JP2005025185A - Film forming method, film forming system and mother board for display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、成膜方法、成膜装置、表示装置用母基板に関する。 The present invention relates to a film forming method, a film forming apparatus, and a mother substrate for a display device.
近年、パーソナルコンピュータ、特に携帯用パーソナルコンピュータや携帯用の情報機器などの進歩に伴い、液晶カラーディスプレイの需要が急増している。これに対応し、適正価格で美しいディスプレイを供給する手段の確立が急務となっている。また、近年、環境の保護の観点から、環境負荷を低減するプロセスへの転換,改善も要求されている。 In recent years, with the progress of personal computers, particularly portable personal computers and portable information devices, the demand for liquid crystal color displays has increased rapidly. In response, there is an urgent need to establish means for supplying beautiful displays at reasonable prices. In recent years, there has been a demand for conversion and improvement to a process that reduces the environmental load from the viewpoint of environmental protection.
従来、カラーフィルタの製造方法の1つとして、以下の方法が知られている。この方法では、まず、遮光材としてクロムの薄膜をフォトリソグラフィーおよびエッチングによってパターニングし、ブラックマトリクスを形成する。その後、このブラックマトリクス間の間隙に、赤,緑および青の感光性樹脂を、一色毎にスピンコート法などによって塗布した後フォトリソグラフィーによりパターニングする。それによって、赤,緑および青の着色層(カラードット)が隣り合って配置されたカラーマトリクスを構成することができる。この製造方法では、赤,緑,青の一色毎にフォトリソグラフィー工程を繰り返さなければならず、また、各色のパターニングに際して不要部分を除去するため感光性材料のロスが生じ、ひいては環境負荷の高い高コストのカラーフィルタとなる。 Conventionally, the following method is known as one of color filter manufacturing methods. In this method, first, a chrome thin film is patterned as a light shielding material by photolithography and etching to form a black matrix. Thereafter, red, green and blue photosensitive resins are applied to the gaps between the black matrices by a spin coat method or the like for each color, and then patterned by photolithography. Thereby, a color matrix in which red, green and blue colored layers (color dots) are arranged adjacent to each other can be formed. In this manufacturing method, the photolithography process must be repeated for each color of red, green, and blue, and unnecessary portions are removed during patterning of each color, resulting in a loss of photosensitive material, and a high environmental impact. It becomes a cost color filter.
そこで、このような製造方法の問題点を解消する方法として、たとえば特開昭59−75205号公報では、インクジェット法を応用した方法が提案されている。この方法では、透明基板上に、インクに対して濡れ性の低い材料で着色層の形成領域を区画するように仕切りをマトリクス状に形成した後、インクジェット法を用いて非感光性色材を仕切り内に塗布することにより、着色層を形成する。この製造方法では、フォトリソグラフィー工程の煩雑さが緩和され、さらに色材のロスの低減を図ることができる。以来、インクジェット法による非感光性色材の塗布プロセスによるカラーフィルタの製造方法が多数提案されている。
本発明の目的は、新規な表示装置用母基板を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a novel mother board for a display device.
本発明の他の目的は、新規な成膜方法および成膜装置を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a novel film forming method and film forming apparatus.
本発明は、カラー表示用基板において、
マトリクス状に配列された複数のカラー表示素子と、
前記複数のカラー表示素子の各々を構成する複数の画素と、
前記複数の画素の各々を構成する複数のカラードットと、を備え、
前記複数のカラードットは、第1基準線と直交する方向において第1ドットピッチを有し、
前記複数のカラードットの各々は、少なくとも第1基準線に対して第1ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置することを特徴とする。
The present invention provides a color display substrate,
A plurality of color display elements arranged in a matrix;
A plurality of pixels constituting each of the plurality of color display elements;
A plurality of color dots constituting each of the plurality of pixels;
The plurality of color dots have a first dot pitch in a direction orthogonal to the first reference line,
Each of the plurality of color dots is located at a distance that is substantially an integral multiple of the first dot pitch with respect to at least the first reference line.
このカラー表示用基板は、後述する製造方法によって効率よく得られる。 This color display substrate can be efficiently obtained by a manufacturing method described later.
本発明にかかるカラー表示用基板は、以下の各種態様を取ることができる。 The color display substrate according to the present invention can take the following various aspects.
(A)さらに、前記カラー表示素子のカラードットは、前記第1基準線と直交する第2基準線に対して、該第2基準線と直交する方向における第2ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置することができる。 (A) Furthermore, the color dots of the color display element are substantially integer multiples of the second dot pitch in the direction orthogonal to the second reference line with respect to the second reference line orthogonal to the first reference line. Can be located at a distance.
(B)前記カラー表示素子の相互間の間隔は、前記第1基準線の方向においては、第2ドットピッチの実質的に整数倍であり、かつ前記第2基準線の方向においては、第1ドットピッチの実質的に整数倍であることができる。このように設定することで、カラー表示素子のピッチを第1ドットピッチおよび第2ドットピッチの実質的に整数倍で規定できる。すなわち、このことをカラー表示素子のピッチからみると、前記カラー表示素子の配列は、前記第1基準線の方向においては、第2素子ピッチの実質的に整数倍であり、かつ前記第2基準線の方向においては、第1素子ピッチの実質的に整数倍である。 (B) The interval between the color display elements is substantially an integer multiple of the second dot pitch in the direction of the first reference line, and the first interval in the direction of the second reference line. It can be a substantially integer multiple of the dot pitch. By setting in this way, the pitch of the color display elements can be specified by an integer multiple of the first dot pitch and the second dot pitch. That is, when this is viewed from the pitch of the color display elements, the arrangement of the color display elements is substantially an integral multiple of the second element pitch in the direction of the first reference line, and the second reference In the direction of the line, it is substantially an integer multiple of the first element pitch.
(C)前記カラー表示素子は、前記画素の配列がストライプ型、モザイク型、デルタ型およびスクウェア型のいずれかであることができる。 (C) In the color display element, the arrangement of the pixels may be any of a stripe type, a mosaic type, a delta type, and a square type.
(D)前記カラードットはノズルから吐出された液滴によって形成できる。そして、前記カラードットは、カラー表示層と該カラー表示層を区画するためのバンク層を含むことができる。このバンク層は、ノズルから吐出された液滴をせき止める隔壁として機能する。 (D) The color dots can be formed by droplets ejected from a nozzle. The color dots may include a color display layer and a bank layer for partitioning the color display layer. The bank layer functions as a partition wall that stops the droplets discharged from the nozzle.
本発明のカラー表示用基板は、赤、緑および青の光の3原色によってカラー表示が可能な各種の表示基板に適用できる。代表的な表示基板としては、カラーフィルタ用基板およびカラー発光用基板がある。 The color display substrate of the present invention can be applied to various display substrates capable of color display with the three primary colors of red, green and blue light. Typical display substrates include a color filter substrate and a color light emission substrate.
たとえば、本発明にかかるカラーフィルタ用基板は、
マトリクス状に配列された複数のカラーフィルタ素子と、
前記複数のカラーフィルタ素子の各々を構成する複数の画素と、
前記複数の画素の各々を構成する複数のカラードットと、を備え、
前記複数のカラードットは、第1基準線と直交する方向において第1ドットピッチを有し、
前記複数のカラードットの各々は、少なくとも第1基準線に対して第1ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置することができる。
For example, the color filter substrate according to the present invention is:
A plurality of color filter elements arranged in a matrix;
A plurality of pixels constituting each of the plurality of color filter elements;
A plurality of color dots constituting each of the plurality of pixels;
The plurality of color dots have a first dot pitch in a direction orthogonal to the first reference line,
Each of the plurality of color dots may be located at a distance that is substantially an integral multiple of the first dot pitch with respect to at least the first reference line.
本発明にかかるカラー発光用基板は、
マトリクス状に配列された複数のカラー発光素子と、
前記複数のカラー発光素子の各々を構成する複数の画素と、
前記複数の画素の各々を構成する複数のカラードットと、を備え、
前記複数のカラードットは、第1基準線と直交する方向において第1ドットピッチを有し、
前記複数のカラードットの各々は、少なくとも第1基準線に対して第1ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置することができる。
The substrate for color light emission according to the present invention is:
A plurality of color light emitting elements arranged in a matrix;
A plurality of pixels constituting each of the plurality of color light emitting elements;
A plurality of color dots constituting each of the plurality of pixels;
The plurality of color dots have a first dot pitch in a direction orthogonal to the first reference line,
Each of the plurality of color dots may be located at a distance that is substantially an integral multiple of the first dot pitch with respect to at least the first reference line.
本発明にかかるカラー表示用基板の製造方法は、
入力されたデータに応じて液滴を選択的にノズルから吐出することによって複数のカラードットを形成する工程を備え、
前記複数のカラードットは、複数の画素を構成し、
前記複数の画素は、複数のカラー表示素子を構成し、
前記複数のカラー表示素子は、マトリクス状に配列され、
前記複数のカラードットは、第1基準線と直交する方向において第1ドットピッチを有し、
前記複数のカラードットの各々を、少なくとも第1基準線に対して前記第1ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置するように形成できる。
The color display substrate manufacturing method according to the present invention includes:
Comprising a step of forming a plurality of color dots by selectively discharging droplets from the nozzle according to the input data;
The plurality of color dots constitutes a plurality of pixels,
The plurality of pixels constitute a plurality of color display elements,
The plurality of color display elements are arranged in a matrix.
The plurality of color dots have a first dot pitch in a direction orthogonal to the first reference line,
Each of the plurality of color dots may be formed so as to be positioned at a distance that is substantially an integral multiple of the first dot pitch with respect to at least the first reference line.
この製造方法によれば、前記カラー表示素子を構成する各カラードットの形成領域は、少なくとも第1基準線に対して、該第1基準線と直交する方向における第1ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置するように設定されることから、カラードットの形成領域の位置データを第1ドットピッチで規定でき、設計が容易となる。 According to this manufacturing method, the formation area of each color dot constituting the color display element is substantially an integer of the first dot pitch in the direction orthogonal to the first reference line, at least with respect to the first reference line. Since the distance is set to be double the distance, the position data of the color dot formation region can be defined by the first dot pitch, and the design is facilitated.
