JP2005027186A - 超音波変換装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超音波周波数帯域で振動する振動膜11と、振動膜11の上面に蒸着等で一体形成されたニッケル薄膜等の強磁性体である上電極12と、振動膜11の下面に対向して配置された導電性を有するプラスチックマグネット等の永久磁石としての特性を有する下電極13とを備えることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気信号と超音波信号とを変換する超音波変換装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の主な超音波変換装置(超音波トランスデューサ)には、共振型のものと、静電型(静電方式)のものとがある。共振型の超音波変換装置は、圧電セラミックの共振現象を利用して電気信号と超音波信号との変換を行っている。そのため、超音波信号の送信および受信の特性がその共振周波数周辺の比較的狭い周波数帯域で良好となる。
【0003】
一方、静電型の超音波変換装置は、静電効果による振動によって、電気信号と超音波信号との変換を行う。その際、静電効果をなすための静電容量を複数形成するとともに、各容量を異ならせることによって、広帯域型の周波数特性を実現している(例えば特許文献1および2、非特許文献1参照)。
【0004】
ここで、図6および図7を参照して従来の静電型の超音波変換装置の構成の一例について説明する。図6に示す静電型の超音波変換装置は、振動体として数μm(3〜10μm程度)程度の厚さのPET(ポリエチレンテレフタレート樹脂)等の誘電体81(絶縁体)を用いている。誘電体81に対しては、金属箔として形成される上電極82がその上面部に蒸着等の処理によって一体形成されるとともに、真鍮の下電極83が下面部に接触するように設けられている。下電極83は、リード84が接続されるとともに、ベークライト等からなるベース板85に固定されている。誘電体81および上電極82ならびにベース板85は、メタルリング86、87、および88、ならびにメッシュ89とともに、ケース80によってかしめられている。
【0005】
上電極82と下電極83との間には直流電源90と交流電源91とが接続されている。直流電源90は、上電極82の吸着用のバイアス電圧を発生するためのもので、直流50〜150V程度の電圧を発生する。交流電源91は、超音波信号を発生させるための周波数20kHz以上の交流電圧を発生するためのもので、ピーク−ピークで50〜150V程度の電圧を発生する。
【0006】
また、下電極83の誘電体81側の面には不均一な形状を有する数十〜数百μm程度の微小な溝83aが複数形成されている。このランダムな微小な溝83aは例えば、下電極83の表面を手作業でヤスリで荒らすことで形成されている。図7に示すように、誘電体81は、上電極82と下電極83との間に直流電圧が印加されると、上電極82と下電極83とが静電気すなわちクーロン力によって引き合い、下電極83の凸部83bに吸着する。各微小な溝83aが下電極83と誘電体81との間に各空隙を形成するとともに、それぞれが微小な容量となる。そのため、上電極82および下電極83間の静電容量の分布が微小に変化する。
【0007】
直流バイアスを掛けた状態で交流電圧を印加すると、誘電体81の溝83aに対応する各部分は、それぞれ異なる共振周波数を有して破線で示すように振動する。静電型の超音波変換装置では、このようにして空隙の大きさや深さの異なる無数のコンデンサを形成することによって、超音波変換装置の周波数特性を広帯域としている。
【0008】
【特許文献1】
特開2000−50387号公報(第9−10頁、第11、12図)
【特許文献2】
特開2000−50392号公報(第5頁、第3図)
【非特許文献1】
「静電型超音波トランスデューサの電極表面形状と出力音圧」1995年1月、青木利元、電気通信大学
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように従来の静電型の超音波変換装置は、上電極の薄膜と下電極のバルク材料とを吸着するために数十〜数百Vの直流バイアス電圧(DCバイアス電圧)を必要としていた。この直流バイアス電圧は高電圧であり、感電等の危険性もさることながら装置の大型化/高パワー化/高コスト化を招いていた。
【0010】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、静電型超音波変換装置において、直流バイアス電圧を不要にあるいは低電圧化することができる超音波変換装置(超音波トランスデューサ)を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、超音波周波数帯域で振動する振動膜と、振動膜の一方の面に形成された強磁性体である導体と、振動膜の他方の面に対向して配置された磁石とを備えることを特徴とする。例えばPET(ポリエチレンテレフタレート)等の絶縁体をなす高分子物質から振動膜を構成し、その一面にニッケル等の強磁性体の金属等の導体の薄膜をめっき等の処理で形成する。振動膜は、その強磁性体の導体と振動膜の他方の面に配置された磁石との引力によって、磁石に対して吸着される。よって、直流バイアス電圧を用いなくても、振動膜に対して必要な吸着力を得ることができる。あるいは、直流バイアスを必要とする場合でも、磁石による吸着力と直流バイアスによる吸着力とを併用することで従来よりも小さな電圧値による直流バイアスで、所望の吸着力を得ることができる。
