JP2005132708A - Method for manufacturing optical fiber or optical element in which reduced metal ion and/or rare earth ion are doped, and method for manufacturing optical fiber or optical element in which reduced metal fine particle and/or rare earth element are doped - Google Patents

Method for manufacturing optical fiber or optical element in which reduced metal ion and/or rare earth ion are doped, and method for manufacturing optical fiber or optical element in which reduced metal fine particle and/or rare earth element are doped Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an optical fiber or an optical element in which reduced metal ions and/or rare earth ions are doped, the method by which a conventional process for manufacturing the optical fiber or the optical element can be more safely and easily utilized than a conventional method. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the optical fiber or the optical element, in which reduced metal ions and/or rare earth ions are doped, includes a step for forming partially sintered fine structure in a base material for manufacturing the optical fiber or the optical element, a step for impregnating the fine structure with a metal ion and/or rare earth ion doping solution containing a reductant, a step for drying the fine structure impregnated with the metal ions and/or the rare earth ions, and a step for heating the dried fine structure so that the dried fine structure is sintered. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光繊維または光素子の製造技術に関するものであって、さらに詳細には、還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子を製造する方法、および還元された金属微粒子及び/または稀土類元素がドーピングされた光繊維または光素子の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a technique for manufacturing an optical fiber or an optical element, and more particularly, a method for manufacturing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions, and reduction. The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber or an optical element doped with the fine metal particles and / or rare earth elements.

金属イオン及び/または稀土類イオンが添加された光繊維は、光増幅器や光スイッチング素子などのような多様な応用性を有するため、特殊光繊維として分類される。よって、これに対しての研究が活発に進行されている。   Optical fibers added with metal ions and / or rare earth ions are classified as special optical fibers because they have various applications such as optical amplifiers and optical switching elements. Therefore, research on this has been actively conducted.

このような研究課題の一つがドーピングされた金属イオン及び稀土類イオンの還元技術である。一般に原子は、原子価により原子のエネルギー準位分布が変わるため、光吸収及び光放出のような分光学的特性が異なるようになる。そのため、原子価の変化によりさらに多様な光吸収及び光放出特性を得ることができ、これを利用した多様な光増幅及び光スイッチング特性を有する光繊維及び光素子を得ることができる。一例として、稀土類イオンの原子価が‘+3’である場合は、4fの電子殻と5dの電子殻との間の電子遷移による光吸収特性が紫外線領域だけで現れるが、原子価が‘2+’に変わると可視光線及び赤外線領域でも光吸収特性が起こるようになる。従って、ドーピングされた金属イオン及び稀土類イオンが所望の原子価を有するようにする技術が必要になる。一方、元素毎に主に存在する原子価があり、これを所望の原子価にするためには特別な工程が要求される。   One of the research subjects is a technique for reducing doped metal ions and rare earth ions. In general, the atomic energy level distribution changes depending on the valence of atoms, so that the spectroscopic characteristics such as light absorption and light emission are different. Therefore, various optical absorption and emission characteristics can be obtained by changing the valence, and optical fibers and optical elements having various optical amplification and optical switching characteristics can be obtained. As an example, when the valence of the rare earth ion is “+3”, the light absorption characteristic due to the electronic transition between the electron shell of 4f and the electron shell of 5d appears only in the ultraviolet region, but the valence is “2+”. If it is changed to ', light absorption characteristics will occur in the visible and infrared regions. Therefore, there is a need for a technique for allowing doped metal ions and rare earth ions to have a desired valence. On the other hand, there is a valence mainly present for each element, and a special process is required to make this a desired valence.

例えば、稀土類イオンは、大抵原子価が‘3+’である場合が多い。これを安定的に‘2+’、‘1+’または‘0’の原子価に作るためにはイオンの還元処理が必要である。現在まで提案された還元処理方法は次のようなものがある。   For example, rare earth ions often have a valence of '3+'. In order to stably produce this to a valence of ‘2+’, ‘1+’ or ‘0’, ion reduction treatment is required. The following reduction treatment methods have been proposed to date.

まず、原子価が3+である稀土類金属イオンにガンマ線を照射する方法である。その例として、Tm3+イオンが添加されたCaF結晶にガンマ線を照射してTm2+イオンを得る方法が報告された。 First, a method of irradiating a rare earth metal ion having a valence of 3+ with gamma rays. As an example, a method for obtaining Tm 2+ ions by irradiating a CaF 2 crystal added with Tm 3+ ions with gamma rays has been reported.

しかし、この方法は、ガンマ線光源の扱いに危険性が存在し、それによる費用がたくさん掛かるという問題点がある。   However, this method has a problem in that there is a danger in the handling of the gamma ray light source, and the cost due to this is high.

