率を低下させるためには、無機充填剤を大量添加することが多い、この場合、樹脂組成物の脆弱性のために、残留応力が存在すると、線膨張率は下がるものの、クラックが発生することがあった。従って、これまでの技術の延長では高い信頼性を有する材料を得ることは困難であった。   Originally, it has been considered effective to reduce the difference in linear expansion coefficient from the base material in order to prevent cracks from occurring during reliability tests such as a cooling / heating cycle test. In recent years, in order to lower the linear expansion coefficient, a large amount of inorganic filler is often added. In this case, due to the brittleness of the resin composition, if residual stress exists, the linear expansion coefficient decreases, but cracks occur. May occur. Therefore, it has been difficult to obtain a highly reliable material by extending the technology so far.

また、材料中に無機充填材が大量に用いられている場合、レーザー穿孔加工時に、位置合わせが困難となるということ以外に、穿孔に大きなエネルギーを必要とすることがある。
通常の無機化合物は数ミクロン以上のサイズであり、その場合、レーザー加工では無機の数ミクロンサイズの大きな固まりを蒸発させる必要がある。一般的に無機化合物は、有機化合物と比べてレーザー処理には大きなエネルギーを必要とする。結果、必要なサイズの孔をあけるためには、樹脂のみの時と比べて、大きな出力で加工したり、複数回加工しなくてはいけないという問題点があった。
特開2000−183539号公報
In addition, when a large amount of inorganic filler is used in the material, a large amount of energy may be required for drilling, in addition to the difficulty in alignment during laser drilling.
Ordinary inorganic compounds have a size of several microns or more, and in that case, it is necessary to evaporate a large mass of inorganic several microns in laser processing. In general, an inorganic compound requires a larger energy for laser treatment than an organic compound. As a result, in order to open a hole of a required size, there was a problem that it had to be processed with a large output or processed multiple times compared to the case of resin alone.
JP 2000-183539 A

本発明は、上述した現状に鑑み、力学的物性、寸法安定性、耐熱性、透明性、低吸水性、難燃性等に優れ、特に高温物性やレーザー加工性に優れた樹脂シートを提供することを目的とするものである。   The present invention provides a resin sheet that is excellent in mechanical properties, dimensional stability, heat resistance, transparency, low water absorption, flame retardancy, and the like, and particularly excellent in high temperature properties and laser processability, in view of the above-described present situation. It is for the purpose.

本発明に係る樹脂シートは、熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂100重量部と層状珪酸塩0.1〜100重量部とを含有する樹脂組成物からなる樹脂シートであって、厚みが10〜200μmであり、硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が、少なくとも片方の表面から厚さが20%〜70%の範囲、かつ両方の表面から硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が存在する場合は、その合計が70%以下であることを特徴とする。
好ましくは、樹脂シートのガラス転移温度よりも50℃低い温度から、樹脂シートのガラス転移温度よりも10℃低い温度までの平均線膨張率(α1)が、5.0×10-5[℃-1]以下である。
本発明に係る樹脂シートでは、好ましくは、熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、ケイ素樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、及び、メラミン樹脂からなる群より選択された少なくとも1種である。
また、上記層状珪酸塩としては、好ましくは、モンモリロナイト、ヘクトライト、膨潤性マイカ、及び、バーミキュライトからなる群より選択された少なくとも1種である。
より好ましくは、上記層状珪酸塩は、炭素数6以上のアルキルアンモニウムイオン塩、芳香族4級アンモニウムイオン塩又は複素環4級アンモニウムイオン塩を含有する。また、本発明に係る樹脂シートでは、好ましくは、広角X線回折測定法により測定した(001)面の平均層間距離が3nm以上であり、かつ、一部又は全部の積層体が5層以下であるように層状珪酸塩が分散している。
The resin sheet which concerns on this invention is a resin sheet which consists of a resin composition containing 100 weight part of thermosetting resins and / or photocurable resin, and 0.1-100 weight part of layered silicate, Comprising: The portion having a tensile modulus of elasticity of 10 to 200 μm and a post-cure tensile modulus of 2.0 GPa or less has a thickness in the range of 20% to 70% from at least one surface, and the tensile modulus after curing from both surfaces is 2. If there is a portion that is 0 GPa or less, the total is 70% or less.
Preferably, the average linear expansion coefficient (α1) from a temperature 50 ° C. lower than the glass transition temperature of the resin sheet to a temperature 10 ° C. lower than the glass transition temperature of the resin sheet is 5.0 × 10 −5 [° C. − 1 ] The following.
In the resin sheet according to the present invention, preferably, the thermosetting resin and / or the photocurable resin is the epoxy resin, the thermosetting modified polyphenylene ether resin, the thermosetting resin. At least one selected from the group consisting of conductive polyimide resin, silicon resin, benzoxazine resin, and melamine resin.
The layered silicate is preferably at least one selected from the group consisting of montmorillonite, hectorite, swellable mica, and vermiculite.
More preferably, the layered silicate contains an alkyl ammonium ion salt having 6 or more carbon atoms, an aromatic quaternary ammonium ion salt or a heterocyclic quaternary ammonium ion salt. In the resin sheet according to the present invention, preferably, the average interlayer distance of the (001) plane measured by the wide-angle X-ray diffraction measurement method is 3 nm or more, and part or all of the laminates are 5 layers or less. As is the case, the layered silicate is dispersed.

本発明に係る樹脂シートでは、熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂100重量部と層状珪酸塩0.1〜100重量部とを含有する樹脂組成物からなり、厚みが10〜200μmの範囲にあり、硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が、少なくとも片方の表面から厚さが20%〜70%の範囲、かつ両方の表面から硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が存在する場合は、その合計が70%以下とされているため、熱膨張係数が低く、変化が与えられた場合の寸法安定性に優れ、力学的物性、耐熱性及び透明性に優れ、さらに低吸水性であり、レーザー加工性に優れている。
従って、本発明に係る樹脂シートは、例えば多層基板材料や、透明性が要求される光学材料などに好適に用いられる。
本発明に係る樹脂シートにおいて、ガラス転移温度よりも50℃低い温度から、樹脂シートのガラス転移温度よりも10℃低い温度までの平均線膨張率α1が、5.0×10-5-1以下である場合には、より一層温度変化によるクラック等が生じ難く、かつ寸法安定性に優れた、樹脂シートを提供することができる。
また、本発明において、広角X線回折測定法により測定された(001)面の平均層間距離が3nmであり、かつ一部又は全部の積層体が5層以下であるように層状珪酸塩が分散されている場合には、層状珪酸塩の分散性が効果的に高められている。従って、より一層高温物性、難燃性及びレーザー加工性に優れた樹脂シートを提供することができる。
In the resin sheet which concerns on this invention, it consists of a resin composition containing 100 weight part of thermosetting resins and / or photocurable resin, and 0.1-100 weight part of layered silicates, and the thickness is the range of 10-200 micrometers. The portion where the tensile modulus after curing is 2.0 GPa or less is at least 20% to 70% in thickness from one surface, and the tensile modulus after curing is 2.0 GPa or less from both surfaces. When there is a certain part, the total is 70% or less, so the coefficient of thermal expansion is low, it is excellent in dimensional stability when given a change, excellent in mechanical properties, heat resistance and transparency. Furthermore, it has low water absorption and is excellent in laser processability.
Therefore, the resin sheet according to the present invention is suitably used for, for example, a multilayer substrate material or an optical material that requires transparency.
In the resin sheet according to the present invention, the average linear expansion coefficient α1 from a temperature lower by 50 ° C. than the glass transition temperature to a temperature lower by 10 ° C. than the glass transition temperature of the resin sheet is 5.0 × 10 −5 ° C. −1. In the case of the following, it is possible to provide a resin sheet that is less prone to cracks due to temperature changes and has excellent dimensional stability.
Further, in the present invention, the layered silicate is dispersed so that the average interlayer distance of the (001) plane measured by the wide angle X-ray diffraction measurement method is 3 nm and a part or all of the laminate is 5 layers or less. If so, the dispersibility of the layered silicate is effectively enhanced. Therefore, it is possible to provide a resin sheet that is further excellent in high-temperature physical properties, flame retardancy, and laser processability.

本発明の樹脂シートでは、硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が、少なくとも片方の表面から厚さが20%〜70%の範囲、かつ両方の表面から硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が存在する場合は、その合計が70%以下である。2.0GPa以下であることにより、接着界面付近に存在する残留応力を緩和させることができ、冷熱サイクル試験などの信頼性試験でも、クラックなどを発生させにくい。より好ましくは、1.5GPa以下、さらに好ましくは1.0GPa以下である。1.0GPa以下であると、プロセス中の加温過程の時間内でも、応力を緩和することができる。
2GPa以下の引張弾性率を有する厚みが、表面からシートの20%厚さ以下であると、応力緩和性が不十分であり、冷熱サイクル試験などの信頼性試験においてクラックが発生することがある。
また、表面からシートの50%厚さ以上の部分にまで渡って、硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である場合には、樹脂シート全体の破断強度が低下したり、低い線膨張率を維持することが困難となる。
In the resin sheet of the present invention, the portion where the tensile modulus after curing is 2.0 GPa or less has a thickness ranging from 20% to 70% from at least one surface, and the tensile modulus after curing from both surfaces is 2 When there is a portion that is 0.0 GPa or less, the total is 70% or less. By being 2.0 GPa or less, the residual stress existing in the vicinity of the adhesive interface can be relaxed, and cracks and the like are hardly generated even in reliability tests such as a thermal cycle test. More preferably, it is 1.5 GPa or less, More preferably, it is 1.0 GPa or less. When the pressure is 1.0 GPa or less, the stress can be relaxed even during the heating process during the process.
When the thickness having a tensile modulus of 2 GPa or less is 20% or less of the sheet from the surface, the stress relaxation property is insufficient, and cracks may occur in a reliability test such as a thermal cycle test.
In addition, when the tensile elastic modulus after curing is 2.0 GPa or less from the surface to a portion having a thickness of 50% or more of the sheet, the breaking strength of the entire resin sheet is reduced or a low linear expansion coefficient is obtained. It becomes difficult to maintain.

本発明の樹脂シートでは、好ましくは、樹脂組成物のガラス転移温度(以下、Tgともいう)よりも50℃低い温度から、樹脂組成物のガラス転移温度よりも10℃低い温度までの平均線膨張率(α1)が5.0×10-5[℃-1]以下である。5.0×10-5[℃-1]以下であることにより、本発明の樹脂シートは、熱処理されたとき、冷熱サイクル試験等の冷却時、加熱時の寸法変化が小さく、銅箔等と張り合わせた際に収縮率の違いから反りが発生したり、剥がれたりするおそれが小さい。上記平均線膨張率は、より好ましくは、4.5×10-5[℃-1]以下、より好ましくは4.0×10-5[℃-1]以下である。なお、上記平均線膨張率は、JIS K7197に準じた方法により測定することができ、例えば、TMA(Thermomechanical Analysys)装置(セイコー電子社製、TMA/SS120C)を用いて、約3mm×15mmの試験片を昇温速度5℃/分で昇温することにより求めることができる。 In the resin sheet of the present invention, preferably, the average linear expansion from a temperature lower by 50 ° C. than the glass transition temperature (hereinafter also referred to as Tg) of the resin composition to a temperature lower by 10 ° C. than the glass transition temperature of the resin composition. The rate (α1) is 5.0 × 10 −5 [° C. −1 ] or less. By being 5.0 × 10 −5 [° C. −1 ] or less, the resin sheet of the present invention has a small dimensional change at the time of cooling during heating and cooling during a heat cycle test, etc. There is little risk of warping or peeling due to the difference in shrinkage rate when bonded. The average linear expansion coefficient is more preferably 4.5 × 10 −5 [° C. −1 ] or less, more preferably 4.0 × 10 −5 [° C. −1 ] or less. The average linear expansion coefficient can be measured by a method according to JIS K7197. For example, a test of about 3 mm × 15 mm using a TMA (Thermal Mechanical Analysis) apparatus (manufactured by Seiko Denshi, TMA / SS120C). It can be determined by heating the piece at a heating rate of 5 ° C./min.

本発明の樹脂シートでは、好ましくは樹脂組成物のTgよりも10℃高い温度から、樹脂組成物のTgよりも50℃高い温度までの平均線膨張率(α2)が1.2×10-4[℃-1]以下である。1.2×10-4[℃-1]以下であることにより、本発明では、Tg以上に熱処理されたとき、冷熱サイクル試験等の冷却時、加熱時の寸法変化が小さく、銅箔等と張り合わせた際に収縮率の違いから反りが発生したり、剥がれたりすることが少ない。より好ましくは、9×10-5[℃-1]以下、より好ましくは7.0×10-5[℃-1]以下である。 In the resin sheet of the present invention, the average linear expansion coefficient (α2) from a temperature 10 ° C. higher than the Tg of the resin composition to a temperature 50 ° C. higher than the Tg of the resin composition is preferably 1.2 × 10 −4. [° C -1 ] or less. By being 1.2 × 10 −4 [° C. −1 ] or less, in the present invention, when heat treatment is performed at Tg or more, a dimensional change during heating is small during cooling such as a cooling cycle test, and a copper foil or the like. There is little warping or peeling due to the difference in shrinkage when bonded. More preferably, it is 9 × 10 −5 [° C. −1 ] or less, more preferably 7.0 × 10 −5 [° C. −1 ] or less.

