JP2005140703A - 汚れ防止機能を有する光学装置およびガス分析計 - Google Patents

汚れ防止機能を有する光学装置およびガス分析計 Download PDF

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Abstract

【課題】 少量のパージエアを用いて光学面の表面の全体が均等に排ガスに接触しないように保護する汚れ防止機能を有し、安定したパージエアと排ガスの境界面を設けることによって、パージエアの流れによって排ガスの流れを乱すことがなく、排ガスを透過する光の光路長を確実かつ安定に確保することにより、正確な測定ができる光学装置およびガス分析計を提供すること。
【解決手段】 排ガス流路4内の排ガスExに対して光を照射すると共にこの排ガスExを透過した光を検出する光学装置2であって、前記照射光を反射する反射鏡8の表面を仕切る衝立状の隔壁9と、隔壁9によって仕切られた各光学面8にパージエアAを供給するパージエア供給部10とを備えている。
あるいは、多数のパージ孔hを設けてパージエアAを照射部5または検出部7の光透過面53および反射鏡8の裏面から流すことにより排ガスからの汚れを防止する。
反射鏡8の汚れ防止手段としてフレネルレンズ構造の鏡面反射板を用い、鏡面反射板の前後の隙間からパージエアAを流す。
【選択図】 図1

Description

本発明は、汚れ防止機能を有する光学装置およびガス分析計に関するものであり、より詳細には、排ガスに面する光透過窓や反射鏡などの光学面が汚れることを効率的に防止する汚れ防止機能を有する光学装置およびガス分析計に関する。
従来より、光を用いた排ガス分析計は、少なくとも排ガスに光を照射する照射部と、この照射部から出射して排ガスを透過した光を検出する検出部と、照射部および検出部が排ガスに直接接触して光量が低下するのを防止する光学装置より構成される。
特に近年では、車両を走行させたときに生じる排ガスを分析することにより、環境に対する影響の大きさを測定するために、自動車を実走行させた状態で、車両のテールパイプ等に直接的に前記光学装置を取り付けて、演算処理部(PCなど)と合わせて車載型分析計で排出される排ガスの分析が行なわれている。
図10は汚れ防止機能を持たせた光学装置91およびガス分析計92の構成の一例を示す図である。図10において、光学装置91はテールパイプ93に直接的に取り付けられるように構成されており、排ガスExに光を照射する照射部94と、照射部94から出てテールパイプ93内の排ガスExを透過した光を反射させる凹面反射鏡95と、この凹面反射鏡95によって反射して再び排ガスExを透過した光を検出する検出部96とを有している。また、94a,96aは照射部94,検出部96の光透過窓であり、97は光学装置91の出力を用いて排ガスの成分を分析する演算処理部である。
前記凹面反射鏡95と光透過窓94a,96aなどの光学面94a,95,96aは、筒状のパージエアガイド98内に設けられ、このパージエアガイド98の長さL1 〜L3 は、それぞれ各光学面94a,95,96aの直径D1 〜D3 とほゞ同じ程度になるように構成する。そして、各パージエアガイド98内にパージエアAを流入させることにより、各光学面94a,95,96aの前面にパージエアAの滞在する領域を設けて、この光学面94a,95,96aが排ガスExによって汚されることがないようにすることができる。
また、特許文献1にはパージエアによって膜状の流れ(エアカーテン)を作り、この膜状の流れを用いて光学面を測定対象となるガスから隔離することにより、光学面の汚れを防止することが開示されている。
特開平11−51853号公報
ところが、特許文献1のような構成でパージエアによって光学面に均等に膜状の流れを形成することは難しく、広い面積の光学面の汚れを十分に防ぐためには十分な量のパージエアを用いる必要があり、これが車載用ガス分析計の小型化を難くする要因の一つとなっていた。