提案された他の方法は、エアロゾル形態の原料を利用する方法である。この方法は、改善された化学蒸気蒸着(modified chemical vapor deposition, MCVD)工程が必須的である。即ち、この方法は、燃焼時に稀土類イオン及びガラスを形成する粉末と共に炭素を生成するエアロゾル形態の原料を用いて、石英ガラス管内に稀土類イオンが添加されたガラス層を積層するMCVD工程を含む。次いで、炭素とOH基を除去する工程、ガラス焼結過程、ガラス管の陥没過程を順次的に進行して、光繊維母材を得る。その例としては、SiO−Alの成分を有するガラス光繊維においてEu3+とSm3+を各々Eu2+とSm2+に還元したものがある。 Another proposed method is a method that utilizes a raw material in aerosol form. This method requires an improved chemical vapor deposition (MCVD) process. That is, this method includes an MCVD step of laminating a glass layer to which rare earth ions are added in a quartz glass tube using an aerosol-form raw material that generates carbon together with rare earth ions and powder that forms glass upon combustion. . Next, a process of removing carbon and OH groups, a glass sintering process, and a glass tube depression process are sequentially performed to obtain an optical fiber preform. As an example, there is a glass optical fiber having a component of SiO 2 —Al 2 O 3 in which Eu 3+ and Sm 3+ are reduced to Eu 2+ and Sm 2+ , respectively.

このようにエアロゾル形態の原料を利用する方法は、現在まではMCVD工程を通じてのみ行われていて、エアロゾル形態の所望の稀土類イオン原料及び追加的なエアロゾル供給装置が必要である。   Thus, the method of using the raw material in the aerosol form has been performed only through the MCVD process until now, and a desired rare earth ion raw material in the aerosol form and an additional aerosol supply device are required.

その他、ガラスの溶融過程でHとArなどの混合ガスを注入して還元された稀土類イオンを得る方法が提案された。この例としては、SiO−AlまたはSiO−Bの成分を有するガラスにおいてSm3+をSm2+に還元したものがある。 In addition, there has been proposed a method for obtaining reduced rare earth ions by injecting a mixed gas such as H 2 and Ar in the glass melting process. As an example, there is a glass having a component of SiO 2 —Al 2 O 3 or SiO 2 —B 2 O 3 in which Sm 3+ is reduced to Sm 2+ .

この方法は、光繊維母材の製作工程が既存の光繊維母材の製作工程に比べ煩雑で、まだ一般化されていない。
In this method, the manufacturing process of the optical fiber preform is complicated compared to the existing manufacturing process of the optical fiber preform, and has not yet been generalized.

本発明は、前述の既存の方法より安全且つ容易に、従来の光繊維または光素子製造工程を使用することのできる、還元された金属イオン及び/または稀土類イオンが添加された光繊維または光素子を製造する方法、および還元された金属微粒子及び/または稀土類元素がドーピングされた光繊維または光素子の製造方法を提供することにその目的がある。   The present invention provides an optical fiber or light to which reduced metal ions and / or rare earth ions are added, which can use a conventional optical fiber or optical element manufacturing process more safely and easily than the above-described existing methods. It is an object of the present invention to provide a method for producing an element and a method for producing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal fine particles and / or rare earth elements.

本発明は、前述の目的により、光繊維または光素子製造用基材に部分焼結された微細構造を形成して、この微細構造を金属イオン及び/または稀土類イオンと共に還元剤を含むドーピング溶液に一定時間維持させる含浸工程を実施し、金属イオン及び/または稀土類イオンを還元剤と共に微細構造にドーピングさせて、還元剤を通じて還元された金属イオン及び/または稀土類イオンを得ることを特徴とする。   According to the present invention, a doping solution containing a reducing agent together with metal ions and / or rare earth ions is formed by forming a partially sintered microstructure on an optical fiber or an optical element manufacturing substrate. And a metal ion and / or rare earth ions are doped into the microstructure together with the reducing agent to obtain metal ions and / or rare earth ions reduced through the reducing agent. To do.

本発明の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法は、光繊維または光素子製造用基材に部分焼結された微細構造を形成する段階と、微細構造を還元剤を含む金属イオン及び/または稀土類イオンドーピング溶液に含浸させる段階と、金属イオン及び/または稀土類イオンが含浸された微細構造を乾燥させる段階と、乾燥された微細構造が焼結されるように加熱する段階とを含む。   The method for producing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions according to the present invention includes a step of forming a partially sintered microstructure on the optical fiber or optical element manufacturing substrate. A step of impregnating the microstructure with a metal ion and / or rare earth ion doping solution containing a reducing agent, a step of drying the microstructure impregnated with the metal ion and / or rare earth ion, and a step of drying the microstructure. Heating to be sintered.

