JP2005075367A - Packaging body for epoxy resin molding material for sealing semiconductor and semiconductor device - Google Patents

Packaging body for epoxy resin molding material for sealing semiconductor and semiconductor device Download PDF

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Atsushi Koshinuma
敦 越沼
Akio Ono
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a packaged epoxy resin molding material from absorbing moisture, to facilitate taking out and handling of the molding material when molding is performed after returning it to a normal temperature, and to decrease inferiority of molding, inferiority of continuity and cracking at high temperature of a semiconductor device sealed by using this molding material. <P>SOLUTION: A packaging body comprises a packaging bag made of a plastic film for packaging which is made into a bag by sealing processing, and the epoxy resin molding material for sealing the semiconductor stored in the packaging bag. In this packaging body for the epoxy resin molding material for sealing the semiconductor, at least one of a notch and a ripple cut is formed from an end part of the packaging bag toward a sealing region for bag manufacturing, or in the sealing region. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、半導体封止用エポキシ樹脂成形材料の包装体に関わるものであり、特に上記エポキシ樹脂成形材料のハンドリングを容易にするとともに吸湿を防止する包装体及びそれを用いて封止した半導体装置に関するものである。   The present invention relates to a packaging body of an epoxy resin molding material for semiconductor encapsulation, and particularly a packaging body that facilitates handling of the epoxy resin molding material and prevents moisture absorption, and a semiconductor device sealed using the packaging body It is about.

トランジスタ、コンデンサ、IC、LSI等の半導体素子を外部環境から保護することを目的に熱硬化性樹脂を用いた樹脂封止が普及している。特に封止用樹脂としてエポキシ樹脂を使用したトランスファーモールド法は経済性に優れ、生産性も高く大量生産に適していることから樹脂封止の主流となっている。   Resin sealing using a thermosetting resin has become widespread for the purpose of protecting semiconductor elements such as transistors, capacitors, ICs, and LSIs from the external environment. In particular, a transfer molding method using an epoxy resin as a sealing resin is excellent in economic efficiency, has high productivity and is suitable for mass production, and has become the mainstream of resin sealing.

樹脂封止に使用される半導体封止用エポキシ樹脂成形材料の製造方法は、エポキシ樹脂、硬化剤、無機質充填剤、離型剤、難燃助剤、硬化促進剤および着色剤等の粉末状の各種原材料を所定量秤量し、ヘンシェルミキサ或いはレディゲミキサ等を用いて混合した後、加熱ロール、連続ニーダ或いは押出機により混練し、シート状にして冷却、粉砕し、粉粒状のいわゆるパウダを得る。さらにパウダは通常、顧客の要求に応じた重量及びサイズの円柱状のエポキシ樹脂成形材料タブレット(以下、タブレットという。)に打錠成形されて製品とするのが一般的である(例えば非特許文献1参照。)。   The manufacturing method of the epoxy resin molding material for semiconductor sealing used for resin sealing is powdery such as epoxy resin, curing agent, inorganic filler, mold release agent, flame retardant aid, curing accelerator and colorant. A predetermined amount of various raw materials are weighed, mixed using a Henschel mixer or a Redige mixer, etc., then kneaded by a heating roll, continuous kneader or extruder, cooled into a sheet, and pulverized to obtain a so-called powdery powder. Further, the powder is generally formed into a product by tableting into a cylindrical epoxy resin molding material tablet (hereinafter referred to as a tablet) having a weight and size according to a customer's request (for example, non-patent document). 1).

このようにして製造されたエポキシ樹脂成形材料は金属缶や段ボール箱の内部にポリエチレン等の包装用プラスチックフィルムを製袋した袋を入れ、その中にパウダ或いはタブレットを所定量投入した後、輪ゴムやビニールテープ或いは接着剤やヒートシール等の方法により袋を封緘し、エポキシ樹脂成形材料の吸湿を防止するための乾燥剤、製品を識別するためのラベル等を同梱して梱包されている。この後、エポキシ樹脂成形材料のライフ、すなわち半導体封止用エポキシ樹脂成形材料を室温に放置することにより硬化反応が緩やかに進行して流動性や硬化性等の諸特性が劣化することを防止するために5℃以下の低温倉庫等に保管するのが一般的であり、輸送時においても低温状態を保ったまま取り扱われる。   The epoxy resin molding material produced in this way is put into a metal can or cardboard box with a bag made of plastic film for packaging such as polyethylene, and a predetermined amount of powder or tablet is put into it. The bag is sealed by a method such as vinyl tape or adhesive, heat sealing, etc., and a desiccant for preventing moisture absorption of the epoxy resin molding material, a label for identifying the product, and the like are packaged. After this, the life of the epoxy resin molding material, that is, by leaving the epoxy resin molding material for semiconductor encapsulation at room temperature, the curing reaction is prevented from proceeding slowly to prevent deterioration of various properties such as fluidity and curability. Therefore, it is generally stored in a low temperature warehouse or the like of 5 ° C. or lower, and is handled while maintaining a low temperature state during transportation.

