JP2005152850A - バグフィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】 ろ布に蓄積した塵埃を容易に払い落すバグフィルタを提供する。
【解決手段】 バグフィルタ10は、一端が開口するとともに他端が閉口した筒形状のろ布12の外面に多孔質膜14を積層した構成である。この多孔質膜14は、前記ろ布12の長さを1としたときに、前記ろ布12の他端から0.2〜0.6の範囲までに積層されている。そしてバグフィルタ10は、前記一端をバグフィルタ装置に設けられたセルプレートに係合し、セルプレートから吊下げられて使用される。
【選択図】 図1
【解決手段】 バグフィルタ10は、一端が開口するとともに他端が閉口した筒形状のろ布12の外面に多孔質膜14を積層した構成である。この多孔質膜14は、前記ろ布12の長さを1としたときに、前記ろ布12の他端から0.2〜0.6の範囲までに積層されている。そしてバグフィルタ10は、前記一端をバグフィルタ装置に設けられたセルプレートに係合し、セルプレートから吊下げられて使用される。
【選択図】 図1
Description
本発明はバグフィルタに関するものである。
バグフィルタは含塵ガス中の塵埃を捕集する集塵装置として用いられている。図5にバグフィルタ装置の説明図を示す。また図6にバグフィルタの断面図を示す。バグフィルタ装置100における装置本体102の上部にセルプレート104が配置され、このセルプレート104には上端が開口し下端が閉口してなる筒形状のバグフィルタ106が複数吊下げられている。このバグフィルタ106はフェルトやガラス繊維等によって形成されたろ布からなり、可撓性を有するため潰れやすい。したがって、使用時にはバグフィルタ106の形状を保持するリテーナ108が上端開口部から挿入され、バグフィルタ106の筒形状を保持している。またバグフィルタ106の上端には補強材が縫い込んであるため、ある程度の剛性を有してセルプレート104に係合され、吊下げられている。
またセルプレート104を境界として、装置本体102は上方の処理ガスエリア110と下方の集塵エリア112に分割されている。集塵エリア112の下部はホッパ114とされ、ホッパ114の下端にはダスト排出手段116が設けられている。またホッパ114には含塵ガスの流入ダクト118が接続されている。処理ガスエリア110には塵埃を除去した処理ガスの排出ダクト120が接続されている。そして処理ガスエリア110には、逆洗空気が供給される管路122が設けられ、各バグフィルタ106における開口部の上方に配設されたベンチュリ124と接続されている。
流入ダクト118から集塵エリア112に流入した含塵ガスはバグフィルタ106を通過する過程でろ過される。ろ過後の処理ガスは処理ガスエリア110を経て排出ダクト120からバグフィルタ装置100の外部へ排出される。ろ過を継続するとバグフィルタ106の外面に塵埃が捕集されるとともに蓄積され、次第にバグフィルタ106の通気抵抗が増加する。そこで適当な頻度で管路122とベンチュリ124を介して逆洗空気をバグフィルタ106に供給し、バグフィルタ106を逆洗する。この逆洗によってバグフィルタ106外面に蓄積した塵埃が払い落とされ、バグフィルタ106の通気抵抗が小さくなり、バグフィルタ106はろ過性能を回復する。バグフィルタ106から払い落とされた塵埃は自重落下し、ダスト排出手段116によってバグフィルタ装置100の外部へ搬送される。
なお半導体工業等で使用されるクリーンルーム等におけるフィルタ用ろ材として、超高分子量ポリオレフィン多孔質膜とポリテトラフルオロチレン多孔質膜とを積層させたものが特許文献1に開示されている。
特開2000−225328号公報
しかしながら、バグフィルタの長さは4〜8m程度の長大な形状であるために、ベンチュリから供給された逆洗空気はバグフィルタの下部に行くにしたがって圧力が弱くなるとともに、供給量が少なくなり、バグフィルタの下部に蓄積した塵埃を払い落とすことが困難になっていた。そして払い落とされなかった塵埃はそのまま蓄積されていき、最終的には払い落としが不可能になる問題点があった。
