JP2005166682A - 電極デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、デューティ駆動に対応した電界放出電子源を、その素子一個あたりの寸法が50ミクロンメートル以下である電極デバイスおよび電極デバイスの製造方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、カーボンナノチューブ生成の触媒となるガラスを基板上に成膜することにより、ナノメートルレベルでの金属触媒の形成および離散性制御を可能にし、その上にカーボンナノチューブを離散制御させながら生成させ、そのナノチューブに金属被覆を施すことで、電気パルス応答特性を向上させたことを特徴とする電極デバイスおよび電極デバイスの製造方法にある。
【選択図】図1
Description
従来の電極技術は、電子放出を目的としたエミッタに利用するため、カーボンナノチューブを導電性助剤であるスラリーなどに分散させ、スクリーン印刷法によって金属カソード上に塗布することで形成してきた(伊勢電子,三星,NEC)。この方法は簡便であり、経済性および大画面対応にメリットがある。また、アルミナ鋳型中にカーボンを成長させ、成長したカーボン柱をエミッタに利用する方法もある(ソニー)。しかしながら、スクリーン印刷では電極面内のカーボンナノチューブの本数,垂直配向、それぞれの長さ、および陰極基板とのオーミックコンタクトを制御することが困難であったため、面内の均一性が出なかった。また、鋳型カーボン柱ではオーミックコンタクトおよび太さの制御に困難があったため、電界強度が上がらず、電子放出に対して高電界を必要とした。
ソースとドレインの間にカーボンナノチューブを配線することで、磁気スピンを伝達させるスピントランスファーの効果が報告されている。また、単層カーボンナノチューブのカイラリティの違いによって、金属的もしくは半導体的な性質を有することを利用して、数十本のバンドルを形成している単層カーボンナノチューブの両端に金属電極を取り付け、大電流を流して抵抗加熱することで、金属的性質のカーボンナノチューブのみを選択的に破壊させ、半導体的性質を有するカーボンナノチューブのみを取り出すことにより、極微小トランジスタが形成されることが報告されている。
図1に本発明に係わる電極の断面図を示す。下から順に、ガラス基板11,スパッタされたガラス膜12,カーボンナノチューブのエミッタ電極13、さらに全面に金属被覆カソード14が施され、そのエミッタ電極13の両側に絶縁層15,その絶縁層上にグリッド電極16,さらに絶縁層15を介して収束電極17,その上にスペーサ18を介してアノード電極21が設置される。電流回路はエミッタ電極13に接触しているカソード14およびグリッド16間のグリッド回路22、およびカソード14とアノード21間のアノード回路23の二系列がそれぞれ独立して接続される構造をしている。まず、グリッド回路22に最大70ボルトの電位差が生じ、エミッタ13から電子が引き出される。引き出された電子は軌道24に沿ってグリッド通過後、収束電極17に発生する等電位面のレンズ効果によって収束されてアノード電極21に到達する。アノード電極21は一般的な材料構成に従った。アノード回路23の印加電圧は1〜10キロボルト程度かけられる。アノード21に透明導電膜19を成膜し、高圧用緑色蛍光体20を付着後、アルミ保護膜にて保持させた。
本実施例では、実施例1で示した製造方法の基板をガラスからシリコン単結晶に変更することによる影響で、カーボンナノチューブ生成メカニズムにどのような影響を与えるか検討した。
20…蛍光体、21…アノード電極、22…グリッド回路、23…アノード回路、24…電子線の軌道、25…CoO、26…SiO2 。
Claims (11)
- 半導体,金属、または絶縁基板の上にガラス成分を有する材料を成膜することにより粒径50ナノメートル以下のガラス結晶子を形成し、前記ガラス結晶子を触媒の核としたナノチューブもしくはナノワイヤを成長させ、その表皮に金属を被覆させることにより、前記ナノチューブもしくは前記ナノワイヤを離散的に形成することを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1において、前記ガラス膜の化学成分は周期律表IVb族およびVIII族を含んだ酸化物であることを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1において、成膜した前記ガラス膜中の金属酸化物によって形成される結晶子の成長方向が、すべて同一方位であることを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1において、前記ガラス膜中の各々の結晶子直径が50nm以下であることを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1において、前記ガラス膜中の結晶子の直径サイズ分布が概ねガウス分布に従うことを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1〜5のいずれかにおいて、SiO2 およびTiO2 などを適量添加することを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1において、前記金属を被覆した前記ナノチューブもしくは前記ナノワイヤの表面比抵抗が10-3Ω・cmより導電性が優れることを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1〜8において、隣接する前記ナノチューブもしくは前記ナノワイヤの最長先端部分の間隔が1ナノメートル以上であることを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1において、前記金属を被覆した前記ナノチューブもしくは前記ナノワイヤは、化学組成の主成分が80原子%以上炭素から構成されることを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1において、前記ナノチューブもしくは前記ナノワイヤは、化学組成の主成分がC,B、およびNの化合物であることを特徴とする電極デバイスの製造方法。
- 請求項1において、前記ナノチューブもしくは前記ナノワイヤは、化学組成の主成分が周期律表IVb族およびVIb族の金属元素であることを特徴とする電極デバイスの製造方法。
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