JP2005056559A - アクチュエータ，及びディスクドライブ - Google Patents

Abstract

【課題】 ディスクドライブ内部の異物質を効果的に吸着できる吸着フィルタを有するアクチュエータ，及び異物質によるディスク表面とヘッドとの損傷が防止できるディスクドライブを提供する。
【解決手段】 データの記録及び再生のための読取り／書込みヘッドを，ディスクの記録／再生面上の所定位置に移動させる，ディスクドライブのアクチュエータにおいて，ディスクドライブ内部に回動可能に設置されたスイングアーム１３２と，スイングアームの先端部に結合され，読取り／書込みヘッドが搭載されたスライダ１３４を支持するサスペンション１３３と，スイングアーム１３２の一側に付着され，ディスクの回転による空気の流動方向と対向して空気内の異物質を吸着する吸着フィルタ１７０と，を設けた。
【選択図】 図７

Description

本発明はディスクドライブのアクチュエータに係り，より詳細には，ディスクドライブ内部の異物質を吸着する吸着フィルタを有するアクチュエータ，及びアクチュエータを具備したディスクドライブに関する。

コンピュータの情報保存装置の１つであるハードディスクドライブ（ＨＤＤ：ＨａｒｄＤｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）は読取り／書込みヘッドを使用してディスクに保存されたデータを再生したり，ディスクにデータを記録したりする装置である。かかるＨＤＤにおいて，ヘッドは回転するディスクの記録面から所定高さに浮上した状態で，アクチュエータにより所望の位置に移動しながらその機能を行う。

図１は，従来のＨＤＤの構造を概略的に示した平面図であり，図２は，図１に示されたランプ及びアクチュエータのサスペンション部位を拡大して示した斜視図である。図１及び図２を共に参照すれば，ＨＤＤにはベースプレート１０上に設置されたスピンドルモータ１２と，スピンドルモータ１２に固設された１つまたはそれ以上のディスク２０と，データの再生及び記録のための読取り／書込みヘッド（図示せず）をディスク２０上の所定位置に移動させるためのアクチュエータ３０とが具備される。

アクチュエータ３０は，ベースプレート１０に設置されたピボットベアリング３１に回転可能に結合されたスイングアーム３２と，スイングアーム３２の一側端部に設置されてヘッドが搭載されたスライダ３４をディスク２０の表面側に付勢されて支持するサスペンション３３と，スイングアーム３２を回転させるためのボイスコイルモータ（ＶＣＭ：Ｖｏｉｃｅ Ｃｏｉｌ Ｍｏｔｏｒ）とを有する。

ＶＣＭは，スイングアーム３２の他側端部に結合されるＶＣＭコイル３６と，ＶＣＭコイル３６の下部に設置される下部ヨーク３７と，下部ヨーク３７の上面に付着されたマグネット３８とを具備する。また，図示されていないが，ＶＣＭには，ＶＣＭコイル３６の上部に設置される上部ヨークと，上部ヨークの底面に付着されるマグネットと，が具備できる。

前記の構成を有するＶＣＭは，サーボ制御システムにより制御され，ＶＣＭコイル３６に入力される電流とマグネット３８とにより形成された磁場の相互作用により，フレミングの左手法則に従う方向にスイングアーム３２を回転させる。すなわち，ＨＤＤの電源がオンになってディスク２０が矢印Ｄ方向に回転し始めれば，ＶＣＭはスイングアーム３２を反時計回り方向（矢印Ａ方向）に回転させて読取り／書込みヘッドが搭載されたスライダ３４をディスク２０の記録面上に移動させる。

スライダ３４は，回転するディスク２０により発生する揚力によりディスク２０の表面から所定高さ，例えば約１３ｎｍ程度浮上し，このような状態でスライダ３４に搭載されたヘッドはディスク２０の記録面に対してデータを再生または記録する動作を行う。

一方，ＨＤＤが作動しない時，すなわちディスク２０の回転が停止した時には，ヘッドがディスク２０の記録面にぶつからないように，ヘッドをディスク２０の記録面を外れた位置にパーキングさせる。かかるヘッドパーキングのシステムは大きくＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ Ｓｔａｒｔ Ｓｔｏｐ）方式とランプ（Ｒａｍｐ）ローディング方式とに分けられる。

ＣＳＳ方式は，ディスク２０の内周側にデータが書き込まれないパーキングゾーンを備え，そのパーキングゾーンにヘッドを接触させてパーキングさせる方式である。しかし，ＣＳＳ方式のヘッドパーキングシステムによれば，ディスク２０の内周側にパーキングゾーンが備えられねばならないので，データ保存空間が縮まる短所がある。したがって，最近では，漸次高いデータ記録密度が要求される傾向に合わせて，より広いデータ保存空間が確保できるランプローディング方式のヘッドパーキングシステムが広く採用されている。

ランプローディング方式は，ディスク２０の外郭側にランプ４０を設置し，このランプ４０上にヘッドをパーキングさせる方式である。このために，サスペンション３３の端部にはランプ４０の支持面４１に接触支持されるエンドタブ３５が延設されている。そして，エンドタブ３５は，ランプ４０の支持面４１との接触面積を縮めるために，一般的には支持面４１側に膨れている形状となっている。

