JP2005095833A - Delivery device, manufacturing device for color filter substrate, manufacturing device for electroluminescence display device and delivery method - Google Patents
Delivery device, manufacturing device for color filter substrate, manufacturing device for electroluminescence display device and delivery method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005095833A JP2005095833A JP2003335544A JP2003335544A JP2005095833A JP 2005095833 A JP2005095833 A JP 2005095833A JP 2003335544 A JP2003335544 A JP 2003335544A JP 2003335544 A JP2003335544 A JP 2003335544A JP 2005095833 A JP2005095833 A JP 2005095833A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis direction
- nozzle
- heads
- nozzles
- discharged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、液状の材料を吐出する吐出装置および吐出方法に関し、より具体的には、カラーフィルタ基板や、マトリクス型表示装置などにおいて周期的に配置された領域に液状の材料を塗布するのに好適な吐出装置および吐出方法に関する。 The present invention relates to a discharge device and a discharge method for discharging a liquid material, and more specifically, for applying a liquid material to a periodically arranged region in a color filter substrate, a matrix display device, or the like. The present invention relates to a suitable discharge device and discharge method.
インクジェット装置を用いて、画素化された領域に材料を塗布することが知られている。例えば、インクジェット装置を用いてカラーフィルタ基板のフィルタエレメントや、マトリクス型表示装置においてマトリクス状に配置された発光部を形成することが知られている(例えば特許文献1)。 It is known to apply a material to a pixelated region using an ink jet device. For example, it is known to form filter elements of a color filter substrate by using an ink jet device or light emitting portions arranged in a matrix in a matrix display device (for example, Patent Document 1).
材料が塗布されるべき複数の被吐出部のピッチが、インクジェット装置のノズルピッチに一致しないことが多い。被吐出部とは、例えばフィルタエレメントが設けられるべき部位である。 In many cases, the pitch of the plurality of discharged portions to which the material is to be applied does not match the nozzle pitch of the ink jet apparatus. The discharged portion is, for example, a portion where a filter element is to be provided.
このため、従来のインクジェット装置において、2つの被吐出部の間の距離と、2つの吐出ノズルとの間の距離と、が一致するように、被吐出部が並ぶ方向に対してインクジェットヘッド(あるいは吐出ノズルが並ぶ方向)が傾いている。しかしながら、このような構成では、2つの被吐出部の間の距離がカラーフィルタ毎に異なる場合に、カラーフィルタ毎にインクジェットヘッドの取り付け角度を変更する手間が生じる。ヘッドの取り付け角度を変更するためには、ヘッドの角度に応じたキャリッジを新たに製造する手間と、その新しいキャリッジにヘッドを取り付け直す手間と、が生じる。 For this reason, in the conventional ink jet apparatus, the ink jet head (or the ink jet head (or the head) is arranged with respect to the direction in which the ejected parts are arranged so that the distance between the two ejected parts matches the distance between the two ejecting nozzles. The direction in which the discharge nozzles are aligned is inclined. However, in such a configuration, when the distance between the two ejection target parts is different for each color filter, it takes time to change the mounting angle of the inkjet head for each color filter. In order to change the mounting angle of the head, it takes time to newly manufacture a carriage according to the angle of the head and time to mount the head to the new carriage.
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、被吐出部の多様なピッチに容易に対応可能な吐出装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above problems, and one of its purposes is to provide a discharge device that can easily cope with various pitches of a discharge target portion.
本発明の吐出装置は、ステージと、前記ステージに対して相対移動するヘッド群と、を備えている。そして、前記ヘッド群はN個のヘッドからなり、前記N個のヘッドのそれぞれは複数のノズルを有し、前記N個のヘッドのそれぞれのX軸方向のノズルピッチが所定値になるように、前記複数のノズルが配置されており、前記ヘッド群の前記X軸方向のノズルピッチが前記所定値の1/N倍になるように、前記N個のヘッドが配置されている。なお、Nは2以上の自然数である。 The ejection device of the present invention includes a stage and a head group that moves relative to the stage. The head group includes N heads, each of the N heads has a plurality of nozzles, and the nozzle pitch in the X-axis direction of each of the N heads is a predetermined value. The plurality of nozzles are arranged, and the N heads are arranged so that the nozzle pitch of the head group in the X-axis direction is 1 / N times the predetermined value. N is a natural number of 2 or more.
上記特徴によれば、ヘッド群のX軸方向のノズルピッチは、ヘッドのX軸方向のノズルピッチの1/N倍の長さである。ここで、Nはヘッド群に含まれるヘッドの数である。このため、吐出装置のX軸方向のノズル線密度を通常のインクジェット装置のX軸方向のノズル線密度よりも高くできる。この結果、多様なピッチで並ぶターゲットに対応できる吐出装置が得られる。 According to the above feature, the nozzle pitch in the X-axis direction of the head group is 1 / N times as long as the nozzle pitch in the X-axis direction of the head. Here, N is the number of heads included in the head group. For this reason, the nozzle line density in the X-axis direction of the ejection apparatus can be made higher than the nozzle line density in the X-axis direction of a normal inkjet apparatus. As a result, it is possible to obtain a discharge device that can deal with targets arranged at various pitches.
好ましくは、前記N個のヘッドのそれぞれにおいて、前記複数のノズルは前記X軸方向に並んでいる。 Preferably, in each of the N heads, the plurality of nozzles are arranged in the X-axis direction.
上記特徴によれば、X軸方向に複数のノズルが並んでいる。このため、X軸方向に延びたターゲット(被吐出部)に対して上記複数のノズルからほぼ同時に液状の材料を吐出できる。この結果、液状の材料を吐出するための駆動信号を、複数のノズルに対して共通にできる。また、一方向に並んだ複数のノズルからの吐出タイミングがほぼ同時なので、駆動信号を遅延させるための回路構成などが不要である。この結果、駆動信号における波形になまりが生じる要因が少なく、このため、精密な駆動波形を用いてヘッドを駆動できる。 According to the above feature, the plurality of nozzles are arranged in the X-axis direction. For this reason, the liquid material can be discharged almost simultaneously from the plurality of nozzles to the target (discharged portion) extending in the X-axis direction. As a result, the drive signal for discharging the liquid material can be made common to the plurality of nozzles. In addition, since the discharge timings from a plurality of nozzles arranged in one direction are almost the same, a circuit configuration for delaying the drive signal is not necessary. As a result, there are few factors that cause rounding in the waveform of the drive signal, and therefore the head can be driven using a precise drive waveform.
本発明の他の態様によれば、前記N個のヘッドのそれぞれにおいて、前記複数のノズルはともに前記X軸方向に延びた第1の列と第2の列とをなしており、前記第1の列および前記第2の列のそれぞれにおいて、前記複数のノズルは前記所定値の2倍のピッチで並んでおり、前記第1の列は前記第2の列に対して前記所定値の長さだけ前記X軸方向にずれている。 According to another aspect of the present invention, in each of the N heads, the plurality of nozzles together form a first row and a second row extending in the X-axis direction. In each of the second row and the second row, the plurality of nozzles are arranged at a pitch twice the predetermined value, and the first row has a length of the predetermined value with respect to the second row. Is displaced in the X-axis direction only.
上記特徴によれば、ヘッドのX軸方向のノズルピッチを小さくすることができる。このため、ヘッドのX軸方向のノズル線密度を大きくできる。 According to the above feature, the nozzle pitch in the X-axis direction of the head can be reduced. For this reason, the nozzle line density in the X-axis direction of the head can be increased.
本発明の他の態様によれば、前記N個のヘッドにおいて、前記複数のノズルはX軸方向に延びたM個の列をなし、前記M個の列のそれぞれにおいて、前記複数のノズルは前記所定値のM倍のピッチで並んでおり、前記M個の列の一つに対して、他の(M−1)個の列は、前記所定値のi倍の長さだけ重複無くX軸方向にずれている。なお、Mは2以上の自然数であり、iは1から(M−1)までの自然数である。 According to another aspect of the present invention, in the N heads, the plurality of nozzles form M rows extending in the X-axis direction, and in each of the M rows, the plurality of nozzles are They are arranged at a pitch of M times a predetermined value, and the other (M−1) columns are X-axis without overlap by a length i times the predetermined value with respect to one of the M columns. It is displaced in the direction. Note that M is a natural number of 2 or more, and i is a natural number from 1 to (M−1).
上記特徴によれば、ヘッドのX軸方向のノズルピッチをさらに小さくすることができる。このため、ヘッドのX軸方向のノズル線密度をさらに大きくできる。 According to the above feature, the nozzle pitch in the X-axis direction of the head can be further reduced. For this reason, the nozzle line density in the X-axis direction of the head can be further increased.
本発明のさらに他の態様によれば、前記N個のヘッドの一つにおける基準ノズルのX座標に対して、他の(N−1)個のヘッドにおける基準ノズルのX座標は、前記所定値のj/N倍の長さだけ重複無くずれている。なお、jは1から(N−1)までの自然数である。 According to still another aspect of the present invention, with respect to the X coordinate of the reference nozzle in one of the N heads, the X coordinate of the reference nozzle in the other (N−1) heads is the predetermined value. Are shifted without overlap by a length of j / N times. Note that j is a natural number from 1 to (N−1).
上記特徴によれば、ヘッド群のX軸方向のノズルピッチをさらに小さくすることができる。このため、ヘッド群のX軸方向のノズル線密度をさらに大きくできる。 According to the above feature, the nozzle pitch in the X-axis direction of the head group can be further reduced. For this reason, the nozzle line density in the X-axis direction of the head group can be further increased.
好ましくは、前記ステージは、被吐出部を有する基体を保持し、前記ヘッド群が前記基体に対して前記Y軸方向に相対移動することで前記複数のノズルの少なくとも1つのノズルが前記被吐出部に対応する領域に侵入する場合には、前記少なくとも1つのノズルから前記被吐出部に液状の材料が吐出され、前記X軸方向と前記Y軸方向とは互いに直交する。 Preferably, the stage holds a base having a discharge target, and the head group moves relative to the base in the Y-axis direction so that at least one nozzle of the plurality of nozzles is the discharge target. When the liquid enters the area corresponding to the above, the liquid material is discharged from the at least one nozzle to the discharge target portion, and the X-axis direction and the Y-axis direction are orthogonal to each other.
上記特徴によれば、被吐出部に効率よく液状の材料を吐出できる。 According to the above feature, the liquid material can be efficiently discharged onto the discharge target portion.
好ましくは、前記被吐出部の平面像は長辺と短辺とで決まるほぼ矩形であり、前記ステージは、前記長辺の方向が前記X軸方向に平行になるとともに前記短辺の方向がY軸方向に平行になるように、前記基体を保持し、前記ヘッド群が前記基体に対して前記Y軸方向に相対移動することで前記複数のノズルの少なくとも2つのノズルが前記被吐出部に対応する領域にほぼ同時に侵入する場合には、前記少なくとも2つのノズルから前記被吐出部に液状の材料がほぼ同時に吐出される。 Preferably, the planar image of the discharged portion is a substantially rectangular shape determined by a long side and a short side, and the stage has a direction of the long side parallel to the X-axis direction and a direction of the short side of Y The substrate is held so as to be parallel to the axial direction, and the head group moves relative to the substrate in the Y-axis direction so that at least two nozzles of the plurality of nozzles correspond to the discharge target portion. In the case of entering into the region to be performed almost simultaneously, the liquid material is discharged from the at least two nozzles to the discharge target portion almost simultaneously.
上記特徴によれば、1回の走査期間内で、必要な体積の液状の材料が被吐出部に吐出され得る。複数のノズルが1つの被吐出部に対して同時に液状の材料を吐出するからである。 According to the above feature, a liquid material having a necessary volume can be discharged to the discharge target portion within one scanning period. This is because a plurality of nozzles simultaneously discharge a liquid material to one discharged portion.
本発明は、種々の態様で実現することが可能であり、例えば、カラーフィルタの製造装置や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置や、プラズマ表示装置の製造装置などの態様で実現することができる。 The present invention can be realized in various aspects, and can be realized in aspects such as a color filter manufacturing apparatus, an electroluminescence display apparatus manufacturing apparatus, and a plasma display apparatus manufacturing apparatus.
本発明の吐出方法は、被吐出部を有する基体をステージ上に載置するステップ(a)と、それぞれが複数のノズルを有するN個のヘッドであって、それぞれのX軸方向のノズルピッチが所定値であるN個のヘッド、を前記基体に対してY軸方向に相対移動するステップ(b)と、を含む吐出方法である。そして、前記ステップ(b)は、1つの走査期間内に、前記N個のヘッドの一つにおける基準ノズルのX座標に対して、他の(N−1)個のヘッドにおける基準ノズルのX座標を、前記所定値のj/N倍の長さだけ重複無くずらしながら、前記N個のヘッドを前記基体に対して前記Y軸方向に相対移動するステップ(b1)を含む。なお、前記X軸方向と前記Y軸方向とは互いに直交する。なお、Nは2以上の自然数であり、jは1から(N−1)までの自然数である。 The discharge method of the present invention includes a step (a) of placing a substrate having a discharge target portion on a stage, and N heads each having a plurality of nozzles, each having a nozzle pitch in the X-axis direction. A step (b) of moving N heads having a predetermined value relative to the substrate in the Y-axis direction. In the step (b), the X coordinate of the reference nozzle in the other (N−1) heads is compared with the X coordinate of the reference nozzle in one of the N heads within one scanning period. (B1) including moving the N heads relative to the base in the Y-axis direction while shifting the length by j / N times the predetermined value without overlap. The X-axis direction and the Y-axis direction are orthogonal to each other. N is a natural number of 2 or more, and j is a natural number from 1 to (N−1).
