JP2005062877A - 液晶ディスプレイ - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単かつ低コストで光り安定性及びコントラストが高くプレチルト角が安定したホメオトロピックまたは傾斜ホメオトロピック配向層を提供する。
【解決手段】液晶ディスプレイの少なくとも2枚の基板と、当該基板上に被覆されたホメオトロピック配向膜または傾斜ホメオトロピック配向膜と、隣接する基板間のネマチック液晶混合物とを具える液晶ディスプレイが提供される。配向膜はアモルファスフッ化炭素膜の単一層で、炭化水素ガス、水素ガス、フッ化炭化水素ガス、或いはこれらの混合体を用い、プラズマエンハンスト化学蒸着法又はスパッタ蒸着法により、基板に斜め蒸着することによって作成する。
【選択図】図2
【解決手段】液晶ディスプレイの少なくとも2枚の基板と、当該基板上に被覆されたホメオトロピック配向膜または傾斜ホメオトロピック配向膜と、隣接する基板間のネマチック液晶混合物とを具える液晶ディスプレイが提供される。配向膜はアモルファスフッ化炭素膜の単一層で、炭化水素ガス、水素ガス、フッ化炭化水素ガス、或いはこれらの混合体を用い、プラズマエンハンスト化学蒸着法又はスパッタ蒸着法により、基板に斜め蒸着することによって作成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、一般に液晶ディスプレイ(LCD)装置の分野に関する。より明確には、本発明は垂直配向(Vertical Aligned)の液晶ディスプレイ装置およびこのような液晶ディスプレイ装置の製造方法に関する。
垂直配向は、視野角依存性(dark state)が低くコントラストが高いため、高解像度ディスプレイやプロジェクションディスプレイで非常に重要となっている。いわゆる正常なブラックモードは、TFTディスプレイや液晶シリコンマイクロディスプレイ(Liquid Crystal On Silicon Microdisplay)の双方においてコントラストおよびカラーパフォーマンスを向上させる。本願では、例えば、配向層で被覆され負誘電異方性の液晶を満たしたITOガラスまたはCMOSシリコンウエハの基板が用いられる。
垂直配向を乾式および湿式で得るのに多々の方法がある。例えばポリイミド溶剤、SiOx、SixNy、カルシウムフロライド、有機ポリマー層のイオンミーリングなどである。
湿式はプロセスが発達しておりサイクルタイムが短いという利点がある。しかしながら、機械的なバフ工程が必要であるため大量の塵や埃が生じ、これが最終生産物に多大な影響を与えてしまう。この影響はピクセルサイズの小さなディスプレイで特に大きくなる。ポリイミドには信頼性の課題もある。光度が強く長いためこのポリマーコーティングのパフォーマンスが劣化し、明るさと色の双方が変化してしまう。
乾式は、バフ工程が不要であり光の安定度も高い。SiOxはホメオトロピック配向を得る最も一般的な方法である。従来の無機配向層は2段階角度蒸着法(two-step angle vapor deposition)によりプレチルト角と均一性を得ている。これには2つの大きな問題がある。入射角の敏感性と厚み制御である。蒸着角や厚みが少しでも変化すると性能にばらつきが生じるため、この方法は大量生産には向かないとされる。さらに、2段階の蒸着はコスト面で効率的ではない。各蒸着のサイクルタイムが1時間以上かかり、スループットレートが非常に低い。
本発明の課題は、これらの不都合を軽減することである。
本発明の液晶ディスプレイ装置は、複数の基板と、当該基板上に被覆されたホメオトロピック配向膜と、隣接する基板間のネマティック液晶混合物とを具えることを特徴とする。
本発明のLCDの実施例では、単一またはマルチドメインの透過型,反射型,半透過型の液晶ディスプレイと、光安定性およびコントラストが高くプレチルト角が安定したホメオトロピックまたは傾斜ホメオトロピック配向層(tilted homeotropic-alignment layer(s))が提供される。
本発明は、簡単かつ低コストで配向層を得る方法を開示する。1段階の蒸着により短いサイクルタイムで所望の特性が得られる。
本発明は、ITOガラスおよびシリコンウエハの双方に同じホメオトロピック配向特性を有する配向層を形成する好適な方法を提供する。ITOガラスは、TN/STN LCDディスプレイ用の通常の光沢のあるソーダ石灰ガラス、または反射型マイクロディスプレイ用の指数マッチングマルチレイヤITO硼珪酸ガラス(index matching multi-layer ITO borosilicate glass)を用いることができる。シリコンウエハは、磨き上げた反射型ウエハまたはCMOS Al鏡面処理シリコンウエハを用いることができる。フッ化ダイヤモンドライクカーボン(Fluorinated-Diamond like Carbon:F−DLC)の単一層をフッ化ガスで斜めプラズマ蒸着法(oblique plasma deposition method)により基板上に蒸着させてもよい。
本発明は、同じ配向膜を具えるホメオトロピックまたは傾斜ホメオトロピック配向液晶ディスプレイ装置を提供する。この薄膜蒸着の蒸着室は蒸着ソースと、所定の角度に保持された基板とを具えており、基板の法線に対する分子の入射角は斜角となる。