本発明の樹脂シートでは、硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が、少なくとも片方の表面から厚さが20%〜70%の範囲、かつ両方の表面から硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が存在する場合は、その合計が70%以下である。この機械物性を発現するのであれば、その製造方法はいかなる方法を用いてもよいが、例えば、複数の押出機から一つの金型に樹脂をフィードする、多層押出法や、一つの塗工ダイに、複数の塗液を供給して塗工する多層塗工法、一度作成した樹脂薄膜シート状に樹脂を押出ラミネートする方法、一度作成した樹脂薄膜シート上に、再度塗工する逐次塗工法などにおいて、低弾性率成分を、低線膨張率成分と共に使用する方法が挙げられる。
上記少なくとも片方の表面から20〜50%厚さまでの硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分、すなわち低弾性率部分は、樹脂の構造を工夫することにより設計され得る。また、その他、層状珪酸塩などの添加物を樹脂に添加する量を制御することによっても構成され得る。
好ましくは、層状珪酸塩の添加量は、熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂100重量部に対して15重量部以下である。より好ましくは、10重量部以下である。15重量部以上であると、弾性率を1.0GPaに制御することがかなり困難となる。
In the resin sheet of the present invention, the portion where the tensile modulus after curing is 2.0 GPa or less has a thickness ranging from 20% to 70% from at least one surface, and the tensile modulus after curing from both surfaces is 2 When there is a portion that is 0.0 GPa or less, the total is 70% or less. Any method may be used as long as this mechanical property is expressed. For example, a multilayer extrusion method in which a resin is fed from a plurality of extruders to one mold, or a single coating die. In addition, in the multilayer coating method in which a plurality of coating liquids are supplied and applied, the method of extruding and laminating a resin into a resin thin film sheet that has been created once, the sequential coating method in which coating is performed again on a resin thin film sheet that has been once created, etc. And a method of using a low elastic modulus component together with a low linear expansion coefficient component.
The part where the tensile modulus after curing from the at least one surface to a thickness of 20 to 50% is 2.0 GPa or less, that is, the low modulus part can be designed by devising the structure of the resin. In addition, it can also be configured by controlling the amount of additive such as layered silicate added to the resin.
Preferably, the addition amount of the layered silicate is 15 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin and / or the photocurable resin. More preferably, it is 10 parts by weight or less. If it is 15 parts by weight or more, it becomes quite difficult to control the elastic modulus to 1.0 GPa.

低弾性成分を樹脂の構造で設計する場合は、可撓性エポキシ樹脂を使用する。
本発明に係る硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である表面付近のエポキシ系熱硬化性樹脂組成物は、可撓性エポキシ樹脂と、熱硬化性樹脂硬化剤と、層状珪酸塩とが配合されていることが好ましい。ここで、層状珪酸塩は、可撓性エポキシ樹脂及び熱硬化性樹脂硬化剤からなるマトリクスに分散されている。
本発明に係る樹脂組成物では、可撓性エポキシ樹脂が用いられているため、エポキシ系熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物が、十分な柔軟性を有する。従って、低温域から高温域までの広い温度範囲にわたり、高い伸度を発現する。すなわち、本発明に係る熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂シートを硬化させた後において、常温における伸度は3%以上であり、好ましくは5%以上、さらに好ましくは7%以上とされ得る。
When designing the low elastic component with a resin structure, a flexible epoxy resin is used.
The epoxy thermosetting resin composition near the surface having a tensile modulus after curing of 2.0 GPa or less according to the present invention is composed of a flexible epoxy resin, a thermosetting resin curing agent, and a layered silicate. It is preferable that Here, the layered silicate is dispersed in a matrix made of a flexible epoxy resin and a thermosetting resin curing agent.
Since the flexible epoxy resin is used in the resin composition according to the present invention, the epoxy thermosetting resin composition and the cured product thereof have sufficient flexibility. Therefore, high elongation is expressed over a wide temperature range from a low temperature range to a high temperature range. That is, after the resin sheet comprising the thermosetting resin composition according to the present invention is cured, the elongation at room temperature is 3% or more, preferably 5% or more, and more preferably 7% or more.

可撓性エポキシ樹脂としては、熱硬化性樹脂硬化剤により硬化させた後においても、柔軟性を発現し得るものであれば特に限定されない。使用し得る可撓性エポキシ樹脂としては、ポリエチレングリコールのジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールのジグリシジルエーテル、炭素数が2〜9(好ましくは2〜4)のアルキレン基を含むポリオキシアルキレングリコールやポリテトラメチレンエーテルグリコール等を含む長鎖ポリオールのポリグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレートと、エチレン、酢酸ビニルもしくは(メタ)アクリル酸エステル等のラジカル重合性モノマーとの共重合体、共役ジエン化合物を主体とする(共)重合体またはその部分水添物の(共)重合体における不飽和炭素の二重結合をエポキシ化したもの、1分子当たり1個以上、好ましくは2個以上のエポキシ基を有するポリエステル樹脂、ウレタン結合やポリカプロラクトン結合を導入した、ウレタン変成エポキシ樹脂やポリカプロラクトン変成エポキシ樹脂、ダイマー酸またはその誘導体の分子内にエポキシ基を導入したダイマー酸変成エポキシ樹脂、NBR、CTBN、ポリブタジエン、アクリルゴム等のゴム成分の分子内にエポキシ基を導入したゴム変成エポキシ樹脂などが挙げられる。
好ましく用いられる可撓性エポキシ樹脂としては、分子内にエポキシ基及びブタジエン構造を有する化合物を挙げることができる。
より好ましくは、上記可撓性エポキシ樹脂として、ダイマー酸またはその誘導体の分子内にエポキシ基を導入したダイマー酸変成エポキシ樹脂、あるいはNBR、CTBN、ポリブタジエンまたはアクリルゴムなどのゴム成分の分子内にエポキシ基を導入したゴム変成エポキシ樹脂が用いられる。
The flexible epoxy resin is not particularly limited as long as it can exhibit flexibility even after being cured with a thermosetting resin curing agent. Examples of flexible epoxy resins that can be used include diglycidyl ether of polyethylene glycol, diglycidyl ether of polypropylene glycol, polyoxyalkylene glycols and polytetrakis containing alkylene groups having 2 to 9 carbon atoms (preferably 2 to 4 carbon atoms). Mainly a copolymer of a long-chain polyol polyglycidyl ether or glycidyl (meth) acrylate containing methylene ether glycol, etc., and a radical polymerizable monomer such as ethylene, vinyl acetate or (meth) acrylic acid ester, or a conjugated diene compound. Polyester having one or more, preferably two or more epoxy groups per molecule, obtained by epoxidizing unsaturated carbon double bonds in the (co) polymer of the (co) polymer or partially hydrogenated product thereof Resin, urethane bond and polycaprolactone bond In the molecule of rubber component such as urethane modified epoxy resin, polycaprolactone modified epoxy resin, dimer acid modified epoxy resin in which epoxy group is introduced into the molecule, NBR, CTBN, polybutadiene, acrylic rubber, etc. Rubber modified epoxy resin having an epoxy group introduced therein.
Examples of the flexible epoxy resin preferably used include compounds having an epoxy group and a butadiene structure in the molecule.
More preferably, the flexible epoxy resin is a dimer acid-modified epoxy resin in which an epoxy group is introduced into the molecule of dimer acid or a derivative thereof, or an epoxy in the molecule of a rubber component such as NBR, CTBN, polybutadiene, or acrylic rubber. A rubber-modified epoxy resin having a group introduced therein is used.

本発明においては、さらに好ましくは、下記の一般式(A)で示される可撓性エポキシ樹脂が用いられる。

Figure 2005171207
式(A)中、Rは、−CH2−CH=CH−CH2−または−CH2−CH(CH=CH2)−であり、
Aは、−φ−C(CH32−φ−O−CH2−CH(OH)−CH2−O−(C=0)− (φはベンゼン環)であり、
Bは、−(C=O)−O−CH2−CH(OH)−CH2−O−φ−C(CH32−φ− (φはベンゼン環)であり、mは0または1、nは正の整数である。
式(A)中のポリブタジエン成分が少ない場合には、電気的特性が良好となる。具体的には、低誘電率かつ低誘電正接を実現することができる。ポリブタジエン単位の好ましい数nは100以下であり、より好ましくは40以下である。 In the present invention, more preferably, a flexible epoxy resin represented by the following general formula (A) is used.
Figure 2005171207
In the formula (A), R is —CH 2 —CH═CH—CH 2 — or —CH 2 —CH (CH═CH 2 ) —,
A is, -φ-C (CH 3) 2 -φ-O-CH 2 -CH (OH) -CH 2 -O- (C = 0) - (φ is a benzene ring), and
B is — (C═O) —O—CH 2 —CH (OH) —CH 2 —O—φ—C (CH 3 ) 2 —φ— (φ is a benzene ring), and m is 0 or 1 , N is a positive integer.
When the polybutadiene component in the formula (A) is small, the electrical characteristics are good. Specifically, a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent can be realized. The preferred number n of polybutadiene units is 100 or less, more preferably 40 or less.

本発明の樹脂シートは、上述の優れた高温物性を有するものであって、熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂と、層状珪酸塩とを含有するものである。上記熱硬化性樹脂又は光硬化性樹脂とは、常温では液状、半固形状又は固形状等であって常温下又は加熱下で流動性を示す比較的低分子量の物質が、硬化剤、触媒、熱又は光の作用によって硬化反応や架橋反応等の化学反応を起こして分子量を増大させながら網目状の三次元構造を形成してなる不溶不融性の樹脂になりうる樹脂を意味する。   The resin sheet of the present invention has the above-described excellent high-temperature properties, and contains a thermosetting resin and / or a photocurable resin and a layered silicate. The thermosetting resin or photocurable resin is a liquid, semi-solid or solid at room temperature, and a relatively low molecular weight substance exhibiting fluidity at room temperature or under heating, a curing agent, a catalyst, It means a resin that can be an insoluble and infusible resin that forms a network-like three-dimensional structure while causing a chemical reaction such as a curing reaction or a crosslinking reaction by the action of heat or light to increase the molecular weight.

上記熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂、熱硬化型ポリイミド樹脂、ケイ素樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、アリル樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂、アルキド樹脂、フラン樹脂、ポリウレタン樹脂、アニリン樹脂等が挙げられる。なかでも、エポキシ樹脂、熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂、熱硬化型ポリイミド樹脂、ケイ素樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、及び、メラミン樹脂等が好適である。これらの熱硬化性樹脂は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Examples of the thermosetting resin include epoxy resin, thermosetting modified polyphenylene ether resin, thermosetting polyimide resin, silicon resin, benzoxazine resin, melamine resin, urea resin, allyl resin, phenol resin, unsaturated polyester resin. , Bismaleimide triazine resin, alkyd resin, furan resin, polyurethane resin, aniline resin and the like. Among these, epoxy resins, thermosetting modified polyphenylene ether resins, thermosetting polyimide resins, silicon resins, benzoxazine resins, melamine resins, and the like are preferable. These thermosetting resins may be used alone or in combination of two or more.

上記エポキシ樹脂とは、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物をいう。上記エポキシ樹脂中のエポキシ基の数としては、1分子当たり1個以上であることが好ましく、1分子当たり2個以上であることがより好ましい。ここで、1分子当たりのエポキシ基の数は、エポキシ樹脂中のエポキシ基の総数をエポキシ樹脂中の分子の総数で除算することにより求められる。   The epoxy resin refers to an organic compound having at least one epoxy group. The number of epoxy groups in the epoxy resin is preferably 1 or more per molecule, and more preferably 2 or more per molecule. Here, the number of epoxy groups per molecule is determined by dividing the total number of epoxy groups in the epoxy resin by the total number of molecules in the epoxy resin.

上記エポキシ樹脂としては、従来公知のエポキシ樹脂を用いることができ、例えば、以下に示したエポキシ樹脂(1)〜エポキシ樹脂(11)等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   A conventionally well-known epoxy resin can be used as said epoxy resin, For example, the epoxy resin (1)-epoxy resin (11) shown below etc. are mentioned. These epoxy resins may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記エポキシ樹脂(1)としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂;トリスフェノールメタントリグリシジルエーテル等の芳香族エポキシ樹脂、及び、これらの水添化物や臭素化物等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (1) include bisphenol type epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, and bisphenol S type epoxy resin; phenol novolac type epoxy resin, cresol novolak type Examples thereof include novolak-type epoxy resins such as epoxy resins; aromatic epoxy resins such as trisphenolmethane triglycidyl ether, and hydrogenated products and brominated products thereof.

上記エポキシ樹脂(2)としては、例えば、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−2−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−2−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(3,4 −エポキシシクロヘキシル)アジペート、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ビス(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル)アジペート、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル−5,5−スピロ−3,4−エポキシ)シクロヘキサノン−メタ−ジオキサン、ビス(2,3−エポキシシクロペンチル)エーテル等の脂環族エポキシ樹脂等が挙げられる。かかるエポキシ樹脂(2)のうち市販されているものとしては、例えば、ダイセル化学工業社製の商品名「EHPE−3150」(軟化温度71℃)等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (2) include 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy-2-methylcyclohexylmethyl-3,4-epoxy-2-methylcyclohexane. Carboxylate, bis (3,4-epoxycyclohexyl) adipate, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, bis (3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl) adipate, 2- (3,4-epoxy And cycloaliphatic epoxy resins such as cyclohexyl-5,5-spiro-3,4-epoxy) cyclohexanone-meta-dioxane and bis (2,3-epoxycyclopentyl) ether. As what is marketed among this epoxy resin (2), the brand name "EHPE-3150" (softening temperature 71 degreeC) by Daicel Chemical Industries, etc. are mentioned, for example.

上記エポキシ樹脂(3)としては、例えば、1,4−ブタンジオールのジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールのジグリシジルエーテル、グリセリンのトリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンのトリグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールのジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールのジグリシジルエーテル、炭素数が2〜9(好ましくは2〜4)のアルキレン基を含むポリオキシアルキレングリコールやポリテトラメチレンエーテルグリコール等を含む長鎖ポリオールのポリグリシジルエーテル等の脂肪族エポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (3) include 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, and polyethylene glycol. Diglycidyl ether, diglycidyl ether of polypropylene glycol, polyglycidyl ether of long-chain polyol containing polyoxyalkylene glycol or polytetramethylene ether glycol containing an alkylene group having 2 to 9 (preferably 2 to 4) carbon atoms, etc. Aliphatic epoxy resins and the like.

