JP2005114876A - Antireflection film - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は反射防止フィルムに関する。より詳しくはガスバリア機能を有する反射防止フィルムに関する。また本発明は、上記の反射防止フィルムを用いた表示デバイスに関する。 The present invention relates to an antireflection film. More specifically, the present invention relates to an antireflection film having a gas barrier function. The present invention also relates to a display device using the above antireflection film.
近年の表示デバイスにおいて、例えばテレビにおいては、従来のブラウン管に代わってPDP(プラズマディスプレー)や液晶ディスプレイによる大画面・薄型化が進んでいる。これらのディスプレイは高画質であるため、その画面部への光や物体の映りこみが画像の見栄えに与える影響が大きく、反射防止性能を付与することは必要不可欠になっている。 In recent display devices, for example, in televisions, large screens and thinnings using PDPs (plasma displays) and liquid crystal displays are progressing in place of conventional cathode ray tubes. Since these displays have high image quality, the reflection of light and objects on the screen has a great influence on the appearance of the image, and it is essential to provide antireflection performance.
また、液晶や有機EL(エレクトロルミネッセンス)等の表示方式が用いられる、例えば携帯電話やPDA、電子ペーパー等のモバイル機器の表示材においても、屋外で使用されることから光や物体の映りこみの画像に対する影響が大きく、反射防止性能を付与することは必要不可欠である。 In addition, display methods such as liquid crystal and organic EL (electroluminescence) are used. For example, display materials for mobile devices such as mobile phones, PDAs, and electronic papers are used outdoors. It has a great influence on the image, and it is essential to provide antireflection performance.
これらの反射防止の一つの方法として、従来は反射防止機能のみ、もしくは、表面保護層を付与した反射防止機能を有するフィルムを、表示デバイスの表示部に貼りあわせる方法が用いられていた。具体的には、特開平09-193327号公報(特許文献1)、特開2002-341107号公報(特許文献2)等に開示がある。一方、液晶ディスプレイの表示側の透明基体にプラスチック板を用いたり、トップエミッションタイプの有機ELディスプレイの表示側にプラスチック板を用いる試みがある。プラスチック板はガラスに比して一般的にガスバリア性に劣る傾向があるのに対し、上記のディスプレイは内部素子が酸素や水蒸気の影響を受けやすい。このため、画面部には反射防止機能のみならず、酸素および水蒸気のガスバリア性能を付与することが必要と考えられる。特に近年市場の成長が著しいモバイル機器の表示材においては、従来のガラス基板に代わり、軽く薄くすることができ、かつ割れないという特徴を生かせるプラスチック基板を利用する検討が進められており、内部素子の寿命や信頼性を高め、且つ、美しい画像を得るために、特に高い酸素および水蒸気のガスバリア性能を有する反射防止フィルムの登場が期待されている。
従って、本発明の課題は、反射防止性能だけでなくガスバリア機能をも有するフィルムを提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a film having not only antireflection performance but also a gas barrier function.
上記の課題を解決するため本発明者らが検討した結果、透明基体フィルムと、少なくとも窒素および珪素を含有した透明無機薄膜と、透明樹脂層とからなる多層構造を有するフィルムが、ガスバリア機能および反射防止機能を高いレベルで両立しうることを見出し本発明を完成した。すなわち本発明は、
(1) 透明基体フィルム(A)と、
少なくとも窒素および珪素を含有する透明無機薄膜層(B)と、
透明樹脂層(C)からなり、
各層の屈折率が、透明樹脂層(C) < 透明基体フィルム(A) < 透明無機薄膜層(B)の関係を有し、
(A)/(B)/(C)の順の積層構造を有する反射防止フィルムであり、
(2) 透明基体フィルム(A)と、
少なくとも窒素および珪素を含有する透明無機薄膜層(B)と、
透明樹脂層(C)とからなり、
各層の屈折率が、透明樹脂層(C) < 透明基体フィルム(A) < 透明無機薄膜層(B)の関係を有し、
(A)/(C)/(B)/(C)の順の積層構造を有する反射防止フィルムであり、
(3) 透明樹脂層(C)が、シリコーン樹脂層(C1)である反射防止フィルムであり、
(4) 透明樹脂層(C)が、フッ素樹脂層(C2)である反射防止フィルムであり、
(5) 透明無機薄膜層(B)が、窒化珪素薄膜層(B1)である反射防止フィルムであり、
(6) 窒化珪素薄膜層(B1)が、触媒CVD法により形成された窒化珪素薄膜層(B2)である反射防止フィルムであり、
(7) 上記の反射防止フィルムを表示部表面に貼合した表示デバイスであり、
(8) 上記の反射防止フィルムを表示部基板として用いた表示デバイスである。
As a result of investigations by the present inventors to solve the above problems, a film having a multilayer structure comprising a transparent substrate film, a transparent inorganic thin film containing at least nitrogen and silicon, and a transparent resin layer has a gas barrier function and reflection. The present invention was completed by finding that the prevention function can be compatible at a high level. That is, the present invention
(1) a transparent substrate film (A);
A transparent inorganic thin film layer (B) containing at least nitrogen and silicon;
It consists of a transparent resin layer (C),
The refractive index of each layer has a relationship of transparent resin layer (C) <transparent substrate film (A) <transparent inorganic thin film layer (B),
