JP2005024326A - 接触式プローブ及びそれを用いた測定装置 - Google Patents
接触式プローブ及びそれを用いた測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005024326A JP2005024326A JP2003188097A JP2003188097A JP2005024326A JP 2005024326 A JP2005024326 A JP 2005024326A JP 2003188097 A JP2003188097 A JP 2003188097A JP 2003188097 A JP2003188097 A JP 2003188097A JP 2005024326 A JP2005024326 A JP 2005024326A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- contact
- axial direction
- substantially spherical
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 145
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims abstract description 120
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 65
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 55
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】被測定物114に対し所定の測定力で任意の方向より接触する略球状先端部112をもつスタイラス110と、前記スタイラス110を保持するプローブ本体124と、を備えた接触式プローブ130において、前記スタイラス110の略球状先端部112における剛性が、その全方向において同一であることを特徴とする接触式プローブ130。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は接触式プローブ及びそれを用いた測定装置、特にスタイラスの保持機構の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、被測定物の各部の寸法や形状を測定するため、三次元測定機等の測定装置が用いられている。
測定装置は、互いに直交する案内と、案内の移動量を求めるスケール及びプローブをもち、それぞれの移動量からプローブの座標値を求めることができる。そして、測定によって得られた被測定物上の座標値から必要とする穴径や穴位置・段差などの寸法や、各部の形状がデータ処理によって求められる。
【0003】
ところで、前述のような測定装置では、被測定物との相対移動を行う接触式プローブが用いられる(例えば特許文献1〜4参照)。
接触式プローブとしては、タッチプローブ(例えば特許文献3参照)、倣いプローブ(例えば特許文献4参照)等がある。
例えばタッチプローブを用いた場合は、タッチプローブと被測定物との相対移動を行い、スタイラス先端部が被測定物に接触した瞬間の座標値情報を収集する。 また倣いプローブを用いた場合は、スタイラス先端部が被測定物に接触した状態で、倣いプローブと被測定物との相対移動を行いながら、座標値情報を収集する。
【0004】
【特許文献1】
特開平5−223557号公報
【特許文献2】
特開2002−310636号公報
【特許文献3】
特開平5−248847号公報
【特許文献4】
特開平5−256640号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記測定装置であっても、被測定物に対するプローブの接触方向の違いによる感度のばらつきは、改善の余地が残されていた。
すなわち、測定装置の高精度化に伴って、プローブにも高精度が要求されている。
本発明者らによれば、接触式プローブにおいても、被測定物との接触がどの方向からでも同一の精度で測定するために、全方向での感度を同一にすることが重要であることがわかった。
【0006】
しかしながら、プローブ全体を高精度化しても、スタイラスないしエクステンションロッド自体が、加わる力の方向によって変形量が異なるため、プローブの高精度化にも限界があった。
すなわち、図7に示すようにスタイラス10の球状先端部12を被測定物14に当て、測定力16を加えると、同図に示されるような微小変位が発生、つまりスタイラス軸18の撓み(撓み量δ)が発生する。
このため測定力16を加えた位置20と、真に接触した位置22とにずれが生じる。これにより接触式プローブでは、真のボール半径rでなく、見かけのボール半径r´で測定を行うことになる。
この見かけのボール半径r´の2倍を補正ボール径と呼び、通常、三次元測定機では、測定前に基準球を測定し、補正ボール径を求めている。求められた補正ボール径で測定結果を補正している。
【0007】