本発明の還元された金属微粒子及び/または稀土類元素がドーピングされた光繊維または光素子の製造方法は、光繊維または光素子製造用基材に部分焼結された微細構造を形成する段階と、強い還元ポテンシャルを有する還元剤を含む金属イオン及び/または稀土類イオンドーピング溶液に微細構造を含浸させる段階と、金属イオン及び/または稀土類イオンが含浸された微細構造を乾燥させる段階と、乾燥された微細構造が焼結されるように加熱して、金属微粒子及び/または稀土類元素を形成する段階を含む。   The method of manufacturing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal fine particles and / or rare earth elements according to the present invention includes a step of forming a partially sintered microstructure on the optical fiber or an optical element manufacturing substrate. Impregnating the microstructure with a metal ion and / or rare earth ion doping solution containing a reducing agent having a strong reduction potential, drying the microstructure impregnated with the metal ion and / or rare earth ion, and drying. Heating the formed microstructure to be sintered to form metal particulates and / or rare earth elements.

還元剤は、望ましくは炭化水素化合物類である。その例として、グルコース(glucose)、スクロース(sucrose)、グリセリン(glycerine)、澱粉(dextrin)、ベンゼン(benzene)、フェノール(phenol)、ヘキサン(hexane)、トルエン(toluene)、スチレン(styrene)、ナフタレン(naphthalene)などがある。   The reducing agent is desirably a hydrocarbon compound. Examples include glucose, sucrose, glycerine, starch, dextrin, benzene, phenol, hexane, toluene, styrene, naphthalene. (naphthalene).

また、還元剤は、TEOS(tetraethyl orthosilicate)、TMOS(tetramethyl orthosilicate)、TEOC(tetraethyl orthocarbonate)、TMOC(tetramethyl orthocarbonate)のようなアルコキシド(alkoxide)類が挙げられる。   Examples of the reducing agent include alkoxides such as TEOS (tetraethyl orthosilicate), TMOS (tetramethyl orthosilicate), TEOC (tetraethyl orthocarbonate), and TMOC (tetramethyl orthocarbonate).

ドーピングされる金属イオン及び/または稀土類イオンは、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Tl、Pb、Bi及びこれらの混合物からなる群から選択された一つ以上のイオンである。   Doped metal ions and / or rare earth ions are Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Al, Sc, Ti, V, Cr. , Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, In, Sn, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt , One or more ions selected from the group consisting of Au, Tl, Pb, Bi, and mixtures thereof.

光繊維または光素子製造用基材は、珪素酸化物(SiO)、または珪素酸化物にゲルマニウム酸化物(GeO)、ホウ素酸化物(B)、燐酸化物(P)及びチタニウム酸化物(TiO)の中から選択された一つ以上を含む酸化物系列を基本組成とする。 An optical fiber or an optical element manufacturing base material is silicon oxide (SiO 2 ), or silicon oxide with germanium oxide (GeO 2 ), boron oxide (B 2 O 3 ), phosphor oxide (P 2 O 5 ). And an oxide series containing one or more selected from titanium oxide (TiO 2 ).

望ましくは光繊維または光素子製造用基材が、シリカ(SiO2)、ゲルマノシリケート(SiO2-GeO2)、ホスホロシリケート(SiO2-P2O5)、ホスホロゲルマノシリケート(SiO2-GeO2-P2O5)、ボロシリケート(SiO2-B2O3)、ボロホスホロシリケート(SiO2-P2O5-B2O3)、ボロゲルマノシリケート(SiO2-GeO2-B2O3)、チタノシリケート(SiO2-TiO2)、ホスホロチタノシリケート(SiO2-TiO2-P2O5)またはボロチタノシリケート(SiO2-TiO2-B2O3)を基本組成とする。 Desirably, the substrate for optical fiber or optical element production is silica (SiO 2 ), germanosilicate (SiO 2 -GeO 2 ), phosphorosilicate (SiO 2 -P 2 O 5 ), phosphorogel manosilicate (SiO 2 ). 2 -GeO 2 -P 2 O 5 ), borosilicate (SiO 2 -B 2 O 3 ), borophosphorosilicate (SiO 2 -P 2 O 5 -B 2 O 3 ), borogermanosilicate (SiO 2- GeO 2 -B 2 O 3 ), titanosilicate (SiO 2 -TiO 2 ), phosphoro titanosilicate (SiO 2 -TiO 2 -P 2 O 5 ) or borotitanosilicate (SiO 2 -TiO 2 -B 2 O 3 ) is the basic composition.

本発明で光素子は、平面形光増幅器、光通信用レーザー、平面形光スイッチング素子などの平面形光素子を含む。   In the present invention, the optical element includes a planar optical element such as a planar optical amplifier, a laser for optical communication, and a planar optical switching element.