(A) / (B) / (C) is an antireflection film having a laminated structure of the order,
(2) a transparent substrate film (A),
A transparent inorganic thin film layer (B) containing at least nitrogen and silicon;
It consists of a transparent resin layer (C),
The refractive index of each layer has a relationship of transparent resin layer (C) <transparent substrate film (A) <transparent inorganic thin film layer (B),
(A) / (C) / (B) / (C) is an antireflection film having a laminated structure of the order,
(3) The transparent resin layer (C) is an antireflection film that is a silicone resin layer (C1),
(4) The transparent resin layer (C) is an antireflection film that is a fluororesin layer (C2),
(5) The transparent inorganic thin film layer (B) is an antireflection film which is a silicon nitride thin film layer (B1),
(6) The silicon nitride thin film layer (B1) is an antireflection film that is a silicon nitride thin film layer (B2) formed by a catalytic CVD method,
(7) A display device in which the antireflection film is bonded to the surface of the display unit,
(8) A display device using the antireflection film as a display unit substrate.
本発明のプラスチックフィルム表面もしくはアンダーコート層上に、少なくとも窒素および珪素を含む膜を形成し、さらにその表面上にシリコーン樹脂もしくはフッ素樹脂をコートする構成を有するフィルムは、高いガスバリア機能と反射防止性能を有する。このため、近年市場の成長が著しいディスプレイ用途、特に液晶ディスプレイや有機ELディスプレイに好適に用いることができるので、本発明の工業的意義は大きい。 The film having a structure in which a film containing at least nitrogen and silicon is formed on the surface of the plastic film or the undercoat layer of the present invention and further coated with a silicone resin or a fluorine resin on the surface has a high gas barrier function and antireflection performance. Have For this reason, since it can be suitably used for display applications where the market growth has been remarkable in recent years, particularly for liquid crystal displays and organic EL displays, the industrial significance of the present invention is great.
本発明の反射防止フィルムは、透明基体フィルムと、少なくとも窒素および珪素を含有する透明無機薄膜層と透明樹脂層とを有する。 The antireflection film of the present invention has a transparent substrate film, a transparent inorganic thin film layer containing at least nitrogen and silicon, and a transparent resin layer.
本発明において、透明とは、可視光線透過率が50%以上、好ましくは70%以上、より好ましくは、80%以上であることを言う。可視光線透過率の上限値は、100%であるが、実際には表面反射や、材料による吸収があるので95%以下である場合が多い。 In the present invention, “transparent” means that the visible light transmittance is 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 80% or more. The upper limit of the visible light transmittance is 100%, but in reality, it is often 95% or less because of surface reflection and absorption by the material.
先ず、各層について説明する。 First, each layer will be described.
(透明基体フィルム(A))
本発明にかかる透明基体フィルム(A)としては、プラスチックフィルムが好適に使用される。上記プラスチックフィルムは、透明性を有するフィルムであれば特に制限はない。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリエステル、ポリメチルメタアクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリアセテート、ポリアミド、ポリ‐4−メチルペンテン−1、セルロース、ポリ塩化ビニル、ポリアクリロニトリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリフェニレンオキサイド系樹脂等の透明性を有する樹脂からなるフィルムを例示できる。
(Transparent substrate film (A))
As the transparent substrate film (A) according to the present invention, a plastic film is preferably used. The plastic film is not particularly limited as long as it is a transparent film. Specifically, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyethylene terephthalate, polysulfone, polyethersulfone, polyester, polymethyl methacrylate, polycarbonate, polyarylate, polyacetate, polyamide, poly-4-methylpentene-1, cellulose, poly Examples thereof include films made of a resin having transparency such as vinyl chloride, polyacrylonitrile resin, phenoxy resin, polyphenylene oxide resin and the like.