ＨＤＤの電源がオフになって，ディスク２０の回転が停止すると，ＶＣＭはスイングアーム３２を時計回り方向（矢印Ｂ方向）に回転し，これによってエンドタブ３５は，ディスク２０からランプ４０の支持面４１上にアンローディングされる。逆に，ＨＤＤの電源がオンになってディスク２０が回転し始めれば，前述したようにスイングアーム３２の回転により，エンドタブ３５はランプ４０の支持面４１からディスク２０上にローディングされる。

上述したような，読取り／書込みヘッドがランプ４０にパーキングされた状態においては，ディスクドライブに加わる外部衝撃や振動によりアクチュエータ３０が任意に回転してヘッドがランプ４０を外れてディスク２０の記録面に移動する可能性がある。このような場合には，ヘッドがディスク２０の記録面に接触して，ヘッドとディスク２０との記録面が損傷することがある。したがって，ディスク２０の回転が停止し，ヘッドがランプ４０にパーキングされた状態の時には，アクチュエータ３０が任意に回転しないように，一定位置にロッキングさせる必要がある。そのため，アクチュエータラッチ５０が備えられている。

ところが，上述したような構造を有するＨＤＤの内部には，パーティクルやガスなどのような異物質が発生する。かかる異物質は主に次のような状況で発生する。エンドタブ３５がディスク２０側に移動するか，ランプ４０の支持面４１上に移動する時には，エンドタブ３５とランプ４０の支持面４１間に摺動摩擦がおきる。このような摩擦が反復されると，ランプ４０は一般的にプラスチックよりなるので，支持面４１が磨耗してパーティクルが発生する。図３には，エンドタブ３５の周囲に付着したパーティクルを示す。

さらに，ヘッドがディスク２０の表面上に浮上している時にも，外部の衝撃や振動によりヘッドがディスク２０の表面に衝突し，ヘッドとディスク２０との摩擦及び摩耗によってパーティクルが発生する。

また，ＨＤＤには，電着コーティングやニッケルコーティングされた部品，ランプ４０のようにプラスチックよりなった部品が多い。サーボ補償，欠陥除去及びヘッドの性能検証のためのバーンイン過程や，ディスクドライブの駆動後に一定時間経過した時には，ディスクドライブが高温の状態になるが，高温状態の時には，上記のような部品でガスが発生する。このガス分子は，ディスクドライブの内部でブラウン運動をするうちに相互化学的反応を起こすか，相互衝突するようになり，これによって数百ｎｍサイズのパーティクルが形成されることがある。

このように発生したパーティクルは，ディスク２０の回転によりもたらされる空気の流れによってＨＤＤ内で流動するようになる。このように流動されるパーティクルのサイズは数ｎｍから数百ｎｍまで多様である。ヘッドとディスク２０との間隔，すなわちヘッドの浮上高さより大きいパーティクルは，ヘッドと衝突してヘッドの姿勢を変化させ，これによってヘッドがディスク２０に接触し，ディスク２０の記録面にスクラッチを発生させて磁気信号を損傷させる。

また，パーティクルとヘッドとの衝突によってヘッドの読取り／書込みセンサーが損傷し，その機能が喪失することがある。一方，ヘッドの浮上高さより小さなパーティクルは，ヘッドとディスク２０との表面間に侵入してヘッドを損傷させたり，ディスクの表面にスクラッチを発生させたりする。

最近のＨＤＤでは，超軽量化，高容量化及び小型化にその開発が進められている。これによって，ディスク２０の保存容量が増加し，現在，ディスク２０のトラック密度は，９０,０００ＴＰＩ（Ｔｒａｃｋ Ｐｅｒ Ｉｎｃｈ）に至り，トラック幅が，１１μｉｎｃｈ程度に至っている。

そして，今後，ディスク２０のトラック密度が１３０,０００ＴＰＩに，トラック幅が７.７μｉｎｃｈ程度に発展すると予想される。これによって，ヘッドの浮上高は，漸次低くなり，より小さなパーティクルにより，ヘッドが容易に損傷され，より小さなスクラッチにより，ディスク表面の磁気信号が容易に損傷される可能性がある。

したがって，このような問題点を防止するためには，ディスクドライブの内部に発生するパーティクルやガスなどの異物質を捕集して除去する必要がある。従来では，図１に示されたように，ベースプレート１０の一隅に循環フィルタ６０を配置し，ディスクドライブの内部で流動する空気に含まれたパーティクルなどの異物質をフィルタリングしている。ところが，かかる循環フィルタ６０では，満足すべきフィルタリング効果が得られない短所がある。

図４は，図１に示された従来のＨＤＤにおいて，回転するディスクの表面とその周辺におけるパーティクルの流動速度分布に対するシミュレーション結果を示す図面である。図４を参照すれば，ディスクドライブの内部にはディスクの回転により空気の流動が形成され，この空気流動によってディスクドライブの内部のパーティクルも共に流動する。