また、図10に示す光学装置91を構成する場合はパージエアガイド98内に流すパージエアAの流量の設定が難しく、これが少ないときには光学面94a,95,96aに排ガスExが接触して汚れることがあった。とりわけ、前記凹面反射鏡95は照射部94から出射される光の大部分を検出部96に反射させるためにその直径D2 が大きく設定されているので、矢印Bに示すように流れに種々の乱れが発生してパージエアと排ガスの境界が一定状態に安定しなかった。
図10において、99a〜99cはパージエアAの流量を変えたときにおけるパージエアAと排ガスExの境界面を示している。各境界面99a〜99cは排ガスExの流量によって大きく異なるものであるから、凹面反射鏡95の全面にパージエアーの滞在する領域を確保して排ガスExによって汚されないようにするためには、パージエアAを余分に流す必要があった。つまり、測定に対して多量のパージエアAを用いることがガス分析計92を大掛かりな構成にする原因となっていた。
さらに、パージエアAの流量が増大すればするほど境界面99a〜99cはパージエアガイド98から大きくはみ出すこととなり、それだけ光が排ガスExを透過する長さ(光路長)が短くなるので、これが測定感度の低下の原因の1つになる。また、境界面99a〜99cの位置が定まらないので、排ガスExを透過する光路長が定まらず、正確な測定が難しいという問題もあった。
この発明は上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、少量のパージエアを用いて光学面の表面の全体が均等に排ガスに接触しないように保護する汚れ防止機能を有し、安定したパージエアと排ガスの境界面を設けることによって、パージエアの流れによって排ガスの流れを乱すことなく、排ガスを透過する光の光路長を確実かつ安定に確保することにより、正確な測定ができる光学装置およびガス分析計を提供することである。
上記目的を達成するために、第1発明の汚れ防止機能を有する光学装置は、排ガス流路内の排ガスに対して光を照射する照射部と、この排ガスを透過した光を反射する反射鏡と、該反射鏡からの反射光を検出する検出部よりなる光学装置において、前記反射鏡の光学面の表面を仕切る衝立状の隔壁と、隔壁によって仕切られた各光学面にパージエアを供給するパージエア供給部とを備えていることを特徴としている(請求項1)。
隔壁によって仕切られた各光学面にそれぞれパージ孔を形成してなり、パージエア供給部がこのパージ孔を介して各光学面の裏面側からパージエアを供給するように構成してもよい(請求項2)。
第2発明の汚れ防止機構を有する光学装置は、排ガス流路内の排ガスに対して光を照射する照射部と、この排ガスを透過した光を反射する反射鏡と、該反射鏡からの反射光を検出する検出部よりなる光学装置において、前記光学装置の一部である反射鏡が、略同一の曲率を有し重ねて配置された複数の鏡面反射板からなる光学面と、各鏡面反射板の間隙に連通するパージ孔とを有し、前記光学装置が前記パージ孔を介して各鏡面反射板の間隙にパージエアを供給するパージエア供給部を備えていることを特徴としている(請求項3)。
第3発明の汚れ防止機能を有する光学装置は、排ガス流路内の排ガスに対して光を照射する照射部と、この排ガスを透過した光を反射する反射鏡と、該反射鏡からの反射光を検出する検出部よりなる光学装置において、前記反射鏡の光学面に設けた多数のパージ孔と、このパージ孔を介して各光学面の裏面側からパージエアを供給するパージエア供給部とを備え、正確な分析ができるようにパージエアと排ガスとの境界面を一定にするように構成してあることを特徴としている(請求項4)。
光学面の裏面側に全パージ孔に連通連結されるように袋状部分を形成し、パージエア供給部が袋状部分を介して全パージ孔にパージエアを供給するように構成されていてもよい(請求項5)。
第4発明のガス分析計は、前記光学装置と、該光学装置の出力を用いて排ガスの濃度を求める演算処理部とからなり、走行中の車両の排ガスの濃度をリアルタイムに算出することを特徴としている(請求項6)。