前記液滴を選択的にノズルから吐出する方法としては、例えばインクジェット方式を用いることができる。 As a method for selectively discharging the droplets from the nozzles, for example, an inkjet method can be used.
本発明にかかる製造方法は、以下の各種態様を取りうる。 The manufacturing method according to the present invention can take the following various aspects.
(A)さらに、前記カラー表示素子のカラードットの形成領域は、前記第1基準線と直交する第2基準線に対して、該第2基準線と直交する方向における第2ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置するように設定できる。このように設定することで、第1基準線に対してのみならず、第2基準線に対してもカラードットの形成領域の位置データを第2ドットピッチで規定でき、さらに設計が容易となる。 (A) Further, the color dot formation region of the color display element has a substantial second dot pitch in a direction orthogonal to the second reference line with respect to the second reference line orthogonal to the first reference line. Can be set to be an integer multiple distance. By setting in this way, not only the first reference line but also the second reference line, the position data of the color dot formation region can be defined by the second dot pitch, and the design becomes easier. .
(B)前記カラー表示素子の相互間の間隔は、前記第1基準線の方向においては、第2ドットピッチの実質的に整数倍であり、前記第2基準線の方向においては、第1ドットピッチの実質的に整数倍であるように設定されることができる。このように設定することで、カラー表示素子のピッチを第1ドットピッチおよび第2ドットピッチで規定できる。そして、前記カラー表示素子の配列は、前記第1基準線の方向においては、第2素子ピッチの実質的に整数倍であり、かつ前記第2基準線の方向においては、第1素子ピッチの実質的に整数倍であるように設定できる。 (B) The interval between the color display elements is substantially an integer multiple of the second dot pitch in the direction of the first reference line, and the first dot in the direction of the second reference line. It can be set to be a substantially integer multiple of the pitch. By setting in this way, the pitch of the color display elements can be defined by the first dot pitch and the second dot pitch. The arrangement of the color display elements is substantially an integer multiple of the second element pitch in the direction of the first reference line, and is substantially equal to the first element pitch in the direction of the second reference line. Can be set to be an integer multiple.
(C)前記カラードットのカラー表示層を区画するためのバンク層を形成する工程と、前記バンク層によって区画された領域に液滴を供給することができる。このバンク層は、液滴をせき止める隔壁として機能する。 (C) A step of forming a bank layer for partitioning the color display layer of the color dots, and a droplet can be supplied to a region partitioned by the bank layer. This bank layer functions as a partition wall for blocking droplets.
(D)前記液滴の吐出を行うための液滴吐出用ヘッドは、複数のノズルが直線状に配列されたノズル列を有し、該ノズル列は、前記第1基準線の方向において所定ピッチで配置され、かつ、前記第1基準線の方向において複数のカラー表示素子の形成領域を含む実効ノズル列長を有することができる。このような実効ノズル長を有する液滴吐出用ヘッドによれば、1回の走査によって、複数列のカラー表示素子を形成できる。 (D) The droplet discharge head for discharging droplets has a nozzle row in which a plurality of nozzles are linearly arranged, and the nozzle row has a predetermined pitch in the direction of the first reference line. And an effective nozzle row length including a plurality of color display element formation regions in the direction of the first reference line. According to the droplet discharge head having such an effective nozzle length, a plurality of rows of color display elements can be formed by one scan.
さらに、前記ノズル列は、前記第1基準線の方向における実効ノズル列長が前記カラー表示素子の第2素子ピッチの実質的に整数倍であることができる。 Further, in the nozzle row, the effective nozzle row length in the direction of the first reference line may be substantially an integral multiple of the second element pitch of the color display element.
(E)前記カラー表示素子は、カラーフィルタ素子またはカラー発光素子を含むことができる。 (E) The color display element may include a color filter element or a color light emitting element.
本発明にかかる電気光学装置は、本発明のカラー表示用基板から得られたカラー表示体を含むことができる。 The electro-optical device according to the present invention can include a color display body obtained from the color display substrate of the present invention.
本発明にかかる電気光学装置は、本発明のカラーフィルタ用基板から得られたカラーフィルタと、前記カラーフィルタと所定間隔を置いて配置される対向基板と、前記カラーフィルタと前記対向基板との間に配置される電気光学材料層と、を含むことができる。ここで、前記電気光学材料層は、液晶材料層であることができる。 The electro-optical device according to the present invention includes a color filter obtained from the color filter substrate according to the present invention, a counter substrate disposed at a predetermined interval from the color filter, and a space between the color filter and the counter substrate. And an electro-optic material layer disposed on the substrate. Here, the electro-optic material layer may be a liquid crystal material layer.
本発明にかかる電気光学装置は、本発明のカラー発光用基板から得られたカラー発光体を含むことができる。ここで、前記カラードットの発光層は、エレクトロルミネッセンス材料を含むことができる。 The electro-optical device according to the present invention can include a color light-emitting body obtained from the color light-emitting substrate of the present invention. Here, the light emitting layer of the color dots may include an electroluminescent material.
本発明にかかる電子機器は、本発明の電気光学装置を含むことができる。 The electronic apparatus according to the present invention can include the electro-optical device according to the present invention.
本発明にかかる表示装置用母基板は、各々が表示装置を構成する複数の単位、および
並んで配列される複数のドット要素、を含み、
前記複数のドット要素は、各単位内において所定の方向に第1ドットピッチで配列されてなり、
各前記単位に含まれる前記複数のドット要素の1つと、他の前記単位に含まれる前記複数のドット要素の1つとが前記所定の方向において前記第1ドットピッチの実質的に整数倍で並んでなることができる。
A mother board for a display device according to the present invention includes a plurality of units each constituting a display device, and a plurality of dot elements arranged side by side,
The plurality of dot elements are arranged at a first dot pitch in a predetermined direction within each unit,
One of the plurality of dot elements included in each of the units and one of the plurality of dot elements included in the other unit are arranged at an integer multiple of the first dot pitch in the predetermined direction. Can be.
本発明にかかる成膜方法は、
液滴を選択的にノズルから吐出することによって複数のドット要素を形成する工程を備え、
前記複数のドット要素は、基準線と直交する方向においてドットピッチを有し、
前記複数のドット要素の各々を、少なくとも前記基準線に対して前記ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置するように形成できる。
The film forming method according to the present invention includes:
Comprising a step of forming a plurality of dot elements by selectively discharging droplets from a nozzle;
The plurality of dot elements have a dot pitch in a direction orthogonal to a reference line;
Each of the plurality of dot elements may be formed so as to be positioned at a distance that is substantially an integral multiple of the dot pitch with respect to at least the reference line.
本発明にかかる成膜装置は、
走査可能なヘッドと、
前記ヘッドに配列され、液滴を吐出する複数のノズルと、
を備え、
前記ヘッドを走査して前記液滴を選択的に前記ノズルから吐出することによって複数のドット要素を形成し、
前記複数のドット要素は、基準線の方向において配列され、かつ前記基準線の方向において所定のドットピッチを有し、
前記ノズル列は、前記基準線の方向に対して実効ノズル列長を有し、
前記実効ノズル列長は、前記所定のドットピッチの実質的に整数倍である。
The film forming apparatus according to the present invention includes:
A scannable head;
A plurality of nozzles arranged in the head and discharging droplets;
With
Forming a plurality of dot elements by scanning the head and selectively ejecting the droplets from the nozzle;
The plurality of dot elements are arranged in a direction of a reference line, and have a predetermined dot pitch in the direction of the reference line,
The nozzle row has an effective nozzle row length with respect to the direction of the reference line,
The effective nozzle row length is substantially an integral multiple of the predetermined dot pitch.
前記走査可能なヘッドとしては、例えばインクジェットヘッドを用いることができる。 As the scannable head, for example, an inkjet head can be used.
[第1の実施の形態]
図1は、本発明が適用されたカラー表示用基板(表示装置用母基板)の一例としてのカラーフィルタ用基板を模式的に示す斜視図であり、図2は、カラーフィルタ用基板を構成するカラーフィルタ素子(表示装置を構成する単位)の要部を示す平面図であり、図3は、図2のA−A線に沿った部分を示す断面図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a color filter substrate as an example of a color display substrate (display device mother substrate) to which the present invention is applied, and FIG. 2 shows the color filter substrate. FIG. 3 is a plan view showing a main part of a color filter element (unit constituting the display device), and FIG. 3 is a cross-sectional view showing a portion along line AA of FIG.
