【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄槽に取り付けられた揺動機構により洗浄の効率化を行う洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置のガラス基板の製造工程では、ガラス自体の保護と、強度を増すために、ガラス基板上に保護層をコーティングしている。このコーティングの際に、被コーティング面にキズが付かない様に、塵やゴミ等が存在しないようにする為に、ガラスの清浄性が要求される。その為、前工程に於いてガラスの洗浄が施される。洗浄には種々の方式の装置があるが、その中に侵漬式（ディップ式）の洗浄装置が知られている。この侵漬式の洗浄装置では、洗浄槽が目的に応じて純水、溶剤等の洗浄液で満たされておりガラスを侵漬して洗浄を行う。洗浄槽内には超音波発生装置の超音波振動子が設置されており洗浄液に超音波を照射し、振動によりガラス面の付着物の溶解又は分散を行う。
【特許文献１】
特開２０００−２９６３７２
【特許文献２】
特開２００２−３５３０９３
【特許文献３】
特開平１１−０９０３６４
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし複数枚のガラスを洗浄槽内の洗浄液に侵漬させた場合、ガラスの位置又は付着物の状況によっては、洗浄液に超音波を照射したときの振動が伝わらず、期待される効果が十分得えられない場合や、ガラスの洗浄に時間が掛かるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明は、水または洗浄液を貯水する貯水槽と、該貯水槽の下部に前記水または洗浄液に振動を与える振動発生装置と、貯水槽の上部にはモータに直結したプーリーと、該プーリーに接続された回転軸、揺動を発生するカムフロアからなる第１の揺動機構と、前記モータで発生した回転力を第２の揺動機構に伝達するためのベルトを設けた洗浄装置であり、前記回転軸に被洗浄体を収納したホルダーを載置するガラス基板洗浄装置を提案するものである。
【０００５】
【作用】
振動発生装置と、揺動機構から発生する揺動により、洗浄槽に貯水されている水または洗浄液が活発に攪拌され、洗浄しようとしているガラス基板の隅々まで、水または洗浄液を満遍なくいきわたらせる。
【０００６】
【実施例】
図１〜図４を参照して実施例を説明する。図１は洗浄装置の例である。洗浄槽２は、上面が開口されており洗浄液を満たすことが出来る。底部には超音波発生装置の超音波振動子９が設置される。超音波振動子９は洗浄槽の形状により側面に設置することも可能である。洗浄槽２の上部に設置された基台１には、モータ３が配置されている。モータ３の出力軸は回転軸４に接続され、回転軸４には、プーリー５が取り付けられており、対になっている回転軸４ａはベルト６によって伝達が行われる。なお揺動は対になっている揺動部８が同時に上下に揺動しなければならないため、対になっている回転軸４ａは同期しなければならないので、タイミングベルト、チェーン等により駆動する必要がある。回転軸にはそれぞれ２箇所にカムフロア７が固定されており、カムフロア７の上部に揺動部８が接触するように配置されている。モータ３の出力により回転軸４ａが回転し、カムフロア７が回転すると位相により、接触している揺動部８が長穴１ｂに従って、上下の揺動を行う。カムの位相を任意に設定する事により揺動の範囲は自由に設定することが可能である。
【０００７】
次に、図３を参照して、ガラス基板の保持を行うホルダーについて詳述する。
ホルダー１０は枠状又は箱状をなし上部には洗浄装置の揺動部８に着脱自在に固定されるようにＬ型の部材１０ａで構成される。又、Ｌ型の部材１０ａは洗浄装置の揺動部に乗るように、さらにガラス基板１１が洗浄液に侵漬するように適切な寸法が必要である。ガラス基板１１の保持部の部材１０ｂは一定の間隔を持って溝が付けられており、上部よりガラス基板１１を差し込み複数枚を着脱自在に保持することが出来る。
【０００８】
洗浄槽が単体の場合であるが、図４に示すように複数の連続する洗浄槽の場合、回転軸、揺動部の延長、カムフロアの追加により対応が可能である。
【０００９】
【発明の効果】
本発明は、洗浄槽の上部に揺動機構を配置した洗浄装置であるので、ガラス基板を保持するホルダーを洗浄液に侵漬し、ホルダーを上下に揺動させ、超音波洗浄と共に、洗浄液をまんべんなく攪拌することができるので、隅々まで洗浄液が行き渡り、効率的にガラス基板の洗浄を行う事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例外観斜視図
【図２】本発明の実施例外観斜視図
【図３】ホルダーの斜視図
【図４】複数の洗浄槽を用いた場合の実施例
【符号の説明】
１ 基台
２ 洗浄槽
３ モータ
４ 回転軸
５ プーリー
６ ベルト
７ カムフロア
８ 揺動部
９ 超音波振動子
１０ 筐体
１１ ガラス[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a cleaning apparatus that performs cleaning efficiency by a swing mechanism attached to a cleaning tank.
