JP2005056834A - Method for manufacturing display panel - Google Patents

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Tetsuji Okajima
哲治 岡島
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a display panel with high characteristics and uniformity by suppressing gas generation caused by residue and bubbles of a binder component from a frit glass during encapsulating process of two substrates. <P>SOLUTION: A frit glass paste is applied to a back surface substrate (step S1), dried (step S2), and then heated in an atmospheric environment to a temperature higher than a temperature at which the binder component burns/decomposes and disappears and lower than a temperature at which the frit glass is softened, so that the binder in the paste is eliminated while the frit glass is not softened (step S3). Then the glass paste is heated in a vacuum environment to a temperature at which the frit glass is soften, or higher, allowing the glass paste to burn (step S4). The back surface substrate and a front surface substrate are overlapped through the frit glass and are encapsulated by heating (step S5). <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、2枚の基板を相互に平行に配置してこれらの基板を封着することにより作製される表示パネルの製造方法に関し、特に、プラズマディスプレイパネル(PDP:Plasma Display Panel)、電界放出表示装置(FED:Field Emission Display)、蛍光表示管(VFD:Vacuum Fluorescent Display)等の表示パネルの製造方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a display panel produced by arranging two substrates parallel to each other and sealing the substrates, and more particularly, a plasma display panel (PDP), field emission, and the like. The present invention relates to a method for manufacturing a display panel such as a display device (FED: Field Emission Display) and a fluorescent display tube (VFD: Vacuum Fluorescent Display).

従来より、フリットガラスを使用して2枚の基板を封着した表示パネルが開発されている。このような表示パネルには、プラズマディスプレイパネル(PDP)、電界放出表示装置(FED)及び蛍光表示管(VFD)等がある。以下、プラズマディスプレイパネルを例にとって、この表示パネルの製造方法を説明する。   Conventionally, a display panel in which two substrates are sealed using frit glass has been developed. Such display panels include a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), a fluorescent display tube (VFD), and the like. Hereinafter, a manufacturing method of this display panel will be described by taking a plasma display panel as an example.

プラズマディスプレイパネルは、ガス放電によって発生した紫外線によって、蛍光体を励起発光させ、表示動作させるディスプレイである。先ず、プラズマディスプレイパネルの基本的な構造と製造方法について、反射型AC面放電型を例にとって説明する。   A plasma display panel is a display that causes a phosphor to excite and emit light by ultraviolet rays generated by gas discharge to perform display operation. First, the basic structure and manufacturing method of a plasma display panel will be described by taking a reflective AC surface discharge type as an example.

図11は反射型AC面放電カラープラズマディスプレイパネルの1つの放電セルを示す部分断面図である。図11に示すように、このPDPにおいては、背面基板1及び前面基板17が相互に平行に配置されており、背面基板1と前面基板17とは両者間であってその周辺領域に設けられたフリットガラス(図示せず)により封着されている。そして、封着された空間には放電ガスが封止されている。この封止空間は格子状、ストライプ状又はハニカム状に形成された隔壁2により複数の放電空間14に区画されている。なお、隔壁2が設けられた領域のうち少なくとも一部が、画像を表示する表示領域となっている。   FIG. 11 is a partial cross-sectional view showing one discharge cell of a reflective AC surface discharge color plasma display panel. As shown in FIG. 11, in this PDP, the rear substrate 1 and the front substrate 17 are arranged in parallel to each other, and the rear substrate 1 and the front substrate 17 are provided between them and in the peripheral region thereof. It is sealed with frit glass (not shown). A discharge gas is sealed in the sealed space. This sealing space is partitioned into a plurality of discharge spaces 14 by partition walls 2 formed in a lattice shape, a stripe shape, or a honeycomb shape. In addition, at least a part of the area where the partition wall 2 is provided is a display area for displaying an image.

以下、このPDPの詳細な構成を、その製造工程に沿って説明する。図12はこの従来のPDPの製造方法を示すフローチャート図であり、図13はこのPDPの製造方法におけるフリットガラスペーストの塗布工程を示す平面図であり、図14は横軸に時間をとり縦軸に温度をとって、各工程における温度プロファイルを示すグラフ図である。先ず、このPDPの表示面側の基板であり、透明なガラス板からなる前面基板17における背面基板1に対向する面上に、一方向に延びる複数の透明電極15を形成する。図11においてこの透明電極15が延びる方向は、紙面に対して垂直な方向である。   Hereinafter, the detailed configuration of the PDP will be described along the manufacturing process. FIG. 12 is a flowchart showing the conventional PDP manufacturing method, FIG. 13 is a plan view showing a frit glass paste application process in the PDP manufacturing method, and FIG. It is a graph which shows temperature profile in each process, taking temperature. First, a plurality of transparent electrodes 15 extending in one direction are formed on a surface on the display surface side of the PDP, on the surface of the front substrate 17 made of a transparent glass plate that faces the back substrate 1. In FIG. 11, the extending direction of the transparent electrode 15 is a direction perpendicular to the paper surface.

透明電極15は酸化錫(SnO)又はインジウムチンオキサイド(ITO)等により形成し、低抵抗化を図るために、透明電極15上にバス電極16を形成する。バス電極16は、銀等からなる金属厚膜、(クロム/銅/クロム)若しくは(クロム/アルミニウム)等の多層薄膜、又はアルミニウム薄膜等の金属薄膜等により形成する。バス電極16を銀の厚膜により形成する場合、コントラストを向上させるために若干の黒色顔料を混合することがある。また、銀の厚膜と透明電極との間に、黒色の顔料を多量に含む銀の厚膜を配置して、銀膜を2層構造とすることも多い。 The transparent electrode 15 is formed of tin oxide (SnO 2 ), indium tin oxide (ITO), or the like, and the bus electrode 16 is formed on the transparent electrode 15 in order to reduce the resistance. The bus electrode 16 is formed of a metal thick film made of silver or the like, a multilayer thin film such as (chrome / copper / chromium) or (chrome / aluminum), or a metal thin film such as an aluminum thin film. When the bus electrode 16 is formed of a thick silver film, some black pigment may be mixed in order to improve contrast. In many cases, a silver thick film containing a large amount of black pigment is disposed between the thick silver film and the transparent electrode, so that the silver film has a two-layer structure.

そして、相互に隣り合う2組の透明電極15及びバス電極16により1対の面放電電極対を構成する。また、1つの放電セルを1対の面放電電極対が通過するようになっており、この面放電電極対を構成する2本の透明電極15の間にパルス状のAC電圧を印加して、表示放電を得るようになっている。   A pair of surface discharge electrodes is constituted by two sets of transparent electrodes 15 and bus electrodes 16 adjacent to each other. Further, a pair of surface discharge electrode pairs pass through one discharge cell, and a pulsed AC voltage is applied between two transparent electrodes 15 constituting the surface discharge electrode pair, Display discharge is obtained.

次に、この面放電電極、即ち、透明電極15及びバス電極16を、透明誘電体層13により被覆する。通常、透明誘電体層13は低融点鉛ガラスを主成分とする厚膜ペーストを基板上に塗布し、低融点鉛ガラスの軟化温度以上の温度に加熱して焼成することにより形成する。この透明誘電体層13の膜厚は10乃至40μm程度とする。   Next, the surface discharge electrodes, that is, the transparent electrode 15 and the bus electrode 16 are covered with the transparent dielectric layer 13. Usually, the transparent dielectric layer 13 is formed by applying a thick film paste mainly composed of low melting point lead glass on a substrate, and heating and baking to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the low melting point lead glass. The film thickness of the transparent dielectric layer 13 is about 10 to 40 μm.

次に、透明誘電体層13を被覆するように、保護層(図示せず)を形成する。通常、保護層は蒸着法又はスパッタリング法によって形成されるMgOからなる薄膜である。膜厚は0.5乃至2μm程度である。この保護層の役割は放電開始電圧を低減すること及び放電による透明誘電体層13の表面がスパッタされることを防止することである。   Next, a protective layer (not shown) is formed so as to cover the transparent dielectric layer 13. Usually, the protective layer is a thin film made of MgO formed by vapor deposition or sputtering. The film thickness is about 0.5 to 2 μm. The role of this protective layer is to reduce the discharge start voltage and prevent the surface of the transparent dielectric layer 13 from being sputtered by the discharge.

一方、背面基板1上に、表示データを書き込むデータ電極10を、複数本相互に平行に形成する。このデータ電極10が延びる方向は、背面基板1を前面基板17に重ね合わせたときに、面放電電極(透明電極15及びバス電極16)が延びる方向と直交する方向とし、データ電極10の配列間隔は、各放電セルを1本のデータ電極10が通過するような間隔とする。データ電極10は、銀等からなる金属厚膜、(クロム/銅/クロム)若しくは(クロム/アルミニウム)等の金属多層薄膜、又はアルミニウム薄膜等の金属薄膜である。   On the other hand, a plurality of data electrodes 10 for writing display data are formed on the back substrate 1 in parallel with each other. The direction in which the data electrode 10 extends is a direction orthogonal to the direction in which the surface discharge electrodes (the transparent electrode 15 and the bus electrode 16) extend when the rear substrate 1 is superimposed on the front substrate 17, and the arrangement interval of the data electrodes 10 Is an interval at which one data electrode 10 passes through each discharge cell. The data electrode 10 is a metal thick film made of silver or the like, a metal multilayer thin film such as (chrome / copper / chromium) or (chrome / aluminum), or a metal thin film such as an aluminum thin film.

このデータ電極10を覆うように、低融点鉛ガラスと白色の顔料とを混合した厚膜ペーストを塗布して焼成し、データ電極10を被覆する白色誘電体層11を形成する。白色の顔料は白色誘電体層11の反射率を増加させ、輝度及び発光効率を向上させるために混合するものであり、通常、酸化チタン粉末又はアルミナ粉末が使用される。なお、この白色誘電体層11は設けなくてもよい。   A thick film paste in which low melting point lead glass and a white pigment are mixed is applied and baked so as to cover the data electrode 10 to form a white dielectric layer 11 covering the data electrode 10. The white pigment is mixed in order to increase the reflectance of the white dielectric layer 11 and improve the luminance and luminous efficiency, and titanium oxide powder or alumina powder is usually used. The white dielectric layer 11 may not be provided.

次に、この白色誘電体層11上に隔壁2を形成する。隔壁2の材料は低融点鉛ガラスとアルミナ等からなる骨材との混合物である。この隔壁2によって複数の放電空間14が形成される。放電空間14は、夫々の内部で独立して放電を行う放電セルである。隔壁2のディメンジョンの例をあげると、トリオピッチが0.81mmの場合、隔壁の幅が50μm、高さが120μm程度であり、アスペクト比が高い構造物である。表示面側から見た形状は格子状、ストライプ状、ハニカム状等である。隔壁2の形成は通常サンドブラスト法によって行う。   Next, the partition walls 2 are formed on the white dielectric layer 11. The material of the partition wall 2 is a mixture of low melting point lead glass and aggregate made of alumina or the like. A plurality of discharge spaces 14 are formed by the barrier ribs 2. The discharge space 14 is a discharge cell that discharges independently inside. As an example of the dimensions of the partition wall 2, when the trio pitch is 0.81 mm, the partition wall has a width of about 50 μm, a height of about 120 μm, and a high aspect ratio. The shape viewed from the display surface side is a lattice shape, a stripe shape, a honeycomb shape, or the like. The partition walls 2 are usually formed by sandblasting.

次に、放電空間14毎に、夫々のセルの発光色に対応する蛍光体層12を、白色誘電体層11の上面及び隔壁2の側面にスクリーン印刷法によって塗布する。蛍光体層12を隔壁2の側面にも形成することにより、蛍光体の塗布面積を増やし高輝度を得ることができる。   Next, for each discharge space 14, the phosphor layer 12 corresponding to the emission color of each cell is applied to the upper surface of the white dielectric layer 11 and the side surfaces of the barrier ribs 2 by screen printing. By forming the phosphor layer 12 also on the side surfaces of the partition walls 2, the application area of the phosphor can be increased and high luminance can be obtained.

次に、図12のステップS101及び図13に示すように、前述の前面基板17と背面基板1とを張り合わせて気密封止するために、背面基板1の前面基板17に対向する側の表面における隔壁2を形成した領域の周囲に、フリットガラスペースト7を塗布する。このペースト7の塗布には、通常、ディスペンサー又はスクリーン印刷法が使用される。フリットガラスペースト7は低融点鉛ガラス粉末、バインダー及び溶剤の混合物である。バインダーはアクリル樹脂、エチルセルロース樹脂又はニトロセルロース樹脂が一般に用いられる。なお、このフリットガラスペーストは前面基板17側に塗布してもよく、前面基板1及び背面基板17の双方に塗布される場合もある。   Next, as shown in step S101 of FIG. 12 and FIG. 13, in order to attach the front substrate 17 and the rear substrate 1 together and to hermetically seal them, the surface of the rear substrate 1 on the side facing the front substrate 17 is placed. A frit glass paste 7 is applied around the area where the partition walls 2 are formed. For applying the paste 7, a dispenser or a screen printing method is usually used. The frit glass paste 7 is a mixture of low melting point lead glass powder, binder and solvent. As the binder, acrylic resin, ethyl cellulose resin or nitrocellulose resin is generally used. The frit glass paste may be applied to the front substrate 17 side, or may be applied to both the front substrate 1 and the rear substrate 17.

