JP2005047194A5 - - Google Patents
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請求項1記載の発明は、ダイヤモンドスクライバーにおいて、ダイヤモンド粒のトウ及び/又はヒールを頂点とした三角錐の先端付近に、該トウと該ヒールを結ぶ稜線に沿って、稜線を残して左右の間隔を開けて削られた凹面と、中央に凸状のリッジと、が形成されていることを特徴とするダイヤモンドスクライバーである。 According to the first aspect of the present invention, in the diamond scriber, in the vicinity of the tip of the triangular pyramid having the toe and / or the heel of the diamond grain as a vertex, along the ridge line connecting the toe and the heel , the left and right intervals are left. The diamond scriber is characterized in that a concave surface cut by opening and a convex ridge in the center are formed.
図2(a)及び図2(b)に示すように、ダイヤモンド粒1のトウ1fを頂点とした三角錐の両側部分1g、1hをトウ1fとヒールを結ぶ稜線1iに沿って、稜線1iを残して左右の間隔を開けて削り取り、凹面を形成することにより、トウ1fを頂点とした三角錐の先端付近中央に、鋭利な凸状のリッジを形成することができる。具体的なリッジ形状は、図2(c)の丸枠内Aの部分拡大斜視図で示すように、水平面1aの四隅のトウ1bに各々形成される。サファイヤウエハーのスクライブには、このリッジの幅L1が約8μm、リッジの高さHが約5μmとなるように、三角錐の両側部分1g、1hを削り取るのが好ましい。
As shown in FIG. 2 (a) and 2 (b), both side portions of the triangular pyramid has an
図1及び図2に示すダイヤモンドスクライバーを用いてサファイヤウエハーを繰り返しスクライブし、良好なスクライブラインが引けなくなったところで、刃先の摩耗部分の寸法を計測した。図3(a)及び図3(b)に示すように、ハッチング部分の使用限界に達した刃先の摩耗部分1jの寸法を以下に示す。
幅L1:8.0μm
長さL2:18μm
長さL3:19.16μm
高さh:2.97μm
The sapphire wafer was repeatedly scribed using the diamond scriber shown in FIGS. 1 and 2, and when the good scribe line could not be drawn, the size of the worn part of the blade edge was measured. As shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), the dimensions of the
Width L1: 8.0μm
Length L2: 18μm
Length L3: 19.16μm
Height h : 2.97 μm
実施例で示すダイヤモンドスクライバーは、その刃先がリッジ状に加工されているため、高さhが2.97μm分摩耗するまで幅8.0μm以下の細いスクライブラインを描くことができる。これは、換言すると、幅8.0μm以下の細いスクライブラインを繰り返し引くことができ、ダイヤモンドスクライバーのライフを長くすることができる。 Since the cutting edge of the diamond scriber shown in the examples is processed into a ridge shape, a thin scribe line with a width of 8.0 μm or less can be drawn until the height h is worn by 2.97 μm. In other words, a thin scribe line having a width of 8.0 μm or less can be repeatedly drawn, and the life of the diamond scriber can be lengthened.
リッジ加工していない普通のダイヤモンドスクライバーを用いてサファイヤウエハーを繰り返しスクライブし、良好なスクライブラインが引けなくなったところで、刃先の摩耗部分の寸法を計測した。図4(a)及び図4(b)に示すように、ハッチング部分の使用限界に達した刃先の摩耗部分11jの寸法を以下に示す。
L1:8.5μm
長さL2:9μm
長さL3:9.58μm
高さh:1.49μm
The sapphire wafer was repeatedly scribed using a normal diamond scriber that was not ridged, and when the good scribe line could not be drawn, the dimension of the worn part of the blade edge was measured. As shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b), the dimensions of the worn portion 11j of the cutting edge that has reached the use limit of the hatched portion are shown below.
L1: 8.5μm
Length L2: 9μm
Length L3: 9.58μm
Height h : 1.49 μm
比較例で示すダイヤモンドスクライバーは、その刃先がリッジ状に加工されておらず、三角錐のままであるため、摩耗部分11jの高さhが1.49μmに達するまでスクライブすると、摩耗によって刃先が三角錐の両側部分まで広がり、幅8.5μm以下の細いスクライブラインを描くことができなくなってしまう。 In the diamond scriber shown in the comparative example, the cutting edge is not processed into a ridge shape and remains a triangular pyramid. Therefore, when the wear portion 11j is scribed until the height h reaches 1.49 μm, the cutting edge becomes a triangular pyramid due to wear. It spreads to both sides of the, and it becomes impossible to draw a thin scribe line with a width of 8.5 μm or less.
以上のように、実施例の摩耗部分の高さhと比較例の摩耗部分の高さhを比べると、実施例で示すダイヤモンドスクライバーの方が、ダイヤモンドスクライバーとして使用限界に達するまでのライフが長くなり、良好なスクライブラインを長く維持できることがわかる。 As described above, when comparing the height h of the worn portion of the comparative example to the height h of the wear part of the embodiment, towards the diamond scriber shown in the Examples is a longer life to reach the usage limit as diamond scriber It can be seen that a good scribe line can be maintained for a long time.
1 ダイヤモンド粒
1a 水平面
1b、1f、11f トウ
1c デルタ面
1d ヒール
1g、1h 三角錐の両側部分
1e、1i、11j 稜線
1j、11j 摩耗部分
L リッジの幅
H リッジの高さ
1
L Ridge width
H Ridge height
Claims (3)
ダイヤモンド粒のトウ及び/又はヒールを頂点とした三角錐の先端付近に、該トウと該ヒールを結ぶ稜線に沿って、稜線を残して左右の間隔を開けて削られた両側の凹面と、中央に凸状のリッジと、が形成されていることを特徴とするダイヤモンドスクライバー。 In diamond scriber
Diamond grains toe and / or heel triangular pyramid near the tip of the vertices, along the edge connecting the toe and the heel, and concave sides were cut at intervals of left and right, leaving the ridge, a central A diamond scriber characterized in that a convex ridge is formed.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2003283028A JP4252394B2 (en) | 2003-07-30 | 2003-07-30 | Diamond scriber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003283028A JP4252394B2 (en) | 2003-07-30 | 2003-07-30 | Diamond scriber |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005047194A JP2005047194A (en) | 2005-02-24 |
JP2005047194A5 true JP2005047194A5 (en) | 2007-07-26 |
JP4252394B2 JP4252394B2 (en) | 2009-04-08 |
Family
ID=34268043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003283028A Expired - Fee Related JP4252394B2 (en) | 2003-07-30 | 2003-07-30 | Diamond scriber |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4252394B2 (en) |
Families Citing this family (3)
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JP2016112703A (en) * | 2014-12-11 | 2016-06-23 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Scribing tool |
JP6771207B2 (en) * | 2016-06-30 | 2020-10-21 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Multipoint diamond tool and its manufacturing method |
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2003
- 2003-07-30 JP JP2003283028A patent/JP4252394B2/en not_active Expired - Fee Related
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