パーティクルの流動速度は空気の流動速度にほぼ比例し，これによってディスクの外周側に近いほどパーティクルの流動速度が速く，ディスクの内周側に近いほどパーティクルの流動速度が遅くなる。そして，従来の循環フィルタが配置された領域Ｒでは，パーティクルの流動速度がほぼ０に近く，パーティクルがほとんどない。パーティクルの流動速度が０に近いという事実は循環フィルタ側に空気の流れがほとんど流入されないことを意味し，これは従来の循環フィルタがパーティクルの捕集において，ほとんど正常な機能を果たしていないことを意味する。

したがって，循環フィルタが，パーティクル捕集の正常な機能を最大限に発揮するためには，循環フィルタ側に空気の流れを誘導する構造を有するか，循環フィルタの位置を移動させる必要がある。循環フィルタ側に空気の流れを誘導するためには，空気の流れがフィルタに到着する前の領域でベースプレートとディスク間の間隔を現在より広めなければならない。

しかし，これはディスクの円周方向及び上下方向で空気の流動速度を変化させ，これによってディスクの表面に加えられる圧力が変わり，ディスクに振動が起こる。この振動はトラック非整列（ＴＭＲ：Ｔｒａｃｋ Ｍｉｓ Ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ）を大きくして，ＨＤＤの性能を落とす結果を招く。したがって，フィルタ側に空気流動を誘導するためのベースプレートの構造変更は望ましい解決方法ではない。

一方，図５には特許文献１に開示された磁気ディスク装置のアクチュエータが示されている。図５を参照すれば，アクチュエータ７０のスイングアーム７１にはヘッドが搭載されたスライダ７２とガス吸着材８０とが付着されている。ガス吸着材８０は，スイングアーム７１のディスクに対向する面に付着されて，ＨＤＤ表面上の汚染物質を吸着するようになっている。

特開２００１−７６４７８号公報

しかし，ガス吸着材８０は，スイングアーム７１のディスク対向面に付着されるので，その厚さに制限がある。すなわち，ガス吸着材８０の厚さは，スイングアーム７１とディスク間の間隔より広くすることができず，また，スライダ７２の厚さより厚くすることができない。

したがって，スイングアーム７１のディスク対向面に付着されるガス吸着材８０は，その厚さを非常に薄くしなければならないので，数ｎｍ程度のサイズを有するパーティクルの捕集は可能であるが，数百ｎｍ程度のサイズを有するパーティクルは容易に捕集できない。また，ガス吸着材８０は，空気の流動方向と平行に配置されるので，ガス及びパーティクルの捕集効率が低い短所があった。

さらに，ガス吸着材８０は薄板形状のスイングアーム７１が複数積層された構造を有するアクチュエータ７０には適用可能であるが，複数のスイングアームがＥ字型（櫛歯型）形状の１つのブロックで構成された場合には，各スイングアーム間の間隔が狭くて，各スイングアームディスク対向面にガス吸着材を付着することは非常に困難であった。

そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，ディスクドライブ内部の異物質を効果的に吸着できる吸着フィルタを有するアクチュエータ，及び異物質によるディスク表面とヘッドとの損傷が防止できるディスクドライブを提供することである。

上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，データの記録及び再生のための読取り／書込みヘッドを，ディスクの記録／再生面上の所定位置に移動させる，ディスクドライブのアクチュエータにおいて，ディスクドライブ内部に回動可能に設置されたスイングアームと，スイングアームの先端部に結合され，読取り／書込みヘッドが搭載されたスライダを支持するサスペンションと，スイングアームの一側に付着され，ディスクの回転による空気の流動方向と対向して空気内の異物質を吸着する吸着フィルタと，を備えることを特徴とするアクチュエータが提供される。

このように，空気の流動方向と対向して吸着フィルタを装着したことにより，従来のディスク表面と平行な面に吸着フィルタを装着した時よりも，空気内の異物質の捕集効率を向上させることができる。また，空気の流動方向と対向して装着するので，複数のスイングアームが１つのブロックで構成されたアクチュエータだけでなく，従来のディスク表面と平行な面に吸着フィルタを装着する場合には難しかった，複数の薄板形状のスイングアームが積層された構造のアクチュエータにも容易に適用できる。

この時，吸着フィルタは，例えばスイングアームの一側面に接着することができ，ディスク面に対向する面でないので，空気の流動方向と対向して空気内の異物質を効果的に吸着することができる。

また，吸着フィルタは，背面に突設された支持部を有して，支持部をスイングアームの上底面のうち少なくとも１つの面に接着することにより，スイングアームに吸着フィルタを装着することができる。

また，吸着フィルタのディスクの記録／再生面に略垂直な方向の長さ（吸着フィルタの高さ）は，スイングアームの厚さ（スイングアームの高さ）より長くすることができ，空気の流動方向と対向する面をできるだけ広くして，異物質を効率的に捕集するだけでなく，数百ｎｍサイズの大きいパーティクルも容易に捕集することができる。