配向層は、プラズマエンハンスト化学蒸着法(plasma enhansed chemical vapor deposition)またはスパッタ蒸着法により形成される。基板は接地していても浮いていてもよい。基板に接続された外部電源が、蒸着の間所望のバイアスを提供する。このバイアスの範囲は+1000Vから−1000Vであり、好ましくは+300Vから−300Vである。フッ化カーボン配向層の厚さは約5nmから2000nmである。この膜は、15%以下、好ましくは5%以下の他の成分、例えばSi,O,Ar,N,Ne,Kr,He,Al,Fe,Cr,Ni,Cu,Zn,Co,Mg,Ag,Pt,Ca,B,Cl,Br,I,In,Sn,Pb,Ta,Ti,V,Ba,Na,K,Li,Mn,Ga,Ge,Sb,P,S,Se等、あるいはこれら成分の混合物を含んでいてもよい。
蒸着は、プラズマを形成する作用ガスまたはガス混合体である。このガスは、炭化水素ガス,水素ガス,フッ化炭化水素ガス,あるいはこれらの混合体を用いることができる。このガスは、CH4,C2H2,C2H4,C2H6,H2,HF,CFH3,CF2H2,CF3H,CF4,C2F6,C4F8等を含むのが望ましいが、これに限定されるものではない。
本発明には、真空到達度が100から1×106Torrの真空室を用いることができる。
添付の図面は本発明で用いる装置およびセル構造の理解を補助するものである。これらは詳細な説明において参照され、これらの図面によりコンセプトがより理解されることになる。
本発明に係る傾斜ホメオトロピック液晶ディスプレイの基本セル構造を図1に示す。この液晶ディスプレイは透過型または反射型あるいは半透過型であり、基板(1,7)と、導電性の電極(2,6)と、配向層(3,5)とを具える。これは負誘電異方性の液晶(4)で満たされている。液晶の分子(8)は、基板の法線(9)に対し所定の斜角をなすよう配列されている。
ホメオトロピック液晶ディスプレイの基板(1,7)の厚さは0.1から5mmの範囲であり、より好ましくは0.2から3mmである。この厚さは用いる材料に応じて変化してもよい。この基板は、例えばAlメタル鏡面を有するCMOSシリコンウエハなど、設計によりマルチレイヤ構造としてもよい。
導電性電極(2,6)の厚さは10Åから5000Åの範囲であり、より好ましくは100Åから2000Åである。この電極の厚さは、膜の特性に応じて変化させたりマルチレイヤとしてもよい。
液晶配向用の無機配向膜(3,5)の厚さは実質的に50から20000Åの範囲であり、より好ましくは100Åから2000Åである。この配向層の厚さは膜の特性に応じて変化させたりマルチレイヤとしてもよい。
負誘電異方性を有する液晶(4)が用いられている。これは例えばE. M. Merck CorporationからモデルMLC−6608、MLC−6609、MLC−6610として供給されている。他のベンダーからの負異方性の適切な液晶を用いてもよい。
図1と同じ構造をもつ傾斜ホメオトロピック配向の反射型ディスプレイの場合、基板(1,7)はその上に誘電性電極(2,6)を有する。無機配向膜(3,5)がプラズマエンハンスト化学蒸着により斜角をつけて蒸着されている。液晶分子(8)は、基板の法線(9)に対し所定の斜角をなすよう配向層の上に配列されている。均一性およびプレチルト角の大きさはディスプレイのコントラストにより調整し、見ることができる。
高品質のホメオトロピック液晶ディスプレイはセルのコントラストが均質でなければならない。直接的な検査はクロス偏光の下でオン/オフパフォーマンスを観察することにより行うことができる。オフ状態では如何なる色の変化も観測されてはならない。プレチルト角はセルローテーション法にて調整しアイソジャイレダイアグラム(isogyre diagram)により検査することができる。図3に、セルローテーション法用のセルギャップが20umの透過ディスプレイを示す。アイソジャイレダイアグラムはプレチルト角のある垂直配向特性を示している。ピクセルが12umのサイズの反射型マイクロディスプレイも形成されており、良好なホメオトロピック配向を示している。
図2は、薄膜蒸着システムの概略を示す図である。このシステムは蒸着ソースと、シャッタと、処理対象の基板とを含む真空室を具える。基板は基板の法線に対し斜角を設けて配置されている。配向層はプラズマエンハンスト化学蒸着法またはスパッタ蒸着法により形成される。基板は接地していても浮いていてもよい。基板に接続された外部電源が、蒸着の間所望のバイアスを提供する。このバイアスレンジは+300Vから−300Vである。発明者による実験では、フッ化炭素配向層の厚みは100Åから1000Åである。蒸着にはプラズマを形成する作用ガスまたはガス混合体を用いる。このガスには、炭化水素ガス,水素ガス,フッ化炭化水素ガス,またはこれらの混合体を用いることができる。このガスは、CH4,C2H2,C2H4,C2H6,H2,HF,CFH3,CF2H2,CF3H,CF4,C2F6,C4F8等を含むのが望ましいが、これに限定されるものではない。本発明に用いる真空室は、真空到達度が100から1×106Torrである。