上記エポキシ樹脂(4)としては、例えば、フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ジグリシジル−p−オキシ安息香酸、サリチル酸のグリシジルエーテル−グリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル型エポキシ樹脂及びこれらの水添化物等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (4) include phthalic acid diglycidyl ester, tetrahydrophthalic acid diglycidyl ester, hexahydrophthalic acid diglycidyl ester, diglycidyl-p-oxybenzoic acid, glycidyl ether-glycidyl ester of salicylic acid, and dimer acid. Examples thereof include glycidyl ester type epoxy resins such as glycidyl ester and hydrogenated products thereof.

上記エポキシ樹脂(5)としては、例えば、トリグリシジルイソシアヌレート、環状アルキレン尿素のN,N’−ジグリシジル誘導体、p−アミノフェノールのN,N,O−トリグリシジル誘導体、m−アミノフェノールのN,N,O−トリグリシジル誘導体等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂及びこれらの水添化物等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (5) include triglycidyl isocyanurate, N, N′-diglycidyl derivative of cyclic alkylene urea, N, N, O-triglycidyl derivative of p-aminophenol, N of m-aminophenol, Examples thereof include glycidylamine type epoxy resins such as N, O-triglycidyl derivatives and hydrogenated products thereof.

上記エポキシ樹脂(6)としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレートと、エチレン、酢酸ビニル、(メタ)アクリル酸エステル等のラジカル重合性モノマーとの共重合体等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (6) include a copolymer of glycidyl (meth) acrylate and a radical polymerizable monomer such as ethylene, vinyl acetate, and (meth) acrylic acid ester.

上記エポキシ樹脂(7)としては、例えば、エポキシ化ポリブタジエン等の共役ジエン化合物を主体とする重合体又はその部分水添物の重合体における不飽和炭素の二重結合をエポキシ化したもの等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (7) include those obtained by epoxidizing unsaturated carbon double bonds in polymers mainly composed of conjugated diene compounds such as epoxidized polybutadiene or partially hydrogenated polymers thereof. It is done.

上記エポキシ樹脂(8)としては、例えば、エポキシ化SBS等のような、ビニル芳香族化合物を主体とする重合体ブロックと、共役ジエン化合物を主体とする重合体ブロック又はその部分水添物の重合体ブロックとを同一分子内にもつブロック共重合体における、共役ジエン化合物の不飽和炭素の二重結合をエポキシ化したもの等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (8) include a polymer block mainly composed of a vinyl aromatic compound such as epoxidized SBS, a polymer block mainly composed of a conjugated diene compound, or a partially hydrogenated product thereof. Examples thereof include those obtained by epoxidizing an unsaturated carbon double bond of a conjugated diene compound in a block copolymer having a combined block in the same molecule.

上記エポキシ樹脂(9)としては、例えば、1分子当たり1個以上、好ましくは2個以上のエポキシ基を有するポリエステル樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (9) include a polyester resin having one or more, preferably two or more epoxy groups per molecule.

上記エポキシ樹脂(10)としては、例えば、上記エポキシ樹脂(1)〜(9)の構造中にウレタン結合やポリカプロラクトン結合を導入した、ウレタン変成エポキシ樹脂やポリカプロラクトン変成エポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin (10) include urethane-modified epoxy resins and polycaprolactone-modified epoxy resins in which urethane bonds and polycaprolactone bonds are introduced into the structures of the epoxy resins (1) to (9).

上記エポキシ樹脂(11)としては、例えば、上記エポキシ樹脂(1)〜(10)にNBR、CTBN、ポリブタジエン、アクリルゴム等のゴム成分を含有させたゴム変成エポキシ樹脂等が挙げられる。 また、エポキシ樹脂以外に、少なくとも1つのオキシラン環を有する樹脂又は、オリゴマーが添加されていてもよい。   Examples of the epoxy resin (11) include rubber-modified epoxy resins in which the epoxy resins (1) to (10) contain a rubber component such as NBR, CTBN, polybutadiene, or acrylic rubber. In addition to the epoxy resin, a resin or oligomer having at least one oxirane ring may be added.

上記エポキシ樹脂の硬化反応に用いる硬化剤としては特に限定されず、従来公知のエポキシ樹脂用の硬化剤を用いることができ、例えば、アミン化合物、アミン化合物から合成されるポリアミノアミド化合物等の化合物、3級アミン化合物、イミダゾール化合物、ヒドラジド化合物、メラミン化合物、酸無水物、フェノール化合物、熱潜在性カチオン重合触媒、光潜在性カチオン重合開始剤、ジシアンアミド及びその誘導体等が挙げられる。これらの硬化剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The curing agent used for the curing reaction of the epoxy resin is not particularly limited, and conventionally known curing agents for epoxy resins can be used. For example, amine compounds, compounds such as polyaminoamide compounds synthesized from amine compounds, A tertiary amine compound, an imidazole compound, a hydrazide compound, a melamine compound, an acid anhydride, a phenol compound, a thermal latent cationic polymerization catalyst, a photolatent cationic polymerization initiator, dicyanamide, and derivatives thereof are exemplified. These hardening | curing agents may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記アミン化合物としては特に限定されず、例えば、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ポリオキシプロピレンジアミン、ポリオキシプロピレントリアミン等の鎖状脂肪族アミン及びその誘導体;メンセンジアミン、イソフォロンジアミン、ビス(4−アミノ−3−メチルシクロヘキシル)メタン、ジアミノジシクロヘキシルメタン、ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、N−アミノエチルピペラジン、3,9−ビス(3−アミノプロピル)2,4,8,10−テトラオキサスピロ(5,5)ウンデカン等の環状脂肪族アミン及びその誘導体;m−キシレンジアミン、α−(m/pアミノフェニル)エチルアミン、m−フェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルスルフォン、α,α−ビス(4−アミノフェニル)−p−ジイソプロピルベンゼン等の芳香族アミン及びその誘導体等が挙げられる。   The amine compound is not particularly limited, and examples thereof include chain aliphatic amines such as ethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, polyoxypropylenediamine, polyoxypropylenetriamine, and derivatives thereof; Foronediamine, bis (4-amino-3-methylcyclohexyl) methane, diaminodicyclohexylmethane, bis (aminomethyl) cyclohexane, N-aminoethylpiperazine, 3,9-bis (3-aminopropyl) 2,4,8, Cycloaliphatic amines such as 10-tetraoxaspiro (5,5) undecane and derivatives thereof; m-xylenediamine, α- (m / paminophenyl) ethylamine, m-phenylenediamine, diaminodiphenylmethane, dia Roh diphenyl sulfone, alpha, alpha-bis (4-aminophenyl)-p-like aromatic amines and derivatives thereof diisopropylbenzene and the like.

上記アミン化合物から合成される化合物としては特に限定されず、例えば、上記アミン化合物と、コハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ドデカ二酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ジヒドロイソフタル酸、テトラヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸等のカルボン酸化合物とから合成されるポリアミノアミド化合物及びその誘導体;上記アミン化合物と、ジアミノジフェニルメタンビスマレイミド等のマレイミド化合物とから合成されるポリアミノイミド化合物及びその誘導体;上記アミン化合物とケトン化合物とから合成されるケチミン化合物及びその誘導体;上記アミン化合物と、エポキシ化合物、尿素、チオ尿素、アルデヒド化合物、フェノール化合物、アクリル化合物等の化合物とから合成されるポリアミノ化合物及びその誘導体等が挙げられる。   The compound synthesized from the amine compound is not particularly limited. For example, the amine compound and succinic acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, dodecadic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, dihydroisophthalic acid, tetrahydroisophthalic acid. Polyaminoamide compounds synthesized from carboxylic acid compounds such as acids and hexahydroisophthalic acid and derivatives thereof; Polyaminoimide compounds synthesized from maleimide compounds such as the above amine compounds and diaminodiphenylmethane bismaleimide; and derivatives thereof Ketimine compounds synthesized from compounds and ketone compounds and derivatives thereof; polyamines synthesized from the above amine compounds and compounds such as epoxy compounds, urea, thiourea, aldehyde compounds, phenol compounds, acrylic compounds, etc. Compounds and derivatives thereof.

上記3級アミン化合物としては特に限定されず、例えば、N,N−ジメチルピペラジン、ピリジン、ピコリン、ベンジルジメチルアミン、2−(ジメチルアミノメチル)フェノール、2,4,6−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8−ジアザビスシクロ(5,4,0)ウンデセン−1及びその誘導体等が挙げられる。   The tertiary amine compound is not particularly limited. For example, N, N-dimethylpiperazine, pyridine, picoline, benzyldimethylamine, 2- (dimethylaminomethyl) phenol, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) Examples thereof include phenol, 1,8-diazabiscyclo (5,4,0) undecene-1 and derivatives thereof.

上記イミダゾール化合物としては特に限定されず、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール及びその誘導体等が挙げられる。   The imidazole compound is not particularly limited, and examples thereof include 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-phenylimidazole, and derivatives thereof.

上記ヒドラジド化合物としては特に限定されず、例えば、1,3−ビス(ヒドラジノカルボエチル)−5−イソプロピルヒダントイン、7,11−オクタデカジエン−1,18−ジカルボヒドラジド、エイコサン二酸ジヒドラジド、アジピン酸ジヒドラジド及びその誘導体等が挙げられる。   The hydrazide compound is not particularly limited, and examples thereof include 1,3-bis (hydrazinocarboethyl) -5-isopropylhydantoin, 7,11-octadecadien-1,18-dicarbohydrazide, eicosanedioic acid dihydrazide, Examples include adipic acid dihydrazide and its derivatives.

上記メラミン化合物としては特に限定されず、例えば、2,4−ジアミノ−6−ビニル−1,3,5−トリアジン及びその誘導体等が挙げられる。   The melamine compound is not particularly limited, and examples thereof include 2,4-diamino-6-vinyl-1,3,5-triazine and derivatives thereof.

上記酸無水物としては特に限定されず、例えば、フタル酸無水物、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、ポリアゼライン酸無水物、ポリドデカン二酸無水物、クロレンド酸無水物及びその誘導体等が挙げられる。   The acid anhydride is not particularly limited. For example, phthalic acid anhydride, trimellitic acid anhydride, pyromellitic acid anhydride, benzophenone tetracarboxylic acid anhydride, ethylene glycol bisanhydro trimellitate, glycerol trisanhydro Trimellitate, methyltetrahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, nadic anhydride, methylnadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, 5- (2, 5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride-maleic anhydride adduct, dodecenyl succinic anhydride, polyazeline acid anhydride, polydodecane Dianhydride, Rorendo anhydride and derivatives thereof.

上記フェノール化合物としては特に限定されず、例えば、フェノールノボラック、o−クレゾールノボラック、p−クレゾールノボラック、t−ブチルフェノールノボラック、ジシクロペンタジエンクレゾール及びその誘導体等が挙げられる。   The phenol compound is not particularly limited, and examples thereof include phenol novolak, o-cresol novolak, p-cresol novolak, t-butylphenol novolak, dicyclopentadiene cresol, and derivatives thereof.

上記熱潜在性カチオン重合触媒としては特に限定されず、例えば、6フッ化アンチモン、6フッ化リン、4フッ化ホウ素等を対アニオンとした、ベンジルスルホニウム塩、ベンジルアンモニウム塩、ベンジルピリジニウム塩、ベンジルホスホニウム塩等のイオン性熱潜在性カチオン重合触媒;N−ベンジルフタルイミド、芳香族スルホン酸エステル等の非イオン性熱潜在性カチオン重合触媒が挙げられる。   The thermal latent cationic polymerization catalyst is not particularly limited. For example, benzylsulfonium salt, benzylammonium salt, benzylpyridinium salt, benzyl having antimony hexafluoride, phosphorous hexafluoride, boron tetrafluoride and the like as a counter anion. Examples include ionic thermal latent cationic polymerization catalysts such as phosphonium salts; nonionic thermal latent cationic polymerization catalysts such as N-benzylphthalimide and aromatic sulfonic acid esters.

上記光潜在性カチオン重合開始剤としては特に限定されず、例えば、6フッ化アンチモン、6フッ化リン、4フッ化ホウ素等を対アニオンとした、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ハロニウム塩及び芳香族スルホニウム塩等のオニウム塩類、並びに、鉄−アレン錯体、チタノセン錯体及びアリールシラノール−アルミニウム錯体等の有機金属錯体類等のイオン性光潜在性カチオン重合開始剤;ニトロベンジルエステル、スルホン酸誘導体、リン酸エステル、フェノールスルホン酸エステル、ジアゾナフトキノン、N−ヒドロキシイミドスルホナート等の非イオン性光潜在性カチオン重合開始剤が挙げられる。   The photolatent cationic polymerization initiator is not particularly limited. For example, aromatic diazonium salts, aromatic halonium salts, and aromatics having antimony hexafluoride, phosphorous hexafluoride, boron tetrafluoride and the like as counter anions. Ionic photolatent cationic polymerization initiators such as onium salts such as sulfonium salts, and organometallic complexes such as iron-allene complexes, titanocene complexes, and arylsilanol-aluminum complexes; nitrobenzyl esters, sulfonic acid derivatives, phosphoric acid Nonionic photolatent cationic polymerization initiators such as esters, phenol sulfonates, diazonaphthoquinones, N-hydroxyimide sulfonates, etc. may be mentioned.

