JP2005149636A - 多層光記録媒体検査方法および多層光記録媒体検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の樹脂層が形成された多層光記録媒体における各樹脂層の欠陥の有無を検査すると共に欠陥が存在している樹脂層を特定し得る多層光記録媒体検査方法を提供する。
【解決手段】多層光記録媒体１のディスク状基材２に積層された樹脂層Ｒ１，Ｒ２における欠陥の有無を検査する際に、多層光記録媒体１の一面側に固定された検査光射出部１３から多層光記録媒体１に向けて所定の入射角度で検査光Ｌａを照射すると共に回転機構１２によって多層光記録媒体１を一定方向に回転させつつ検査光Ｌａの反射光Ｌｂをその光路上に固定されたラインカメラ１４で受光して所定の時間間隔で撮像する撮像工程と、撮像した同一の欠陥についての画像数をカウントするカウント工程と、画像数がＮ（Ｎは２以上の自然数）個のときに基材側から数えて（Ｎ−１）層目の樹脂層が欠陥の存在する樹脂層であると特定する特定工程とを行う。
【選択図】図２

Description

本発明は、多層光記録媒体の樹脂層における欠陥の有無を検査する多層光記録媒体検査方法および多層光記録媒体検査装置に関するものである。

この種の検査装置として、特開２００２−２８６６５３号公報には、光記録媒体の反射層、記録層および樹脂層（保護層）等における欠陥の有無を検査する自動欠陥検査装置が開示されている。この自動欠陥検査装置は、同公報中の図２，３に示すように、ランプユニットＡ、ＣＣＤセンサーＣ，Ｄ、ピックアップ１２および各種回路等を備えて構成されている。この自動欠陥検査装置では、ランプユニットＡが平行光を射出してディスク（光記録媒体）１１に照射する。この際に、例えば、ディスク１１の反射層に欠陥が存在するときには、ＣＣＤセンサーＣが、ディスク１１を透過した光を検出して検出信号を出力する。また、ＣＣＤセンサーＤが、ランプユニットＡから射出された光の反射光を検出して検出信号を出力する。この場合、記録層や樹脂層に欠陥が存在するときには、欠陥によって反射光に生じた陰影がＣＣＤセンサーＤによって検出される。一方、ピックアップ１２は、ディスク１１にレーザービームを照射してその反射光を検出して検出信号を出力する。この際に、各種回路が、検出信号に基づいて欠陥の長さを特定し、欠陥の長さが規定長よりも長いときには、そのディスク１１を不良品と判別する。この自動欠陥検査装置では、平行光を照射しての検査と、レーザービームを照射しての検査との双方を実行するため、反射層、記録層および樹脂層等に欠陥が存在する不良品を比較的正確に選別することが可能になっている。
特開２００２−２８６６５３号公報（第２−３頁、第２−３図）

ところが、従来の自動欠陥検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この自動欠陥検査装置では、反射層、記録層および樹脂層における欠陥の有無を検査可能なものの、例えば、複数の樹脂層によって互いに分離された複数の記録層が積層された多層光記録媒体の検査を行う際には、不都合がある。具体的には、製品の歩留まりを向上させるためには、欠陥の存在する製品を単に選別するだけではなく、例えば、樹脂層の形成工程において、樹脂材料の温度やスピンコート時の回転数等の形成条件を検査結果に基づいて修正することによって欠陥の発生自体を低減するのが好ましい。この場合、多層光記録媒体では、一般的に、各樹脂層の厚みが互いに異なるため、その各樹脂層の各形成条件もそれぞれ個別に規定されている。したがって、各形成条件を修正するためには、欠陥がどの樹脂層に発生しているかを特定する必要がある。しかしながら、この従来の自動欠陥検査装置では、単に欠陥の有無を検査しているに止まり、いずれの樹脂層に欠陥が発生しているかを特定することができないため、樹脂層における欠陥の発生を低減するのが困難であるという問題点が存在する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、複数の樹脂層が形成された多層光記録媒体における各樹脂層の欠陥の有無を検査すると共に、欠陥が存在している樹脂層を特定し得る多層光記録媒体検査方法および多層光記録媒体検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係る多層光記録媒体検査方法は、複数の樹脂層と当該各樹脂層によって互いに分離された複数の情報層とが基材の少なくとも一面に積層された多層光記録媒体の当該各樹脂層における欠陥の有無を検査する際に、前記一面側の固定位置から当該一面に向けて所定の入射角度で検査光を照射すると共に当該多層光記録媒体を一定方向に回転させつつ当該検査光の反射光を当該反射光の光路上における固定位置で受光して所定の時間間隔で撮像する撮像工程と、当該撮像工程で撮像した同一の前記欠陥についての画像数をカウントするカウント工程と、前記画像数がＮ（Ｎは２以上の自然数）個のときに前記基材側から数えて（Ｎ−１）層目の前記樹脂層が前記欠陥の存在する樹脂層であると特定する特定工程とを行う。