ここで、プローブと被測定物との接触方向は、任意の方向が考えられるので、高精度の測定を行うためには、この補正ボール径はどの方向より測定しても等しいことが必要である。
しかしながら、スタイラスが軸方向に測定力を加えた場合と、半径方向に加えた場合とでは、スタイラス10の軸線の変形量が異なり、この差は測定誤差となってしまう。
特に図8に示されるような被測定物14の深部の測定を行うため、スタイラス10と三次元用プローブ(プローブ本体)24間にエクステンションロッド26を設け、スタイラス10の球状先端部12の三次元用プローブ24よりの突出長さを伸ばすと、より大きな測定誤差となる。
【0008】
そこで、従来は、高精度の測定結果を得るため、被測定物との接触方向に応じたボール補正量で、測定結果を補正する必要があるが、手間がかかり、また精度の面でも満足のゆくものでなかった。
すなわち、測定結果を修正するのに用いられる補正ボール径としては、実際の被測定物との接触方向と厳密に一致する方向のものを選択する必要があるが、実際の被測定物との接触方向の高精度な特定は難しいので、実際の被測定物との接触方向とは厳密に一致しない方向の補正ボール径を選択してしまうことがある。
【0009】
従来、補正ボール径は、方向によって異なる可能性があるので、測定結果を、最適な補正ボール径で修正することができないことがあった。
したがって、従来より、プローブと被測定物との接触方向にかかわらず、精度の高い測定結果が得られる技術の開発が望まれていたものの、従来はこれを解決することのできる適切な技術が存在しなかった。
本発明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、被測定物との接触方向にかかわらず、精度の高い測定結果が得られる接触式プローブ及びそれを用いた測定装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者らが、接触式プローブの感度の方向性改善について鋭意検討を行った結果、被測定物との接触方向にかかわらず、精度の高い測定結果を得るためには、スタイラス先端部の全方向において、同じボール補正量とすることが重要であることがわかった。
そして、本発明者らは、以下に示すような平行リンク機構を用いて、スタイラスないしエクステンションロッドに対し、軸方向への適切な量の変位を行わせ、その軸方向と半径方向とで実質的な変形量(剛性)を同じにすることにより、一定のボール補正量が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、前記目的を達成するために本発明にかかる接触式プローブは、スタイラスと、プローブ本体と、を備えた接触式プローブにおいて、前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、その全方向において同一であることを特徴とする。
【0011】
ここで、前記スタイラスは、被測定物に対し所定の測定力で任意の方向より接触する略球状先端部をもつ。
またプローブ本体は、前記スタイラスを保持する。
ここにいうスタイラスの略球状先端部における剛性とは、測定力によるスタイラス軸の圧縮量ないし撓み量、測定力によるスタイラス略球状先端部の半径方向の変形量を含めていう。
ここにいう剛性が、その全方向において同一であるとは、測定力の大きさが同じであれば、その測定力の方向にかかわらず、前記変形量が同じであることをいう。
ここにいう略球状とは、完全な球体の場合と、球体の一部のみを構成する場合、例えば半球体等を含めていう。
【0012】
本発明のスタイラスとしては、エクステンションロッドが設けられているもの、エクステンションロッドが設けられていないものを含めていう。
本発明の接触式プローブとしては、三次元測定機用タッチプローブ、倣いプローブ等が一例として挙げられる。
なお、本発明においては、前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、該スタイラスの軸方向及び該軸方向と略直交する半径方向において同一であることが好適である。
【0013】
また本発明においては、エクステンションロッドを備え、前記エクステンションロッドが設けられた状態で、前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、その全方向において同一であることが好適である。
ここで、前記エクステンションロッドは、前記スタイラスの軸線上に位置する軸をもち、前記プローブ本体と該スタイラス間に設けられる。
本発明のエクステンションロッドとしては、例えばプローブ本体とスタイラス略球状先端部間の軸方向の長さを延長するために用いられるものが一例として挙げられる。
【0014】
また本発明においては、平行リンク機構を備えることが好適である。
ここで、前記平行リンク機構は、前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、前記軸方向及び半径方向において同一となるように、該スタイラスをその軸方向に変位自在となるように保持する。