本発明の方法は、光繊維または光素子製造用基材(base material)に部分焼結された微細構造を形成する段階と、その微細構造を金属イオン及び/または稀土類イオンと、還元剤の炭化水素化合物またはアルコキシドとを含むドーピング溶液に浸して1〜1.5時間維持させる含浸(soaking)段階とを含む。即ち、還元剤を金属イオン及び/または稀土類イオンと共に光繊維または光素子製造用基材の微細構造にドーピングさせることである。ドーピングされたこの還元剤により還元された金属イオン及び/または稀土類イオンが得られる。   The method of the present invention comprises the steps of forming a partially sintered microstructure on an optical fiber or a base material for manufacturing an optical device, and forming the microstructure into metal ions and / or rare earth ions and a reducing agent. Soaking in a doping solution containing a hydrocarbon compound or alkoxide and maintaining for 1 to 1.5 hours. That is, the reducing agent is doped with the metal ions and / or rare earth ions into the microstructure of the optical fiber or the substrate for manufacturing the optical element. Metal ions and / or rare earth ions reduced by this doped reducing agent are obtained.

本発明の方法は、光繊維または光素子に金属イオン及び/または稀土類イオンを添加することのできる溶液添加法を変形したものである。この溶液添加法は、改善された化学蒸気蒸着法(MCVD)、蒸気軸方向蒸着法(vapor-phase axial deposition, VAD)、外部蒸気蒸着法(outside vapor deposition, OVD)などのように、既に広く使用されている光繊維母材(半製品)の製造方法の中のいずれの方法とも共に利用できる、光繊維コア内に稀土類イオンや(転移)金属イオンをドーピングさせる方法である。溶液添加法はまた、火炎加水分解蒸着法(flame hydrolysis deposition, FHD)を通じた平板形ガラス光素子製造工程でも、溶液形態に用意可能なあらゆる金属イオン及び/または稀土類イオンのドーピング方法として使用されている。   The method of the present invention is a modification of the solution addition method in which metal ions and / or rare earth ions can be added to optical fibers or optical elements. This solution addition method is already widely used, such as improved chemical vapor deposition (MCVD), vapor-axis axial deposition (VAD), and outside vapor deposition (OVD). It is a method of doping rare earth ions or (transition) metal ions into the optical fiber core, which can be used with any of the optical fiber preforms (semi-finished products) used. The solution addition method is also used as a doping method for all metal ions and / or rare earth ions that can be prepared in a solution form in a flat glass optical device manufacturing process through flame hydrolysis deposition (FHD). ing.

一つの例として、MCVD工程を通じた溶液添加法(J.E. Townsend, et al., “solution doping technique for fabrication of rare-earth doped optical fibers”, Electron. Lett., Vol. 23, p.p.329-331, 1987参照)は次のようである。ここでは還元された稀土類イオンを得るために、ドーピング溶液として稀土類塩化物と共に強い還元剤のスクロースが溶けている水溶液が使用される。まず、既存のMCVD工程を用いてシリカ管の内部に部分焼結されて空隙が多いコア層を形成する(MacChesney et al., “Optical fiber fabrication and resulting product”, U.S. Patent, 1997参照)。次いで、その管の内部を稀土類塩化物と共にスクロースが溶けている水溶液で満たす。コア層の空隙に溶液が充分浸透できるように1〜1.5時間維持させた後、水溶液を排出させる。その結果、空隙にはドーピング溶液が残留するようになる。MCVD工程を利用し、ヘリウムのような不活性ガスのみが流れるようにしながら100〜250℃に維持して、水溶液がドーピングされたコア層を乾燥させる。この際、エタノールや水分が除去される。次いで、水素−酸素火花を利用し、スクロースから生成される炭素が除去されてコア層が完全焼結されるまで、コア層を2000℃程度の高温で加熱する(M.F. Yan, et al., “Sintering of optical wave-guide glasses”, J. of Mater. Sci., p.p. 1371-1378, 1980参照)。その後、引続き不活性ガスを流しながら水素−酸素火花を用いて2200℃以上の高温で加熱する陥没過程(J.B. MacChesney, et al., “Optical fiber fabrication and resulting product”, U.S. Patent, 1997参照)を経て光繊維母材を製作する。この光繊維母材は、引出しを通じて還元された稀土類イオンが添加された光繊維に製造される。   As an example, a solution addition method through an MCVD process (JE Townsend, et al., “Solution doping technique for fabrication of rare-earth doped optical fibers”, Electron. Lett., Vol. 23, pp329-331, 1987 Reference) is as follows. Here, in order to obtain reduced rare earth ions, an aqueous solution in which sucrose, a strong reducing agent, is dissolved together with rare earth chloride is used as a doping solution. First, an existing MCVD process is used to partially sinter the interior of the silica tube to form a core layer with many voids (see MacChesney et al., “Optical fiber fabrication and resulting product”, U.S. Patent, 1997). The tube is then filled with an aqueous solution in which sucrose is dissolved along with the rare earth chloride. After maintaining for 1 to 1.5 hours so that the solution can sufficiently penetrate into the voids of the core layer, the aqueous solution is discharged. As a result, the doping solution remains in the voids. Using an MCVD process, the core layer doped with the aqueous solution is dried by maintaining the temperature at 100 to 250 ° C. while allowing only an inert gas such as helium to flow. At this time, ethanol and moisture are removed. Then, using the hydrogen-oxygen spark, the core layer is heated at a high temperature of about 2000 ° C. until the carbon produced from sucrose is removed and the core layer is completely sintered (MF Yan, et al., “ Sintering of optical wave-guide glasses ”, J. of Mater. Sci., Pp 1371-1378, 1980). After that, a depression process (see JB MacChesney, et al., “Optical fiber fabrication and resulting product”, US Patent, 1997) is performed at a high temperature of 2200 ° C. or higher using a hydrogen-oxygen spark while flowing an inert gas. After that, an optical fiber preform is produced. This optical fiber preform is manufactured into an optical fiber to which rare earth ions reduced through drawing are added.