このようにして、本発明は光安定性のホメオトロピック配向または傾斜ホメオトロピック配向液晶ディスプレイを提供する。いくつかの好適な実施例について本発明を説明したが、本発明は添付した特許請求の範囲の意図および目的の範囲内で変化させてもよいことは当業者であれば自明である。
Claims (40)
- 少なくとも2枚の基板と、当該基板上に被覆されたホメオトロピック配向膜と、隣接する基板間の液晶混合物と、を具えることを特徴とする液晶ディスプレイ装置。
- 前記ホメオトロピック配向膜は傾斜ホメオトロピック配向膜であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ホメオトロピック配向膜は、単一ドメイン、2ドメイン、または4ドメインのホメオトロピック配向膜を具えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ホメオトロピック配向膜は、アモルファスフッ化炭素膜を具えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の装置。
- 前記フッ化炭素ホメオトロピック配向膜が水素を含むことを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記フッ化炭素ホメオトロピック配向膜が、Si,O,Ar,N,Ne,Kr,He,Al,Fe,Cr,Ni,Cu,Zn,Co,Mg,Ag,Pt,Au,Ca,B,Cl,Br,I,In,Sn,Pb,Ta,Ti,V,Ba,Na,K,Li,Mn,Ga,Ge,Sb,P,S,Se,他,あるいはこれら成分の混合物など、他の元素の不純物を15%以下、好ましくは5%以下含むことを特徴とする請求項4または5に記載の装置。
- 前記ホメオトロピック配向膜の厚さが、5nmから2000nm、好ましくは10nmから100nmの範囲であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の装置。
- 前記ホメオトロピック配向膜が、可視光範囲の透過度が50%以上、好ましくは75%以上であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の装置。
- 前記ホメオトロピック配向膜が、抵抗率が1×102から1×1014Ωcmの絶縁性または導電性であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の装置。
- 前記装置は受動的に駆動されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の装置。
- 前記装置は能動的に駆動されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の装置。
- 前記能動駆動は薄膜トランジスタにより行われることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記能動駆動はCMOSにより行われることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記基板の各々が、被覆された導電膜を具える電極を具えることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の装置。
- 装置の漏れ電流を抑制し、および/または、光学的結合を改善し、および/または、前記配向膜の厚みを低減するためのバッファ層が前記電極の上に形成されていることを特徴とする請求項14に記載の装置。
- 前記ホメオトロピック配向膜がプラズマエンハンスト化学蒸着により形成されていることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載の装置。
- 前記ホメオトロピック配向膜がスパッタ蒸着により形成されていることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載の装置。
- 請求項1乃至15のいずれかに記載の液晶ディスプレイ装置の製造方法であって、前記ホメオトロピック配向膜がスパッタ蒸着により形成されることを特徴とする方法。
- 請求項1乃至15のいずれかに記載の液晶ディスプレイ装置の製造方法であって、前記ホメオトロピック配向膜がプラズマエンハンスト化学蒸着により形成されることを特徴とする方法。
- 前記ホメオトロピック配向膜の蒸着の間、前記基板の各々が蒸着ソースに対して角度をつけて保持されていることを特徴とする請求項18または19に記載の方法。
- 前記基板と蒸着面の間の角度が、±0°から±90°、好ましくは±1°から±90°の間であることを特徴とする請求項20に記載の方法。
- 前記基板と蒸着の面の間の角度が、±0°から±89°、好ましくは±1°から±89°の間であることを特徴とする請求項20に記載の方法。
- 前記プラズマエンハンスト化学蒸着が、基板を保持する基板ホルダと、電源により作用ガスからプラズマを形成するプラズマ手段と、真空室とを具える装置により行われることを特徴とする請求項19乃至22のいずれかに記載の方法。