この場合、前記カウント工程において、前記撮像工程における撮像時の撮像データを用いた画像処理を実行して形状が同等の画像を検索し、当該検索した画像を前記同一の欠陥についての画像としてカウントするのが好ましい。

また、本発明に係る多層光記録媒体検査装置は、複数の樹脂層と当該各樹脂層によって互いに分離された複数の情報層とが基材の少なくとも一面に積層された多層光記録媒体の当該一面側に固定されて当該一面に向けて所定の入射角度で検査光を照射する検査光照射部と、前記多層光記録媒体を一定方向に回転させる回転機構と、前記検査光についての反射光の光路上に固定されて当該反射光を受光して所定の時間間隔で撮像する撮像部と、当該撮像部によって撮像された同一の前記欠陥についての画像数をカウントするカウント部と、前記画像数がＮ（Ｎは２以上の自然数）個のときに前記基材側から数えて（Ｎ−１）層目の前記樹脂層が前記欠陥の存在する樹脂層であると特定する特定部とを備えている。

この場合、前記カウント部は、前記撮像部による撮像時の撮像データを用いた画像処理を実行して形状が同等の画像を検索すると共に、当該検索した画像を前記同一の欠陥についての画像としてカウントするのが好ましい。

本発明に係る多層光記録媒体検査方法および多層光記録媒体検査装置によれば、撮像工程で撮像した同一の欠陥についての画像数をカウントするカウント工程を行い、カウントした画像数がＮ個のときに基材側から数えて（Ｎ−１）層目の樹脂層が欠陥の存在する樹脂層であると特定する特定工程を行うことにより、画像数をカウントすることで、欠陥の存在する樹脂層を確実かつ容易に特定することができる。したがって、欠陥の存在する樹脂層の形成条件を適正な形成条件に修正することができるため、その樹脂層における欠陥の発生を確実に減少させることができる結果、製品の歩留まりを十分に向上させることができる。また、複雑な演算を行うことなく、欠陥の発生している樹脂層を画像数から即座に特定することができるため、数多くの欠陥が存在していたとしても、各欠陥が存在する樹脂層を短時間で特定することができる。

また、本発明に係る多層光記録媒体検査方法および多層光記録媒体検査装置によれば、カウント工程において、撮像工程における撮像時の撮像データを用いた画像処理を実行して形状が同等の画像を検索し、検索した画像を同一の欠陥についての画像としてカウントすることにより、形状が同等の画像を正確に検索することができるため、同一の欠陥についての画像だけを正確にカウントすることができる結果、欠陥の存在する樹脂層を正確に特定することができる。

以下、本発明に係る多層光記録媒体検査方法および多層光記録媒体検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、多層光記録媒体１の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示す多層光記録媒体１は、本発明に係る多層光記録媒体検査方法（以下、「検査方法」ともいう）における検査対象としての多層光記録媒体の一例であって、主要な機能層として、情報層Ｌ１，Ｌ２（以下、区別しないときには「情報層Ｌ」ともいう）と、情報層Ｌ１，Ｌ２の間に例えば２Ｐ法によって形成された樹脂層Ｒ１と、情報層Ｌ２の表面に形成されたカバー層としての樹脂層Ｒ２（以下、樹脂層Ｒ１，Ｒ２を区別しないときには「樹脂層Ｒ」ともいう）とがディスク状基材２の一面に積層されて構成されている。また、多層光記録媒体１は、樹脂層Ｒ２側から記録再生用のレーザービームが照射されることによって記録データの読出しおよび記録が可能に構成されている。ディスク状基材２は、例えば、ポリカーボネートによって直径が１２０ｍｍ程度で厚みが１．１ｍｍ程度の円板状（平板形状）に形成されている。また、図２に示すように、ディスク状基材２の中心部には、記録再生装置に装着するための直径１５ｍｍ程度の装着用の中心孔１ａが形成されている。