ドーピング溶液に含まれたスクロースは、C、H、Oの成分からなる物質である。前述の乾燥過程で、これら成分の中から相当部分のHとOが除去されて、炭素(C)だけが残されるようになる。この炭素(C)が2000℃程度の高温で残留する酸素(O)と結合し一酸化炭素(CO)を形成することにより、ドーピングされた稀土類イオンを還元する。この際、一酸化炭素を形成する反応のために加えられる温度は、Ellingham Diagramを用いて稀土類イオンの還元を起こせる程度の温度で決められる。それと同時に、炭素が最大限稀土類イオンの還元に参与できるように、シリカガラス管内で反応を起こさない不活性ガスのみを注入して強い還元雰囲気を組成する。また好ましくは、光繊維母材の製作のための陥没過程も、不活性ガスのみを流すことにより、最大に還元雰囲気が組成できるようにする。 Sucrose contained in the doping solution is a substance composed of C, H, and O components. In the aforementioned drying process, a substantial portion of H and O are removed from these components, leaving only carbon (C). The carbon (C) is combined with oxygen (O 2 ) remaining at a high temperature of about 2000 ° C. to form carbon monoxide (CO), thereby reducing the doped rare earth ions. At this time, the temperature applied for the reaction for forming carbon monoxide is determined by a temperature at which rare earth ions can be reduced using the Ellingham Diagram. At the same time, a strong reducing atmosphere is formed by injecting only an inert gas that does not cause a reaction in the silica glass tube so that carbon can participate in the reduction of rare earth ions as much as possible. Further, preferably, the depression process for manufacturing the optical fiber preform is configured so that the reducing atmosphere can be composed to the maximum by flowing only the inert gas.

以下、実施例を通じて本発明を詳細に説明するが、本発明がこれら実施例に限定されるものではない。
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail through an Example, this invention is not limited to these Examples.

本発明の方法は、従来からよく利用されている改善された化学蒸気蒸着法(MCVD)、蒸気軸方向蒸着法(vapor-phase axial deposition, VAD)、外部蒸気蒸着法(outside vapor deposition, OVD)などをそのまま利用しながら、容易な溶液添加法を通じて還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子を製造することができる。
The method of the present invention includes improved chemical vapor deposition (MCVD), vapor-phase axial deposition (VAD), and outside vapor deposition (OVD), which have been widely used in the past. Thus, an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions can be manufactured through an easy solution addition method.

実施例1
まず、ツリウム塩(TmCl・6HO)及びスクロース(C122211)を各々0.04Mと2.17Mの濃度として超純水(deionized water)に溶解させて、稀土類イオンのTm3+と還元剤のスクロースとを含むドーピング溶液を製造した。ここで、還元剤としては、炭化水素化合物類またはアルコキシド類が使用できる。
Example 1
First, thulium salt (TmCl 3 · 6H 2 O) and sucrose (C 12 H 22 O 11 ) are dissolved in deionized water at concentrations of 0.04M and 2.17M, respectively. A doping solution containing Tm 3+ and the reducing agent sucrose was prepared. Here, hydrocarbon compounds or alkoxides can be used as the reducing agent.

図1に示したように、MCVD工程を通じて、内径が19mmで外径が25mmであるシリカガラス管内壁に、光繊維コアになる部分のガラス基本組成がSiO−GeOとなるように、多孔性微細構造を形成させた。このガラス管に前記製造したドーピング溶液を注入し、1時間維持させた後、排出させた。その後、再びMCVD装置を利用し、ヘリウムのみを流しながら100〜250℃に加熱してコア層を乾燥させた。 As shown in FIG. 1, through the MCVD process, the inner glass wall of the silica glass tube having an inner diameter of 19 mm and an outer diameter of 25 mm is porous so that the glass basic composition of the portion that becomes the optical fiber core becomes SiO 2 —GeO 2. A fine microstructure was formed. The produced doping solution was poured into the glass tube, maintained for 1 hour, and then discharged. Then, using the MCVD apparatus again, the core layer was dried by heating to 100 to 250 ° C. while flowing only helium.