上記特徴によれば、1つの走査期間内に被吐出部と重なる複数のノズルのX軸方向のピッチは、ヘッドのX軸方向のノズルピッチの1/N倍の長さである。このため、吐出装置のX軸方向のノズル線密度を通常のインクジェット装置のX軸方向のノズル線密度よりも高くできる。 According to the above feature, the pitch in the X-axis direction of the plurality of nozzles that overlap with the ejection target within one scanning period is 1 / N times the nozzle pitch in the X-axis direction of the head. For this reason, the nozzle line density in the X-axis direction of the ejection apparatus can be made higher than the nozzle line density in the X-axis direction of a normal inkjet apparatus.
好ましくは、前記ステップ(b)は、前記X軸方向に並んだ前記複数のノズルをそれぞれが有する前記N個のヘッドを、前記基体に対して前記Y軸方向に相対移動するステップ(b2)を含む。 Preferably, the step (b) includes a step (b2) of relatively moving the N heads, each having the plurality of nozzles arranged in the X-axis direction, in the Y-axis direction with respect to the base. Including.
上記特徴によれば、Y軸方向に並んだ被吐出部に対して複数のノズルから液状の材料を効率よく吐出できる。 According to the above feature, the liquid material can be efficiently discharged from the plurality of nozzles to the discharged portions arranged in the Y-axis direction.
好ましくは、前記吐出方法が、前記ステップ(b)によって前記複数のノズルの少なくとも1つのノズルが前記被吐出部に対応する領域に侵入する場合には、前記少なくとも1つのノズルから前記被吐出部に液状の材料を吐出するステップ(c)をさらに含んでいる。 Preferably, in the discharging method, when at least one nozzle of the plurality of nozzles enters the region corresponding to the discharged portion by the step (b), the at least one nozzle is moved to the discharged portion. The method further includes a step (c) of discharging a liquid material.
上記特徴によれば、被吐出部に液状の材料が塗布される。 According to the above feature, the liquid material is applied to the discharged portion.
好ましくは、前記被吐出部の平面像は長辺と短辺とで決まるほぼ矩形であり、前記ステップ(a)は、前記被吐出部の長辺の方向が前記X軸方向に平行になるとともに前記短辺の方向が前記Y軸方向に平行になるように、前記基体を載置するステップ(a1)を含み、前記ステップ(c)は、前記複数のノズルの少なくとも2つのノズルが前記被吐出部に対応する領域にほぼ同時に侵入する場合には、前記少なくとも2つのノズルから前記被吐出部に液状の材料をほぼ同時に吐出するステップ(c1)をさらに含む。 Preferably, the planar image of the discharged portion is a substantially rectangular shape determined by a long side and a short side, and in step (a), the direction of the long side of the discharged portion is parallel to the X-axis direction. The step (c1) includes placing the base body so that the direction of the short side is parallel to the Y-axis direction. In the step (c), at least two nozzles of the plurality of nozzles are ejected. When entering the region corresponding to the portion almost simultaneously, the method further includes a step (c1) of discharging the liquid material from the at least two nozzles to the portion to be discharged almost simultaneously.
上記特徴によれば、1回の走査期間内で、必要な体積の液状の材料が被吐出部に吐出され得る。複数のノズルが1つの被吐出部に対して同時に液状の材料を吐出するからである。 According to the above feature, a liquid material having a necessary volume can be discharged to the discharge target portion within one scanning period. This is because a plurality of nozzles simultaneously discharge a liquid material to one discharged portion.
[実施例1]
以下では、下記記載の順番に沿って本実施例の吐出装置および吐出方法を説明する。
・A.吐出装置の全体構成
・B.キャリッジ
・C.ヘッド
・D.ヘッド群
・E.制御部
・F.吐出方法の一例
[Example 1]
Below, the discharge apparatus and discharge method of a present Example are demonstrated along the order of the following description.
A. Overall configuration of discharge device Carriage, C.I. Head / D. Head group Control unit F. Example of discharge method
(A.吐出装置の全体構成)
図1に示すように、吐出装置100は、液状の材料111を保持するタンク101と、チューブ110と、チューブ110を介してタンク101から液状の材料111が供給される吐出走査部102と、を備える。吐出走査部102は、複数のヘッド114(図2)を保持するキャリッジ103と、キャリッジ103の位置を制御する第1位置制御装置104と、後述する基体10Aを保持するステージ106と、ステージ106の位置を制御する第2位置制御装置108と、制御部112と、を備えている。タンク101と、キャリッジ103における複数のヘッド114と、はチューブ110で連結されており、タンク101から複数のヘッド114のそれぞれに液状の材料111が圧縮空気によって供給される。
(A. Overall configuration of discharge device)
As shown in FIG. 1, the
第1位置制御装置104は、制御部112からの信号に応じて、キャリッジ103をX軸方向、およびX軸方向に直交するZ軸方向に沿って移動させる。さらに、第1位置制御装置104は、Z軸に平行な軸の回りでキャリッジ103を回転させる機能も有する。本実施例では、Z軸方向は、鉛直方向(つまり重力加速度の方向)に平行な方向である。第2位置制御装置108は、制御部112からの信号に応じて、X軸方向およびZ軸方向の双方に直交するY軸方向に沿ってステージ106を移動させる。さらに、第2位置制御装置108は、Z軸に平行な軸の回りでステージ106を回転させる機能も有する。なお、本明細書では、第1位置制御装置104および第2位置制御装置108を、「走査部」と表記することもある。
The first
ステージ106は、X軸方向とY軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ106は、所定の材料を塗布すべき被吐出部を有する基体をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。なお、本明細書では、被吐出部を有する基体を「受容基板」と表記することもある。
The
本明細書におけるX軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向は、キャリッジ103およびステージ106のどちらか一方が他方に対して相対移動する方向に一致している。また、X軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向を規定するXYZ座標系の仮想的な原点は、吐出装置100の基準部分に固定されている。本明細書において、X座標、Y座標、およびZ座標とは、このようなXYZ座標系における座標である。なお、上記の仮想的な原点は、基準部分だけでなく、ステージ106に固定されていてもよいし、キャリッジ103に固定されていてもよい。
In this specification, the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction coincide with the direction in which one of the
上述のように、キャリッジ103は第1位置制御装置104によってX軸方向に移動させられる。一方、ステージ106は第2位置制御手段108によってY軸方向に移動させられる。つまり、第1位置制御装置104および第2位置制御装置108によって、ステージ106に対するヘッド114の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、キャリッジ103、ヘッド群114G(図2)、ヘッド114、またはノズル118(図3)は、ステージ106上で位置決めされた被吐出部に対して、Z軸方向に所定の距離を保ちながら、X軸方向およびY軸方向に相対的に移動、すなわち相対的に走査する。ここで、静止した被吐出部に対してキャリッジ103がY軸方向に移動してもよい。そしてキャリッジ103がY軸方向に沿って所定の2点間を移動する期間内に、静止した被吐出部に対してノズル118から材料111を吐出してもよい。「相対移動」または「相対走査」とは、液状の材料111を吐出する側と、そこからの吐出物が着弾する側(被吐出部側)の少なくとも一方を他方に対して移動することを含む。
As described above, the
さらに、キャリッジ103、ヘッド群114G(図2)、ヘッド114、またはノズル118(図3)が相対移動するとは、ステージ、基体、または被吐出部に対するこれらの相対位置が変わることである。このため、本明細書では、キャリッジ103、ヘッド群114G、ヘッド114、またはノズル118が吐出装置100に対して静止して、ステージ106のみが移動する場合であっても、キャリッジ103、ヘッド群114G、ヘッド114、またはノズル118が、ステージ106、基体、または被吐出部に対して相対移動すると表記する。また、相対走査または相対移動と、材料の吐出と、の組合せを指して「塗布走査」と表記することもある。
Furthermore, the relative movement of the
キャリッジ103およびステージ106は上記以外の平行移動および回転の自由度をさらに有している。ただし、本実施例では、上記自由度以外の自由度に関する記載は説明を平易にする目的で省略されている。
The
制御部112は、液状の材料111を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。制御部112の詳細な構成および機能は、後述する。
The
(B.キャリッジ)
図2は、キャリッジ103をステージ106側から観察した図であり、図2の紙面に垂直な方向がZ軸方向である。また、図2の紙面の左右方向がX軸方向であり、紙面の上下方向がY軸方向である。
(B. Carriage)
FIG. 2 is a view of the
図2に示すように、キャリッジ103は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数のヘッド114を保持している。本実施例では、キャリッジ103に保持されるヘッド114の数は24個である。それぞれのヘッド114は、後述する複数のノズル118が設けられた底面を有している。それぞれのヘッド114のこの底面の形状は、2つの長辺と2つの短辺とを有する多角形である。図2に示すように、キャリッジ103に保持されたヘッド114の底面はステージ106側を向いており、さらに、ヘッド114の長辺方向と短辺方向とは、それぞれX軸方向とY軸方向とに平行である。なお、ヘッド114同士の相対位置関係の詳細は、後述する。
As shown in FIG. 2, the
本明細書では、Y軸方向に隣接する4つのヘッド114を「ヘッド群114G」と表記することもある。この表記によれば、図2のキャリッジ103は、6つのヘッド群114Gを保持していると表現し得る。
In the present specification, the four
(C.ヘッド)
図3は、ヘッド114の底面を示す。ヘッド114は、X軸方向に並んだ複数のノズル118を有する。これら複数のノズル118は、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPが約70μmとなるように配置されている。ここで、「ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXP」は、ヘッド114におけるノズル118のすべてをY軸方向に沿ってX軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
(C. Head)
FIG. 3 shows the bottom surface of the
本実施例では、ヘッド114における複数のノズル118は、ともにX軸方向に延びるノズル列116Aと、ノズル列116Bと、をなす。ノズル列116Aと、ノズル列116Bとは、Y軸方向に並んでいる。そして、ノズル列116Aおよびノズル列116Bのそれぞれにおいて、90個のノズル118が一定間隔でX軸方向に一列に並んでいる。本実施例では、この一定間隔は約140μmである。つまり、ノズル列116AのノズルピッチLNPおよびノズル列116BのノズルピッチLNPは、ともに約140μmである。
In this embodiment, the plurality of
ノズル列116Bの位置は、ノズル列116Aの位置に対して、ノズルピッチLNPの半分の長さ(約70μm)だけX軸方向の正の方向(図3の右方向)にずれている。このため、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPは、ノズル列116A(またはノズル列116B)のノズルピッチLNPの半分の長さ(約70μm)である。
The position of the
したがって、ヘッド114のX軸方向のノズル線密度は、ノズル列116A(またはノズル列116B)のノズル線密度の2倍である。なお、本明細書において「X軸方向のノズル線密度」とは、複数のノズルをY軸方向に沿ってX軸上に射像して得られた複数のノズル像の単位長さ当たりの数に相当する。
Therefore, the nozzle line density in the X-axis direction of the
もちろん、ヘッド114が含むノズル列の数は、2つだけに限定されない。ヘッド114はM個のノズル列を含んでもよい。ここで、Mは1以上の自然数である。この場合には、M個のノズル列のそれぞれにおいて複数のノズル118は、ノズルピッチHXPのM倍の長さのピッチで並ぶ。さらに、Mが2以上の自然数の場合には、M個のノズル列のうちの一つに対して、他の(M−1)個のノズル列は、ノズルピッチHXPのi倍の長さだけ重複無くX軸方向にずれている。ここで、iは1から(M−1)までの自然数である。
Of course, the number of nozzle rows included in the
さて、ノズル列116Aおよびノズル列116Bのそれぞれが90個のノズル118からなるため、1つのヘッド114は180個のノズル118を有する。ただし、ノズル列116Aの両端のそれぞれ5ノズルは「休止ノズル」として設定されている。同様に、ノズル列116Bの両端のそれぞれ5ノズルも「休止ノズル」として設定されている。そして、これら20個の「休止ノズル」からは液状の材料111が吐出されない。このため、ヘッド114における180個のノズル118のうち、160個のノズル118が液状の材料111を吐出するノズルとして機能する。本明細書では、これら160個のノズル118を「吐出ノズル」と表記することもある。
Now, since each of the nozzle row 116 </ b> A and the nozzle row 116 </ b> B includes 90
本明細書では、ヘッド114同士の相対位置関係を説明する目的で、ノズル列116Aに含まれる90個のノズル118のうち、左から6番目のノズル118をヘッド114の「基準ノズル118R」と表記する。つまり、ノズル列116Aにおける80個の吐出ノズルのうち、最も左側の吐出ノズルがヘッド114の「基準ノズル118R」である。なお、すべてのヘッド114に対して、「基準ノズル118R」の指定の仕方が同じであればよいので、「基準ノズル118R」の位置は、上記位置でなくてもよい。
In the present specification, for the purpose of explaining the relative positional relationship between the
図4(a)および(b)に示すように、それぞれのヘッド114は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれのヘッド114は、振動板126と、ノズルプレート128と、を備えている。振動板126と、ノズルプレート128と、の間には、タンク101から孔131を介して供給される液状の材料111が常に充填される液たまり129が位置している。
As shown in FIGS. 4A and 4B, each
また、振動板126と、ノズルプレート128と、の間には、複数の隔壁122が位置している。そして、振動板126と、ノズルプレート128と、1対の隔壁122と、によって囲まれた部分がキャビティ120である。キャビティ120はノズル118に対応して設けられているため、キャビティ120の数とノズル118の数とは同じである。キャビティ120には、1対の隔壁122間に位置する供給口130を介して、液たまり129から液状の材料111が供給される。
In addition, a plurality of
振動板126上には、それぞれのキャビティ120に対応して、振動子124が位置する。振動子124は、ピエゾ素子124Cと、ピエゾ素子124Cを挟む1対の電極124A、124Bと、を含む。この1対の電極124A、124Bとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル118から液状の材料111が吐出される。なお、ノズル118からZ軸方向に液状の材料111が吐出されるように、ノズル118の形状が調整されている。
On the
ここで、本明細書において「液状の材料」とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。ノズルから吐出可能な流動性(粘度)を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。 Here, the “liquid material” in this specification refers to a material having a viscosity that can be discharged from a nozzle. In this case, it does not matter whether the material is aqueous or oily. It is sufficient if it has fluidity (viscosity) that can be discharged from the nozzle, and even if a solid substance is mixed, it may be a fluid as a whole.
