JP2005100919A - カーボンナノチューブ電子放出源の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の陰極線と、誘電層上に形成される複数のゲートラインとを含み、かつ2本毎のゲートラインの間の領域で、該陰極線と交差する個所を画素形成予定領域とし、該画素形成予定領域に開口を形成して該陰極線を露出してなる三極構造を提供し、電子放出源のパターンを予め形成してなる圧印型板を提供し、カーボンナノチューブ・ペーストを該圧印型板に付着させ、露出させた該陰極線上に圧印して、さらに 該陰極線上の該カーボンナノチューブ・ペーストを固形化させる。
【選択図】 図7
Description
以下、この発明について具体的に説明する。
電子放出源のパターンが予め形成してなる圧印型板を提供するステップと、
カーボンナノチューブ・ペーストを該圧印型板に付着させ、露出させた該陰極線上に圧印するステップと、
該陰極線上の該カーボンナノチューブ・ペーストを固形化させるステップとを、少なくとも含む。
複数の陰極線を該基板上に形成するステップと、
誘電層を該基板上に形成して該陰極線を被覆するステップと、
該陰極線に直交する複数のゲートラインを該誘電層上に形成して画素形成予定領域を形成するステップと、
マイクロフォトエッチングで該画素形成予定領域の該誘電層にマイクロフォトエッチングを施して開口を形成し、該陰極線を露出させるステップとを、少なくとも含んでなる製造方法である。
前記複数のゲートラインはスクリーン印刷によって導体層を該誘電層上に形成されてなる。
マイクロフォトエッチングで該型板をエッチングして、ポジ型の電子放出源パターンと、ゲートラインを収納する部分のポジ型パターンとを該型板に形成するステップと、
成膜物質を注入してエッチングを施した該型板を被覆するステップと、
該成膜物質を固形化するステップと、
型抜きを行い、ネガ型の電子放出源パターンと、ゲートラインを収納する部分のネガ型パターンとを形成するステップとを、少なくとも含んでなる製造方法によって製造される方法である。
該電子放出源のパターンが円錐形か、円柱形か、角錐形か、もしくはこれらの組み合わせから選択される。
電子放出源のパターンが予め形成してなる圧印型板を提供するステップと、
カーボンナノチューブ・ペーストを該圧印型板に付着させ、露出させた該陰極線上に圧印して該電子放出源のパターンを転写するステップと、
該カーボンナノチューブ・ペーストを固形化させるステップとを、少なくとも含む。
係るカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法について、その特徴を詳述するために具体的な実施例を挙げ、以下に説明する。
1.本発明のカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法は、製造工程が簡略化され、製造コストを低減させることができる。また、カーボンナノチューブは、最終的に圧印されるため、従来の方法に見られるようにカーボンナノチューブを先に陰極線上に形成し、さらに誘電層を形成し、該誘電層をエッチングしてカーボンナノチューブを露出させる場合に発生する汚染の問題が発生しない。
2.また、本発明のカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法は、カーボンナノチューブ電子放出源の形状を予め設定することができるため、柔軟なレイアウトを行うことができる。
3.さらにカーボンナノチューブ電子放出源とゲートラインとのピッチを予め制御できるので、従来の技術に比してカーボンナノチューブ電子放出源の好ましい安定性が得られ、駆動電圧を低下させることができる。
2 画素開口
3 カーボンナノチューブ・ペースト
4 側面壁
5 型版
6 陰極
10 円錐状パターン
20 長条形パターン
30 圧印型板
35 基板
40 陰極線
50 誘電層
60 ゲートライン
60a、60b、60c、60d 領域
65 交差点
70a 画素形成予定位置
70A、70B カーボンナノチューブ・ペースト
80 電子放出源
Claims (7)
- 複数の陰極線と、誘電層上に形成される複数のゲートラインとを含み、かつ2本毎のゲートラインの間の領域で、該陰極線と交差する個所を画素形成予定領域とし、該画素形成予定領域に開口を形成して該陰極線を露出してなる三極構造を提供するステップと、
電子放出源のパターンを予め形成してなる圧印型板を提供するステップと、
カーボンナノチューブ・ペーストを該圧印型板に付着させ、露出させた該陰極線上に圧印するステップと、
該陰極線上の該カーボンナノチューブ・ペーストを固形化させるステップとを、少なくとも含むことを特徴とするカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法。 - 前記三極構造が、基板を提供するステップと、
複数の陰極線を該基板上に形成するステップと、
誘電層を該基板上に形成して該陰極線を被覆するステップと、
該陰極線に直交する複数のゲートラインを該誘電層上に形成して画素形成予定領域を形成するステップと、
マイクロフォトエッチングで該画素形成予定領域の該誘電層にマイクロフォトエッチングを施して開口を形成し、該陰極線を露出させるステップとを、少なくとも含んでなる製造方法で製造されることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法。 - 前記複数の陰極線が、スクリーン印刷によって銀金属層を該基板上に形成されてなり、
前記複数のゲートラインはスクリーン印刷によって導体層を該誘電層上に形成されてなることを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法。 - 前記複数のゲートラインのそれぞれの間隔が約30μmから300μmであって、該開口の深さが約5μmから50μmであることを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法。
- 前記圧印型板が、型板を基板上に固定するステップと、
マイクロフォトエッチングで該型板をエッチングして、ポジ型の電子放出源パターンと、ゲートラインを収納する部分のポジ型パターンとを該型板に形成するステップと、
成膜物質を注入してエッチングを施した該型板を被覆するステップと、
該成膜物質を固形化するステップと、
型抜きを行い、ネガ型の電子放出源パターンと、ゲートラインを収納する部分のネガ型パターンとを形成するステップとを、少なくとも含んでなる製造方法によって製造されることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法。 - 前記圧印型板に形成されるパターンには、圧印を行う場合にゲートラインを収納し、カーボンナノチューブ・ペーストが該ゲートラインに付着することを防ぐ複数の溝状のパターンを含んでなり、
該電子放出源パターンは、円錐形か、円柱形か、角錐形か、もしくはこれらの組み合わせから選択されることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法。 - 複数の平行して形成される陰極線を含む二極構造を提供するステップと、
電子放出源のパターンが予め形成してなる圧印型板を提供するステップと、
カーボンナノチューブ・ペーストを該圧印型板に付着させ、露出させた該陰極線上に圧印して該電子放出源のパターンを転写するステップと、
該カーボンナノチューブ・ペーストを固形化させるステップとを、少なくとも含むことを特徴とするカーボンナノチューブ電子放出源の製造方法。
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