次いで、前述した2000℃程度の完全焼結及び陥没過程を各々8回と15回繰り返した。その結果、Tm2+イオンがドーピングされた光繊維母材が得られた。この光繊維母材は、引出しを通じて光繊維に製造された。 Next, the above-mentioned complete sintering and depression processes at about 2000 ° C. were repeated 8 times and 15 times, respectively. As a result, an optical fiber preform doped with Tm 2+ ions was obtained. This optical fiber preform was manufactured into optical fibers through drawing.

このように還元剤のスクロースを含むドーピング溶液により製造された本発明の光繊維の光吸収スペクトルを図2に示した。図2の光吸収スペクトルで、465nm、680nm、785nm、1210nm、1600nmで表れた光吸収スペクトルはTm3+イオンにより形成されたものであり、400nmから900nmまで広く分布する光吸収スペクトルはTm2+イオンにより形成されたものである。 FIG. 2 shows the light absorption spectrum of the optical fiber of the present invention produced by the doping solution containing the reducing agent sucrose. The light absorption spectrum shown in FIG. 2 at 465 nm, 680 nm, 785 nm, 1210 nm, and 1600 nm is formed by Tm 3+ ions, and the light absorption spectrum widely distributed from 400 nm to 900 nm is due to Tm 2+ ions. It is formed.

比較例1
還元剤のスクロースを含まずに、ツリウム塩(TmCl・6HO)及びアルミニウム塩(AlCl・6HO)を各々0.04Mと0.19Mの濃度としてエタノールに溶解させたドーピング溶液を用意した。
Comparative Example 1
A doping solution in which thulium salt (TmCl 3 .6H 2 O) and aluminum salt (AlCl 3 .6H 2 O) were dissolved in ethanol at concentrations of 0.04M and 0.19M, respectively, without the reducing agent sucrose. Prepared.

実施例1と同様な方法により、シリカガラス管内壁に多孔性微細構造を有するコア層を形成した。その後、ガラス管の内部にドーピング溶液を注入し、1時間維持させた後、排出させた。次いで、ヘリウム、酸素及び塩素を流しながらコア層を乾燥させた。   In the same manner as in Example 1, a core layer having a porous microstructure was formed on the inner wall of the silica glass tube. Thereafter, the doping solution was injected into the glass tube, maintained for 1 hour, and then discharged. Next, the core layer was dried while flowing helium, oxygen and chlorine.

実施例1のような2000℃の完全焼結及び陥没過程を各々3回と7回繰り返した。その結果、Tm3+イオンがドーピングされた光繊維母材が得られた。この光繊維母材は、引出しを通じて光繊維に製造された。 The complete sintering and depression processes at 2000 ° C. as in Example 1 were repeated 3 times and 7 times, respectively. As a result, an optical fiber preform doped with Tm 3+ ions was obtained. This optical fiber preform was manufactured into optical fibers through drawing.

このように還元剤のスクロースを含まないドーピング溶液により製造された光繊維の光吸収スペクトルを図3に示した。還元剤を使用した実施例1の結果とは違って、Tm3+イオンによる光吸収スペクトルのみを表している。 FIG. 3 shows the light absorption spectrum of the optical fiber manufactured by the doping solution not containing the reducing agent sucrose. Unlike the result of Example 1 using a reducing agent, only the light absorption spectrum by Tm 3+ ions is shown.

実施例2
ユウロピウム塩(EuCl・xHO)及びスクロース(C122211)を各々0.097Mと0.518Mの濃度として超純水(deionized water)に溶解させて、稀土類イオンのEu3+と還元剤のスクロースとを含むドーピング溶液を製造した。
Example 2
Europium salt (EuCl 3 xH 2 O) and sucrose (C 12 H 22 O 11 ) are dissolved in deionized water at concentrations of 0.097 M and 0.518 M, respectively, and rare earth ions Eu 3+ And a doping solution containing the reducing agent sucrose.

その後は、実施例1と同様にして、Eu2+イオンがドーピングされた光繊維が得られた。 Thereafter, in the same manner as in Example 1, an optical fiber doped with Eu 2+ ions was obtained.

このように還元剤のスクロースを含むドーピング溶液により製造された光繊維の光吸収スペクトルを図4に示した。図4の光吸収スペクトルで600nmと1200nmとの間に広く分布する光吸収スペクトルは、Eu3+イオンでは見られず、Eu2+イオンにより形成されたものである。 FIG. 4 shows the light absorption spectrum of the optical fiber manufactured by the doping solution containing the reducing agent sucrose. The light absorption spectrum widely distributed between 600 nm and 1200 nm in the light absorption spectrum of FIG. 4 is not seen with Eu 3+ ions, but is formed with Eu 2+ ions.