情報層Ｌは、一例として、スパッタ法によってそれぞれ形成された反射層、誘電体層および相変化型の記録層等で構成されている。この場合、情報層Ｌ１の厚みは、例えば３００ｎｍに規定され、情報層Ｌ２の厚みは、例えば２００ｎｍに規定されている。樹脂層Ｒは、例えば紫外線硬化型樹脂を含む塗液をスピンコート法で塗布して紫外線を照射して硬化させることによって形成されている。この場合、樹脂層Ｒ１の厚みは、例えば２５μｍに規定され、樹脂層Ｒ２の厚みは、例えば７５μｍに規定されている。

次に、本発明に係る検査方法に従って多層光記録媒体１を検査する多層光記録媒体検査装置１１（以下、「検査装置１１」ともいう）の構成について、図面参照して説明する。

図２に示す検査装置１１は、本発明に係る多層光記録媒体検査装置の一例であって、多層光記録媒体１における樹脂層Ｒ１，Ｒ２に例えば異物や気泡等の欠陥が存在するか否かを検査すると共に、その欠陥が樹脂層Ｒ１，Ｒ２のいずれに存在するかを特定する。具体的には、検査装置１１は、回転機構１２、検査光照射部１３、ラインカメラ１４、表示部１５、制御部１６、ＲＡＭ１７およびＲＯＭ１８を備えて構成されている。回転機構１２は、多層光記録媒体１の中心孔１ａに嵌め込み可能な突起が中央部に形成された円板状のターンテーブルと、制御部１６によって駆動制御されてターンテーブルを回転させるモータ（いずれも図示せず）とを備えて構成されている。

検査光照射部１３は、光源としてのハロゲンランプと、ハロゲンランプから射出された光のうちの例えば６５０ｎｍの波長をピークとする所定帯域の光を透過させるバンドパスフィルタと、バンドパスフィルタを透過した光のうちの例えば６１０ｎｍ未満の波長の光をカットするシャープカットフィルタと、シャープカットフィルタを透過した光を円偏光に変換する直線偏光板およびλ／４位相差板とを備えて構成され、検査用の検査光Ｌａ（円偏光に変換された光）を射出する。また、検査光照射部１３は、図３に示すように、回転機構１２のターンテーブルに載置された多層光記録媒体１の半径方向に沿った帯状の照射部位（同図に破線で示す部位）に検査光Ｌａを例えば４５度の入射角度で照射可能に回転機構１２の上方に固定されている。ラインカメラ１４は、本発明における撮像部の一例であって、ライン状に並べられた複数（例えば４０９６個）の光電素子を備えて構成され、検査光Ｌａの反射光Ｌｂ１，Ｌｂ２（以下、区別しないときには「反射光Ｌｂ」ともいう）を受光して撮像データＤを出力する撮像処理を実行する。この場合、ラインカメラ１４は、制御部１６の制御下で、回転機構１２によって多層光記録媒体１が１回転させられる間に例えば２４０００回の撮像処理を所定の時間間隔で実行する。また、ラインカメラ１４は、同図に示すように、回転機構１２のターンテーブルに載置された多層光記録媒体１の半径方向と、その長手方向とが一致するようにして、回転機構１２の上方における反射光Ｌｂの光路上に固定されている。表示部１５は、制御部１６の制御下で撮像データＤに基づく画像や検査結果を示す画像などを表示する。