また本発明において、前記平行リンク機構は、前記スタイラス略球状先端部の軸方向への変形量δ3が、下記数2の関係を満足するように、該スタイラスをその軸方向に変位自在に保持することが好適である。
【0015】
【数2】
δ2=δ1+δ3
ただし、前記δ1は、前記スタイラス略球状先端部の軸方向に所定の大きさの測定力を加えた場合の、前記平行リンク機構による変形量を除いた該スタイラス略球状先端部での軸方向への変形量。
前記δ2は、前記スタイラス略球状先端部の半径方向に前記測定力と同じ大きさの測定力を加えた場合の、該スタイラス略球状先端部での半径方向への変形量。
前記δ3は、前記スタイラス略球状先端部の軸方向に前記測定力と同じ大きさの測定力を加えた場合の、前記平行リンク機構による該スタイラス略球状先端部の軸方向への変形量。
本発明の変形(変位)とは、前記スタイラス略球状先端部での定位置からの変形(変位)をいう。
【0016】
また本発明において、前記平行リンク機構は、前記数2の関係を満足するように選定された板ばねを備えることが好適である。
本発明の板ばねは、前記数2の関係を満足するような寸法ないし材質であることが好適である。またその種類は、例えば重ね板ばね、薄板ばね等が一例として用いられる。
【0017】
また本発明において、前記エクステンションロッドは、前記平行リンク機構を内蔵できるように中空状に構成される。前記平行リンク機構は、互いに平行に配置され、かつ同じ長さをもつ前記板ばねと共に、平行四辺形を構成するように、互いに平行に配置され、かつ同じ長さをもつ固定部材及び可動部材を備える。前記固定部材は、前記エクステンションロッド内に固定される。前記可動部材は、前記エクステンションロッド内で、前記板ばねを介して前記固定部材に対し、前記スタイラスの軸方向に変位する。前記スタイラスは、前記可動部材に設けられ、該可動部材と共に該固定部材に対し、その軸方向に変位することが好適である。
【0018】
また前記目的を達成するために本発明にかかる測定装置は、前記接触式プローブと、座標値情報取得手段と、仮試料情報取得手段と、補正情報記憶手段と、真試料情報取得手段と、を備え、前記接触式プローブと被測定物との接触方向にかかわらず、同一の補正情報を用いて、前記仮試料情報取得手段により得られた被測定物の仮の寸法情報ないし形状情報を補正することを特徴とする。
ここで、前記座標値情報取得手段は、前記被測定物と接触式プローブとの相対移動量情報に基づいて、前記接触式プローブの座標値情報を得る。
【0019】
また前記仮試料情報取得手段は、前記座標情報取得手段により得られた座標値情報に基づいて、前記被測定物の仮の寸法情報ないし形状情報を得る。
前記補正情報記憶手段は、前記接触式プローブにより予め得ておいた補正ボール径に基づいて定められた一の補正情報を記憶している。
前記真試料情報取得手段は、前記仮試料情報取得手段により得られた被測定物の仮の寸法情報ないし形状情報を、前記補正情報記憶手段に記憶しておいた一の補正情報で補正し、前記被測定物の真の値とみなし得る寸法情報ないし形状情報を得る。
【0020】
【発明の実施の形態】
まず本発明において第一に特徴的なことは、スタイラスの略球状先端部の位置で、その略球状先端部の半径方向とその軸方向との剛性を同一にしたことである。
以下、図面に基づき本発明の好適な一実施形態について説明する。
【0021】
図1には本発明の一実施形態にかかる接触式プローブの概略構成が示されている。図2には同様の接触式プローブのエクステンションロッド及びスタイラスの外観斜視図が示されている。なお、前記従来技術と対応する部分には符号100を加えて示し説明を省略する。
【0022】
同図に示す接触式プローブ130は、スタイラス110と、プローブ本体124を備える。
ここで、前記スタイラス110は、被測定物114に対し適切な測定力で任意の方向より接触することのできる略球状先端部112をもつ。
また前記プローブ本体124は、スタイラス110を保持し、スタイラス110の略球状先端部112が被測定物114に接触した瞬間にタッチ信号を出力する。
【0023】
本発明において特徴的なことは、スタイラス110の略球状先端部112における剛性をその全方向、特に半径方向と軸方向において同一としたことである。このために本実施形態においては、エクステンションロッド126を設けた状態で、スタイラス110の略球状先端部112における剛性を、その全方向(任意の接触方向)、特に軸方向(図中矢印Z方向)と、半径方向(図中矢印Z方向以外の方向)において同一としている。
すなわち、本実施形態においては、スタイラス110の略球状先端部112のプローブ本体124よりの突出長さ(軸方向)を延長するためにエクステンションロッド126を備える。
エクステンションロッド126は、スタイラス110の軸線上に位置する軸をもち、プローブ本体124とスタイラス110間に設けられている。
本実施形態にかかる接触式プローブ130は概略以上のように構成され、以下にその作用について説明する。
【0024】
本実施形態においては、接触式プローブ130と被測定物114との接触方向による補正ボール径の誤差を排除するために、スタイラス110の略球状先端部112の位置で、全方向(特に半径方向と軸方向)に均一な剛性をもつエクステンションロッド126を使用している。