請求項1に記載の第1発明では、隔壁によって光学面の表面が仕切られているので、パージエア供給部が隔壁によって仕切られた各光学面にパージエアを供給することによりパージエアは仕切られた範囲内で光学面の前面に滞留する。このため、少ない流量のパージエアを供給するだけで、比較的広い面積の光学面の表面を、排ガスの接触から保護することができる。なお、隔壁の高さは各仕切りの一片の長さとほゞ同じか幾らか長い程度でよい。
隔壁によって仕切られた各光学面にそれぞれパージ孔を形成してなり、パージエア供給部がこのパージ孔を介して各光学面の裏面側からパージエアを供給するように構成してなる場合(請求項2)には、パージエアを仕切られた各部分に容易に配分して流すことができ、光学面の全面において確実に排ガスが接触しないようにすることができる。
請求項3に記載の第2発明では、光学面を構成する複数の鏡面反射板はいわばフレネルレンズのように全体として一つの凹面鏡となるので、この光学面を用いて集光することができる。また、パージエアは複数の鏡面反射板(光学面)間の間隙からこの光学面の表面に沿って供給され、その表面に安定したパージエアの層を形成できるので、排ガスが光学面に接することを確実に防止できる。
請求項4に記載の第3発明では、光学面の各部に設けたパージ孔からそれぞれパージエアが供給されるので、この光学面の表面においてパージ孔から供給されるパージエアが左右方向に広がると共に、隣り合う多数のパージ孔からも同様にパージエアが供給されるので、速やかに各部において光学面に直角な方向に平行な流れとなる。したがって、言わば光学面の表側の近傍に安定したパージエアの層を形成でき、排ガスが光学面に接することを確実に防止できる。
なお、パージエアのより均一な流れを形成するためには、パージ孔を形成する間隔は狭いほうが望ましい。また、光学面の機能を十分に発揮させるためにはパージ孔はできるだけ小さく形成することが望ましい。
光学面の裏面側に全パージ孔に連通連結されるように袋状部分を形成し、パージエア供給部が袋状部分を介して全パージ孔にパージエアを供給するように構成されてなる場合(請求項5)には、全パージ孔から同じ圧力のパージエアを流すことにより、全てのパージ孔において均一なパージエアの流れを形成することができる。
図1,2は、本発明のガス分析計1の第1実施例を示す図である。本例のガス分析計1の測定対象は走行中の自動車から排出される排ガスである。
図1において、2はガス分析計1の光学装置、3は光学装置2によって得られた測定値を用いて、排ガスExに含まれる各測定対象成分の成分濃度を求める演算処理部、4は排ガスExが排出されるテールパイプ(排ガス流路)である。つまり、本発明のガス分析計1は実走行状態における車両から排出される各排ガスExを直接的に測定するものである。
光学装置2は排ガスExの流れに対して側面から例えば赤外光を照射する照射部5と、この照射部5から出射されて排ガスExを透過した赤外光を反射する反射鏡6と、この反射鏡6によって反射されて排ガスExを再び透過した赤外光を検出する検出部7とを有している。また、5a,7aは照射部5,検出部7の光透過窓である。
前記反射鏡6は赤外光を反射する反射鏡面8と、この反射鏡面8の表面を仕切る衝立状の隔壁9とを有している。また、図1に示す符号10は反射鏡面8の裏面側に空間cを形成するように設けた袋状部分であり、この袋状部分10がパージエアAを流す流路となってパージエア供給部の一部を構成する。
図2に示すように、前記反射鏡面8の形状は例えば四角形であり、この反射鏡面8を仕切る隔壁9は、格子状に配置される。そして、この隔壁9によって区切られた反射鏡面8のほゞ中心位置には、それぞれパージ孔hを形成している。
なお、本例においては反射鏡面8の全体形状に合わせて隔壁9を格子状に形成しているが、隔壁9による仕切りは格子状であることに限定されるものではなく、三角形やハニカム状(六角形)に区切られていてもよい。また、前記パージ孔hは隔壁9によって仕切られた反射鏡面8の中心位置に形成されることに限定されるものではない。
