JP2005091209A - 赤外線通信デバイスの検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 赤外線通信デバイスの複数の項目に渡る特性検査を1つの検査装置で同時に行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】 本検査装置は、赤外線通信デバイス1に対峙した位置に5つの基準受光素子4a〜4e及び1つの基準発光素子3並びに赤外線通信デバイス1の近傍に8つの基準発光素子2a〜2hが配置された暗箱6と、赤外線通信デバイス1が移動しセットされるスリーブである供給スリーブ8、搬送レール10、収納スリーブ9、検査素子からの信号を受ける特性検査テスタ11、接続のための電極14及びコンタクトプローブ7から構成する。
【選択図】 図1
【解決手段】 本検査装置は、赤外線通信デバイス1に対峙した位置に5つの基準受光素子4a〜4e及び1つの基準発光素子3並びに赤外線通信デバイス1の近傍に8つの基準発光素子2a〜2hが配置された暗箱6と、赤外線通信デバイス1が移動しセットされるスリーブである供給スリーブ8、搬送レール10、収納スリーブ9、検査素子からの信号を受ける特性検査テスタ11、接続のための電極14及びコンタクトプローブ7から構成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光半導体素子の製造工程で行う光半導体素子の検査装置に関し、特に、赤外線通信デバイス(以下、「IrDAデバイス」という)の検査装置に関する。
赤外線通信デバイスの特性を検査するには、一般的に発光素子検査、遠距離受光素子検査、近距離受光素子検査及び待機時消費電流検査という4つの項目の検査を行う必要がある。IrDAデバイスのこれらの特性検査を行う検査装置は、以下に示すようなものが知られている。なお、以下に示す従来の検査装置は、例えば特許文献1に部分的に公開されている。
以下、図面を参照して従来のIrDAデバイスの検査装置を説明する。
図5〜図7は、従来のIrDAデバイスの特性検査を行う検査装置の概略構成を示している。なお、特性検査の対象であるIrDAデバイス1(図2参照)は、発光素子12aを搭載した発光部12とデータを受信するための受光素子13aを搭載した受光部13から構成されている。
図5は、従来の発光検査装置の概略構成を示しており、(a)は検査装置の平面より見た断面図であり、(b)は右側面より見た断面図、(c)は正面より見た断面図である。図5(a)〜(c)において、暗箱61については内部構造を示している。
図5に示す検査装置は、IrDAデバイス1の発光素子検査を行うために検査の基準となる校正された検査素子である5つの基準受光素子4が配置された暗箱61、5つの基準受光素子4a〜4eからの信号を受ける特性検査テスタ11、接続のための電極14、コンタクトプローブ7及びIrDAデバイス1をセットするレール10から構成されている。ここで、それぞれの基準受光素子4a〜4eは、暗箱61のIrDAデバイス1がセットされている面61aに対向する面61bに、基準受光素子4aを中心して上下左右の対称位置に配置されている。すなわち、基準受光素子4a〜4eは、検査するIrDAデバイス1の発光部12に対して、正面に基準受光素子4aを配置し、この基準受光素子4aに対してX方向に−15°傾けて基準受光素子4bを配置し、X方向に+15°傾けて基準受光素子4cを配置し、Y方向に−15°傾けて基準受光素子4dを配置し、Y方向に+15°傾けて基準受光素子4eを配置配置している。発光素子検査は、IrDAデバイス1の発光指向性を検査するものであり、5つの基準受光素子4a〜4eがIrDAデバイス1の発光部12からの光を受光することによって出力される出力値を用いて行われる。
図6は、従来の遠距離受光素子検査を行う検査装置を平面より見た概略断面を示している。図6に示す検査装置では、検査の基準となる基準発光素子3は、暗箱62のIrDAデバイス1がセットされている面62aに対向する面62bに、IrDAデバイス1と対向して1つ配置されている。
遠距離受光素子検査は、IrDAデバイス1の受光特性を確認するものであり、高出力光量で発光させパルス入力特性をIrDAデバイス1から遠くに配置された基準発光素子3を用いて検査することによって行われる。
図7は、従来の近距離受光素子検査を行う検査装置を平面より見た概略断面を示している。図7においては、遠距離受光素子検査を行う検査装置(図6参照)の暗箱62に比べて、基準発光素子2がセットされている暗箱63が短いことが異なり、基準発光素子2はIrDAデバイス1の正面に近距離で配置されている。