制御部112(図1)は、複数の振動子124のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル118から吐出される材料111の体積が、制御部112からの信号に応じてノズル118毎に制御されてもよい。そのような場合には、ノズル118のそれぞれから吐出される材料111の体積は、0pl〜42pl(ピコリットル)の間で可変にしてもよい。また、制御部112は、後述するように、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル118と、吐出動作を行わないノズル118と、を設定することでもできる。
The control unit 112 (FIG. 1) may be configured to give a signal to each of the plurality of
本明細書では、1つのノズル118と、ノズル118に対応するキャビティ120と、キャビティ120に対応する振動子124と、を含んだ部分を「吐出部127」と表記することもある。この表記によれば、1つのヘッド114は、ノズル118の数と同じ数の吐出部127を有する。吐出部127は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部127は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
In this specification, a portion including one
(D.ヘッド群)
次に、ヘッド群114Gにおける4つのヘッド114の相対位置関係を説明する。図5には、図2のキャリッジ103においてY軸方向に隣接する2つのヘッド群114Gが示されている。
(D. Head group)
Next, the relative positional relationship of the four
図5に示すように、それぞれのヘッド群114Gは、4つのヘッド114からなる。そして、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチGXPが、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPの1/4倍の長さとなるように、ヘッド群114において4つのヘッド114が配置されている。より具体的には、1つのヘッド114の基準ノズル118RのX座標に対して、他のヘッド114の基準ノズル118RのX座標が、ノズルピッチHXPのj/4倍の長さだけ、X軸方向に重複無くずれて位置している。ここで、jは1から3までの自然数である。このため、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチGXPは、ノズルピッチHXPの1/4倍である。
As shown in FIG. 5, each
本実施例では、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPは約70μmだから、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチGXPは、その1/4倍の約17.5μmである。ここで、「ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチGXP」は、ヘッド群114Gにおけるノズル118のすべてを、Y軸方向に沿ってX軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
In the present embodiment, since the nozzle pitch HXP in the X-axis direction of the
もちろん、ヘッド群114Gが含むヘッド114の数は、4つだけに限定されない。ヘッド群114GはN個のヘッド114からなってもよい。ここで、Nは2以上の自然数である。この場合には、ノズルピッチGXPがノズルピッチHXPの1/N倍の長さになるように、ヘッド群114GにおいてN個のヘッド114が配置されればよい。あるいは、N個のヘッド114の一つにおける基準ノズル118RのX座標に対して、他の(N−1)個のヘッド114における基準ノズル118のX座標が、ノズルピッチHXPのj/N倍の長さだけ重複無くずれていればよい。なお、この場合には、jは1から(N−1)までの自然数である。
Of course, the number of
以下では、本実施例のヘッド114の相対位置関係をより具体的に説明する。
Hereinafter, the relative positional relationship of the
まず、説明を平易にする目的で、図5の左上のヘッド群114Gに含まれる4つのヘッド114を、Y軸方向の負の方向(図5の下方向)に向かって、ヘッド1141、ヘッド1142、ヘッド1143、ヘッド1144と表記する。同様に、図5の右下のヘッド群114Gに含まれる4つのヘッド114を、上からそれぞれヘッド1145、ヘッド1146、ヘッド1147、ヘッド1148と表記する。
First, for the purpose of simplifying the description, the four
そして、ヘッド1141におけるノズル列116A、116Bをノズル列1A、1Bと表記し、ヘッド1142におけるノズル列116A、116Bをノズル列2A、2Bと表記し、ヘッド1143におけるノズル列116A、116Bをノズル列3A、3Bと表記し、ヘッド1144におけるノズル列116A、116Bをノズル列4A、4Bと表記する。同様に、ヘッド1145におけるノズル列116A、116Bをノズル列5A、5Bと表記し、ヘッド1146におけるノズル列116A、116Bをノズル列6A、6Bと表記し、ヘッド1147におけるノズル列116A、116Bをノズル列7A、7Bと表記し、ヘッド1148におけるノズル列116A、116Bをノズル列8A、8Bと表記する。
The
これらノズル列1A〜8Bのそれぞれは、実際には90個のノズル118からなる。そして、上述したように、ノズル列1A〜8Bのそれぞれにおいて、これら90個のノズルは、X軸方向に並んでいる。ただし、図5では説明の便宜上、ノズル列1A〜8Bのそれぞれが、4つの吐出ノズル(ノズル118)からなるように描かれている。さらに、図5では、ノズル列1Aの最も左のノズル118がヘッド1141の基準ノズル118Rであり、ノズル列2Aの最も左のノズル118がヘッド1142の基準ノズル118Rであり、ノズル列3Aの最も左のノズル118がヘッド1143の基準ノズル118Rであり、ノズル列4Aの最も左のノズル118がヘッド1144の基準ノズル118Rであり、ノズル列5Aの最も左のノズル118がヘッド1145の基準ノズル118Rである。
Each of these
そして、ヘッド1142の基準ノズル118Rの位置(またはX座標)は、ヘッド1141の基準ノズル118Rの位置(またはX座標)から約17.5μmだけX軸方向の正の方向(図5の右方向)にずれている。そして、ヘッド1143の基準ノズル118Rの位置は、ヘッド1142の基準ノズル118Rの位置から約17.5μmだけX軸方向の正の方向にずれている。さらに、ヘッド1144の基準ノズル118Rの位置は、ヘッド1143の基準ノズル118Rの位置から約17.5μmだけX軸方向の正の方向にずれている。なお、あるヘッドが他のヘッドに対してずれる方向は、X軸方向の正の方向だけでなく、負の方向(図5の左方向)でもよい。
The position (or X coordinate) of the
上記配置によって、ノズル列1Aの最も左のノズル118のX座標とノズル列1Bの最も左のノズル118のX座標との間に、ノズル列2Aの最も左のノズル118のX座標と、ノズル列3Aの最も左のノズル118のX座標と、ノズル列4Aの最も左のノズル118のX座標と、が収まる。同様に、ノズル列1Bの最も左のノズル118のX座標とノズル列1Aの左から2番目のノズル118のX座標との間に、ノズル列2Bの最も左のノズル118のX座標と、ノズル列3Bの最も左のノズル118のX座標と、ノズル列4Bの最も左のノズル118のX座標と、が収まる。ノズル列1Aの他のノズル118のX座標と、ノズル列1Bの他のノズル118のX座標と、の間にも、同様にノズル列2A(または2B)のノズル118のX座標、ノズル列3A(または3B)のノズル118のX座標、ノズル列4A(または4B)のノズル118のX座標が収まる。
With the above arrangement, the X coordinate of the
本実施例では、ヘッド1141の基準ノズル118RのX座標に対して、ヘッド1142、1143、1144の基準ノズルのX座標が、ノズルピッチHXPの1/4倍の長さ、ノズルピッチHXPの2/4倍の長さ、ノズルピッチHXPの3/4倍の長さだけそれぞれずれている。しかしながら、4つのヘッド114の配置はこのような配置に限定されず、1つのヘッド114の基準ノズル118RのX座標に対して、他のヘッドの基準ノズル118RのX座標が、ノズルピッチHXPのj/4倍の長さだけX軸方向に重複無くずれて位置していればよい。ここで、jは1から3までの自然数である。
In this embodiment, the X coordinate of the reference nozzles of the
図5の右下のヘッド群114Gにおけるヘッド1145、1146、1147、1148の配置、つまりコンフィギュレーションも、ヘッド1141、1142、1143、1144の配置と同様である。
The arrangement of the
X軸方向に互いに隣接する2つのヘッド群114Gの間の相対位置関係を、ヘッド1145とヘッド1141との間の相対位置関係に基づいて説明する。
The relative positional relationship between the two
ヘッド1145の基準ノズル118Rの位置は、ヘッド1141の基準ノズル118Rの位置から、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPと、ヘッド114における吐出ノズルの数と、の積の長さだけX軸方向の正の方向にずれている。本実施例では、ノズルピッチHXPは約70μmであるとともに、1つのヘッド114における吐出ノズルの数は160個なので、ヘッド1145の基準ノズル118Rの位置は、ヘッド1141の基準ノズル118Rの位置から11.2mm(70μm×160)だけX軸方向の正の方向にずれている。ただし、図5では、説明の便宜上、ヘッド1141における吐出ノズルの数は8個なので、ヘッド1145の基準ノズル118Rの位置が、ヘッド1141の基準ノズル1141の位置から560μm(70μm×8)だけX軸方向にずれているように描かれている。
The position of the
ヘッド1141とヘッド1145とが上述のように配置されているので、ノズル列1Aの最も右の吐出ノズルのX座標と、ノズル列5Aの最も左の吐出ノズルのX座標とは、ノズルピッチLNPだけずれている。このため、2つのヘッド114G全体のX軸方向のノズルピッチは、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPの1/4倍である。
Since the
また、キャリッジ103全体としてのX軸方向のノズルピッチも、17.5μm、すなわち、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPの1/4倍の長さになるように、6つのヘッド群114Gが配置されている。
In addition, the six
(E.制御部)
次に、制御部112の構成を説明する。図6に示すように、制御部112は、入力バッファメモリ200と、記憶手段202と、処理部204と、走査駆動部206と、ヘッド駆動部208と、を備えている。バッファメモリ202と処理部204とは相互に通信可能に接続されている。処理部204と記憶手段202とは、相互に通信可能に接続されている。処理部204と走査駆動部206とは相互に通信可能に接続されている。処理部204とヘッド駆動部20とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部206は、第1位置制御手段104および第2位置制御手段108と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部208は、複数のヘッド114のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
(E. Control part)
Next, the configuration of the
入力バッファメモリ200は、外部情報処理装置から液状の材料111の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。吐出データは、基体上のすべての被吐出部の相対位置を表すデータと、すべての被吐出部に液状の材料111を所望の厚さにまで塗布するのに必要となる相対走査の回数を示すデータと、オンノズル118Aとして機能するノズル118を指定するデータと、オフノズル118Bとして機能するノズル118を指定するデータと、を含む。オンノズル118Aおよびオフノズル118Bの説明は後述する。入力バッファメモリ200は、吐出データを処理部204に供給し、処理部204は吐出データを記憶手段202に格納する。図6では、記憶手段202はRAMである。
The
処理部204は、記憶手段202内の吐出データに基づいて、被吐出部に対するノズル118の相対位置を示すデータを走査駆動部206に与える。走査駆動部206はこのデータと、後述する吐出周期EP(図7)と、に応じた駆動信号を第1位置制御手段104および第2位置制御手段108に与える。この結果、被吐出部に対してヘッド114が相対走査する。一方、処理部204は、記憶手段202に記憶された吐出データと、吐出周期EPと、に基づいて、吐出タイミング毎のノズル118のオン・オフを指定する選択信号SCをヘッド駆動部208へ与える。ヘッド駆動部208は、選択信号SCに基づいて、液状の材料111の吐出に必要な吐出信号ESをヘッド114に与える。この結果、ヘッド114における対応するノズル118から、液状の材料111が液滴として吐出される。
The
制御部112は、CPU、ROM、RAMを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御部112の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部112は、専用の回路(ハードウェア)によって実現されてもよい。
The
次に制御部112におけるヘッド駆動部208の構成と機能を説明する。
Next, the configuration and function of the
図7(a)に示すように、ヘッド駆動部208は、1つの駆動信号生成部203と、複数のアナログスイッチASと、を有する。図7(b)に示すように、駆動信号生成部203は駆動信号DSを生成する。駆動信号DSの電位は、基準電位Lに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号DSは、吐出周期EPで繰り返される複数の吐出波形Pを含む。ここで、吐出波形Pは、ノズル118から1つの液滴を吐出するために、対応する振動子124の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
As shown in FIG. 7A, the
駆動信号DSは、アナログスイッチASのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチASのそれぞれは、吐出部127のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチASの数と吐出部127の数(つまりノズル118の数)とは同じである。
The drive signal DS is supplied to each input terminal of the analog switch AS. Each of the analog switches AS is provided corresponding to each of the
処理部204は、ノズル118のオン・オフを表す選択信号SCを、アナログスイッチASのそれぞれに与える。ここで、選択信号SCは、アナログスイッチAS毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチASは、駆動信号DSと選択信号SCとに応じて、振動子124の電極124Aに吐出信号ESを供給する。具体的には、選択信号SCがハイレベルの場合には、アナログスイッチASは電極124Aに吐出信号ESとして駆動信号DSを伝播する。一方、選択信号SCがローレベルの場合には、アナログスイッチASが出力する吐出信号ESの電位は基準電位Lとなる。振動子124の電極124Aに駆動信号DSが与えられると、その振動子124に対応するノズル118から液状の材料111が吐出される。なお、それぞれの振動子124の電極124Bには基準電位Lが与えられている。
The
図7(b)に示す例では、2つの吐出信号ESのそれぞれにおいて、吐出周期EPの2倍の周期2EPで吐出波形Pが現れるように、2つの選択信号SCのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する2つのノズル118のそれぞれから、周期2EPで液状の材料111が吐出される。また、これら2つのノズル118に対応する振動子124のそれぞれには、共通の駆動信号生成部203からの共通の駆動信号DSが与えられている。このため、2つのノズル118からほぼ同じタイミングで液状の材料111が吐出される。
In the example shown in FIG. 7B, a high-level period is set in each of the two selection signals SC so that the discharge waveform P appears in the cycle 2EP that is twice the discharge cycle EP in each of the two discharge signals ES. A low-level period is set. As a result, the