- 前記プラズマは、コンデンサ結合DCおよび/またはRFプラズマであることを特徴とする請求項19乃至23のいずれかに記載の方法。
- 前記プラズマは、インダクタ結合RFプラズマであることを特徴とする請求項19乃至23のいずれかに記載の方法。
- 前記プラズマは、マイクロ波誘導プラズマまたは電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマであることを特徴とする請求項19乃至23のいずれかに記載の方法。
- 前記作用ガスは、炭化水素ガス、水素ガス、フッ化炭化水素ガス、あるいはこれらの混合体からなるグループから選択されることを特徴とする請求項23乃至26のいずれかに記載の方法。
- 前記作用ガスは、C2H2,C2H4,C2H6,HF,CFH3,CF2H2,CF3H,CF4,C2F6,C4F8,他を含むグループから選択されることを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記スパッタ蒸着は、ターゲットと、基板を保持する基板ホルダと、前記ターゲットと基板ホルダとの間でプラズマを形成するプラズマ手段と、真空室とを具える装置により行われることを特徴とする請求項18、20乃至22のいずれかに記載の方法。
- 前記ターゲットは、グラファイト、PTFE、および主に炭素成分を含む他の固体材料を含むことを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記プラズマは、DCまたはRFプラズマであることを特徴とする請求項29または30に記載の方法。
- 前記作用ガスは、AR,HE,Kr,N2,炭化水素ガス,水素ガス,フッ化炭化水素ガス,またはこれらの混合体を含むグループから選択されることを特徴とする請求項29乃至31のいずれかに記載の方法。
- 前記作用ガスは、CH4,C2H2,C2H4,C2H6,H2,HF,CFH3,CF2H2,CF3H,CF4,C2F6,C4F8を含むグループから選択されることを特徴とする請求項32に記載の方法。
- 前記基板ホルダが接地しているか浮いていることを特徴とする請求項23乃至33のいずれかに記載の法王。
- 前記基板ホルダは、前記蒸着の間に+1000Vから−1000V、好ましくは+300Vから−300Vの範囲でバイアスされていることを特徴とする請求項23乃至34のいずれかに記載の方法。
- 前記基板のバイアスは、様々な波形のDCまたはパルスバイアスであることを特徴とする請求項35に記載の方法。
- 前記基板は、室温から600°Cの範囲の温度を有することを特徴とする請求項23乃至36のいずれかに記載の方法。
- 前記基板ホルダは、回転式、移動式または固定式であることを特徴とする請求項23乃至37のいずれかに記載の方法。
- 前記真空室は、真空到達度が760トールから1×10−6トール、好ましくは10トールから1×10−5トールの範囲であることを特徴とする請求項23乃至38のいずれかに記載の方法。
- 一対の基板と;
前記基板上に被覆されアモルファスフッ化炭素膜を具えるホメオトロピック配向膜と;
ホメオトロピック配向剤を用いずに前記ホメオトロピック配向膜によって配列された負誘電異方性のネマチック液晶混合物とを具え、
前記アモルファスフッ化炭素膜が少なくとも元素FとCを具える個相薄膜であることを特徴とする液晶ディスプレイ装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006058895A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示パネル及びそれを用いた液晶表示装置 |
US7777848B2 (en) | 2006-03-02 | 2010-08-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of liquid crystal panel and deuterium oxide surface treatment method of alignment film |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101187744B1 (ko) | 2005-07-12 | 2012-10-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치, 그의 제조 방법 및 제조 장치 |
US20070148988A1 (en) * | 2005-12-23 | 2007-06-28 | Industrial Technology Research Institute | Fabrication method for alignment film |
KR102114879B1 (ko) * | 2013-08-07 | 2020-05-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 |
CH710211A2 (de) | 2014-10-06 | 2016-04-15 | castelberg design GmbH | Elektro-optisches Blendschutzglas, insbesondere für Schutz-, Sport- und Sonnenbrillen. |