【0012】
また他の発明は、前記磁石が、高分子化合物と強磁性体粉末とを混合したものからなり且つ単極着磁されたものであって、さらに導体をなすものであることを特徴とする。この構成では、磁石を、プラスチックマグネット、ゴムマグネット等の高分子化合物と強磁性体粉末とを混合したもので構成し、さらに強磁性体粉末によって導電性を確保し、磁石を導体として用いるようにする。この磁石がなす導体と、振動膜に形成された導体とに交流電圧を印加することで、超音波信号を発生することができる。また、単極着磁とすることで、磁石の着磁を簡単化することができる。
【0013】
また他の発明は、前記磁石が、高分子化合物と強磁性体粉末とを混合したものからなり且つ多極着磁されたものであって、さらに導体をなすものであることを特徴とする。この構成では、磁石を、プラスチックマグネット、ゴムマグネット等の高分子化合物と強磁性体粉末とを混合したもので構成し、さらに強磁性体粉末によって導電性を確保し、磁石を導体として用いるようにする。この磁石がなす導体と、振動膜に形成された導体とに交流電圧を印加することで、超音波信号を発生することができる。また、多極着磁とすることで、磁石の磁力を高めることができる。
【0014】
また他の発明は、前記磁石が、単極着磁された永久磁石であり、前記磁石と前記振動膜との間に非磁性体である導体をさらに備えることを特徴とする。この構成では、アルミニウム、銅、真鍮等の非磁性体導体と、振動膜に形成された導体とに交流電圧を印加することで、超音波信号を発生することができる。また、単極着磁とすることで、磁石の着磁を簡単化することができる。ここで、永久磁石は、希土類マグネット等の磁力が比較的強いものを用いることが望ましい。
【0015】
また他の発明は、前記磁石が、多極着磁された永久磁石であり、前記磁石と前記振動膜との間に非磁性体である導体をさらに備えることを特徴とする。この構成では、アルミニウム、銅、真鍮等の非磁性体導体と、振動膜に形成された導体とに交流電圧を印加することで、超音波信号を発生することができる。また、多極着磁とすることで、磁石の磁力を高めることができる。ここで、永久磁石は、希土類マグネット等の磁力が比較的強いものを用いることが望ましい。
【0016】
なお、上記構成においてはさらに、磁石の振動膜側の面に深さが異なる複数の溝を設けるようにしたり、非磁性体である導体の振動膜側の面に深さが異なる複数の溝を設けるようにしたり、あるいは、さらに磁石又は非磁性体である導体と振動膜との間に深さが異なる複数の空隙を形成するようなスペーサを追加して設けるようにしてもよい。これによれば、超音波信号の周波数特性を容易に広帯域化することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の超音波変換装置の一実施の形態について図面を参照して説明する。以下で説明する本発明の超音波変換装置の各実施の形態は、静電型の超音波トランスデューサである。そして、その特徴部分は、超音波の振動体としての誘電体からなる振動膜に対して吸着力を発生するための構成と電圧を印加するための1対の電極の構成である。
【0018】
図1は、本発明の超音波変換装置の第1の実施の形態における超音波振動膜と、振動膜を挟む1対の電極とからなる部分の断面図である。振動膜11は、数μm(3〜10μm程度)程度の厚さのPET(ポリエチレンテレフタレート樹脂)等の誘電体(絶縁体)である。振動膜11の厚みは、その振動特性から10μm以下が望ましい。振動膜11に対しては、その上面に上電極12が金属箔として形成されている。
【0019】
上電極12は、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、それらの合金、アモルファス合金等の強磁性体であってかつ導電性を有する材料から構成された導体である。上電極12は、例えば、めっき処理すなわち溶融金属に浸したり、真空蒸着をしたりする処理によって振動膜11の上面に形成することができる。
【0020】
振動膜11の下面には、下面に対して対向し、接触するようにして下電極13が配置されている。下電極13は、プラスチック、ゴム等の高分子化合物と、フェライト粉末、希土類マグネット粉末等の強磁性体粉末とを混合したプラスチックマグネット、ゴムマグネット等であって、さらに導体をなすように形成された電極である。例えば導電性プラスチックは、通常樹脂に導電材料粉をバインドしたものである。したがって、バインド材料に磁性材料であるニッケル、鉄、コバルト、これらの複合材料の合金粉などを混在させれば、導電性と磁性を確保することが可能となり、導電性プラスチックマグネットとなる。あるいは、プラスチックマグネット、ゴムマグネットの表面近傍に導電性を有する材料で構成された電極層を全面に対して部分的に分散するような形状で高分子化合物と一体成形することで構成し、それを導体として用いるようにしてもよい。
【0021】
下電極13は、単極着磁されて、永久磁石としての特性を有している。図中の矢印はマグネットの着磁方向を示している。下電極13によって破線で示すような磁力線が生じる。したがって、強磁性体からなる上電極12と永久磁石を構成する下電極13は、互いに引き合い、振動膜11を下電極13に吸着させる。