以上の構成によって、吐出装置100は、制御部112に与えられた吐出データに応じて、液状の材料111の塗布走査を行う。
With the above configuration, the
(F.吐出方法の一例)
図8(a)および(b)を参照しながら、X軸方向に平行なストライプ状のターゲット、すなわち被吐出部18L、に対して、吐出装置100が液状の材料111を吐出する方法を説明する。なお、図8(a)に示す例では、キャリッジ103のY軸方向への相対移動によって、図5で説明したヘッド1141、1142、1143、1144、1145が、この順番で被吐出部18Lと重なり合う。
(F. Example of discharge method)
With reference to FIGS. 8A and 8B, description will be given of a method in which the
図8(a)に示すように、まず、キャリッジ103がステージ106に対してY軸方向に相対移動し始める。そして、ノズル列1Aが被吐出部18Lに重なると、ノズル列1Aに含まれるノズル118から、被吐出部18Lに対して材料111が同時に吐出される。図8(b)のラベル「1A」の右には、ノズル列1Aの吐出による着弾位置が黒丸で描かれている。図8(b)に示すように、ノズル列1Aの吐出によって、X軸方向にほぼ140μmのピッチで液状の材料111が被吐出部18Lに着弾する。
As shown in FIG. 8A, first, the
ノズル列1Aの次に、ノズル列1Bが被吐出部18Lに重なる。ノズル列1Bが被吐出部18Lに重なると、ノズル列1Bに含まれるノズル118から、被吐出部18Lに対して液状の材料111が同時に吐出される。図8(b)のラベル「1B」の右には、ノズル列1Bの吐出による着弾位置が黒丸で描かれている。図8(b)に示すように、ノズル列1Bの吐出によって、X軸方向にほぼ140μmのピッチで液状の材料111が被吐出部18Lに着弾する。ただし、ノズル列1Bの吐出による着弾位置と、ノズル列1Bに先行するノズル列1Aの吐出による着弾位置との間の距離は、ほぼ70μmである。なお、図8(b)のラベル「1B」の右には、ノズル列1Bに先行するノズル列の吐出による着弾位置が白丸で描かれている。
Next to the
ノズル列1Bの次に、ノズル列2Aが被吐出部18Lに重なる。ノズル列2Aが被吐出部18Lに重なると、ノズル列2Aに含まれるノズル118から、被吐出部18Lに対して液状の材料111が同時に吐出される。図8(b)のラベル「2A」の右には、ノズル列2Aの吐出による着弾位置が黒丸で描かれている。図8(b)に示すように、ノズル列2Aの吐出によって、X軸方向にほぼ140μmのピッチで液状の材料111が被吐出部18Lに着弾する。ただし、ノズル列2Aの吐出による着弾位置と、ノズル列2Aに先行するノズル列の吐出による着弾位置との間の最短距離は、ほぼ17.5μmである。なお、図8(b)のラベル「2A」の右には、ノズル列2Aに先行するノズル列による着弾位置が白丸で描かれている。
Next to the
ノズル列2Aの次に、ノズル列2Bが被吐出部18Lに重なる。ノズル列2Bが被吐出部18Lに重なると、ノズル列2Bに含まれるノズル118から、被吐出部18Lに対して液状の材料111が同時に吐出される。図8(b)のラベル「2B」の右には、ノズル列2Bの吐出による着弾位置が黒丸で描かれている。図8(b)に示すように、ノズル列2Bの吐出によって、X軸方向にほぼ140μmのピッチで液状の材料が被吐出部18Lに着弾する。ただし、ノズル列2Bの吐出による着弾位置と、ノズル列2Bに先行するノズル列の吐出による着弾位置との間の最短距離は、ほぼ17.5μmである。なお、図8(b)のラベル「2B」の右には、ノズル列2Bに先行するノズル列の吐出による着弾位置が白丸で描かれている。
Next to the
その後、ノズル列3A、3B、4A、4B、5A、5Bがこの順番で被吐出部18Lに重なり、ノズル列3A、3B、4A、4B、5A、5Bのそれぞれから被吐出部18Lに対して、ノズル列1A、1B、2A、2Bと同様に液状の材料111が吐出される。この結果、ヘッド群114Gが被吐出部18Lに対してY軸方向に1回だけ相対移動する間に、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPの1/4倍の長さ、すなわち17.5μm、のピッチで液状の材料111が着弾する。
Thereafter, the
上記のストライプ状の被吐出部18Lの例の一つは、金属配線が形成されるための部分である。したがって、本実施例の吐出装置100は、液状の配線材料を吐出することで金属配線を製造する配線製造装置に適用できる。例えば、後述のプラズマ表示装置50(図20〜22)における支持基板52上にアドレス電極54を形成する配線製造装置に適用できる。
One example of the stripe-shaped discharged
本実施例によれば、吐出装置100において、キャリッジ103が相対移動する方向(Y軸方向)に直交する方向(X軸方向)に、複数のノズル118が並んでいる。このため、X軸方向に延びた被吐出部18Lに対して、複数のノズル118からほぼ同時に液状の材料111を吐出できる。この結果、駆動信号DSを生成する駆動信号生成部203は、複数のノズル118に対して1つでよい。また、一方向に並んだ複数のノズル118からの吐出タイミングがほぼ同時なので、駆動信号生成部203からの駆動信号DSを遅延させるための回路構成などが不要である。この結果、駆動信号DSにおける波形になまりが生じる要因が少なく、このため、精密な吐出波形Pを振動子124に印加することができる。したがって、ノズル118からの液状の材料111の吐出がより安定している。
According to the present embodiment, in the
また本実施例によれば、吐出装置100において、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチは、ヘッドのX軸方向のノズルピッチの1/N倍の長さである。ここで、Nはヘッド群114Gに含まれるヘッド114の数である。このため、吐出装置100のX軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のX軸方向のノズル線密度よりも高い。この結果、キャリッジ103をY軸方向に1回だけ相対移動する期間内に、X軸方向に沿ってより細密な着弾パターンを形成できる。
[実施例2]
According to the present embodiment, in the
[Example 2]
本発明をカラーフィルタ基板の製造装置に適用した例を説明する。 An example in which the present invention is applied to a color filter substrate manufacturing apparatus will be described.
図9(a)および(b)に示す基体10Aは、後述する製造装置1(図10)による処理を経て、カラーフィルタ基板10となる基板である。基体10Aは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部18R、18G、18Bを有する。
A
具体的には、基体10Aは、光透過性を有する支持基板12と、支持基板12上に形成されたブラックマトリクス14と、ブラックマトリクス14上に形成されたバンク16と、を含む。ブラックマトリクス14は遮光性を有する材料で形成されている。そして、ブラックマトリクス14とブラックマトリクス14上のバンク16とは、支持基板12上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素領域、が規定されるように位置している。
Specifically, the
それぞれの画素領域において、支持基板12、ブラックマトリクス14、およびバンク16で規定される凹部は、被吐出部18R、被吐出部18G、被吐出部18Bに対応する。被吐出部18Rは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層111FRが形成されるべき領域であり、被吐出部18Gは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層111FGが形成されるべき領域であり、被吐出部18Bは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層111FBが形成されるべき領域である。
In each pixel region, the recesses defined by the
図9(b)に示す基体10Aは、X軸方向とY軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の被吐出部18R,18G、18Bが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれX軸方向およびY軸方向と平行である。基体10Aにおいて、被吐出部18R、被吐出部18G、および被吐出部18Bは、Y軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、被吐出部18R同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでおり、また、被吐出部18G同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでおり、そして、被吐出部18B同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでいる。なお、X軸方向およびY軸方向は互いに直交する。
The
被吐出部18R同士のY軸方向に沿った間隔LRY、すなわちピッチは、ほぼ560μmである。この間隔は、被吐出部18G同士のY軸方向に沿った間隔LGYと同じであり、被吐出部18B同士のY軸方向に沿った間隔LBYとも同じである。また、被吐出部18Rの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、被吐出部18RのY軸方向の長さはほぼ100μmであり、X軸方向の長さはほぼ300μmである。被吐出部18Gおよび被吐出部18Bも被吐出部18Rと同じ形状・大きさを有している。被吐出部同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、40インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。
The interval LRY along the Y-axis direction between the discharged
図10に示す製造装置1は、図9の基体10Aの被吐出部18R、18G、18Bのそれぞれに対して、対応するカラーフィルタ材料を吐出する装置である。具体的には、製造装置1は、被吐出部18Rのすべてにカラーフィルタ材料111Rを塗布する吐出装置100Rと、被吐出部18R上のカラーフィルタ材料111Rを乾燥させる乾燥装置150Rと、被吐出部18Gのすべてにカラーフィルタ材料111Gを塗布する100Gと、被吐出部18G上のカラーフィルタ材料111Gを乾燥させる乾燥装置150Gと、被吐出部18Bのすべてにカラーフィルタ材料111Bを塗布する100Bと、被吐出部18Bのカラーフィルタ材料111Bを乾燥させる乾燥装置150Bと、カラーフィルタ材料111R、111G、111Bを再度加熱(ポストベーク)するオーブン160と、ポストベークされたカラーフィルタ材料111R,111G、111Bの層の上に保護膜20を設ける吐出装置100Cと、保護膜20を乾燥させる乾燥装置150Cと、乾燥された保護膜20を再度加熱して硬化する硬化装置165と、を備えている。さらに製造装置1は、吐出装置100R、乾燥装置150R、吐出装置100G、乾燥装置150G、吐出装置100B、乾燥装置150B、吐出装置100C、乾燥装置150C、硬化装置165の順番に基体10Aを搬送する搬送装置170も備えている。
A
図11に示すように、吐出装置100Rの構成は、実施例1の吐出装置100の構成と基本的に同じである。ただし、タンク101とチューブ110とに代えて、吐出装置100Rが液状のカラーフィルタ材料111R用のタンク101Rとチューブ110Rとを備える点で、吐出装置100Rの構成は吐出装置100の構成と異なる。なお、吐出装置100Rの構成要素のうち、吐出装置100の構成要素と同様なものには実施例1と同じ参照符号を付して、重複する説明を省略する。
As shown in FIG. 11, the configuration of the
吐出装置100Gの構成と、吐出装置100Bの構成と、吐出装置100Cの構成とは、いずれも基本的に吐出装置100Rの構造と同じある。ただし、吐出装置100Rにおけるタンク101Rとチューブ110Rとの代わりに、吐出装置100Gがカラーフィルタ材料111G用のタンクとチューブとを備える点で、吐出装置100Gの構成は吐出装置100Rの構成と異なる。同様に、タンク101Rとチューブ110Rとの代わりに、吐出装置100Bがカラーフィルタ材料111B用のタンクとチューブとを備える点で、吐出装置100Bの構成は吐出装置100Rの構成と異なる。さらに、タンク101Rとチューブ110Rとの代わりに、吐出装置100Cが保護膜材料用のタンクとチューブとを備える点で吐出装置100Cの構成は吐出装置100Rの構成と異なる。なお、本実施例における液状のカラーフィルタ材料111R,111G、111Bは、本発明の液状の材料の一例である。
The configuration of the
次に、吐出装置100Rの動作を説明する。吐出装置100Rは、基体10A上でマトリクス状に配置された複数の被吐出部18Rに同一の材料を吐出する。なお、実施例3〜5において説明するように、基体10Aは、エレクトロルミネッセンス表示装置用の基板に置き換わってもよいし、プラズマ表示装置用の背面基板に置き換わってもよいし、電子放出素子を備えた画像表示装置の基板に置き換わってもよい。
Next, the operation of the
図12の基体10Aは、被吐出部18Rの長辺方向および短辺方向がそれぞれX軸方向およびY軸方向に一致するように、ステージ106に保持されている。
The
まず、第1の走査期間が始る前に、制御部112は、吐出データに応じて、いくつかのノズル118のX座標が被吐出部18RのX座標範囲に収まるように、キャリッジ103、すなわちヘッド群114G、を基体10Aに対してX軸方向に相対移動させる。被吐出部18RのX座標範囲とは、被吐出部18Rの両端のX座標で決まる範囲である。本実施例では、被吐出部18Rの長辺の長さは約300μmであり、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチHXPは17.5μmである。このため、ヘッド群114Gにおける16個または17個のノズル118が、1つの被吐出部18RのX座標範囲に入る。X座標範囲外のノズル118からは、走査期間の内になんらカラーフィルタ材料111Rは吐出されない。
First, before the first scanning period starts, the
ところで、本実施例において「走査期間」とは、図29に示すように、キャリッジ103の一辺がY軸方向に沿って走査範囲134の一端E1(または他端E2)から他端E2(または一端E1)まで相対移動を1回行う期間を意味する。「走査範囲134」とは、基体10A上のすべての被吐出部18Rに材料を塗布するためにキャリッジ103が相対移動する範囲を意味し、走査範囲134によってすべての被吐出部18Rが覆われている。なお、場合によって、用語「走査範囲」は、1つのノズル118が相対移動する範囲を意味することもあるし、1つのノズル列116が相対移動する範囲を意味することもあるし、1つのヘッド114が相対移動する範囲を意味することもある。
By the way, in this embodiment, as shown in FIG. 29, the “scanning period” means that one side of the
制御部112は、吐出周期EP(図7(b))の整数倍の時間間隔毎に、1つのノズル118とY軸方向に並んだ被吐出部18Rとが重なるように、キャリッジ103の相対移動の速度を決定する。そうすれば、その1つのノズル118を含むノズル列における他のノズル118も、吐出周期EPの整数倍の時間間隔毎に、それぞれの被吐出部18Rと重なる。本実施例では、被吐出部18RのY軸方向のピッチがLRY(図9(b))なので、ステージ106に対するキャリッジ103の相対移動の速度をVとすると、V=LRY/(k・EP)である。ここで、kは整数である。
The
第1の走査期間が始ると、走査範囲134の一端E1からY軸方向の正の方向(図12の紙面上方向)に、ヘッド群114Gが相対移動し始める。そうすると、ノズル列1A、1B、2A、2B、3A、3B、4A、4Bの順番で、これらのノズル列が被吐出部18Rに対応する領域に侵入する。なお、第1の走査期間の間、ヘッド群114GのX座標は変化しない。
When the first scanning period starts, the
図12に示す例の場合には、ノズル列1Aがある1つの被吐出部18Rに対応する領域に侵入すると、ノズル列1Aの左から2番目のノズル118と、左から3番目のノズル118とから、カラーフィルタ材料111が吐出される。さらに、ノズル列1Bがその1つの被吐出部18Rに対応する領域に侵入すると、ノズル列1Bの最も左のノズル118と、左から2番目のノズルとから、カラーフィルタ材料111Rが吐出される。
In the case of the example shown in FIG. 12, when the
その後、ノズル列2Aがその1つの被吐出部18Rに対応する領域に侵入すると、ノズル列2Aの最も左のノズル118と、左から2番目のノズル118とから、カラーフィルタ材料111Rが吐出される。次に、ノズル列2Bがその1つの被吐出部18Rに対応する領域に侵入すると、ノズル列2Bの最も左のノズル118と、左から2番目のノズル118とから、カラーフィルタ材料111Rが吐出される。