また圧力を高めるとともに、多量に逆洗空気を供給した場合であっても、バグフィルタに蓄積した塵埃を完全に除去することができず、バグフィルタ装置の運転時間が経過すると、含塵ガスがバグフィルタを通過するときの圧力損失が高くなる問題点があった。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、バグフィルタの下部に蓄積した塵埃を容易に払い落とすバグフィルタを提供することを目的とする。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、バグフィルタの下部に蓄積した塵埃を容易に払い落とすバグフィルタを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るバグフィルタは、ろ布からなるバグフィルタであって、前記ろ布の下部外面に多孔質膜を積層したことを特徴としている。この場合、外部表面積の20〜60%に多孔質膜を積層することが好ましい。また前記多孔質膜は、前記ろ布の長さを1としたときに、前記ろ布の下端から0.2〜0.6の範囲までに積層することが好ましい。さらに前記多孔質膜はポリテトラフルオロチレンを用いた膜にすることが好ましい。
塵埃との摩擦抵抗が小さい多孔質膜をろ布表面に積層したので、逆洗時に容易に塵埃を払い落すことができる。このため逆洗後のバグフィルタに残る塵埃が少ないので、長期にわたってバグフィルタを使用することができる。またろ布に多孔質膜を積層すると通気抵抗が大きくなるが、バグフィルタの表面にろ布が露出した部分と多孔質膜が露出した部分があるので、含塵ガスがバグフィルタを通過するときの圧力損失を低くすることができる。
以下に、本発明に係るバグフィルタの好ましい実施の形態を説明する。図1にバグフィルタの断面図を示す。図2にバグフィルタ部分を拡大したバグフィルタ装置の説明図を示す。バグフィルタ10はろ布12の一部に多孔質膜14を積層した構成である。詳しくは、バグフィルタ10は含塵ガスをろ過する材料、例えばフェルトやガラス繊維等から形成されたろ布12からなり、一端を開口するとともに他端を閉口した筒形状をなしている。前記一端には、バグフィルタ装置20のセルプレート22にバグフィルタ10を係合するときに用いられる係合部(不図示)が設けられている。また前記他端側のろ布12外面に多孔質膜14が積層されている。そしてろ布12の長さを1としたときに、前記他端から0.2〜0.6の割合の範囲までに多孔質膜14が積層されている。多孔質膜14とろ布12の積層方法は、例えば加熱により積層される。なお積層方法は塵埃のろ過された処理ガスを通過させることができれば、特に限定はしない。多孔質膜14として、例えばポリテトラフルオロチレンが用いられる。そして多孔質膜14は、第1に塵埃と多孔質膜14との摩擦係数が小さく、第2に含塵ガスが通過するときの圧力損失が低く、第3にろ過効率が優れている特徴を有している。
このようなバグフィルタ10は、前記係合部を用いてセルプレート22に係合されて、集塵エリア24側へ吊下げられる。このため多孔質膜14は集塵エリア24側に位置している。またバグフィルタ10の形状を保持するリテーナ26が前記一端から挿入される。そしてバグフィルタ装置20を運転させると、流入ダクト28から集塵エリア24に供給された含塵ガスは、バグフィルタ10でろ過される。ろ布12に多孔質膜14を積層すると通気抵抗が大きくなって圧力損失が高くなるが、多孔質膜14はバグフィルタ10の一部分に積層されているので、バグフィルタ10全体としては圧力損失が低く、実用的には問題を生じない。そしてろ布12上に多孔質膜14が積層された部分では、多孔質膜14の外面に塵埃が捕集されて蓄積される。またろ布12のみの部分では、ろ布12の外面に塵埃が捕集されて蓄積される。
そしてバグフィルタ10を逆洗するときは、管路30およびベンチュリ32を介して逆洗空気をバグフィルタ10の開口部から供給すると、バグフィルタ10の上部は逆洗空気の圧力が高く、かつ供給量が多いので、蓄積した塵埃を払い落せる。またバグフィルタ10の下部、すなわちろ布12上に多孔質膜14を積層した部分では、逆洗空気の圧力が弱くなり、供給量も少なくなる。しかし多孔質膜14と塵埃の摩擦抵抗がろ布12に比べて小さいので、逆洗空気の圧力が弱く供給量が少なくても蓄積した塵埃を払い落せる。
次に、本実施の形態に係るバグフィルタ10を用いて圧力損失とバグフィルタ装置20の運転時間との関係を測定した。これはバグフィルタ装置20の運転と逆洗を一定時間毎に行って、圧力損失の変移を測定したものである。なお本実施形態に係るバグフィルタ10の他に、比較用として多孔質膜を設けていないろ布、すなわち従来技術に係るバグフィルタと、ろ布の外面全体に多孔質膜を積層したバグフィルタも同様に測定した。図3に圧力損失と運転時間の関係を示す。本実施の形態に係るバグフィルタ10(部分多孔質膜付きろ布)は、運転開始時と測定終了時と比較すると僅かに圧力損失が高くなることがわかる。すなわち、図3の縦軸の一目盛りを1とすると、運転開始時と測定終了時とで約0.4大きくなることがわかる。