次に、図12のステップS102に示すように、背面基板1を100乃至250℃程度の温度に加熱して、背面基板1の表面に塗布したフリットガラスペースト7を乾燥させる。これにより、フリットガラスペースト7に含まれる低融点鉛ガラス粉末、バインダー及び溶剤のうち、溶剤が気化して除去される。   Next, as shown in step S102 of FIG. 12, the back substrate 1 is heated to a temperature of about 100 to 250 ° C., and the frit glass paste 7 applied to the surface of the back substrate 1 is dried. Thereby, a solvent is vaporized and removed among the low melting point lead glass powder, the binder, and the solvent contained in the frit glass paste 7.

次に、図12のステップS103及び図14に示すように、乾燥後のフリットガラスペースト7を、フリットガラスがある程度軟化する温度又はそれよりも少し高い温度、例えば380乃至550℃の温度に加熱して、焼成する。これにより、フリットガラスペーストにおけるバインダー成分が燃焼・分解して消失すると共に、ガラス成分が軟化する。   Next, as shown in step S103 of FIG. 12 and FIG. 14, the dried frit glass paste 7 is heated to a temperature at which the frit glass softens to some extent or slightly higher, for example, a temperature of 380 to 550 ° C. Bake. Thereby, the binder component in the frit glass paste disappears by burning and decomposition, and the glass component is softened.

次に、図12のステップS104に示すように、大気中で背面基板1と前面基板17とを張り合わせて気密封止する封着工程を実施する。この封着工程においては、先ず、前面基板17と背面基板1とを、フリットガラスペースト7を挟むように重ね合わせる。そして、この重ね合わせた2枚の基板の周辺部を治具で挟み込み、圧力をかけて固定する。次に、図14に示すように、この固定した2枚の基板をフリットガラスが軟化する温度より少し高い温度に加熱する。この加熱は大気圧中(空気中)で行う。これにより、背面基板1と前面基板17とが相互に張り合わされて、2枚の基板からなるパネルが作製される。   Next, as shown in step S <b> 104 of FIG. 12, a sealing process is performed in which the rear substrate 1 and the front substrate 17 are bonded to each other in the atmosphere and hermetically sealed. In this sealing step, first, the front substrate 17 and the rear substrate 1 are overlapped with the frit glass paste 7 interposed therebetween. Then, the peripheral portions of the two superposed substrates are sandwiched with a jig and fixed by applying pressure. Next, as shown in FIG. 14, the two fixed substrates are heated to a temperature slightly higher than the temperature at which the frit glass softens. This heating is performed at atmospheric pressure (in air). Thereby, the back substrate 1 and the front substrate 17 are attached to each other, and a panel composed of two substrates is manufactured.

次に、この封着工程の後、パネルに排気管(図示せず)を連結してフリットガラスにより固定する。そして、この排気管を通じてパネル内の空間を真空排気する。その後、この空間の内部に放電可能なガス、例えばNeとXeとの混合ガス又はHeとNeとXeとの混合ガスを50kPaから70kPa程度の圧力で封入する。これにより、図11に示すようなPDPが製造される。   Next, after this sealing step, an exhaust pipe (not shown) is connected to the panel and fixed with frit glass. The space in the panel is evacuated through this exhaust pipe. Thereafter, a dischargeable gas, for example, a mixed gas of Ne and Xe or a mixed gas of He, Ne, and Xe is sealed in the space at a pressure of about 50 kPa to 70 kPa. Thereby, a PDP as shown in FIG. 11 is manufactured.

しかしながら、この従来のPDPの製造方法においては、図12のステップS103に示すフリット焼成工程において、フリットガラスペースト中のバインダー成分の燃焼・分解と、ガラス成分の軟化とがほぼ同時に起きる。このため、フリットガラスペーストの焼成後にフリットガラス中にバインダー成分の残渣及び気泡が混入する。この結果、図12のステップS104に示す封着工程において、2枚の基板によりフリットガラスが押し潰されるときに、フリットガラス中に残留したバインダー成分の残渣及び気泡からガスが発生する。これにより、パネル内が汚染され、パネルの特性及びパネル内の均一性を低下させてしまう。また、場合によっては、焼成後のフリットガラス中に残留したバインダー成分の残渣及び気泡が欠陥となり、パネルのリークの原因となる。   However, in this conventional PDP manufacturing method, combustion and decomposition of the binder component in the frit glass paste and softening of the glass component occur almost simultaneously in the frit baking step shown in step S103 of FIG. For this reason, after baking the frit glass paste, the binder component residue and bubbles are mixed in the frit glass. As a result, in the sealing step shown in step S104 of FIG. 12, when the frit glass is crushed by the two substrates, gas is generated from the residual binder components and bubbles remaining in the frit glass. Thereby, the inside of a panel is contaminated and the characteristic of a panel and the uniformity in a panel will be reduced. In some cases, the residue of the binder component and bubbles remaining in the frit glass after firing become defects, which causes panel leakage.

また、フリットガラスペーストを塗布する際に突起部を設け、封着工程においてフリットガラスが軟化するまでの間、前面基板17と背面基板1の間に隙間を確保し、基板表面に吸着した水分及び有機成分を除去しやすくする技術が開発されている。図15(a)はこの従来のPDPの製造方法におけるフリットガラスペーストの塗布工程を示す平面図であり、(b)は(a)に示すC−C’線による断面図である。図15(a)及び(b)に示すように、この従来の製造方法においては、背面基板1上にフリットガラスペースト7を塗布し、乾燥させた後、乾燥後のフリットガラスペースト7上の一部に、再度フリットガラスペーストを塗布して乾燥させ、フリット突起部8を設ける。フリット突起部8は、フリットガラスペースト7が延びる方向において所定の間隔、例えば約10cmの間隔で、複数個形成する。このように、フリット突起部8は、フリットガラスペーストの塗布を2回行って塗り重ねることにより形成される。フリットガラスペースト7の焼成後の膜厚は通常100乃至400μm程度であり、フリット突起部8の高さは通常50乃至300μm程度である。   Further, a protrusion is provided when the frit glass paste is applied, and a gap is secured between the front substrate 17 and the back substrate 1 until the frit glass is softened in the sealing step, and moisture adsorbed on the substrate surface and Technologies that make it easier to remove organic components have been developed. FIG. 15A is a plan view showing a frit glass paste application process in this conventional PDP manufacturing method, and FIG. 15B is a sectional view taken along line C-C ′ shown in FIG. As shown in FIGS. 15A and 15B, in this conventional manufacturing method, a frit glass paste 7 is applied on the back substrate 1, dried, and then dried on the frit glass paste 7. The frit glass paste is applied again to the part and dried to provide the frit protrusion 8. A plurality of frit protrusions 8 are formed at a predetermined interval, for example, an interval of about 10 cm, in the direction in which the frit glass paste 7 extends. In this way, the frit protrusion 8 is formed by applying the frit glass paste twice and applying it repeatedly. The film thickness of the frit glass paste 7 after firing is usually about 100 to 400 μm, and the height of the frit protrusion 8 is usually about 50 to 300 μm.

このように、フリットガラスに突起部を設けることにより、封着工程において、基板表面に吸着した水分及び有機成分を除去しやすくなる。しかし、この技術においては、フリットガラスが押し潰される際にフリット突起部8も潰れ、前面基板17と背面基板1との間の隙間も塞がれるため、フリットガラスが押し潰される際にバインダー成分の残渣及び気泡から発生するガスをパネル外に排気することは困難である。   Thus, by providing the projections on the frit glass, it becomes easy to remove moisture and organic components adsorbed on the substrate surface in the sealing step. However, in this technique, when the frit glass is crushed, the frit protrusions 8 are also crushed and the gap between the front substrate 17 and the rear substrate 1 is also closed, so that the binder component is crushed when the frit glass is crushed. It is difficult to exhaust the gas generated from the residue and bubbles out of the panel.

また、この残渣及び気泡から発生するガスを効率よく排気するために、封着を大気圧よりも減圧した真空雰囲気中で行うことも考えられる。しかしこの場合、フリットガラス中のバインダー成分の残渣及び気泡によってフリットが激しく発泡し、フリットガラスの表面に凹凸が形成され、パネルのリークが発生してしまう。   Moreover, in order to exhaust | emit efficiently the gas generated from this residue and a bubble, it is also considered to perform sealing in the vacuum atmosphere pressure-reduced rather than atmospheric pressure. However, in this case, the frit is vigorously foamed by the residue of the binder component and the bubbles in the frit glass, and irregularities are formed on the surface of the frit glass, resulting in panel leakage.

このため、フリットガラスペーストの焼成工程を、真空雰囲気中における加熱工程及び気体雰囲気中における加熱工程の2段階に分けて行う技術が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。この特許文献1に記載されている方法においては、フリットガラスペーストを塗布した後、このペーストを真空雰囲気中で400乃至500℃の温度に加熱して、ペーストを溶融させ発泡させて、ペースト中の気泡を除去する。次に、同じ温度範囲に加熱したまま、雰囲気中に乾燥窒素を注入して気体雰囲気とし、ペーストを溶融状態に保ったまま、発泡を停止させる。これにより、ペーストの表面が滑らかになる。そして、ペーストを冷却して固化し、背面基板と前面基板とを仮止めして固定し、検査した後、気体雰囲気中で450℃の温度に加熱して封着する。その後、パネル内に放電ガスを封入してPDPを製造する。   For this reason, a technique has been proposed in which the baking process of the frit glass paste is performed in two stages: a heating process in a vacuum atmosphere and a heating process in a gas atmosphere (see, for example, Patent Document 1). In the method described in Patent Document 1, after applying a frit glass paste, the paste is heated to a temperature of 400 to 500 ° C. in a vacuum atmosphere to melt and foam the paste. Remove bubbles. Next, while heating in the same temperature range, dry nitrogen is injected into the atmosphere to form a gas atmosphere, and foaming is stopped while the paste is kept in a molten state. Thereby, the surface of the paste becomes smooth. Then, the paste is cooled and solidified, the back substrate and the front substrate are temporarily fixed and fixed, inspected, and then heated and sealed at a temperature of 450 ° C. in a gas atmosphere. Thereafter, a discharge gas is sealed in the panel to manufacture a PDP.

特開2000−315457号公報JP 2000-315457 A

しかしながら、上述の従来の技術には、以下に示すような問題点がある。特許文献1に記載の技術においては、背面基板上にフリットガラスペーストを塗布した後、真空雰囲気中でフリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱している。これにより、フリットガラスペースト中の溶剤成分及び気泡は除去できるものの、真空中ではバインダー成分を燃焼させ分解させることができず、バインダー成分がフリットガラス中に残留してしまう。また、乾燥窒素中においてもバインダー成分が燃焼することはない。このため、その後の封着工程において、このバインダー成分からガスが発生し、パネル内を汚染し、パネルの特性及び均一性を低下させてしまう。   However, the conventional techniques described above have the following problems. In the technique described in Patent Document 1, after a frit glass paste is applied on the back substrate, it is heated to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass in a vacuum atmosphere. As a result, although the solvent component and bubbles in the frit glass paste can be removed, the binder component cannot be burned and decomposed in a vacuum, and the binder component remains in the frit glass. Further, the binder component does not burn even in dry nitrogen. For this reason, in the subsequent sealing step, gas is generated from the binder component, contaminates the inside of the panel, and deteriorates the characteristics and uniformity of the panel.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、2枚の基板を封着して形成される表示パネルの製造方法において、封着工程にてフリットガラスからバインダー成分の残渣及び気泡に起因するガスが発生することを抑制し、特性及び均一性が高い表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and in a manufacturing method of a display panel formed by sealing two substrates, the residue of the binder component and bubbles from the frit glass in the sealing step. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a display panel that suppresses generation of gas due to this and has high characteristics and uniformity.

本発明に係る表示パネルの製造方法は、フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にバインダー及び気泡を実質的に含まないフリットガラスを被着する工程と、前記一方の基板と他方の前記基板とを前記フリットガラスを介して重ね合わせ、真空雰囲気中で前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する工程と、を有することを特徴とする。   The display panel manufacturing method according to the present invention is a display panel manufacturing method in which two substrates are sealed with frit glass, and a binder and bubbles are substantially formed in a region surrounding the display region on the surface of at least one of the substrates. The step of depositing the frit glass not included in the substrate, the one substrate and the other substrate are overlapped via the frit glass, and heated to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass in a vacuum atmosphere. And a step of sealing two substrates.

本発明においては、基板の表面にバインダー及び気泡を実質的に含まないフリットガラスを被着しているため、真空雰囲気中でこのフリットガラスをその軟化温度以上の温度に加熱して封着しても、フリットガラスが発泡することがない。このため、表示パネル内の汚染及びリークを防止できる。なお、真空雰囲気とは、圧力が大気圧よりも低い雰囲気をいう。   In the present invention, since the frit glass substantially free of binder and bubbles is deposited on the surface of the substrate, the frit glass is heated to a temperature equal to or higher than its softening temperature in a vacuum atmosphere and sealed. However, the frit glass does not foam. For this reason, contamination and leakage in the display panel can be prevented. Note that the vacuum atmosphere refers to an atmosphere whose pressure is lower than atmospheric pressure.

