JP2005158967A - Wiring board - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体素子等の電子部品を搭載するための配線基板に関するものである。 The present invention relates to a wiring board for mounting electronic components such as semiconductor elements.
一般に、移動体通信機器に代表されるような電子機器の小型化、薄型化の要求に伴い、このような電子機器に使用される半導体素子等の電子部品を搭載するための配線基板にも小型化、薄型化、多端子化が求められてきている。そして、そのような小型化、薄型化、多端子化を実現するための配線基板として、外部電気回路基板上に半田バンプを介して表面実装可能としたボールグリッドアレイパッケージ(BGA)用やチップスケールパッケージ(CSP)用の配線基板が実用化されている。 In general, along with the demand for downsizing and thinning of electronic devices such as mobile communication devices, wiring boards for mounting electronic components such as semiconductor elements used in such electronic devices are also small. There is a demand for reduction in size, thickness, and number of terminals. As a wiring board for realizing such miniaturization, thinning, and multi-terminal, for ball grid array packages (BGA) and chip scales that can be surface-mounted on the external electric circuit board via solder bumps. A wiring board for a package (CSP) has been put into practical use.
このようなボールグリッドアレイパッケージ用やチップスケールパッケージ用の配線基板は、複数の絶縁層が積層された絶縁基板の上面に電子部品の電極が半田を介して接続される電子部品接続用パッドが設けられているとともに絶縁基板の下面に外部電気回路基板の配線導体に半田を介して接続される外部接続用パッドが設けられている。そして、これらの電子部品接続用パッドと外部接続用パッドとを電気的に接続するための配線導体が絶縁基板の絶縁層を貫通して上下に延びるとともに各絶縁層間を水平に延びるように配設されている。 Such wiring substrates for ball grid array packages and chip scale packages are provided with electronic component connection pads on the upper surface of an insulating substrate in which a plurality of insulating layers are stacked, to which the electrodes of the electronic components are connected via solder. In addition, an external connection pad connected to the wiring conductor of the external electric circuit board via solder is provided on the lower surface of the insulating substrate. A wiring conductor for electrically connecting the electronic component connecting pad and the external connecting pad extends vertically through the insulating layer of the insulating substrate and extends horizontally between the insulating layers. Has been.
そして、このような配線基板によれば、絶縁基板上に電子部品を、その電極が電子部品接続用パッドに半田を介して接続されるようにして搭載することにより電子装置となり、この電子装置は、その外部接続用パッドを外部電気回路基板の配線導体に半田を介して接続することにより外部電気回路基板上に実装されるとともに搭載する電子部品が外部電気回路に電気的に接続されることとなる。 And according to such a wiring board, it becomes an electronic device by mounting an electronic component on an insulating substrate so that its electrode is connected to an electronic component connecting pad via solder. The external connection pads are connected to the wiring conductors of the external electric circuit board via solder to be mounted on the external electric circuit board and the electronic components to be mounted are electrically connected to the external electric circuit; Become.
このような配線基板における配線導体は、用途によって信号用と接地用と電源用の配線導体に機能化されている。 Wiring conductors in such a wiring board are functionalized into wiring conductors for signals, grounds, and power supplies depending on applications.
このうち信号用の配線導体は、半導体素子等の電子部品と外部電気回路基板との間で電気信号を伝播させるための導電路として機能し、絶縁層間に絶縁基板の中央部から外周部に向けて互いの間隔が拡がるようにして延びる複数の細い帯状の導体パターンを有するとともに、絶縁層を貫通する導体柱により上下の導体パターン同士が接続されており、さらに、絶縁層を貫通する導体柱により信号用の電子部品接続用パッドおよび外部接続用パッドに接続されている。 Among them, the signal wiring conductor functions as a conductive path for propagating an electric signal between an electronic component such as a semiconductor element and an external electric circuit board, and is directed from the central portion of the insulating substrate to the outer peripheral portion between the insulating layers. And having a plurality of thin strip-like conductor patterns extending so as to increase the distance between each other, the upper and lower conductor patterns are connected to each other by the conductor pillars penetrating the insulating layer, and further, the conductor pillars penetrating the insulating layer It is connected to a signal electronic component connection pad and an external connection pad.