制御部１６は、本発明におけるカウント部および特定部に相当し、回転機構１２、検査光照射部１３、ラインカメラ１４および表示部１５を制御する。また、制御部１６は、ラインカメラ１４から出力された撮像データＤを用いて画像処理を実行することにより、欠陥Ｆ１，Ｆ２（図４，６参照。以下、区別しないときには「欠陥Ｆ」ともいう）についての画像Ｍ（図５，７参照）が撮像されたときに、同一の欠陥Ｆについての画像Ｍ（つまり、形状が同等の画像Ｍ。以下、「同一の画像Ｍ」ともいう）を検索し、その同一の画像Ｍの画像数をカウントするカウント処理（カウント工程）を実行する。また、制御部１６は、カウントした同一の画像Ｍの画像数に基づいて樹脂層Ｒ１，Ｒ２のうちのいずれに欠陥Ｆが存在しているかを特定する特定処理（特定工程）を実行する。具体的には、制御部１６は、カウントした画像数が３個（本発明におけるＮ個の一例）のときに、その画像Ｍに対応する欠陥Ｆの存在する樹脂層Ｒがディスク状基材２側から数えて２層目（本発明における（Ｎ−１）層目の一例）の樹脂層Ｒ２であると特定し、画像数が２個（本発明におけるＮ個の他の一例）のときに、その画像Ｍに対応する欠陥Ｆの存在する樹脂層Ｒがディスク状基材２側から数えて１層目（本発明における（Ｎ−１）層目の他の一例）の樹脂層Ｒ１であると特定する。ＲＡＭ１７は、ラインカメラ１４から出力された撮像データＤを記憶する。ＲＯＭ１８は、制御部１６によって実行される画像処理、カウント処理および特定処理などの各種処理用プログラムを記憶する。

次に、検査装置１１を用いた多層光記録媒体１に対する検査方法について、図面を参照して説明する。

まず、図２に示すように、情報層Ｌ１，Ｌ２および樹脂層Ｒ１，Ｒ２が形成された面を上向きにした状態で、回転機構１２におけるターンテーブルの突起に中心孔１ａを嵌め込んで多層光記録媒体１を載置する。次に、制御部１６が、検査光照射部１３に対して、検査光Ｌａを射出させる。この際に、検査光照射部１３から射出された検査光Ｌａは、図３に示すように、多層光記録媒体１の表面における半径方向に沿った帯状の照射部位において、その表面に対して例えば４５度傾斜する入射角度で照射される。また、図４に示すように、照射された検査光Ｌａは、空気と樹脂層Ｒ２との境界面で屈折させられて、境界面の法線に対して例えば２６．８５度傾斜する入射角度で樹脂層Ｒ２内に入射し、その一部が情報層Ｌ２を構成する反射層によって反射させられる。この場合、情報層Ｌ２で反射させられた反射光Ｌｂ２は、樹脂層Ｒ２と空気との境界面で再度屈折させられて、多層光記録媒体１（樹脂層Ｒ２）の表面に対して４５度傾斜する角度で射出される。一方、情報層Ｌ２で反射させられた一部を除く検査光Ｌａの他の部分は、同図に示すように、情報層Ｌ２を透過して樹脂層Ｒ１内に入射し、情報層Ｌ１を構成する反射層によって反射させられる。この場合、情報層Ｌ１で反射させられた反射光Ｌｂ１は、情報層Ｌ２および樹脂層Ｒ２を透過して樹脂層Ｒ２と空気との境界面で屈折させられて、樹脂層Ｒ２の表面に対して４５度傾斜する角度で射出される。したがって、同図に示すように、検査光照射部１３から射出された検査光Ｌａの一部のうちのさらに一部は、入射側光路Ｘ２および反射側光路Ｙ（いずれも、同図に一点鎖線で示す光路）に沿ってラインカメラ１４に入射し、検査光Ｌａの他の部分のうちのさらに一部は、入射側光路Ｘ１（同図に一点鎖線で示す光路）および反射側光路Ｙに沿ってラインカメラ１４に入射する。なお、同図に示す欠陥Ｆ１は、この時点では、図示した位置よりも右側に位置しているものとする。