(カラーフィルタ用基板の概要)
まず、カラーフィルタ用基板1000の概要について説明する。カラーフィルタ用基板1000は、光透過型であって、ガラス,プラスチックなどの透明な基板10上に、複数のカラーフィルタ素子100がマトリクス状に配列されている。このカラーフィルタ用基板1000は、後にこの基板を所定位置で切断することにより、複数のカラーフィルタを得ることができる。
(Outline of color filter substrate)
First, an outline of the
本実施の形態に係るカラーフィルタ素子100は、図2および図3に示すように、透明な基板10と、光(可視光)が実質的に透過しない遮光領域20と、光が透過可能な透過領域30とを含む。遮光領域20は、遮光層22と、この遮光層22上に形成されたバンク層24とを有する。そして、透過領域30は、遮光領域20によって区画された領域であって、基板10上に形成された着色層32を有する。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
本実施の形態においては、図2に示すように、1ドットピッチの長さに相当する、着色層32とこの着色層32を囲む所定幅の遮光領域20とを1カラードット(ドット要素)100aと規定する。以降の説明において、カラーフィルタ素子100を構成するカラードット100aのx方向におけるドットピッチを第1ドットピッチPxといい、y方向におけるドットピッチを第2ドットピッチPyという。なお、ドットピッチとは、図2に示すように、たとえば隣り合うカラードットの中心間距離を意味する。
In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the
また、カラーフィルタ用基板1000において、図1に示すように、カラーフィルタ素子100のx方向における素子ピッチを第1素子ピッチPExといい、y方向における素子ピッチを第2素子ピッチPEyという。なお、本実施の形態では、素子ピッチとは、図1に示すように、カラーフィルタ素子の一辺から隣り合うカラーフィルタ素子の一辺までの距離をいうものとする。もちろん、この素子ピッチは、隣り合うカラーフィルタ素子の中心間距離と同じであり、この中心間距離で定義されていてもよい。
In the
遮光領域20を構成する遮光層22は、基板10上に所定のパターンで形成されている。そして、遮光層22は、十分な遮光性を有し、ブラックマトリクスとして機能すればよく、その材質等は特に限定されず、金属,樹脂などを用いることができる。遮光層22の材質としては、小さい膜厚で十分かつ均一な遮光性が得られる点で、金属を用いることが好ましい。遮光層22として用いられる金属は特に限定されず、成膜ならびにフォトエッチングを含む全工程の効率を配慮して選択することができる。このような金属としては、たとえばクロム,ニッケル,アルミニウムなどの電子デバイス加工プロセスで用いられているものを好ましく用いることができる。
The
バンク層24は、遮光層22上に形成され、所定のパターンを有する。このバンク層24は、着色層が形成される領域を区画し、隣接する着色層の色が混じり合うこと(混色)を防止する隔壁として機能する。したがって、バンク層24の膜厚(高さh(図3参照))は、着色層を形成する際に注入される色材としてのインク組成物(以下、「インク」という)がオーバーフローしないように、このインク層の高さ等の関係で設定される。バンク層24は、このような観点から、たとえば膜厚1〜5μmの範囲で形成されることが好ましい。
The
バンク層24は、フォトリソグラフィーが可能な樹脂層によって構成される。このような感光性樹脂は、必ずしも水に対する接触角が大きい撥水性の優れたもの、あるいは遮光性を有するものである必要がなく、幅広い範囲で選択することができる。バンク層24を構成する樹脂としては、たとえば、ウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、ノボラック系樹脂、カルド系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリヒドロキシスチレン、ポリビニルアルコールなどを含む感光性樹脂組成物を用いることができる。
The
着色層32は、光の三原色を構成する赤,緑および青の各色を有する複数の着色層32(R),32(G),32(B)からなる。これらの着色層32は、所定の配列、たとえばストライプ配列,デルタ配列,モザイク配列またはスクウェア配列などの配列パターンによって配置され、連続した3色の着色層によって1画素が構成される。
The
本実施の形態に係るカラーフィルタ用基板1000およびカラーフィルタ素子100の特徴については、後述する。
Features of the
(カラーフィルタ用基板の製造方法)
次に、図4および図5を参照しながら、カラーフィルタの製造例の概要について説明する。図4および図5は、各工程において図2のB−B線に対応する部分の層構造を模式的に示す断面図である。
(Color filter substrate manufacturing method)
Next, an outline of a color filter manufacturing example will be described with reference to FIGS. 4 and 5. 4 and 5 are cross-sectional views schematically showing a layer structure of a portion corresponding to the line BB in FIG. 2 in each step.
(1)遮光層の形成
まず、図4(A)に示すように、透明な基板10上に、ドライメッキ法、たとえばスパッタ法、蒸着法、化学蒸着法で金属層220を、膜厚0.1〜0.5μmで堆積させる。金属層220の材料としては、前述したように、クロム,ニッケル,アルミニウムなどの各種の金属を用いることができる。ついで、金属層220の表面に所定のパターンを有するレジスト層R1をフォトリソグラフィーによって形成する。その後、このレジスト層R1をマスクとしてエッチングを行い、金属層220のパターニングを行う。このようにして、図4(B)に示すように、基板10上に所定のマトリクスパターンを有する遮光層22が形成される。
(1) Formation of light shielding layer First, as shown in FIG. 4A, a
(2)バンク層の形成
ついで、図4(C)に示すように、遮光層22が形成された基板10の上に、樹脂層240を形成する。この樹脂層は、ネガ型あるいはポジ型のレジストによって形成できる。樹脂層240は、たとえばウレタン系あるいはアクリル系などの光硬化型(ネガ型)の感光性樹脂からなる。そして、フォトマスクM1を用いて露光を行い、さらに現像を行うことにより、樹脂層240をパターニングする。これによって、図4(D)に示すように、バンク層24が形成され、遮光領域20が形成される。バンク層24の構成については、既に述べたのでその記載を省略する。この工程で、遮光領域20によって区画される、着色層形成領域330が所定のマトリクスパターンで形成される。
(2) Formation of Bank Layer Next, as shown in FIG. 4C, a
ついで、必要に応じて、次の着色層の形成工程の前に、基板表面の表面処理を行う。このような表面処理としては、紫外線の照射,プラズマ照射,レーザ照射などの方法を用いることができる。このような表面処理を行うことにより、基板10の露出面10aに付着した汚染物質などが除去され、この表面10aの水に対する接触角を小さくしてインクの濡れ性を向上させることができる。より具体的には、基板10の露出面10aとバンク層24の表面との水に対する接触角の差が15゜以上になることが望ましい。このように、基板10の露出面10aとバンク層24の表面の水に対する接触角を制御することにより、着色層形成領域330の露出面10aに密着性が良好な状態でインクを付与できるとともに、バンク層24のインクをはじく性質によって、インクがバンク層24を越えてオーバーフローすることが防止される。表面処理の方法としては、ガスプラズマ法、紫外線照射法、界面活性剤塗布法などの方法を採用できる。
Then, if necessary, surface treatment of the substrate surface is performed before the next colored layer forming step. As such surface treatment, methods such as ultraviolet irradiation, plasma irradiation, and laser irradiation can be used. By performing such surface treatment, contaminants and the like attached to the exposed
(3)着色層の形成
まず、図5(A)に示すように、遮光層22およびバンク層24によって区画される着色層形成領域330に、インクを付与してインク層320を形成する。本実施の形態では、インクを付与する方法として、インクジェットプリンティング方式で用いられているプリンティングヘッドによるインクジェット法を適用する。たとえば50μm角の微細な着色層形成領域330に精度よくインク層を形成する方法としては、吐出するインク滴を微細化し、しかも吐出インク滴の数を制御できるインクジェットプリンティング法が最適である。
(3) Formation of Colored Layer First, as shown in FIG. 5A, ink is applied to the colored
微細化したインク滴を精度よく目標とする位置(基板10の露出面10a)に付与するためには、まず、インク滴のサイズをターゲットである着色層形成領域330の露出面10aのサイズに合わせて制御する。インク滴のサイズは、たとえば50μm角の着色層形成領域330に対しては、6〜30ピコリットルに制御することが好ましい。さらに、スループットを考慮すれば、インク滴のサイズは、より好ましくは12〜20ピコリットルである。また、インクジェットプリンティングヘッドよりインク滴を飛翔させ、ターゲットに正確に到着させるには、インク滴が飛翔途中に分裂することなく、しかもまっすぐに飛翔するように条件を制御することが望ましい。
In order to accurately apply the fine ink droplets to the target position (exposed
本実施の形態では、着色層32は、赤,緑および青の各色毎に順次形成される。これらの着色層32の形成順序は、特に限定されない。図5(B)に示した例では、まず赤の着色層32(R)を形成し、その後、図5(C)に示すように、緑の着色層32(G)あるいは青の着色層32(B)のいずれかを形成し、最後に残りの色の着色層を形成する。なお、赤、緑および青の各色の着色層は、インクジェットプリンティング方式のカラーヘッドもしくは複数ヘッドを選択すれば、同時に形成することもできる。
In the present embodiment, the
(4)オーバーコート層などの形成
ついで、図5(C)に示すように、着色層32の形成の後、必要に応じて、平滑表面を得るためのオーバーコート層40を形成する。さらに、図5(D)に示すように、オーバーコート層40の表面に、必要に応じて、共通電極50を形成して、カラーフィルタ素子100がマトリクス状に配列されたカラーフィルタ用基板1000を完成する。これらのオーバーコート層40および共通電極50は、カラーフィルタが適用される電気光学装置の構成に応じて設けることができる。その後、カラーフィルタ用基板1000を所定位置で切断することで、複数のカラーフィルタが形成される。
(4) Formation of Overcoat Layer Next, as shown in FIG. 5C, after forming the
(製造方法の特徴)
図6は、本発明に係る製造方法の特徴を説明するための平面図であり、図5(A),(B)に対応する工程を示す。図6では、図面を簡略にするために、カラードット100aおよびカラードット形成領域100bを示している。また、図6では、ストライプ型の画素を形成する例を示している。
(Features of manufacturing method)
FIG. 6 is a plan view for explaining the characteristics of the manufacturing method according to the present invention, and shows steps corresponding to FIGS. 5 (A) and 5 (B). In FIG. 6, in order to simplify the drawing, a
図6に示す例では、y方向に沿って第1基準線BL1を設定し、x方向に沿って第2基準線BL2を設定する。 In the example shown in FIG. 6, the first reference line BL1 is set along the y direction, and the second reference line BL2 is set along the x direction.
本実施の形態では、インクジェットプリンティングに用いられるインクジェットヘッド1が基板10に対してx方向に相対的に移動されて、カラードット形成領域100b、具体的には着色層形成領域330(図5(A),(B)参照)にインクが供給されて着色層32が形成され、カラードット100aが完成する。
In the present embodiment, the inkjet head 1 used for inkjet printing is moved relative to the
インクジェットヘッド1は、複数のノズル1aが直線状に配列されたノズル列を有する。このノズル列は、第1基準線BL1の方向に対して所定ピッチ(この例では第2ドットピッチPyと同じピッチ)で配置されている。さらに、インクジェットヘッド1は、そのノズル列が第1基準線BL1の方向に対して複数列(この例では2列)のカラーフィルタ素子100の形成領域を含むように設定されている。この例の場合、ノズル1aのピッチは第2ドットピッチPyと同じに設定されているので、インクジェットヘッド1のノズル列長は、実効ノズル列長と実質的に同じである。
The inkjet head 1 has a nozzle row in which a plurality of nozzles 1a are arranged in a straight line. The nozzle rows are arranged at a predetermined pitch (in this example, the same pitch as the second dot pitch Py) with respect to the direction of the first reference line BL1. Further, the inkjet head 1 is set so that the nozzle row includes a plurality of (two in this example)
ここで、「実効ノズル列長」とは、図12に示すように、インクジェットヘッド1を第1基準線BL1に対して所定角度θ傾けたときに、第1基準線BL1に対するノズル列の長さLN0をいう。ノズル1aのピッチが第2ドットピッチPyと適合しない場合には、図12に示すように、インクジェットヘッド1を第1基準線BL1に対して傾けることにより、所望のノズルピッチを設定できる。図12において、符号「LN」は、インクジェットヘッド1のノズル列長を示す。 Here, the “effective nozzle row length” means the length of the nozzle row with respect to the first reference line BL1 when the inkjet head 1 is inclined at a predetermined angle θ with respect to the first reference line BL1, as shown in FIG. Refers to LN 0 . When the pitch of the nozzles 1a does not match the second dot pitch Py, a desired nozzle pitch can be set by tilting the inkjet head 1 with respect to the first reference line BL1, as shown in FIG. In FIG. 12, the symbol “LN” indicates the nozzle row length of the inkjet head 1.