Thereafter, when the
そして、ノズル列3Aがその1つの被吐出部18Rに対応する領域に侵入すると、ノズル列3Aの最も左のノズル118と、左から2番目のノズル118とから、カラーフィルタ材料111Rが吐出される。次に、ノズル列3Bがその1つの被吐出部18Rに対応する領域に侵入すると、ノズル列3Bの最も左のノズル118と、左から2番目のノズル118とから、カラーフィルタ材料111Rが吐出される。
When the
さらに、ノズル列4Aがその1つの被吐出部18Rに対応する領域に侵入すると、ノズル列4Aの最も左のノズル118と、左から2番目のノズル118とから、カラーフィルタ材料111Rが吐出される。次に、ノズル列4Bがその1つの被吐出部18Rに対応する領域に侵入すると、ノズル列4Bの最も左のノズル118と、左から2番目のノズル118とから、カラーフィルタ材料111Rが吐出される。
Further, when the
本実施例によれば、1つの走査期間内に、1つの被吐出部18Rに、必要とされる体積のカラーフィルタ材料111Rを吐出できる。これは、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチGXPが、1つのヘッド114のX軸方向のノズルピッチHXPのほぼ1/4であり、このため、1つの走査期間内に、より多くのノズル118が1つの被吐出部に重なるからである。
According to the present embodiment, the
一方、図12に示すように、第1の走査期間内では、ノズル列1Aにおける最も左側のノズル118と、ノズル列2Aにおける右から2番目のノズル118と、ノズル列3Aにおける右から2番目のノズル118と、ノズル列4Aにおける右から2番目のノズル118とは、一度も被吐出部18Rに重ならない。したがって、これらのノズルからはなんらカラーフィルタ材料111Rの吐出は行われない。
On the other hand, as shown in FIG. 12, within the first scanning period, the
第1の走査期間が終わると、制御部112は、ヘッド群114GをX軸方向に相対移動させてから次の走査期間を開始して、まだ塗布されていない被吐出部18Rにカラーフィルタ材料111Rを吐出する。
When the first scanning period ends, the
以上では、被吐出部18Rにカラーフィルタ材料111Rを塗布する工程を説明した。以下では、製造装置1によってカラーフィルタ基板10が得られるまでの一連の工程を説明する。
The process of applying the
まず、以下の手順にしたがって図9の基体10Aを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板12上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス14を形成する。ブラックマトリクス14の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板12は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板12およびブラックマトリクス14を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク16が得られる。以上の工程によって、基体10Aが得られる。
First, the
なお、バンク16に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜(ブラックマトリクス14)は不要となり、バンク層は、1層のみとなる。
In place of the
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体10Aを親液化する。この処理によって、支持基板12と、ブラックマトリクス14と、バンク16と、で規定されたそれぞれの凹部(画素領域の一部)における支持基板12の表面と、ブラックマトリクス14の表面と、バンク16の表面と、が親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体10Aに対して、4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク16の表面がフッ化処理(撥液性に処理)され、このことで、バンク16の表面が撥液性を呈するようになる。なお、4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板12の表面およびブラックマトリクス14の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。このように、支持基板12と、ブラックマトリクス14と、バンク16と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が被吐出部18R,18G、18Bとなる。
Next, the
なお、支持基板12の材質、ブラックマトリクス14の材質、およびバンク16の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、支持基板12と、ブラックマトリクス14と、バンク16と、によって規定された凹部の表面が被吐出部18R,18G、18Bである。
Depending on the material of the
被吐出部18R,18G、18Bが形成された基体10Aは、搬送装置170によって、吐出装置100Rのステージ106に運ばれる。そして、図13(a)に示すように、吐出装置100Rは、被吐出部18Rのすべてにカラーフィルタ材料111Rの層が形成されるように、ヘッド114からカラーフィルタ材料111Rを吐出する。具体的には、吐出装置100Rは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部18Rにカラーフィルタ材料111Rを塗布する。基体10Aの被吐出部18Rのすべてにカラーフィルタ材料111Rの層が形成された場合には、搬送装置170が基体10Aを乾燥装置150R内に位置させる。そして、被吐出部18R上のカラーフィルタ材料111Rを完全に乾燥させることで、被吐出部18R上にフィルタ層111FRを得る。
The
次に搬送装置170は、基体10Aを吐出装置100Gのステージ106に位置させる。そして、図13(b)に示すように、吐出装置100Gは、被吐出部18Gのすべてにカラーフィルタ材料111Gの層が形成されるように、ヘッド114からカラーフィルタ材料111Gを吐出する。具体的には、吐出装置100Gは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部18Gにカラーフィルタ材料111Gを塗布する。基体10Aの被吐出部18Gのすべてにカラーフィルタ材料111Gの層が形成された場合には、搬送装置170が基体10Aを乾燥装置150G内に位置させる。そして、被吐出部18G上のカラーフィルタ材料111Gを完全に乾燥させることで、被吐出部18G上にフィルタ層111FGを得る。
Next, the
次に搬送装置170は、基体10Aを吐出装置100Bのステージ106に位置させる。そして、図13(c)に示すように、吐出装置100Bは、被吐出部18Bのすべてにカラーフィルタ材料111Bの層が形成されるように、ヘッド114からカラーフィルタ材料111Bを吐出する。具体的には、吐出装置100Bは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部18Bにカラーフィルタ材料111Bを塗布する。基体10Aの被吐出部18Bのすべてにカラーフィルタ材料111Bの層が形成された場合には、搬送装置170が基体10Aを乾燥装置150B内に位置させる。そして、被吐出部18B上のカラーフィルタ材料111Bを完全に乾燥させることで、被吐出部18B上にフィルタ層111FBを得る。
Next, the
次に搬送装置170は、基体10Aを、オーブン160内に位置させる。その後、オーブン160はフィルタ層111FR、111FG、111FBを再加熱(ポストベーク)する。
Next, the
次に搬送装置170は、基体10Aを吐出装置100Cのステージ106に位置させる。そして、吐出装置100Cは、フィルタ層111FR、111FG、111FB、およびバンク16を覆って保護膜20が形成されるように、液状の保護膜材料を吐出する。フィルタ層111FR,111FG、111FB、およびバンク16を覆う保護膜20が形成された後に、搬送装置170は基体10Aをオーブン150C内に位置させる。そして、オーブン150Cが保護膜20を完全に乾燥させた後に、硬化装置165が保護膜20を加熱して完全に硬化することで、基体10Aはカラーフィルタ基板10となる。
Next, the
本実施例によれば、吐出装置100R、100G、100Bのそれぞれにおいて、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチは、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチの1/N倍の長さである。ここで、Nはヘッド群114Gに含まれるヘッド114の数である。このため、吐出装置100R、100G、100BのX軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のX軸方向のノズル線密度よりも高い。したがって、製造装置1は、吐出データを変更するだけで、さまざまな大きさの被吐出部にカラーフィルタ材料を塗布できる。さらに製造装置1は、吐出データを変更するだけで、さまざまなピッチのカラーフィルタ基板を製造できる。
[実施例3]
According to the present embodiment, in each of the
[Example 3]
次に、本発明をエレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置に適用した例を説明する。 Next, the example which applied this invention to the manufacturing apparatus of an electroluminescent display apparatus is demonstrated.
図14(a)および(b)に示す基体30Aは、後述する製造装置2(図15)による処理によって、エレクトロルミネッセンス表示装置30となる基板である。基体30Aは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部38R、38G、38Bを有する。
A
具体的には、基体30Aは、支持基板32と、支持基板32上に形成された回路素子層34と、回路素子層34上に形成された複数の画素電極36と、複数の画素電極36の間に形成されたバンク40と、を有している。支持基板は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の画素電極36のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ITO(Indium-Tin Oxide)電極である。また、複数の画素電極36は、回路素子層34上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素領域を規定する。そして、バンク40は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極36のそれぞれを囲む。また、バンク40は、回路素子層34上に形成された無機物バンク40Aと、無機物バンク40A上に位置する有機物バンク40Bとからなる。
Specifically, the
回路素子層34は、支持基板32上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜42と、絶縁膜42上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子44と、複数のスイッチング素子44を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜45と、を有する層である。それぞれのスイッチング素子44のゲート電極44Gおよびソース電極44Sは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜45上には複数の画素電極36が位置する。層間絶縁膜45には、各スイッチング素子44のドレイン電極44Dに対応する部位にスルーホール44Vが設けられており、このスルーホール44Vを介して、スイッチング素子44と、対応する画素電極36と、の間の電気的接続が形成されている。また、バンク40に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子44が位置している。つまり、図13(b)の紙面に垂直な方向から観察すると、複数のスイッチング素子44のそれぞれは、バンク40に覆われるように位置している。
The
基体30Aの画素電極36とバンク40とで規定される凹部(画素領域の一部)は、被吐出部38R、被吐出部38G、被吐出部38Bに対応する。被吐出部38Rは、赤の波長域の光線を発光する発光層211FRが形成されるべき領域であり、被吐出部38Gは、緑の波長域の光線を発光する発光層211FGが形成されるべき領域であり、被吐出部38Bは、青の波長域の光線を発光する発光層211GBが形成されるべき領域である。
A recess (a part of the pixel region) defined by the
図14(b)に示す基体30Aは、X軸方向とY軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の被吐出部38R,38G、38Bが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれX軸方向およびY軸方向と平行である。基体30Aにおいて、被吐出部38R、被吐出部38G、および被吐出部38Bは、Y軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、被吐出部38R同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでおり、また、被吐出部38G同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでおり、同様に、被吐出部38B同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでいる。なお、X軸方向およびY軸方向は互いに直交する。
The
被吐出部38R同士のY軸方向に沿った間隔LRY、すなわちピッチは、ほぼ560μmである。この間隔は、被吐出部38G同士のY軸方向に沿った間隔LGYと同じであり、被吐出部18B同士のY軸方向に沿った間隔LBYとも同じである。また、被吐出部38Rの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、被吐出部38RのY軸方向の長さはほぼ100μmであり、X軸方向の長さはほぼ300μmである。被吐出部38Gおよび被吐出部38Bも被吐出部38Rと同じ形状・大きさを有している。被吐出部同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、40インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。
The interval LRY along the Y-axis direction between the discharged
図15に示す製造装置2は、図14の基体30Aの被吐出部38R,38G、38Bのそれぞれに対して、対応する発光材料を吐出する装置である。製造装置2は、被吐出部38Rのすべてに発光材料211Rを塗布する吐出装置200Rと、被吐出部38R上の発光材料211Rを乾燥させる乾燥装置250Rと、被吐出部38Gのすべてに発光材料211Gを塗布する吐出装置200Gと、被吐出部38G上の発光材料211Gを乾燥させる乾燥装置250Gと、被吐出部38Bのすべてに発光材料211Bを塗布する吐出装置200Bと、被吐出部38B上の発光材料Bを乾燥させる乾燥装置250Bと、を備えている。さらに製造装置2は、吐出装置200R、乾燥装置250R、吐出装置200G、乾燥装置250G、吐出装置200B、乾燥装置250Bの順番に基体30Aを搬送する搬送装置270も備えている。
The
図16に示す吐出装置200Rは、液状の発光材料211Rを保持するタンク201Rと、チューブ210Rと、チューブ210Rを介してタンク201Rから発光材料211Rが供給される吐出走査部102と、を備える。吐出走査部102の構成は、実施例1の吐出走査部102(図1)の構成と同じであるため、同様な構成要素には同一の参照符号を付けるとともに、重複する説明を省略する。また、吐出装置200Gの構成と吐出装置200Bの構成とは、どちらも基本的に吐出装置200Rの構造と同じある。ただし、タンク201Rとチューブ210Rとの代わりに、吐出装置200Gが発光材料211G用のタンクとチューブとを備える点で、吐出装置200Gの構成は吐出装置200Rの構成と異なる。同様に、タンク201Rとチューブ210Rとの代わりに、吐出装置200Bが発光材料211B用のタンクとチューブとを備える点で、吐出装置200Bの構成は吐出装置200Rの構成と異なる。なお、本実施例における液状の発光材料211R、211B、211Gは、本発明の液状の材料の一例である。
A
製造装置2を用いたエレクトロルミネッセンス表示装置30の製造方法を説明する。まず、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて、図14に示す基体30Aを製造する。
A method for manufacturing the