近距離受光素子検査は、IrDAデバイス1が近距離でも誤動作しないことを確認するものであり、IrDAデバイス1の近くに配置された基準発光素子2を高出力光量で発光させたときのパルス入力特性を検査することによって行われる。
待機時消費電流検査は、IrDAデバイス1に流れる電流値が適正であるかを検査するものであり、IrDAデバイス1に印加電圧を与えて別途検査される。
特開2001−318027号公報(第8頁、第3図)
従来の技術では、IrDAデバイスの特性検査を行うために複数の検査装置または暗箱を用意する必要があり、これを設置するために広い場所が必要であるという問題があった。また、発光素子検査、遠距離受光素子検査、近距離受光素子検査及び待機時消費電流検査を別々に行っており、検査時間が長くかかるという問題があった。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、IrDAデバイスの複数の項目に渡る特性検査を1つの検査装置で同時に行うことができる検査装置を提供することにある。
本発明のIrDAデバイスの検査装置は、赤外線通信デバイスの発光素子検査、遠距離受光素子検査、近距離受光素子検査及び待機時消費電流検査を行う検査装置であって、赤外線通信デバイスと対峙した位置に位置に複数の基準受光素子と1つの基準発光素子とが配置され、赤外線通信デバイスの近傍に複数の基準発光素子が配置されていることを特徴としている。
これによって、1つの検査装置でIrDAデバイスの発光素子検査、遠距離受光素子検査、近距離受光素子検査及び待機時消費電流検査の検査を同時に行うことができる。
また、本発明のIrDAデバイスの検査装置は、複数の基準受光素子の出力値が補正係数によって調整され、IrDAデバイスが発光する発光強度が異なる場合においても複数の基準受光素子とIrDAデバイスとの距離を変えることなく発光素子検査を行うことができる機能を有することを特徴としている。
これによって、基準受光素子の配置位置を変更することなく、または複数の基準受光素子の配置位置が異なる装置を用意することなく、IrDAデバイスの発光強度が異なるIrDAデバイスの発光素子検査を1つの検査装置で行うことができる。
また、本発明のIrDAデバイスの検査装置は、IrDAデバイスと1つの基準発光素子との間にND(neutral density)フィルタまたは拡散紙が配置され、IrDAデバイスが受光する受光強度が異なる場合においても1つの基準発光素子とIrDAデバイスとの距離を変えることなく遠距離受光素子検査を行うことができる機能を有することを特徴としている。
これによって、1つの基準発光素子の配置位置を変更することなく、または1つの基準発光素子の配置位置が異なる装置を用意することなく、IrDAデバイスの受光強度が異なるIrDAデバイスの遠距離受光素子検査を1つの検査装置で行うことができる。
また、本発明のIrDAデバイスの検査装置は、IrDAデバイスの近傍に配置された複数の基準発光素子は、IrDAデバイスに各出力パルス光を同期させて入射し、IrDAデバイスが受信した複数の電圧の周期とパルス幅の最大値と最小値を測定することによって近距離受光素子検査を行う機能を有することを特徴としている。
これによって、複数の基準受光素子の光軸と干渉を回避することが可能となり、IrDAデバイスの近距離受光検査も同時に行うことができる。
また、本発明のIrDAデバイスの検査装置は、IrDAデバイスに対して前記1つの基準発光素子からの弱い発光によってIrDAデバイスに電流が流れる際、電流値の時間に対する変化率によって待機時消費電流検査を行う機能を有することを特徴としている。
これによって、IrDAデバイスの待機時消費電流検査を迅速に精度よく行うことができる。
また、本発明のIrDAデバイスの検査装置は、赤外線通信デバイスに対して電源電圧を印加後、赤外線通信デバイスの出力電圧を一定時間毎に測定し、出力電圧値の時間的変化から待機時消費電流検査を行う機能を有することを特徴としている。
これによって、IrDAデバイスの待機時消費電流検査を迅速に精度よく行うことができる。
また、本発明のIrDAデバイスの検査装置は、IrDAデバイスを供給する供給スリーブと、IrDAデバイスを検査する位置に搬送しセットするための搬送レールと、検査後のIrDAデバイスを収納する収納スリーブとを有することを特徴としている。
これによって、多数のIrDAデバイスの検査を迅速に自動的に行うことを可能にすることができる。
本発明のIrDAデバイスの検査装置によれば、1つの検査装置でIrDAデバイスの発光素子検査、遠距離受光素子検査、近距離受光素子検査及び待機時消費電流検査を同時に行うことができるので、検査時間を短縮することができる。また、複数の検査装置を用意する必要がなく、検査装置を小型化でき装置の設置面積を少なくすることができる。