また、本発明の透明基体フィルム(A)の屈折率は、後述する無機薄膜層(B)や透明樹脂層(C)の屈折率によって異なるが、一般的には1.4〜1.7であり、好ましくは1.5〜1.7である。 The refractive index of the transparent substrate film (A) of the present invention varies depending on the refractive index of the inorganic thin film layer (B) and the transparent resin layer (C) described later, but is generally 1.4 to 1.7, preferably 1.5-1.7.
本発明の透明基体フィルム(A)の厚さも特に制限はないが、フィルムの自立性、ハンドリング性、耐衝撃性等を考慮すると、10μm〜250μm、好ましくは50μm〜200μmである。 The thickness of the transparent substrate film (A) of the present invention is not particularly limited, but is 10 μm to 250 μm, preferably 50 μm to 200 μm in view of the film self-supporting property, handling property, impact resistance and the like.
(透明無機薄膜層(B))
本発明における、透明無機薄膜層(B)は、少なくとも窒素および珪素を含有しており、可視光域において透明な層である。更にガスバリア性能の高い層であることが好ましく、具体的にはとして、窒化珪素薄膜や酸化窒化珪素薄膜が好ましく、特には窒化珪素薄膜(B1)が好ましい。可視光域における透明性、かつ所望のガスバリア性能を満たす範囲内であれば、これら無機薄膜に水素や炭素等が含有していても、なんら本発明を阻害するものではない。
(Transparent inorganic thin film layer (B))
The transparent inorganic thin film layer (B) in the present invention contains at least nitrogen and silicon and is a transparent layer in the visible light region. Further, a layer having a high gas barrier performance is preferable. Specifically, a silicon nitride thin film or a silicon oxynitride thin film is preferable, and a silicon nitride thin film (B1) is particularly preferable. If the inorganic thin film contains hydrogen, carbon, or the like as long as it is in a range satisfying the transparency in the visible light region and the desired gas barrier performance, the present invention is not hindered at all.
本発明における透明無機薄膜層(B)の好ましい屈折率は1.5〜2.1、より好ましくは1.8〜2.1である。上記の屈折率は、透明無機薄膜層(B)を形成する化合物の種類や組成、成膜条件などによって制御することが出来る。具体的には、窒化珪素薄膜については1.8〜2.1程度、酸化窒化珪素薄膜については1.5〜2.1程度の範囲で制御することが可能である。 The preferable refractive index of the transparent inorganic thin film layer (B) in the present invention is 1.5 to 2.1, more preferably 1.8 to 2.1. The refractive index can be controlled by the type and composition of the compound forming the transparent inorganic thin film layer (B), film forming conditions, and the like. Specifically, it is possible to control within a range of about 1.8 to 2.1 for a silicon nitride thin film and about 1.5 to 2.1 for a silicon oxynitride thin film.
本発明における透明無機薄膜層(B)の膜厚は、ガスバリア性能、およびガスバリア性能に対する耐屈曲性の観点から、好ましくは5〜500nm、より好ましくは10〜200nmであり、各種用途に応じて設定される反射防止性能や製造コスト等に応じて適宜選択される。 The film thickness of the transparent inorganic thin film layer (B) in the present invention is preferably 5 to 500 nm, more preferably 10 to 200 nm, from the viewpoint of gas barrier performance and bending resistance to gas barrier performance, and is set according to various applications. It is appropriately selected according to the antireflection performance and manufacturing cost.
本発明における透明無機薄膜層(B)は、1層である必要ではなく、構成する化合物の種類、屈折率、膜厚等の異なる2層以上から構成されていても良い。多種多層の構成にする事により、反射防止機能を向上出来ると言う好ましい結果が得られる場合がある。 The transparent inorganic thin film layer (B) in the present invention does not have to be a single layer, and may be composed of two or more layers different in the type of compound, refractive index, film thickness and the like. In some cases, it is possible to obtain a preferable result that the antireflection function can be improved by using a multi-layered structure.