比較例2
還元剤のスクロースを含まずに、ユウロピウム塩(EuCl・xHO)及びアルミニウム塩(AlCl・6HO)を各々0.097Mと0.518Mの濃度としてエタノールに溶解させたドーピング溶液を用意した。
Comparative Example 2
A doping solution in which europium salt (EuCl 3 .xH 2 O) and aluminum salt (AlCl 3 .6H 2 O) were dissolved in ethanol at concentrations of 0.097 M and 0.518 M, respectively, without the reducing agent sucrose. Prepared.

その後は、比較例1と同様にして、Eu3+イオンがドーピングされた光繊維が得られた。 Thereafter, in the same manner as in Comparative Example 1, an optical fiber doped with Eu 3+ ions was obtained.

このように還元剤のスクロースを含まないドーピング溶液により製造された光繊維の光吸収スペクトルを図5に示した。還元剤を使用した実施例2の結果とは違って、Eu3+イオンによる光吸収スペクトルのみを表している。 FIG. 5 shows the light absorption spectrum of the optical fiber produced by the doping solution not containing the reducing agent sucrose. Unlike the result of Example 2 using a reducing agent, only the light absorption spectrum by Eu 3+ ions is shown.

前記実施例1及び実施例2では、還元剤を含むドーピング溶液により、Tm2+イオンがドーピングされた光繊維母材、Eu2+イオンがドーピングされた光繊維母材が得られるということを例示しているが、還元剤の有する還元ポテンシャルの程度により、3価から2価、1価に、場合によっては0価まで還元できるということを確認した。0価まで還元された場合には、金属微粒子または稀土類元素がドーピングされた光繊維母材または光素子が形成される。 Examples 1 and 2 exemplify that an optical fiber preform doped with Tm 2+ ions and an optical fiber preform doped with Eu 2+ ions can be obtained with a doping solution containing a reducing agent. However, it was confirmed that the reduction potential of the reducing agent can be reduced from trivalent to divalent, monovalent, and in some cases to zero. When it is reduced to zero, an optical fiber preform or optical element doped with metal fine particles or rare earth elements is formed.

上記結果から分かるように、本発明は、容易な溶液添加法を利用し、所望の原子価を有する、還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子を製造することができる。   As can be seen from the above results, the present invention uses an easy solution addition method to produce an optical fiber or optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions having a desired valence. be able to.

本発明の工程が行われる装置の概要図である。It is a schematic diagram of the apparatus with which the process of this invention is performed. 本発明の実施例1により製造された、還元された稀土類イオン(Tm2+)がドーピングされた光繊維の光吸収スペクトルを示したグラフである。4 is a graph showing a light absorption spectrum of an optical fiber prepared by Example 1 of the present invention and doped with reduced rare earth ions (Tm 2+ ). 還元剤を使用していない比較例1により製造された光繊維の光吸収スペクトルを示したグラフである。It is the graph which showed the light absorption spectrum of the optical fiber manufactured by the comparative example 1 which does not use a reducing agent. 本発明の実施例2により製造された、還元された稀土類イオン(Eu2+)がドーピングされた光繊維の光吸収スペクトルを示したグラフである。6 is a graph showing a light absorption spectrum of an optical fiber doped with reduced rare earth ions (Eu 2+ ) manufactured according to Example 2 of the present invention. 還元剤を使用していない比較例2により製造された光繊維の光吸収スペクトルを示したグラフである。It is the graph which showed the light absorption spectrum of the optical fiber manufactured by the comparative example 2 which does not use a reducing agent.

Claims (12)