顧客の要求に応じて出荷された半導体封止用エポキシ樹脂成形材料は、顧客に納入された後、使用時期に合わせて低温倉庫から出庫され、作業室内等に所定の時間放置することによってタブレットの温度を室温と同等まで昇温させた後、ポリエチレン袋等を開けて取り出し、成形機に供給して半導体パッケージのモールドに使用される。
「粉体の圧縮成形技術」第5章 5.2電子材料分野における圧縮成形 第231〜235頁 日刊工業新聞社 1998年
After being delivered to the customer, the epoxy resin molding material for semiconductor encapsulation shipped according to the customer's requirements is delivered from the low-temperature warehouse according to the time of use, and left in the work room for a predetermined time. After the temperature is raised to room temperature, the polyethylene bag or the like is opened and taken out and supplied to a molding machine to be used for molding a semiconductor package.
"Powder compression molding technology" Chapter 5 5.2 Compression molding in the field of electronic materials Pages 231 to 235 Nikkan Kogyo Shimbun 1998

ここでタブレットを保管・輸送中の低温の状態から室温と同等まで昇温させる工程はいわゆる常温戻しと呼ばれているが、常温戻しの間は作業室内に放置されるため、低温のタブレットを包装したポリエチレン袋等の表面は周囲環境の空気の露点に達することがあり、ポリエチレン袋等の表面には結露を生じることがある。この時、ポリエチレン袋等に破れがあると包装されているタブレットやパウダの吸湿につながる。吸湿したタブレットはモールド工程において200℃以上の高温にさらされるため、吸湿した水分が水蒸気となってパッケージの破壊等の致命的な特性劣化を与えることになる。またポリエチレン袋等に破れが無くとも、包装用フィルムの透湿度が大きい場合には包装されたタブレットは吸湿する恐れがあり、少なからず半導体パッケージへ影響を与えることになる。   Here, the process of raising the temperature from the low temperature state during storage / transport to the same level as the room temperature is called so-called room temperature return. The surface of the polyethylene bag or the like may reach the dew point of the ambient air, and condensation may occur on the surface of the polyethylene bag or the like. At this time, if the polyethylene bag is torn, it leads to moisture absorption of the packaged tablet or powder. Since the absorbed tablet is exposed to a high temperature of 200 ° C. or higher in the molding process, the absorbed moisture becomes water vapor, which causes fatal characteristic deterioration such as package destruction. Even if the polyethylene bag or the like is not torn, if the moisture permeability of the packaging film is large, the packaged tablet may absorb moisture, which will affect the semiconductor package.

また、常温戻し後のタブレットを、包装していたポリエチレン袋から取り出す場合には、袋を閉じていた輪ゴムやビニールテープを人手作業により取り外して開封したり、或いは接着剤やヒートシールによる封緘袋を鋏やカッターナイフ等を使用して切開したりする必要がある。しかしながら、取り外した輪ゴムやビニールテープ或いは切り取った時のポリエチレン袋等の切れ端がタブレットに混入したり、鋏やカッターナイフが刃こぼれしたりする恐れがある。輪ゴム等の異物の混入は成形機の運転を停止させる原因や、半導体パッケージのモールド不良の原因となり、金属異物の混入は半導体パッケージの導通不良の原因となる等の大きな問題があった。
そこで本発明の目的は、包装された半導体封止用エポキシ樹脂成形材料への吸湿を防止するとともに、常温戻し後のタブレット等の取り出し、ハンドリングを容易にする包装体を提供することにある。
Also, when taking out the tablet after returning to normal temperature from the packaged polyethylene bag, manually remove the rubber band or vinyl tape that was closing the bag and open it, or use an adhesive or heat-sealed sealing bag. It is necessary to make an incision using a scissors or a cutter knife. However, there is a risk that a piece of rubber band, vinyl tape, or a polyethylene bag that has been cut off will be mixed into the tablet, or that a bag or cutter knife may spill. There are major problems such as the inclusion of foreign matters such as rubber bands causing the operation of the molding machine to stop and the defective molding of the semiconductor package, and the inclusion of metallic foreign matters causes the conduction failure of the semiconductor package.
Therefore, an object of the present invention is to provide a package that prevents moisture absorption of the packaged epoxy resin molding material for semiconductor encapsulation and facilitates taking out and handling of tablets after returning to room temperature.