上記熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂としては、例えば、上記ポリフェニレンエーテル樹脂をグリシジル基、イソシアネート基、アミノ基等の熱硬化性を有する官能基で変性した樹脂等が挙げられる。これらの熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Examples of the thermosetting modified polyphenylene ether resin include resins obtained by modifying the polyphenylene ether resin with a functional group having thermosetting properties such as a glycidyl group, an isocyanate group, and an amino group. These thermosetting modified polyphenylene ether resins may be used alone or in combination of two or more.

上記熱硬化性ポリイミド樹脂としては、分子主鎖中にイミド結合を有する樹脂であり、具体的には、例えば、芳香族ジアミンと芳香族テトラカルボン酸との縮合重合体、芳香族ジアミンとビスマレイミドとの付加重合体であるビスマレイミド樹脂、アミノ安息香酸ヒドラジドとビスマレイミドとの付加重合体であるポリアミノビスマレイミド樹脂、ジシアネート化合物とビスマレイミド樹脂とからなるビスマレイミドトリアジン樹脂等が挙げられる。なかでもビスマレイミドトリアジン樹脂が好適に用いられる。これらの熱硬化性ポリイミド樹脂は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The thermosetting polyimide resin is a resin having an imide bond in the molecular main chain. Specifically, for example, a condensation polymer of aromatic diamine and aromatic tetracarboxylic acid, aromatic diamine and bismaleimide And bismaleimide resin which is an addition polymer of aminobenzoic acid hydrazide and bismaleimide, and bismaleimide triazine resin composed of a dicyanate compound and a bismaleimide resin. Of these, bismaleimide triazine resin is preferably used. These thermosetting polyimide resins may be used alone or in combination of two or more.

上記ケイ素樹脂としては、分子鎖中にケイ素−ケイ素結合、ケイ素−炭素結合、シロキサン結合又はケイ素−窒素結合を含むものであり、具体的には、例えば、ポリシロキサン、ポリカルボシラン、ポリシラザン等が挙げられる。   Examples of the silicon resin include those containing a silicon-silicon bond, a silicon-carbon bond, a siloxane bond, or a silicon-nitrogen bond in the molecular chain. Specific examples include polysiloxane, polycarbosilane, and polysilazane. Can be mentioned.

上記ベンゾオキサジン樹脂としては、ベンゾオキサジンモノマーのオキサジン環の開環重合によって得られるものである。上記ベンゾオキサジンモノマーとしては特に限定されず、例えば、オキサジン環の窒素にフェニル基、メチル基、シクロヘキシル基等の官能基が結合したもの等が挙げられる。   The benzoxazine resin is obtained by ring-opening polymerization of an oxazine ring of a benzoxazine monomer. The benzoxazine monomer is not particularly limited, and examples thereof include those in which a functional group such as a phenyl group, a methyl group, or a cyclohexyl group is bonded to nitrogen of the oxazine ring.

上記ユリア樹脂としては、尿素とホルムアルデヒドとの付加縮合反応で得られる熱硬化性樹脂である。上記ユリア樹脂の硬化反応に用いられる硬化剤としては特に限定されず、例えば、無機酸、有機酸、酸性硫酸ナトリウムのような酸性塩からなる顕在性硬化剤;カルボン酸エステル、酸無水物、塩化アンモニウム、リン酸アンモニウム等の塩類のような潜在性硬化剤が挙げられる。なかでも、貯蔵寿命等から潜在性硬化剤が好ましい。   The urea resin is a thermosetting resin obtained by addition condensation reaction of urea and formaldehyde. The curing agent used for the curing reaction of the urea resin is not particularly limited. For example, an apparent curing agent composed of an acidic salt such as an inorganic acid, an organic acid, or acidic sodium sulfate; a carboxylic acid ester, an acid anhydride, or a chloride. Examples include latent curing agents such as salts of ammonium and ammonium phosphate. Among these, a latent curing agent is preferable from the viewpoint of shelf life.

上記アリル樹脂としては、ジアリルフタレートモノマーの重合及び硬化反応によって得られるものである。上記ジアリルフタレートモノマーとしては、例えば、オルソ体、イソ体、テレ体が挙げられる。硬化反応の触媒としては特に限定されないが、例えば、t−ブチルパーベンゾエートとジ−t−ブチルパーオキシドとの併用が好適である。   The allyl resin is obtained by polymerization and curing reaction of diallyl phthalate monomer. Examples of the diallyl phthalate monomer include an ortho isomer, an iso isomer, and a tele isomer. Although it does not specifically limit as a catalyst of hardening reaction, For example, combined use of t-butyl perbenzoate and di-t-butyl peroxide is suitable.

本発明の樹脂シートは、適宜、添加化合物として、ポリビニルアセタール樹脂やゴム類を添加することできる。添加化合物として使用できるゴム類としては特に限定されず、例えば、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー等が挙げられる。樹脂との相容性を高めるために、これらの熱可塑性エラストマーを官能基変性したものであってもよい。これらの熱可塑性エラストマー類は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The resin sheet of this invention can add polyvinyl acetal resin and rubber | gum as an additive compound suitably. Rubbers that can be used as the additive compound are not particularly limited, and examples thereof include styrene elastomers, olefin elastomers, urethane elastomers, and polyester elastomers. In order to enhance the compatibility with the resin, these thermoplastic elastomers may be functional group-modified. These thermoplastic elastomers may be used alone or in combination of two or more.

上記架橋ゴムとしては特に限定されず、例えば、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、1,2−ポリブタジエン、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、ブチルゴム、エチレン−プロピレンゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム等が挙げられる。樹脂との相溶性を高めるために、これらの架橋ゴムを官能基変性したものであることが好ましい。上記官能基変性した架橋ゴムとしては特に限定されず、例えば、エポキシ変性ブタジエンゴムやエポキシ変性ニトリルゴム等が挙げられる。これらの架橋ゴム類は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The crosslinked rubber is not particularly limited, and examples thereof include isoprene rubber, butadiene rubber, 1,2-polybutadiene, styrene-butadiene rubber, nitrile rubber, butyl rubber, ethylene-propylene rubber, silicone rubber, and urethane rubber. In order to enhance the compatibility with the resin, it is preferable that these crosslinked rubbers are functional group-modified. The functional group-modified crosslinked rubber is not particularly limited, and examples thereof include epoxy-modified butadiene rubber and epoxy-modified nitrile rubber. These crosslinked rubbers may be used alone or in combination of two or more.

本発明の樹脂シートは層状珪酸塩を必須成分とする。層状珪酸塩とは、層間に交換性金属カチオンを有する層状の珪酸塩鉱物を意味し、天然物であってもよく、合成物であってもよい。   The resin sheet of the present invention contains layered silicate as an essential component. The layered silicate means a layered silicate mineral having an exchangeable metal cation between layers, and may be a natural product or a synthetic product.

上記層状珪酸塩としては、例えば、モンモリロナイト、ヘクトライト、サポナイト、バイデライト、スティブンサイト及びノントロナイト等のスメクタイト系粘土鉱物、膨潤性マイカ、バーミキュライト、ハロイサイト等が挙げられる。なかでも、モンモリロナイト、ヘクトライト、膨潤性マイカ、及び、バーミキュライトからなる群より選択される少なくとも1種が好適に用いられる。これらの層状珪酸塩は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   Examples of the layered silicate include smectite clay minerals such as montmorillonite, hectorite, saponite, beidellite, stevensite and nontronite, swelling mica, vermiculite, and halloysite. Among these, at least one selected from the group consisting of montmorillonite, hectorite, swellable mica, and vermiculite is preferably used. These layered silicates may be used alone or in combination of two or more.

上記層状珪酸塩の平均長さの、上限は2μm、好ましい上限は1μm、より好ましい上限は0.5μmである。平均長さが2μm以下であると、透明性が向上し、作業時に、下部基板などとの位置合わせを容易にすることができる。平均長さが1μm以下であるとレーザー加工時に残渣が残りにくく、レーザー加工性が向上する。平均長さが0.5μm以下であると、光学材料としてや、光導波路用の材料として使用することも可能となる。
その他の結晶形状については特に限定されないが、平均長さの好ましい下限は0.01μm、厚さの好ましい下限は0.001μm、上限は1μm、アスペクト比の好ましい下限は20、上限は500であり、平均長さのより好ましい下限は0.05μm、厚さのより好ましい下限は0.001μm、上限は0.5μm、アスペクト比のより好ましい下限は50、上限は200である。
上記層状珪酸塩において、長径が2μmを超える層状珪酸塩の比率が20%以下であれば好ましい。より好ましくは1μm超える層状珪酸塩の比率が20%以下であり、更に好ましくは0.5μm超える層状珪酸塩の比率が20%以下である。また、上記層状珪酸塩の最大長さは500μm以下が好ましく、より好ましくは300μm以下であり、更に好ましくは100μm以下である。2μmを超える層状珪酸塩の比率が20%以下であり、最大長さが500μm以下であると、透明性が向上し、作業時に、下部基板などとの位置合わせを容易にすることができると共に、レーザー加工時に残渣が残り難く、レーザー加工性が良好となる。すなわち、本発明の樹脂組成物からなる基板等に炭酸ガスレーザ等のレーザーにより穿孔加工を施した場合、樹脂成分と層状珪酸塩成分とが同時に分解蒸発し、低エネルギーのレーザー加工で目的とするサイズの孔をあけることができる。通常の無機充填剤を用いた樹脂組成物の場合と比べると、レーザー加工のショット数を減じることができる。また、部分的に残存する樹脂組成物からなる残渣も数μm以下の小さなもののみとなり、デスミア加工により容易に除去できる。これにより、穿孔加工により発生する残渣によってメッキ不良等が発生するのを防止することができる。
The upper limit of the average length of the layered silicate is 2 μm, the preferred upper limit is 1 μm, and the more preferred upper limit is 0.5 μm. When the average length is 2 μm or less, the transparency is improved, and alignment with the lower substrate or the like can be facilitated during the operation. When the average length is 1 μm or less, residues are hardly left during laser processing, and laser processability is improved. When the average length is 0.5 μm or less, it can be used as an optical material or a material for an optical waveguide.
The other crystal shapes are not particularly limited, but the preferable lower limit of the average length is 0.01 μm, the preferable lower limit of the thickness is 0.001 μm, the upper limit is 1 μm, the preferable lower limit of the aspect ratio is 20, and the upper limit is 500, A more preferable lower limit of the average length is 0.05 μm, a more preferable lower limit of the thickness is 0.001 μm, an upper limit is 0.5 μm, a more preferable lower limit of the aspect ratio is 50, and an upper limit is 200.
In the layered silicate, the ratio of the layered silicate having a major axis exceeding 2 μm is preferably 20% or less. More preferably, the ratio of the layered silicate exceeding 1 μm is 20% or less, and more preferably the ratio of the layered silicate exceeding 0.5 μm is 20% or less. The maximum length of the layered silicate is preferably 500 μm or less, more preferably 300 μm or less, and still more preferably 100 μm or less. When the ratio of the layered silicate exceeding 2 μm is 20% or less and the maximum length is 500 μm or less, the transparency is improved, and alignment with the lower substrate or the like can be facilitated during the operation, Residues hardly remain during laser processing, and laser processability is improved. That is, when a substrate made of the resin composition of the present invention is perforated by a laser such as a carbon dioxide laser, the resin component and the layered silicate component are simultaneously decomposed and evaporated, and the target size is obtained by low energy laser processing. Can be drilled. Compared to the case of a resin composition using a normal inorganic filler, the number of shots for laser processing can be reduced. Moreover, the residue which consists of a resin composition which remains partially becomes only a small thing of several micrometers or less, and can be easily removed by desmear processing. Thereby, it is possible to prevent the occurrence of defective plating due to the residue generated by the drilling process.

上記層状珪酸塩は、下記式(1)で定義される形状異方性効果が大きいことが好ましい。形状異方性効果の大きい層状珪酸塩を用いることにより、本発明の樹脂シートは優れた力学的物性を有するものとなる。   The layered silicate preferably has a large shape anisotropy effect defined by the following formula (1). By using a layered silicate having a large shape anisotropy effect, the resin sheet of the present invention has excellent mechanical properties.

形状異方性効果=薄片状結晶の積層面の表面積/薄片状結晶の積層側面の表面積 (1)   Shape anisotropy effect = surface area of laminated surface of flaky crystals / surface area of laminated surface of flaky crystals (1)

上記層状珪酸塩の層間に存在する交換性金属カチオンとは、層状珪酸塩の薄片状結晶表面に存在するナトリウムやカルシウム等の金属イオンを意味し、これらの金属イオンは、カチオン性物質とのカチオン交換性を有するため、カチオン性を有する種々の物質を上記層状珪酸塩の結晶層間に挿入(インターカレート)することができる。   The exchangeable metal cation existing between the layers of the layered silicate means a metal ion such as sodium or calcium existing on the surface of the lamellar crystal of the layered silicate, and these metal ions are cations with the cationic substance. Since it has exchangeability, various substances having cationic properties can be inserted (intercalated) between the crystal layers of the layered silicate.

上記層状珪酸塩のカチオン交換容量としては特に限定されないが、好ましい下限は50ミリ等量/100g、上限は200ミリ等量/100gである。50ミリ等量/100g未満であると、カチオン交換により層状珪酸塩の結晶層間にインターカレートされるカチオン性物質の量が少なくなるために、結晶層間が充分に非極性化(疎水化)されないことがある。200ミリ等量/100gを超えると、層状珪酸塩の結晶層間の結合力が強固になりすぎて、結晶薄片が剥離し難くなることがある。   Although it does not specifically limit as a cation exchange capacity | capacitance of the said layered silicate, A preferable minimum is 50 milliequivalent / 100g, and an upper limit is 200 milliequivalent / 100g. When the amount is less than 50 milliequivalents / 100 g, the amount of the cationic substance intercalated between the crystal layers of the layered silicate is reduced by cation exchange, so that the crystal layers are not sufficiently depolarized (hydrophobized). Sometimes. When it exceeds 200 milliequivalents / 100 g, the bonding force between the crystal layers of the layered silicate becomes too strong, and the crystal flakes may be difficult to peel off.