本発明において、窒化珪素薄膜や酸化窒化珪素薄膜を代表例とする透明無機薄膜層(B)は、公知の成膜方法で形成することが出来る。具体的には、スパッタやプラズマCVD(化学気相堆積)法により成膜を行う方法を例示することが出来る。特に、窒化珪素薄膜形成に対しては、ガス分子を発熱体により分解活性化させて基板に成膜を行う触媒CVD法を用いることにより、屈折率が1.8〜2.1の間で制御でき、緻密すなわちガスバリア性に優れ、かつ、透明で膜応力の低い膜を形成することができるので、望ましい。 In the present invention, the transparent inorganic thin film layer (B) typified by a silicon nitride thin film or a silicon oxynitride thin film can be formed by a known film forming method. Specifically, a method of forming a film by sputtering or plasma CVD (chemical vapor deposition) can be exemplified. In particular, for silicon nitride thin film formation, the refractive index can be controlled between 1.8 and 2.1 by using a catalytic CVD method in which gas molecules are decomposed and activated by a heating element to form a film on a substrate. It is desirable because a film having excellent gas barrier properties and transparent and low film stress can be formed.
(透明樹脂層(C))
本発明における、透明樹脂層(C)は、透明で後述する屈折率の条件を満たす物であれば特に限定されるものではないが、好ましくは、シリコーン樹脂層(C1)やフッ素樹脂層(C2)を例示することが出来る。シリコーン樹脂は、珪素、酸素、水素を主成分とする樹脂であり、様々な組成、分子量等を有する製品が市販されている。本発明のシリコーン樹脂層(C1)には、透明且つ後述する屈折率の要件を満たせば、これらの公知の樹脂を特に制限無く用いることが出来る。 本発明におけるフッ素樹脂層(C2)としては、透明且つ後述する屈折率の要件を満たせば、公知の樹脂を制限無く用いることが出来る。具体的には例えば、フッ化エチレン樹脂、フッ化塩化エチレン樹脂、フッ化エチレン、フッ化プロピレン樹脂、フッ化ビニリデン樹脂等を挙げることが出来る。
(Transparent resin layer (C))
In the present invention, the transparent resin layer (C) is not particularly limited as long as it is transparent and satisfies the refractive index condition described later. Preferably, the silicone resin layer (C1) or the fluororesin layer (C2) is used. ). Silicone resins are resins mainly composed of silicon, oxygen, and hydrogen, and products having various compositions and molecular weights are commercially available. For the silicone resin layer (C1) of the present invention, these known resins can be used without particular limitation as long as they satisfy the requirements of the refractive index described later. As the fluororesin layer (C2) in the present invention, a known resin can be used without limitation as long as it satisfies the requirements of transparency and a refractive index described later. Specific examples include fluorinated ethylene resin, fluorinated ethylene chloride resin, fluorinated ethylene, fluorinated propylene resin, and vinylidene fluoride resin.
本発明における透明樹脂層(C)の屈折率は、後述する透明基体フィルム(A)や透明無機薄膜層(B)の屈折率によって適宜選択されるので、一概には規定できないが、一般的には1.3〜1.6、好ましくは1.3〜1.5である。また、本発明における透明樹脂層(C)の膜厚は、透明無機薄膜層のアンダーコートとして用いる場合においては、各種用途により要求される製造コストや表面平滑性などの要件に応じての観点から適宜決定されるので特に制限はないが、一般的には0.1〜20μm、より好ましくは0.1〜10μmであり、また、透明無機薄膜層上のコーティングとして用いる場合には、各種用途により要求される反射性能や製造コスト、表面平滑性などの要件に応じての観点から適宜決定されるので特に制限はないが、一般的には0.05〜10μm、より好ましくは0.1〜2μmである。 Since the refractive index of the transparent resin layer (C) in the present invention is appropriately selected depending on the refractive index of the transparent substrate film (A) and the transparent inorganic thin film layer (B) described later, Is 1.3 to 1.6, preferably 1.3 to 1.5. In addition, the film thickness of the transparent resin layer (C) in the present invention, when used as an undercoat of a transparent inorganic thin film layer, is from a viewpoint according to requirements such as manufacturing cost and surface smoothness required by various applications. Since it is determined as appropriate, there is no particular limitation, but it is generally 0.1 to 20 μm, more preferably 0.1 to 10 μm. When used as a coating on a transparent inorganic thin film layer, reflection required for various applications is required. Since it is appropriately determined from the viewpoint of performance, manufacturing cost, surface smoothness and other requirements, there is no particular limitation, but generally 0.05 to 10 μm, more preferably 0.1 to 2 μm.
本発明における透明樹脂層(C)は、ロールコート、グラビアコート、ナイフコート、ディップコート、スプレーコート等の公知の方法により形成することができる。 The transparent resin layer (C) in the present invention can be formed by a known method such as roll coating, gravure coating, knife coating, dip coating or spray coating.