本発明に係る他の表示パネルの製造方法は、フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にフリットガラス及びバインダーを含むフリットガラスペーストを塗布する塗布工程と、このフリットガラスペーストが塗布された基板を前記バインダーが燃焼又は分解する温度以上であり且つ前記フリットガラスの軟化温度未満である第1の温度に加熱して前記フリットガラスペーストから前記バインダーを除去する脱バインダー工程と、このバインダーが除去されたフリットガラスペーストが塗布された基板を真空雰囲気中にて前記フリットガラスの軟化温度以上である第2の温度に加熱して前記フリットガラスを焼成する焼成工程と、この焼成されたフリットガラスが被着した基板と他方の前記基板とを前記焼成されたフリットガラスを介して重ね合わせ、前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する封着工程と、を有することを特徴とする。   Another display panel manufacturing method according to the present invention is a display panel manufacturing method in which two substrates are sealed with frit glass. At least one of the substrates has a frit glass and a binder in a region surrounding the display region. And an application step of applying a frit glass paste, and heating the substrate on which the frit glass paste is applied to a first temperature that is equal to or higher than a temperature at which the binder burns or decomposes and lower than a softening temperature of the frit glass. The binder removal step of removing the binder from the frit glass paste, and the substrate coated with the frit glass paste from which the binder has been removed to a second temperature that is equal to or higher than the softening temperature of the frit glass in a vacuum atmosphere. A baking step of baking the frit glass by heating, and this baking A sealing process in which a substrate coated with frit glass and the other substrate are overlapped with each other through the fired frit glass and heated to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass to seal the two substrates. And a process.

本発明においては、脱バインダー工程において、フリットガラスペーストからバインダーを除去しているため、焼成工程において、フリットガラス内にバインダーの残渣及び気泡が混入することなく、封着工程において、フリットガラスからガスが放出して表示パネル内を汚染したり、リークを発生させたりすることがない。   In the present invention, since the binder is removed from the frit glass paste in the debinding step, the binder residue and bubbles are not mixed in the frit glass in the firing step, and the gas is removed from the frit glass in the sealing step. Will not pollute the display panel and cause leaks.

また、前記脱バインダー工程は、前記フリットガラスペーストが塗布された基板を前記第1の温度まで加熱する第1の加熱工程と、この第1の温度に保持する第1の均熱工程と、を有することが好ましく、前記第1の温度を300℃以上400℃未満とすることが好ましく、前記第1の温度を320乃至380℃とすることがより好ましい。   Further, the debinding step includes a first heating step for heating the substrate coated with the frit glass paste to the first temperature, and a first soaking step for maintaining the first temperature. The first temperature is preferably 300 ° C. or higher and lower than 400 ° C., and the first temperature is more preferably 320 to 380 ° C.

更に、前記焼成工程は、前記バインダーが除去されたフリットガラスペーストが塗布された基板を前記第2の温度まで加熱する第2の加熱工程と、この第2の温度に保持する第2の均熱工程と、この第2の温度から冷却する第2の冷却工程と、を有することが好ましく、前記焼成工程を、圧力が80kPa以下の雰囲気中で行うことが好ましく、圧力が20kPa以下の雰囲気中で行うことがより好ましい。   Further, the baking step includes a second heating step of heating the substrate coated with the frit glass paste from which the binder has been removed to the second temperature, and a second soaking which maintains the second temperature. And a second cooling step for cooling from the second temperature. The firing step is preferably performed in an atmosphere having a pressure of 80 kPa or less, and in an atmosphere having a pressure of 20 kPa or less. More preferably.

本発明に係る更に他の表示パネルの製造方法は、フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にフリットガラスを含みバインダーを含まないフリットガラスペーストを塗布する塗布工程と、このフリットガラスペーストが塗布された基板を真空雰囲気中にて前記フリットガラスの軟化温度以上である焼成温度に加熱して前記フリットガラスを焼成する焼成工程と、この焼成されたフリットガラスが被着した基板と他方の前記基板とを前記焼成されたフリットガラスを介して重ね合わせ、前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する封着工程と、を有することを特徴とする。   Still another display panel manufacturing method according to the present invention is a display panel manufacturing method in which two substrates are sealed with frit glass. In the display panel manufacturing method, at least one surface of the substrate is surrounded by a frit glass. A coating step of applying a frit glass paste containing no binder, and heating the substrate coated with the frit glass paste to a firing temperature equal to or higher than a softening temperature of the frit glass in a vacuum atmosphere; A baking step, a substrate on which the baked frit glass is adhered, and the other substrate are overlapped via the baked frit glass and heated to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass. And a sealing step for sealing a single substrate.

本発明においては、塗布工程においてバインダーを含まないフリットガラスペーストを塗布するため、焼成工程において、フリットガラス内にバインダーの残渣及び気泡が混入することなく、封着工程において、フリットガラスからガスが放出して表示パネル内を汚染したり、リークを発生させたりすることがない。また、フリットガラスペーストからバインダーを除去する工程を設ける必要がない。   In the present invention, since the frit glass paste containing no binder is applied in the coating process, the binder residue and bubbles are not mixed in the frit glass in the baking process, and gas is released from the frit glass in the sealing process. As a result, the display panel is not contaminated or leaked. Further, there is no need to provide a step of removing the binder from the frit glass paste.

本発明に係る更に他の表示パネルの製造方法は、フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にフリットガラスを含みバインダー及び気泡を実質的に含まないフリットガラス部材を配置する配置工程と、このフリットガラス部材が配置された基板と他方の前記基板とを前記フリットガラス部材を介して重ね合わせ、前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する封着工程と、を有することを特徴とする。   Still another display panel manufacturing method according to the present invention is a display panel manufacturing method in which two substrates are sealed with frit glass. In the display panel manufacturing method, at least one surface of the substrate is surrounded by a frit glass. An arrangement step of arranging a frit glass member that contains substantially no binder and air bubbles, and a substrate on which the frit glass member is arranged and the other substrate are overlapped with each other through the frit glass member. And a sealing step of sealing the two substrates by heating to a temperature equal to or higher than the softening temperature.

本発明においては、配置工程において、基板上にバインダー及び気泡を含まないフリットガラス部材を配置することにより、封着工程において、フリットガラスからガスが放出することがなく、表示パネル内の汚染及びリークの発生を防止することができる。また、フリットガラスからバインダーを除去する工程及びフリットガラスを焼成する工程が不要となる。   In the present invention, by disposing a frit glass member that does not contain a binder and bubbles on the substrate in the disposing step, gas is not released from the frit glass in the sealing step, and contamination and leakage in the display panel are prevented. Can be prevented. Further, the step of removing the binder from the frit glass and the step of baking the frit glass are not necessary.

また、前記配置工程の前に、前記一方の基板の表面に前記フリットガラス部材を位置決めするためのガイドを形成するガイド形成工程を有していてもよい。これにより、配置工程において、フリットガラス部材を容易に位置決めすることができ、また、封着工程において、配置されたフリットガラス部材がずれることがない。更に、前記ガイド形成工程は、前記一方の基板の表面の表示領域に複数の表示セルを区画するための隔壁を形成する工程と同一工程であり、前記ガイドを前記隔壁と同時に形成することができる。これにより、ガイドを形成するための専用の工程を設ける必要がない。   Moreover, you may have the guide formation process which forms the guide for positioning the said frit glass member on the surface of said one board | substrate before the said arrangement | positioning process. Accordingly, the frit glass member can be easily positioned in the arranging step, and the arranged frit glass member is not displaced in the sealing step. Further, the guide forming step is the same as the step of forming a partition for partitioning a plurality of display cells in the display region on the surface of the one substrate, and the guide can be formed simultaneously with the partition. . Thereby, it is not necessary to provide a dedicated process for forming the guide.

本発明に係る更に他の表示パネルの製造方法は、フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にフリットガラスを含むフリットガラスペーストを塗布する塗布工程と、圧力が80kPa以下の雰囲気中で前記フリットガラスペーストが塗布された基板を前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記フリットガラスを焼成する減圧焼成工程と、この焼成されたフリットガラスが被着した基板と他方の前記基板とを前記焼成されたフリットガラスを介して重ね合わせ、圧力が80kPa以下の雰囲気中で前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する減圧封着工程と、を有することを特徴とする。   Still another display panel manufacturing method according to the present invention is a display panel manufacturing method in which two substrates are sealed with frit glass. In the display panel manufacturing method, at least one surface of the substrate is surrounded by a frit glass. An application step of applying the frit glass paste, and a reduced-pressure baking in which the substrate on which the frit glass paste is applied is heated to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass in an atmosphere having a pressure of 80 kPa or less. A step and a substrate on which the baked frit glass is adhered to the other substrate through the baked frit glass, and a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass in an atmosphere having a pressure of 80 kPa or less. And a reduced-pressure sealing step for sealing the two substrates by heating.

また、このとき、前記フリットガラスペーストがバインダーを含むものであり、前記塗布工程と前記減圧焼成工程との間に、前記フリットガラスペーストが塗布された基板を前記バインダーが燃焼又は分解する温度以上であり且つ前記フリットガラスの軟化温度未満である温度に加熱して前記フリットガラスペーストから前記バインダーを除去する脱バインダー工程を有していてもよい。   Further, at this time, the frit glass paste contains a binder, and the substrate coated with the frit glass paste is at a temperature higher than the temperature at which the binder burns or decomposes between the coating step and the reduced-pressure firing step. And a binder removal step of removing the binder from the frit glass paste by heating to a temperature lower than the softening temperature of the frit glass.

なお、前記表示パネルは、プラズマディスプレイパネル、電界放出表示装置又は蛍光表示管であってもよい。   The display panel may be a plasma display panel, a field emission display device, or a fluorescent display tube.

本発明によれば、基板の表面にバインダー及び気泡を実質的に含まないフリットガラスを被着しているため、封着工程においてフリットガラスからバインダー成分の残渣及び気泡に起因するガスが発生することが抑制され、特性及び均一性が高い表示パネルを製造することができる。   According to the present invention, since the frit glass substantially free of binder and bubbles is attached to the surface of the substrate, the binder component residue and gas due to the bubbles are generated from the frit glass in the sealing process. Is suppressed, and a display panel with high characteristics and uniformity can be manufactured.

以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。以下に示す実施形態においては、いずれも表示パネルとしてプラズマディスプレイパネルを製造する場合を例にとって説明するが、フィールドエミッションディスプレイ及び蛍光表示管等、PDP以外の表示パネルを製造する場合も、以下に示す実施形態と同様である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings. In the following embodiments, a case where a plasma display panel is manufactured as a display panel will be described as an example. However, a case where a display panel other than a PDP such as a field emission display and a fluorescent display tube is manufactured is also shown below. This is the same as the embodiment.

先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は本実施形態に係るPDPの製造方法を示すフローチャート図であり、図2は、横軸に時間をとり縦軸に温度をとって各工程の温度プロファイルを示すグラフ図である。また、本実施形態に係るPDPの製造方法により製造されるPDPの構成は、図11に示す従来のPDPと同様である。   First, a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a flowchart showing a method of manufacturing a PDP according to the present embodiment, and FIG. 2 is a graph showing temperature profiles in respective steps, with time on the horizontal axis and temperature on the vertical axis. Further, the configuration of the PDP manufactured by the method of manufacturing the PDP according to the present embodiment is the same as that of the conventional PDP shown in FIG.

本実施形態においては、フリットガラスペーストを塗布する工程より前に実施される工程は前述の従来の製造方法と同様である。即ち、図11に示すように、従来と同様な方法により、背面基板1の前面基板17に対向する表面上にデータ電極10、白色誘電体層11、隔壁2及び蛍光体層12を形成し、前面基板17の背面基板1に対向する表面上に透明電極15、バス電極16、透明誘電体層13及び保護層(図示せず)を形成する。   In this embodiment, the process performed before the process of apply | coating a frit glass paste is the same as that of the above-mentioned conventional manufacturing method. That is, as shown in FIG. 11, the data electrode 10, the white dielectric layer 11, the barrier ribs 2, and the phosphor layer 12 are formed on the surface of the rear substrate 1 facing the front substrate 17 by a method similar to the conventional method, A transparent electrode 15, a bus electrode 16, a transparent dielectric layer 13, and a protective layer (not shown) are formed on the surface of the front substrate 17 facing the back substrate 1.

次に、図1のステップS1に示すように、背面基板1の表面における隔壁2を形成した領域の周囲に、フリットガラスペースト7(図13参照)をディスペンサー法又はスクリーン印刷法により塗布する。なお、隔壁2を形成した領域の一部がPDPの表示領域となる。このフリットガラスペースト7の成分は、従来のフリットガラスペーストの成分と同じであり、低融点鉛ガラス粉末、バインダー及び溶剤の混合物であり、例えば、低融点鉛ガラスとして、PbO・B及び/又はPbTiOを87質量%含有し、バインダーとしてアクリルを3質量%含有し、溶剤としてテルピネオールを10質量%含有している。なお、低融点ガラスとしては、PbO・B及びPbTiOの他にも種々の組成が考えられるが、軟化温度は通常380乃至480℃程度である。また、バインダーとしては、アクリル以外にもエチルセルロース及びニトロセルロース等が本実施形態において好適である。更に、溶剤もテルピネオールに限定されるものではない。 Next, as shown in step S1 of FIG. 1, a frit glass paste 7 (see FIG. 13) is applied around the region where the partition walls 2 are formed on the surface of the back substrate 1 by a dispenser method or a screen printing method. A part of the region where the partition wall 2 is formed becomes a PDP display region. The components of the frit glass paste 7 are the same as those of the conventional frit glass paste, and are a mixture of a low melting point lead glass powder, a binder and a solvent. For example, as the low melting point lead glass, PbO.B 2 O 3 and It contains 87% by mass of PbTiO 3 , 3% by mass of acrylic as a binder, and 10% by mass of terpineol as a solvent. In addition to the PbO.B 2 O 3 and PbTiO 3 , various compositions can be considered as the low melting point glass, but the softening temperature is usually about 380 to 480 ° C. Moreover, as a binder, ethyl cellulose, nitrocellulose, etc. other than an acrylic are suitable in this embodiment. Further, the solvent is not limited to terpineol.