基準線BL1,BL2、カラーフィルタ素子100、カラードット100aおよびカラードット形成領域100bは、以下の条件(a)〜(c)を満たしている。
The reference lines BL1 and BL2, the
(a)カラーフィルタ素子100のための各カラードット形成領域100bは、少なくともy方向の第1基準線BL1に対して、x方向における第1ドットピッチPxの整数倍の距離(NPx,Nは整数)に位置するように設定される。さらに、カラーフィルタ素子100のための各カラードット形成領域100bは、x方向の第2基準線BL2に対して、y方向における第2ドットピッチPyの整数倍の距離(N’Py,N’は整数)に位置するように設定される。
(A) Each color dot
(b)カラーフィルタ素子100の相互間の間隔は、以下のように設定される。第2基準線BL2の方向における間隔Lx1は、第1ドットピッチPxの整数倍(nPx,nはゼロを除く整数)に設定される。また、第1基準線BL1の方向における間隔Ly1は、第2ドットピッチPyの整数倍(n’Py,n’はゼロを除く整数)に設定される。
(B) The interval between the
すなわち、第2基準線BL2の方向における第1素子ピッチPExは、第1ドットピッチPxの整数倍となるように設定され、第1基準線BL1の方向における第2素子ピッチPEyは、第2ドットピッチPyの整数倍となるように設定されている。 That is, the first element pitch PEx in the direction of the second reference line BL2 is set to be an integral multiple of the first dot pitch Px, and the second element pitch PEy in the direction of the first reference line BL1 is set to the second dot. It is set to be an integral multiple of the pitch Py.
(c)第1基準線BL1から第1列目のカラーフィルタ素子100までの間隔Lx2は、第1素子ピッチPxの整数倍(mPx,mは整数)となるように設定されている。また、第2基準線BL2から第1列目のカラーフィルタ素子100までの間隔Ly1は、第2素子ピッチPyの整数倍(m’Py,m’は整数)となるように設定されている。
(C) The distance Lx2 from the first reference line BL1 to the
上記条件の(b)と(c)とを満たせば、条件(a)は満たされることになる。したがって、本実施の形態では、インクジェットヘッド1を用いたインクジェット方式によってカラードット100aを形成するには、上記条件(a)または条件(b)+(c)を満たすように、インクの吐出位置が設定される。
If the conditions (b) and (c) are satisfied, the condition (a) is satisfied. Therefore, in this embodiment, in order to form the
そして、基準線BL1,BL2の位置情報および着色層を形成するのに必要な情報に基づいて、所定の位置にインクが吐出され、カラードット100aが形成される。カラードット100aを形成するのに必要な情報は、インクジェットヘッドの動作方法などによって適宜選択され、たとえばカラードット形成領域の位置を特定する情報、着色層の色を特定する情報、カラードット形成領域に対する吐出タイミングを特定する情報、などが含まれる。
Then, based on the position information of the reference lines BL1 and BL2 and the information necessary for forming the colored layer, ink is ejected at a predetermined position, and the
なお、図6に示す例では、カラードット100aまたはカラードット形成領域100bの位置の基準として、各カラードット100aまたは各カラードット形成領域100bの基準線BL1,BL2側の一辺を採用した。もちろんこのような位置の基準として、各カラードットまたはカラードット形成領域の中心、あるいは他の位置を採用してもよい。
In the example shown in FIG. 6, one side of each
次に、図6を参照して、カラードット100aの形成方法をより具体的に説明する。図6では、第2列目のカラーフィルタ素子における第1列目のカラードット形成領域まで、インクジェットヘッド1を移動した状態を示している。インクジェットヘッド1のノズル1aによるインクの吐出が行われた領域は黒丸で示し、インクジェットヘッド1のノズルによるインクの吐出が行われない領域は白丸で示す。
Next, the method for forming the
まず、この例では、インクジェットヘッド1を基板10に対してx方向に相対的に移動させ、前述したカラードットを形成するのに必要な情報に基づいて、第1色(この例では赤(R))のインクが吐出され、赤のカラードット100aが形成される。このとき、赤以外の色のカラードット形成領域100bおよびカラーフィルタ素子100が形成されない領域では、インクが吐出されない。インクジェットヘッド1のx方向での1回の移動によって、y方向の第1、第2列の第1色カラードットが形成される。
First, in this example, the inkjet head 1 is moved relative to the
ついで、インクジェットヘッド1を基板10に対してy方向に相対的に移動させ、第3、第4列の第1色カラードットを形成する。以降は、同様にして順次2列毎に第1色カラードットを形成する。
Next, the inkjet head 1 is moved relative to the
ついで、異なる色のインクジェットヘッド1を用いて、第1色と同様に、第2色(青または緑)および第3色(残りの色)のカラードット100aを形成する。このようにして3原色の各カラードット100aが所定位置に形成されて、複数のカラーフィルタ素子100がマトリクス状に配列されたカラーフィルタ用基板1000が得られる。
Next, using the inkjet heads 1 of different colors, the
本実施の形態の製造方法によれば、各カラードット100aは、第1基準線BL1および第2基準線BL2に対して、第1ドットピッチおよび第2ドットピッチの整数倍の距離に位置するように設定されることから、カラードットの形成領域の位置データを第1ドットピッチおよび第2ドットピッチで規定でき、設計が容易となる。
According to the manufacturing method of the present embodiment, each
(カラーフィルタ用基板の特徴)
以上の製造方法によって得られたカラーフィルタ用基板1000は、図1および図2に示すように、製造方法の特徴を反映して以下の構成を有する。
(Characteristics of color filter substrate)
As shown in FIGS. 1 and 2, the
(a)カラーフィルタ素子100を構成する各カラードット100aは、y方向の第1基準線BL1に対して、x方向における第1ドットピッチPxの整数倍の距離(NPx,Nは整数)に位置する。さらに、各カラードット100aは、x方向の第2基準線BL2に対して、y方向における第2ドットピッチPyの整数倍の距離(N’Py,N’は整数)に位置する。
(A) Each
(b)カラーフィルタ素子100の相互間の間隔は、以下のようである。第2基準線BL2の方向における間隔Lx1は、第1ドットピッチPxの整数倍(nPx,nはゼロを除く整数)である。また、第1基準線BL1の方向における間隔Ly1は、第2ドットピッチPyの整数倍(n’Py,n’はゼロを除く整数)である。
(B) The spacing between the
すなわち、第2基準線BL2の方向における第1素子ピッチPExは、第1ドットピッチPxの整数倍であり、第1基準線BL1の方向における第2素子ピッチPEyは、第2ドットピッチPyの整数倍である。 That is, the first element pitch PEx in the direction of the second reference line BL2 is an integer multiple of the first dot pitch Px, and the second element pitch PEy in the direction of the first reference line BL1 is an integer of the second dot pitch Py. Is double.
(c)第1基準線BL1から第1列目のカラーフィルタ素子100までの間隔Lx2は、第1素子ピッチPxの整数倍(mPx,mは整数)である。また、第2基準線BL2から第1列目のカラーフィルタ素子100までの間隔Ly2は、第2素子ピッチPyの整数倍(m’Py,m’は整数)である。
(C) The distance Lx2 from the first reference line BL1 to the
(カラーフィルタ用基板の変形例)
[第1の変形例]
図7は、デルタ型配列のカラーフィルタ素子100を有するカラーフィルタ用基板の製造方法を示す図である。この例では、y方向に2本の第1基準線、すなわち第1基準線BL1およびBL1’を設定し、x方向に2本の第2基準線、すなわち第2基準線BL2およびBL2’を設定することができる。
(Modification of color filter substrate)
[First Modification]
FIG. 7 is a diagram showing a method for manufacturing a color filter substrate having the
この例では、x方向についてみると、奇数列目のカラードット列は、一方の第1基準線BL1に対して、第1ドットピッチPxの整数倍の距離に位置し、また、偶数列目のカラードット列は、他方の第1基準線BL1’に対して、第1ドットピッチPxの整数倍の距離に位置する。同様に、y方向についてみると、奇数列目のカラードット列は、一方の第2基準線BL2に対して、第2ドットピッチPyの整数倍の距離に位置し、また、偶数列目のカラードット列は、他方の第2基準線BL2’に対して、第2ドットピッチPyの整数倍の距離に位置する。 In this example, when viewed in the x direction, the odd-numbered color dot columns are located at a distance that is an integral multiple of the first dot pitch Px with respect to one of the first reference lines BL1, and The color dot row is located at a distance that is an integral multiple of the first dot pitch Px with respect to the other first reference line BL1 ′. Similarly, in the y direction, the odd-numbered color dot rows are located at a distance that is an integral multiple of the second dot pitch Py with respect to one second reference line BL2, and the even-numbered color dots. The dot row is located at a distance that is an integral multiple of the second dot pitch Py with respect to the other second reference line BL2 ′.
そして、x方向における、一方の第1基準線BL1と他方の第1基準線BL1’との間隔は0.5Pxであり、また、y方向における、一方の第2基準線BL2と他方の第2基準線BL2’との間隔は0.5Pyである。 The distance between one first reference line BL1 and the other first reference line BL1 ′ in the x direction is 0.5Px, and one second reference line BL2 and the other second reference line in the y direction. The distance from the reference line BL2 ′ is 0.5Py.