【0022】
なお、振動膜11、上電極12、下電極13の平面形状は、円板状のもの、円環状のもの、多角形状のもの等の形状を有している。図1に示す振動膜11は、上電極12と下電極13間の磁力によって吸着され、上電極12と下電極13の間に超音波信号の周波数の交流電圧を印加することで超音波信号の周波数で振動する。印加電圧は、例えばピーク−ピークで50〜150Vの交流電圧である。ただし、振動膜11を下電極13に吸着させるための吸着力は、すべて磁力によって発生させずに、直流バイアス電圧を上電極12と下電極13との間に印加して静電気による吸着力を併用するようにしてもよい。
【0023】
また、下電極13にはさらに、振動膜11側の面に、表面を粗面状として深さが異なる複数の溝を設けるようにしたり、振動膜11との間に深さが異なる複数の空隙を形成するようなスペーサを追加して設けるようにしてもよい。これによれば、超音波信号の周波数特性をさらに広帯域化することができる。ただし、表面仕上げは、鏡面状とするようにしてもよい。
【0024】
図2は、本発明の超音波変換装置の第2の実施の形態における超音波振動膜と、振動膜を挟む1対の電極とからなる部分の断面図である。振動膜11と上電極12は、図1に示すものと同様に構成されている。振動膜11の下面には、下面に対して対向し、接触するようにして下電極14が配置されている。
【0025】
下電極14は、図1の下電極13と同様に、プラスチック、ゴム等の高分子化合物と、フェライト粉末、希土類マグネット粉末等の強磁性体粉末とを混合したプラスチックマグネット、ゴムマグネット等であって、さらに導体をなすように形成された電極である。下電極14は、図1の下電極13と異なり、多極着磁されて、永久磁石としての特性を有している。すなわち、図1の構成と図2の構成の相違点は、着磁パターンである。図中の矢印はマグネットの着磁方向を示している。図2に示す構成では、部分的に互い違いに逆方向に着磁している。この場合、下電極14によって破線で示すような磁力線が矢印に対応して複数発生する。そのため、磁気回路が短くなり吸着力を強くすることができる。
【0026】
図3は、本発明の超音波変換装置の第3の実施の形態における超音波振動膜と、振動膜を挟む1対の電極とからなる部分の断面図である。振動膜11と上電極12は、図1および図2に示すものと同様に構成されている。振動膜11の下面には、下面に対して対向し、接触するようにして下電極15が配置され、さらに下電極15の下面には磁石16が配置されている。
【0027】
下電極15は、非磁性体であってかつ導電材料である物質から構成されている。非磁性体は、強磁性体以外の磁性体である。非磁性体の金属としては、例えば、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、白金(Pt)、真鍮等の物質がある。あるいは、導電性プラスチックを使用することもできる。ここで、導電材料である物質は、導体(電気伝導率の大きい物質)としての性質を有するものである。
【0028】
下電極15の下側には、磁石16が配置されている。磁石16と下電極15は、接着、圧着等によって互いに固定されていてもよいし、上下方向に移動可能なように把持されていてもよい。磁石16は、永久磁石であって、磁石材料の種類は問わない。ただし、磁力の弱いフェライトマグネットよりも、磁力の強いプラスチックマグネット、さらに磁力の強い希土類マグネットなどを用いることが望ましい。
【0029】
また、図3に示す構成では、単極着磁されて、一方向の着磁パターンを有している。したがって、強磁性体からなる上電極12と永久磁石を構成する磁石16は、互いに引き合い、振動膜11を下電極15に吸着させる。
【0030】
なお、振動膜11、上電極12、下電極15、磁石16の平面形状は、円板状、円環状、多角形状等の形状である。図3に示す振動膜11は、上電極12と磁石16間の磁力によって吸着され、上電極12と下電極15の間に超音波信号の周波数の交流電圧を印加することで超音波信号の周波数で振動する。印加電圧は、例えばピーク−ピークで50〜150Vの交流電圧である。ただし、振動膜11を下電極15に吸着させるための吸着力は、すべて磁力によって発生させずに、直流バイアス電圧を上電極12と下電極15との間に印加して静電気による吸着力を併用するようにしてもよい。
【0031】
また、下電極15にはさらに、振動膜11側の面に、表面を粗面状として深さが異なる複数の溝を設けるようにしたり、振動膜11との間に深さが異なる複数の空隙を形成するようなスペーサを追加して設けるようにしてもよい。これによれば、超音波信号の周波数特性をさらに広帯域化することができる。ただし、表面仕上げは、鏡面状とするようにしてもよい。
【0032】
図4は、本発明の超音波変換装置の第4の実施の形態における超音波振動膜と、振動膜を挟む1対の電極とからなる部分の断面図である。振動膜11と上電極12は、図1、図2および図3に示すものと同様に構成されている。
【0033】