次に、図1のステップS2に示すように、フリットガラスペースト7を乾燥させる「フリットペースト乾燥」工程を行う。即ち、大気雰囲気中において、フリットガラスペースト7が塗布された背面基板1を、フリットガラスペースト中の溶剤成分が気化する温度、例えば、100乃至250℃程度の温度に加熱し、この温度範囲に数分乃至30分程度保持した後、冷却する。これにより、フリットガラスペーストから溶剤成分が除去され、フリットガラスペースト7はバインダーによって背面基板1上に固着された状態となる。この工程までは従来のPDPの製造方法と同じである。   Next, as shown in step S <b> 2 of FIG. 1, a “frit paste drying” process for drying the frit glass paste 7 is performed. That is, the back substrate 1 to which the frit glass paste 7 is applied is heated to a temperature at which the solvent component in the frit glass paste is vaporized, for example, a temperature of about 100 to 250 ° C. in the air atmosphere. Hold for about 30 to 30 minutes and then cool. As a result, the solvent component is removed from the frit glass paste, and the frit glass paste 7 is fixed on the back substrate 1 by the binder. The process up to this step is the same as the conventional PDP manufacturing method.

次に、図1のステップS3に示すように、「脱バインダー焼成」工程を行う。即ち、図2に示すように、乾燥後のフリットガラスペーストを、大気中においてバインダー成分が燃焼・分解して消失する温度以上であり、且つフリットガラスが軟化する温度未満の温度に加熱する。具体的には、バインダーとしてアクリルを用いた場合、アクリルは約300℃で分解するため、フリットガラスの軟化温度を400℃とすると、「脱バインダー焼成」工程における加熱温度範囲は300℃以上400℃未満となる。実際の作業においては、工程マージンを見込んで、320乃至380℃の範囲で行うことが好ましい。そして、フリットガラスペーストをこの温度範囲に一定時間保持する。保持時間(キープ時間)は可及的に長いほうが、脱バインダー効果が大きくなり好ましいが、実用的な工程としては、15分乃至2時間程度が適当である。アクリル以外のバインダー、例えばエチルセルロース又はニトロセルロースを用いる場合においても、アクリルを用いる場合と同様に、「脱バインダー焼成」工程の温度範囲を決定することができる。そして、上述の如く、フリットガラスペーストを加熱保持後、冷却する。なお、脱バインダー焼成工程を行う雰囲気は大気雰囲気には限定されないが、バインダーが燃焼して消失する材料である場合は、酸素を含む雰囲気であることが必要である。   Next, as shown in step S <b> 3 of FIG. 1, a “binder removal firing” step is performed. That is, as shown in FIG. 2, the dried frit glass paste is heated to a temperature that is equal to or higher than the temperature at which the binder component burns and decomposes and disappears in the atmosphere, and lower than the temperature at which the frit glass softens. Specifically, when acrylic is used as the binder, the acrylic decomposes at about 300 ° C. Therefore, when the softening temperature of the frit glass is 400 ° C., the heating temperature range in the “debinder baking” step is 300 ° C. or more and 400 ° C. Less than. The actual work is preferably performed in the range of 320 to 380 ° C. in view of the process margin. Then, the frit glass paste is kept in this temperature range for a certain time. It is preferable that the holding time (keep time) be as long as possible because the binder removal effect is increased, but a practical process time of about 15 minutes to 2 hours is appropriate. Even when a binder other than acrylic, for example, ethyl cellulose or nitrocellulose, is used, the temperature range of the “debinder firing” step can be determined in the same manner as when acrylic is used. Then, as described above, the frit glass paste is cooled after being heated. Note that the atmosphere in which the binder removal firing step is performed is not limited to the air atmosphere, but in the case where the binder is a material that burns and disappears, the atmosphere needs to contain oxygen.

この脱バインダー焼成工程においてはフリットガラスは軟化しないため、燃焼・分解したバインダーはフリットガラス粒子の隙間から容易にフリットガラスペーストの外部へ排出されることができる。この工程においては、バインダー成分は実質的にフリットガラスペーストから除去されるが、フリットガラスの軟化は生じていないため、フリットガラスの粒子が、粒子間に隙間を残したまま接触部において焼結している状態となる。なお、フリットガラスの粒子の直径は、例えば、数μm乃至数十μm程度である。   Since the frit glass is not softened in this debinder firing step, the burned / decomposed binder can be easily discharged out of the frit glass paste through the gaps between the frit glass particles. In this step, the binder component is substantially removed from the frit glass paste, but since the frit glass has not been softened, the frit glass particles are sintered at the contact portion leaving a gap between the particles. It will be in the state. The diameter of the frit glass particles is, for example, about several μm to several tens of μm.

次に、図1のステップS4に示すように、「減圧焼成」工程を行う。図2に示すように、この減圧焼成工程においては、大気圧よりも減圧した真空雰囲気中で、フリットガラスペースト7を、フリットガラスペースト中のフリットガラスが軟化する温度と同程度又はそれよりも若干高い温度、例えば400℃以上の温度に加熱し、所定の時間保持し、その後冷却する。なお、この減圧焼成工程は、大気圧よりも減圧された雰囲気中で実施すれば一定の効果があるが、圧力が80kPa以下の真空雰囲気中で実施することが好ましく、圧力が20kPa以下の真空雰囲気中で実施することがより好ましい。但し、必ずしも高真空雰囲気中で行う必要はない。なお、図2のステップS3に示す脱バインダー焼成において、フリットガラスペーストを加熱保持後、冷却することなく、そのままステップS4に示す減圧焼成に移行してもよい。   Next, as shown in step S4 of FIG. As shown in FIG. 2, in this reduced-pressure firing step, the frit glass paste 7 is heated to a temperature equal to or slightly higher than the temperature at which the frit glass in the frit glass paste softens in a vacuum atmosphere at a pressure lower than the atmospheric pressure. Heat to a high temperature, for example, 400 ° C. or higher, hold for a predetermined time, and then cool. In addition, although this decompression baking process has a certain effect if it is carried out in an atmosphere depressurized from atmospheric pressure, it is preferably carried out in a vacuum atmosphere having a pressure of 80 kPa or less, and a vacuum atmosphere having a pressure of 20 kPa or less. More preferably, it is carried out in the middle. However, it is not necessarily performed in a high vacuum atmosphere. In the debinding baking shown in step S3 of FIG. 2, the frit glass paste may be transferred to the reduced pressure baking shown in step S4 without being cooled after being heated and held.

前述の脱バインダー工程終了後においては、隣り合うフリットガラスの粒子間の隙間に空気及びバインダーの燃焼・分解によって発生したガスが若干残っている。このため、前述の脱バインダー工程の後、従来の方法のように大気圧中でフリットガラスを軟化温度以上の温度で焼成すると、前述の粒子間の空気及びガスが、軟化したフリットガラス中に閉じ込められて、気泡となってしまう。これが後の封着工程で問題を発生させる原因となる。即ち、封着を大気圧中で行うとパネル内汚染を引き起こす。また、封着を真空中で行うとフリットが激しく発泡してパネルのリークの原因となる。   After the above-described debinding process, a slight amount of gas generated by combustion and decomposition of air and binder remains in the gaps between the adjacent frit glass particles. For this reason, when the frit glass is fired at a temperature equal to or higher than the softening temperature in the atmospheric pressure after the debinding step as described above, the air and gas between the particles are trapped in the softened frit glass. It becomes a bubble. This causes a problem in a later sealing process. That is, if sealing is performed at atmospheric pressure, the panel will be contaminated. Further, when sealing is performed in a vacuum, the frit is foamed violently, causing panel leakage.

これに対して、本実施形態のように、圧力が大気圧よりも低い真空雰囲気中でフリットを焼成すると、気泡の原因となるフリットガラス粒子間の空気及びバインダーの燃焼・分解によって生じたガスがフリットから排出された状態でフリットガラスが軟化する。このため、実質的にフリットガラスの中に気泡が存在しない状態になる。バインダー成分の残渣は既に前工程の「脱バインダー焼成」工程で除去されている。もちろん厳密に残渣が皆無となるわけではないが、後工程の封着工程で、残渣からガスが発生してパネル内を汚染したり、又は発泡によるリークが発生したりすることを防止できる状態になる。この状態を実質的にバインダー成分及び気泡を含まない状態と定義する。これを具体的な数値で示すと、フリット内部に直径が20μmより大きい気泡がほとんどない状態を示す。   On the other hand, when the frit is fired in a vacuum atmosphere whose pressure is lower than atmospheric pressure as in the present embodiment, the air generated between the frit glass particles causing bubbles and the gas generated by the combustion and decomposition of the binder are generated. The frit glass is softened while being discharged from the frit. For this reason, there is substantially no bubble in the frit glass. Residue of the binder component has already been removed in the “debinder baking” step of the previous step. Of course, there is no strict residue, but it is possible to prevent gas from being generated from the residue and contaminating the panel or leaking due to foaming in the subsequent sealing process. Become. This state is defined as a state containing substantially no binder component and bubbles. When this is expressed by specific numerical values, it shows a state where there are almost no bubbles larger than 20 μm in diameter inside the frit.

次に、図1のステップS5に示すように、「封着」工程を行う。この工程は上述のように大気雰囲気中で行う場合と真空雰囲気中で行う場合の両方がある。本実施形態においては、封着工程を真空雰囲気中で行う。即ち、背面基板1と前面基板17とを重ね合わせ、この重ね合わせた2枚の基板の周辺部を治具等により仮固定してパネルを組み立てる。この状態で、真空雰囲気中にてフリットガラスが軟化する温度と同程度又はそれより少し高い温度に加熱する。この温度は、例えば400乃至480℃とする。これにより、フリットガラスが溶解し、背面基板1と前面基板17とがフリットガラスを介して連結される。そして、図2に示すように、フリットガラスが最高加熱温度、例えば400乃至480℃、に達した後、徐々に冷却する。この冷却工程において、雰囲気中の圧力を真空状態からほぼ大気圧まで復圧すると、フリットの発泡をより確実に抑制することができ、パネルのリークをより確実に防止できる。これは、軟化したフリット中に僅かにできた隙間を復圧によって押し潰し、フリットを均一な状態にすることができるためと考えられる。この復圧は乾燥空気若しくは乾燥窒素、又はアルゴン等の不活性ガスを使用して行う。   Next, as shown in step S5 of FIG. 1, a “sealing” step is performed. As described above, this step is performed both in an air atmosphere and in a vacuum atmosphere. In the present embodiment, the sealing step is performed in a vacuum atmosphere. That is, the rear substrate 1 and the front substrate 17 are overlapped, and the peripheral portions of the two overlapped substrates are temporarily fixed with a jig or the like to assemble the panel. In this state, it is heated to a temperature that is the same as or slightly higher than the temperature at which the frit glass softens in a vacuum atmosphere. This temperature is set to 400 to 480 ° C., for example. As a result, the frit glass is melted, and the back substrate 1 and the front substrate 17 are connected via the frit glass. Then, as shown in FIG. 2, after the frit glass reaches the maximum heating temperature, for example, 400 to 480 ° C., it is gradually cooled. In this cooling step, when the pressure in the atmosphere is restored from the vacuum state to almost atmospheric pressure, frit foaming can be more reliably suppressed, and panel leakage can be more reliably prevented. This is considered to be because the gap formed slightly in the softened frit can be crushed by the return pressure to make the frit uniform. This return pressure is performed using an inert gas such as dry air, dry nitrogen, or argon.

その後の工程は、従来のPDPの製造方法と同様である。即ち、パネルに排気管(図示せず)を連結してフリットガラスにより固定する。そして、この排気管を通じてパネル内の空間を真空排気する。その後、この空間の内部に放電可能なガス、例えばNeとXeとの混合ガス又はHeとNeとXeとの混合ガスを50kPaから70kPa程度の圧力で封入する。これにより、図11に示すようなPDPが製造される。   The subsequent steps are the same as those in the conventional method for manufacturing a PDP. That is, an exhaust pipe (not shown) is connected to the panel and fixed with frit glass. The space in the panel is evacuated through this exhaust pipe. Thereafter, a dischargeable gas, for example, a mixed gas of Ne and Xe or a mixed gas of He, Ne, and Xe is sealed in the space at a pressure of about 50 kPa to 70 kPa. Thereby, a PDP as shown in FIG. 11 is manufactured.