本発明の半導体封止用エポキシ樹脂成形材料の包装体は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、シール処理により製袋された包装用プラスチックフィルム製包装袋と、該包装袋に収納されている半導体封止用エポキシ樹脂成形材料とからなる包装体であって、包装袋の端部から製袋用シール領域に向けて、または該シール領域に、ノッチおよび波目カットの少なくとも一方が形成されていることを特徴とする。
そして、半導体封止用エポキシ樹脂成形材料がタブレット形状または粉粒体形状であるのが好ましい。
また、包装用プラスチックフィルムが単層または積層であり、少なくとも1層が高密度ポリエチレンからなるのが好ましい。
さらにまた、包装用プラスチックフィルムが延伸フィルムであり、延伸方向性とノッチまたは波目カットの方向とが一致して形成されているのが好ましい。
The package of the epoxy resin molding material for semiconductor encapsulation of the present invention is made to solve the above-mentioned problems, and is a packaging bag made of plastic film for packaging made by a sealing process, and the packaging bag. A packaging body made of an epoxy resin molding material for semiconductor sealing housed in the packaging bag, from the end of the packaging bag toward the sealing area for bag making, or in the sealing area, at least notch and wave cut One is formed.
And it is preferable that the epoxy resin molding material for semiconductor sealing is a tablet shape or a granular material shape.
The packaging plastic film is preferably a single layer or a laminate, and at least one layer is preferably made of high-density polyethylene.
Furthermore, it is preferable that the packaging plastic film is a stretched film, and the stretch directionality and the direction of notch or wave cut are matched.

また、本発明の半導体装置は、本発明の包装体を開封して得られた半導体封止用エポキシ樹脂成形材料により素子を封止したことを特徴とする。   The semiconductor device of the present invention is characterized in that the element is sealed with an epoxy resin molding material for semiconductor sealing obtained by opening the package of the present invention.

本発明の包装体は、包装された半導体封止用エポキシ樹脂成形材料への吸湿を防止するとともに、常温戻し後のモールド時の前記成形材料の取り出し、ハンドリングを容易にする。またこの成形材料を用いて封止した本発明の半導体装置はモールド不良、導通不良、高温時のクラックを低減させる。   The package of the present invention prevents moisture absorption to the packaged epoxy resin molding material for semiconductor encapsulation, and facilitates taking out and handling of the molding material during molding after returning to room temperature. In addition, the semiconductor device of the present invention sealed with this molding material reduces mold defects, poor conduction, and cracks at high temperatures.

以下に本発明を詳細に説明する。
図1には本発明の包装体の実施形態の一例を、図2には従来の包装体の一例を模式図で示す。図2に示すように従来では、包装用プラスチックフィルム製包装袋として、ポリエチレン等の包装用プラスチックフィルムを製袋した包装用プラスチック袋1に、半導体封止用エポキシ樹脂成形材料のタブレット2を所定量投入後、輪ゴム3或いはビニールテープもしくはヒートシール等により封緘していた。本発明では図1に示すように、包装袋として、包装用プラスチックフィルムを製袋する際にシール処理を実施したシール領域4の1辺の一部に、Iノッチ11或いはVノッチ、または波目カット等の切れ目となる箇所を施した包装用プラスチック袋1を用いる。ノッチと波目カットはいずれか一方でも併用してもよい。これにより容易に人手によって包装用プラスチック袋1を破くことが可能となる。この結果、従来の人手作業による輪ゴム3やビニールテープを取り外しての開封作業、或いは鋏やカッターナイフ等を用いて袋を切って開袋する必要がなくなり、異物や微小金属片の混入防止を図ることが可能となり、さらに開袋作業の所要時間を著しく低減できるようになる。
The present invention is described in detail below.
FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an embodiment of the package of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a conventional package. As shown in FIG. 2, conventionally, as a packaging bag made of packaging plastic film, a predetermined amount of tablet 2 made of an epoxy resin molding material for semiconductor sealing is placed in a packaging plastic bag 1 made of polyethylene or other packaging plastic film. After throwing in, it was sealed with rubber band 3, vinyl tape or heat seal. In the present invention, as shown in FIG. 1, as a packaging bag, a part of one side of a seal region 4 subjected to a sealing process when a packaging plastic film is made has an I notch 11 or a V notch, or a wave pattern. The plastic bag 1 for packaging which gave the location which becomes a cut | interruption, such as a cut, is used. Either notch or wave cut may be used in combination. As a result, the packaging plastic bag 1 can be easily broken manually. As a result, it is not necessary to open the conventional rubber band 3 or vinyl tape by manually removing it, or to cut and open the bag by using a bag or a cutter knife. In addition, the time required for opening the bag can be significantly reduced.