また、本例に示す光学装置は構造が簡単であるのでテールパイプ4に簡単に脱着できるようにアタッチメント構造とすることができ、車両の走行状態において実際に排出される排ガスExの分析を簡単に行なうことができる。
図3は前記光学装置2を構成する反射鏡パージユニットの一部を示す図である。また、図3(A)は光学面に対して側面から見た断面図、図3(B)は光学面の正面から見た図である。図3において、20は前記反射鏡面8の格子の例を示す反射鏡パージユニットであり、8は仕切られた各部分において分離可能に構成された平面視正方形である小面積の反射鏡面、9は各反射鏡面8の周囲に設けられた衝立状の隔壁である。
図3に示すように反射鏡面8を小面積の構成とし、その周囲に隔壁9を設けられているので、パージ孔hから流れ込むパージエアAは障壁9によってガイドされて、矢印Fに示すような層流となる。また、このパージエアAの流れは排ガスExの流れに対して側面の静圧側から流入するので、排ガスExの動圧影響を受けにくくなる。つまり、セル長が安定して正確な分析を行なうことができる。
図4は前記光学装置2を構成する反射鏡パージユニットの変形例を示す図である。図4において、30は前記反射鏡面8の変形例を示す反射鏡パージユニットであり、31は仕切られた各部分において分離可能に構成された平面視略正方形である小面積の反射鏡面、32は各反射鏡面31の周囲に設けられた衝立状の隔壁である。
図4に示す反射鏡パージユニット30において、隔壁32はその外側面32aが反射鏡面31に直角な面31aに対して幾らかの角度αだけ内側にテーパ面となるように形成している。本例のように構成することにより、反射鏡パージユニット30は隣接する反射鏡面31に角度をつけて配置することができる。
図5は前記反射鏡パージユニット30を用いて形成された反射鏡35の構成を示す側面図である。前記反射鏡パージユニット30を用いることにより、前記テーパ面32a同士を合わせるようにして隣接させた反射鏡面31の間には角度2αの傾きを形成することができる。したがって、反射鏡面31の集合によって全体として広い面積を有する凹面の反射鏡35を形成することができる。
図6は本発明の汚れ防止機能を有する光学装置の要部を説明する図である。図6において、50は光学装置の照射部または検出部における汚れ防止構造を示しており、51は筒体、5a(または7a),53は筒体51内を仕切るように設けた光透過窓である。54は筒体51内の光透過窓5a(または7a),53によって仕切られた部分に形成される空間cにパージエアAを導入するためのパージエア導入口である。また、光透過窓(光学面)53には等間隔に多数のパージ孔hを形成している。そして、55は光透過窓52,53を介して排ガスExに光を照射する照射部または排ガスExを透過して入射する光を検出する検出部である。
上記構成の汚れ防止構造50を用いて、パージエアAをパージエア導入口54から空間c内に流入させ、パージ孔hから所定量のパージエアAを吹き出して矢印Fに示すようなパージエアAの均等な流れが形成される。したがって、光透過窓53の表面にはパージエアAが充満する空間を確実に形成することができ、この光透過窓53が排ガスExから確実に隔離される。
図7は、本発明の第2実施例であるガス分析計1’を示す図である。図7において図1〜6と同じ符号を付した部分は同一または同等の部分であるから、その詳細な説明を省略する。
図7において、60は凹面の反射鏡面であり、この反射鏡面60には多数のパージ孔hが等間隔に設けられている。反射鏡面60の裏面側には前記袋状部分(パージエア供給部)10を形成してパージ孔hが空間cに連通するように構成している。
したがって、袋状部分10に対してパージエアAを導入することにより、パージ孔hから所定量のパージエアAが吹き出して、矢印Fに示すようなパージエアAの均等な流れが形成される。つまり、反射鏡面60の表面にパージエアAが充満する空間を確実に形成して反射鏡面60が排ガスExから確実に隔離される。
また、本例の照射部5および検出部7の光透過窓(光学面)5a,7aの部分は、図6を用いて説明した汚れ防止構造50としている。