本実施形態においては、図1のステップS3に示す脱バインダー工程において、フリットガラスを軟化させずに、バインダー成分のみを燃焼・分解させている。即ち、フリットガラスの粒子間に隙間が形成された状態で、バインダー成分が燃焼・分解されるため、バインダー成分の残渣及び気泡がフリットガラス内に閉じ込められることがなく、残渣及び気泡をフリットガラスペーストから効率よく除去することができる。なお、図14に示す従来のPDPの製造方法においては、この脱バインダー焼成工程は設けられておらず、フリットガラスペーストを塗布、乾燥後、直ちに大気圧中で「フリット焼成」工程を行い、その後「封着工程」を行うようになっている。   In the present embodiment, only the binder component is combusted and decomposed without softening the frit glass in the debinding process shown in step S3 of FIG. That is, since the binder component is burned and decomposed in a state where gaps are formed between the particles of the frit glass, the residue and bubbles of the binder component are not trapped in the frit glass, and the residue and bubbles are removed from the frit glass paste. Can be efficiently removed. In the conventional PDP manufacturing method shown in FIG. 14, this debinder firing step is not provided, and after applying and drying the frit glass paste, the “frit firing” step is performed immediately at atmospheric pressure, The “sealing process” is performed.

このように、本実施形態においては、脱バインダー工程においてペースト中からバインダー成分を除去しているため、その後、図1のステップS4に示す減圧焼成工程において、フリットガラスの粒子間に存在する空気及びバインダー成分が燃焼・分解して発生したガスを除去しつつ、フリットガラスを軟化させて焼成することができる。この結果、焼成後のフリットガラスを、実質的に気泡及びバインダーの残渣が含まれていない状態にすることができる。これにより、図1のステップS5に示す封着工程において、フリットガラス中の気泡及び残渣から生じるガスがパネル内を汚染して、パネルの特性を低下させることがない。また、フリットの発泡によるリークの発生を防止できる。このため、高品質なPDPを高歩留まり且つ低コストで製造することができる。   Thus, in this embodiment, since the binder component is removed from the paste in the binder removal step, the air present between the frit glass particles in the reduced-pressure firing step shown in step S4 of FIG. The frit glass can be softened and fired while removing the gas generated by the combustion and decomposition of the binder component. As a result, the frit glass after firing can be made substantially free of bubbles and binder residues. Thereby, in the sealing step shown in step S5 of FIG. 1, the gas generated from the bubbles and the residue in the frit glass does not contaminate the inside of the panel and deteriorate the characteristics of the panel. In addition, the occurrence of leakage due to frit foaming can be prevented. For this reason, a high-quality PDP can be manufactured at a high yield and at a low cost.

また、本実施形態においては、真空雰囲気中での封着が可能となるため、基板表面に吸着されている水分等を効率よく除去することができ、パネル内を極めて高度に清浄化することができる。この結果、パネルの均一性、長時間放置した後のパネル特性、焼き付き等の信頼性が著しく向上する。例えば、42インチVGAクラスのプラズマディスプレイパネルの場合、従来の方法により製造されたPDPにおいては、放電維持電圧のばらつきは20V程度であるが、本実施形態の方法により製造されたPDPにおいては、放電維持電圧のばらつきは5V以下となった。   In the present embodiment, since sealing in a vacuum atmosphere is possible, moisture adsorbed on the substrate surface can be efficiently removed, and the inside of the panel can be cleaned extremely highly. it can. As a result, the uniformity of the panel, the panel characteristics after being left for a long time, and the reliability such as image sticking are remarkably improved. For example, in the case of a 42-inch VGA class plasma display panel, in the PDP manufactured by the conventional method, the variation in the discharge sustaining voltage is about 20 V, but in the PDP manufactured by the method of this embodiment, the discharge The variation of the sustain voltage was 5V or less.

なお、図2に示す台形状の温度プロフィールは1例であり、このプロファイルに限定されるものではない。図2においては、「減圧焼成」工程と「封着」工程のプロフィールを同一形状で示しているが、同一である必要はなく、むしろ相互に異なるほうが普通である。   In addition, the trapezoidal temperature profile shown in FIG. 2 is an example, and is not limited to this profile. In FIG. 2, the profiles of the “vacuum firing” process and the “sealing” process are shown in the same shape, but they do not have to be the same and are usually different from each other.

次に、本実施形態の変形例について説明する。図3は本変形例に係るPDPの製造方法を示すフローチャート図である。図3のステップS6に示すように、本変形例においては、封着工程を大気雰囲気中で行う。本変形例におけるこれ以外の工程は、前述の第1の実施形態と同様である。本実施形態では、封着工程において、背面基板1と前面基板17とを重ね合わせて仮固定し、大気雰囲気中でフリットガラスが軟化する温度と同程度又はそれより少し高い温度に加熱する。この温度は、例えば400乃至480℃とする。これにより、フリットガラスが溶解し、背面基板1と前面基板17とが相互に連結される。   Next, a modification of this embodiment will be described. FIG. 3 is a flowchart showing a method for manufacturing a PDP according to this modification. As shown in step S6 of FIG. 3, in the present modification, the sealing step is performed in an air atmosphere. The other steps in this modification are the same as those in the first embodiment. In the present embodiment, in the sealing step, the back substrate 1 and the front substrate 17 are overlapped and temporarily fixed, and heated to a temperature that is the same as or slightly higher than the temperature at which the frit glass softens in the air atmosphere. This temperature is set to 400 to 480 ° C., for example. As a result, the frit glass is melted and the back substrate 1 and the front substrate 17 are connected to each other.

本変形例においては、大気圧中で封着を行うが、基板上に形成されたフリットガラス中に実質的に気泡及びバインダー成分の残渣が含まれていないため、封着工程においてフリットガラスが軟化しても、フリットガラスからガスが発生することがなく、パネル内が汚染されることがない。また、封着工程を大気雰囲気中で行うことにより、PDPの製造コストを低減することができる。本変形例における上記以外の効果は、前述の第1の実施形態と同様である。   In this modification, sealing is performed at atmospheric pressure, but the frit glass formed on the substrate is substantially free of bubbles and binder component residues, so the frit glass is softened in the sealing process. Even so, no gas is generated from the frit glass, and the inside of the panel is not contaminated. Moreover, the manufacturing cost of PDP can be reduced by performing a sealing process in air | atmosphere. The effects of the present modification other than those described above are the same as those of the first embodiment.

次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図4は本実施形態に係るPDPの製造方法を示すフローチャート図である。本実施形態においては、フリットガラスペーストとして、はじめからバインダー成分が含まれていないバインダーフリーペーストを使用する。このバインダーフリーペーストの組成は、前述の第1の実施形態において使用したフリットガラスペーストからバインダー成分を除いたものである。また、本実施形態におけるフリットガラスペースト(バインダーフリーペースト)を塗布する工程よりも前の工程は、前述の第1の実施形態と同様である。   Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a flowchart showing the method for manufacturing the PDP according to the present embodiment. In this embodiment, a binder-free paste that does not contain a binder component from the beginning is used as the frit glass paste. The composition of this binder-free paste is obtained by removing the binder component from the frit glass paste used in the first embodiment. In addition, the step before the step of applying the frit glass paste (binder free paste) in the present embodiment is the same as that in the first embodiment.

前述の第1の実施形態と同様な方法により、背面基板1上に蛍光体層12等を形成した後、図4のステップS11に示すように、背面基板1(図11参照)の表面にバインダーフリーペーストを塗布する。このバインダーフリーペーストはバインダー成分を含まないため、前述の第1の実施形態に示すような脱バインダー工程は不要であり、バインダーフリーフリットペーストを基板に塗布後、ステップS12に示すように「バインダーフリーフリットペースト乾燥」工程を行い、そのまま直ちに図4のステップS13に示す「減圧焼成」工程を行うことが可能である。その後、図4のステップS14に示すように、真空雰囲気中又は大気雰囲気中で封着工程を行う。図4に示す各工程の条件は、前述の第1の実施形態と同様である。また、封着工程より後の工程も、前述の第1の実施形態と同様である。   After the phosphor layer 12 and the like are formed on the back substrate 1 by the same method as in the first embodiment, a binder is formed on the surface of the back substrate 1 (see FIG. 11) as shown in step S11 of FIG. Apply free paste. Since this binder-free paste does not contain a binder component, the debinding step as shown in the first embodiment is unnecessary. After the binder-free frit paste is applied to the substrate, as shown in step S12, “binder-free paste” It is possible to perform the “frit paste drying” process and immediately perform the “reduced pressure baking” process shown in step S13 of FIG. Thereafter, as shown in step S14 of FIG. 4, the sealing step is performed in a vacuum atmosphere or an air atmosphere. The conditions for each step shown in FIG. 4 are the same as those in the first embodiment. Further, the steps after the sealing step are the same as those in the first embodiment.

本実施形態においては、フリットガラスペーストとしてバインダーフリーのペーストを使用するため、塗布性が低く、また塗布及び乾燥後にペーストが基板から剥離しやすい。このため、作業時には注意が必要である。但し、本実施形態においては、前述の第1の実施形態と比較して、脱バインダー焼成工程を省略できるという大きな利点がある。本実施形態における上記以外の効果は、前述の第1の実施形態と同様である。   In this embodiment, since a binder-free paste is used as the frit glass paste, the coating property is low, and the paste is easily peeled off from the substrate after coating and drying. Therefore, care must be taken when working. However, the present embodiment has a great advantage that the debinding baking process can be omitted as compared with the first embodiment described above. The effects of the present embodiment other than those described above are the same as those of the first embodiment described above.

なお、前述の第1及び第2の実施形態においては、フリットガラスをほぼ完全に溶融したままで焼成した後、組立・封着工程を行っているが、フリットガラスの粒子同士が焼結し、粒子同士の間に間隙が残った状態に留めた段階でフリット焼成を完了し、その後組立・封着工程を行うことも可能である。但し、この場合は、粒子間の間隙が相互にほぼ連通し、この間隙がフリットの外部にも連通していることが必要である。間隙がフリットの外部に連通されていれば、粒子間に存在する空気及びガスをこの間隙を介してフリットの外部に排気することができる。これにより、封着を真空雰囲気中で行う場合においても、気泡の発生を大幅に抑えることができる。   In the first and second embodiments described above, the frit glass is baked while being almost completely melted, and then an assembly and sealing process is performed. It is also possible to complete the frit firing at the stage where the gap remains between the particles and then perform the assembly / sealing process. However, in this case, it is necessary that the gaps between the particles are almost in communication with each other, and this gap is also in communication with the outside of the frit. If the gap communicates with the outside of the frit, the air and gas existing between the particles can be exhausted to the outside of the frit through the gap. Thereby, even when sealing is performed in a vacuum atmosphere, the generation of bubbles can be significantly suppressed.

次に、本発明の第3の実施形態について説明する。図5は本実施形態に係るPDPの製造方法を示すフローチャート図であり、図6(a)及び(b)はこのPDPの製造方法を工程順に示す平面図である。本実施形態においては、前述の第1の実施形態のように、基板上にペースト状のフリットガラスを塗布して、乾燥、脱バインダー、焼成を行う替わりに、予め棒状又はシート状等の所定の形状に整形されたフリットガラス部材を基板上に配置する。   Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is a flowchart showing a method for manufacturing a PDP according to the present embodiment, and FIGS. 6A and 6B are plan views showing the method for manufacturing the PDP in the order of steps. In the present embodiment, instead of applying paste-like frit glass on the substrate and performing drying, debinding, and firing as in the first embodiment, a predetermined shape such as a rod shape or a sheet shape is used in advance. A frit glass member shaped into a shape is placed on the substrate.

即ち、図6(a)に示すように、前述の第1の実施形態と同様な方法により、背面基板1上に、データ電極10(図11参照)、白色誘電体層11(図11参照)、隔壁2及び蛍光体層12(図11参照)を形成し、前面基板17(図11参照)上に透明電極15(図11参照)、バス電極16(図11参照)、透明誘電体層13(図11参照)及び保護層(図示せず)を形成する。   That is, as shown in FIG. 6A, the data electrode 10 (see FIG. 11) and the white dielectric layer 11 (see FIG. 11) are formed on the back substrate 1 by the same method as in the first embodiment. The barrier ribs 2 and the phosphor layer 12 (see FIG. 11) are formed, and the transparent electrode 15 (see FIG. 11), the bus electrode 16 (see FIG. 11), and the transparent dielectric layer 13 are formed on the front substrate 17 (see FIG. 11). (See FIG. 11) and a protective layer (not shown) are formed.

一方、図6(b)に示すように、棒状の整形済みフリットガラス部材3を4本作製する。整形済みフリットガラス部材3の作製方法は、一般に知られているガラス棒及びガラス管等の製造方法と同様でよい。   On the other hand, as shown in FIG. 6B, four rod-shaped shaped frit glass members 3 are produced. A method for producing the shaped frit glass member 3 may be the same as a generally known method for producing a glass rod, a glass tube, or the like.