また、本発明のIrDAデバイスの検査装置によれば、複数の基準受光素子の配置位置を変更することなく、または複数の基準受光素子の配置位置が異なる装置を用意することなく、測定条件の異なる発光素子検査及び遠距離受光素子検査を行うことができるので、余分な装置を必要とせず、検査時間を短縮することができる。
また、IrDAデバイスの上記の各種特性検査を精度よく迅速に、かつ自動的に行うことができ、それに伴って容易にこれらの検査の操作をマニュアル化することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係るIrDAデバイスの検査装置の概略構成を示しており、(a)は検査装置の平面より見た概略断面図であり、(b)は右側面より見た概略断面図であり、(c)は正面より見た概略断面図である。
本検査装置は、検査素子である5つの基準受光素子4a〜4e、1つの基準発光素子3及び8つの基準発光素子2a〜2hが配置された暗箱6、IrDAデバイス1が移動しセットされるスリーブである供給スリーブ8、搬送レール10、収納スリーブ9、及び検査素子からの信号を受ける特性検査テスタ11と接続するための電極14、コンタクトプローブ7から構成されている。
発光素子検査を行うための基準受光素子4a〜4eは、暗箱6のIrDAデバイス1がセットされている面6aに対向する面6bに、基準受光素子4aを中心して上下左右の対称位置に配置されている。すなわち、基準受光素子4a〜4eは、検査するIrDAデバイス1の発光部12に対して、正面に基準受光素子4aを配置し、この基準受光素子4aに対してX方向に−15°傾けて基準受光素子4bを配置し、X方向に+15°傾けて基準受光素子4cを配置し、Y方向に−15°傾けて基準受光素子4dを配置し、Y方向に+15°傾けて基準受光素子4eを配置配置している。
遠距離受光素子検査を行うための発光素子3は、IrDAデバイス1より遠距離(基準受光素子4aの近傍)に配置している。基準となる発光素子3とIrDAデバイス1の間にNDフィルタ(または拡散紙)5を配置している。
近距離受光素子検査を行うための8つの基準発光素子2a〜2hは、基準発光素子2a、2b、基準発光素子2c、2d、基準発光素子2e、2f、基準発光素子2g、2hがそれぞれ2個ずつペアとなって、IrDAデバイス1を中心として上下左右の対称位置であり、IrDAデバイス1の近傍4方向に均等な距離に配置している。なお、これらの4方向と基準受光素子4a〜4eとの位置関係は特に限定されない。
まず、本検査装置によるIrDAデバイス1の特性検査の手順について概略を説明する。
最初に、特性検査の対象となるデバイスを検査装置にセットする。検査対象デバイスは、図2に例示するIrDAデバイス1である。IrDAデバイス1は、データを送信するための発光素子12aを搭載した発光部12とデータを受信するための受光素子13aを搭載した受光部13から構成されている。
多数のIrDAデバイス1を供給スリーブ8に収め、IrDAデバイス1を1つずつ空気圧で搬送レール10に搬入し、まず一つめのIrDAデバイス1を検査する位置(コンタクト位置)にセットする。セットされたIrDAデバイス1は、エアーシリンダ(図示しない)によりコンタクトプローブ7をIrDAデバイス1の電極14に接続することによって特性検査テスタ11と繋がり、IrDAデバイス1の特性検査を開始する準備が整う。
そして、本検査装置では、IrDAデバイス1の発光素子検査、遠距離受光素子検査、近距離受光素子検査及び待機時消費電流検査を1つの工程で同時に行う。これらのすべての特性が合格の場合は、測定後のIrDAデバイス1を収納スリーブ9に収納する。不合格の場合は、IrDAデバイス1を取り除く。
次に、図1に示す検査装置を用いてIrDAデバイス1の発光素子検査、遠距離受光素子検査、近距離受光素子検査及び待機時消費電流検査を行う方法について詳しく説明する。以下、これらの検査方法を別々に説明するが、前述のようにこれらの検査は同時に行われる。
発光素子検査は、IrDAデバイス1の発光指向性を検査するものであり、5つの基準受光素子4a〜4eがIrDAデバイス1の発光部12からの光を受光することによって出力される出力値を用いて行われる。