上記層状珪酸塩としては、化学処理されることにより樹脂中への分散性を向上されたものが好ましい。かかる層状珪酸塩を、以下、有機化層状珪酸塩ともいう。
上記化学処理としては、例えば、以下に示す化学修飾(1)法〜化学修飾(6)法によって実施することができる。これらの化学修飾法は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
As the layered silicate, those having improved dispersibility in the resin by chemical treatment are preferable. Hereinafter, such a layered silicate is also referred to as an organic layered silicate.
As said chemical treatment, it can implement by the chemical modification (1) method-chemical modification (6) method shown below, for example. These chemical modification methods may be used alone or in combination of two or more.

上記化学修飾(1)法は、カチオン性界面活性剤によるカチオン交換法ともいい、具体的には、低極性樹脂を用いて本発明の樹脂シートを得る際に予め層状珪酸塩の層間をカチオン性界面活性剤でカチオン交換し、疎水化しておく方法である。予め層状珪酸塩の層間を疎水化しておくことにより、層状珪酸塩と低極性樹脂との親和性が高まり、層状珪酸塩を低極性樹脂中により均一に微分散させることができる。   The chemical modification (1) method is also called a cation exchange method using a cationic surfactant. Specifically, when the resin sheet of the present invention is obtained using a low-polarity resin, the layer of the layered silicate is previously made cationic. In this method, cation exchange is performed with a surfactant to make it hydrophobic. By making the layers of the layered silicate hydrophobic in advance, the affinity between the layered silicate and the low polarity resin is increased, and the layered silicate can be finely dispersed in the low polarity resin more uniformly.

上記カチオン性界面活性剤としては特に限定されず、例えば、4級アンモニウム塩、4級ホスホニウム塩等が挙げられる。なかでも、層状珪酸塩の結晶層間を充分に疎水化できることから、炭素数6以上のアルキルアンモニウムイオン塩、芳香族4級アンモニウムイオン塩又は複素環4級アンモニウムイオン塩が好適に用いられる。   The cationic surfactant is not particularly limited, and examples thereof include quaternary ammonium salts and quaternary phosphonium salts. Especially, since the crystal | crystallization layer of layered silicate can fully be hydrophobized, a C6 or more alkyl ammonium ion salt, aromatic quaternary ammonium ion salt, or heterocyclic quaternary ammonium ion salt is used suitably.

上記4級アンモニウム塩としては特に限定されず、例えば、トリメチルアルキルアンモニウム塩、トリエチルアルキルアンモニウム塩、トリブチルアルキルアンモニウム塩、ジメチルジアルキルアンモニウム塩、ジブチルジアルキルアンモニウム塩、メチルベンジルジアルキルアンモニウム塩、ジベンジルジアルキルアンモニウム塩、トリアルキルメチルアンモニウム塩、トリアルキルエチルアンモニウム塩、トリアルキルブチルアンモニウム塩;ベンジルメチル{2−[2−(p−1,1,3,3−テトラメチルブチルフェノオキシ)エトキシ]エチル}アンモニウムクロライド等の芳香環を有する4級アンモニウム塩;トリメチルフェニルアンモニウム等の芳香族アミン由来の4級アンモニウム塩;アルキルピリジニウム塩、イミダゾリウム塩等の複素環を有する4級アンモニウム塩;ポリエチレングリコール鎖を2つ有するジアルキル4級アンモニウム塩、ポリプロピレングリコール鎖を2つ有するジアルキル4級アンモニウム塩、ポリエチレングリコール鎖を1つ有するトリアルキル4級アンモニウム塩、ポリプロピレングリコール鎖を1つ有するトリアルキル4級アンモニウム塩等が挙げられる。なかでも、ラウリルトリメチルアンモニウム塩、ステアリルトリメチルアンモニウム塩、トリオクチルメチルアンモニウム塩、ジステアリルジメチルアンモニウム塩、ジ硬化牛脂ジメチルアンモニウム塩、ジステアリルジベンジルアンモニウム塩、N−ポリオキシエチレン−N−ラウリル−N,N−ジメチルアンモニウム塩等が好適である。これらの4級アンモニウム塩は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The quaternary ammonium salt is not particularly limited, and examples thereof include trimethyl alkyl ammonium salt, triethyl alkyl ammonium salt, tributyl alkyl ammonium salt, dimethyl dialkyl ammonium salt, dibutyl dialkyl ammonium salt, methyl benzyl dialkyl ammonium salt, and dibenzyl dialkyl ammonium salt. , Trialkylmethylammonium salt, trialkylethylammonium salt, trialkylbutylammonium salt; benzylmethyl {2- [2- (p-1,1,3,3-tetramethylbutylphenoxy) ethoxy] ethyl} ammonium chloride A quaternary ammonium salt having an aromatic ring such as: a quaternary ammonium salt derived from an aromatic amine such as trimethylphenylammonium; an alkylpyridinium salt, an imidazoli A quaternary ammonium salt having a heterocyclic ring such as a dimethyl salt; a dialkyl quaternary ammonium salt having two polyethylene glycol chains, a dialkyl quaternary ammonium salt having two polypropylene glycol chains, and a trialkyl quaternary having one polyethylene glycol chain Examples include ammonium salts and trialkyl quaternary ammonium salts having one polypropylene glycol chain. Among them, lauryl trimethyl ammonium salt, stearyl trimethyl ammonium salt, trioctyl methyl ammonium salt, distearyl dimethyl ammonium salt, di-cured tallow dimethyl ammonium salt, distearyl dibenzyl ammonium salt, N-polyoxyethylene-N-lauryl-N N-dimethylammonium salt and the like are preferred. These quaternary ammonium salts may be used alone or in combination of two or more.

上記4級ホスホニウム塩としては特に限定されず、例えば、ドデシルトリフェニルホスホニウム塩、メチルトリフェニルホスホニウム塩、ラウリルトリメチルホスホニウム塩、ステアリルトリメチルホスホニウム塩、トリオクチルメチルホスホニウム塩、ジステアリルジメチルホスホニウム塩、ジステアリルジベンジルホスホニウム塩等が挙げられる。これらの4級ホスホニウム塩は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The quaternary phosphonium salt is not particularly limited. For example, dodecyltriphenylphosphonium salt, methyltriphenylphosphonium salt, lauryltrimethylphosphonium salt, stearyltrimethylphosphonium salt, trioctylmethylphosphonium salt, distearyldimethylphosphonium salt, distearyl And dibenzylphosphonium salts. These quaternary phosphonium salts may be used alone or in combination of two or more.

上記化学修飾(2)法は、化学修飾(1)法で化学処理された有機化層状珪酸塩の結晶表面に存在する水酸基を、水酸基と化学結合し得る官能基又は水酸基との化学的親和性の大きい官能基を分子末端に1個以上有する化合物で化学処理する方法である。   In the chemical modification (2) method, a hydroxyl group present on the crystal surface of the organically modified layered silicate chemically treated by the chemical modification (1) method has a chemical affinity with a functional group or a hydroxyl group capable of chemically bonding to the hydroxyl group. This is a method of chemical treatment with a compound having at least one functional group having a large molecular weight at the molecular end.

上記水酸基と化学結合し得る官能基又は水酸基との化学的親和性の大きい官能基としては特に限定されず、例えば、アルコキシ基、グリシジル基、カルボキシル基(二塩基性酸無水物も包含する)、水酸基、イソシアネート基、アルデヒド基等が挙げられる。
上記水酸基と化学結合し得る官能基を有する化合物又は水酸基との化学的親和性の大きい官能基を有する化合物としては特に限定されず、例えば、上記官能基を有する、シラン化合物、チタネート化合物、グリシジル化合物、カルボン酸類、アルコール類等が挙げられる。これらの化合物は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
The functional group capable of chemically bonding to the hydroxyl group or the functional group having a large chemical affinity with the hydroxyl group is not particularly limited, and examples thereof include an alkoxy group, a glycidyl group, a carboxyl group (including dibasic acid anhydrides), A hydroxyl group, an isocyanate group, an aldehyde group, etc. are mentioned.
The compound having a functional group capable of chemically bonding to the hydroxyl group or the compound having a functional group having a large chemical affinity with the hydroxyl group is not particularly limited. For example, a silane compound, titanate compound, or glycidyl compound having the functional group. , Carboxylic acids, alcohols and the like. These compounds may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記シラン化合物としては特に限定されず、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルジメチルメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノプロピルジメチルエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β−(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。これらのシラン化合物は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The silane compound is not particularly limited, and examples thereof include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, and γ-amino. Propyldimethylmethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, γ-aminopropyldimethylethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, trimethylmethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, hexyltri Ethoxysilane, N-β- (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β- (aminoethyl) γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β- (aminoethyl) γ- Minopropylmethyldimethoxysilane, octadecyltrimethoxysilane, octadecyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltri An ethoxysilane etc. are mentioned. These silane compounds may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記化学修飾(3)法は、化学修飾(1)法で化学処理された有機化層状珪酸塩の結晶表面に存在する水酸基を、水酸基と化学結合し得る官能基又は水酸基と化学的親和性の大きい官能基と、反応性官能基を分子末端に1個以上有する化合物とで化学処理する方法である。   In the chemical modification (3) method, the hydroxyl group present on the crystal surface of the organically modified layered silicate chemically treated by the chemical modification (1) method has a functional group capable of chemically bonding to the hydroxyl group or a chemical affinity with the hydroxyl group. This is a chemical treatment method using a large functional group and a compound having at least one reactive functional group at the molecular end.

上記化学修飾(4)法は、化学修飾(1)法で化学処理された有機化層状珪酸塩の結晶表面を、アニオン性界面活性を有する化合物で化学処理する方法である。   The chemical modification (4) method is a method in which the crystal surface of the organically modified layered silicate chemically treated by the chemical modification (1) method is chemically treated with a compound having an anionic surface activity.

上記アニオン性界面活性を有する化合物としては、イオン相互作用により層状珪酸塩を化学処理できるものであれば特に限定されず、例えば、ラウリル酸ナトリウム、ステアリン酸ナトリウム、オレイン酸ナトリウム、高級アルコール硫酸エステル塩、第2級高級アルコール硫酸エステル塩、不飽和アルコール硫酸エステル塩等が挙げられる。これらの化合物は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The compound having an anionic surface activity is not particularly limited as long as the layered silicate can be chemically treated by ionic interaction. For example, sodium laurate, sodium stearate, sodium oleate, higher alcohol sulfate ester salt , Secondary higher alcohol sulfates, unsaturated alcohol sulfates and the like. These compounds may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記化学修飾(5)法は、上記アニオン性界面活性を有する化合物のうち、分子鎖中のアニオン部位以外に反応性官能基を1個以上有する化合物で化学処理する方法である。   The chemical modification (5) method is a method of chemically treating a compound having one or more reactive functional groups in addition to the anion site in the molecular chain among the compounds having anionic surface activity.

上記化学修飾(6)法は、化学修飾(1)法〜化学修飾(5)法のいずれかの方法で化学処理された有機化層状珪酸塩に、更に、例えば、無水マレイン酸変性ポリフェニレンエーテル樹脂のような層状珪酸塩と反応可能な官能基を有する樹脂を用いる方法である。   In the chemical modification (6) method, an organically modified layered silicate chemically treated by any one of the chemical modification (1) method to the chemical modification (5) method is further used, for example, maleic anhydride-modified polyphenylene ether resin. This is a method using a resin having a functional group capable of reacting with the layered silicate.

上記層状珪酸塩は、本発明の樹脂シート中に、広角X線回折測定法により測定した(001)面の平均層間距離が3nm以上であり、かつ、一部又は全部の積層体が5層以下であるように分散していることが好ましい。上記平均層間距離が3nm以上であり、かつ、一部又は全部の積層体が5層以下であるように層状珪酸塩が分散していることにより、樹脂と層状珪酸塩との界面面積は充分に大きく、かつ、層状珪酸塩の薄片状結晶間の距離は適度なものとなり、高温物性、力学的物性、耐熱性、寸法安定性、レーザー加工性等において分散による改善効果を充分に得ることができる。   In the resin sheet of the present invention, the layered silicate has an average interlayer distance of (001) plane measured by wide-angle X-ray diffraction measurement method of 3 nm or more, and part or all of the laminates are 5 layers or less. It is preferable to be dispersed so that The interfacial area between the resin and the layered silicate is sufficiently large because the layered silicate is dispersed such that the average interlayer distance is 3 nm or more and a part or all of the laminate is 5 layers or less. It is large and the distance between the flaky crystals of the layered silicate becomes moderate, and the improvement effect by dispersion can be sufficiently obtained in high temperature physical properties, mechanical physical properties, heat resistance, dimensional stability, laser workability, etc. .

上記平均層間距離の好ましい上限は5nmである。5nmを超えると、層状珪酸塩の結晶薄片が層毎に分離して相互作用が無視できるほど弱まるので、高温での束縛強度が弱くなり、充分な寸法安定性が得られないことがある。
なお、本明細書において、層状珪酸塩の平均層間距離とは、層状珪酸塩の薄片状結晶を層とみなした場合における層間の距離の平均を意味し、X線回折ピーク及び透過型電子顕微鏡撮影、すなわち、広角X線回折測定法により算出することができるものである。
A preferable upper limit of the average interlayer distance is 5 nm. If it exceeds 5 nm, the lamellar silicate crystal flakes are separated into layers and the interaction becomes so weak that the interaction is negligible. Therefore, the binding strength at high temperatures becomes weak, and sufficient dimensional stability may not be obtained.
In the present specification, the average interlayer distance of the layered silicate means the average distance between layers when the flaky crystal of the layered silicate is regarded as a layer, and X-ray diffraction peak and transmission electron microscope photography That is, it can be calculated by a wide-angle X-ray diffraction measurement method.