次に、図5のステップS21に示すように、「整形済みフリット配置」工程において、予め棒状に整形された4本の整形済みフリットガラス部材3を、背面基板1の表面における隔壁2が形成された領域の周囲に、矩形の枠状に配置する。この整形済みフリットガラス部材3の組成は、前述の第1の実施形態で説明したフリットガラスペースト中のガラス成分と同様であるが、大きな違いはフリットガラスが粉末状ではなく、棒状又はシート状等に整形されている点である。従って、本実施形態においては、基板上にフリットガラスを形成する工程は、ステップS21に示す「整形済みフリット配置」工程だけでよく、「フリットペースト乾燥」工程は不要である。また、整形済みフリットガラス部材3にはバインダー成分は含まれていないので、「脱バインダー焼成」工程も不要である。   Next, as shown in step S21 in FIG. 5, in the “shaped frit placement” step, four shaped frit glass members 3 shaped in a bar shape in advance are used to form the partition walls 2 on the surface of the back substrate 1. It is arranged in a rectangular frame around the area. The composition of the shaped frit glass member 3 is the same as that of the glass component in the frit glass paste described in the first embodiment, but the major difference is that the frit glass is not powdery, but is a rod or sheet. This is the point that has been shaped. Therefore, in the present embodiment, the process of forming the frit glass on the substrate is only the “shaped frit placement” process shown in step S21, and the “frit paste drying” process is unnecessary. Further, since the shaped frit glass member 3 does not contain a binder component, the “debinder firing” step is not necessary.

次に、図5のステップS22に示すように、「封着」工程を行う。封着工程の条件は、前述の第1の実施形態又はその変形例における封着工程と同様である。即ち、封着工程は大気雰囲気中で行ってもよく、真空雰囲気中で行ってもよい。本実施形態における上記以外の方法は、前述の第1の実施形態と同様である。   Next, as shown in step S22 of FIG. 5, a “sealing” step is performed. The conditions for the sealing step are the same as those for the sealing step in the first embodiment described above or its modification. That is, the sealing step may be performed in an air atmosphere or in a vacuum atmosphere. Other methods in the present embodiment are the same as those in the first embodiment described above.

本実施形態においては、整形済みフリットガラス部材3にバインダー成分及び気泡等が実質的に含まれていないため、封着を真空中で行っても大気中で行っても共に良好な封着が可能であり、パネルの均一性及び信頼性が高いという前述の第1及び第2の実施形態と同様な効果が得られる。特に、本実施形態が前述の第1及び第2の実施形態と比較して優れている点は、ペーストの塗布工程及び乾燥工程が不要であり工程が大幅に短縮できること、フリット塗布工程に起因する不良、即ち、フリットペーストの飛散による画素欠陥等が発生せず歩留まりが高いこと、整形済みフリットガラス部材3の製造段階で断面形状を管理しておけばフリットの膜厚が安定し、面倒なフリット塗布時の膜厚管理及びフリットペーストの粘度管理が不要であること等である。このように、本実施形態においては、高品質なPDPを高い歩留まりで低コストに製造することができる。   In this embodiment, since the shaped frit glass member 3 is substantially free of binder components and bubbles, it can be sealed well both in vacuum and in the air. Thus, the same effects as those of the first and second embodiments described above that the uniformity and reliability of the panel are high can be obtained. In particular, the point that this embodiment is superior to the first and second embodiments described above is that the paste application process and the drying process are not required, and the process can be greatly shortened, and the frit application process. If the cross-sectional shape is managed in the manufacturing stage of the shaped frit glass member 3, the frit film thickness is stable and troublesome frit. For example, it is not necessary to manage the film thickness at the time of application and the viscosity management of the frit paste. Thus, in the present embodiment, a high-quality PDP can be manufactured with a high yield and low cost.

なお、本実施形態においては、図6(b)に示すように、4本の棒状の整形済みフリットガラス部材3を、隔壁2の形成領域の周囲に矩形の枠を形成するように配置しているが、本発明はこれに限定されない。例えば、より短い整形済みフリットガラス部材を5本以上配置してもよい。また、隣り合う整形済みフリットガラス部材3の間には若干の隙間があってもよく、また接していてもよい。更に、整形済みフリットガラス部材の配置方法は枠状に限定されず、L字形状又はコ字形状でも良く、矩形の枠状の整形済みフリットガラス部材を予め一体的に整形して配置してもよい。更にまた、整形済みフリットガラス部材の長さはもっと短くてもよく、例えばブロック状又はボール状でもよい。更にまた、整形済みフリットガラス部材の断面形状は任意でよく、断面形状が円形であるロッド状のガラス部材でもよく、断面形状が四角形である棒状のガラス部材でもよく、断面形状が薄い四角形であるシート状のガラス部材でもよく、断面形状が三角形又は楕円形等であってもよい。   In this embodiment, as shown in FIG. 6B, four rod-shaped shaped frit glass members 3 are arranged so as to form a rectangular frame around the partition 2 formation region. However, the present invention is not limited to this. For example, five or more shorter shaped frit glass members may be arranged. Further, there may be a slight gap between the adjacent shaped frit glass members 3 or they may be in contact with each other. Further, the arrangement method of the shaped frit glass member is not limited to the frame shape, and may be L-shaped or U-shaped, and the shaped frit glass member having a rectangular frame shape may be shaped and arranged in advance integrally. Good. Furthermore, the length of the shaped frit glass member may be shorter, for example, a block shape or a ball shape. Furthermore, the cross-sectional shape of the shaped frit glass member may be arbitrary, may be a rod-shaped glass member having a circular cross-sectional shape, may be a rod-shaped glass member having a quadrangular cross-sectional shape, and has a thin cross-sectional shape. A sheet-like glass member may be sufficient and a cross-sectional shape may be a triangle or an ellipse.

また、前述の第2の実施形態において説明したように、整形済みフリットガラス部材を、フリットガラス粒子同士が焼結し、且つ粒子間の間隙が相互にほぼ連通すると共にフリット部材の外部にも連通しているような焼結体としても、同様な効果を得ることができる。   Further, as described in the second embodiment, the shaped frit glass member is sintered between the frit glass particles, and the gap between the particles is substantially communicated with each other and communicated with the outside of the frit member. The same effect can be obtained even when the sintered body is used.

次に、本発明の第4の実施形態について説明する。図7(a)及び(b)は本実施形態に係るPDPの製造方法を工程順に示す平面図である。本実施形態は、前述の第3の実施形態と比較して、整形済みフリットガラス部材を背面基板上に配置する前に、背面基板上に整形済みフリットガラス部材の位置決めのためのガイドを形成する点が異なっている。本実施形態における上記以外の方法は、前述の第3の実施形態と同様である。   Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. FIGS. 7A and 7B are plan views showing the method of manufacturing the PDP according to this embodiment in the order of steps. This embodiment forms a guide for positioning the shaped frit glass member on the back substrate before placing the shaped frit glass member on the back substrate, as compared to the third embodiment described above. The point is different. Other methods in the present embodiment are the same as those in the third embodiment described above.

即ち、図7(a)に示すように、背面基板1の表面に白色誘電体層11(図11参照)を形成した後に、隔壁2を形成する工程において、後の工程において整形済みフリットガラス部材3を配置する予定の領域を囲むように、枠状のガイド4を2重に形成する。ガイド4は隔壁2と同時に形成する。次に、蛍光体層12(図11参照)を形成する。次に、図7(b)に示すように、2本のガイド4の間の領域に、整形済みフリットガラス部材3を配置する。その後の工程は、前述の第3の実施形態と同様である。   That is, as shown in FIG. 7A, after forming the white dielectric layer 11 (see FIG. 11) on the surface of the back substrate 1, in the step of forming the partition wall 2, the frit glass member shaped in the later step is formed. A frame-shaped guide 4 is formed in a double manner so as to surround a region where 3 is to be arranged. The guide 4 is formed simultaneously with the partition wall 2. Next, the phosphor layer 12 (see FIG. 11) is formed. Next, as shown in FIG. 7B, the shaped frit glass member 3 is disposed in the region between the two guides 4. Subsequent steps are the same as those in the third embodiment.

本実施形態においては、背面基板1上にガイド4を形成することにより、整形済みフリットガラス部材3の位置決めがより容易且つ正確になり、また、封着工程において、背面基板1と前面基板とを重ね合わせてパネルを組み立てる際に、整形済みフリットガラス部材3の位置がずれることを防止できる。また、ガイド4を隔壁2と同一工程で形成することにより、ガイド4を形成するための専用の工程を設ける必要がなく、工程数が増加しない。本実施形態における上記以外の効果は、前述の第3の実施形態と同様である。   In the present embodiment, the guide 4 is formed on the back substrate 1 so that the shaped frit glass member 3 can be positioned more easily and accurately. In addition, in the sealing process, the back substrate 1 and the front substrate are connected to each other. When assembling a panel by overlapping, it is possible to prevent the position of the shaped frit glass member 3 from shifting. Moreover, by forming the guide 4 in the same process as the partition wall 2, it is not necessary to provide a dedicated process for forming the guide 4, and the number of processes does not increase. The effects of the present embodiment other than those described above are the same as those of the third embodiment described above.

なお、ガイド4は、図7(b)に示すような連続した形状には限定されず、整形済みフリットガラス部材3の位置決めが容易になる形状であればよく、例えば点線状であってもよい。   The guide 4 is not limited to a continuous shape as shown in FIG. 7B, and may be any shape that facilitates the positioning of the shaped frit glass member 3, and may be, for example, a dotted line. .

次に、本発明の第5の実施形態について説明する。図8(a)及び(b)は本実施形態に係るPDPの製造方法を工程順に示す平面図であり、図9(a)は図8(b)に示す工程を示す部分平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。図15(a)及び(b)に示す従来の技術においても説明したように、封着時に基板表面に吸着した水分等を除去するために、フリットガラスに突起部を形成する方法が知られている。本実施形態は、この突起部を、整形済みフリットガラス部材を使用して実現する例である。本実施形態は、前述の第4の実施形態と比較して、整形済みフリットガラス部材のガイドとして梯子状のガイドを形成する点が異なっている。   Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. FIGS. 8A and 8B are plan views showing the manufacturing method of the PDP according to this embodiment in the order of steps, and FIG. 9A is a partial plan view showing the steps shown in FIG. (B) is sectional drawing by the AA 'line shown to (a). As described in the prior art shown in FIGS. 15 (a) and 15 (b), a method of forming protrusions on the frit glass is known to remove moisture adsorbed on the substrate surface during sealing. Yes. This embodiment is an example which implement | achieves this projection part using the shaped frit glass member. This embodiment is different from the fourth embodiment described above in that a ladder-shaped guide is formed as a guide for the shaped frit glass member.

本実施形態においては、図8(a)に示すように、白色誘電体層11(図11参照)を形成した後の背面基板1上に、隔壁2の形成と同時に梯子状ガイド5を形成する。図8(a)及び図9(a)に示すように、この梯子状ガイド5の形状は、隔壁2の形成領域を囲むように、背面基板1の端縁に沿って延在する2本の枠状の枠状部5aと、この2本の枠状部5a同士を連結する複数本の連結部5bとから構成されている。その後、白色誘電体層11上及び隔壁2の側面に、蛍光体層12を形成する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 8A, a ladder-shaped guide 5 is formed simultaneously with the formation of the partition walls 2 on the rear substrate 1 after the white dielectric layer 11 (see FIG. 11) is formed. . As shown in FIG. 8A and FIG. 9A, the shape of the ladder-shaped guide 5 includes two pieces extending along the edge of the back substrate 1 so as to surround the region where the partition wall 2 is formed. It is comprised from the frame-shaped frame-shaped part 5a and the several connection part 5b which connects these two frame-shaped parts 5a. Thereafter, the phosphor layer 12 is formed on the white dielectric layer 11 and on the side surfaces of the barrier ribs 2.

次に、図8(b)並びに図9(a)及び(b)に示すように、背面基板1の表面における2本の枠状部5aの間の領域に、連結部5bを跨ぐように、整形済みフリットガラス部材3を配置する。このとき、整形済みフリットガラス部材3における連結部5b上に位置する部分は、連結部5bにより背面基板1から持ち上げられ、背面基板1と整形済みフリットガラス部材3との間に隙間が形成される。本実施形態における上記以外の方法は、前述の第4の実施形態と同様である。   Next, as shown in FIG. 8B and FIGS. 9A and 9B, the region between the two frame-like portions 5a on the surface of the back substrate 1 is straddled across the connecting portion 5b. The shaped frit glass member 3 is disposed. At this time, the portion of the shaped frit glass member 3 located on the connecting portion 5b is lifted from the back substrate 1 by the connecting portion 5b, and a gap is formed between the back substrate 1 and the shaped frit glass member 3. . The method other than the above in this embodiment is the same as that in the above-described fourth embodiment.

本実施形態においては、整形済みフリットガラス部材3と背面基板1との間に隙間が形成されることにより、封着工程において、基板表面に吸着している水分等を効率よく排気することができる。また、前述の図15(a)及び(b)に示す従来のPDPの製造方法のように、フリットガラスペースト7を塗布する際にフリットペースト突起部8を設ける方法においては、フリットガラスペーストの塗布工程を2回繰り返す必要があり、工程が増加するという欠点がある。これに対して、本実施形態においては、隔壁2を形成する工程において梯子状ガイド5を形成しているため、工程数が増加することがない。本実施形態における上記以外の効果は、前述の第4の実施形態と同様である。   In the present embodiment, since a gap is formed between the shaped frit glass member 3 and the back substrate 1, moisture and the like adsorbed on the substrate surface can be efficiently exhausted in the sealing step. . Further, in the method of providing the frit paste protrusion 8 when applying the frit glass paste 7 as in the conventional method for manufacturing the PDP shown in FIGS. 15A and 15B, the application of the frit glass paste is performed. There is a disadvantage that the process needs to be repeated twice and the number of processes increases. On the other hand, in this embodiment, since the ladder-shaped guide 5 is formed in the process of forming the partition wall 2, the number of processes does not increase. The effects of the present embodiment other than those described above are the same as those of the fourth embodiment described above.