ここで，吸着フィルタの，空気の流動方向と対向する表面は，ディスクの表面に対して略垂直に形成されてもよいし，傾斜して形成されていてもよい。傾斜して形成した場合，吸着フィルタ付近の空気の流れが円滑になり，乱流によるディスクの振動発生を抑制できる効果がある。傾斜した表面として，流線型の曲面としてもよく，空気の流れをより円滑することができる。

また，上記構成のアクチュエータを備えたディスクドライブを提供することができる。つまり，スピンドルモータと，スピンドルモータに設置された少なくとも１つのディスクと，データの記録及び再生のための読取り／書込みヘッドを前記ディスク上の所定位置に移動させるためのアクチュエータと，アクチュエータを回動させるためのボイスコイルモータと，を備え，アクチュエータは，回動可能に設置されたスイングアームと，スイングアームの先端部に結合され，前記読取り／書込みヘッドが搭載されたスライダを支持するサスペンションと，スイングアームの一側に付着され，ディスクの回転による空気の流動方向と対向して空気内の異物質を吸着する吸着フィルタと，を備えることを特徴とするディスクドライブが提供される。

こうして，ディスクドライブ内部の異物質を効果的に除去できる上記構成のアクチュエータを用いて，ディスクドライブを構成することができる。

さらに，本発明の別の観点から，ディスクドライブ内部の異物質を吸着する吸着フィルタを有するアクチュエータにおいて，ディスクドライブの内部に配設されたスイングアームと，スイングアーム先端部に結合された読取り／書込みヘッドと，を備え，吸着フィルタは，スイングアームの，ディスクと対向しない第１面に設けられていることを特徴とするアクチュエータが提供される。

この時，吸着フィルタは，ディスクドライブ内部の異物質を効果的に吸着するために，異物質を含有した空気の流動方向と対向し，スイングアームの第１面は，空気の流動方向と対向してディスクの記録／再生面と略垂直に位置することができる。

また，吸着フィルタは，空気の流動方向と対向する表面を有し，その表面とディスクの記録／再生面との角度は約９０°より小さくし，傾斜を持たせてもよい。また，その表面は曲面であってもよい。これにより，先に記したように吸着フィルタ付近の空気の流れを円滑にし，ディスクの振動発生を抑制することができる。

さらに，吸着フィルタは，背面から延びた支持部を有し，その支持部は，スイングアームの第１面と実質的に同一平面上にない第２面に付着されてもよい。第２面に支持部を付着し，吸着フィルタ全体を支持することにより，フィルタ面を空気の流動方向と対向させて，効果的に異物質を吸着することができる。

また，スイングアームに付着した吸着フィルタは，ダンピング作用により，アクチュエータの振動を緩和させる緩衝特性を有することが望ましい。

以上詳述したように本発明によれば，スイングアームの側面に空気の流動方向と対向するように吸着フィルタが配置されるので，吸着フィルタによるディスクドライブ内部の異物質の捕集効率が向上するだけでなく，数百ｎｍサイズの大きいパーティクルも容易に捕集できる。したがって，異物質によるディスク表面とヘッドとの損傷が防止でき，ディスクドライブの性能及び信頼性が向上する。

以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

（第１の実施の形態）
図６は，第１の実施の形態による吸着フィルタを有するアクチュエータを具備したＨＤＤを示した平面図であり，図７は，本実施の形態による吸着フィルタを有するアクチュエータを示した斜視図である。

図６及び図７を共に参照すれば，本実施の形態によるディスクドライブは，スピンドルモータ１１２と，少なくとも１つのディスク１２０と，吸着フィルタ１７０を有するアクチュエータ１３０と，ＶＣＭとを具備する。スピンドルモータ１１２は，ＨＤＤのベースプレート１１０上に設置され，このスピンドルモータ１１２のハブに少なくとも１つのディスク１２０が固設されてハブと共に回転される。

アクチュエータ１３０は，データの記録及び再生のための読取り／書込みヘッドをディスク１２０上の所定位置に移動させるためのものであって，ディスクドライブ内部に回動可能に設置されたスイングアーム１３２と，スイングアームの先端部に結合され，読取り／書込みヘッドが搭載されたスライダ１３４を支持するサスペンション１３３と，スイングアーム１３２の一側に付着され，ディスクの回転による空気の流動方向と対向して空気内の異物質を吸着する吸着フィルタ１７０と，を具備する。

スイングアーム１３２は，ベースプレート１１０に設置されたピボットベアリング１３１に回転可能に結合される。サスペンション１３３は，スイングアーム１３２の先端部に結合されてスライダ１３４をディスク１２０の表面側に付勢して支持する。吸着フィルタ１７０は，本実施の形態の特徴部であり，吸着フィルタ１７０の表面が，スイングアーム１３２の一側にディスク１２０の回転による空気の流動方向Ｆと対向するように付着され，流動空気内の異物質を吸着する機能を果たす。これについては後述する。