上記一部又は全部の積層体が5層以下であるように層状珪酸塩が分散しているとは、具体的には、層状珪酸塩の薄片状結晶間の相互作用が弱められて薄片状結晶の積層体の一部又は全部が分散していることを意味する。好ましくは、層状珪酸塩の積層体の10%以上が5層以下にして分散されており、層状珪酸塩の積層体の20%以上が5層以下にして分散されていることがより好ましい。
なお、5層以下の積層体として分散している層状珪酸塩の割合は、樹脂組成物を透過型電子顕微鏡により5万〜10万倍に拡大して観察し、一定面積中において観察できる層状珪酸塩の積層体の全層数X及び5層以下の積層体として分散している積層体の層数Yを計測することにより、下記式(2)から算出することができる。
Specifically, the layered silicate is dispersed so that the part or all of the laminate is 5 layers or less. Specifically, the interaction between the flaky crystals of the layered silicate is weakened and the flaky crystals This means that a part or all of the laminate is dispersed. Preferably, 10% or more of the layered silicate laminate is dispersed in 5 layers or less, and 20% or more of the layered silicate laminate is dispersed in 5 layers or less.
In addition, the ratio of the layered silicate dispersed as a laminate of 5 layers or less is a layered silicic acid that can be observed in a fixed area by observing the resin composition at a magnification of 50,000 to 100,000 times with a transmission electron microscope. It can be calculated from the following formula (2) by measuring the total number of layers X of the salt laminate and the number of layers Y of the laminate dispersed as a laminate of 5 layers or less.

5層以下の積層体として分散している層状珪酸塩の割合(%)=(Y/X)×100 (2)   Ratio of layered silicate dispersed as a laminate of 5 layers or less (%) = (Y / X) × 100 (2)

また、層状珪酸塩の積層体における積層数としては、層状珪酸塩の分散による効果を得るためには5層以下であることが好ましく、より好ましくは3層以下であり、更に好ましくは1層である。   The number of layers in the layered silicate laminate is preferably 5 layers or less, more preferably 3 layers or less, and even more preferably 1 layer in order to obtain the effect of dispersion of the layered silicate. is there.

本発明では、上記無機化合物として層状珪酸塩を用い、広角X線回折測定法により測定した(001)面の平均層間距離が3nm以上であり、かつ、一部又は全部の積層体が5層以下である層状珪酸塩が分散しているものとすることにより、樹脂と層状珪酸塩との界面面積が充分に大きくなって、樹脂と層状珪酸塩の表面との相互作用が大きくなり、溶融粘度が高まり熱プレスなどの熱成形性が向上することに加え、シボ、エンボスなど賦形した形状も保持しやすく、また、常温から高温までの広い温度領域で弾性率等の力学的物性が向上し、樹脂のTg又は融点以上の高温でも力学的物性を保持することができ、高温時の線膨張率も低く抑えることができる。かかる理由は明らかではないが、Tg又は融点以上の温度領域においても、微分散状態の層状珪酸塩が一種の疑似架橋点として作用しているためにこれら物性が発現すると考えられる。一方、層状珪酸塩の薄片状結晶間の距離も適度なものとなるので、燃焼時に、層状珪酸塩の薄片状結晶が移動して難燃被膜となる焼結体を形成しやすくなる。この焼結体は、燃焼時の早い段階で形成されるので、外界からの酸素の供給を遮断するのみならず、燃焼により発生する可燃性ガスをも遮断することができ、本発明の樹脂シートは優れた難燃性を発現する。   In the present invention, the layered silicate is used as the inorganic compound, the average interlayer distance of the (001) plane measured by wide angle X-ray diffraction measurement is 3 nm or more, and a part or all of the laminates are 5 layers or less. When the layered silicate is dispersed, the interface area between the resin and the layered silicate is sufficiently increased, the interaction between the resin and the surface of the layered silicate is increased, and the melt viscosity is increased. In addition to improved thermoformability such as heat press, it is easy to retain shaped shapes such as embossing and embossing, and mechanical properties such as elastic modulus improve in a wide temperature range from room temperature to high temperature, The mechanical properties can be maintained even at a high temperature equal to or higher than the Tg or melting point of the resin, and the linear expansion coefficient at a high temperature can be kept low. The reason for this is not clear, but it is considered that even in the temperature range above Tg or the melting point, these physical properties are manifested because the finely dispersed layered silicate acts as a kind of pseudo-crosslinking point. On the other hand, since the distance between the lamellar crystals of the layered silicate is also appropriate, the lamellar crystals of the lamellar silicate move during combustion, and it becomes easy to form a sintered body that becomes a flame retardant coating. Since this sintered body is formed at an early stage during combustion, not only the supply of oxygen from the outside world but also the flammable gas generated by the combustion can be blocked, and the resin sheet of the present invention Exhibits excellent flame retardancy.

更に、本発明の樹脂シートでは、ナノメートルサイズで層状珪酸塩が微分散し、数ミクロンサイズの無機化後物が存在していないことから、本発明の樹脂シートからなる基板等に炭酸ガスレーザ等のレーザーにより穿孔加工を施した場合、樹脂成分と層状珪酸塩成分とが同時に分解蒸発し、低エネルギーのレーザー加工で目的とするサイズの孔をあけることができる。通常の無機充填剤を用いた樹脂組成物の場合と比べると、レーザー加工のショット数を減じることができる。また、部分的に残存する樹脂組成物からなる残渣も数μm以下の小さなもののみでありデスミア加工により容易に除去できる。これにより、穿孔加工により発生する残渣によってメッキ不良等が発生するのを防止することができる。   Further, in the resin sheet of the present invention, since the layered silicate is finely dispersed at a nanometer size and there is no post-mineralization product of several microns size, a carbon dioxide laser or the like is applied to the substrate made of the resin sheet of the present invention. When the drilling process is performed with the laser, the resin component and the layered silicate component are simultaneously decomposed and evaporated, and a hole having a desired size can be formed by laser processing with low energy. Compared to the case of a resin composition using a normal inorganic filler, the number of shots for laser processing can be reduced. Moreover, the residue which consists of a resin composition which remains partially is only a small thing of several micrometers or less, and can be easily removed by desmear processing. Thereby, it is possible to prevent the occurrence of defective plating due to the residue generated by the drilling process.

樹脂中に層状珪酸塩を分散させる方法としては特に限定されず、例えば、有機化層状珪酸塩を用いる方法、樹脂と層状珪酸塩とを常法により混合した後に樹脂を発泡剤により発泡させる方法、分散剤を用いる方法、層状珪酸塩を溶剤に分散させた状態で樹脂又は単量体と混合させる方法等が挙げられる。これらの分散方法を用いることにより、樹脂中に層状珪酸塩をより均一かつ微細に分散させることができる。   The method for dispersing the layered silicate in the resin is not particularly limited, for example, a method using an organically modified layered silicate, a method of foaming the resin with a foaming agent after mixing the resin and the layered silicate by a conventional method, Examples thereof include a method using a dispersant and a method of mixing a layered silicate with a resin or monomer in a state where the layered silicate is dispersed in a solvent. By using these dispersion methods, the layered silicate can be more uniformly and finely dispersed in the resin.

上記樹脂と層状珪酸塩とを常法により混合した後に樹脂を発泡剤により発泡させる方法は、発泡によるエネルギーを層状珪酸塩の分散に用いるものである。上記発泡剤としては特に限定されず、例えば、気体状発泡剤、易揮発性液状発泡剤、加熱分解型固体状発泡剤等が挙げられる。これらの発泡剤は、単独で用いられてもよいし、2種以上が併用されてもよい。   In the method in which the resin and the layered silicate are mixed by a conventional method and the resin is foamed with a foaming agent, the energy of foaming is used for the dispersion of the layered silicate. It does not specifically limit as said foaming agent, For example, a gaseous foaming agent, an easily volatile liquid foaming agent, a heat decomposable solid foaming agent etc. are mentioned. These foaming agents may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記樹脂と層状珪酸塩とを常法により混合した後に樹脂を発泡剤により発泡させる方法としては特に限定されず、例えば、樹脂と層状珪酸塩とからなる樹脂組成物に気体状発泡剤を高圧下で含浸させた後、この気体状発泡剤を上記樹脂組成物内で気化させて発泡体を形成する方法;層状珪酸塩の層間に予め加熱分解型発泡剤を含有させ、その加熱分解型発泡剤を加熱により分解させて発泡体を形成する方法等が挙げられる。   The method of foaming the resin with a foaming agent after mixing the resin and the layered silicate by a conventional method is not particularly limited. For example, a gaseous foaming agent is added to a resin composition comprising the resin and the layered silicate under high pressure. A method in which the gaseous foaming agent is vaporized in the resin composition to form a foam after impregnation with the above-mentioned method; a thermally decomposable foaming agent is previously contained between the layers of the layered silicate, and the thermally decomposable foaming agent And a method of decomposing the foam by heating to form a foam.

上記層状珪酸塩の、熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂100重量部に対する下限は0.1重量部、上限は100重量部である。0.1重量部未満であると、高温物性や吸湿性の改善効果が小さくなる。100重量部を超えると、本発明の樹脂シートの密度(比重)が高くなり、機械的強度も低下することから実用性に乏しくなる。好ましい下限は3重量部、上限は80重量部である。3重量部未満であると、Tg以下の熱線膨張率(α1)はある程度低減することができるが、Tg以上の熱線膨張率(α2)を低減することが難しくなり、本発明の樹脂シートを薄くした際に充分な高温物性の改善効果が得られないことがある。また、吸水性を改善することができない。80重量部を超えると、成形性が低下することがある。より好ましい下限は5重量部、上限は70重量部である。5〜70重量部であると、力学的物性、レーザー加工性などの工程適性において問題となる領域はなく、充分な高温物性、透明性、難燃性、ガスバリア性、低吸水性が得られる。   The lower limit of the layered silicate with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin and / or the photocurable resin is 0.1 parts by weight, and the upper limit is 100 parts by weight. If it is less than 0.1 parts by weight, the effect of improving high-temperature properties and hygroscopicity is reduced. When it exceeds 100 parts by weight, the density (specific gravity) of the resin sheet of the present invention is increased, and the mechanical strength is also lowered, so that the practicality is poor. The preferred lower limit is 3 parts by weight and the upper limit is 80 parts by weight. If it is less than 3 parts by weight, the thermal expansion coefficient (α1) of Tg or less can be reduced to some extent, but it becomes difficult to reduce the thermal expansion coefficient (α2) of Tg or more, and the resin sheet of the present invention is thinned. In some cases, sufficient improvement of high temperature properties may not be obtained. Further, the water absorption cannot be improved. If it exceeds 80 parts by weight, the moldability may deteriorate. A more preferred lower limit is 5 parts by weight and an upper limit is 70 parts by weight. When the amount is from 5 to 70 parts by weight, there is no problem in terms of process suitability such as mechanical properties and laser processability, and sufficient high-temperature properties, transparency, flame retardancy, gas barrier properties, and low water absorption are obtained.

本発明の樹脂シートには、本発明の課題達成を阻害しない範囲で特性を改質することを目的に、必要に応じて、熱可塑性エラストマー類、架橋ゴム、オリゴマー類、造核剤、酸化防止剤(老化防止剤)、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、難燃助剤、帯電防止剤、防曇剤、充填剤、軟化剤、可塑剤、着色剤等の添加剤が配合されてもよい。これらはそれぞれ単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The resin sheet of the present invention has thermoplastic elastomers, cross-linked rubbers, oligomers, nucleating agents, antioxidants as necessary for the purpose of modifying the properties within the range that does not hinder the achievement of the present invention. Additives (anti-aging agents), heat stabilizers, light stabilizers, UV absorbers, lubricants, flame retardant aids, antistatic agents, antifogging agents, fillers, softeners, plasticizers, colorants, etc. You may mix | blend. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の樹脂シートを製造する方法としては特に限定されず、例えば、樹脂と無機化合物の各所定量と、必要に応じて配合される1種又は2種以上の添加剤の各所定量とを、常温下又は加熱下で、直接配合して混練する直接混練法、及び、溶媒中で混合した後、溶媒を除去する方法;予め上記樹脂又は上記樹脂以外の樹脂に所定量以上の無機化合物を配合して混練したマスターバッチを作製しておき、このマスターバッチ、樹脂の所定量の残部、及び、必要に応じて配合される1種又は2種以上の添加剤の各所定量を、常温下又は加熱下で、混練又は溶媒中で混合するマスターバッチ法等が挙げられる。   It does not specifically limit as a method to manufacture the resin sheet of this invention, For example, each predetermined amount of resin and an inorganic compound and each predetermined amount of 1 type, or 2 or more types of additives mix | blended as needed are normal temperature Direct kneading method of directly blending and kneading under heating or heating, and a method of removing the solvent after mixing in a solvent; a predetermined amount or more of an inorganic compound is blended in advance with the resin or a resin other than the resin A master batch kneaded in advance is prepared, and the master batch, the remainder of the predetermined amount of the resin, and each predetermined amount of one or two or more additives blended as necessary are at room temperature or under heating. And a master batch method of kneading or mixing in a solvent.

上記マスターバッチ法において、上記樹脂又は上記樹脂以外の樹脂に無機化合物を配合したマスターバッチと、マスターバッチを希釈して所定の無機化合物濃度とする際に用いる上記樹脂を含有するマスターバッチ希釈用樹脂組成物は同一の組成であっても、異なる組成であってもよい。   In the master batch method, a master batch in which an inorganic compound is blended with the resin or a resin other than the resin, and a master batch dilution resin containing the resin used when the master batch is diluted to a predetermined inorganic compound concentration The compositions may be the same composition or different compositions.