したがって、本例のガス分析計1’は、より少ない流量のパージエアAを用いて複数の光学面5a,7a,60を効率よくエアパージすることができ、各光学面5a,7a,60は排ガスExによって汚れないようにすることができる。また、パージエアAが安定した流れFを形成することができるので、それだけパージエアAと排ガスExとの境界面を安定させることができる。つまり、セル長が安定することになり正確な分析を行なうことができる。
図8は本発明の光学装置の変形例を示す図である。図8において、70はほぼ同一の曲率を有し、重ねて配置された複数の鏡面反射板(光学面)70a〜70dからなる反射鏡である。各鏡面反射板70a〜70dの形状は円形であり、それぞれがほぼ同一の曲率の凹面鏡を有するものである。また、各鏡面反射板70a〜70dの大きさは表面側の鏡面反射板70aから背面側の鏡面反射板70dに至るまで、徐々に段階的に大きく形成されている。つまり、複数の鏡面反射板70a〜70dによって形成される凹面鏡70は全体としてフレネルレンズ形状に似た構成である。
71は前記各鏡面反射板70a〜70dを支える円筒状の支持体であり、この支持体71には鏡面反射板70a〜70d間の間隙に連通するパージ孔h’をそれぞれ形成している。つまり支持体71内に供給されたパージエアAはパージ孔h’を介して各鏡面反射板70a〜70d間の隙間を流れることにより、矢印F’に示すように鏡面反射板70b〜70dの表面を沿うように流れる。つまり、これらの鏡面反射板70b〜70dの表面にパージエアAの層を形成することができ、これらの鏡面反射板70b〜70dに対する排ガスExの接触を防止できる。
なお、本実施例では最上部の鏡面反射板70aに、これを貫通するパージ孔hを形成することにより、この鏡面反射板70aの表面部には矢印Fに示すパージエアAの流れを形成するように構成している。しかしながら、この最上部の鏡面反射板70aの面積を十分に小さくすることにより、この鏡面反射板70aに対するパージ孔hの形成を省略することも可能である。
本実施例のように構成された反射鏡70は、鏡面反射板の曲率をほぼ一定にすることにより凹面鏡を形成する。したがって、凹面鏡70に光L1 が入射すると、各鏡面反射板70b〜70dによる反射光L2 は焦束集光する。
図9は図8の反射鏡70の変形例を示す図である。図9において、70’は前記鏡面反射板70a〜70dと同様に重ねて配置された複数の鏡面反射板70a’〜70d’を一体成形してなる反射鏡である。本実施例において、鏡面反射板70a’の形状は前記鏡面反射板70aと同じ円形であるが、鏡面反射板70b’〜70d’の形状は同心のリング帯形状であり、上下の鏡面反射体はパージ孔h’を形成した壁面で連結される。その他の点について鏡面反射板70a’〜70d’は前記鏡面反射板70a〜70dと同じ形状である。つまり、本実施例における複数の鏡面反射板70a’〜70d’によって形成される凹面鏡70’は全体としてフレネルレンズ形状に似た構成である。
72は前記反射鏡70’の裏面側に配置された袋状部分であり、前記鏡面反射板70a’〜70d’の継ぎ目部分には鏡面反射板70a’〜70c’の外周部の裏面側にパージ孔h’を形成している。したがって、袋状部分72内に供給されたパージエアAは、矢印F’に示すように、パージ孔h’を介して鏡面反射板70a’〜70d’の間から鏡面反射板70b’〜70d’の鏡面に沿うように流れる。つまり、これらの鏡面反射板70b〜70dの表面にパージエアAの層を形成することができ、これらの鏡面反射板70b〜70dに対する排ガスExの接触を防止できる。
図8,13を用いて説明した例では、反射鏡70,70’が何れも凹面鏡である例を示しているが、本発明は凹面鏡であることに限定されるものではなく、平面鏡であってもよい。
本発明のガス分析計の第1実施例を示す図である。 前記ガス分析計の要部となる光学面の構成を説明する平面図である。 前記光学面のユニット化した一例を説明する図である。 前記光学面の別の変形例を示す断面図である。 図4の光学面を用いた例を示す断面図である。 本発明の汚れ防止機能を有する光学装置の要部を説明する図である。 本発明のガス分析計の第2実施例を示す図である。 本発明の光学面の変形例を示す図である。 本発明の光学面の別の変形例を示す図である。 従来の汚れ防止機能を有する光学装置の構成を説明する図である。