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体30Aを親液化する。この処理によって、画素電極36とバンク40とで規定されたそれぞれの凹部(画素領域の一部)における画素電極36の表面、無機物バンク40Aの表面、および有機物バンク40Bの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体30Aに対して、4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク40Bの表面がフッ化処理(撥液性に処理)されて、このことで有機物バンク40Bの表面が撥液性を呈するようになる。なお、4フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極36の表面および無機物バンク40Aの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。このように、画素電極36と、バンク40と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が被吐出部38R、38G、38Bとなる。
Next, the
なお、画素電極36の材質、無機バンク40の材質、および有機バンク40の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、画素電極36と、バンク40と、によって規定された凹部の表面は被吐出部38R、38G、38Bである。
Depending on the material of the
ここで、表面処理が施された複数の画素電極36のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層37R、37G、37Bを形成してもよい。正孔輸送層37R、37G、37Bが、画素電極36と、後述の発光層211RF、211GF、211BFと、の間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。複数の画素電極36のそれぞれの上に正孔輸送層を設ける場合には、正孔輸送層と、バンク40と、によって規定された凹部が、被吐出部38R、38G、38Bに対応する。
Here, the corresponding
なお、正孔輸送層37R、37G、37Bをインクジェット法により形成することも可能である。この場合、正孔輸送層37R、37G、37Bを形成するための材料を含む溶液を各画素領域ごとに所定量塗布し、その後、乾燥させることにより正孔輸送層を形成することができる。
Note that the
被吐出部38R,38G、38Bが形成された基体30Aは、搬送装置270によって、吐出装置200Rのステージ106に運ばれる。そして、図17(a)に示すように、吐出装置200Rは、被吐出部38Rのすべてに発光材料211Rの層が形成されるように、ヘッド114から発光材料211Rを吐出する。具体的には、吐出装置200Rは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部38Rに発光材料211Rを塗布する。基体30Aの被吐出部38Rのすべてに発光材料211Rの層が形成された場合には、搬送装置270が基体30Aを乾燥装置250R内に位置させる。そして、被吐出部38R上の発光材料211Rを完全に乾燥させることで、被吐出部38R上に発光層211FRを得る。
The
次に搬送装置270は、基体30Aを吐出装置200Gのステージ106に位置させる。そして、図17(b)に示すように、吐出装置200Gは、被吐出部38Gのすべてに発光材料211Gの層が形成されるように、ヘッド114から発光材料211Gを吐出する。具体的には、吐出装置200Gは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部38Gに発光材料211Gを塗布する。基体30Aの被吐出部38Gのすべてに発光材料211Gの層が形成された場合には、搬送装置270が基体30Aを乾燥装置250G内に位置させる。そして、被吐出部38G上の発光材料Gを完全に乾燥させることで、被吐出部38G上に発光層211FGを得る。
Next, the
次に搬送装置270は、基体30Aを吐出装置200Bのステージ106に位置させる。そして、図17(c)に示すように、吐出装置200Bは、被吐出部38Bのすべてに発光材料211Bの層が形成されるように、ヘッド114から発光材料211Bを吐出する。具体的には、吐出装置200Bは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部38Bに発光材料211Bを塗布する。基体30Aの被吐出部38Bのすべてに発光材料211Bの層が形成された場合には、搬送装置270が基体30Aを乾燥装置250B内に位置させる。そして、被吐出部38B上の発光材料211Bを完全に乾燥させることで、被吐出部38B上に発光層211FBを得る。
Next, the
図17(d)に示すように、次に、発光層211FR,211FG、211FB、およびバンク40を覆うように対向電極46を設ける。対向電極46は陰極として機能する。その後、封止基板48と基体30Aとを、互いの周辺部で接着することで、図17(d)に示すエレクトロルミネッセンス表示装置30が得られる。なお、封止基板48と基体30Aとの間には不活性ガス49が封入されている。
Next, as shown in FIG. 17D, the
エレクトロルミネッセンス表示装置30において、発光層211FR、211FG、211FBから発光した光は、画素電極36と、回路素子層34と、支持基板32と、を介して射出する。このように回路素子層34を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。
In the
本実施例によれば、吐出装置200R、200G、200Bのそれぞれにおいて、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチは、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチの1/N倍の長さである。ここで、Nはヘッド群114Gに含まれるヘッド114の数である。このため、吐出装置200R、200G、200BのX軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のX軸方向のノズル線密度よりも高い。したがって、したがって、製造装置2は、吐出データを変更するだけで、さまざまな大きさの被吐出部に発光材料を塗布できる。さらに製造装置2は、吐出データを変更するだけで、さまざまなピッチのエレクトロルミネッセンス表示装置を製造できる。
[実施例4]
According to the present embodiment, in each of the
[Example 4]
本発明をプラズマ表示装置の背面基板の製造装置に適用した例を説明する。 An example in which the present invention is applied to an apparatus for manufacturing a back substrate of a plasma display device will be described.
図18(a)および(b)に示す基体50Aは、後述する製造装置3(図19)による処理によって、プラズマ表示装置の背面基板50Bとなる基板である。基体50Aは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部58R、58G、58Bを有する。
A
具体的には、基体50Aは、支持基板52と、支持基板52上にストライプ状に形成された複数のアドレス電極54と、アドレス電極54を覆うように形成された誘電体ガラス層56と、格子状の形状を有するとともに複数の画素領域を規定する隔壁60と、を含む。複数の画素領域はマトリクス状に位置しており、複数の画素領域が形成するマトリクスの列のそれぞれは、複数のアドレス電極54のそれぞれに対応する。このような基体50Aは、公知のスクリーン印刷技術で形成される。
Specifically, the
基体50Aのそれぞれの画素領域において、誘電体ガラス層56および隔壁60によって規定される凹部が、被吐出部58R、被吐出部58G、被吐出部58Bに対応する。被吐出部58Rは、赤の波長域の光線を発光する蛍光層311FRが形成されるべき領域であり、被吐出部58Gは、緑の波長域の光線を発光する蛍光層311FGが形成されるべき領域であり、被吐出部58Bは、青の波長域の光線を発光する蛍光層311FBが形成されるべき領域である。
In each pixel region of the
図18(b)に示す基体50Aは、X軸方向とY軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の被吐出部58R,58G、58Bが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれX軸方向およびY軸方向と平行である。基体50Aにおいて、被吐出部58R、被吐出部58G、および被吐出部58Bは、Y軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、被吐出部58R同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでおり、また、被吐出部58G同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでおり、同様に、被吐出部58B同士はX軸方向に所定の一定間隔をおいて1列に並んでいる。なお、X軸方向およびY軸方向は互いに直交する。
The
被吐出部58R同士のY軸方向に沿った間隔LRY、すなわちピッチは、ほぼ560μmである。この間隔は、被吐出部58G同士のY軸方向に沿った間隔LGYと同じであり、被吐出部58B同士のY軸方向に沿った間隔LBYとも同じである。また、被吐出部58Rの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、被吐出部58RのY軸方向の長さはほぼ100μmであり、X軸方向の長さはほぼ300μmである。被吐出部58Gおよび被吐出部58Bも被吐出部58Rと同じ形状・大きさを有している。被吐出部同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、40インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。
The interval LRY along the Y-axis direction between the discharged
図19に示す製造装置3は、図18の基体50Aの被吐出部58R,58G、58Bのそれぞれに対して、対応する蛍光材料を吐出する装置である。製造装置3は、被吐出部58Rのすべてに蛍光材料311Rを塗布する吐出装置300Rと、被吐出部58R上の蛍光材料311Rを乾燥させる乾燥装置350Rと、被吐出部58Gのすべてに蛍光材料311Gを塗布する吐出装置300Gと、被吐出部58G上の蛍光材料311Gを乾燥させる乾燥装置350Gと、被吐出部58Bのすべてに蛍光材料311Bを塗布する吐出装置300Bと、被吐出部58B上の蛍光材料311Bを乾燥させる乾燥装置350Bと、を備えている。さらに製造装置3は、吐出装置300R、乾燥装置350R、吐出装置300G、乾燥装置350G、吐出装置300B、乾燥装置350Bの順番に基体50Aを搬送する搬送装置370も備えている。
A
図20に示す吐出装置300Rは、液状の蛍光材料311Rを保持するタンク301Rと、チューブ310Rと、チューブ310Rを介してタンク301Rからカラーフィルタ材料が供給される吐出走査部102と、を備える。吐出走査部102の構成は、実施例1において説明したため重複する説明を省略する。
A
吐出装置300Gの構成と吐出装置300Bの構成とは、どちらも基本的に吐出装置300Rの構造と同じある。ただし、タンク301Rとチューブ310Rとの代わりに、吐出装置300Gが蛍光材料311G用のタンクとチューブとを備える点で、吐出装置300Gの構成は吐出装置300Rの構成と異なる。同様に、タンク301Rとチューブ310Rとに代えて、吐出装置300Bが蛍光材料311B用のタンクとチューブとを備える点で、吐出装置300Bの構成は吐出装置300Rの構成と異なる。なお、本実施例における液状の蛍光材料311R、311B、311Gは、本発明の液状の材料の一例である。
Both the configuration of the
製造装置3を用いたプラズマ表示装置の製造方法を説明する。まず、公知のスクリーン印刷技術によって、支持基板52上に、複数のアドレス電極54と、誘電体ガラス層56と、隔壁60と、を形成して、図18に示す基体50Aを得る。
A method for manufacturing a plasma display device using the
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体50Aを親液化する。この処理によって、隔壁60および誘電体ガラス層56によって規定されたそれぞれの凹部(画素領域の一部)の隔壁60の表面、誘電体ガラス層56の表面が、親液性を呈し、これらの表面が被吐出部58R,58G、58Bとなる。なお、材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、隔壁60と、誘電体ガラス層56と、によって規定された凹部の表面は、被吐出部58R,58G、58Bである。
Next, the
被吐出部58R,58G、58Bが形成された基体50Aは、搬送装置370によって、吐出装置300Rのステージ106に運ばれる。そして、図21(a)に示すように、吐出装置300Rは、被吐出部58Rのすべてに蛍光材料311Rの層が形成されるように、ヘッド114から蛍光材料311Rを吐出する。具体的には、吐出装置300Rは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部58Rに蛍光材料311Rを塗布する。基体50Aの被吐出部58Rのすべてに蛍光材料311Rの層が形成された場合には、搬送装置370が基体50Aを乾燥装置350R内に位置させる。そして、被吐出部58R上の蛍光材料311Rを完全に乾燥させることで、被吐出部58R上に蛍光層311FRを得る。
The
次に搬送装置370は、基体50Aを吐出装置300Gのステージ106に位置させる。そして、図21(b)に示すように、吐出装置300Gは、被吐出部58Gのすべてに蛍光材料311Gの層が形成されるように、ヘッド114から蛍光材料311Gを吐出する。具体的には、吐出装置300Gは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部58Gに蛍光材料311Gを塗布する。基体50Aの被吐出部58Gのすべてに蛍光材料311Gの層が形成された場合には、搬送装置370が基体50Aを乾燥装置350G内に位置させる。そして、被吐出部58G上の蛍光材料311Gを完全に乾燥させることで、被吐出部58G上に蛍光層311FGを得る。
Next, the
次に搬送装置370は、基体50Aを吐出装置300Bのステージ106に位置させる。そして、図21(c)に示すように、吐出装置300Bは、被吐出部58Bのすべてに蛍光材料311Bの層が形成されるように、ヘッド114から蛍光材料311Bを吐出する。具体的には、吐出装置300Bは、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部58Bに蛍光材料311Bを塗布する。基体50Aの被吐出部58Bのすべてに蛍光材料Bの層が形成された場合には、搬送装置370が基体50Aを乾燥装置350B内に位置させる。そして、被吐出部58B上の蛍光材料311Bを完全に乾燥させることで、被吐出部58B上に蛍光層311FBを得る。
Next, the
以上の工程によって、基体50Aはプラズマ表示装置の背面基板50Bとなる。
Through the above steps, the
次に図22に示すように、背面基板50Bと、前面基板50Cと、を公知の方法によって貼り合わせてプラズマ表示装置50が得られる。前面基板50Cは、ガラス基板68と、ガラス基板68上で互いに平行にパターニングされた表示電極66Aおよび表示スキャン電極66Bと、表示電極66Aおよび表示スキャン電極66Bとを覆うように形成された誘電体ガラス層64と、誘電体ガラス層64上に形成されたMgO保護層62と、を有する。背面基板50Bと前面基板50Cとは、背面基板50Bのアドレス電極54と、前面基板50Cの表示電極66A・表示スキャン電極66Bとが、互いに直交するように位置合わせされている。各隔壁60で囲まれるセル(画素領域)には、所定の圧力で放電ガス69が封入されている。
Next, as shown in FIG. 22, the
本実施例によれば、吐出装置300R、300G、300Bのそれぞれにおいて、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチは、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチの1/N倍の長さである。ここで、Nはヘッド群114Gに含まれるヘッド114の数である。このため、吐出装置300R、300G、300BのX軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のX軸方向のノズル線密度よりも高い。したがって、したがって、製造装置3は、吐出データを変更するだけで、さまざまな大きさの被吐出部に蛍光材料を塗布できる。さらに製造装置3は、吐出データを変更するだけで、さまざまなピッチのプラズマ表示装置を製造できる。
[実施例5]
According to the present embodiment, in each of the
[Example 5]
次に本発明を、電子放出素子を備えた画像表示装置の製造装置に適用した例を説明する。 Next, an example in which the present invention is applied to an apparatus for manufacturing an image display device including an electron-emitting device will be described.