この結果、本実施形態においては、補正ボール径を、どの方向より測定しても等しくできるので、より高精度な測定が行える。
すなわち、接触式プローブでは、測定力が弱すぎると繰返し精度が悪くなり、逆に強すぎると測定誤差が大きくなるため、使用する前に測定力を適切に設定する必要がある。
しかしながら、接触式プローブでは、測定力のためにスタイラス軸の変形が発生してしまい、真のボール半径でなく、見かけのボール半径で測定を行うことになる。
【0025】
従来、補正ボール径は、プローブと被測定物との接触方向によって異なるので、各方向について補正ボール径を得ていたが、このような方向性をもつ補正ボール径で測定結果を補正していたのでは、満足のゆく精度の結果が得られなかった。
そこで、本実施形態においては、エクステンションロッドを設けた状態で、スタイラスの略球状先端部の位置で、半径方向と軸方向の剛性を同一にしている。この結果、本実施形態においても、スタイラスを被測定物にあてて、測定力を加えたときにスタイラスの変形が発生するので、真のボール半径でなく、見かけのボール半径で測定を行うことになる。しかしながら、本実施形態においては、プローブと被測定物との接触方向にかかわらず、同じボール半径で測定を行うことになる。
すなわち、従来方式では、同じ大きさの測定力であっても、プローブと被測定物との接触方向によってスタイラスの変形量が異なる。
【0026】
これに対し、本実施形態においては、同じ大きさの測定力であれば、プローブと被測定物との接触方向にかかわらず、同じスタイラスの変形量となる。特にスタイラスが半径方向に測定力を加えた場合の変形量と、軸方向に測定力を加えた場合の変形量が同じとなる。
したがって、本実施形態においては、プローブと被測定物との接触方向にかかわらず、同じボール半径で測定を行うことになる。
【0027】
このため、本実施形態においては、エクステンションロッドを用いても、プローブと被測定物との接触方向にかかわらず、同一の精度で測定できるので、全方向での測定感度が同一になる。
したがって、本実施形態においては、スタイラス及びエクステンションロッドの高精度化が図られるので、接触式プローブの高精度化を図ることができる。これにより、測定装置の高精度化も図ることができる。
【0028】
特に従来はエクステンションロッドを用いると、スタイラスの略球状先端部の突出長さも長くなるので、スタイラスの変形量も大きくなり、プローブと被測定物との接触方向によってボール半径の差も大きい。
これに対し、本実施形態においては、ボール半径をどの方向から測定しても等しくできる。これにより本実施形態においては、従来方式、つまりスタイラスの略球状先端部での半径方向及び軸方向の剛性の対策がなされていないものに比較し、より高精度な測定が行える。
【0029】
平行リンク機構
また本発明において第二に特徴的なことは、補正ボール径を全方向においてより確実に同一とするため、エクステンションロッドに対して、軸方向にスタイラスを作動させる平行リンク機構を設けたことである。
以下に、平行リンク機構について説明する。
【0030】
図3には本実施形態にかかるエクステンションロッド126の内部構造が示されている。なお、同図(A)はエクステンションロッド126の断面図及び平行リンク機構の側面図である。同図(B)はエクステンションロッド126に内蔵された平行リンク機構の外観斜視図である。同図(C)は同様の平行リンク機構をスタイラスの略球状先端部側より見た正面図である。
【0031】
同図に示すエクステンションロッド126は、平行リンク機構を内蔵できるように中空状に構成されたエクステンションロッド本体132を備える。エクステンションロッド本体132に平行リンク機構134が内蔵固定されている。
またこの平行リンク機構134は、スタイラス110をその軸方向に、測定力の大きさに基づいて定められた所定の距離だけ変位自在に保持する。
なお、本実施形態においては、エクステンションロッド本体132のスタイラス側の端部とは反対側の端部に、固定ねじ136が設けられている。この固定ねじ136を介してエクステンションロッド126をプローブ本体に固定している。
【0032】
次に、前記平行リンク機構の具体的な構成について説明する。
図4に示すように平行リンク機構134は、固定部材138及び可動部材140と、板ばね142,144を供える。
板ばね142,144は、互いに平行に配置され、かつ同じ長さをもつ。
固定部材138及び可動部材140は、板ばね142,144と共に、平行四辺形を構成するように、互いに平行に配置され、かつ同じ長さをもつ。
【0033】
本実施形態において特徴的なことは、平行リンク機構134が、スタイラス110の軸方向に、測定力の大きさに基づいて定められた所定の距離だけ変位自在に、スタイラス110の保持部を保持したことである。
すなわち、固定部材138にはねじ穴146a,146bが設けられ、エクステンションロッド本体132にも同位置にねじ穴148a,148bが設けられている。