(反射防止フィルム)
本発明の反射防止フィルムは、上記の透明基体フィルム(A)と透明無機薄膜層(B)と透明樹脂層(C)とからなり、(A)/(B)/(C)の順の積層構造を有することを特徴とする。また、本発明の反射フィルムは、本発明の目的の範囲であれば、上記の3種3層構造である必要はなく、(A)/(B)/(C)の順となる組合せが存在すれば、より多層の積層構造であっても構わない。ただし、少なくとも一方の主面の最外層は透明樹脂層(C)であることが好ましい。層数が増加することで製造コストが高くなったり反射防止性能の制御が困難になることがあるので、各層の層数の上限は、10層以下、好ましくは5層以下である。
(Antireflection film)
The antireflection film of the present invention comprises the transparent substrate film (A), the transparent inorganic thin film layer (B), and the transparent resin layer (C), and is laminated in the order of (A) / (B) / (C). It has a structure. In addition, the reflective film of the present invention does not need to have the above three-type three-layer structure within the range of the object of the present invention, and there is a combination in the order of (A) / (B) / (C). If so, a multi-layered structure may be used. However, the outermost layer of at least one main surface is preferably a transparent resin layer (C). The increase in the number of layers may increase the manufacturing cost and make it difficult to control the antireflection performance, so the upper limit of the number of layers in each layer is 10 layers or less, preferably 5 layers or less.
本発明の反射防止フィルムの特に好ましい構成は、(A)/(C)/(B)/(C)となる透明樹脂層(C)を2層形成した構成であり、特にガスバリア性に優れた性能を示す。 A particularly preferable configuration of the antireflection film of the present invention is a configuration in which two transparent resin layers (C) to be (A) / (C) / (B) / (C) are formed, and particularly excellent in gas barrier properties. Show performance.
本発明において透明基体フィルム(A)と透明無機薄膜層(B)と透明樹脂層(C)の屈折率は、
透明樹脂層(C) < 透明基体フィルム(A) < 透明無機薄膜層(B)
の関係を有する。上記した各層の屈折率の範囲は、一部重なる領域が存在するが、実際に本発明の反射防止フィルムを形成する各層の屈折率が、上記の関係を満たしていればよい。
In the present invention, the refractive index of the transparent substrate film (A), the transparent inorganic thin film layer (B), and the transparent resin layer (C) is:
Transparent resin layer (C) <Transparent substrate film (A) <Transparent inorganic thin film layer (B)
Have the relationship. The above-described ranges of the refractive index of each layer include a partially overlapping region, but it is only necessary that the refractive index of each layer that actually forms the antireflection film of the present invention satisfies the above relationship.
また、本発明の反射防止フィルムは、本発明の目的を損なわない限り、他の層を形成する事もできる。具体的例としては、透明基体フィルム(A)と無機透明薄膜層(B)の間に、密着性や表面平滑性、およびガスバリア性を高めるためのアンダーコート層が挙げられる。上記のアンダーコート層を形成する材料としては、例えば、エチレン/ビニルアルコール樹脂、ビニル変性樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、変性スチレン樹脂、変性シリコーン樹脂等を例示することが出来る。これらは単独で、または2種以上組みあわせて用いることが出来る。 Further, the antireflection film of the present invention can also form other layers as long as the object of the present invention is not impaired. Specific examples include an undercoat layer for enhancing adhesion, surface smoothness, and gas barrier properties between the transparent substrate film (A) and the inorganic transparent thin film layer (B). Examples of the material for forming the undercoat layer include ethylene / vinyl alcohol resin, vinyl-modified resin, acrylic resin, polyester resin, isocyanate resin, urethane resin, epoxy resin, modified styrene resin, and modified silicone resin. I can do it. These may be used alone or in combination of two or more.
本発明における、プラスチックフィルム基板と無機薄膜層の間に配備される透明樹脂層は、ロールコート、グラビアコート、ナイフコート、ディップコート、スプレーコート等により形成することができる。 In the present invention, the transparent resin layer disposed between the plastic film substrate and the inorganic thin film layer can be formed by roll coating, gravure coating, knife coating, dip coating, spray coating, or the like.
本発明における反射防止フィルムは、例えば液晶ディスプレイの表示側の透明基体にプラスチック板を用いた場合や、トップエミッションタイプの有機ELディスプレイの表示側にプラスチック板を用いた場合、光や物体の画面への映り込みが抑制され、かつ内部素子の劣化の低減、防止することができる。 The antireflection film according to the present invention, for example, when a plastic plate is used for the transparent substrate on the display side of a liquid crystal display, or when a plastic plate is used for the display side of a top emission type organic EL display, is used for light and object screens. Reflection can be suppressed, and deterioration of the internal elements can be reduced or prevented.