磁石17は、図3の磁石16と同様に下電極15の下側に配置された磁石である。磁石17は、永久磁石であって、磁石材料の種類は問わない。ただし、磁力の弱いフェライトマグネットよりも、磁力の強いプラスチックマグネット、さらに磁力の強い希土類マグネットなどを用いることが望ましい。磁石17は、図3の磁石16と異なり、多極着磁されている。すなわち、図3の構成と図4の構成の相違点は、着磁パターンである。図中の矢印はマグネットの着磁方向を示している。図4に示す構成では、部分的に互い違いに逆方向に着磁している。そのため、磁気回路が短くなり吸着力を強くすることができる。この場合、磁石17によって破線で示すような磁力線が矢印に対応して複数発生する。
【0034】
図5は、図1〜図4に示す構造を有する超音波変換装置の周波数特性の一例を示す図である。横軸に周波数、縦軸に音圧を示している。また参考のため、従来の共振型の超音波変換装置の周波数特性の一例を示している。本発明の各実施の形態によれば、広周波数帯域に渡って(周波数約40kHz以上の帯域で)一定の高音圧を発生することができる。
【0035】
以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば、強磁性体である上電極12が、永久磁石である下電極13もしくは14または磁石16もしくは17と磁力によって引き合うことで、振動膜11が下電極13、14または15に吸着する。したがって、直流バイアス電圧を不要としたり、あるいは直流バイアス電圧の電圧値を低くすることができる。そのため、装置の小型化/低コスト化を容易に実現することができる。
【0036】
なお、本発明の超音波変換装置は、例えば各種センサ、指向性スピーカ用音源、インパルス信号発生源として応用することができる。この場合、超音波センサとして用いれば、広い周波数帯域を、簡易な駆動回路によって実現することができる。インパルス信号発生源として用いれば、理想波形に近い、インパルス信号を発生することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超音波変換装置の第1の実施の形態を示す断面図。
【図2】本発明の超音波変換装置の第2の実施の形態を示す断面図。
【図3】本発明の超音波変換装置の第3の実施の形態を示す断面図。
【図4】本発明の超音波変換装置の第4の実施の形態を示す断面図。
【図5】第1〜第4の実施の形態の特性を示す周波数特性図。
【図6】従来の静電型超音波変換装置の構成例を示す断面図。
【図7】図6の部分拡大図。
【符号の説明】
11…振動膜、12…上電極、13,14,15…下電極、16,17…磁石
Claims (5)
- 超音波周波数帯域で振動する振動膜と、
振動膜の一方の面に形成された強磁性体である導体と、
振動膜の他方の面に対向して配置された磁石と
を備えることを特徴とする超音波変換装置。 - 前記磁石が、高分子化合物と強磁性体粉末とを混合したものからなり且つ単極着磁されたものであって、さらに導体をなすものであることを特徴とする請求項1記載の超音波変換装置。
- 前記磁石が、高分子化合物と強磁性体粉末とを混合したものからなり且つ多極着磁されたものであって、さらに導体をなすものであることを特徴とする請求項1記載の超音波変換装置。
- 前記磁石が、単極着磁された永久磁石であり、
前記磁石と前記振動膜との間に非磁性体である導体をさらに備える
ことを特徴とする請求項1記載の超音波変換装置。 - 前記磁石が、多極着磁された永久磁石であり、
前記磁石と前記振動膜との間に非磁性体である導体をさらに備える
ことを特徴とする請求項1記載の超音波変換装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005122638A1 (en) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer and ultrasonic speaker using the same |
EP1790419A2 (en) * | 2005-11-24 | 2007-05-30 | Industrial Technology Research Institute | Capacitive ultrasonic transducer and method of fabricating the same |
WO2009133961A1 (en) | 2008-05-02 | 2009-11-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods of manufacturing capacitive electromechanical transducer and capacitive electromechanical transducers |
US7937834B2 (en) | 2005-10-28 | 2011-05-10 | Industrial Technology Research Institute | Method of fabricating capacitive ultrasonic transducers |
US8371018B2 (en) | 2007-09-25 | 2013-02-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromechanical transducer and manufacturing method therefor |
US8410659B2 (en) | 2007-09-25 | 2013-04-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromechanical transducer and manufacturing method therefor |