ここで、基準受光素子4a〜4eは、IrDAデバイス1から約20cmの位置に配置されており、IrDAデバイス1の発光部12より発光された放射光量を基準受光素子4a〜4eで受けることにより、IrDAデバイス1の発光強度を測定している。このとき、基準受光素子4a〜4eが受光することによって出力される出力値を補正係数によって調整することによって、2つの赤外線通信規格であるIrDA1.2規格の20cm相当の発光強度とIrDA1.0規格の1m相当の発光強度を同一の暗箱6を使用して検査することがでるようにしている。例えば、この補正係数の設定は、予め20cm相当で測定した校正済みサンプルが、10mW/srのとき、本検査設備で測定した値が、8mW/srのときは、補正係数として、10[mW/sr]/8[mW/sr]=1.25倍の補正係数を設定することになる。
遠距離受光素子検査は、IrDAデバイス1より遠距離(基準受光素子4aの近傍)に配置された発光素子3を用いて行う。
ここで、基準発光素子3より複数のパルスを出力し、IrDAデバイス1の受光側13で受信した複数の出力電圧のパルス幅、パルス周期の最小値、最大値を求め、この最大値と最小値を判定基準と照合し、IrDAデバイス1の遠距離受光特性を判定する。
また、基準となる発光素子3の間にNDフィルタ(または拡散紙)5を配置することにより、IrDA1.2規格の20cm相当の基準パルス発光量とIrDA1.0規格の1m相当の基準パルス発光量を切り替え、同一の暗箱6を使用して検査することができるようにしている。
近距離受光素子検査は、IrDAデバイス1の近傍に配置された8つの基準発光素子2a〜2hを用いて行う。
ここで、8つの基準発光素子2は、IrDAデバイス1から1cm相当の位置に配置する必要がある。具体的には、8つの基準発光素子2a〜2hは、IrDAデバイス1の発光検査と同じ暗箱6で測定できるように基準受光素子4a〜4eの光軸15と干渉しないようにしながら、IrDAデバイス1から1cm相当の光量と同じ光量を確保することが必要である。
そのために、パルス抜け・ノイズ検出のため8個の基準発光素子2a〜2hに同じ周期とパルス幅の複数のパルス光を入射させて、IrDAデバイス1の受光側で受信した複数の出力電圧パルス幅、パルス周期の最小値、最大値を求める。そして、これらの最大値と最小値とを基準値と照合し、IrDAデバイス1の近距離受光特性を判定する。これらの最大値と最小値とが全て基準値内であれば、近距離受光素子検査は合格としている。
待機時消費電流検査は、IrDAデバイス1を基準発光素子3より弱い光量で発光させることによって行い、IrDAデバイス1に流れる電流値が適正であるかを検査する。
図3は、電圧を印加したときにIrDAデバイス1に流れる待機時消費電流(Isd)の時間的経過を幾つか示している。このとき、待機時消費電流は、微少電流であり、電源電圧(Vcc)とGND(grand)間にコンデンサが接続されている場合は、電流値(Isd)が安定するまで数秒以上必要である。
そこで、測定時間を短縮するために、時刻t1とt2で待機時消費電流(Isd)を測定し、この2点間の測定値の傾きが、基準の傾きの上限17より急傾斜になっている場合(図3の電流波形16aと16b)は、合格(OK)として判断する。一方、基準の傾きの上限17より緩やかになっている場合(図3の電流波形16cと16d)は、不合格(NG)として判断する。従って、待機時消費電流が安定するより前である時刻t2の位置で合否を判定することができる。ここで、基準の傾きの上限17を設定するだけでは、IrDAデバイス1がない状態で測定したときも合格と判断されてしまうことになるので、基準の傾きの下限18より傾斜が緩やかになるという条件を付加している。従って、図3の電流波形16eの場合は、NGとなる。
また、待機時消費電流検査において、電源電圧印加後のIrDAデバイス1の出力電圧を一定時間毎に測定し、複数回の測定値より合否を判定することにより、精度のある測定を行っている。
例えば、図4は、時刻0の時点で電源電圧が印加された場合の電源電圧(Vcc)、電源電流(Icc)及びIrDAデバイス1の出力電圧の時間変化を示している。図4に示すように、出力電圧を時刻t1と時刻t2の2カ所で測定した結果、時刻t2の位置で出力電圧が時刻t1の時の値より低い値を示している場合は、待機時消費電流特性はNGと判定している。
1 IrDAデバイス
2a〜2h 基準発光素子(近距離)
3 基準発光素子(遠距離)
4a〜4e 基準受光素子
5 NDフィルタ(または拡散紙)
6、61、62、63 暗箱
7 コンタクトプローブ
8 供給スリーブ
9 収納スリーブ
10 搬送レール
11 特性検査テスタ
12 IrDAデバイスの発光部
13 IrDAデバイスの受光部
14 電極
15 光軸
16 電流波形
17 基準の傾きの上限
18 基準の傾きの下限
2a〜2h 基準発光素子(近距離)
3 基準発光素子(遠距離)
4a〜4e 基準受光素子
5 NDフィルタ(または拡散紙)
6、61、62、63 暗箱
7 コンタクトプローブ
8 供給スリーブ
9 収納スリーブ