この例でも、ストライプ型のカラーフィルタ用基板の製造方法で述べた条件(a)ないし(c)を基本的には満たす。なお、図7に示す例では、カラードット100aの位置の基準をカラードットの中心で規定している。
Also in this example, the conditions (a) to (c) described in the method for manufacturing the stripe-type color filter substrate are basically satisfied. In the example shown in FIG. 7, the reference of the position of the
この例でも、前述した実施の形態の場合と同様、カラードットの形成領域の位置データを第1ドットピッチおよび第2ドットピッチで規定でき、設計が容易となる。 Also in this example, as in the case of the above-described embodiment, the position data of the color dot formation region can be defined by the first dot pitch and the second dot pitch, and the design becomes easy.
[第2の変形例]
図16(a)〜(c)は、カラーフィルタ用基板の変形例を示し、図6(a)はカラーフィルタ用基板を構成するカラーフィルタ素子の平面図、図6(b)は図6(a)のD−D線に沿った断面図、図6(c)は図6(a)のE−E線に沿った断面図である。図2および図3に示す部材と実質的に同じ機能を有する部材には、同一符号を付する。
[Second Modification]
FIGS. 16A to 16C show modifications of the color filter substrate, FIG. 6A is a plan view of the color filter element constituting the color filter substrate, and FIG. 6B is FIG. FIG. 6C is a cross-sectional view taken along line DD of FIG. 6A, and FIG. 6C is a cross-sectional view taken along line EE of FIG. Members having substantially the same functions as those shown in FIGS. 2 and 3 are denoted by the same reference numerals.
この例のカラーフィルタ用基板のカラーフィルタ素子100は、半透過反射型である点で、前述の透過型のカラーフィルタ用基板と異なる。
The
本実施の形態に係るカラーフィルタ素子100は、図6に示すように、透明な基板10と、光(可視光)を反射する反射層26と、光を通す透過層28とを含む。反射層26上には、バンク層24が形成されている。そして、バンク層24によって区画された着色層形成領域内には、着色層(カラードット)32(32(R),32(G),32(B))が設けられている。さらに、着色層32上には、平坦化のためのオーバーコート層40が設けられている。
As shown in FIG. 6, the
透過層28は、バンク層24によって区画される着色層形成領域の中央部に位置するように形成される。着色層(カラードット)32は、インクジェット法によって形成されている。インクジェット法によって形成された着色層では、通常、着色層形成領域の中央部が盛り上がる傾向がある。したがって、透過層28を着色層形成領域の中央部に形成することにより、反射表示時と透過表示時での光学的膜厚をほぼ等しくあるいは両者を近づけることができ、その結果、反射表示時と透過表示時とで近似した色表示を行うことができる。
The
すなわち、反射表示時には、表示に用いられる光は、図6(b)において、矢印X0で示したように、着色層32の膜厚が小さい部分を往復する状態で通過する。これに対し、透過表示時には、表示に用いられる光は、図6(b)において、矢印X1で示したように、着色層32の膜厚が大きい部分を通過する。したがって、着色層32の断面形状が図6(b),(c)に示すような凸状をなすことで、反射表示時と透過表示時での光学的膜厚を近似させることができる。
That is, when the reflective display, light used for display, in FIG. 6 (b), as indicated by the arrow X 0, to pass therethrough while reciprocating portion thickness of the
[第2の実施の形態]
図8は、本発明が適用されたカラー表示用基板の一例としてのカラー発光用基板(表示装置用母基板)を模式的に示す斜視図であり、図9は、カラー発光用基板を構成するカラー発光素子(表示装置を構成する単位)の要部を示す平面図であり、図10(D)は、図9のC−C線に沿った部分を示す断面図である。
[Second Embodiment]
FIG. 8 is a perspective view schematically showing a color light emission substrate (mother substrate for display device) as an example of a color display substrate to which the present invention is applied, and FIG. 9 constitutes the color light emission substrate. It is a top view which shows the principal part of a color light emitting element (unit which comprises a display apparatus), and FIG.10 (D) is sectional drawing which shows the part along CC line of FIG.
(カラー発光用基板の概要)
まず、カラー発光用基板2000の概要について説明する。カラー発光用基板2000は、透明な基板104上に、複数のカラー発光素子200がマトリクス状に配列されている。このカラー発光用基板は、後にこの基板を所定位置で切断することにより、複数のカラー発光体を得ることができる。
(Outline of substrate for color light emission)
First, an outline of the color
本実施の形態に係るカラー発光素子200は、図9および図10(D)に示すように、透明な基板104と、光(可視光)が実質的に透過しないバンク層105と、光が発光される発光領域130とを含む。そして、発光領域130は、バンク層105によって区画された領域であって、基板104上に積層された第1電極(この例では陽極)、正孔注入層、発光層および第2電極(この例では陰極)を有する。基板104は、支持体であると同時に光を取り出す面として機能する。従って、基板104は、光の透過特性や熱的安定性を考慮して選択される。透明基板材料としては、たとえばガラス基板、透明プラスチック等が挙げられる。
As shown in FIGS. 9 and 10D, the color
本実施の形態では、正孔注入層とは、陽極から発光層に有効に正孔を注入させ得る層であり、正孔輸送機能をも有する。また、正孔注入層とともに、正孔輸送層を別に設けてもよい。 In this embodiment, the hole injection layer is a layer that can effectively inject holes from the anode into the light emitting layer, and also has a hole transport function. In addition to the hole injection layer, a hole transport layer may be provided separately.
本実施の形態においては、第1の実施の形態と同様に、図9に示すように、1ピッチに相当する、発光領域130とバンク層105とを1カラードット(ドット要素)200aと規定する。以降の説明において、カラー発光素子200を構成するカラードット200aのx方向におけるドットピッチを第1ドットピッチPxといい、y方向におけるドットピッチを第2ドットピッチPyという。また、カラー発光用基板2000において、図8に示すように、カラー発光素子200のx方向における素子ピッチを第1素子ピッチPExといい、y方向における素子ピッチを第2素子ピッチPEyという。なお、ドットピッチおよび素子ピッチについては、第1の実施の形態と同様である。
In the present embodiment, as in the first embodiment, as shown in FIG. 9, the
バンク層105は、所定のパターンを有する。このバンク層105は、発光層が形成される領域を区画し、隣接する発光層の色材が混じり合うこと(混色)を防止する隔壁として機能する。
The
バンク層105は、第1の実施の形態と同様に、フォトリソグラフィーが可能な樹脂層によって構成される。
The
発光領域130は、光の三原色を構成する赤,緑および青の各色を発生できる複数の発光層106(R),107(G),108(B)からなる。これらの発光層は、所定の配列、たとえばストライプ配列,デルタ配列,モザイク配列またはスクウェア配列などの配列パターンによって配置され、連続した3色の発光層によって1画素が構成される。
The
本実施の形態に係るカラー発光用基板2000およびカラー発光素子200の特徴については、後述する。
Features of the color
(カラー発光用基板の製造方法)
次に、図10を参照しながら、カラー発光用基板の製造例の概要について説明する。図10(A)〜(D)は有機ELを用いたカラー発光用基板(以下、「有機EL基板」という)の製造工程を示したものである。
(Manufacturing method of color light emitting substrate)
Next, an outline of a manufacturing example of a color light emitting substrate will be described with reference to FIG. 10A to 10D show a manufacturing process of a color light emitting substrate using organic EL (hereinafter referred to as “organic EL substrate”).
(A)第1電極およびバンク層の形成
まず、図10(A)に示すように、透明基板104上に、所定パターンの第1電極(以下、「画素電極」という)101、102、103を形成する。画素電極の形成方法としては、たとえばフォトリソグラフィー、真空蒸着、スパッタリング、パイロゾル法等が挙げられるが、フォトリソグラフィーによることが好ましい。画素電極としては、透明電極が好ましい。透明電極を構成する材料としては、酸化スズ、ITO、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物等が挙げられる。
(A) Formation of First Electrode and Bank Layer First, as shown in FIG. 10A, first electrodes (hereinafter referred to as “pixel electrodes”) 101, 102, and 103 having a predetermined pattern are formed on a
つぎに、バンク層105を感光性ポリイミドで形成し、上記の各透明画素電極間を分離する。バンク層105は、隔壁としての機能とともにブラックマトリクス層としての機能も有するので、コントラストの向上、発光材料の混色の防止、隣接するカラードットとカラードットとの間からの光洩れ等を防止することができる。
Next, the
バンク層105を構成する材料としては、EL材料の溶媒に対し耐久性を有するものであれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテフロン(登録商標)化できることから、たとえばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミド等の有機材料が好ましい。液状ガラス等の無機材料を下層にした積層隔壁であってもよい。また、バンク層105は上記材料にカーボンブラック等を混入してブラックレジストとしてもよい。このバンク層105の形成方法としては、たとえばフォトリソグラフィーが挙げられる。
The material constituting the
正孔注入層、さらに必要に応じて設けられる正孔輸送層のためのインクを塗布する前に、基板104に対して酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマを用いて連続プラズマ処理を行うことができる。これにより、バンク層105の表面は撥水化され、透明画素電極101、102、103の表面は親水化され、インクジェットによる液滴に対する基板側の濡れ性を制御できる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。
Before applying the ink for the hole injection layer and, if necessary, the hole transport layer, the
(B)発光層の形成
つぎに、図10(A)に示すように、正孔注入層用インクをインクジェットプリント装置109のヘッド1から吐出し、各画素電極101、102、103上にインクを供給する。その後、溶媒を除去し、さらに熱処理を行い、発光層用インクと相溶しない正孔注入層120を形成する。本実施の形態では、各カラードットとも同じ材質の正孔注入層を形成したが、場合によっては各発光層毎で発光層に適した正孔注入材料(または正孔輸送材料)を用いて正孔注入層(または正孔輸送層)を形成してもよい。
(B) Formation of Light-Emitting Layer Next, as shown in FIG. 10A, the hole injection layer ink is ejected from the head 1 of the
さらに、図10(B)に示すように、赤色発光層用インクならびに緑色発光層用インクを、順次インクジェット方式により正孔注入層120上に塗布する。その後、溶媒を除去し、続けて窒素雰囲気中で熱処理を行い、インク組成物を硬化または共役化させて赤色発光層106、緑色発光層107を形成した。熱処理により共役化した発光層は、溶媒に不溶である。
Further, as shown in FIG. 10B, the red light emitting layer ink and the green light emitting layer ink are sequentially applied onto the
かかるインクジェット方式によれば、微細なパターニングを簡便にかつ短時間で行うことができる、また、インクの固形分濃度および吐出量を変えることにより膜厚を変えることが可能である。 According to such an ink jet method, fine patterning can be performed easily and in a short time, and the film thickness can be changed by changing the solid content concentration and the ejection amount of the ink.