なお、図1では、ノッチ11は、包装用プラスチック袋1(包装袋)のタブレット2を収納する際に底になる辺のシール領域に形成されているが、収納後に封緘する辺すなわち図中の上端の辺に形成してもよい。また、長い筒型の包装用プラスチックフィルムに収納とシールを連続して行い、その後個々の包装体に切断する場合には、切断線を、通常の直線の代わりに、ノッチや波型カットが形成されるように曲線状に設定しても良い。また、図1ではシール領域4は包装袋の上下端のみであるが、矩形の包装用プラスチックフィルムを筒型に成形するために縦に製袋用のシール領域があってもよい。
さらに、ノッチまたは波型カットは、シール領域4が包装袋の端部を含まない場合は、端部からシール領域に向けて形成され、シール領域内を含んでも含まなくても良いが、開封しやすさから含むのが好ましい。
In FIG. 1, the notch 11 is formed in a seal region on the side that becomes the bottom when the tablet 2 of the packaging plastic bag 1 (packaging bag) is stored. You may form in the edge of an upper end. In addition, when a long cylindrical plastic film for packaging is continuously stored and sealed, and then cut into individual packaging bodies, notches and corrugated cuts are formed instead of normal straight lines. It may be set in a curved shape as described. Further, in FIG. 1, the seal region 4 is only the upper and lower ends of the packaging bag, but there may be a bag-making seal region vertically in order to form a rectangular packaging plastic film into a cylindrical shape.
Further, the notch or corrugated cut is formed from the end portion toward the sealing region when the sealing region 4 does not include the end portion of the packaging bag, and may or may not include the inside of the sealing region. It is preferable to include it for ease.

一方、従来から半導体封止用エポキシ樹脂の包装に使用されてきた低密度ポリエチレン袋は、エポキシ樹脂成形材料の吸湿を防止する点では必ずしも有効ではなかった。低密度ポリエチレンの透湿度は文献によれば16〜22g/m・日であるが、高密度ポリエチレンの透湿度は5〜10g/m・日であり、低密度ポリエチレンフィルムに比較して透湿度は1/2〜1/3であることが分かる。そこで本発明では包装用プラスチックフィルムが単層または積層であり、少なくとも1層に透湿度の小さい高密度ポリエチレンを使用するのが好ましい。 On the other hand, the low-density polyethylene bag that has been conventionally used for packaging an epoxy resin for semiconductor encapsulation has not always been effective in preventing moisture absorption of the epoxy resin molding material. According to the literature, the moisture permeability of low-density polyethylene is 16 to 22 g / m 2 · day, but the moisture permeability of high-density polyethylene is 5 to 10 g / m 2 · day, which is higher than that of low-density polyethylene film. It can be seen that the humidity is 1/2 to 1/3. Therefore, in the present invention, the packaging plastic film is preferably a single layer or a laminate, and at least one layer is preferably made of high-density polyethylene having a low moisture permeability.

さらに高密度ポリエチレン等のプラスチックフィルムは、延伸することによりフィルム特性の向上、例えば機械的強さは2〜3倍、耐衝撃性は30〜40倍、防湿性は2倍に改善されるほか、延伸により方向性を持たせることが可能となる。この方向性に一致するようにノッチや波目カットの方向を合わせておくことにより、さらに容易に袋を開封することが可能となる。   In addition, plastic films such as high-density polyethylene can be stretched to improve film properties. For example, mechanical strength is improved 2 to 3 times, impact resistance is 30 to 40 times, and moisture resistance is improved 2 times. It becomes possible to give directionality by stretching. By aligning the direction of the notch or wave cut so as to match this directionality, the bag can be opened more easily.

本発明で使用する包装用プラスチックフィルムは特に制限されるものではなく、一般的なプラスチックフィルムを用途に応じて単層または積層で使用することができる。最も一般的な包装用プラスチックフィルムはポリエチレンフィルムであり、特に上述の特性の点から高密度ポリエチレンフィルムが好ましい。透湿度、強度或いはヒートシール性等の観点から、0.05〜0.3mm程度の厚みのものを選定するのが好ましい。
吸湿防止の観点からは、延伸ポリプロピレンやナイロン、ポリエチレンテレフタレート等のプラスチックフィルムを選択することによりフィルム自体の透湿量が低減でき、エポキシ樹脂成形材料の吸湿防止には効果的である。
さらに吸湿防止を図るのであれば、アルミラミネートしたフィルムや、シリカバリヤーを行ったポリエチレンフィルムを使用することも可能である。一般に透湿度の小さなポリエステル等のフィルムは高価であることが多いが、特にポリエチレン等の材質を表面層に用いた多層フィルムとすることで経済性と吸湿防止を図ることができ、ヒートシールも可能となる利点がある。
The packaging plastic film used in the present invention is not particularly limited, and a general plastic film can be used as a single layer or a laminate depending on the application. The most common plastic film for packaging is a polyethylene film, and a high-density polyethylene film is particularly preferred from the viewpoint of the above-mentioned characteristics. From the viewpoint of moisture permeability, strength, heat sealability, etc., it is preferable to select one having a thickness of about 0.05 to 0.3 mm.
From the viewpoint of preventing moisture absorption, the amount of moisture permeation of the film itself can be reduced by selecting a plastic film such as stretched polypropylene, nylon or polyethylene terephthalate, which is effective for preventing moisture absorption of the epoxy resin molding material.
In order to further prevent moisture absorption, it is possible to use a film laminated with aluminum or a polyethylene film subjected to a shirrer. In general, films with low moisture permeability such as polyester are often expensive. Especially, a multilayer film using a material such as polyethylene as the surface layer can be economical and prevent moisture absorption, and heat sealing is also possible. There is an advantage to become.