ＶＣＭは，アクチュエータ１３０を回転させるための駆動力を提供するものであって，スイングアーム１３２の後端部に結合されるＶＣＭコイル１３６と，ＶＣＭコイル１３６の下部に設置される下部ヨーク１３７と，下部ヨーク１３７の上面に付着されたマグネット１３８と，を具備する。

また，図示されていないが，ＶＣＭにはＶＣＭコイル１３６の上部に設置される上部ヨークと，上部ヨークの底面に付着されるマグネットとをさらに具備することができる。上記構成を有するＶＣＭは，サーボ制御システムにより制御され，ＶＣＭコイル１３６に入力される電流とマグネット１３８により形成された磁場との相互作用によりフレミングの左手の法則による方向にスイングアーム３２を回転させる機能を持つ。

そして，ディスクドライブにはディスク１２０の回転が停止した時にヘッドがディスク１２０の記録面にぶつからないようにヘッドをディスク１２０の記録面を外れた位置にパーキングさせるランプローディング方式のヘッドパーキングシステムが備えられる。具体的には，ディスク１２０の外郭側にランプ１４０が設置され，アクチュエータ１３０のサスペンション１３３の端部に，ランプ１４０の支持面１４１に接触支持されるエンドタブ１３５が延設される。

ディスク１２０の回転が停止すれば，ＶＣＭによりアクチュエータ１３０は矢印Ｂ方向に回転し，これによってアクチュエータ１３０のエンドタブ１３５がランプ１４０の支持面１４１上にパーキングされる。

また，ディスクドライブには，読取り／書込みヘッドがランプ１４０にパーキングされた状態の時にディスクドライブに加わる外部衝撃や振動によってアクチュエータ１３０が任意に回転しないようにロッキングさせるアクチュエータラッチ１５０が備えられる。

上記構成を有するディスクドライブの内部には，パーティクルやガスのような異物質が発生する。かかる異物質はディスク１２０の表面及びヘッドを損傷させてディスクドライブの性能にいろいろな悪影響を及ぼす。

かかる問題点を防止するために，本実施の形態によるアクチュエータ１３０は，異物質を吸着する吸着フィルタ１７０を有する。吸着フィルタ１７０は，アクチュエータ１３０のスイングアーム１３２の一側に，ディスク１２０の回転による空気の流動方向Ｆと対向するように配設される。

ディスクドライブの電源がオンになって，ディスク１２０が矢印Ｄ方向に回転し始めれば，ＶＣＭはアクチュエータ１３０を反時計回り方向，すなわち矢印Ａ方向に回転させ，これによってスイングアーム１３２と吸着フィルタ１７０とはディスク１２０上に位置する。これと同時に，ディスク１２０の回転により空気の流動が始まり，この空気はディスク１２０の回転方向によって矢印Ｆ方向に流動する。

この時，吸着フィルタ１７０が空気の流動方向Ｆと対向するように配置されているので，流動空気内に含まれたパーティクルやガスのような異物質が吸着フィルタ１７０の表面に接触する可能性が高まり，これによって吸着フィルタ１７０による異物質の捕集効率が向上する。

具体的には，本実施の形態によるアクチュエータ１３０において，図７に示されたように，スイングアーム１３２は，ディスク１２０が複数で有れば，対応して複数が備えられ，複数のスイングアーム１３２は，１つのＥ字型（櫛歯型）形状のブロックで構成することができる。この場合，スイングアーム１３２のそれぞれの厚さ（側面の高さ）は，約１ｍｍ程度に比較的厚く形成し，また，スイングアーム１３２のピボットベアリング１３１に隣接した部位の側面は比較的広い平面をなす。

したがって，吸着フィルタ１７０は，スイングアーム１３２の第一面である一側面，すなわちディスク１２０の回転による空気の流動方向Ｆと対向する側面に接着剤を使用して堅固に接着することができる。そして，吸着フィルタ１７０の付着のためにスイングアーム１３２の形状や構造を変更する必要がないので，既存のアクチュエータにも本実施の形態の吸着フィルタ１７０を簡単に適用できる。

また，吸着フィルタ１７０は，スイングアーム１３２の側面に接着されるので，ディスク１２０に干渉される恐れがなく，比較的厚く，例えば１ｍｍ〜数ｍｍ程度の厚さとすることができる。したがって，吸着フィルタ１７０の表面は空気の流動方向に対向して，数ｎｍサイズの比較的小さなパーティクルだけでなく，数百ｎｍサイズの大きいパーティクルも容易に吸着できる長所がある。

さらに，吸着フィルタ１７０は通常的に緩衝性を有するので，この吸着フィルタ１７０がスイングアーム１３０に接着されると，吸着フィルタ１７０のダンピング作用によりアクチュエータ１３０の振動が低減される付加的な長所がある。

一方，ディスクドライブには，アクチュエータ１３０のスイングアーム１３２に付着される吸着フィルタ１７０の他に，ベースプレート１１０の一隅に設置されて流動空気中のパーティクルをフィルタリングする循環フィルタ１６０をさらに具備することができる。