また、接地用の配線導体や電源用の配線導体は、配線基板に搭載される電子部品にそれぞれ接地電位や電源電位を供給する供給路としての機能を有しているとともに信号用の配線導体に対する電磁シールド機能や特性インピーダンスの調整機能を有しており、信号用の導体パターンに対向する広面積の導体パターンを絶縁層間に有するとともに、絶縁層を貫通する導体柱によりそれぞれ接地用や電源用の電子部品接続用パッドおよび外部接続用パッドに接続されている。 In addition, the wiring conductor for grounding and the wiring conductor for power supply have a function as a supply path for supplying a ground potential and a power supply potential to the electronic components mounted on the wiring board, respectively. It has an electromagnetic shielding function and a characteristic impedance adjustment function, and has a conductor pattern with a wide area facing the signal conductor pattern between the insulating layers, and a conductor pillar penetrating the insulating layer for grounding and power supply respectively. It is connected to the electronic component connecting pad and the external connecting pad.
しかしながら、このような配線基板においては、信号用の配線導体が絶縁層間に絶縁基板の中央部から外周部に向けて互いの間隔が拡がるようにして延びる複数の細い帯状の導体パターンを有することから、絶縁基板の中央部と外周部とで導体パターンの占める割合に大きな差があり、そのため絶縁基板に反りが発生しやすい。そこで、特許文献1には、信号用の導体パターン間に電気的に独立したダミーの導体パターンを配置することにより絶縁基板の中央部と外周部における導体パターンの占める割合を均一化して基板の反りを防止するようになした配線基板が開示されている。
しかしながら、信号用の導体パターンの間に信号用の配線導体と電気的に独立したダミーの導体パターンを配置した場合、信号用の配線導体に周波数が10GHzを超えるような高周波の信号を伝播させると、ダミーの導体パターン内に信号用の配線導体を伝播する信号に対応した共振が起こり、その共振のために信号用の配線導体を伝播する信号の正常な伝播が阻害されて配線基板に搭載する半導体素子等の電子部品を正常に作動させることができないという問題点を有していた。 However, when a dummy conductor pattern electrically independent of the signal wiring conductor is disposed between the signal conductor patterns, if a high-frequency signal having a frequency exceeding 10 GHz is propagated to the signal wiring conductor, The resonance corresponding to the signal propagating through the signal wiring conductor occurs in the dummy conductor pattern, and the normal propagation of the signal propagating through the signal wiring conductor is hindered due to the resonance, and is mounted on the wiring board. There has been a problem that electronic components such as semiconductor elements cannot be operated normally.
本発明は、かかる従来の問題点に鑑み完成されたものであり、その目的は信号用の配線導体を伝播する信号の周波数が10GHzを超えるような高周波であっても、信号用の配線導体に隣接して配置されたダミーの導体パターン内に共振が起こることがなく、信号用の配線導体に高周波の信号が良好に伝播されて、搭載する電子部品を正常に作させることが可能な配線基板を提供することにある。 The present invention has been completed in view of such conventional problems, and its purpose is to provide a signal wiring conductor even if the frequency of the signal propagating through the signal wiring conductor is higher than 10 GHz. A wiring board that does not resonate in the dummy conductor pattern placed adjacent to it, and allows high-frequency signals to propagate well to the signal wiring conductors, so that the electronic components to be mounted can be made normally. Is to provide.
本発明の配線基板は、絶縁層と、該絶縁層の表面に配設された複数の高周波信号伝送用の配線導体と、前記絶縁層の表面に前記配線導体に隣接して配置され、前記配線導体と電気的に独立したダミーの導体パターンとを具備する配線基板において、前記導体パターンは、前記配線導体を伝播する信号の波長の4分の1未満の長さの導体片が前記配線導体に沿って複数形成されていることを特徴とするものである。 The wiring board of the present invention includes an insulating layer, a plurality of high-frequency signal transmission wiring conductors disposed on the surface of the insulating layer, the surface of the insulating layer adjacent to the wiring conductor, and the wiring In the wiring board having a dummy conductor pattern electrically independent of the conductor, the conductor pattern has a conductor piece having a length of less than a quarter of a wavelength of a signal propagating through the wiring conductor as the wiring conductor. It is characterized in that a plurality are formed along.