次に、制御部１６は、回転機構１２のモータを駆動制御することにより、所定の回転速度でターンテーブルを図４に示す矢印Ａの方向に回転させる。また、制御部１６は、ラインカメラ１４に対して撮像を実行させる制御信号を出力する。これに応じて、ラインカメラ１４が、撮像処理を開始して撮像データＤを出力し、ＲＡＭ１７が、制御部１６によって転送された撮像データＤを記憶する。この場合、ラインカメラ１４は、回転機構１２によって多層光記録媒体１が１回転させられる間にこの撮像処理を例えば２４０００回実行する。また、ラインカメラ１４は、多層光記録媒体１の半径方向に沿った約１５μｍ幅の帯状部位を１回の撮像処理で撮像する。一方、回転機構１２のモータが回転を開始して、同図に示すように、例えば、多層光記録媒体１の樹脂層Ｒ２内に存在する欠陥Ｆ１が多層光記録媒体１の回転によって反射側光路Ｙと交差する位置Ｐ１に移動したときには、欠陥Ｆ１によって陰影の生じた反射光Ｌｂが反射側光路Ｙに沿ってラインカメラ１４に入射する。この際に、ラインカメラ１４は、陰影の生じた反射光Ｌｂを受光して、陰影に応じた撮像データＤを出力する。つまり、ラインカメラ１４は、欠陥Ｆ１の画像Ｍを撮像する。

続いて、多層光記録媒体１がさらに回転させられて、図５に示すように、入射側光路Ｘ２と交差する位置Ｐ２に欠陥Ｆ１が移動したときには、欠陥Ｆ１によって陰影の生じた検査光Ｌａが入射側光路Ｘ２に沿って樹脂層Ｒ２に入射し、情報層Ｌ２によって反射させられて、その反射光Ｌｂが反射側光路Ｙに沿ってラインカメラ１４に入射する。この際に、ラインカメラ１４は、陰影の生じた反射光Ｌｂを受光して、陰影に応じた撮像データＤを出力する。次に、多層光記録媒体１がさらに回転させられて、図６に示すように、入射側光路Ｘ１と交差する位置Ｐ３に欠陥Ｆ１が移動したときには、欠陥Ｆ１によって陰影の生じた検査光Ｌａが入射側光路Ｘ１に沿って樹脂層Ｒ２に入射し、情報層Ｌ２を透過して樹脂層Ｒ１に入射する。さらに、樹脂層Ｒ１に入射した検査光Ｌａは情報層Ｌ１によって反射させられて、その反射光Ｌｂが反射側光路Ｙに沿ってラインカメラ１４に入射する。この際に、ラインカメラ１４は、陰影の生じた反射光Ｌｂを受光して、陰影に応じた撮像データＤを出力する。この場合、樹脂層Ｒ２に存在する欠陥Ｆ１は、多層光記録媒体１の回転によって移動させられることで、反射側光路Ｙ、入射側光路Ｘ２および入射側光路Ｘ１の３つの光路と合計３回に亘って交差するため、ラインカメラ１４によって欠陥Ｆ１の画像Ｍが３回撮像される。したがって、図７に示すように、ラインカメラ１４から出力された撮像データＤに基づく表示画面には、欠陥Ｆ１についての３つの画像Ｍ，Ｍ，Ｍが表示される。

一方、図８に示すように、回転機構１２による回転によって多層光記録媒体１の樹脂層Ｒ１内に存在する欠陥Ｆ２が反射側光路Ｙと交差する位置Ｐ１１に移動したときには、欠陥Ｆ２によって陰影の生じた反射光Ｌｂが反射側光路Ｙに沿ってラインカメラ１４に入射し、ラインカメラ１４が、陰影に応じた撮像データＤを出力する。続いて、多層光記録媒体１がさらに回転させられて、図９に示すように、入射側光路Ｘ１と交差する位置Ｐ１２に欠陥Ｆ２が移動したときには、欠陥Ｆ２によって陰影の生じた検査光Ｌａが入射側光路Ｘ１に沿って入射し、情報層Ｌ１によって反射させられて、その反射光Ｌｂが反射側光路Ｙに沿ってラインカメラ１４に入射する。この際に、ラインカメラ１４は、反射光Ｌｂを受光して、陰影に応じた撮像データＤを出力する。この場合、樹脂層Ｒ１に存在する欠陥Ｆ２は、多層光記録媒体１の回転によって移動させられることで、反射側光路Ｙおよび入射側光路Ｘ１の２つの光路と合計２回に亘って交差するため、ラインカメラ１４によって欠陥Ｆ２の画像Ｍが２回撮像される。したがって、図１０に示すように、ラインカメラ１４から出力された撮像データＤに基づく表示画面には、欠陥Ｆ２についての２つの画像Ｍ，Ｍが表示される。