図８Ａ〜図８Ｅは，図７に表示されたＸ−Ｘ’線に沿って切断したアクチュエータの部分拡大断面図であって，吸着フィルタの多様な形状を示す。まず，図８Ａを参照すれば，吸着フィルタ１７０の空気流動方向Ｆと対向する表面１７１はディスク１２０の表面に対して垂直に形成される。

この場合には，ディスク１２０の回転により形成された空気流動方向Ｆに対して吸着フィルタ１７０の表面１７１が垂直をなすので，流動空気内に含まれた異物質が吸着フィルタ１７０の表面１７１に衝突する機会が多くなって，吸着フィルタ１７０の異物質捕集効率が高くなる長所があり，また，吸着フィルタ１７０の形状が単純で，かつ容易に製造できる長所がある。

次に，図８Ｂ及び図８Ｃを参照すれば，吸着フィルタ１７０の空気流動方向Ｆと対向する表面１７１をディスク１２０の表面に対して傾斜して形成してもよい。具体的には，図８Ｂに示された吸着フィルタ１７０では，吸着フィルタ１７０が接着されるスイングアーム１３２の側面はディスク１２０の表面に対して垂直に形成され，吸着フィルタ１７０の一側表面１７１だけ傾斜して形成される。

一方，図８Ｃに示された吸着フィルタ１７０では，スイングアーム１３２の側面がディスク１２０の表面に対して傾斜して形成され，吸着フィルタ１７０は一定の厚さに製造される。この場合，一定の厚さを有する吸着フィルタ１７０をスイングアーム１３２の傾斜した側面に接着させれば，吸着フィルタ１７０の表面１７１がディスク１２０の表面に対して傾斜する。

次に，図８Ｄ及び図８Ｅを参照すれば，吸着フィルタ１７０の表面１７１は，ディスク１２０の表面に対して傾斜した流線型の曲面に形成できる。具体的には，図８Ｄに示されるように，吸着フィルタ１７０が接着されるスイングアーム１３２の側面はディスク１２０の表面に対して垂直に形成され，吸着フィルタ１７０の一側表面１７１だけディスク１２０の表面に対して傾斜した流線型の曲面に形成される。

一方，図８Ｅに示された吸着フィルタ１７０は，スイングアーム１３２の側面が流線型の曲面に形成され，吸着フィルタ１７０は一定の厚さに製造される。この場合，一定の厚さを有する吸着フィルタ１７０をスイングアーム１３２の流線型曲面に接着させれば，吸着フィルタ１７０の表面１７１がディスク１２０の表面に対して傾斜した流線型の曲面をなす。

図８Ｂ〜図８Ｅに示された形状の吸着フィルタ１７０によれば，吸着フィルタ１７０の付近で空気の流れがより円滑に行われるので，乱流によるディスク１２０の振動発生を抑制することができる。

こうして，スイングアーム１３２の空気の流動方向と対向する側面に吸着フィルタ１７０を設けることにより，流動空気内に含まれたパーティクルやガスのような異物質の捕集効率が向上し，また，吸着フィルタ１７０をスイングアーム１３２の厚さ方向に広くできるので，より大きなパーティクルを吸着することができる。

さらに，本実施の形態のアクチュエータを適用したディスクドライブを構成することにより，異物質によるディスク表面とヘッドとの損傷が防止でき，ディスクドライブの性能及び信頼性が向上する。

（第２の実施の形態）
図９は，第２の実施の形態による吸着フィルタを有するアクチュエータを示した斜視図であり，図１０は，図９に表示されたＹ−Ｙ’線に沿って切断したアクチュエータの部分拡大断面図である。図９及び図１０を共に参照すれば，本実施の形態によるアクチュエータ２３０は，ピボットベアリング２３１に回転可能に結合されたスイングアーム２３２と，読取り／書込みヘッドが搭載されたスライダ２３４と，スイングアーム２３２の先端部に結合されて前記スライダ２３４を支持するサスペンション２３３と，本実施の形態の特徴部として流動空気内の異物質を吸着する吸着フィルタ２７０と，を具備する。そして，サスペンション２３３の先端部にはエンドタブ２３５が備えられている。

本実施の形態によるアクチュエータ２３０において，スイングアーム２３２はディスク１２０の数に応じて，複数設けられ，複数のスイングアーム２３２は，各々のスイングアーム２３２が比較的厚かった第１の実施の形態と異なり，それぞれ薄板形状に形成され，これらの間にスペーサ２３９を介在して積層される。このような構造を有するスイングアーム２３２は，厚さ（側面の高さ）が約０.２ｍｍ程度の非常に薄いステーンレス鋼板よりなるので，その側面も非常に狭い。一方，スイングアーム２３２とディスク１２０間との間隔は前述した第１の実施の形態に比べて広い。

このようにスイングアーム２３２の側面（第１面），すなわちディスク１２０の回転による空気の流動方向Ｆと対向する側面の高さが低いので，吸着フィルタ２７０をスイングアーム２３２の側面にだけ接着する時には，その接着強度が十分でない場合もある。