上記マスターバッチとしては、特に限定されないが、例えば、無機化合物の分散が容易であるポリアミド樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、及び、ポリエステル樹脂からなる群より選択される少なくとも1種の樹脂を含有することが好ましい。上記マスターバッチ希釈用樹脂組成物としては特に限定されないが、例えば、高温物性に優れた熱硬化性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂からなる群より選択される少なくとも1種の樹脂を含有することが好ましい。   Although it does not specifically limit as said masterbatch, For example, at least 1 sort (s) of resin selected from the group which consists of a polyamide resin, polyphenylene ether resin, polyether sulfone resin, and polyester resin with which dispersion | distribution of an inorganic compound is easy, for example It is preferable to contain. Although it does not specifically limit as said resin composition for masterbatch dilution, For example, it is preferable to contain the at least 1 sort (s) of resin selected from the group which consists of a thermosetting polyimide resin excellent in the high temperature physical property, and an epoxy resin.

上記マスターバッチにおける無機化合物の配合量は特に限定されないが、樹脂100重量部に対する好ましい下限は1重量部、上限は500重量部である。1重量部未満であると、任意の濃度に希釈可能なマスターバッチとしての利便性が薄れる。500重量部を超えると、マスターバッチ自体における分散性や、特にマスターバッチ希釈用樹脂組成物によって所定の配合量に希釈する際の無機化合物の分散性が悪くなることがある。より好ましい下限は5重量部、上限は300重量部である。   Although the compounding quantity of the inorganic compound in the said masterbatch is not specifically limited, The preferable minimum with respect to 100 weight part of resin is 1 weight part, and an upper limit is 500 weight part. When the amount is less than 1 part by weight, the convenience as a master batch that can be diluted to an arbitrary concentration is reduced. If it exceeds 500 parts by weight, the dispersibility in the master batch itself, and particularly the dispersibility of the inorganic compound when diluted to a predetermined blending amount by the master batch dilution resin composition may deteriorate. A more preferred lower limit is 5 parts by weight and an upper limit is 300 parts by weight.

また、例えば、遷移金属錯体類のような重合触媒(重合開始剤)を含有する無機化合物を用い、熱可塑性樹脂のモノマーと無機化合物とを混練し、上記モノマーを重合させることにより、熱可塑性樹脂の重合と樹脂組成物の製造とを同時に一括して行う方法を用いてもよい。   Further, for example, by using an inorganic compound containing a polymerization catalyst (polymerization initiator) such as a transition metal complex, a thermoplastic resin monomer and an inorganic compound are kneaded, and the above monomer is polymerized, thereby thermoplastic resin. You may use the method of performing simultaneously superposition | polymerization and manufacture of a resin composition collectively.

本発明の樹脂シートの製造方法における混合物を混練する方法としては特に限定されず、例えば、押出機、2本ロール、バンバリーミキサー等の混練機を用いて混練する方法等が挙げられる。
剪断力をかけることで、層状珪酸塩の平均長さを短くすることができることがある。
The method for kneading the mixture in the method for producing a resin sheet of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a method for kneading using a kneader such as an extruder, two rolls, and a Banbury mixer.
By applying a shearing force, the average length of the layered silicate may be shortened.

本発明の樹脂シートは、樹脂と層状珪酸塩とが組み合わせられ、分子鎖の拘束によるTgや耐熱変形温度の上昇が図られていることにより、高温での低い線膨張率を有し、耐熱性、力学的物性、透明性等に優れている。
更に、樹脂中では無機化合物に比べて気体分子の方がはるかに拡散しやすく、樹脂中を拡散する際に気体分子は無機化合物を迂回しながら拡散するので、ガスバリア性も向上している。同様にして気体分子以外に対するバリア性も向上し、耐溶剤性、吸湿性、吸水性等が向上している。これにより、例えば、多層プリント配線板での銅回路からの銅のマイグレーションを抑制することができる。更に、樹脂中の微量添加物が表面にブリードアウトしてメッキ不良等の不具合が発生することも抑制できる。
The resin sheet of the present invention is a combination of a resin and a layered silicate and has a low linear expansion coefficient at high temperature due to an increase in Tg and heat-resistant deformation temperature due to molecular chain restraint. Excellent mechanical properties and transparency.
Furthermore, gas molecules are much easier to diffuse in the resin than inorganic compounds, and when diffusing in the resin, the gas molecules diffuse while bypassing the inorganic compound, so the gas barrier properties are also improved. Similarly, barrier properties against other than gas molecules are improved, and solvent resistance, hygroscopicity, water absorption and the like are improved. Thereby, for example, copper migration from a copper circuit in a multilayer printed wiring board can be suppressed. Furthermore, it is possible to suppress the occurrence of defects such as defective plating due to bleed-out of trace additives in the resin on the surface.

本発明の樹脂シートの用途としては特に限定されないが、適当な溶媒に溶解したり、フィルム状に成形したりして加工することにより、例えば、多層基板のコア層やビルドアップ層等を形成する基板用材料、シート、積層板、樹脂付き銅箔、銅張積層板、TAB用フィルム、プリント基板、プリプレグ、ワニス、光導波路材料等に好適に用いられる。かかる本発明の樹脂シートを用いてなる基板用材料もまた本発明の1つである。   Although it does not specifically limit as a use of the resin sheet of this invention, For example, a core layer, a buildup layer, etc. of a multilayer board | substrate are formed by melt | dissolving in a suitable solvent or shape | molding and processing it into a film form. It is suitably used for substrate materials, sheets, laminates, resin-coated copper foils, copper-clad laminates, TAB films, printed boards, prepregs, varnishes, optical waveguide materials, and the like. Such a substrate material using the resin sheet of the present invention is also one aspect of the present invention.

上記成形の方法としては特に限定されず、例えば、押出機にて、溶融混練した後に押出し、Tダイやサーキュラーダイ等を用いてフィルム状に成形する押出成形法;有機溶剤等の溶媒に溶解又は分散させた後、キャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法が挙げられる。なかでも、多層基板の薄型化を図るためには、押出成形法やキャスティング成形法が好適である。   The molding method is not particularly limited. For example, an extrusion molding method in which an extruder is melted and kneaded and then extruded and formed into a film using a T die or a circular die; dissolved in a solvent such as an organic solvent or There is a casting molding method in which, after being dispersed, casting is performed to form a film. Of these, the extrusion molding method and the casting molding method are suitable for reducing the thickness of the multilayer substrate.

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.

(実施例1)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ダウケミカル日本社製、D.E.R331L)50重量部、及び、固形エポキシ樹脂(東都化成社製、YP55)50重量部からなるエポキシ樹脂組成物100重量部、ジシアンアジド(アデカ社製、アデカハードナーEH−3636)3.5重量部、変性イミダゾール(アデカ社製、アデカハードナーEH−3366)1.5重量部、トリオクチルメチルアンモニウム塩で有機化処理が施された合成ヘクトライト(層状珪酸塩;コープケミカル社製、ルーセンタイトSTN)5重量部、有機溶媒としてジメチルホルムアミド(和光純薬社製、特級)200重量部をビーカーに加え、撹拌機にて1時間撹拌した後、脱泡し、樹脂組成物溶液Aを得た
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業社製、エビクロン850、エポキシ等量:190)64.4重量部、フェノール化合物(大日本インキ化学工業社製、フェノライトTD−2090、水酸基等量:105)35.6重量部からなるエポキシ樹脂組成物100重量部に、硬化促進剤として、2−エチル−4−メチルイミダゾール[四国化成工業株式会社製]を1.1重量部、無機化合物として、トリオクチルメチルアンモニウム塩で有機化処理が施された合成ヘクトライト(層状珪酸塩;コープケミカル社製、ルーセンタイトSTN)40重量部、有機溶媒としてジメチルホルムアミド(和光純薬社製、特級)480重量部をビーカーに加え、撹拌機にて1時間撹拌した後、脱泡し、樹脂組成物溶液Bを得た。
得られた樹脂組成物溶液Aをポリエチレンテレフタレートのシート上に塗布した状態で溶媒を除去し、厚み25ミクロンのフィルムを形成した。(1a)
また同様に樹脂組成物溶液Bをポリエチレンテレフタレートのシート上に塗布した状態で溶媒を除去し、厚み50ミクロンのフィルムを形成した。(1b)
次いで、得られた二種のフィルムを1a,1b,1aの順に重ね、100℃に加熱した熱ゴムラミネーターを用いて熱ラミネートして、厚み100ミクロンの三層フィルムを作成した。(1c)
このフィルムを110℃で3時間加熱し、更に170℃で30分間加熱して硬化させ、100μmの板状成形体を作製した。
(Example 1)
100 parts by weight of an epoxy resin composition consisting of 50 parts by weight of a bisphenol A type epoxy resin (D.R. 331L manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd.) and 50 parts by weight of a solid epoxy resin (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., YP55), dicyan azide ( Adeka Co., Adeka Hardener EH-3636) 3.5 parts by weight, modified imidazole (Adeca Co., Adeka Hardener EH-3366) 1.5 parts by weight, synthetic octet treated with trioctylmethylammonium salt After adding 5 parts by weight of light (layered silicate; manufactured by Corp Chemical Co., Lucentite STN) and 200 parts by weight of dimethylformamide (made by Wako Pure Chemicals, special grade) as an organic solvent to a beaker, the mixture was stirred for 1 hour with a stirrer. , Defoamed to obtain a resin composition solution A bisphenol A type epoxy resin (Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) Epoxy resin comprising 64.4 parts by weight of Ebiclone 850, epoxy equivalent: 190), 35.6 parts by weight of phenolic compound (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd., Phenolite TD-2090, hydroxyl equivalent: 105) To 100 parts by weight of the composition, 1.1 parts by weight of 2-ethyl-4-methylimidazole [manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.] is used as a curing accelerator, and the organic compound is treated with trioctylmethylammonium salt as an inorganic compound. 40 parts by weight of synthetic hectorite (layered silicate; manufactured by Corp Chemical Co., Lucentite STN) and 480 parts by weight of dimethylformamide (made by Wako Pure Chemicals, special grade) as an organic solvent were added to a beaker, and 1 After stirring for a period of time, defoaming was performed to obtain a resin composition solution B.
The solvent was removed in a state where the obtained resin composition solution A was applied on a polyethylene terephthalate sheet to form a film having a thickness of 25 microns. (1a)
Similarly, the solvent was removed while the resin composition solution B was coated on a polyethylene terephthalate sheet to form a film having a thickness of 50 microns. (1b)
Subsequently, the obtained two kinds of films were laminated in the order of 1a, 1b, and 1a, and heat-laminated using a hot rubber laminator heated to 100 ° C. to prepare a three-layer film having a thickness of 100 microns. (1c)
The film was heated at 110 ° C. for 3 hours, and further cured by heating at 170 ° C. for 30 minutes to produce a 100 μm plate-like molded body.

(実施例2)
エポキシ変性ポリブタジエン樹脂(日本曹達社製、品番:「EPB−13」、エポキシ当量598)58.3重量部、フェノール化合物(日本石油化学社製、PP−1000−240、水酸基等量:420)41.7重量部からなるエポキシ樹脂組成物100重量部に、無機化合物として、トリオクチルメチルアンモニウム塩で有機化処理が施された合成ヘクトライト(層状珪酸塩;コープケミカル社製、ルーセンタイトSTN)8重量部、有機溶媒としてジメチルホルムアミド(和光純薬社製、特級)400重量部をビーカーに加え、撹拌機にて1時間撹拌した後、脱泡し、樹脂組成物溶液Cを得た。
得られた樹脂組成物溶液Cをポリエチレンテレフタレートのシート上に塗布した状態で溶媒を除去し、厚み30ミクロンのフィルム(2a)を形成した後、そのシート上に樹脂組成物溶液Bを塗布し、溶媒を除去し、合計厚み100ミクロンの二層フィルムを作成した。(2b)
このフィルムを110℃で3時間加熱し、更に170℃で30分間加熱して硬化させ、100μmの板状成形体を作製した。
(Example 2)
Epoxy-modified polybutadiene resin (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., product number: “EPB-13”, epoxy equivalent 598) 58.3 parts by weight, phenol compound (manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd., PP-1000-240, hydroxyl group equivalent: 420) 41 Synthetic hectorite (layered silicate; manufactured by Corp Chemical Co., Lucentite STN) 8 obtained by subjecting 100 parts by weight of an epoxy resin composition comprising 7 parts by weight to an organic compound with trioctylmethylammonium salt as an inorganic compound 8 400 parts by weight of dimethylformamide (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., special grade) as an organic solvent was added to a beaker and stirred for 1 hour with a stirrer, and then defoamed to obtain a resin composition solution C.
After removing the solvent in a state where the obtained resin composition solution C was applied on a polyethylene terephthalate sheet to form a film (2a) having a thickness of 30 microns, the resin composition solution B was applied on the sheet, The solvent was removed to produce a bilayer film with a total thickness of 100 microns. (2b)
The film was heated at 110 ° C. for 3 hours, and further cured by heating at 170 ° C. for 30 minutes to produce a 100 μm plate-like molded body.

(比較例1)
得られた樹脂組成物溶液Bをポリエチレンテレフタレートのシート上に塗布した状態で溶媒を除去し、厚み30ミクロンのフィルム(3a)を形成した後、そのシート上に更に樹脂組成物溶液Bを塗布し、溶媒を除去し、合計厚み100ミクロンのフィルムを実施例2と同様の方法で作成した。(3b)
このフィルムを110℃で3時間加熱し、更に170℃で30分間加熱して硬化させ、100μmの板状成形体を作製した。
(Comparative Example 1)
After removing the solvent in a state where the obtained resin composition solution B was applied on a polyethylene terephthalate sheet to form a film (3a) having a thickness of 30 microns, the resin composition solution B was further applied on the sheet. The solvent was removed, and a film having a total thickness of 100 microns was prepared in the same manner as in Example 2. (3b)
This film was heated at 110 ° C. for 3 hours and further cured by heating at 170 ° C. for 30 minutes to produce a 100 μm plate-like molded body.