また、液晶や有機ELの表示部を兼ねた素子基板として用いることにより、光や物体の画面への映り込みを防ぐことができ、かつ表示素子部への酸素や水蒸気等の進入による、素子劣化に対する保護を行うことができる。 Also, by using it as an element substrate that also serves as a liquid crystal or organic EL display part, reflection of light and objects on the screen can be prevented, and element deterioration due to the entry of oxygen, water vapor, etc. into the display element part Can be protected against.
以下に、本発明の実施形態例を示す。
実施例1
基板には可視域での屈折率が1.65である厚み125μmのPETフィルムを用い、当該フィルム上に、触媒CVD法によって、当該フィルムが配備されている真空容器内にシランガス、アンモニアガス、水素ガスを導入し、発熱体であるタングステン線を約1700℃に加熱して、また基板温度を70℃となるよう保持することにより、可視域での屈折率が1.87の窒化珪素薄膜を膜厚50nmとなるように形成を行った。
In the following, embodiments of the present invention will be described.
Example 1
A 125 μm thick PET film having a refractive index of 1.65 in the visible region is used as a substrate, and silane gas, ammonia gas, and hydrogen gas are placed on the film by a catalytic CVD method in a vacuum container in which the film is provided. By introducing and heating the tungsten wire as a heating element to about 1700 ° C and keeping the substrate temperature at 70 ° C, a silicon nitride thin film having a refractive index of 1.87 in the visible region has a film thickness of 50 nm. The formation was performed as follows.
さらに、この窒化珪素膜上に可視域での屈折率1.42のシリコーン樹脂をスピンコートにより厚み100nmとなるようにコーティングを行った。なお、具体的なこのスピンコートの方法としては、固形シリコーン樹脂(ラダー型シリコーンオリゴマー 商品名:グラスレジンGR100 昭和電工社製)をイソプロピルアルコールに30wt%となるように溶解した液を用い、その後の架橋反応および乾燥条件として、クリーンオーブンにて120℃、12時間にて行った。 Further, a silicone resin having a refractive index of 1.42 in the visible region was coated on the silicon nitride film so as to have a thickness of 100 nm by spin coating. As a specific spin coating method, a solid silicone resin (ladder type silicone oligomer product name: Glass Resin GR100, manufactured by Showa Denko KK) was used in a solution of 30 wt% in isopropyl alcohol. The crosslinking reaction and drying conditions were performed in a clean oven at 120 ° C. for 12 hours.
図1は本実施例2の構成である。当該フィルムの(株)島津製作所製UV-3100PCにより測定を行った各波長での反射率は表1に示す値となった。また、モダンコントロール社製PERMATRAN-W600により、温度40℃、相対湿度100%における透湿度測定を行ったところ、同じく表1に示されるように1.2g/m2/dayの値となった。 FIG. 1 shows the configuration of the second embodiment. The reflectivity at each wavelength of the film measured with UV-3100PC manufactured by Shimadzu Corporation was a value shown in Table 1. In addition, when the moisture permeability measurement was performed at a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 100% using PERMATRAN-W600 manufactured by Modern Control, the value was 1.2 g / m 2 / day as shown in Table 1.
実施例2
基板には可視域での屈折率が1.65である厚み125μmのPETフィルムを用い、当該フィルム上に可視域での屈折率1.42のシリコーン樹脂をスピンコートにより厚み2μmとなるようにコーティングを行った。
Example 2
A 125 μm thick PET film having a refractive index of 1.65 in the visible region was used as the substrate, and a silicone resin having a refractive index of 1.42 in the visible region was coated on the film by spin coating so as to have a thickness of 2 μm.
続いて、当該フィルムのシリコーン樹脂層上に、触媒CVD法により、当該フィルムが配備されている真空容器内にシランガス、アンモニアガス、水素ガスを導入し、発熱体であるタングステン線を約1700℃に加熱して、また基板温度を70℃となるよう保持することにより、可視域での屈折率が1.87の窒化珪素薄膜を膜厚50nmとなるように形成を行った。 Subsequently, silane gas, ammonia gas, and hydrogen gas are introduced into the vacuum container in which the film is disposed on the silicone resin layer of the film by a catalytic CVD method, and the tungsten wire as a heating element is heated to about 1700 ° C. By heating and maintaining the substrate temperature at 70 ° C., a silicon nitride thin film having a refractive index of 1.87 in the visible region was formed to a thickness of 50 nm.