また、発光層を形成する前に正孔注入層120に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行ってもよい。これにより正孔注入層(または正孔輸送層)120上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャルが高くなることにより、正孔注入効率の高い有機EL基板を提供できる。
Further, before the light emitting layer is formed, the
(C)発光層の形成
次いで、図10(C)に示すように、青色発光層108を、画素電極103上の正孔注入層120上に形成する。以上の工程により、赤、緑、青の3原色の発光層106,107,108が形成される。
(C) Formation of Light-Emitting Layer Next, as shown in FIG. 10C, the blue light-emitting
青色発光層108の形成工程では、赤色発光層106および緑色発光層107上に、青色発光層108とともにこの層と同じ材料からなる層108a,108aが形成される。これらの層108aは、発光層106,107とバンク層105との段差を埋めて平坦化することができる。このバンク層105の相互間が平坦化されることにより、第2電極(陰極)を平坦な状態で精度良く形成できる。その結果、上下の電極間のショートなどを確実に防ぐことができる。そして、青色発光層108の膜厚を調整することで、赤色発光層106および緑色発光層107上に形成された層108aは、電子注入輸送層として作用し、青色には発光しない。
In the step of forming the blue
かかる青色発光層108の形成方法としては特に限定されず、湿式法として一般的なスピンコート法またはインクジェット法を用いることができる。
A method for forming the blue
本実施の形態のように、有機発光層のうちの2色をインクジェット方式により形成し、他の一色を従来の塗布方法で形成することにより、インクジェット方式にあまり適さない発光材料であっても、インクジェット方式に用いられる他の有機発光材料と組み合わせることによりフルカラーの有機EL基板を形成することができるため、素子設計の自由度が増す。インクジェット方式以外の塗布方法としては、印刷法、転写法、ディッピング法、スピンコート法、キャスト法、キャピラリー法、ロールコート法、バーコード法等が挙げられる。 Even if the light emitting material is not very suitable for the ink jet method by forming two colors of the organic light emitting layer by the ink jet method and forming the other one color by a conventional coating method as in the present embodiment, Since a full-color organic EL substrate can be formed by combining with other organic light emitting materials used in the inkjet method, the degree of freedom in element design is increased. Examples of coating methods other than the ink jet method include a printing method, a transfer method, a dipping method, a spin coating method, a casting method, a capillary method, a roll coating method, and a barcode method.
(D)陰極の形成
ついで、図8(D)に示すように、陰極(対向電極)113を形成する。陰極113としては金属薄膜電極が好ましく、陰極を構成する金属としては、たとえばマグネシウム、銀、アルミニウム、リチウム等が挙げられる。また、これらの他に仕事関数の小さい材料を用いることができ、たとえばアルカリ金属や、カリウム等のアルカリ土類金属およびこれらを含む合金を用いることができる。また金属のフッ素化物も適用できる。このような陰極113は、蒸着法およびスパッタ法等により形成することができる。
(D) Formation of Cathode Next, as shown in FIG. 8D, a cathode (counter electrode) 113 is formed. The
さらに、陰極113の上に保護膜を形成してもよい。保護膜を形成することにより、陰極113および各発光層106、107、108の劣化、損傷および剥離等を防止することができる。
Further, a protective film may be formed on the
このような保護膜の構成材料としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、液状ガラス等が挙げられる。また、保護膜の形成方法としては、たとえばスピンコート法、キャスティング法、ディッピング法、バーコード法、ロールコート法、キャピラリー法等が挙げられる。 Examples of the constituent material of such a protective film include epoxy resin, acrylic resin, liquid glass, and the like. Examples of the method for forming the protective film include spin coating, casting, dipping, barcode, roll coating, and capillary methods.
対向電極113は、カラー発光体が適用される電気光学装置の構成に応じて設けることができる。その後、カラー発光用基板2000を所定位置で切断することで、複数のカラー発光体が形成される。
The
上述した製造方法においては、各層の材質として公知の物質を用いることができる。また、正孔注入層、発光層などの材料としては、本願出願人による特願平11−134320号、特願平11−250486号に記載されたものを用いることができる。 In the manufacturing method described above, a known substance can be used as the material of each layer. As materials for the hole injection layer and the light emitting layer, those described in Japanese Patent Application Nos. 11-134320 and 11-250486 by the applicant of the present application can be used.
また、上述した製造方法においては、3原色の発光層うちの2色の発光層をインクジェット方式で形成した例について述べたが、もちろん、3色の全てをインクジェット方式で形成してもよい。さらに、上述した製造方法においては、カラードットを構成する正孔注入層(正孔輸送層)および発光層をインクジェット方式で形成した例について述べたが、発光層のみであってもよい。 In the manufacturing method described above, the example in which the light emitting layers of two colors among the light emitting layers of the three primary colors are formed by the ink jet method has been described. Of course, all three colors may be formed by the ink jet method. Furthermore, in the manufacturing method described above, the example in which the hole injection layer (hole transport layer) and the light emitting layer constituting the color dots are formed by the ink jet method has been described, but only the light emitting layer may be used.
(製造方法の特徴)
図11は、本発明に係る製造方法の特徴を説明するための平面図であり、図10(A),(B)に対応する工程を示す。図11では、図面を簡略にするために、カラードット200aおよびカラードット形成領域200bを示している。また、図11では、ストライプ型の画素を形成する例を示している。
(Features of manufacturing method)
FIG. 11 is a plan view for explaining the characteristics of the manufacturing method according to the present invention, and shows steps corresponding to FIGS. 10 (A) and 10 (B). In FIG. 11, in order to simplify the drawing, a
本実施の形態では、カラードット200aは第1の実施の形態のカラードット100aと基本的に同じ方法によって形成される。すなわち、第1の実施の形態ではカラーフィルタ素子を構成する着色層がインクジェット方式によって形成されたのに対し、本実施の形態では、カラー発光素子を構成する、正孔注入層および発光層がインクジェット方式によって形成されている点で異なる。
In the present embodiment, the
図11に示す例では、y方向に沿って第1基準線BL1を設定し、x方向に沿って第2基準線BL2を設定する。 In the example shown in FIG. 11, the first reference line BL1 is set along the y direction, and the second reference line BL2 is set along the x direction.
本実施の形態では、インクジェットプリンティングに用いられるインクジェットヘッド1が基板104に対してx方向に相対的に移動されて、カラードット形成領域200b、具体的には発光領域130(図10(A),(B)参照)にインク(正孔注入層用インクおよび発光層用インク)が供給されて、正孔注入層および発光層が形成されて、カラードット200aが完成する。
In this embodiment, the inkjet head 1 used for inkjet printing is moved relative to the
インクジェットヘッド1は、第1の実施の形態と同様に、複数のノズル1aが直線状に配列されたノズル列を有する。このノズル列は、第1基準線BL1の方向に対して所定ピッチ(この例では第2ドットピッチPyと同じピッチ)で配置されている。さらに、インクジェットヘッド1は、そのノズル列が第1基準線BL1の方向に対して複数列(この例では2列)のカラー発光素子200の形成領域を含むように設定されている。
As in the first embodiment, the inkjet head 1 has a nozzle row in which a plurality of nozzles 1a are linearly arranged. The nozzle rows are arranged at a predetermined pitch (in this example, the same pitch as the second dot pitch Py) with respect to the direction of the first reference line BL1. Furthermore, the inkjet head 1 is set so that the nozzle row includes a plurality of rows (two rows in this example) of color
基準線BL1,BL2、カラー発光素子200、カラードット200aおよびカラードット形成領域200bは、第1の実施の形態と同様に、以下の条件(a)〜(c)満たしている。
The reference lines BL1 and BL2, the color
(a)カラー発光素子200のための各カラードット形成領域200bは、少なくともy方向の第1基準線BL1に対して、x方向における第1ドットピッチPxの整数倍の距離(N’Px,N’は整数)に位置するように設定される。さらに、各カラードット形成領域200bは、x方向の第2基準線BL2に対して、y方向における第2ドットピッチPyの整数倍の距離(NPy,Nは整数)に位置するように設定される。
(A) Each color dot
(b)カラー発光素子200の相互間の間隔は、以下のように設定される。第2基準線BL2の方向における間隔Lx1は、第1ドットピッチPxの整数倍(nPx,nはゼロを除く整数)に設定される。また、第1基準線BL1の方向における間隔Ly1は、第2ドットピッチPyの整数倍(n’Py,n’はゼロを除く整数)に設定される。
(B) The interval between the color
すなわち、第2基準線BL2の方向における第1素子ピッチPExは、第1ドットピッチPxの整数倍となるように設定され、第1基準線BL1の方向における第2素子ピッチPEyは、第2ドットピッチPyの整数倍となるように設定されている。 That is, the first element pitch PEx in the direction of the second reference line BL2 is set to be an integral multiple of the first dot pitch Px, and the second element pitch PEy in the direction of the first reference line BL1 is set to the second dot. It is set to be an integral multiple of the pitch Py.