本発明の配線基板によれば、高周波信号伝送用の配線導体に隣接して配置されたダミーの導体パターンが高周波信号伝送用の配線導体を伝播する信号の波長の4分の1未満の長さの複数の導体片が高周波信号伝送用の配線導体に沿って複数形成されていることから、高周波信号伝送用の配線導体に10GHzを超えるような高周波の信号を伝播させた場合であっても、ダミーの導体パターンに信号に対応する共振が発生することはなく、その結果、高周波信号伝送用の配線導体に高周波の信号が良好に伝播されて、搭載する電子部品を正常に作動させることができる。 According to the wiring board of the present invention, the dummy conductor pattern disposed adjacent to the wiring conductor for high-frequency signal transmission has a length less than a quarter of the wavelength of the signal propagating through the wiring conductor for high-frequency signal transmission. Since a plurality of conductor pieces are formed along the wiring conductor for high-frequency signal transmission, even when a high-frequency signal exceeding 10 GHz is propagated to the wiring conductor for high-frequency signal transmission, The dummy conductor pattern does not generate a resonance corresponding to the signal, and as a result, the high-frequency signal is satisfactorily transmitted to the wiring conductor for high-frequency signal transmission, and the mounted electronic component can be operated normally. .
次に、本発明の配線基板を添付の図面に基づき詳細に説明する。図1は、本発明を実施するための最良の形態を、半導体素子を搭載するための配線基板に適用した場合の例を示す断面図であり、図中、1は絶縁基板、2a,2b,2cはそれぞれ信号用,接地用,電源用の電子部品接続用パッド、3a,3b,3cはそれぞれ信号用,接地用,電源用の外部接続用パッド、4a,4b,4cはそれぞれ信号用,接地用,電源用の配線導体である。 Next, the wiring board of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example in which the best mode for carrying out the present invention is applied to a wiring board for mounting a semiconductor element, in which 1 is an insulating substrate, 2a, 2b, 2c is an electronic component connection pad for signal, grounding and power supply, 3a, 3b and 3c are external connection pads for signal, grounding and power supply, and 4a, 4b and 4c are for signal and grounding, respectively. Wiring conductor for power and power supply.
なお、本例では、ガラス織物に熱硬化性樹脂を含浸させて成る絶縁層1aの上下面に熱硬化性樹脂から成る絶縁層1bを3層ずつ積層して絶縁基板1を形成しており、最表層の絶縁層1bはソルダーレジスト層である。また、絶縁基板1の上面にはそれぞれ信号用、接地用および電源用の電子部品接続用パッド2a,2b,2cが形成されているとともに絶縁基板1の下面にはそれぞれ信号用、接地用および電源用の外部接続用パッド3a,3b,3cが縦横の並びに配列形成されており、絶縁基板1の上面から下面にかけてはそれぞれ対応する電子部品接続用パッド2a,2b,2cと外部接続用パッド3a,3b,3cとを互いに電気的に接続する信号用、接地用および電源用の配線導体4a,4b,4cが配設されている。
In this example, the insulating substrate 1 is formed by laminating three
絶縁層1aは、本例の配線基板の芯体となる部材であり、例えばガラス繊維束を縦横に織り込んだガラス織物にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させて成り、厚みが0.3〜1.5mm程度であり、その上面から下面にかけて直径が0.1〜1mm程度の複数の貫通孔5を有している。そして、その上下面には配線導体4a,4b,4cの一部を構成する導体パターンおよび各貫通孔5の内面には配線導体4a,4b,4cの一部を構成する円筒状の導体柱が被着されており、絶縁層1a上下面の導体パターン同士が貫通孔5内の導体柱を介して電気的に接続されている。