さらに、この窒化珪素膜上に可視域での屈折率1.42のシリコーン樹脂をスピンコートにより厚み100nmとなるようにコーティングを行った。 Further, a silicone resin having a refractive index of 1.42 in the visible region was coated on the silicon nitride film so as to have a thickness of 100 nm by spin coating.
図2は本実施例2の構成である。当該フィルムの(株)島津製作所製UV-3100PCにより測定を行った各波長での反射率は表1に示す値となった。また、モダンコントロール社製PERMATRAN-W600により、温度40℃、相対湿度100%における透湿度測定を行ったところ、同じく表1に示されるように、本測定での検出限界である0.02g/m2/day以下の値となった。 FIG. 2 shows the configuration of the second embodiment. The reflectivity at each wavelength of the film measured with UV-3100PC manufactured by Shimadzu Corporation was a value shown in Table 1. In addition, when the moisture permeability measurement at a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 100% was performed with PERMATRAN-W600 manufactured by Modern Control, as shown in Table 1, the detection limit in this measurement was 0.02 g / m 2. The value was less than / day.
以下に、本発明の比較形態例を示す。
比較例1
可視域での屈折率が1.65である厚み125μmのPETフィルムの(株)島津製作所製UV-3100PCにより測定を行った各波長での反射率は表1に示す値となった。また、モダンコントロール社製PERMATRAN-W600により、温度40℃、相対湿度100%における透湿度測定を行ったところ、同じく表1に示されるように5.3g/m2/dayの値となった。
Below, the comparative example of this invention is shown.
Comparative Example 1
The reflectivity at each wavelength of a 125 μm-thick PET film having a refractive index in the visible range measured by UV-3100PC manufactured by Shimadzu Corporation was a value shown in Table 1. In addition, when measuring moisture permeability at a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 100% using PERMATRAN-W600 manufactured by Modern Control Co., Ltd., the value was 5.3 g / m 2 / day as shown in Table 1.
比較例2
基板には可視域での屈折率が1.65である厚み125μmのPETフィルムを用い、当該フィルム上に、触媒CVD法によって、当該フィルムが配備されている真空容器内にシランガス、アンモニアガス、水素ガスを導入し、発熱体であるタングステン線を約1700℃に加熱して、また基板温度を70℃となるよう保持することにより、可視域での屈折率が1.87の窒化珪素薄膜を膜厚50nmとなるように形成を行った。
Comparative Example 2
A 125 μm thick PET film having a refractive index of 1.65 in the visible region is used as a substrate, and silane gas, ammonia gas, and hydrogen gas are placed on the film by a catalytic CVD method in a vacuum container in which the film is provided. By introducing and heating the tungsten wire as a heating element to about 1700 ° C and keeping the substrate temperature at 70 ° C, a silicon nitride thin film having a refractive index of 1.87 in the visible region has a film thickness of 50 nm. The formation was performed as follows.
図3は本比較例の構成である。当該フィルムの(株)島津製作所製UV-3100PCにより測定を行った各波長での反射率は表1に示す値となった。また、モダンコントロール社製PERMATRAN-W600により、温度40℃、相対湿度100%における透湿度測定を行ったところ、同じく表1に示されるように1.4g/m2/dayの値となった。 FIG. 3 shows the configuration of this comparative example. The reflectivity at each wavelength of the film measured with UV-3100PC manufactured by Shimadzu Corporation was a value shown in Table 1. Further, when the moisture permeability was measured at a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 100% using PERMATRAN-W600 manufactured by Modern Control, the value was 1.4 g / m 2 / day as shown in Table 1.
比較例3
基板には可視域での屈折率が1.65である厚み125μmのPETフィルムを用い、当該フィルム上に可視域での屈折率1.42のシリコーン樹脂をスピンコートにより厚み2μmとなるようにコーティングを行った。
Comparative Example 3
A 125 μm thick PET film having a refractive index of 1.65 in the visible region was used as the substrate, and a silicone resin having a refractive index of 1.42 in the visible region was coated on the film by spin coating so as to have a thickness of 2 μm.
続いて、当該フィルムのシリコーン樹脂層上に、触媒CVD法により、当該フィルムが配備されている真空容器内にシランガス、アンモニアガス、水素ガスを導入し、発熱体であるタングステン線を約1700℃に加熱して、また基板温度を70℃となるよう保持することにより、可視域での屈折率が1.87の窒化珪素薄膜を膜厚50nmとなるように形成を行った。 Subsequently, silane gas, ammonia gas, and hydrogen gas are introduced into the vacuum container in which the film is disposed on the silicone resin layer of the film by a catalytic CVD method, and the tungsten wire as a heating element is heated to about 1700 ° C. By heating and maintaining the substrate temperature at 70 ° C., a silicon nitride thin film having a refractive index of 1.87 in the visible region was formed to a thickness of 50 nm.