図23(a)および(b)に示す基体70Aは、後述する製造装置3(図24)による処理によって、画像表示装置の電子源基板70Bとなる基板である。基体70Aは、マトリクス状に配置された複数の被吐出部78を有する。
A
具体的には、基体70Aは、基体72と、基体72上に位置するナトリウム拡散防止層74と、ナトリウム拡散防止層74上に位置する複数の素子電極76A、76Bと、複数の素子電極76A上に位置する複数の金属配線79Aと、複数の素子電極76B上に位置する複数の金属配線79Bと、を備えている。複数の金属配線79AのそれぞれはY軸方向に延びる形状を有する。一方、複数の金属配線79BのそれぞれはX軸方向に延びる形状を有する。金属配線79Aと金属配線79Bとの間には絶縁膜75が形成されているので、金属配線79Aと金属配線79Bとは電気的に絶縁されている。
Specifically, the
1対の素子電極76Aおよび素子電極76Bを含む部分は1つの画素領域に対応する。1対の素子電極76Aおよび素子電極76Bは、互いに所定の間隔だけ離れてナトリウム拡散防止層74上で対向している。ある画素領域に対応する素子電極76Aは、対応する金属配線79Aと電気的に接続されている。また、その画素領域に対応する素子電極76Bは、対応する金属配線79Bと電気的に接続されている。なお、本明細書では、基体72とナトリウム拡散防止層74とを合わせた部分を支持基板と表記することもある。
A portion including the pair of
基体70Aのそれぞれの画素領域において、素子電極76Aの一部と、素子電極76Bの一部と、素子電極76Aと素子電極76Bとの間で露出したナトリウム拡散防止層74とが、被吐出部78に対応する。より具体的には、被吐出部78は、導電性薄膜411F(図27)が形成されるべき領域であり、導電性薄膜411Fは、素子電極76Aの一部と、素子電極76Bの一部と、素子電極76A,76Bの間のギャップとを覆うように形成される。図23(b)において点線で示すように、本実施例における被吐出部78の平面形状は円形である。このように、本発明の被吐出部の平面形状は、X座標範囲とY座標範囲とで決まる円形でも構わない。
In each pixel region of the
図23(b)に示す基体70Aは、X軸方向とY軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の被吐出部78が形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれX軸方向およびY軸方向と平行である。つまり、基体70Aにおいて、複数の被吐出部78は、X軸方向およびY軸方向に並んでいる。なお、X軸方向およびY軸方向は互いに直交する。
The
被吐出部78同士のY軸方向に沿った間隔LRY、すなわちピッチは、ほぼ190μmである。また、被吐出部78RのX軸方向の長さ(X座標範囲の長さ)はほぼ100μmであり、Y軸方向の長さ(Y座標範囲の長さ)もほぼ100μmである。被吐出部78同士の上記間隔および被吐出部の上記大きさは、40インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、画素領域同士の間隔や大きさに対応する。
The interval LRY along the Y-axis direction between the discharged
図24に示す製造装置4は、図23の基体70Aの被吐出部78のそれぞれに対して、導電性薄膜材料411を吐出する装置である。具体的には、製造装置4は、被吐出部78のすべてに導電性薄膜材料411を塗布する吐出装置400と、被吐出部78上の導電性薄膜材料411を乾燥させる乾燥装置450と、を備えている。さらに製造装置4は、吐出装置400、乾燥装置450の順番に基体70Aを搬送する搬送装置470も備えている。
The
図25に示す吐出装置400は、液状の導電性薄膜材料411を保持するタンク401と、チューブ410と、チューブ410を介してタンク401Rから導電性薄膜材料411が供給される吐出走査部102と、を備える。吐出走査部102の説明は、実施例1で説明したため省略する。本実施例では、液状の導電性薄膜材料411は有機パラジウム溶液である。なお、本実施例における液状の導電性薄膜材料411は、本発明の液状の材料の一例である。
25 includes a
製造装置4を用いた画像表示装置の製造方法を説明する。まず、ソーダガラスなどから形成された基体72上に、SiO2を主成分とするナトリウム拡散防止層74を形成する。具体的には、スパッタ法を用いて基体72上に厚さ1μmのSiO2膜を形成することによってナトリウム拡散防止層74を得る。次に、ナトリウム拡散防止層74上に、スパッタ法または真空蒸着法によって厚さ5nmのチタニウム層を形成する。そして、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、そのチタニウム層から、互いに所定の距離だけ離れて位置する1対の素子電極76Aおよび素子電極76Bを複数対形成する。
A method for manufacturing an image display apparatus using the
その後、スクリーン印刷技術を用いて、ナトリウム拡散防止層74および複数の素子電極76A上にAgペーストを塗布して焼成することで、Y軸方向に延びる複数の金属配線79Aを形成する。次に、スクリーン印刷技術を用いて、各金属配線79Aの一部分にガラスペーストを塗布して焼成することで、絶縁膜75を形成する。そして、スクリーン印刷技術を用いて、ナトリウム拡散防止層74および複数の素子電極76B上にAgペーストを塗布して焼成することで、X軸方向に延びる複数の金属配線79Bを形成する。なお、金属配線79Bを作製する場合には、金属配線79Bが絶縁膜75を介して金属配線79Aと交差するようにAgペーストを塗布する。以上のような工程によって、図23に示す基体70Aを得る。
Thereafter, using a screen printing technique, Ag paste is applied onto the sodium
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体70Aを親液化する。この処理によって、素子電極76Aの表面の一部と、素子電極76Bの表面の一部と、素子電極76Aと素子電極76Bとの間で露出した支持基板の表面とは、親液化される。そして、これらの表面が被吐出部78となる。なお、材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、素子電極76Aの表面の一部と、素子電極76Bの表面の一部と、素子電極76Aと素子電極76Bとの間で露出したナトリウム拡散防止層74の表面とは、被吐出部78となる。
Next, the
被吐出部78が形成された基体70Aは、搬送装置470によって、吐出装置400のステージ106に運ばれる。そして、図26に示すように、吐出装置400は、被吐出部78のすべてに導電性薄膜411Fが形成されるように、ヘッド114から導電性薄膜材料411を吐出する。具体的には、吐出装置400は、図12を参照しながら説明した吐出方法で被吐出部78に導電性薄膜材料411を塗布する。本実施例では、被吐出部78上に着弾した導電性薄膜材料411の液滴の直径が60μmから80μmの範囲となるように、制御部112はヘッド114に信号を与える。基体70Aの被吐出部78のすべてに導電性薄膜材料411の層が形成された場合には、搬送装置470が基体70Aを乾燥装置450内に位置させる。そして、被吐出部78上の導電性薄膜材料411を完全に乾燥させることで、被吐出部78上に酸化パラジウムを主成分とする導電性薄膜411Fを得る。このように、それぞれの画素領域において、素子電極76Aの一部と、素子電極76Bの一部と、素子電極76Aと素子電極76Bとの間に露出したナトリウム拡散防止層74と、を覆う導電性薄膜411Fが形成される。
The base 70 </ b> A on which the portion to be ejected 78 is formed is carried to the
次に素子電極76Aおよび素子電極76Bとの間に、パルス状の所定の電圧を印加することで、導電性薄膜411Fの一部分に電子放出部411Dを形成する。なお、素子電極76Aおよび素子電極76Bとの間の電圧の印加を、有機物雰囲気下および真空条件下でもそれぞれ行うことが好ましい。そうすれば、電子放出部411Dからの電子放出効率がより高くなるからである。素子電極76Aと、対応する素子電極76Bと、電子放出部411Dが設けられた導電性薄膜411Fと、は電子放出素子である。また、それぞれの電子放出素子は、それぞれの画素領域に対応する。
Next, an
以上の工程によって、図27に示すように、基体70Aは電子源基板70Bとなる。
Through the above steps, the
次に図28に示すように、電子源基板70Bと、前面基板70Cと、を公知の方法によって貼り合わせて画像表装置70が得られる。前面基板70Cは、ガラス基板82と、ガラス基板82上にマトリクス状に位置する複数の蛍光部84と、複数の蛍光部84を覆うメタルプレート86と、を有する。メタルプレート86は、電子放出部411Dからの電子ビームを加速するための電極として機能する。電子源基板70Bと前面基板70Cとは、複数の電子放出素子のそれぞれが、複数の蛍光部84のそれぞれに対向するように、位置合わせされている。また、電子源基板70Bと、前面基板70Cとの間は、真空状態に保たれている。
Next, as shown in FIG. 28, the
なお、上記の電子放出素子を備えた画像表示装置70は、SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)またはFED(Field Emission Display)と呼ばれることもある。
Note that the
本実施例によれば、吐出装置400において、ヘッド群114GのX軸方向のノズルピッチは、ヘッド114のX軸方向のノズルピッチの1/N倍の長さである。ここで、Nはヘッド群114Gに含まれるヘッド114の数である。このため、吐出装置400のX軸方向のノズル線密度が、通常のインクジェット装置のX軸方向のノズル線密度よりも高い。したがって、製造装置4は、吐出データを変更するだけで、さまざまな大きさの被吐出部に導電性薄膜材料を塗布できる。さらに製造装置4は、吐出データを変更するだけで、さまざまなピッチの電子源基板を製造できる。
According to the present embodiment, in the
1・2・3・4…製造装置
1A・1B・2A・2B・3A・3B・4A・4B…ノズル列
10A・30A・50A・70A…基体
100・100R・100G・100B・100C・200R・200G・200B・300R・300G・300B・400…吐出装置
102…吐出走査部
103…キャリッジ
104…第1位置制御装置
106…ステージ
108…第2位置制御装置
111…液状の材料
111R・111G・111B…カラーフィルタ材料
114・1141・1142・1143・1144…ヘッド
112…制御部
114G…ヘッド群
116A・116B…ノズル列
118…ノズル
118R…基準ノズル
124…振動子
124C…ピエゾ素子
124A・124B…電極
127…吐出部
208…ヘッド駆動部
203…駆動信号生成部
AS…アナログスイッチ
DS…駆動信号
204…処理部
SC…選択信号
ES…吐出信号
10A・30A・50A、70A…基体
10…カラーフィルタ基板
18R・18G・18B・38R・38G・38B・58R・58G・58B・78…被吐出部
111FR・111FG・111FB…フィルタ層
134…走査範囲
30…エレクトロルミネッセンス表示装置
50B…プラズマ表示装置の背面基板
50…プラズマ表示装置
1, 2, 3, 4 ...
Claims (14)
前記ステージに対して相対移動するヘッド群と、
を備えた吐出装置であって、
前記ヘッド群はN個のヘッドからなり、
前記N個のヘッドのそれぞれは複数のノズルを有し、
前記N個のヘッドのそれぞれのX軸方向のノズルピッチが所定値になるように、前記複数のノズルが配置されており、
前記ヘッド群の前記X軸方向のノズルピッチが前記所定値の1/N倍になるように、前記N個のヘッドが配置されていて、
Nは2以上の自然数である、
吐出装置。 Stage,
A group of heads that move relative to the stage;
A discharge device comprising:
The head group consists of N heads,
Each of the N heads has a plurality of nozzles;
The plurality of nozzles are arranged so that the nozzle pitch in the X-axis direction of each of the N heads has a predetermined value,
The N heads are arranged such that the nozzle pitch in the X-axis direction of the head group is 1 / N times the predetermined value,
N is a natural number of 2 or more,
Discharge device.
前記N個のヘッドのそれぞれにおいて、前記複数のノズルは前記X軸方向に並んでいる、
吐出装置。 The discharge device according to claim 1,
In each of the N heads, the plurality of nozzles are arranged in the X-axis direction.
Discharge device.
前記N個のヘッドのそれぞれにおける前記複数のノズルは、ともに前記X軸方向に延びた第1の列と第2の列とをなしており、
前記第1の列および前記第2の列のそれぞれにおいて、前記複数のノズルは前記所定値の2倍のピッチで並んでおり、
前記第1の列は前記第2の列に対して前記所定値の長さだけ前記X軸方向にずれている、
吐出装置。 The discharge device according to claim 2,
Each of the plurality of nozzles in each of the N heads forms a first row and a second row extending in the X-axis direction,
In each of the first row and the second row, the plurality of nozzles are arranged at a pitch twice the predetermined value;
The first row is shifted in the X-axis direction by the length of the predetermined value with respect to the second row.
Discharge device.