[0002]
[Prior art]
In the manufacturing process of the glass substrate of the liquid crystal display device, a protective layer is coated on the glass substrate in order to protect the glass itself and increase the strength. In this coating, the cleanliness of the glass is required so that dust, dust, etc. do not exist so that the coated surface is not scratched. Therefore, the glass is washed in the previous step. There are various types of cleaning devices, and immersion type (dip type) cleaning devices are known. In this immersion type cleaning apparatus, the cleaning tank is filled with a cleaning liquid such as pure water or a solvent depending on the purpose, and the glass is immersed and cleaned. An ultrasonic vibrator of an ultrasonic generator is installed in the cleaning tank, and the cleaning liquid is irradiated with ultrasonic waves, and the adhered matter on the glass surface is dissolved or dispersed by vibration.
[Patent Document 1]
JP 2000-296372 A
[Patent Document 2]
JP 2002-353093 A
[Patent Document 3]
JP-A-11-090364
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, when multiple sheets of glass are immersed in the cleaning liquid in the cleaning tank, depending on the position of the glass or the state of deposits, the vibration when the cleaning liquid is irradiated with ultrasonic waves is not transmitted, and the expected effect is sufficiently obtained. When it was not possible, there was a problem that it took time to clean the glass.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
Accordingly, the present invention provides a water storage tank for storing water or cleaning liquid, a vibration generator for vibrating the water or cleaning liquid at a lower part of the water storage tank, a pulley directly connected to a motor at the upper part of the water storage tank, and the pulley. A cleaning device provided with a connected rotating shaft, a first swing mechanism comprising a cam floor that generates swing, and a belt for transmitting the rotational force generated by the motor to the second swing mechanism; The present invention proposes a glass substrate cleaning apparatus in which a holder in which an object to be cleaned is placed on the rotating shaft.
[0005]
[Action]
Due to the vibration generated by the vibration generator and the swing mechanism, the water or cleaning liquid stored in the cleaning tank is actively stirred, and the water or cleaning liquid is evenly distributed to every corner of the glass substrate to be cleaned. .
[0006]
【Example】
The embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 shows an example of a cleaning apparatus. The cleaning tank 2 has an open top surface and can be filled with a cleaning solution. An ultrasonic transducer 9 of an ultrasonic generator is installed at the bottom. The ultrasonic vibrator 9 can be installed on the side surface depending on the shape of the cleaning tank. A motor 3 is disposed on a base 1 installed on the upper part of the cleaning tank 2. The output shaft of the motor 3 is connected to a rotating shaft 4, and a pulley 5 is attached to the rotating shaft 4, and the paired rotating shafts 4 a are transmitted by a belt 6. Since the paired swinging portions 8 must swing up and down at the same time, the paired rotating shafts 4a must be synchronized, and therefore must be driven by a timing belt, a chain, or the like. There is. Two cam floors 7 are fixed to each of the rotating shafts, and the swinging portion 8 is arranged so as to contact the upper portion of the cam floor 7. When the rotating shaft 4a is rotated by the output of the motor 3 and the cam floor 7 is rotated, the contacting swinging portion 8 swings up and down along the elongated hole 1b depending on the phase. By arbitrarily setting the cam phase, the swing range can be set freely.
[0007]
Next, the holder for holding the glass substrate will be described in detail with reference to FIG.
The holder 10 has a frame shape or a box shape, and is configured with an L-shaped member 10a at an upper portion so as to be detachably fixed to the swinging portion 8 of the cleaning device. In addition, the L-shaped member 10a needs to have an appropriate size so that the glass substrate 11 is immersed in the cleaning liquid so that the L-shaped member 10a gets on the swinging portion of the cleaning device. The member 10b of the holding part of the glass substrate 11 is provided with a groove with a constant interval, and the glass substrate 11 can be inserted from above and detachably held.
[0008]
Although the cleaning tank is a single body, as shown in FIG. 4, in the case of a plurality of continuous cleaning tanks, it is possible to cope with the problem by adding a rotating shaft, a swinging portion, and a cam floor.
[0009]
【The invention's effect】
Since the present invention is a cleaning device in which a swing mechanism is arranged at the top of the cleaning tank, the holder for holding the glass substrate is immersed in the cleaning liquid, the holder is swung up and down, and the cleaning liquid is evenly distributed together with ultrasonic cleaning. Since it can be stirred, the cleaning liquid spreads to every corner, and the glass substrate can be cleaned efficiently.
[Brief description of the drawings]
1 is an external perspective view of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an external perspective view of an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a perspective view of a holder. FIG. 4 is an embodiment using a plurality of cleaning tanks. Explanation】
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 Cleaning tank 3 Motor 4 Rotating shaft 5 Pulley 6 Belt 7 Cam floor 8 Oscillating part 9 Ultrasonic vibrator 10 Case 11 Glass