高密度ポリエチレンフィルム層を含む多層の包装用プラスチックフィルムとしては、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、リニア低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン等の材料との共押出し法により作製することができるほか、積層させることによっても得ることができ、これらからなる包装用プラスチックフィルム製包装袋を用途やコストに応じて使用すればよい。   Multi-layer packaging plastic film including high-density polyethylene film layer can be produced by co-extrusion with materials such as low-density polyethylene, medium-density polyethylene, linear low-density polyethylene, polypropylene, nylon, etc. What is necessary is just to use the packaging bag made from the plastic film for packaging which consists of these according to a use or cost.

プラスチックフィルムを包装袋へ製袋するシール処理には、ヒートシール方法を用いるのが一般的であるが、その他に、インパルスシール方法、超音波シール方法なども使用でき、フィルムの素材等によって適宜選択できる。なお、図面に示すシール領域4は線状であるが、基本的には線状でも面状でも良く、一般的には2〜5mm前後の幅の広い線状にシールすることが多い。   The heat sealing method is generally used for the sealing process for making a plastic film into a packaging bag, but in addition, an impulse sealing method, an ultrasonic sealing method, etc. can also be used, and it is appropriately selected depending on the material of the film. it can. Although the seal region 4 shown in the drawing is linear, it may be basically linear or planar, and is generally sealed in a wide linear shape of about 2 to 5 mm.

本発明の包装体に収納される半導体封止用エポキシ樹脂成形材料は、粉末状の各種原材料を混練し、冷却、粉砕してなるパウダ、微粉の少ない顆粒材等のような粉粒体形状、或いはこれを打錠成形してなるタブレット形状のいずれでもよく、その形状や重量等を問わない。   The epoxy resin molding material for semiconductor encapsulation housed in the package of the present invention is a powdered material, such as powder, kneaded various powdered raw materials, cooled and pulverized, granular material with less fine powder, Or any of the tablet shape formed by tableting this may be sufficient, and the shape, weight, etc. are not ask | required.

上記のような本発明の包装体を保管し、移送し、さらに室温戻しをおこなった後、開封して取り出された半導体封止用エポキシ樹脂成形材料は、吸湿性が低く、異物の混入もなく、これを用いて半導体素子を封止することにより、高温クラック、導通不良やモールド不良のない半導体装置が得られる。
すなわち、本発明の半導体装置は、上記本発明の包装体を開封して得られた半導体封止用エポキシ樹脂成形材料により素子を封止したことを特徴とする。
本発明の包装体を適用できる半導体装置の種類としては、例えばリードフレーム上に半導体素子を固定し、ボンディングパッド等の素子の端子部とリード部をワイヤボンディングやバンプで接続した後、トランスファモールド等により封止したDIP、QFP、SOP、SOJ、TSOP、TQFP等の一般的な樹脂封止型IC、或いはBGA、CSP、COBモジュール、ハイブリッドIC等が挙げられ、これらの電子部品に搭載される素子としては、半導体チップ、トランジスタ、ダイオード、サイリスタ等の能動素子、コンデンサ、抵抗体、コイル等の受動素子等の素子が挙げられる。また封止方法としてはトランスファモールド法が最も一般的であるが、インジェクション成形、圧縮成形、注型等の方法を用いてもよい。
The packaging material of the present invention as described above is stored, transported, returned to room temperature, and then opened and taken out. The epoxy resin molding material for semiconductor encapsulation is low in hygroscopicity and contains no foreign matter. By sealing the semiconductor element using this, a semiconductor device free from high temperature cracks, poor conduction, and poor mold can be obtained.
That is, the semiconductor device of the present invention is characterized in that an element is sealed with an epoxy resin molding material for semiconductor sealing obtained by opening the package of the present invention.
As a type of semiconductor device to which the package of the present invention can be applied, for example, a semiconductor element is fixed on a lead frame, and a terminal part and a lead part of an element such as a bonding pad are connected by wire bonding or bump, and then a transfer mold or the like General resin-sealed ICs such as DIP, QFP, SOP, SOJ, TSOP, TQFP, or BGA, CSP, COB modules, hybrid ICs, etc. encapsulated with the above, and elements mounted on these electronic components Examples include active elements such as semiconductor chips, transistors, diodes, and thyristors, and passive elements such as capacitors, resistors, and coils. As the sealing method, the transfer mold method is the most common, but methods such as injection molding, compression molding, and casting may be used.