前記N個のヘッドのそれぞれにおける前記複数のノズルは、それぞれX軸方向に延びたM個の列をなしていて、
前記M個の列のそれぞれにおいて、前記複数のノズルは前記所定値のM倍のピッチで並んでおり、
前記M個の列の一つに対して、他の(M−1)個の列は、前記所定値のi倍の長さだけ重複無くX軸方向にずれていて、
Mは2以上の自然数であり、
iは1から(M−1)までの自然数である、
吐出装置。 The discharge device according to claim 1,
The plurality of nozzles in each of the N heads form M rows each extending in the X-axis direction,
In each of the M rows, the plurality of nozzles are arranged at a pitch M times the predetermined value,
For one of the M columns, the other (M−1) columns are shifted in the X-axis direction without overlap by a length i times the predetermined value,
M is a natural number of 2 or more,
i is a natural number from 1 to (M−1),
Discharge device.
前記N個のヘッドの一つにおける基準ノズルのX座標に対して、他の(N−1)個のヘッドにおける基準ノズルのX座標は、前記所定値のj/N倍の長さだけ重複無くずれていて、
jは1から(N−1)までの自然数である、
吐出装置。 The discharge device according to claim 1,
The X coordinate of the reference nozzle in the other (N−1) heads does not overlap with the length of j / N times the predetermined value with respect to the X coordinate of the reference nozzle in one of the N heads. It ’s broken,
j is a natural number from 1 to (N−1),
Discharge device.
前記ステージは、被吐出部を有する基体を保持し、
前記ヘッド群が前記基体に対してY軸方向に相対移動することで前記複数のノズルの少なくとも1つのノズルが前記被吐出部に対応する領域に侵入する場合には、前記少なくとも1つのノズルから前記被吐出部に液状の材料が吐出され、
前記X軸方向と前記Y軸方向とは互いに直交する、
吐出装置。 The discharge device according to any one of claims 1 to 5,
The stage holds a substrate having a discharged portion,
In a case where at least one nozzle of the plurality of nozzles enters the region corresponding to the discharged portion by moving the head group relative to the base in the Y-axis direction, the at least one nozzle A liquid material is discharged to the discharged part,
The X-axis direction and the Y-axis direction are orthogonal to each other.
Discharge device.
前記被吐出部の平面像は長辺と短辺とで決まるほぼ矩形であり、
前記ステージは、前記長辺の方向が前記X軸方向に平行になるとともに前記短辺の方向が前記Y軸方向に平行になるように、前記基体を保持し、
前記ヘッド群が前記基体に対して前記Y軸方向に相対移動することで前記複数のノズルの少なくとも2つのノズルが前記被吐出部に対応する領域にほぼ同時に侵入する場合には、前記少なくとも2つのノズルから前記被吐出部に前記液状の材料がほぼ同時に吐出される、
吐出装置。 The discharge device according to claim 6,
The planar image of the discharged portion is a substantially rectangular shape determined by a long side and a short side,
The stage holds the base so that the direction of the long side is parallel to the X-axis direction and the direction of the short side is parallel to the Y-axis direction,
When at least two nozzles of the plurality of nozzles enter the region corresponding to the discharged portion almost simultaneously by moving the head group relative to the base in the Y-axis direction, the at least two The liquid material is discharged from the nozzle to the discharged portion almost simultaneously.
Discharge device.
基体を保持するステージと、
前記ステージに対して相対移動するヘッド群と、
を備え、
前記ヘッド群はN個のヘッドからなり、
前記N個のヘッドのそれぞれは、前記基体に対してカラーフィルタ材料を吐出可能な複数のノズルを有し、
前記N個のヘッドのそれぞれのX軸方向のノズルピッチが所定値になるように、前記複数のノズルが配置されており、
前記ヘッド群の前記X軸方向のノズルピッチが前記所定値の1/N倍になるように、前記N個のヘッドが配置されていて、
Nは2以上の自然数である、
カラーフィルタ基板の製造装置。 A color filter substrate manufacturing apparatus,
A stage for holding the substrate;
A group of heads that move relative to the stage;
With
The head group consists of N heads,
Each of the N heads has a plurality of nozzles capable of discharging a color filter material to the substrate,
The plurality of nozzles are arranged so that the nozzle pitch in the X-axis direction of each of the N heads has a predetermined value,
The N heads are arranged such that the nozzle pitch in the X-axis direction of the head group is 1 / N times the predetermined value,
N is a natural number of 2 or more,
Color filter substrate manufacturing equipment.
基体を保持するステージと、
前記ステージに対して相対移動するヘッド群と、
を備え、
前記ヘッド群はN個のヘッドからなり、
前記N個のヘッドのそれぞれは、前記基体に対して発光材料を吐出可能な複数のノズルを有し、
前記N個のヘッドのそれぞれのX軸方向のノズルピッチが所定値になるように、前記複数のノズルが配置されており、
前記ヘッド群の前記X軸方向のノズルピッチが前記所定値の1/N倍になるように、前記N個のヘッドが配置されていて、
Nは2以上の自然数である、
エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置。 An apparatus for manufacturing an electroluminescence display device,
A stage for holding the substrate;
A group of heads that move relative to the stage;
With
The head group consists of N heads,
Each of the N heads has a plurality of nozzles capable of ejecting a luminescent material to the substrate,
The plurality of nozzles are arranged so that the nozzle pitch in the X-axis direction of each of the N heads has a predetermined value,
The N heads are arranged such that the nozzle pitch in the X-axis direction of the head group is 1 / N times the predetermined value,
N is a natural number of 2 or more,
An apparatus for manufacturing an electroluminescence display device.
基体を保持するステージと、
前記ステージに対して相対移動するヘッド群と、
を備え、
前記ヘッド群はN個のヘッドからなり、
前記N個のヘッドのそれぞれは、前記基体に対して蛍光材料を吐出可能な複数のノズルを有し、
前記N個のヘッドのそれぞれのX軸方向のノズルピッチが所定値になるように、前記複数のノズルが配置されており、
前記ヘッド群の前記X軸方向のノズルピッチが前記所定値の1/N倍になるように、前記N個のヘッドが配置されていて、
Nは2以上の自然数である、
プラズマ表示装置の製造装置。 An apparatus for manufacturing a plasma display device,
A stage for holding the substrate;
A group of heads that move relative to the stage;
With
The head group consists of N heads,
Each of the N heads has a plurality of nozzles capable of discharging a fluorescent material to the base,
The plurality of nozzles are arranged so that the nozzle pitch in the X-axis direction of each of the N heads has a predetermined value,
The N heads are arranged such that the nozzle pitch in the X-axis direction of the head group is 1 / N times the predetermined value,
N is a natural number of 2 or more,
Plasma display device manufacturing equipment.
それぞれが複数のノズルを有するN個のヘッドであって、それぞれのX軸方向のノズルピッチが所定値であるN個のヘッド、を前記基体に対してY軸方向に相対移動するステップ(b)と、
を含む吐出方法であって、
前記ステップ(b)は、1つの走査期間内に、前記N個のヘッドの一つにおける基準ノズルのX座標に対して、他の(N−1)個のヘッドにおける基準ノズルのX座標を、前記所定値のj/N倍の長さだけ重複無くずらしながら、前記N個のヘッドを前記基体に対して前記Y軸方向に相対移動するステップ(b1)を含み、
前記X軸方向と前記Y軸方向とは互いに直交し、
Nは2以上の自然数であり、
jは1から(N−1)までの自然数である、
吐出方法。 A step (a) of placing a substrate having an ejected portion on a stage;
Step (b) of relatively moving N heads each having a plurality of nozzles, each having a predetermined nozzle pitch in the X-axis direction, in the Y-axis direction with respect to the substrate. When,
A discharge method comprising:
In the step (b), the X coordinate of the reference nozzle in the other (N−1) heads is set to the X coordinate of the reference nozzle in one of the N heads within one scanning period. A step (b1) of relatively moving the N heads in the Y-axis direction with respect to the base while shifting the length by j / N times the predetermined value without overlap.
The X-axis direction and the Y-axis direction are orthogonal to each other,
N is a natural number of 2 or more,
j is a natural number from 1 to (N−1),
Discharge method.
前記ステップ(b)は、前記X軸方向に並んだ前記複数のノズルをそれぞれが有する前記N個のヘッドを、前記基体に対して前記Y軸方向に相対移動するステップ(b2)を含む、
吐出方法。 The discharge method according to claim 11,
The step (b) includes a step (b2) of relatively moving the N heads, each having the plurality of nozzles arranged in the X-axis direction, in the Y-axis direction with respect to the base body.
Discharge method.
前記ステップ(b)によって前記複数のノズルの少なくとも1つのノズルが前記被吐出部に対応する領域に侵入する場合には、前記少なくとも1つのノズルから前記被吐出部に液状の材料を吐出するステップ(c)をさらに含んだ吐出方法。 The discharge method according to claim 11 or 12,
When at least one nozzle of the plurality of nozzles enters the region corresponding to the discharged portion in the step (b), a step of discharging a liquid material from the at least one nozzle to the discharged portion ( A discharge method further comprising c).
前記被吐出部の平面像は長辺と短辺とで決まるほぼ矩形であり、
前記ステップ(a)は、前記被吐出部の長辺の方向が前記X軸方向に平行になるとともに、前記短辺の方向が前記Y軸方向に平行になるように、前記基体を載置するステップ(a1)を含み、
前記ステップ(c)は、前記複数のノズルの少なくとも2つのノズルが前記被吐出部にに対応する領域にほぼ同時に侵入する場合には、前記少なくとも2つのノズルから前記被吐出部に液状の材料をほぼ同時に吐出するステップ(c1)をさらに含む、
吐出方法。
The discharge method according to claim 13,
The planar image of the discharged portion is a substantially rectangular shape determined by a long side and a short side,
In the step (a), the base is placed so that the direction of the long side of the discharged portion is parallel to the X-axis direction and the direction of the short side is parallel to the Y-axis direction. Including step (a1),
In the step (c), when at least two nozzles of the plurality of nozzles enter the region corresponding to the discharge target portion almost simultaneously, a liquid material is supplied from the at least two nozzles to the discharge target portion. A step (c1) of discharging at substantially the same time;
Discharge method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003335544A JP2005095833A (en) | 2003-09-26 | 2003-09-26 | Delivery device, manufacturing device for color filter substrate, manufacturing device for electroluminescence display device and delivery method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003335544A JP2005095833A (en) | 2003-09-26 | 2003-09-26 | Delivery device, manufacturing device for color filter substrate, manufacturing device for electroluminescence display device and delivery method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005095833A true JP2005095833A (en) | 2005-04-14 |
Family
ID=34462899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003335544A Pending JP2005095833A (en) | 2003-09-26 | 2003-09-26 | Delivery device, manufacturing device for color filter substrate, manufacturing device for electroluminescence display device and delivery method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005095833A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7851020B2 (en) | 2005-06-10 | 2010-12-14 | Seiko Epson Corporation | Droplet discharge method, electro-optic device, and electronic apparatus |
-
2003
- 2003-09-26 JP JP2003335544A patent/JP2005095833A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7851020B2 (en) | 2005-06-10 | 2010-12-14 | Seiko Epson Corporation | Droplet discharge method, electro-optic device, and electronic apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100645486B1 (en) | Discharging device, method of applying material, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, method of manufacturing plasma display device and method of manufacturing wire | |
KR100658478B1 (en) | Method for coating material, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, method of manufacturing plasma display device, and ejection device | |
US7399051B2 (en) | Ejection device, material coating method, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, and method of manufacturing plasma display device | |
US6948795B2 (en) | Ejection device, manufacturing device of color filter substrate, manufacturing device of electro-luminescent display device, manufacturing device of plasma display device, and ejection method | |
JP3891164B2 (en) | Discharge device | |
JP2005131606A (en) | Discharge device, manufacturing device of color filter substrate, manufacturing device of electroluminescence display unit, and discharge method | |
JP4124081B2 (en) | Discharge device, color filter substrate manufacturing device, electroluminescence display device manufacturing device, plasma display device manufacturing method, and discharge method | |
JP2005095835A (en) | Delivery device, manufacturing device for color filter substrate, manufacturing device for electroluminescence display device, manufacturing device for plasma display device and delivery method | |
JP4506118B2 (en) | Discharge device, color filter substrate manufacturing device, electroluminescence display device manufacturing device, plasma display device manufacturing device, wiring manufacturing device, and coating method. | |
JP4466005B2 (en) | Discharge device, color filter substrate manufacturing device, electroluminescence display device manufacturing device, plasma display device rear substrate manufacturing device, wiring manufacturing device, and coating method. | |
JP2005095833A (en) | Delivery device, manufacturing device for color filter substrate, manufacturing device for electroluminescence display device and delivery method | |
JP2005125195A (en) | Discharge device, coating method, manufacturing method of color filter substrate, manufacturing method of electroluminescence display device, manufacturing method of plasma display device and wiring manufacturing method | |
JP2005211873A (en) | Discharge device, method of coating material, method of manufacturing color filter substrate and inspection method | |
JP4329569B2 (en) | Liquid material coating method, color filter manufacturing method, electroluminescence display device manufacturing method, and plasma display device manufacturing method | |
JP2005230615A (en) | Material coating method, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display, method of manufacturing plasma display and delivery device | |
JP5257278B2 (en) | Discharge device, color filter substrate manufacturing device, electroluminescence display device manufacturing device, plasma display device manufacturing device, wiring manufacturing device, and coating method | |
JP2005231190A (en) | Ejector, system for producing color filter substrate, system for fabricating electroluminescence display, system for fabricating plasma display, and system and process for producing wiring | |
JP2005031149A (en) | Discharging apparatus, apparatus for manufacturing color filter substrate, color filter substrate, electrooptical device, apparatus for manufacturing electrooptical device, wiring manufacturing device, method for manufacturing electrooptical device, discharging method, and electronic equipment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060823 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070403 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070810 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070918 |