したがって，本実施の形態では吸着フィルタ２７０の背面であって，スイングアーム２３２の上底面に，２つの支持部２７２を突設し，２つの支持部２７２がスイングアーム２３２の上面と底面とにそれぞれ接着され，吸着フィルタ２７０を支持するように構成する。

また，支持部２７２とスイングアーム２３２との接着面積は，吸着フィルタ２７０を堅個に支持できる十分な接着強度を有するように可能な限り広いことが望ましい。一方，支持部２７２はスイングアーム２３２の上面と底面のうち何れか一面（第２面）にだけ接着されるように１つだけ形成されてもよい。

かかる構成によれば，吸着フィルタ２７０はスイングアーム２３２により広く接着される支持部２７２によって，堅固に支持されうる。また，吸着フィルタ２７０の付着のためにスイングアーム２３２の形状や構造を変更する必要がないので，既存のアクチュエータにも吸着フィルタ２７０を簡単に適用できる。

そして，スイングアーム２３２とディスク１２０との間隔が広く，吸着フィルタ２７０のディスクの記録／再生面に略垂直な方向の長さをスイングアーム２３２の厚さより長く形成できる。したがって，吸着フィルタ２７０の空気流動方向Ｆと対向する表面２７１が十分な高さを有するようになるので，異物質の吸着面積が広くなる。

上述したように本実施の形態によれば，複数の薄板形状のスイングアーム２３２が積層された構造を有するアクチュエータ２３０においても，吸着フィルタ２７０をスイングアーム２３２の一側にディスク１２０の回転による空気の流動方向Ｆと対向するように付着できる。したがって，前述した第１の実施の形態のように，吸着フィルタ２７０の表面による異物質の捕集効率を向上させることができる。

また，本実施の形態によるアクチュエータ２３０においても，吸着フィルタ２７０の表面２７１はディスク１２０の表面に対して垂直に形成することができる。一方，吸着フィルタ２７０の表面２７１は，第１の実施の形態と同様，図８Ｂ及び図８Ｄに示されたように，ディスク１２０の表面に対して傾斜して形成されるか，傾斜した流線型の曲面に形成されてもよい。

こうして，吸着フィルタ２７０は，上述した第１の実施の形態と同様に，空気の流動方向と対向するように装着したことにより，異物質（パーティクル）の捕集効率が向上し，数ｎｍサイズの比較的小さなパーティクルだけでなく数百ｎｍサイズの大きいパーティクルも容易に吸着できる効果がある。また，緩衝特性を有する吸着フィルタ２７０のダンピング作用により，アクチュエータ２３０の振動を低減させる長所をも有する。

さらに，本実施の形態のアクチュエータを適用したディスクドライブを構成することにより，異物質によるディスク表面とヘッドとの損傷が防止でき，ディスクドライブの性能及び信頼性が向上する。

以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

また例えば，上記の実施の形態においては，ランプローディング方式のＨＤＤを基準に説明したが，これに限定されるものではなく，ＣＳＳ方式のＨＤＤにも採用することができる。

本発明は，アクチュエータとそれを具備したディスクドライブに適用可能であり，特にディスクドライブ内部の異物質を効果的に吸着できる吸着フィルタを有するアクチュエータとそれを具備したディスクドライブに適用可能である。

従来のＨＤＤの構造を概略的に示した平面図である。 図１に示されたランプ及びアクチュエータのサスペンション部位を拡大して示した斜視図である。 図２に示されたエンドタブ部位のパーティクルを顕微鏡写真で示した説明図である。 図１のＨＤＤにおいて，回転するディスクの表面及びその周辺でのパーティクルの流動速度分布のシミュレーション結果を示す説明図である。 従来の磁気ディスク装置のアクチュエータを示した説明図である。 第１及び第２の実施の形態によるアクチュエータを具備したＨＤＤを示す平面図である。 第１の実施の形態によるアクチュエータを示した斜視図である。 吸着フィルタの形状の一例を示し，図７のＸ−Ｘ’線に沿って切断したアクチュエータの部分拡大断面図である。 吸着フィルタの形状の一例を示し，図７のＸ−Ｘ’線に沿って切断したアクチュエータの部分拡大断面図である。 吸着フィルタの形状の一例を示し，図７のＸ−Ｘ’線に沿って切断したアクチュエータの部分拡大断面図である。 吸着フィルタの形状の一例を示し，図７のＸ−Ｘ’線に沿って切断したアクチュエータの部分拡大断面図である。 吸着フィルタの形状の一例を示し，図７のＸ−Ｘ’線に沿って切断したアクチュエータの部分拡大断面図である。 第２の実施の形態によるアクチュエータを示した斜視図である。 吸着フィルタの形状の一例を示し，図９のＹ−Ｙ’線に沿って切断したアクチュエータの部分拡大断面図である。

符号の説明

１１０ ベースプレート
１１２ スピンドルモータ
１２０ ディスク
１３０ アクチュエータ
１３１ ピボットベアリング
１３２ スイングアーム
１３３ サスペンション
１３４ スライダ
１３５ エンドタブ
１３６ ＶＣＭコイル
１３７ 下部ヨーク
１３８ マグネット
１４０ ランプ
１４１ 支持面
１５０ アクチュエータラッチ
１６０ 循環フィルタ
１７０ 吸着フィルタ