US8426235B2 (en) | 2009-05-19 | 2013-04-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing capacitive electromechanical transducer |
KR101509835B1 (ko) * | 2007-09-04 | 2015-04-06 | 푼다시오 프리바다 아스캄 | 용융 플라스틱 재료의 선택적 증착을 위한 기기와 장치 및 선택적 증착을 포함하는 제조 방법 |
JP2018170844A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 発電装置及びそれを備えた入力装置 |
CN110098459B (zh) * | 2019-05-15 | 2020-04-07 | 燕山大学 | 一种基于可折叠天线的伸缩布膜机构 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7881489B2 (en) | 2004-06-14 | 2011-02-01 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer and ultrasonic speaker using the same |
WO2005122638A1 (en) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer and ultrasonic speaker using the same |
US7937834B2 (en) | 2005-10-28 | 2011-05-10 | Industrial Technology Research Institute | Method of fabricating capacitive ultrasonic transducers |
EP1790419A2 (en) * | 2005-11-24 | 2007-05-30 | Industrial Technology Research Institute | Capacitive ultrasonic transducer and method of fabricating the same |
EP1790419A3 (en) * | 2005-11-24 | 2010-05-12 | Industrial Technology Research Institute | Capacitive ultrasonic transducer and method of fabricating the same |
KR101509835B1 (ko) * | 2007-09-04 | 2015-04-06 | 푼다시오 프리바다 아스캄 | 용융 플라스틱 재료의 선택적 증착을 위한 기기와 장치 및 선택적 증착을 포함하는 제조 방법 |
US8410659B2 (en) | 2007-09-25 | 2013-04-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromechanical transducer and manufacturing method therefor |
US8371018B2 (en) | 2007-09-25 | 2013-02-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromechanical transducer and manufacturing method therefor |
US8288192B2 (en) | 2008-05-02 | 2012-10-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a capacitive electromechanical transducer |
WO2009133961A1 (en) | 2008-05-02 | 2009-11-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods of manufacturing capacitive electromechanical transducer and capacitive electromechanical transducers |
US8426235B2 (en) | 2009-05-19 | 2013-04-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing capacitive electromechanical transducer |
JP2018170844A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 発電装置及びそれを備えた入力装置 |
CN110098459B (zh) * | 2019-05-15 | 2020-04-07 | 燕山大学 | 一种基于可折叠天线的伸缩布膜机构 |
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