10 搬送レール
11 特性検査テスタ
12 IrDAデバイスの発光部
13 IrDAデバイスの受光部
14 電極
15 光軸
16 電流波形
17 基準の傾きの上限
18 基準の傾きの下限
Claims (7)
- 赤外線通信デバイスの発光素子検査、遠距離受光素子検査、近距離受光素子検査及び待機時消費電流検査を行う検査装置であって、
前記赤外線通信デバイスと対峙した位置に複数の基準受光素子と1つの基準発光素子とが配置され、前記赤外線通信デバイスの近傍に複数の基準発光素子が配置されていることを特徴とする赤外線通信デバイスの検査装置。 - 前記複数の基準受光素子の出力値が補正係数によって調整され、前記赤外線通信デバイスが発光する発光強度が異なる場合においても前記複数の基準受光素子と前記赤外線通信デバイスとの距離を変えることなく前記発光素子検査を行うことができる機能を有することを特徴とする請求項1に記載の赤外線通信デバイスの検査装置。
- 前記赤外線通信デバイスと前記1つの基準発光素子との間にNDフィルタまたは拡散紙が配置され、前記赤外線通信デバイスが受光する受光強度が異なる場合においても前記1つの基準発光素子と前記赤外線通信デバイスとの距離を変えることなく前記遠距離受光素子検査を行うことができる機能を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の赤外線通信デバイスの検査装置。
- 前記赤外線通信デバイスの近傍に配置された複数の基準発光素子は、前記赤外線通信デバイスに各出力パルス光を同期させて入射し、前記赤外線通信デバイスが受信した複数の電圧の周期とパルス幅の最大値と最小値を測定することによって前記近距離受光素子検査を行う機能を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の赤外線通信デバイスの検査装置。
- 前記赤外線通信デバイスに対して前記1つの基準発光素子からの弱い発光によって前記赤外線通信デバイスに電流が流れる際、前記電流値の時間に対する変化率によって前記待機時消費電流検査を行う機能を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の赤外線通信デバイスの検査装置。
- 前記赤外線通信デバイスに対して電源電圧を印加後、赤外線通信デバイスの出力電圧を一定時間毎に測定し、前記出力電圧の値の時間的変化から前記待機時消費電流検査を行う機能を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の赤外線通信デバイスの検査装置。
- 前記赤外線通信デバイスを供給する供給スリーブと、前記赤外線通信デバイスを検査する位置に搬送しセットするための搬送レールと、検査後の前記赤外線通信デバイスを収納する収納スリーブとを有することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の赤外線通信デバイスの検査装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003326279A JP2005091209A (ja) | 2003-09-18 | 2003-09-18 | 赤外線通信デバイスの検査装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003326279A JP2005091209A (ja) | 2003-09-18 | 2003-09-18 | 赤外線通信デバイスの検査装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100805834B1 (ko) | 2006-01-09 | 2008-02-21 | 삼성전자주식회사 | 수광소자의 테스트 장치 및 그 방법 |
-
2003
- 2003-09-18 JP JP2003326279A patent/JP2005091209A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100805834B1 (ko) | 2006-01-09 | 2008-02-21 | 삼성전자주식회사 | 수광소자의 테스트 장치 및 그 방법 |
US7408365B2 (en) | 2006-01-09 | 2008-08-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensor testing method and apparatus |
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