符号の説明
1 ガス分析計
2 光学装置
3 演算処理部
4 テールパイプ(排ガス流路)
8 反射鏡面
9 隔壁
10 袋状部分(パージエア供給部)
A パージエア
Ex 排ガス
h パージ孔
31 反射鏡面
32 隔壁
50 発光部または受光部における汚れ防止構造
53 光透過面
60 反射鏡面
70a〜70d 鏡面反射板
h’ パージ孔
70a’〜70d’ 鏡面反射板
72 袋状部分(パージエア供給部)

Claims (6)

  1. 排ガス流路内の排ガスに対して光を照射する照射部と、この排ガスを透過した光を反射する反射鏡と、該反射鏡からの反射光を検出する検出部よりなる光学装置において、
    前記反射鏡の光学面の表面を仕切る衝立状の隔壁と、
    隔壁によって仕切られた各光学面にパージエアを供給するパージエア供給部とを備えていることを特徴とする汚れ防止機能を有する光学装置。
  2. 隔壁によって仕切られた各光学面にそれぞれパージ孔を形成してなり、パージエア供給部がこのパージ孔を介して各光学面の裏面側からパージエアを供給するように構成してなる請求項1に記載の汚れ防止機能を有する光学装置。
  3. 排ガス流路内の排ガスに対して光を照射する照射部と、この排ガスを透過した光を反射する反射鏡と、該反射鏡からの反射光を検出する検出部よりなる光学装置において、
    前記光学装置の一部である反射鏡が、略同一の曲率を有し重ねて配置された複数の鏡面反射板からなる光学面と、各鏡面反射板の間隙に連通するパージ孔とを有し、
    前記光学装置が前記パージ孔を介して各鏡面反射板の間隙にパージエアを供給するパージエア供給部を備えていることを特徴とする汚れ防止機能を有する光学装置。
  4. 排ガス流路内の排ガスに対して光を照射する照射部と、この排ガスを透過した光を反射する反射鏡と、該反射鏡からの反射光を検出する検出部よりなる光学装置において、
    前記反射鏡の光学面に設けた多数のパージ孔と、
    このパージ孔を介して各光学面の裏面側からパージエアを供給するパージエア供給部とを備え、正確な分析ができるようにパージエアと排ガスとの境界面を一定にするように構成してあることを特徴とする汚れ防止機能を有する光学装置。
  5. 光学面の裏面側に全パージ孔に連通連結されるように袋状部分を形成し、パージエア供給部が袋状部分を介して全パージ孔にパージエアを供給するように構成されてなる請求項2〜4の何れかに記載の汚れ防止機能を有する光学装置。
  6. 請求項1〜5の何れかに記載の汚れ防止機能を有する光学装置と、該光学装置の出力を用いて排ガスの濃度を求める演算処理部とからなり、走行中の車両の排ガスの濃度をリアルタイムに算出することを特徴とするガス分析計。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100900184B1 (ko) * 2007-10-04 2009-06-02 주식회사 오디텍 광투과식 매연측정장치
KR101220673B1 (ko) * 2010-12-27 2013-01-09 주식회사 포스코 결함 검출기
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100900184B1 (ko) * 2007-10-04 2009-06-02 주식회사 오디텍 광투과식 매연측정장치
KR101220673B1 (ko) * 2010-12-27 2013-01-09 주식회사 포스코 결함 검출기
JP2013088302A (ja) * 2011-10-19 2013-05-13 Dkk Toa Corp 検出器及び水質測定装置

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