(c)第1基準線BL1から第1列目のカラー発光素子200までの間隔Lx2は、第1素子ピッチPxの整数倍(mPx、mは整数)となるように設定されている。また、第2基準線BL2から第1列目のカラー発光素子200までの間隔Ly1は、第2素子ピッチPyの整数倍(m’Py、m’は整数)となるように設定されている。
(C) The interval Lx2 from the first reference line BL1 to the first column of color
上記条件の(b)と(c)とを満たせば、条件(a)は満たされることになる。したがって、本実施の形態では、インクジェットヘッド1を用いたインクジェット方式によってカラードット200aを形成するには、上記条件(a)または条件(b)+(c)を満たすように、インクの吐出位置が設定される。
If the conditions (b) and (c) are satisfied, the condition (a) is satisfied. Therefore, in the present embodiment, in order to form the
そして、基準線BL1,BL2の位置情報および、正孔注入層および発光層を形成するのに必要な情報に基づいて、所定の位置にインクが吐出され、カラードット200aが形成される。カラードット200aを形成するのに必要な情報は、インクジェットヘッドの動作方法などによって適宜選択され、たとえばカラードット形成領域の位置を特定する情報、発光層の色を特定する情報、カラードット形成領域に対する吐出タイミングを特定する情報、などが含まれる。
Then, based on the position information of the reference lines BL1 and BL2 and the information necessary for forming the hole injection layer and the light emitting layer, ink is ejected at a predetermined position, and the
次に、図11を参照して、カラードット200aの形成方法をより具体的に説明する。図11では、第2列目のカラーフィルタ素子における第1列目のカラードット形成領域まで、インクジェットヘッド1を移動した状態を示している。インクジェットヘッド1のノズル1aによるインクの吐出が行われた領域は黒丸で示し、インクジェットヘッド1のノズルによるインクの吐出が行われない領域は白丸で示す。
Next, the method for forming the
この例では、インクジェットヘッド1を基板10に対してx方向に相対的に移動させ、前述したカラードットを形成するのに必要な情報に基づいて、正孔注入層、必要に応じて形成される正孔輸送層、および発光層が順次形成される。
In this example, the ink jet head 1 is moved relative to the
まず、正孔注入層(図10(a)を参照)および必要に応じて形成される正孔輸送層が形成される。ついで、第1色(この例では赤(R))のカラードット200aを形成する。この例では、インクジェットヘッド1のx方向での1回の移動によって、y方向の第1、第2列の正孔注入層、必要に応じて形成される正孔輸送層、および第1色発光層が形成される。
First, a hole injection layer (see FIG. 10A) and a hole transport layer formed as necessary are formed. Next, a
ついで、インクジェットヘッド1を基板10に対してy方向に相対的に移動させ、第3、第4列の第1色カラードットを形成する。以降は、同様にして順次2列毎に第1色カラードットを形成する。
Next, the inkjet head 1 is moved relative to the
ついで、異なる色のインクジェットヘッド1を用いて、第1色と同様に、第2色(青または緑)および第3色(残りの色)のカラードット200aを形成することができる。このようにして、少なくとも正孔注入層および3原色の各カラードット200aが所定位置に形成されて、複数のカラー発光素子200がマトリクス状に配列されたカラー発光用基板2000が得られる。
Next, using the inkjet heads 1 of different colors, the
また、図10に示した方法のように、3色のうちの1色は、インクジェット方式以外の他の塗布法によって形成してもよい。 Further, like the method shown in FIG. 10, one of the three colors may be formed by a coating method other than the ink jet method.
本実施の形態の製造方法によれば、第1の実施の形態と同様に、ドットピッチによって吐出タイミングを設定できるので、設計が容易となる。 According to the manufacturing method of the present embodiment, since the ejection timing can be set by the dot pitch as in the first embodiment, the design becomes easy.
(カラー発光用基板の特徴)
以上の製造方法によって得られたカラー発光用基板2000は、製造方法の特徴を反映して以下の構成を有する。
(Characteristics of color light emitting substrate)
The color
(a)カラー発光素子200を構成する各カラードット200aは、図8および図11に示すように、y方向の第1基準線BL1に対して、x方向における第1ドットピッチPxの整数倍の距離(NPx,Nは整数)に位置する。さらに、各カラードット200aは、x方向の第2基準線BL2に対して、y方向における第2ドットピッチPyの整数倍の距離(N’Py,N’は整数)に位置する。
(A) As shown in FIGS. 8 and 11, each
(b)カラー発光素子200の相互間の間隔は、以下のようである。第2基準線BL2の方向における間隔Lx1は、第1ドットピッチPxの整数倍(nPx,nはゼロを除く整数)である。また、第1基準線BL1の方向における間隔Ly1は、第2ドットピッチPyの整数倍(n’Py,n’はゼロを除く整数)である。
(B) The interval between the color
すなわち、第2基準線BL2の方向における第1素子ピッチPExは、第1ドットピッチPxの整数倍であり、第1基準線BL1の方向における第2素子ピッチPEyは、第2ドットピッチPyの整数倍である。 That is, the first element pitch PEx in the direction of the second reference line BL2 is an integer multiple of the first dot pitch Px, and the second element pitch PEy in the direction of the first reference line BL1 is an integer of the second dot pitch Py. Is double.
(c)第1基準線BL1から第1列目のカラー発光素子200までの間隔Lx2は、第1素子ピッチPxの整数倍(mPx,mは整数)である。また、第2基準線BL2から第1列目のカラー発光素子200までの間隔Ly2は、第2素子ピッチPyの整数倍(m’Py,m’は整数)である。
(C) The distance Lx2 from the first reference line BL1 to the first column of color
また、カラー発光用基板においても、デルタ配列の画素については、第1の実施の形態(図7参照)で述べたと同様のことがいえる。 In the color light emitting substrate, the same can be said for the pixels in the delta arrangement as described in the first embodiment (see FIG. 7).
[第3の実施の形態]
(電気光学装置)
図13に、第1の実施の形態のカラーフィルタ用基板1000から得られたカラーフィルタ1000Aを組み込んだ電気光学装置の一例として、カラー液晶表示装置1100の要部の断面図を示す。
[Third Embodiment]
(Electro-optical device)
FIG. 13 is a cross-sectional view of a main part of a color liquid
カラー液晶表示装置1100は、カラーフィルタ1000Aと対向基板80とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物70を封入することにより構成される。液晶表示装置1100の一方の基板80の内側の面には、TFT(薄膜トランジスタ)素子(図示せず)と画素電極52とがマトリクス状に形成される。また、もう一方の基板として、画素電極52に対向する位置に赤,緑,青の着色層32が配列するようにカラーフィルタ1000Aが設置される。基板80とカラーフィルタ1000Aの対向するそれぞれの面には、配向膜60,62が形成されている。これらの配向膜60,62はラビング処理されており、液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、基板10および基板80の外側の面には、偏光板90,92がそれぞれ接着されている。また、バックライトとしては蛍光灯(図示せず)と散乱板の組み合わせが一般的に用いられており、液晶組成物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
The color liquid
図17に、第2の実施の形態を適用したカラー発光用基板2000から得られたカラー発光体2000Aを組み込んだ電気光学装置の一例として、カラーEL表示装置2100の要部の断面図を示す。
FIG. 17 is a cross-sectional view of a main part of a color
カラーEL表示装置2100は、基体112上にカラー発光体2000Aが配置されて構成される。カラー発光体2000Aの基板104上には、TFT(薄膜トランジスタ)素子などのスイッチング素子202がマトリクス状に形成される。隣接するスイッチング素子202は、絶縁層206によって分離されている。
The color
発光領域130は、発光層122と、正孔注入層120と、第1および第2電極204,208からなる一対の電極層を含む。
The
発光層122は、基板104の上に所定のマトリクスパターンで配列され、かつバンク層105によって区画されている。また、発光層122は、第1電極(陽極)204と第2電極(陰極)208との間に形成されている。発光層122は、光の三原色を構成する赤,緑および赤の各色を有する複数の発光層からなる。発光層122は、たとえばエレクトロルミネッセンスによって発光可能な有機材料から形成される。また、陽極204と発光層122との間に正孔注入層120が形成されている。
The
[第4の実施の形態]
(電子機器)
以下に、本発明に係る電気光学装置として液晶表示装置を用いた電子機器の例を示す。
[Fourth Embodiment]
(Electronics)
Examples of electronic equipment using a liquid crystal display device as an electro-optical device according to the invention will be described below.
(1)ディジタルスチルカメラ
本発明に係る液晶表示装置1100をファインダに用いたディジタルスチルカメラについて説明する。図14は、このディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図であり、さらに外部機器との接続についても簡易的に示すものである。
(1) Digital Still Camera A digital still camera using the liquid
通常のカメラは、被写体の光像によってフィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ2000は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号を生成するものである。ここで、ディジタルスチルカメラ3000におけるケース2202の背面(図14においては前面側)には、上述した液晶表示装置1100の液晶パネルが設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて、表示を行う構成となっている。このため、液晶表示装置1100は、被写体を表示するファインダとして機能する。また、ケース2202の前面側(図14においては裏面側)には、光学レンズやCCDなどを含んだ受光ユニット2204が設けられている。
A normal camera sensitizes a film with a light image of a subject, whereas a
ここで、撮影者が液晶表示装置1100に表示された被写体像を確認して、シャッタボタン2206を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、回路基板2208のメモリに転送・格納される。また、このディジタルスチルカメラ2000にあっては、ケース2202の側面に、ビデオ信号出力端子2212と、データ通信用の入出力端子2214とが設けられている。そして、図14に示されるように必要に応じて、前者のビデオ信号出力端子2212にはテレビモニタ2300が接続され、また、後者のデータ通信用の入出力端子2214にはパーソナルコンピュータ2400が接続される。さらに、所定の操作によって、回路基板2208のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ2300や、パーソナルコンピュータ2400に出力される構成となっている。
When the photographer confirms the subject image displayed on the liquid
(2)携帯電話、その他の電子機器
図15(A)、(B)、および(C)は、本発明に係る電気光学装置として液晶表示装置を用いた、他の電子機器の例を示す外観図である。図15(A)は、携帯電話機4000であり、その前面上方に液晶表示装置1100を備えている。図15(B)は、腕時計5000であり、本体の前面中央に液晶表示装置1100を用いた表示部が設けられている。図15(C)は、携帯情報機器5000であり、液晶表示装置1100からなる表示部と入力部5100とを備えている。
(2) Cellular phone and other electronic devices FIGS. 15A, 15B, and 15C are external views showing examples of other electronic devices using a liquid crystal display device as an electro-optical device according to the present invention. FIG. FIG. 15A illustrates a
これらの電子機器は、液晶表示装置1100の他に、図示しないが、表示情報出力源、表示情報処理回路、クロック発生回路などの様々な回路や、それらの回路に電力を供給する電源回路などからなる表示信号生成部を含んで構成される。表示部には、例えば携帯情報機器6000の場合にあっては入力部5100から入力された情報等に基づき表示信号生成部によって生成された表示信号が供給されることによって表示画像が形成される。
In addition to the liquid
本発明に係る液晶表示装置1100が組み込まれる電子機器としては、ディジタルスチルカメラ、携帯電話機、腕時計、および携帯情報機器に限らず、電子手帳、ページャ、POS端末、ICカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ(PC)およびエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ノート型パーソナルコンピュータ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計など様々な電子機器が考えられる。
The electronic device in which the liquid
なお、液晶表示パネルは、駆動方式で言えば、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリクス液晶表示パネルやスタティック駆動液晶表示パネル、またTFT(薄膜トランジスタ)で代表される三端子スイッチング素子あるいはTFD(薄膜ダイオード)で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリクス液晶表示パネル、電気光学特性で言えば、TN型、STN型、ゲストホスト型、相転移型、強誘電型など、種々のタイプの液晶パネルを用いることができる。 In terms of the driving method, the liquid crystal display panel is a simple matrix liquid crystal display panel or static drive liquid crystal display panel that does not use a switching element in the panel itself, a three-terminal switching element represented by a TFT (thin film transistor), or a TFD (thin film). Active matrix liquid crystal display panels using two-terminal switching elements represented by diodes). Various types of liquid crystal such as TN type, STN type, guest host type, phase transition type, and ferroelectric type in terms of electro-optical characteristics Panels can be used.