以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。低密度ポリエチレンフィルム(フィルム厚0.12mm)からなる包装用プラスチックフィルム製包装袋(以下、包装用プラスチック袋という。)を用いて半導体封止用エポキシ樹脂の包装を実施した。この包装用プラスチック袋は、袋開口部と反対側のシールした1辺にIノッチを入れたものを使用した(図1参照)。半導体封止用エポキシ樹脂のタブレットを所定量秤量して投入し、袋開口部をヒートシールにより封緘した。別に、タブレットに代わり温湿度計を投入した以外は同様にして包装用プラスチック袋を封緘して袋内の温湿度の変化を測定した。   Hereinafter, the present invention will be described in detail using examples. A packaging bag made of a plastic film for packaging (hereinafter referred to as a packaging plastic bag) made of a low density polyethylene film (film thickness 0.12 mm) was used to package an epoxy resin for semiconductor encapsulation. This packaging plastic bag used was an I notch on one side of the sealed side opposite to the bag opening (see FIG. 1). A predetermined amount of an epoxy resin tablet for semiconductor sealing was weighed and charged, and the bag opening was sealed by heat sealing. Separately, the packaging plastic bag was sealed in the same manner except that a temperature and humidity meter was used instead of the tablet, and the change in temperature and humidity in the bag was measured.

高密度ポリエチレンを芯材に、その両側を低密度ポリエチレンで挟むようにして共押出しを行い、さらに延伸させてフィルム厚0.08mmの包装用プラスチック袋を作製した。この包装用プラスチック袋は、袋外側の低密度ポリエチレンフィルム厚、中心の高密度ポリエチレンフィルム厚、及び内側の低密度ポリエチレンフィルム厚がそれぞれおよそ0.024mm、0.032mm、及び0.024mmとなるようにして、Iノッチを入れたものである。この包装用プラスチック袋を用いて半導体封止用エポキシ樹脂の包装を実施した。実施例1と同様、タブレットを所定量秤量して投入し、袋開口部をヒートシールを行い封緘したサンプルと、タブレットの代わりに温湿度計を封緘したサンプルとを作製した。   Co-extrusion was performed using high-density polyethylene as a core material and both sides thereof being sandwiched between low-density polyethylene, and further stretched to produce a plastic bag for packaging having a film thickness of 0.08 mm. The packaging plastic bag has a low-density polyethylene film thickness on the outside of the bag, a high-density polyethylene film thickness on the center, and an inner low-density polyethylene film thickness of about 0.024 mm, 0.032 mm, and 0.024 mm, respectively. I is notched. Using this packaging plastic bag, packaging of epoxy resin for semiconductor sealing was carried out. As in Example 1, a predetermined amount of the tablet was weighed and charged, and a sample in which the bag opening was sealed by heat sealing and a sample in which a thermohygrometer was sealed instead of the tablet were prepared.

上記と同様にして高密度ポリエチレンを芯材に、その両側を低密度ポリエチレンで挟むようにして共押出しを行い、さらに延伸させてフィルム厚0.06mmの包装用プラスチック袋を作製し、半導体封止用エポキシ樹脂の包装を実施した。この包装用プラスチック袋は、袋外側の低密度ポリエチレンフィルム厚、中心の高密度ポリエチレンフィルム厚、及び内側の低密度ポリエチレンフィルム厚がそれぞれおよそ0.018mm、0.024mm、及び0.018mmとなるようにして、Vノッチを施した。この包装用プラスチック袋を用いて半導体封止用エポキシ樹脂の包装を実施した。実施例1と同様に、タブレットを所定量秤量して投入し、ヒートシールにより封緘したサンプルと、タブレットに代わって温湿度計を封緘したサンプルとを作製した。   In the same way as above, high-density polyethylene is cored and both sides are sandwiched by low-density polyethylene, and coextrusion is performed. Further, a plastic bag for packaging with a film thickness of 0.06 mm is produced, and an epoxy resin for semiconductor encapsulation Packaging was carried out. This packaging plastic bag has a low density polyethylene film thickness on the outside of the bag, a high density polyethylene film thickness on the center, and an inner low density polyethylene film thickness of about 0.018 mm, 0.024 mm, and 0.018 mm, respectively. V notch was applied. Using this packaging plastic bag, packaging of epoxy resin for semiconductor sealing was carried out. In the same manner as in Example 1, a predetermined amount of a tablet was weighed and charged, and a sample sealed with heat sealing and a sample sealed with a thermohygrometer instead of the tablet were prepared.