図4は本比較例の構成である。当該フィルムの(株)島津製作所製UV-3100PCにより測定を行った各波長での反射率は表1に示す値となった。また、モダンコントロール社製PERMATRAN-W600により、温度40℃、相対湿度100%における透湿度測定を行ったところ、同じく表1に示されるように、本測定での検出限界である0.02g/m2/day以下の値となった FIG. 4 shows the configuration of this comparative example. The reflectivity at each wavelength of the film measured with UV-3100PC manufactured by Shimadzu Corporation was a value shown in Table 1. In addition, when the moisture permeability measurement at a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 100% was performed with PERMATRAN-W600 manufactured by Modern Control, as shown in Table 1, the detection limit in this measurement was 0.02 g / m 2. / day or less
以上における、窒化シリコン膜は、触媒CVD法以外にもスパッタやプラズマCVD法にて作製することができ、適当な条件を選ぶことにより、珪素/窒素組成比等の調整によって、所望のガスバリア性能ならびに屈折率を有する膜を得ることができる。また、酸窒化珪素薄膜については、スパッタやプラズマCVD法により、珪素/酸素/窒素組成比等の調整により所望のガスバリア性能ならびに屈折率を得ることが可能である。これにより、本実施例で示される特性に限らず、所望のガスバリア性能および低反射率を有する反射防止フィルムを実現することができる。 In the above, the silicon nitride film can be produced by sputtering or plasma CVD other than the catalytic CVD method, and by selecting appropriate conditions, by adjusting the silicon / nitrogen composition ratio, etc., the desired gas barrier performance and A film having a refractive index can be obtained. For silicon oxynitride thin films, desired gas barrier performance and refractive index can be obtained by adjusting the silicon / oxygen / nitrogen composition ratio, etc., by sputtering or plasma CVD. Thereby, not only the characteristic shown by a present Example but the antireflection film which has desired gas barrier performance and low reflectance is realizable.
以上、本発明の好ましい実施形態例を説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載から把握される技術範囲において、種々の形態に変更可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to such embodiments, and various modifications can be made within the technical scope grasped from the description of the scope of claims. .
11 フィルム基板(PETフィルム)
12 窒化珪素薄膜
13 シリコーン樹脂層
21 フィルム基板(PETフィルム)
22 シリコーン樹脂層
23 窒化珪素薄膜
24 シリコーン樹脂層
31 フィルム基板(PETフィルム)
32 窒化珪素薄膜
41 フィルム基板(PETフィルム)
42 シリコーン樹脂層
43 窒化珪素薄膜
11 Film substrate (PET film)
12 Silicon nitride
22
32 Silicon nitride thin film 41 Film substrate (PET film)
42 Silicone resin layer 43 Silicon nitride thin film
Claims (8)
少なくとも窒素および珪素を含有する透明無機薄膜層(B)と、
透明樹脂層(C)からなり、
各層の屈折率が、透明樹脂層(C) < 透明基体フィルム(A) < 透明無機薄膜層(B)の関係を有し、
(A)/(B)/(C)の順の積層構造を有する反射防止フィルム。 A transparent substrate film (A);
A transparent inorganic thin film layer (B) containing at least nitrogen and silicon;
It consists of a transparent resin layer (C),
The refractive index of each layer has a relationship of transparent resin layer (C) <transparent substrate film (A) <transparent inorganic thin film layer (B),
An antireflection film having a laminated structure in the order of (A) / (B) / (C).
少なくとも窒素および珪素を含有する透明無機薄膜層(B)と、
透明樹脂層(C)とからなり、
各層の屈折率が、透明樹脂層(C) < 透明基体フィルム(A) < 透明無機薄膜層(B)の関係を有し、
(A)/(C)/(B)/(C)の順の積層構造を有する反射防止フィルム。 A transparent substrate film (A);
A transparent inorganic thin film layer (B) containing at least nitrogen and silicon;
It consists of a transparent resin layer (C),
The refractive index of each layer has a relationship of transparent resin layer (C) <transparent substrate film (A) <transparent inorganic thin film layer (B),
An antireflection film having a laminated structure in the order of (A) / (C) / (B) / (C).
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