The insulating layer 1a is a member that becomes the core of the wiring board of this example, and is formed by, for example, impregnating a glass fabric in which glass fiber bundles are woven vertically and horizontally with a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin, The thickness is about 0.3 to 1.5 mm, and a plurality of through holes 5 having a diameter of about 0.1 to 1 mm are provided from the upper surface to the lower surface. And on the upper and lower surfaces, there are conductor patterns constituting a part of the
このような絶縁層1aは、ガラス織物に未硬化の熱硬化性樹脂を含浸させた絶縁シートを熱硬化させた後、これに上面から下面にかけてドリル加工を施すことにより製作される。なお、絶縁層1a上下面の配線導体4a,4b,4cの導体パターンは、絶縁層1a用の絶縁シートの上下全面に厚みが3〜50μm程度の銅箔を貼着しておくとともにこの銅箔をシートの硬化後にエッチング加工することにより所定のパターンに形成される。また、貫通孔5内面の配線導体4a,4b,4cの導体柱は、絶縁層1aに貫通孔5を設けた後に、この貫通孔5内面に無電解めっき法および電解めっき法により厚みが3〜50μm程度の銅めっき膜を析出させることにより形成される。
Such an insulating layer 1a is manufactured by thermally curing an insulating sheet in which a glass fabric is impregnated with an uncured thermosetting resin, and then drilling the insulating sheet from the upper surface to the lower surface. The conductive patterns of the
さらに、絶縁層1aは、その貫通孔5の内部にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂から成る樹脂柱6が充填されている。樹脂柱6は、貫通孔5を塞ぐことにより貫通孔5の直上および直下に各絶縁層1bを形成可能とするためのものであり、未硬化のペースト状の熱硬化性樹脂を貫通孔5内にスクリーン印刷法により充填し、それを熱硬化させた後、その上下面を略平坦に研磨することにより形成される。そして、この樹脂柱6を含む絶縁層1aの上下面に絶縁層1bがそれぞれ3層ずつ積層されている。
Furthermore, the insulating layer 1a is filled with a resin column 6 made of a thermosetting resin such as an epoxy resin or a bismaleimide triazine resin in the through hole 5 thereof. The resin pillar 6 is for making it possible to form each
絶縁層1aの上下面に積層された各絶縁層1bは、それぞれの厚みが20〜60μm程度であり、各層の上面から下面にかけて直径が30〜100μm程度の複数の貫通孔7を有している。これらの各絶縁層1bは、配線導体4a,4b,4cを高密度に配線するための絶縁間隔を提供するためのものであり、最表層の絶縁層1bを除く各絶縁層1bの表面には配線導体4a,4b,4cの一部を構成する導体パターンが被着されているとともに貫通孔7内には配線導体4a,4b,4cの一部を構成する逆円錐台状の導体柱が被着されている。そして、上層の導体パターンと下層の導体パターンとが貫通孔7内の導体柱を介して電気的に接続されることにより立体的な高密度配線が可能となっている。このような各絶縁層1bは、厚みが20〜60μm程度の未硬化の熱硬化性樹脂から成る絶縁フィルムを絶縁層1aの上下面に貼着し、これを熱硬化させるとともにレーザ加工により貫通孔7を穿孔し、さらにその上に同様にして次の絶縁樹脂層を順次積み重ねることによって形成される。なお、各絶縁層1bの表面および貫通孔7内に被着された配線導体4a,4b,4cは、各絶縁層1bを形成する毎に各絶縁層1bの表面および貫通孔7内に5〜50μm程度の厚みの銅めっき膜を公知のセミアディティブ法やサブトラクティブ法等のパターン形成法により所定のパターンに被着させることによって形成される。
Each insulating
また、絶縁基板1の上面に形成された電子部品接続用パッド2a,2b,2cおよび絶縁基板1の下面に形成された外部接続用パッド3a,3b,3cは、厚みが3〜50μm程度の銅めっき膜から成り、それぞれ電子部品の電極および外部電気回路基板の配線導体と各配線導体4a,4b,4cとを電気的に接続するための接続用電極として機能する。そして、それぞれの露出表面には半田8a,8bが接合されており、電子部品接続用パッド2a,2b,2cには半田8aを介して電子部品の各電極が接続され、外部接続用パッド3a,3b,3cには半田8bを介して外部電気回路基板の配線導体が接続される。このような電子部品接続用パッド2a,2b,2cおよび外部接続用パッド3a,3b,3cは、絶縁層2bの表面に公知のセミアディティブ法やサブトラクティブ法により銅めっき膜を所定のパターンに被着させることにより形成され、その表面に半田ペーストを塗布するとともにそれをリフローすることにより半田8a,8bが接合される。
Also, the electronic
なお、信号用の電子部品接続用パッド2aは直径が50〜100μm程度の円形であり、接地用や電源用の電子部品接続用パッド2b,2cは直径が50〜100μm程度の円形または連続した広面積のパターンである。また、信号用の外部接続用パッド3aは直径が200〜500μm程度の円形であり、接地用や電源用の外部接続用パッド3b,3cは直径が200〜500μm程度の円形または連続した広面積のパターンである。
The signal electronic component connection pad 2a has a circular shape with a diameter of about 50 to 100 μm, and the electronic