高密度ポリエチレンを芯材に、その両側を低密度ポリエチレンで挟むようにして共押出しを行い、さらに延伸させてフィルム厚0.07mmの包装用プラスチック袋を作製した。この包装用プラスチック袋は、袋外側の低密度ポリエチレンフィルム厚、中心の高密度ポリエチレンフィルム厚、及び内側の低密度ポリエチレンフィルム厚がそれぞれおよそ0.023mm、0.024mm、及び0.023mmとなるようにし、Iノッチを入れたものである。この包装用プラスチック袋を用いて半導体封止用エポキシ樹脂の包装を実施した。実施例1と同様にタブレットを所定量秤量して投入し袋開口部をヒートシールを行い封緘したサンプルと、タブレットに代わり温湿度計を封緘したサンプルとを作製した。   Co-extrusion was performed using high-density polyethylene as a core material and both sides thereof being sandwiched between low-density polyethylene, and further stretched to produce a plastic bag for packaging having a film thickness of 0.07 mm. The packaging plastic bag has a low density polyethylene film thickness on the outside of the bag, a high density polyethylene film thickness on the center, and an inner low density polyethylene film thickness of about 0.023 mm, 0.024 mm, and 0.023 mm, respectively. It has a notch. Using this packaging plastic bag, packaging of epoxy resin for semiconductor sealing was carried out. In the same manner as in Example 1, a predetermined amount of the tablet was weighed and put in, and a sample in which the bag opening was heat sealed and sealed, and a sample in which a thermohygrometer was sealed instead of the tablet were prepared.

低密度ポリエチレンを中心に、その外側をナイロン、内側を高密度ポリエチレンで挟むようにして共押出しを行い、さらに延伸させてフィルム厚0.06mmの包装用プラスチック袋を作製した。この包装用プラスチック袋は、袋外側のナイロンフィルム厚、中心の低密度ポリエチレンフィルム厚、及び内側の高密度ポリエチレンフィルム厚がそれぞれおよそ0.015mm、0.010mm、及び0.035mmとなるようにし、波目カットを入れたものである。この包装用プラスチック袋を用いて半導体封止用エポキシ樹脂の包装を実施した。実施例1と同様に、タブレットを所定量秤量して投入し、袋開口部をヒートシールを行い封緘したサンプルと、タブレットに代わって温湿度計を封緘したサンプルとを作製した。
(比較例1)
A plastic bag for packaging having a film thickness of 0.06 mm was produced by coextrusion with low density polyethylene as the center and nylon on the outside and high density polyethylene on the inside and further stretching. This packaging plastic bag has a nylon film thickness on the outside of the bag, a central low-density polyethylene film thickness, and an inner high-density polyethylene film thickness of about 0.015 mm, 0.010 mm, and 0.035 mm, respectively. It is a thing that puts. Using this packaging plastic bag, packaging of epoxy resin for semiconductor sealing was carried out. Similarly to Example 1, a predetermined amount of the tablet was weighed and charged, and a sample in which the bag opening was sealed by heat sealing and a sample in which a thermo-hygrometer was sealed instead of the tablet were prepared.
(Comparative Example 1)

低密度ポリエチレンフィルム(フィルム厚0.06mm)からなる包装用プラスチック袋を用いて半導体封止用エポキシ樹脂の包装を実施した。エポキシ樹脂成形材料のタブレットを所定量秤量して投入し、袋開口部を輪ゴムを用いて封緘したサンプルを作製した(図2参照。)。別に、タブレットの代わりに温湿度計を投入して同様に封緘したサンプルを作製した。
(比較例2)
The packaging of the epoxy resin for semiconductor sealing was carried out using a plastic bag for packaging made of a low density polyethylene film (film thickness 0.06 mm). A predetermined amount of an epoxy resin molding material tablet was weighed and charged, and a sample was produced in which the bag opening was sealed with a rubber band (see FIG. 2). Separately, a thermo-hygrometer was put in place of the tablet to prepare a sealed sample.
(Comparative Example 2)