(評価)
実施例1〜2及び比較例1で作製した板状成形体の性能を以下の項目について評価した。結果は表1に示した。
(Evaluation)
The following items were evaluated for the performance of the plate-like molded bodies produced in Examples 1-2 and Comparative Example 1. The results are shown in Table 1.

(1)熱膨張係数の測定
板状成形体を裁断して3mm×25mmにした試験片を、TMA(thermomechanical Analysys)装置(セイコー電子社製、TMA/SS120C)を用いて、昇温速度5℃/分で昇温し、平均線膨張率の測定を行い、以下の項目について評価を行った。
・樹脂組成物のガラス転移温度よりも10℃〜50℃低い温度での平均線膨張率(α1)[℃-1]。
・樹脂組成物のガラス転移温度よりも10℃〜50℃高い温度での平均線膨張率(α2)[℃-1]。
(1) Measurement of thermal expansion coefficient A test piece cut to 3 mm × 25 mm by cutting a plate-shaped molded body was heated at a rate of 5 ° C. using a TMA (thermomechanical analysis) apparatus (manufactured by Seiko Denshi, TMA / SS120C). The temperature was increased at a rate of 1 minute, the average linear expansion coefficient was measured, and the following items were evaluated.
The average linear expansion coefficient (α1) [° C. −1 ] at a temperature 10 ° C. to 50 ° C. lower than the glass transition temperature of the resin composition.
The average linear expansion coefficient (α2) [° C.-1] at a temperature 10 ° C. to 50 ° C. higher than the glass transition temperature of the resin composition.

(2)層状珪酸塩の平均層間距離
X線回折測定装置(リガク社製、RINT1100)を用いて、厚さ2mmの板状成形体中の層状珪酸塩の積層面の回折より得られる回折ピークの2θを測定し、下記式(3)のブラックの回折式により、層状珪酸塩の(001)面間隔dを算出し、得られたdを平均層間距離(nm)とした。
λ=2dsinθ (3)
上記式(3)中、λは0.154(nm)であり、θは回折角を表す。
(2) Average interlayer distance of layered silicate Using an X-ray diffractometer (RINT1100, manufactured by Rigaku Corporation), a diffraction peak obtained from diffraction of the layered surface of the layered silicate in a 2 mm thick plate-shaped body. 2θ was measured, the (001) plane distance d of the layered silicate was calculated by the black diffraction formula of the following formula (3), and the obtained d was defined as the average interlayer distance (nm).
λ = 2 dsin θ (3)
In the above formula (3), λ is 0.154 (nm), and θ represents a diffraction angle.

(3)5層以下の積層体として分散している層状珪酸塩の割合
厚さ100μmの板状成形体を透過型電子顕微鏡により10万倍で観察し、一定面積中において観察できる層状珪酸塩の積層体の全層数X及び5層以下で分散している層状珪酸塩の層数Yを計測し、下記式(2)により5層以下の積層体として分散している層状珪酸塩の割合(%)を算出した。
(3) Ratio of layered silicate dispersed as a laminate of 5 layers or less A plate-shaped molded body having a thickness of 100 μm is observed with a transmission electron microscope at a magnification of 100,000 times, and is a layered silicate that can be observed in a certain area. The total number of layers X in the laminate and the number Y of layered silicate dispersed in 5 layers or less are measured, and the ratio of the layered silicate dispersed as a laminate of 5 layers or less according to the following formula (2) ( %) Was calculated.

5層以下の積層体として分散している層状珪酸塩の割合(%)=(Y/X)×100 (2)
(4)引っ張り弾性率及び破断伸びの測定
硬化後引張弾性率が2.0GPa以下であるに該当する部分は、実施例1,2、および比較例1中における、各々1a、2a、3aに相当するため、これら各々を各実施例あるいは比較例の硬化条件で硬化したのち、得られた板状成形体を10mm×80mmに切断し測定試料を作成した。これらを、引張試験機(オリエンテック社製、商品名:「テンシロン」)により、チャック間距離60mm、クロスヘッドスピード5mm/分で常温での引張物性を測定した。
なお、その他の測定試料の作成方法としては、アルミ板等の治具に、測定する表面と反対側の表面を両面テープで固定し、硬化物を厚みの50%まで、あるいは80%まで慎重に研磨することで、所望の厚み部分を得ることが出来る。
(5)非剥離性の評価
0.6mm厚のコア基板(ガラスクロス入り、銅箔付き両面基板、利昌工業社製)の銅箔側に未硬化のフィルム(1c、2b、3b)を100℃に加熱した加圧プレス機で、0.3MPaで1分間圧着した後、それぞれの硬化条件で硬化させた。
硬化後のサンプルを10mm×100mmに裁断し、断面を電子顕微鏡で観察し、銅箔と本願発明の樹脂シートに剥がれがないことを確認した後、10℃4.5時間、100℃4.5時間で40サイクルの冷熱サイクル試験を行い、同様に断面を観察し、銅箔との張り合わせ面の剥がれを評価した。
剥がれが生じていないものを○、生じたものを×とした。
Ratio of layered silicate dispersed as a laminate of 5 layers or less (%) = (Y / X) × 100 (2)
(4) Measurement of tensile modulus and elongation at break The portions corresponding to the tensile modulus after curing of 2.0 GPa or less correspond to 1a, 2a, and 3a in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, respectively. Therefore, each of these was cured under the curing conditions of each example or comparative example, and then the obtained plate-shaped molded body was cut into 10 mm × 80 mm to prepare a measurement sample. These were measured for tensile properties at room temperature with a tensile tester (Orientec Co., Ltd., trade name: “Tensilon”) at a distance between chucks of 60 mm and a crosshead speed of 5 mm / min.
As another method for preparing the measurement sample, the surface opposite to the surface to be measured is fixed to a jig such as an aluminum plate with double-sided tape, and the cured product is carefully up to 50% or 80% of the thickness A desired thickness portion can be obtained by polishing.
(5) Evaluation of non-peelability An uncured film (1c, 2b, 3b) is placed on the copper foil side of a 0.6 mm thick core substrate (with glass cloth, double-sided board with copper foil, manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.) at 100 ° C. After being pressure-bonded at 0.3 MPa for 1 minute with a pressure press machine heated to 1, it was cured under the respective curing conditions.
The cured sample was cut into 10 mm × 100 mm, the cross section was observed with an electron microscope, and after confirming that there was no peeling between the copper foil and the resin sheet of the present invention, 10 ° C. 4.5 hours, 100 ° C. 4.5 A thermal cycle test of 40 cycles was performed over time, and the cross section was observed in the same manner to evaluate the peeling of the bonded surface with the copper foil.
The case where peeling did not occur was marked with ◯, and the case where peeling occurred was marked with ×.

(6)吸水率の測定
厚さ100μmの板状成形体を3×5cmの短冊状にした試験片を作製し、50Torrに減圧下、80℃で5時間乾燥させた後の重さ(W1)を測定した。次いで、試験片を水に浸漬し、100℃の沸騰水中に1時間放置した後取り出し、ウエスで丁寧に拭き取った後の重さ(W2)を測定した。下記式(4)により吸水率を求めた。
吸水率(%)=(W2−W1)/W1×100 (4)
(6) Measurement of water absorption Weight (W1) after preparing a test piece in which a plate-like molded body having a thickness of 100 μm was formed into a 3 × 5 cm strip and dried at 80 ° C. for 5 hours under reduced pressure at 50 Torr. Was measured. Next, the test piece was immersed in water, left in 100 ° C. boiling water for 1 hour, then taken out, and the weight (W2) after carefully wiping with a waste was measured. The water absorption was determined by the following formula (4).
Water absorption rate (%) = (W2−W1) / W1 × 100 (4)

(7)全光線透過率の測定
厚さ1mmの板状成形体の全光線透過率を、スペクトロフォトメーター(日立製作所製U−4000)を用いて測定した。
(8)レーザー加工性の評価
厚さ100μmの樹脂シートを、0.6mm厚のコア基板(ガラスクロス入り、銅箔付き両面基板、利昌工業社製)に、真空ラミネート装置(名機製作所製、MLB−5000)を用い、80℃、40秒及び0.6MPaの圧力で真空ラミネートした。ラミネート後、PET樹脂シートを取り除き、170℃及び60分の条件で熱硬化させた。熱硬化された基板に、CO2レーザー加工を施し、ビアを形成した。しかる後、ビアの断面形状及びビアの底部のデスミア状態を観察した。なお、上記ビアの形成に際しては、三菱電機社製、CO2レーザー加工装置(ML605GTX)を用い、1.00mAの出力でパルス幅は7μ秒とし、マスクの径は0.9mm径、狙い径は、ビア上部が100μm、ビア底部が70μmとした。また、ビア上部径に対し、ビアボトム径は、上記のように70%の径となるように開口する条件とした。
実施例1〜2及び比較例1で得られた各樹脂シートについて、上記レーザー加工性を評価した。結果を下記の表1に示す。

Figure 2005171207
(7) Measurement of total light transmittance The total light transmittance of a 1 mm-thick plate-like molded article was measured using a spectrophotometer (U-4000 manufactured by Hitachi, Ltd.).
(8) Evaluation of laser processability A resin sheet having a thickness of 100 μm is applied to a 0.6 mm-thick core substrate (with a glass cloth, a double-sided substrate with copper foil, manufactured by Risho Kogyo Co., Ltd.) and a vacuum laminator (manufactured by Meiki Seisakusho, MLB-5000) was vacuum laminated at 80 ° C., 40 seconds, and a pressure of 0.6 MPa. After laminating, the PET resin sheet was removed and heat cured at 170 ° C. for 60 minutes. The thermally cured substrate was subjected to CO 2 laser processing to form a via. Thereafter, the cross-sectional shape of the via and the desmear state of the bottom of the via were observed. When forming the via, a CO 2 laser processing apparatus (ML605GTX) manufactured by Mitsubishi Electric Corporation was used, the output was 1.00 mA, the pulse width was 7 μsec, the mask diameter was 0.9 mm, and the target diameter was The upper portion of the via is 100 μm and the bottom portion of the via is 70 μm. In addition, the via bottom diameter was set such that the opening was 70% as described above with respect to the via upper diameter.
About each resin sheet obtained in Examples 1-2 and the comparative example 1, the said laser workability was evaluated. The results are shown in Table 1 below.
Figure 2005171207

Claims (6)

熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂100重量部と層状珪酸塩0.1〜100重量部とを含有する樹脂組成物からなる樹脂シートであって、厚みが10〜200μmであり、硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が、少なくとも片方の表面から厚さが20%〜70%の範囲、かつ両方の表面から硬化後引張弾性率が2.0GPa以下である部分が存在する場合は、その合計が70%以下であることを特徴とする樹脂シート。   A resin sheet comprising a resin composition containing 100 parts by weight of a thermosetting resin and / or a photocurable resin and 0.1 to 100 parts by weight of a layered silicate, having a thickness of 10 to 200 μm and after curing The portion where the tensile modulus is 2.0 GPa or less is at least 20% to 70% in thickness from one surface, and there is a portion where the tensile modulus after curing is 2.0 GPa or less from both surfaces. In that case, the total is 70% or less. 樹脂シートのガラス転移温度よりも50℃低い温度から、樹脂シートのガラス転移温度よりも10℃低い温度までの平均線膨張率(α1)が、5.0×10-5[℃-1]以下であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂シート。 Average linear expansion coefficient (α1) from a temperature lower by 50 ° C. than the glass transition temperature of the resin sheet to a temperature lower by 10 ° C. than the glass transition temperature of the resin sheet is 5.0 × 10 −5 [° C. −1 ] or less. The resin sheet according to claim 1, wherein: 熱硬化性樹脂及び/又は光硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、ケイ素樹脂、ベンゾオキサジン樹脂及びメラミン樹脂からなる群より選択された少なくとも1種である請求項1又は2に記載の樹脂シート。   The thermosetting resin and / or the photocurable resin is at least one selected from the group consisting of epoxy resins, thermosetting modified polyphenylene ether resins, thermosetting polyimide resins, silicon resins, benzoxazine resins, and melamine resins. The resin sheet according to claim 1 or 2. 層状珪酸塩は、モンモリロナイト、ヘクトライト、膨潤性マイカ、及び、バーミキュライトからなる群より選択された少なくとも1種であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂シート。   4. The resin sheet according to claim 1, wherein the layered silicate is at least one selected from the group consisting of montmorillonite, hectorite, swellable mica, and vermiculite. 層状珪酸塩は、炭素数6以上のアルキルアンモニウムイオン塩、芳香族4級アンモニウムイオン塩又は複素環4級アンモニウムイオン塩を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂シート。   The layered silicate contains an alkyl ammonium ion salt having 6 or more carbon atoms, an aromatic quaternary ammonium ion salt, or a heterocyclic quaternary ammonium ion salt, according to any one of claims 1 to 4. Resin sheet. 広角X線回折測定法により測定した(001)面の平均層間距離が3nm以上であり、かつ、一部又は全部の積層体が5層以下であるように層状珪酸塩が分散していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂シート。
The layered silicate is dispersed such that the average interlayer distance of the (001) plane measured by the wide-angle X-ray diffraction measurement method is 3 nm or more, and part or all of the laminates are 5 layers or less. The resin sheet according to any one of claims 1 to 5, which is characterized by the following.
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