これらの電子部品接続用パッド2a,2b,2cと外部接続用パッド3a,3b,3cとを接続するようにして絶縁基板1の上面から下面にかけて配設された信号用、接地用および電源用の各配線導体4a,4b,4cは、それぞれ電子部品の各電極を外部電気回路基板に接続するための導電路として機能し、信号用の配線導体4aであれば、図2に要部平面図で示すように、絶縁層1bの間を絶縁基板1の中央部から外周部に向けて互いの間隔が拡がるようにして延びる複数の細い帯状の高周波信号伝送用の配線導体4apを有しており、接地用および電源用の配線導体4b,4cであれば、高周波信号伝送用の配線導体4apに対向する広面積の導体パターンを含んでいる。そして、信号用の配線導体4aは、電子部品に信号の出し入れを行なうための導体として機能し、接地用および電源用の配線導体4b,4cは、電子部品に接地電位や電源電位を供給するための導体として機能するとともに信号用の配線導体4aを電磁的に遮蔽するシールドとしても機能する。また、例えは信号用の導体パターンと接地や電源用の導体パターンとが絶縁層1bを挟んで対向することにより信号用の配線導体4aに所定の特性インピーダンスが付与される。
These electronic
さらに、本例の配線基板においては、図2に示すように、高周波信号伝送用の配線導体4apの間に、この高周波信号伝送用の配線導体4apと電気的に独立したダミーの導体パターン9が配設されている。ダミーの導体パターン9は高周波信号伝送用の配線導体4apと同じ材料の導体により形成されており、高周波信号伝送用の配線導体4apを伝播する高周波信号の波長の4分の1未満の長さの導体片9aが高周波信号伝送用の配線導体4apに沿って複数形成されている。このようなダミーの導体パターン9は、絶縁基板1の中央部と外周部における導体パターンの占める割合を均一として基板の反りを防止したり、信号用の導体パターンをセミアディティブ法やサブトラクティブ法等のパターン形成法により形成する際にパターンのエッチング量を均一にしたりする作用を有し、セミアディティブ法やサブトラクティブ法等のパターン形成法により信号用の導体パターンと同時に形成される。
Furthermore, in the wiring board of this example, as shown in FIG. 2, a
本発明においては、ダミーの導体パターン9は、高周波信号伝送用の配線導体4apを伝播する信号の波長の4分の1未満の長さの導体片9aが高周波信号伝送用の配線導体4apに沿って複数形成されており、そのことが重要である。本発明の配線基板は、高周波信号伝送用の配線導体4apに隣接して設けられたダミーの導体パターン9が、高周波信号伝送用の配線導体4apを伝播する信号の波長の4分の1未満の長さの導体片9aが高周波信号伝送用の配線導体4apに沿って複数形成されていることから、高周波信号伝送用の配線導体4apに周波数が10GHz以上の高周波信号が伝播したとしても、信号の波長の4分の1未満の導体片9aにおいては、共振が抑制されるので、ダミーの導体パターン9に共振が発生することはない。したがって、高周波信号伝送用の配線導体4apに10GHz以上の高周波の信号が良好に伝播されて、搭載する電子部品を正常に作させることができる。
In the present invention, the
なお、ダミーの導体パターン9は、各導体片9aの間隔が30μm未満となると、導体片9a同士の間の電気的な絶縁性が低下して導体パターン9に共振が発生してしまう危険性が大きくなる。したがって、ダミーの導体パターン9は、各導体片9aの間隔が30μm以上であることが好ましい。
In the
また、図2に示すように、高周波信号伝送用の配線導体4apとこれに隣接する各導体片9aとの間隔を同一にしておくことが好ましい。高周波信号伝送用の配線導体4apとこれに隣接する各導体片9aとの間隔が不均一であれば、電磁界分布が乱れて伝送損失特性が劣化してしまう。
Further, as shown in FIG. 2, it is preferable that the spacing between the wiring conductor 4ap for high-frequency signal transmission and each
かくして、本発明の配線基板によれば、絶縁基板1の上面に電子部品をその電極が半田8aを介して各電子部品接続用パッド2a,2b,2cに接続されるようにして搭載することにより電子装置となり、この電子装置における外部接続用パッド3a,3b,3cを外部電気回路基板の配線導体に半田8bを介して接続することにより電子装置が外部電気回路基板に実装されるとともに搭載する電子部品の各電極が外部電気回路に電気的に接続されることとなる。
Thus, according to the wiring board of the present invention, the electronic component is mounted on the upper surface of the insulating substrate 1 so that the electrode thereof is connected to each of the electronic
なお、本発明は上述の実施の形態例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能であり、例えば上述の実施の形態例ではダミーの導体パターン9を構成する各導体片9aは台形状であったが、導体片9aは円形や四角形、三角形等の他の形状であってもよい。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, a dummy conductor pattern is used. Each of the
1a,1b:絶縁層
4ap:高周波信号伝送用の配線導体
9:ダミーの導体パターン
9a:ダミーの導体パターン9を構成する導体片
1a, 1b: Insulating layer 4ap: Wiring conductor for high-frequency signal transmission 9:
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