CN106684551B (zh) | 2017-01-24 | 2019-07-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种移相单元、天线阵、显示面板和显示装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4763995A (en) * | 1983-04-28 | 1988-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Spacers with alignment effect and substrates having a weak alignment effect |
DE3705259A1 (de) * | 1987-02-19 | 1988-09-01 | Vdo Schindling | Fluessigkristallzelle |
US5431963A (en) * | 1993-02-01 | 1995-07-11 | General Electric Company | Method for adhering diamondlike carbon to a substrate |
KR100198728B1 (ko) * | 1996-05-11 | 1999-06-15 | 구자홍 | 구동회로 일체형 액정표시소자 및 제조방법 |
US6013980A (en) * | 1997-05-09 | 2000-01-11 | Advanced Refractory Technologies, Inc. | Electrically tunable low secondary electron emission diamond-like coatings and process for depositing coatings |
US6061114A (en) * | 1998-02-23 | 2000-05-09 | International Business Machines Corporation | Alignment of liquid crystal layers |
US6426786B1 (en) * | 1999-06-01 | 2002-07-30 | International Business Machines Corporation | Method of homeotropic alignment or tilted homeotropic alignment of liquid crystals by single oblique evaporation of oxides and liquid crystal display device formed thereby |
US6682786B1 (en) * | 1999-12-07 | 2004-01-27 | Ibm Corporation | Liquid crystal display cell having liquid crystal molecules in vertical or substantially vertical alignment |
US6724449B1 (en) * | 2000-03-27 | 2004-04-20 | International Business Machines Corporation | Vertical aligned liquid crystal display and method using dry deposited alignment layer films |
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Cited By (3)
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JP2006058895A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示パネル及びそれを用いた液晶表示装置 |
US7777848B2 (en) | 2006-03-02 | 2010-08-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of liquid crystal panel and deuterium oxide surface treatment method of alignment film |
US7961283B2 (en) | 2006-03-02 | 2011-06-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of liquid crystal panel and deuterium, hydrogen deuteride, or tritium treatment of alignment film |
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