光繊維または光素子製造用基材に部分焼結された微細構造を形成する段階、
前記微細構造を還元剤を含む金属イオン及び/または稀土類イオンドーピング溶液に含浸させる段階、
前記金属イオン及び/または稀土類イオンが含浸された微細構造を乾燥させる段階、
前記乾燥された微細構造が焼結されるように加熱する段階を含むことを特徴とする、
還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
Forming a partially sintered microstructure on an optical fiber or optical element manufacturing substrate;
Impregnating the microstructure with a metal ion and / or rare earth ion doping solution containing a reducing agent;
Drying the microstructure impregnated with the metal ions and / or rare earth ions;
Heating the dried microstructure so that it is sintered,
A method for producing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions.
前記還元剤は炭化水素化合物類であることを特徴とする、請求項1に記載の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
The method of manufacturing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions according to claim 1, wherein the reducing agent is a hydrocarbon compound.
前記炭化水素化合物類は、グルコース、スクロース、グリセリン、澱粉、ベンゼン、フェノール、ヘキサン、トルエン、スチレン、ナフタレンからなる群から選択されたいずれか一つである、請求項2に記載の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
3. The reduced metal according to claim 2, wherein the hydrocarbon compounds are any one selected from the group consisting of glucose, sucrose, glycerin, starch, benzene, phenol, hexane, toluene, styrene, and naphthalene. A method of manufacturing an optical fiber or an optical element doped with ions and / or rare earth ions.
前記還元剤は、アルコキシド類であることを特徴とする、請求項1に記載の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
The method for manufacturing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions according to claim 1, wherein the reducing agent is an alkoxide.
前記アルコキシド類は、TEOS、TMOS、TEOC、TMOCからなる群から選択されたいずれか一つである、請求項4に記載の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
5. The optical fiber doped with reduced metal ions and / or rare earth ions according to claim 4, wherein the alkoxide is any one selected from the group consisting of TEOS, TMOS, TEOC, and TMOC. Manufacturing method of optical element.
前記金属イオン及び/または稀土類イオンは、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Tl、Pb、Bi及びこれらの混合物からなる群から選択されるいずれか一つ以上であることを特徴とする、請求項1に記載の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
The metal ions and / or rare earth ions are Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Al, Sc, Ti, V, Cr, Mn. Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, In, Sn, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Au The reduced metal ions and / or rare earth ions according to claim 1 are doped with at least one selected from the group consisting of Tl, Pb, Bi, and mixtures thereof. Optical fiber or optical element manufacturing method.
前記光繊維または光素子製造用基材は、珪素酸化物、または珪素酸化物にゲルマニウム酸化物、ホウ素酸化物、燐酸化物及びチタニウム酸化物の中から選択された一つ以上を含む酸化物系列を基本組成とすることを特徴とする、請求項1に記載の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
The optical fiber or the substrate for manufacturing an optical element includes silicon oxide, or an oxide series including at least one selected from germanium oxide, boron oxide, phosphorous oxide, and titanium oxide in silicon oxide. The method for producing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions according to claim 1, wherein the optical fiber or optical element has a basic composition.
前記光繊維または光素子製造用基材は、シリカ、ゲルマノシリケート、ホスホロシリケート、ホスホロゲルマノシリケート、ボロシリケート、ボロホスホロシリケート、ボロゲルマノシリケート、チタノシリケート、ホスホロチタノシリケートまたはボロチタノシリケートを基本組成とすることを特徴とする、請求項1に記載の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
The optical fiber or the substrate for producing an optical element is made of silica, germanosilicate, phosphorosilicate, phosphorogel manosilicate, borosilicate, borophosphorosilicate, borogermanosilicate, titanosilicate, phosphorotitanosilicate or The method for producing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions according to claim 1, wherein borotitanosilicate is a basic composition.
前記光繊維または光素子製造用基材に部分焼結された微細構造を形成する段階は、改善された化学蒸気蒸着法、蒸気軸方向蒸着法、外部蒸気蒸着法及び火炎加水分解蒸着法からなる群から選択された工程で行われることを特徴とする、請求項1に記載の還元された金属イオン及び/または稀土類イオンがドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
The step of forming a partially sintered microstructure on the optical fiber or optical device manufacturing substrate comprises an improved chemical vapor deposition method, a vapor axial deposition method, an external vapor deposition method and a flame hydrolysis deposition method. The method for producing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal ions and / or rare earth ions according to claim 1, wherein the method is performed in a process selected from the group.
光繊維または光素子製造用基材に部分焼結された微細構造を形成する段階、
強い還元ポテンシャルを有する還元剤を含む金属イオン及び/または稀土類イオンドーピング溶液に前記微細構造を含浸させる段階、
前記金属イオン及び/または稀土類イオンが含浸された微細構造を乾燥させる段階、
前記乾燥された微細構造が焼結されるように加熱して、金属微粒子及び/または稀土類元素を形成する段階を含むことを特徴とする、
還元された金属微粒子及び/または稀土類元素がドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
Forming a partially sintered microstructure on an optical fiber or optical element manufacturing substrate;
Impregnating the microstructure with a metal ion and / or rare earth ion doping solution containing a reducing agent having a strong reduction potential;
Drying the microstructure impregnated with the metal ions and / or rare earth ions;
Heating the dried microstructure to sinter to form fine metal particles and / or rare earth elements,
A method for producing an optical fiber or an optical element doped with reduced metal fine particles and / or rare earth elements.
前記還元剤は、炭化水素化合物類であることを特徴とする、請求項10に記載の還元された金属微粒子及び/または稀土類元素がドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。
The method according to claim 10, wherein the reducing agent is a hydrocarbon compound, wherein the reduced metal fine particles and / or rare earth elements are doped.
前記還元剤は、アルコキシド類であることを特徴とする、請求項10に記載の還元された金属微粒子及び/または稀土類元素がドーピングされた光繊維または光素子の製造方法。   The method according to claim 10, wherein the reducing agent is an alkoxide. The method of claim 10, wherein the reduced metal fine particles and / or rare earth elements are doped.
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