JP2005163103A - 単分散粒子の製造方法 - Google Patents
単分散粒子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005163103A JP2005163103A JP2003403203A JP2003403203A JP2005163103A JP 2005163103 A JP2005163103 A JP 2005163103A JP 2003403203 A JP2003403203 A JP 2003403203A JP 2003403203 A JP2003403203 A JP 2003403203A JP 2005163103 A JP2005163103 A JP 2005163103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orifice
- diameter
- particles
- flowable material
- cylinder rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータ12にパルス電圧を印加し、所定周波数、所定振幅の振動を発生させ、伝達ロッド14を介してシリンダロッド14aを上と同じ周波数のパルスで振動させ、シリンダロッド14aに接触しているキャビティ25C内の溶融金属にパルス圧力波を発生させる。これにより、圧電アクチュエータ12が下方に所定の変位量以上変位すると、伝達ロッド14を介してシリンダロッド14aが変位して、キャビティ25C内の溶湯をオリフィスプレート23上のオリフィスから液滴状にして噴射する。この噴射は、パルス圧力波の1周期に1回ずつ行われる。流動性材料のオリフィス構成材料への接触角が100°以上であり、該オリフィスの直径が10〜500μmであり、該オリフィスの直径の1.2倍以上の粒子を形成するように前記パルス圧力を該流動性材料に印加する。
【選択図】図1
Description
図1〜4に示す装置において、オリフィス径を100μmとし、流動性材料を1100℃に溶融した銅(Cu)とし、オリフィスを構成するノズル部25の構成材料をカーボン(両者の接触角は165度)とし、アクチュエータのパルスを10Hzとし、印加最大圧力を0.21kgf/cm2とした場合、平均粒径315μm、標準偏差5μmと、オリフィス径の3倍の径を有した単分散粒子が製造された。
これに対し、同じ装置において印加最大圧力を0.13kgf/cm2とした場合、平均粒径106μm、標準偏差9μmと、オリフィス径とほぼ同じ単分散粒子となった。
オリフィス径を300μmとし、流動性材料を1460℃に溶融したシリコン(Si)とし、オリフィスを構成するノズル部25の構成材料を石英ガラス(溶融シリコンとの接触角は92度)とし、アクチュエータのパルスを10Hzとし、印加最大圧力を3.3MPaとした場合、単分散粒子の平均粒径は484μm、標準偏差は17μmであった。
12 圧電アクチュエータ
13 ベースフランジ
14 伝達ロッド
15 ダイアフラム
15a ダイアフラム保持部分
16 シール部材
20 加熱装置
20a カーボンサセプター
20b 断熱材
20d ワークコイル
21a、b スラリー貯留部
22 ノズル部
23 オリフィスプレート
23a 押さえ部材
25 ノズル部
25b ノズル
25C キャビティ
26 るつぼ
33 ダイヤルゲージ
35 不活性ガス導入管
39 ホルダブロック
40 サンプルトレイ
41 加熱装置
42 ゲートバルブ
43 回収ボックス
48 CCDカメラ
Claims (2)
- 流動性材料を貯留するための流動性材料貯留容器と、この流動性材料貯留容器から流動性材料が供給されるオリフィスと、所定のパルス圧力を該流動性材料に印加して流動性材料を該オリフィスから間欠的に流出させるアクチュエータとを有してなる単分散粒子の製造装置を用いて単分散粒子を製造する方法において、
該流動性材料のオリフィス構成材料への接触角が100°以上であり、
該オリフィスの直径が10〜500μmであり、
該オリフィスの直径の1.2倍以上の粒子を形成するように前記パルス圧力を該流動性材料に印加することを特徴とする単分散粒子の製造方法。 - 請求項1において、該流動性材料は溶融シリコンであり、該オリフィスは窒化珪素質セラミックス製であることを特徴とする単分散粒子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003403203A JP2005163103A (ja) | 2003-12-02 | 2003-12-02 | 単分散粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003403203A JP2005163103A (ja) | 2003-12-02 | 2003-12-02 | 単分散粒子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005163103A true JP2005163103A (ja) | 2005-06-23 |
Family
ID=34726578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003403203A Pending JP2005163103A (ja) | 2003-12-02 | 2003-12-02 | 単分散粒子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005163103A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007191344A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Nippon Steel Materials Co Ltd | シリコン溶湯用耐火物及びその製造方法 |
KR20180100946A (ko) * | 2017-03-03 | 2018-09-12 | 주식회사 에이치에스하이테크 | 진동체 스프레이 노즐을 이용한 서스펜션 중합 방법 |
-
2003
- 2003-12-02 JP JP2003403203A patent/JP2005163103A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007191344A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Nippon Steel Materials Co Ltd | シリコン溶湯用耐火物及びその製造方法 |
KR20180100946A (ko) * | 2017-03-03 | 2018-09-12 | 주식회사 에이치에스하이테크 | 진동체 스프레이 노즐을 이용한 서스펜션 중합 방법 |
KR101965889B1 (ko) * | 2017-03-03 | 2019-04-04 | 주식회사 에이치에스하이테크 | 진동체 스프레이 노즐을 이용한 서스펜션 중합 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2002155305A (ja) | 単分散粒子の製造装置及び単分散粒子の製造方法及びその製造方法で製造された単分散粒子 | |
CN101745763B (zh) | 一种精密焊球的高效制备方法 | |
EP0996521A1 (en) | Apparatus and method for making uniformly sized and shaped spheres | |
US4966737A (en) | Method and a device for manufacturing a powder of amorphous ceramic or metallic particles | |
CN110842209B (zh) | 一种压差调控+电磁扰动制备均一金属颗粒的装置 | |
KR100800505B1 (ko) | 금속분말 제조장치 | |
US6554166B2 (en) | Apparatus for producing fine metal balls | |
JP2004529268A (ja) | ボール状の金属粒子を製造するための方法および装置 | |
CN113020607A (zh) | 电磁扰动与流动聚焦制备芯片级封装用微焊球的装置 | |
JP2001107113A (ja) | 金属ガラス球の製造方法およびこの方法で製造された金属ガラス球、並びにその製造装置 | |
JP2005163103A (ja) | 単分散粒子の製造方法 | |
JP2001226706A (ja) | 微細金属球製造装置 | |
JPH06184607A (ja) | 球形単分散粒子の製造方法および装置 | |
TWI603793B (zh) | 混合型霧化裝置 | |
CN217412451U (zh) | 一种静电效应下制备100μm以下均一焊球的装置 | |
CN210359259U (zh) | 一种超声波制备金属球形粉体装置 | |
JP2001353436A (ja) | 単分散粒子及びその単分散粒子の製造方法及びその製造方法で製造された単分散粒子、並びにその製造装置 | |
JP2001294907A (ja) | 金属ガラス球の製造方法およびこの方法で製造された金属ガラス球、並びにその製造装置 | |
CN210429739U (zh) | 一种金属焊球的制备装置 | |
JP2001064702A (ja) | 微細球状金属粉末の製造方法 | |
KR100528367B1 (ko) | 간극조절이 가능한 노즐 조립체 | |
Chao et al. | Experimental analysis of a pneumatic drop-on-demand (DOD) injection technology for 3D printing using a gallium-indium alloy | |
JP2017190516A (ja) | 金属粒子の製造方法、及び、金属粒子の製造装置 | |
JP2001226705A (ja) | 微細金属球の製造方法並びに微細金属球製造装置 | |
JP2008156719A (ja) | 単分散粒子製造装置、単分散粒子製造装置用オリフィスプレート、及び単分散粒子集合体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20061127 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20061215 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20061215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20090114 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090901 |