次に、回転機構１２が多層光記録媒体１を１回転させたときには、制御部１６は、回転機構１２に対して多層光記録媒体１の回転を停止させると共に、ラインカメラ１４に対して撮像処理を停止させる。これにより、多層光記録媒体１の表面全域が、その半径方向に沿った約１５μｍ幅で２４０００回に亘って撮像されて、撮像データＤがＲＡＭ１７によって記憶される。次いで、制御部１６は、表示部１５に対して撮像データＤに基づく表示画面を表示させると共に、撮像データＤに基づいてカウント処理（カウント工程）を実行する。このカウント処理では、制御部１６は、まず、撮像データＤに基づく画像処理を実行する。具体的には、この処理では、多層光記録媒体１の表面全域において、形状が互いに同等（または相似形）の画像Ｍ（同一の画像Ｍ）を検出する。次いで、このカウント処理では、検出した画像数をカウントする。次に、制御部１６は、カウントした画像数に基づいて欠陥Ｆが存在する樹脂層Ｒを特定する特定処理（特定工程）を実行する。この際に、制御部１６は、カウントした同一の画像Ｍが３個のときには、その画像Ｍに対応する欠陥Ｆの存在する樹脂層Ｒがディスク状基材２側から数えて２層目の樹脂層Ｒ２であると特定する。一方、同一の画像Ｍの画像数が２個のときには、その画像Ｍに対応する欠陥Ｆの存在する樹脂層Ｒがディスク状基材２側から数えて１層目の樹脂層Ｒ１であると特定する。次いで、制御部１６は、このカウント処理および特定処理を繰り返して実行して、撮像データＤに基づく全ての画像Ｍに対するカウント処理および特定処理を終了した際には、各樹脂層Ｒ１，Ｒ２に存在する欠陥Ｆの数を示す画像を表示部１５に表示させる。

このように、この検査方法および検査装置１１によれば、ラインカメラ１４の撮像処理によって撮像された同一の欠陥Ｆについての画像Ｍの画像数をカウントして、その画像数が３個のときにディスク状基材２側から数えて２層目の樹脂層Ｒ２が欠陥Ｆの存在する樹脂層Ｒであると特定し、画像数が２個のときにディスク状基材２側から数えて１層目の樹脂層Ｒ１が欠陥Ｆの存在する樹脂層Ｒであると特定することにより、画像数をカウントすることで、欠陥Ｆの存在する樹脂層Ｒを確実かつ容易に特定することができる。したがって、欠陥Ｆの存在する樹脂層Ｒの形成条件を適正な形成条件に修正することができるため、その樹脂層Ｒにおける欠陥Ｆの発生を確実に減少させることができる結果、製品の歩留まりを十分に向上させることができる。また、複雑な演算を行うことなく、カウントした画像数から欠陥Ｆの発生している樹脂層Ｒを即座に特定することができるため、数多くの欠陥Ｆが存在していたとしても、各欠陥Ｆが存在する樹脂層Ｒを十分に短時間で特定することができる。

また、この検査方法および検査装置１１によれば、画像Ｍのカウントの際に、撮像データＤを用いた画像処理を実行して形状が同等の画像を検索し、検索した画像を同一の欠陥Ｆについての画像Ｍとしてカウントすることにより、形状が同等の画像を正確に検索することができるため、同一の欠陥Ｆについての画像だけを正確にカウントすることができる結果、欠陥の存在する樹脂層を正確に特定することができる。

なお、本発明は、上記の方法および上記の構成に限定されない。例えば、２層の情報層Ｌ１，Ｌ２および２層の樹脂層Ｒ１，Ｒ２がディスク状基材２の一面に積層された多層光記録媒体１を検査対象とする例について上記したが、ディスク状基材２の一面に樹脂層および情報層がそれぞれ３層以上形成された多層光記録媒体や、両面に樹脂層および情報層がそれぞれ複数形成された多層光記録媒体についても欠陥の存在する樹脂層を確実に特定することができる。また、制御部１６がカウント処理および特定処理を実行する構成例について上記したが、例えば、表示部１５に表示された画像Ｍの中から同等形状の画像Ｍを検索してその画像数を使用者がカウントして、カウントした画像数に基づいて欠陥の存在する樹脂層Ｒを特定することもできる。この場合、撮像データＤに基づく画像Ｍ（画像Ｍに相当する図柄）を印刷した印刷物を用いて、同等形状の画像Ｍの検索、およびその画像数のカウントを行ってもよい。