本発明に係る装置は、そのいくつかの特定の実施の形態に従って説明してきたが、本発明はその要旨の範囲内で種々の変形が可能である。例えば上述した実施の形態では、電気光学装置の映像表示手段(電気光学表示部)として液晶表示装置やEL表示装置を使用した場合について説明したが、本発明ではこれに限定されず、例えば薄型のブラウン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、エレクトロルミネッセンス、プラズマディスプレイ、CRTディスプレイ、FED(Field Emission Display)パネル、電気泳動ディスプレイ等の種々の電気光学手段を使用することができる。 Although the apparatus according to the present invention has been described according to some specific embodiments thereof, the present invention can be modified in various ways within the scope of the gist thereof. For example, in the above-described embodiment, the case where a liquid crystal display device or an EL display device is used as the image display means (electro-optical display unit) of the electro-optical device has been described. Various electro-optical means such as a small-sized television using a cathode ray tube or a liquid crystal shutter, electroluminescence, plasma display, CRT display, FED (Field Emission Display) panel, and electrophoretic display can be used.
10,104 基板、20 遮光領域、22 遮光層、24 バンク層、26 反射層、
28 透過層、30 透過領域、32 着色層、40 オーバーコート層、
50 共通電極、52 画素電極、60,62 配向膜、70 液晶層、80 基板、
90,92 偏光板、100 カラーフィルタ素子、100a カラードット、
100b カラードット形成領域、101,102,103 画素電極、
106,107,108 発光層、122 発光層、130 発光領域、
200 カラー発光素子、200a カラードット、200b カラードット形成領域、
202 スイッチング素子、204 第1電極(陽極)、208 第2電極(陰極)、
1000 カラーフィルタ用基板、1000A カラーフィルタ、
1100 液晶表示装置、2000 カラー発光用基板、
2100 カラーEL表示装置、3000 ディジタルスチルカメラ、
4000 パーソナルコンピュータ、5000 腕時計、6000 携帯情報機器、
Px,Py ドットピッチ、PEx,PEy 素子ピッチ、BL1 第1基準線、
BL2 第2基準線
10, 104 substrate, 20 light shielding region, 22 light shielding layer, 24 bank layer, 26 reflection layer,
28 transmission layer, 30 transmission region, 32 colored layer, 40 overcoat layer,
50 common electrode, 52 pixel electrode, 60, 62 alignment film, 70 liquid crystal layer, 80 substrate,
90, 92 Polarizing plate, 100 color filter element, 100a color dot,
100b color dot formation region, 101, 102, 103 pixel electrode,
106, 107, 108 light emitting layer, 122 light emitting layer, 130 light emitting region,
200 color light emitting element, 200a color dot, 200b color dot formation region,
202 switching element, 204 first electrode (anode), 208 second electrode (cathode),
1000 color filter substrate, 1000A color filter,
1100 liquid crystal display device, 2000 color light emitting substrate,
2100 color EL display device, 3000 digital still camera,
4000 personal computer, 5000 wristwatch, 6000 portable information device,
Px, Py dot pitch, PEx, PEy element pitch, BL1 first reference line,
BL2 Second reference line
Claims (8)
各々が表示装置を構成する複数の単位、および
並んで配列される複数のドット要素、を含み、
前記複数のドット要素は、各単位内において所定の方向に第1ドットピッチで配列されてなり、
各前記単位に含まれる前記複数のドット要素の1つと、他の前記単位に含まれる前記複数のドット要素の1つとが前記所定の方向において前記第1ドットピッチの実質的に整数倍で並んでなることを特徴とする表示装置用母基板。 In the mother board for display device,
Each including a plurality of units constituting the display device, and a plurality of dot elements arranged side by side,
The plurality of dot elements are arranged at a first dot pitch in a predetermined direction within each unit,
One of the plurality of dot elements included in each of the units and one of the plurality of dot elements included in the other unit are arranged at an integer multiple of the first dot pitch in the predetermined direction. A mother board for a display device, characterized in that
前記ドット要素は、各単位内において前記所定の方向と直交する方向に第2ドットピッチで配列されてなり、
各前記単位に含まれる前記複数のドット要素の1つと、他の前記単位に含まれる前記複数のドット要素の1つとが前記所定の方向と直交する方向において前記第2ドットピッチの実質的に整数倍で並んでなることを特徴とする表示装置用母基板。 In claim 1,
The dot elements are arranged at a second dot pitch in a direction orthogonal to the predetermined direction within each unit,
One of the plurality of dot elements included in each unit and one of the plurality of dot elements included in the other unit are substantially integers of the second dot pitch in a direction orthogonal to the predetermined direction. A mother board for a display device, wherein the mother board is arranged in double.
液滴を選択的にノズルから吐出することによって複数のドット要素を形成する工程を備え、
前記複数のドット要素は、基準線と直交する方向においてドットピッチを有し、
前記複数のドット要素の各々を、少なくとも前記基準線に対して前記ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置するように形成することを特徴とする成膜方法。 In the film forming method,
Comprising a step of forming a plurality of dot elements by selectively discharging droplets from a nozzle;
The plurality of dot elements have a dot pitch in a direction orthogonal to a reference line;
Each of the plurality of dot elements is formed so as to be located at a distance that is substantially an integer multiple of the dot pitch with respect to at least the reference line.
走査可能なヘッドと、
前記ヘッドに配列され、液滴を吐出する複数のノズルと、
を備え、
前記ヘッドを走査して前記液滴を選択的に前記ノズルから吐出することによって複数のドット要素を形成し、
前記複数のドット要素は、基準線の方向において配列され、かつ前記基準線の方向において所定のドットピッチを有し、
前記ノズル列は、前記基準線の方向に対して実効ノズル列長を有し、
前記実効ノズル列長は、前記所定のドットピッチの実質的に整数倍であることを特徴とする成膜装置。 In the film forming apparatus,
A scannable head;
A plurality of nozzles arranged in the head and discharging droplets;
With
Forming a plurality of dot elements by scanning the head and selectively ejecting the droplets from the nozzle;
The plurality of dot elements are arranged in a direction of a reference line, and have a predetermined dot pitch in the direction of the reference line,
The nozzle row has an effective nozzle row length with respect to the direction of the reference line,
The film forming apparatus, wherein the effective nozzle row length is substantially an integral multiple of the predetermined dot pitch.
各々が表示装置を構成する複数の単位と、
前記複数の単位の各々を構成する複数の画素と、
前記複数の画素の各々を構成する複数のドット要素と、を備え、
前記複数のドット要素は、第1基準線と直交する方向において第1ドットピッチを有し、
前記複数のドット要素の各々は、少なくとも第1基準線に対して第1ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置することを特徴とする表示装置用母基板。 In the mother board for display device,
A plurality of units each constituting a display device;
A plurality of pixels constituting each of the plurality of units;
A plurality of dot elements constituting each of the plurality of pixels,
The plurality of dot elements have a first dot pitch in a direction orthogonal to the first reference line,
Each of the plurality of dot elements is located at a distance substantially an integral multiple of the first dot pitch with respect to at least the first reference line.
さらに、前記複数のドット要素の各々は、前記第1基準線と直交する第2基準線に対して、該第2基準線と直交する方向における第2ドットピッチの実質的に整数倍の距離に位置することを特徴とする表示装置用母基板。 In claim 5,
Further, each of the plurality of dot elements is at a distance that is substantially an integer multiple of the second dot pitch in the direction orthogonal to the second reference line with respect to the second reference line orthogonal to the first reference line. A mother board for a display device, characterized by being positioned.
前記複数の単位の相互間の間隔は、前記第1基準線の方向においては、第2ドットピッチの整数倍であり、かつ前記第2基準線の方向においては、第1ドットピッチの整数倍であることを特徴とする表示装置用母基板。 In claim 6,
The interval between the plurality of units is an integer multiple of the second dot pitch in the direction of the first reference line, and an integer multiple of the first dot pitch in the direction of the second reference line. A display device mother board.
前記複数の単位の配列は、前記第1基準線の方向においては、第2素子ピッチの整数倍であり、かつ前記第2基準線の方向においては、第1素子ピッチの整数倍であることを特徴とする表示装置用母基板。 In claim 7,
The arrangement of the plurality of units is an integer multiple of the second element pitch in the direction of the first reference line, and an integer multiple of the first element pitch in the direction of the second reference line. A mother board for a display device.
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A761 | Written withdrawal of application |
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