なお、本実施形態においては、ガイドの形状を梯子状としたが、本発明はこれに限定されず、整形済みフリットガラス部材3を基板から持ち上げる部分、即ち、基板上に突起となる構造物が形成されればよい。例えば、突起状構造物は必ずしも梯子状ガイド5の連結部5b上のように、ガイドの機能を果たす部分(枠状部5a)と連結されている必要ななく、ドット状等の独立したパターンでもよい。   In this embodiment, the shape of the guide is a ladder. However, the present invention is not limited to this, and a portion where the shaped frit glass member 3 is lifted from the substrate, that is, a structure serving as a protrusion on the substrate is provided. It may be formed. For example, the protrusion-like structure does not necessarily have to be connected to the portion (frame-like portion 5a) that performs the function of the guide, such as on the connecting portion 5b of the ladder-like guide 5, and may be an independent pattern such as a dot shape. Good.

次に、本発明の第6の実施形態について説明する。図10(a)は本実施形態に係るPDPの製造方法を示す平面図であり、(b)は(a)に示すB−B’線による断面図である。図10(a)及び(b)に示すように、本実施形態においては、整形済みフリットガラス部材3の長手方向に交差する方向、例えば直交する方向に突出するように、整形済みフリット突起部6を形成する。そして、整形済みフリットガラス部材3を背面基板1上に配置するときに、突起部6が背面基板1の表面に垂直な方向に起立するように配置している。本実施形態における上記以外の方法は、前述の第3の実施形態と同様である。   Next, a sixth embodiment of the present invention will be described. FIG. 10A is a plan view showing the method for manufacturing the PDP according to this embodiment, and FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line B-B ′ shown in FIG. As shown in FIGS. 10A and 10B, in this embodiment, the shaped frit protrusion 6 is projected so as to protrude in a direction intersecting the longitudinal direction of the shaped frit glass member 3, for example, a direction orthogonal thereto. Form. When the shaped frit glass member 3 is disposed on the back substrate 1, the protrusion 6 is disposed so as to stand in a direction perpendicular to the surface of the back substrate 1. Other methods in the present embodiment are the same as those in the third embodiment described above.

本実施形態においては、整形済みフリットガラス部材3に整形済みフリット突起部6を形成することにより、封着工程において、この突起部6が整形済みフリットガラス部材3と前面基板との間に隙間を形成する。この結果、封着工程において、基板表面に吸着した水分等を効率よく排気することができる。本実施形態における上記以外の効果は、前述の第3の実施形態と同様である。   In the present embodiment, by forming the shaped frit projection 6 on the shaped frit glass member 3, in the sealing process, the projection 6 has a gap between the shaped frit glass member 3 and the front substrate. Form. As a result, in the sealing step, moisture adsorbed on the substrate surface can be efficiently exhausted. The effects of the present embodiment other than those described above are the same as those of the third embodiment described above.

なお、本実施形態においても、前述の第4の実施形態と同様に、整形済みフリットガラス部材3を位置決めするためのガイドを設けてもよい。この場合、ガイドには、第5の実施形態に示す梯子状ガイドのように、整形済みフリットガラス部材3を持ち上げる突起部を形成する必要はない。また、本実施形態においては、整形済みフリット突起部6を、整形済みフリットガラス部材3の長手方向に直交する一方向に突出するように形成し、整形済みフリットガラス部材3を基板上に配置するときに、突起部6が基板表面に垂直な方向に起立するように配置しているが、本発明はこれに限定されない。例えば、整形済みフリットガラス部材3の幅を部分的に太くしても同様な効果が得られる。   In the present embodiment, a guide for positioning the shaped frit glass member 3 may be provided as in the fourth embodiment. In this case, it is not necessary to form a protrusion for lifting the shaped frit glass member 3 in the guide, unlike the ladder guide shown in the fifth embodiment. In the present embodiment, the shaped frit protrusion 6 is formed so as to protrude in one direction orthogonal to the longitudinal direction of the shaped frit glass member 3, and the shaped frit glass member 3 is disposed on the substrate. Sometimes, the protrusions 6 are arranged so as to stand upright in a direction perpendicular to the substrate surface, but the present invention is not limited to this. For example, the same effect can be obtained by partially increasing the width of the shaped frit glass member 3.

次に、本発明の第7の実施形態について説明する。本実施形態は、前述の各実施形態において、真空雰囲気中で封着を行う際に、パネル内の気体を排気するためにパネルに連結する排気管を固定するためのフリットガラスを整形済みフリットガラス部材により形成する例である。従来、排気管をパネルに固定するためのフリットガラスは、フリットガラスペーストを塗布して形成するか、フリットガラスをバインダーにより固めた整形材を使用する。しかし、このようにして形成されたフリットガラスには、バインダーが含まれているため、真空雰囲気中において封着を行うと、フリットガラスが発泡してパネルにリークが発生する。   Next, a seventh embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, in each of the above-described embodiments, when sealing is performed in a vacuum atmosphere, the frit glass for fixing the exhaust pipe connected to the panel to exhaust the gas in the panel is shaped frit glass. It is an example which forms with a member. Conventionally, the frit glass for fixing the exhaust pipe to the panel is formed by applying a frit glass paste or using a shaping material obtained by hardening the frit glass with a binder. However, since the frit glass formed in this manner contains a binder, when sealing is performed in a vacuum atmosphere, the frit glass foams and leaks in the panel.

これを防ぐためには、バインダー成分が実質的に含まれていない整形済みのフリットガラスを使用すればよい。整形済みのフリットガラスは、例えば以下に示すような方法により整形することができる。即ち、フリットガラスをアクリル等のバインダー及び溶剤と混合させて、この混合物を練り、型に入れて整形する。次に、フリットガラスが焼結する温度まで加熱する。このとき焼結したフリットガラスの粒子間の間隙が相互にほぼ連通され外部とも連通されるように、焼結条件を調整する。この方法以外にも大気圧中でバインダーが燃焼・分解する温度で焼成し、その後、真空雰囲気中で焼成する方法もある。フリットガラスは軟化温度が低いため、整形が容易である。これにより、真空雰囲気中において封着を行っても、パネルにリークが生じることをより確実に防止できる。   In order to prevent this, a shaped frit glass that does not substantially contain a binder component may be used. The shaped frit glass can be shaped by the following method, for example. That is, frit glass is mixed with a binder such as acrylic and a solvent, and the mixture is kneaded and put into a mold and shaped. Next, it is heated to a temperature at which the frit glass is sintered. At this time, the sintering conditions are adjusted so that the gaps between the sintered frit glass particles are substantially communicated with each other and with the outside. In addition to this method, there is also a method of firing at a temperature at which the binder burns and decomposes at atmospheric pressure, and then firing in a vacuum atmosphere. Since frit glass has a low softening temperature, shaping is easy. Thereby, even if it seals in a vacuum atmosphere, it can prevent more reliably that a leak arises in a panel.

なお、前述の各実施形態においては、背面基板上にフリットガラスを形成する例を示したが、フリットガラスは前面基板上に形成してもよく、前面基板上と背面基板上の双方に形成してもよい。これらの場合においても、フリットガラスの形成方法は、前述の各実施形態と同様である。   In each of the above-described embodiments, the example in which the frit glass is formed on the back substrate has been shown. However, the frit glass may be formed on the front substrate, and may be formed on both the front substrate and the back substrate. May be. Also in these cases, the method of forming the frit glass is the same as that in each of the embodiments described above.

また、本実施形態においては、表示パネルとしてAC面放電型の反射型プラズマディスプレイパネルを製造する例を示したが、本発明はこれに限定されず、他の方式のプラズマディスプレイパネルにも適用可能であることは言うまでもない。もちろん、2枚の基板をフリットガラスによって封着する工程を含む表示パネル、例えば、フィールドエミッションディスプレイ(FED)及び蛍光表示管(VFD)等においても、本発明は適用可能である。   Further, in the present embodiment, an example of manufacturing an AC surface discharge type reflective plasma display panel as a display panel has been shown, but the present invention is not limited to this, and can be applied to plasma display panels of other systems. Needless to say. Of course, the present invention can also be applied to a display panel including a process of sealing two substrates with frit glass, such as a field emission display (FED) and a fluorescent display tube (VFD).

本発明は、プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションディスプレイ(FED)及び蛍光表示管(VFD)等の製造に好適に利用することができる。   The present invention can be suitably used for manufacturing a plasma display panel, a field emission display (FED), a fluorescent display tube (VFD) and the like.

本発明の第1の実施形態に係るPDPの製造方法を示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the manufacturing method of PDP which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 横軸に時間をとり縦軸に温度をとって、本実施形態における各工程の温度プロファイルを示すグラフ図である。It is a graph which shows temperature profile of each process in this embodiment, taking time on the horizontal axis and taking temperature on the vertical axis. 本実施形態の変形例に係るPDPの製造方法を示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the manufacturing method of PDP which concerns on the modification of this embodiment. 本発明の第2の実施形態に係るPDPの製造方法を示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the manufacturing method of PDP which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係るPDPの製造方法を示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the manufacturing method of PDP which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. (a)及び(b)はこのPDPの製造方法を工程順に示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the manufacturing method of this PDP in order of a process. (a)及び(b)は本発明の第4の実施形態に係るPDPの製造方法を工程順に示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the manufacturing method of PDP which concerns on the 4th Embodiment of this invention in order of a process. (a)及び(b)は本発明の第5の実施形態に係るPDPの製造方法を工程順に示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the manufacturing method of PDP which concerns on the 5th Embodiment of this invention in order of a process. (a)は図8(b)に示す工程を示す部分平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。(A) is a partial top view which shows the process shown in FIG.8 (b), (b) is sectional drawing by the A-A 'line | wire shown to (a). (a)は本発明の第6の実施形態に係るPDPの製造方法を示す平面図であり、(b)は(a)に示すB−B’線による断面図である。(A) is a top view which shows the manufacturing method of PDP which concerns on the 6th Embodiment of this invention, (b) is sectional drawing by the B-B 'line | wire shown to (a). 反射型AC面放電カラープラズマディスプレイパネルの1つの放電セルを示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing one discharge cell of a reflection type AC surface discharge color plasma display panel. 従来のPDPの製造方法を示すフローチャート図である。It is a flowchart figure which shows the manufacturing method of the conventional PDP. この従来のPDPの製造方法におけるフリットガラスペーストの塗布工程を示す平面図である。It is a top view which shows the application | coating process of the frit glass paste in the manufacturing method of this conventional PDP. 横軸に時間をとり縦軸に温度をとって、従来のPDPの製造方法における各工程における温度プロファイルを示すグラフ図である。It is a graph which shows the temperature profile in each process in the manufacturing method of the conventional PDP, taking time on a horizontal axis and taking temperature on a vertical axis. (a)は他の従来のPDPの製造方法におけるフリットガラスペーストの塗布工程を示す平面図であり、(b)は(a)に示すC−C’線による断面図である。(A) is a top view which shows the application | coating process of the frit glass paste in the manufacturing method of the other conventional PDP, (b) is sectional drawing by the C-C 'line | wire shown to (a).