低密度ポリエチレンフィルム(フィルム厚0.06mm)からなる包装用プラスチック袋を用いて半導体封止用エポキシ樹脂の包装を実施した。タブレットを所定量秤量して投入し、袋開口部をビニールテープを巻いて封緘したサンプルを作製した。別に、タブレットの代わりに温湿度計を投入して同様に封緘したサンプルを作製した。
上記のようにして実施例1〜5、比較例1〜2で作製した各サンプルを、5℃の倉庫内に24時間保管した後、常温戻しも含めて恒温恒湿槽(槽温30℃、湿度70%RH)に48時間放置した。この後、サンプルをカッター類を用いず手作業で開袋して、開袋の所要時間を測定するとともに、サンプル袋開袋時の袋内の湿度を確認した。評価結果を表1にまとめるが、実施例は比較例に比べて開袋の所要時間を大幅に短縮できるとともに、高密度ポリエチレンを使用した包装用プラスチック袋は袋内の湿度の増加を防止できることを確認した。
The packaging of the epoxy resin for semiconductor sealing was carried out using a plastic bag for packaging made of a low density polyethylene film (film thickness 0.06 mm). A predetermined amount of the tablet was weighed and charged, and a sample was produced in which the bag opening was wrapped with vinyl tape and sealed. Separately, a thermo-hygrometer was put in place of the tablet to prepare a sealed sample.
After each sample produced in Examples 1-5 and Comparative Examples 1-2 as described above was stored in a warehouse at 5 ° C. for 24 hours, a constant temperature and humidity chamber (room temperature 30 ° C., (Humidity 70% RH) for 48 hours. Thereafter, the sample was opened manually without using cutters, the time required for opening the bag was measured, and the humidity in the bag at the time of opening the sample bag was checked. The evaluation results are summarized in Table 1. The example can greatly reduce the time required for opening the bag compared to the comparative example, and the plastic bag for packaging using high-density polyethylene can prevent an increase in humidity in the bag. confirmed.

Figure 2005075367
Figure 2005075367

本発明の包装体の実施形態の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of embodiment of the package of this invention. 従来の包装体の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the conventional package.

符号の説明Explanation of symbols

1 包装用プラスチック袋
11 Iノッチ
2 タブレット
3 輪ゴム
4 シール領域
1 Plastic bag for packaging 11 I notch 2 Tablet 3 Rubber band 4 Sealing area

Claims (6)

シール処理により製袋された包装用プラスチックフィルム製包装袋と、該包装袋に収納されている半導体封止用エポキシ樹脂成形材料とからなる包装体であって、包装袋の端部から製袋用シール領域に向けて、または該シール領域に、ノッチが形成されていることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂成形材料の包装体。   A packaging body made of a packaging plastic film packaging bag made by a sealing process and a semiconductor sealing epoxy resin molding material contained in the packaging bag, from the end of the packaging bag A package of an epoxy resin molding material for semiconductor sealing, wherein a notch is formed toward or in the seal region. シール処理により製袋された包装用プラスチックフィルム製包装袋と、該包装袋に収納されている半導体封止用エポキシ樹脂成形材料とからなる包装体であって、包装袋の端部から製袋用シール領域に向けて、または該シール領域に、波目カットが形成されていることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂成形材料の包装体。   A packaging body made of a packaging plastic film packaging bag made by a sealing process and a semiconductor sealing epoxy resin molding material contained in the packaging bag, from the end of the packaging bag A package of an epoxy resin molding material for semiconductor sealing, wherein a wave cut is formed toward or in the seal region. 半導体封止用エポキシ樹脂成形材料がタブレット形状または粉粒体形状である請求項1または2記載の半導体封止用エポキシ樹脂成形材料の包装体。   The packaging body of the epoxy resin molding material for semiconductor sealing according to claim 1 or 2, wherein the epoxy resin molding material for semiconductor sealing is in a tablet shape or a granular material shape. 包装用プラスチックフィルムが単層または積層であり、少なくとも1層が高密度ポリエチレンからなる請求項1〜3のいずれか記載の半導体封止用エポキシ樹脂成形材料の包装体。   The package of the epoxy resin molding material for semiconductor sealing according to any one of claims 1 to 3, wherein the packaging plastic film is a single layer or a laminate, and at least one layer is made of high-density polyethylene. 包装用プラスチックフィルムが延伸フィルムであり、延伸方向性とノッチまたは波目カットの方向とが一致して形成されている請求項1〜4のいずれか記載の半導体封止用エポキシ樹脂成形材料の包装体。   The packaging of the epoxy resin molding material for semiconductor sealing according to any one of claims 1 to 4, wherein the plastic film for packaging is a stretched film, and the stretch directionality and the direction of notch or wave cut are matched. body. 請求項1〜5のいずれか記載の包装体を開封して得られた半導体封止用エポキシ樹脂成形材料により素子を封止したことを特徴とする半導体装置。   A semiconductor device, wherein an element is sealed with an epoxy resin molding material for semiconductor sealing obtained by opening the package according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101260491B1 (en) * 2006-06-30 2013-05-06 엘지디스플레이 주식회사 sealant mixture packing pack and seal dispenser apparatus using the same

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