Claims (20)

1. データの記録及び再生のための読取り／書込みヘッドを，ディスクの記録／再生面上の所定位置に移動させる，ディスクドライブのアクチュエータにおいて；
   前記ディスクドライブ内部に回動可能に設置されたスイングアームと，
   前記スイングアームの先端部に結合され，前記読取り／書込みヘッドが搭載されたスライダを支持するサスペンションと，
   前記スイングアームの一側に付着され，前記ディスクの回転による空気の流動方向と対向して前記空気内の異物質を吸着する吸着フィルタと，
   を備えることを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記吸着フィルタは，前記スイングアームの一側面に接着されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記吸着フィルタは，背面に突設された支持部を有し，前記支持部は前記スイングアームの上底面のうち少なくとも１つの面に接着されることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 前記吸着フィルタの，前記ディスクの記録／再生面に略垂直な方向の長さは，前記スイングアームの厚さより長いことを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記吸着フィルタの，空気の流動方向と対向する表面は，前記ディスクの表面に対して略垂直に形成されていることを特徴とする請求項１，２，３または４のいずれかに記載のアクチュエータ。
6. 前記吸着フィルタの，空気の流動方向と対向する表面は，前記ディスクの表面に対して傾斜して形成されていることを特徴とする請求項１，２，３または４のいずれかに記載のアクチュエータ。
7. 前記吸着フィルタの傾斜した表面は，流線型の曲面であることを特徴とする請求項６に記載のディスクドライブのアクチュエータ。
8. スピンドルモータと，
   前記スピンドルモータに設置された少なくとも１つのディスクと，
   データの記録及び再生のための読取り／書込みヘッドを前記ディスク上の所定位置に移動させるためのアクチュエータと，
   前記アクチュエータを回動させるためのボイスコイルモータと，
   を備え，前記アクチュエータは，
   回動可能に設置されたスイングアームと，
   前記スイングアームの先端部に結合され，前記読取り／書込みヘッドが搭載されたスライダを支持するサスペンションと，
   前記スイングアームの一側に付着され，前記ディスクの回転による空気の流動方向と対向して前記空気内の異物質を吸着する吸着フィルタと，
   を備えることを特徴とするディスクドライブ。
9. 前記吸着フィルタは前記スイングアームの一側面に接着されていることを特徴とする請求項８に記載のディスクドライブ。
10. 前記吸着フィルタは，背面に突設された支持部を有し，前記支持部は前記スイングアームの上底面のうち少なくとも１つの面に接着されることを特徴とする請求項８に記載のディスクドライブ。
11. 前記吸着フィルタの，前記ディスクの記録／再生面に略垂直な方向の長さは，前記スイングアームの厚さより長いことを特徴とする請求項１０に記載のするディスクドライブ。
12. 前記吸着フィルタの，空気の流動方向と対向する表面は，前記ディスクの表面に対して略垂直に形成されていることを特徴とする請求項８，９，１０または１１のいずれかに記載のディスクドライブ。
13. 前記吸着フィルタの，空気の流動方向と対向する表面は，前記ディスクの表面に対して傾斜して形成されていることを特徴とする請求項８，９，１０または１１のいずれかにに記載のディスクドライブ。
14. 前記吸着フィルタの傾斜した表面は，流線型の曲面であることを特徴とする請求項１３に記載のディスクドライブ。
15. ディスクドライブ内部の異物質を吸着する吸着フィルタを有するアクチュエータにおいて；
    前記ディスクドライブの内部に配設されたスイングアームと，
    前記スイングアーム先端部に結合された読取り／書込みヘッドと，
    を備え，
    前記吸着フィルタは，前記スイングアームの，ディスクと対向しない第１面に設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
16. 前記吸着フィルタは，異物質を含有した空気の流動方向と対向し，前記スイングアームの第１面は，空気の流動方向と対向して前記ディスクの記録／再生面と略垂直に位置することを特徴とする請求項１５に記載のアクチュエータ。
17. 前記吸着フィルタは，空気の流動方向と対向する表面を有し，前記表面と前記ディスクの記録／再生面との角度は約９０°より小さいことを特徴とする請求項１５に記載のアクチュエータ。
18. 前記吸着フィルタは，空気の流動方向と対向する表面を有し，前記表面は曲面であることを特徴とする請求項１５に記載のアクチュエータ。
19. 前記吸着フィルタは，背面から延びた支持部を有し，前記支持部は，前記スイングアームの前記第１面と実質的に同一平面上にない第２面に付着されることを特徴とする請求項１５，１６，１７または１８のいずれかに記載のアクチュエータ。
20. 前記吸着フィルタは，前記アクチュエータの振動を緩和させる緩衝特性を有することを特徴とする請求項１５，１６，１７，１８または１９のいずれかに記載のアクチュエータ。