符号の説明Explanation of symbols

1;背面基板
2;隔壁
3;整形済みフリットガラス部材
4;ガイド
5;梯子状ガイド
5a;枠状部
5b;連結部
6;整形済みフリット突起部
7;フリットガラスペースト
8;フリットペースト突起部
10;データ電極
11;白色誘電体層
12;蛍光体層
13;透明誘電体層
14;放電空間
15;透明電極
16;バス電極
17;前面基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1; Back substrate 2; Partition 3; Shaped frit glass member 4; Guide 5; Ladder-shaped guide 5a; Frame-shaped part 5b; Connection part 6; Shaped frit projection part 7; Frit glass paste 8; Data electrode 11; white dielectric layer 12; phosphor layer 13; transparent dielectric layer 14; discharge space 15; transparent electrode 16; bus electrode 17;

Claims (31)

フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にバインダー及び気泡を実質的に含まないフリットガラスを被着する工程と、前記一方の基板と他方の前記基板とを前記フリットガラスを介して重ね合わせ、真空雰囲気中で前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する工程と、を有することを特徴とする表示パネルの製造方法。 In the method for manufacturing a display panel in which two substrates are sealed with frit glass, a step of depositing frit glass substantially free of binder and bubbles in a region surrounding the display region on the surface of at least one of the substrates; A step of stacking the one substrate and the other substrate through the frit glass, and heating the frit glass to a temperature equal to or higher than a softening temperature of the frit glass in a vacuum atmosphere to seal the two substrates; A method for producing a display panel, comprising: フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にフリットガラス及びバインダーを含むフリットガラスペーストを塗布する塗布工程と、このフリットガラスペーストが塗布された基板を前記バインダーが燃焼又は分解する温度以上であり且つ前記フリットガラスの軟化温度未満である第1の温度に加熱して前記フリットガラスペーストから前記バインダーを除去する脱バインダー工程と、このバインダーが除去されたフリットガラスペーストが塗布された基板を真空雰囲気中にて前記フリットガラスの軟化温度以上である第2の温度に加熱して前記フリットガラスを焼成する焼成工程と、この焼成されたフリットガラスが被着した基板と他方の前記基板とを前記焼成されたフリットガラスを介して重ね合わせ、前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する封着工程と、を有することを特徴とする表示パネルの製造方法。 In a method for manufacturing a display panel in which two substrates are sealed with frit glass, an application step of applying a frit glass paste containing frit glass and a binder to a region surrounding the display region on the surface of at least one of the substrates; A binder that removes the binder from the frit glass paste by heating the substrate coated with the frit glass paste to a first temperature that is equal to or higher than a temperature at which the binder burns or decomposes and lower than a softening temperature of the frit glass. A baking step of baking the frit glass by heating the substrate coated with the frit glass paste from which the binder has been removed to a second temperature that is equal to or higher than the softening temperature of the frit glass in a vacuum atmosphere; The substrate on which this baked frit glass is deposited and the other front A sealing step of stacking the substrates on the sintered frit glass and heating the frit glass to a temperature equal to or higher than a softening temperature of the frit glass to seal the two substrates. Panel manufacturing method. 前記脱バインダー工程は、前記フリットガラスペーストが塗布された基板を前記第1の温度まで加熱する第1の加熱工程と、この第1の温度に保持する第1の均熱工程と、を有することを特徴とする請求項2に記載の表示パネルの製造方法。 The debinding step includes a first heating step for heating the substrate coated with the frit glass paste to the first temperature, and a first soaking step for maintaining the first temperature. The manufacturing method of the display panel of Claim 2 characterized by these. 前記第1の温度を300℃以上400℃未満とすることを特徴とする請求項2又は3に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to claim 2, wherein the first temperature is set to be 300 ° C. or higher and lower than 400 ° C. 5. 前記第1の温度を320乃至380℃とすることを特徴とする請求項4に記載の表示パネルの製造方法。 5. The method of manufacturing a display panel according to claim 4, wherein the first temperature is set to 320 to 380.degree. 前記第1の均熱工程における保持時間を15分乃至2時間とすることを特徴とする請求項3に記載の表示パネルの製造方法。 4. The method for manufacturing a display panel according to claim 3, wherein the holding time in the first soaking step is 15 minutes to 2 hours. 前記脱バインダー工程を、大気中において行うことを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to claim 2, wherein the debinding step is performed in the atmosphere. 前記焼成工程は、前記バインダーが除去されたフリットガラスペーストが塗布された基板を前記第2の温度まで加熱する第2の加熱工程と、この第2の温度に保持する第2の均熱工程と、この第2の温度から冷却する第2の冷却工程と、を有することを特徴とする請求項2乃至7のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The baking step includes a second heating step of heating the substrate coated with the frit glass paste from which the binder has been removed to the second temperature, and a second soaking step of maintaining the second temperature. A method for manufacturing a display panel according to any one of claims 2 to 7, further comprising a second cooling step of cooling from the second temperature. 前記第2の温度を400℃以上とすることを特徴とする請求項2乃至8のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to claim 2, wherein the second temperature is 400 ° C. or higher. 前記焼成工程を、圧力が80kPa以下の雰囲気中で行うことを特徴とする請求項2乃至9のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to claim 2, wherein the firing step is performed in an atmosphere having a pressure of 80 kPa or less. 前記焼成工程を、圧力が20kPa以下の雰囲気中で行うことを特徴とする請求項10に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to claim 10, wherein the firing step is performed in an atmosphere having a pressure of 20 kPa or less. フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にフリットガラスを含みバインダーを含まないフリットガラスペーストを塗布する塗布工程と、このフリットガラスペーストが塗布された基板を真空雰囲気中にて前記フリットガラスの軟化温度以上である焼成温度に加熱して前記フリットガラスを焼成する焼成工程と、この焼成されたフリットガラスが被着した基板と他方の前記基板とを前記焼成されたフリットガラスを介して重ね合わせ、前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する封着工程と、を有することを特徴とする表示パネルの製造方法。 In a method of manufacturing a display panel in which two substrates are sealed with frit glass, an application step of applying a frit glass paste that includes frit glass and does not include a binder in a region surrounding the display region on the surface of at least one of the substrates; A baking step of baking the frit glass by heating the substrate coated with the frit glass paste in a vacuum atmosphere to a baking temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass, and the baking of the frit glass A sealing step of stacking the substrate and the other substrate through the fired frit glass and heating the substrate to a temperature equal to or higher than a softening temperature of the frit glass to seal the two substrates. A display panel manufacturing method characterized by the above. 前記焼成工程は、前記バインダーを含まないフリットガラスペーストが塗布された基板を前記焼成温度まで加熱する加熱工程と、この焼成温度に保持する均熱工程と、を有することを特徴とする請求項12に記載の表示パネルの製造方法。 The said baking process has a heating process which heats the board | substrate with which the frit glass paste which does not contain the said binder was apply | coated to the said baking temperature, and a soaking | uniform-heating process hold | maintained at this baking temperature. The manufacturing method of the display panel of description. 前記焼成温度を400℃以上とすることを特徴とする請求項12又は13に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to claim 12 or 13, wherein the firing temperature is 400 ° C or higher. 前記焼成工程を、圧力が80kPa以下の雰囲気中で行うことを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to claim 12, wherein the firing step is performed in an atmosphere having a pressure of 80 kPa or less. 前記焼成工程を、圧力が20kPa以下の雰囲気中で行うことを特徴とする請求項15に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to claim 15, wherein the firing step is performed in an atmosphere having a pressure of 20 kPa or less. 前記焼成後のフリットガラスが相互間に間隙を残して焼結された複数の粒子からなり、前記粒子間の間隙は相互に連通し且つ前記フリットガラスの外部に連通していることを特徴とする請求項2乃至16のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The sintered frit glass is composed of a plurality of sintered particles leaving a gap between each other, and the gap between the particles communicates with each other and communicates with the outside of the frit glass. The manufacturing method of the display panel of any one of Claims 2 thru | or 16. フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にフリットガラスを含みバインダー及び気泡を実質的に含まないフリットガラス部材を配置する配置工程と、このフリットガラス部材が配置された基板と他方の前記基板とを前記フリットガラス部材を介して重ね合わせ、前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する封着工程と、を有することを特徴とする表示パネルの製造方法。 In the method of manufacturing a display panel in which two substrates are sealed with frit glass, a frit glass member containing frit glass in a region surrounding the display region on the surface of at least one of the substrates and substantially free of binder and bubbles. An arrangement step of arranging, the substrate on which the frit glass member is arranged, and the other substrate are overlapped via the frit glass member, and heated to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass, and the two substrates And a sealing process for sealing the display panel. 前記フリットガラス部材がフリットガラス、バインダー及び溶剤を含むフリットガラスペーストを焼成して形成されたものであることを特徴とする請求項18に記載の表示パネルの製造方法。 19. The method of manufacturing a display panel according to claim 18, wherein the frit glass member is formed by baking frit glass paste containing frit glass, a binder, and a solvent. 前記フリットガラス部材の形状が棒状又はシート状であることを特徴とする請求項18又は19に記載の表示パネルの製造方法。 20. The method for manufacturing a display panel according to claim 18, wherein the frit glass member has a bar shape or a sheet shape. 前記配置工程の前に、前記一方の基板の表面に前記フリットガラス部材を位置決めするためのガイドを形成するガイド形成工程を有することを特徴とする請求項18乃至20のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 21. The guide forming process according to claim 18, further comprising a guide forming process for forming a guide for positioning the frit glass member on a surface of the one substrate before the arranging process. Manufacturing method of display panel. 前記ガイド形成工程は、前記一方の基板の表面の表示領域に複数の表示セルを区画するための隔壁を形成する工程と同一工程であり、前記ガイドを前記隔壁と同時に形成することを特徴とする請求項21に記載の表示パネルの製造方法。 The guide forming step is the same as a step of forming a partition for partitioning a plurality of display cells in a display region on the surface of the one substrate, and the guide is formed simultaneously with the partition. The manufacturing method of the display panel of Claim 21. 前記ガイド形成工程において前記ガイドの一部を前記フリットガラスが配置される予定の領域に形成し、前記配置工程において前記フリットガラス部材を前記一方の基板上に配置したときに、このフリットガラス部材の一部が前記ガイドの一部により前記一方の基板から離間されることを特徴とする請求項21又は22に記載の表示パネルの製造方法。 A part of the guide is formed in a region where the frit glass is to be arranged in the guide forming step, and the frit glass member is disposed when the frit glass member is arranged on the one substrate in the arranging step. 23. The method for manufacturing a display panel according to claim 21, wherein a part of the guide is separated from the one substrate by a part of the guide. 前記フリットガラス部材が、一方向に延びる本体部と、この本体部から前記一方向に交差する方向に突出した突起部と、を有し、前記配置工程において、前記突起部が前記基板の表面から起立するように前記フリットガラス部材を配置することを特徴とする請求項18乃至22のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The frit glass member has a main body extending in one direction and a protrusion protruding from the main body in a direction intersecting the one direction. In the arranging step, the protrusion is formed from the surface of the substrate. The method for manufacturing a display panel according to any one of claims 18 to 22, wherein the frit glass member is disposed so as to stand upright. 前記封着工程を大気圧中で行うことを特徴とする請求項2乃至24のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to any one of claims 2 to 24, wherein the sealing step is performed in an atmospheric pressure. 前記封着工程を圧力が大気圧よりも低い真空雰囲気中で行うことを特徴とする請求項2乃至24のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 25. The method of manufacturing a display panel according to claim 2, wherein the sealing step is performed in a vacuum atmosphere whose pressure is lower than atmospheric pressure. 前記封着工程は、真空雰囲気中で前記2枚の基板を前記フリットガラスの軟化温度以上の温度まで加熱する真空加熱工程と、復圧しながら前記2枚の基板を前記温度から冷却する復圧冷却工程と、を有することを特徴とする請求項26に記載の表示パネルの製造方法。 The sealing step includes a vacuum heating step in which the two substrates are heated to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass in a vacuum atmosphere, and a return pressure cooling in which the two substrates are cooled from the temperature while returning. The method of manufacturing a display panel according to claim 26, further comprising: a process. 封着した前記2枚の基板からなるパネルに、バインダーを実質的に含まないフリットガラスの焼結体を介して排気管を連結する工程と、この排気管を通じて前記パネル内を排気する工程と、を有することを特徴とする請求項1乃至27のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 A step of connecting an exhaust pipe to the sealed panel made of two sheets through a sintered body of frit glass substantially free of a binder, and a step of exhausting the inside of the panel through the exhaust pipe; The method of manufacturing a display panel according to claim 1, wherein フリットガラスにより2枚の基板が封着された表示パネルの製造方法において、少なくとも一方の前記基板の表面における表示領域を囲む領域にフリットガラスを含むフリットガラスペーストを塗布する塗布工程と、圧力が80kPa以下の雰囲気中で前記フリットガラスペーストが塗布された基板を前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記フリットガラスを焼成する減圧焼成工程と、この焼成されたフリットガラスが被着した基板と他方の前記基板とを前記焼成されたフリットガラスを介して重ね合わせ、圧力が80kPa以下の雰囲気中で前記フリットガラスの軟化温度以上の温度に加熱して前記2枚の基板を封着する減圧封着工程と、を有することを特徴とする表示パネルの製造方法。 In a method for manufacturing a display panel in which two substrates are sealed with frit glass, an application step of applying a frit glass paste containing frit glass to a region surrounding the display region on the surface of at least one of the substrates, and a pressure of 80 kPa A reduced-pressure firing step of firing the frit glass by heating the substrate coated with the frit glass paste in the following atmosphere to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass, and a substrate on which the fired frit glass is deposited And the other substrate through the baked frit glass, and the pressure is reduced to seal the two substrates by heating to a temperature equal to or higher than the softening temperature of the frit glass in an atmosphere having a pressure of 80 kPa or less. A display panel manufacturing method comprising: a sealing step. 前記フリットガラスペーストがバインダーを含むものであり、前記塗布工程と前記減圧焼成工程との間に、前記フリットガラスペーストが塗布された基板を前記バインダーが燃焼又は分解する温度以上であり且つ前記フリットガラスの軟化温度未満である温度に加熱して前記フリットガラスペーストから前記バインダーを除去する脱バインダー工程を有することを特徴とする請求項29に記載の表示パネルの製造方法。 The frit glass paste contains a binder, and the frit glass has a temperature equal to or higher than a temperature at which the binder burns or decomposes the substrate on which the frit glass paste is applied between the coating step and the reduced-pressure baking step. 30. The method of manufacturing a display panel according to claim 29, further comprising a binder removal step of removing the binder from the frit glass paste by heating to a temperature lower than the softening temperature of the frit glass paste. 前記表示パネルが、プラズマディスプレイパネル、電界放出表示装置又は蛍光表示管であることを特徴とする請求項1乃至30のいずれか1項に記載の表示パネルの製造方法。 The method for manufacturing a display panel according to any one of claims 1 to 30, wherein the display panel is a plasma display panel, a field emission display device, or a fluorescent display tube.
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