多層光記録媒体１の断面図である。 多層光記録媒体検査装置１１の構成を示すブロック図である。 回転機構１２に載置された多層光記録媒体１、検査光照射部１３およびラインカメラ１４の斜視図である。 検査光Ｌａを照射した状態の多層光記録媒体１の断面図である。 欠陥Ｆ１が入射側光路Ｘ２上に移動している状態であって検査光Ｌａを照射しているときの多層光記録媒体１の断面図である。 欠陥Ｆ１が入射側光路Ｘ１上に移動している状態であって検査光Ｌａを照射しているときの多層光記録媒体１の断面図である。 欠陥Ｆ１の画像Ｍ，Ｍ，Ｍを表示している表示部１５の表示画面図である。 欠陥Ｆ２が反射側光路Ｙ上に移動している状態であって検査光Ｌａを照射しているときの多層光記録媒体１の断面図である。 欠陥Ｆ２が入射側光路Ｘ１上に移動している状態であって検査光Ｌａを照射しているときの多層光記録媒体１の断面図である。 欠陥Ｆ２の画像Ｍ，Ｍを表示している表示部１５の表示画面図である。

符号の説明

１ 多層光記録媒体
２ ディスク状基材
１１ 多層光記録媒体検査装置
１２ 回転機構
１３ 検査光射出部
１４ ラインカメラ
１６ 制御部
Ｄ１ 基材
Ｆ１，Ｆ２ 欠陥
Ｌ１，Ｌ２ 情報層
Ｌａ 検査光
Ｌｂ，Ｌｂ１，Ｌｂ２ 反射光
Ｍ 画像
Ｒ１，Ｒ２ 樹脂層
Ｙ 反射側光路

Claims (4)

1. 複数の樹脂層と当該各樹脂層によって互いに分離された複数の情報層とが基材の少なくとも一面に積層された多層光記録媒体の当該各樹脂層における欠陥の有無を検査する際に、
   前記一面側の固定位置から当該一面に向けて所定の入射角度で検査光を照射すると共に当該多層光記録媒体を一定方向に回転させつつ当該検査光の反射光を当該反射光の光路上における固定位置で受光して所定の時間間隔で撮像する撮像工程と、当該撮像工程で撮像した同一の前記欠陥についての画像数をカウントするカウント工程と、前記画像数がＮ（Ｎは２以上の自然数）個のときに前記基材側から数えて（Ｎ−１）層目の前記樹脂層が前記欠陥の存在する樹脂層であると特定する特定工程とを行う多層光記録媒体検査方法。
2. 前記カウント工程において、前記撮像工程における撮像時の撮像データを用いた画像処理を実行して形状が同等の画像を検索し、当該検索した画像を前記同一の欠陥についての画像としてカウントする請求項１記載の多層光記録媒体検査方法。
3. 複数の樹脂層と当該各樹脂層によって互いに分離された複数の情報層とが基材の少なくとも一面に積層された多層光記録媒体の当該一面側に固定されて当該一面に向けて所定の入射角度で検査光を照射する検査光照射部と、前記多層光記録媒体を一定方向に回転させる回転機構と、前記検査光についての反射光の光路上に固定されて当該反射光を受光して所定の時間間隔で撮像する撮像部と、当該撮像部によって撮像された同一の前記欠陥についての画像数をカウントするカウント部と、前記画像数がＮ（Ｎは２以上の自然数）個のときに前記基材側から数えて（Ｎ−１）層目の前記樹脂層が前記欠陥の存在する樹脂層であると特定する特定部とを備えている多層光記録媒体検査装置。
4. 前記カウント部は、前記撮像部による撮像時の撮像データを用いた画像処理を実行して形状が同等の画像を検索すると共に、当該検索した画像を前記同一の欠陥についての画像としてカウントする請求項３記載の多層光記録媒体検査装置。

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