これに対して従来技術に係るバグフィルタ(多孔質膜なし)を用いた場合は、運転開始時の圧力損失が本実施の形態に係るバグフィルタ10に比べて小さいが、運転時間が経過するにしたがって大きくなり、測定終了時では本実施の形態に係るバグフィルタ10よりも遥かに大きいことがわかる。すなわち塵埃の払い落としが悪くなることがわかる。またろ布の外面全体に多孔質膜を積層したバグフィルタ(全面多孔質膜付きろ布)は、運転開始時と測定終了時で圧力損失の変化は見られないため、塵埃の払い落しの効果は維持できることがわかるが、本実施の形態のバグフィルタ10に比べて圧力損失が高い。一方、本実施の形態に係るバグフィルタ10は、初期の圧力損失が低く、圧力損失の変動も僅かである。したがって、本実施形態に係るバグフィルタ10は、従来技術に係るバグフィルタの初期の低圧力損失と、ろ布の外面全体に多孔質膜を積層したバグフィルタの塵埃の払い落とし効率の、両方の特徴をあわせ持っていることがわかる。
また本実施の形態に係るバグフィルタ10を用いて、逆洗後のバグフィルタ10のダスト剥離率および圧力損失と、バグフィルタ10の長さ方向における多孔質膜14の割合(多孔質膜割合)との関係を測定した。図4にバグフィルタ10にダスト剥離率および圧力損失と多孔質膜14割合の関係を示す。図4の横軸にろ布外面に積層した多孔質膜の割合を示し、縦軸第一軸にダスト剥離率を、縦軸第二軸に圧力損失を示す。多孔質膜割合が0%のときはろ布に多孔質膜が積層されておらず、100%のときはろ布全面に多孔質膜が積層されていることを示す。そして、例えば多孔質膜割合が30%のときはろ布下端から30%まで多孔質膜膜が積層されていることを示す。
十分にバグフィルタを運転したときは、多孔質膜割合が0%ではろ布下部にダストが蓄積してしまい、ダスト剥離率も悪く、かつ圧力損失も高い。また多孔質膜割合が100%でダスト剥離率は極めて100%に近づくが、ろ布全面に多孔質膜が積層されているため圧力損失も高くなる。圧力損失は多孔質膜の積層に伴い、ろ布下部に蓄積したダストが剥離するために下がり、多孔質膜割合が20〜60%の範囲で最小値を示すが、それ以上多孔質膜を積層すると多孔質膜の影響があらわれ、圧力損失が上昇する。したがってろ布の長さを1としたときに0.2〜0.6の割合で多孔質膜を積層すると、圧力損失とダスト剥離率における効率が最も良いことがわかる。
このように、ろ布12の外面の一部、すなわち従来技術に係るバグフィルタで塵埃を落すことができなかった部分に多孔質膜14を積層したので、塵埃と多孔質膜14との摩擦抵抗が小さくなり、バグフィルタ10に蓄積された塵埃を容易に払い落とすことができる。すなわち、バグフィルタ10のダスト剥離率を高くすることができる。またバグフィルタ10の外面はろ布12が露出した部分と、多孔質膜14が露出した部分があるので、処理ガスがバグフィルタ10を通過するときの圧力損失を低くすることができる。特にバグフィルタ10の長さを1としたときに、下端から0.2〜0.6の割合の範囲までに多孔質膜14を積層したので、バグフィルタ10のダスト剥離率を高くすることができ、圧力損失も低くすることができる。このため、バグフィルタ装置20の運転と、バグフィルタ10の逆洗を繰り返しても圧力損失が高くなることはなく、長期にわたってバグフィルタ10を使用することができる。
10………バグフィルタ、12………ろ布、14………多孔質膜、20………バグフィルタ装置、22………セルプレート、24………集塵エリア、26………リテーナ、28………流入ダクト、30………管路、32………ベンチュリ。
Claims (4)
- ろ布からなるバグフィルタであって、前記ろ布の下部外面に多孔質膜を積層したことを特徴とするバグフィルタ。
- 外部表面積の20〜60%に多孔質膜を積層したことを特徴とする請求項1に記載のバグフィルタ。
- 前記多孔質膜は、前記ろ布の長さを1としたときに、前記ろ布の下端から0.2〜0.6の範囲までに積層したことを特徴とする請求項1に記載のバグフィルタ。
- 前記多孔質膜はポリテトラフルオロチレンを用いた膜であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のバグフィルタ。
Priority Applications (1)
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JP2003398418A JP2005152850A (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | バグフィルタ |
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2003
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