この固定部材138のねじ穴146a,146b及びエクステンションロッド本体132のねじ穴148a,148bに、それぞれ固定ねじ150a,150bが設けられている。
【0034】
この結果、固定部材138の外周壁が、エクステンションロッド132の内周壁に対し、しっかり固定されている。
可動部材140の下部には板ばね144を介して、スタイラス取付部材152が設けられている。
このスタイラス取付部材152の下部の略中央部にはスタイラス110が設けられている。
この結果、可動部材140、取付部材152は、エクステンションロッド本体132内で、板ばね142,144を介して固定部材138に対し、軸方向に変位する。
【0035】
すなわち、スタイラス略球状先端部112が被測定物に対し、その軸方向(図中、下方)に測定力を加えると、その測定力と同じ大きさで方向が反対の力(図中、上方の荷重)がスタイラス略球状先端部112に作用する。このため平行リンク機構134の板ばね142,144は、上側固定点A、下側固定点Bを支点として、上側可動点C、下側可動点Dが軸方向(図中、上方)に変位する。
このため、スタイラス110は、可動部材140、取付部材152と共に、固定部材138に対し図中、上方に変位する。
【0036】
なお、本実施形態においては、可動部材140の上部には板ばね142を介して、略T字状の上側ストッパ154が設けられており、固定部材138の上部には板ばね142を介して上側当接部156が設けられている。また固定部材138の下部には板ばね144を介して下側当接部158が設けられている。
このため、スタイラス110が図中矢印Z方向に所定の距離を超える変位をしないようにしている。すなわち、スタイラス110が上方に移動すると、下側当接部158と取付部材152とが当接し、スタイラス110がそれ以上、上方に移動しないようにしている。またスタイラスが下方に移動すると、上側当接部156と上側ストッパ154とが当接し、スタイラス110がそれ以上、下方に移動しないようにしている。
【0037】
以下に、本実施形態において特徴的な平行リンク機構134の作用について、図5を参照しつつ、より詳細に説明する。
すなわち、本発明者らは、まずスタイラスないしエクステンションは、円筒状の形状を持ち、荷重(測定力と大きさが同じで方向が反対の力)が軸方向に加わる場合と半径方向に加わる場合とでは変形量が異なる点に着目した。
その一例を同図(A)を参照しつつ説明する。
すなわち、直径D、長さLのスタイラス110の軸方向と半径方向に、同一荷重116(大きさP)をそれぞれ加えたときの変形量δ1,δ2は、それぞれ下記式3、4で表わせる。
【0038】
【数3】
δ1=PL/EA=4PL/πED2
【数4】
δ2=PL3/3EI=64PL3/3πED4
ただし、E:ヤング率
A:断面積
I:断面2次モーメント
前記数3,数4に基づいて、スタライス110の軸方向の変形量δ1と、半径方向の変形量δ2の比は、下記数5で表わせる。
【0039】
【数5】
δ2/δ1=64L2/12D2
前記数5より明らかなように、通常は、直径Dよりも全長Lのほうが寸法上大きくなるので、同じ大きさPの荷重116であっても、半径方向の変形量δ2が軸方向の変形量δ1よりもはるかに大きくなり、この変形量の差は、測定の方向による測定誤差を生じることになる。
そこで、本発明者らが、このような問題を解決するため、さらに鋭意検討を進めた結果、スタイラス110の軸方向の剛性を平行リンク機構134を用いて弱めることにより、スタイラス110の軸方向の実質的な変形量と、半径方向の変形量とを同一とし、実質的な剛性を同一にすることができることを見出し、本発明を完成するに至った。
このために本実施形態においては、平行リンク機構134によるスタイラス110の軸方向への変形量δ3が、下記数6、数7を満足するように、平行リンク機構134がスタイラス110を軸方向に変位自在に保持している。
【0040】
【数6】
δ2=δ1+δ3
【数7】
P=kδ3
ただし、前記δ1は、スタイラス略球状先端部112の軸方向に大きさPをもつ荷重116が加わった場合の、平行リンク機構134による変形量を除いたスタイラス略球状先端部112における軸方向への変形量。
前記δ2は、スタイラス略球状先端部112の半径方向に大きさPをもつ荷重116が加わった場合の、スタイラス略球状先端部112における半径方向への変形量。
前記δ3は、スタイラス略球状先端部112の軸方向に大きさPをもつ荷重116が加わった場合の、平行リンク機構134によるスタイラス略球状先端部112の軸方向への変形量。
前記kは、板ばね142,144に基づいて求められた平行リンク機構134の全体的なばね定数。
【0041】
このため、本実施形態においては、同図(B)に示されるように、スタイラス略球状先端部112に軸方向に、大きさPをもつ荷重116が加わると、スタイラス116には荷重116による圧縮である軸方向の変形(変形量δ1)が生じると共に、スタイラス110が平行リンク機構134により軸方向(図中、Z方向)に変位する。
ここで、スタイラス略球状先端部112に対し軸方向に荷重116が加わった場合の平行リンク機構134によるスタイラス110の軸方向への変形量δ3、及び荷重116によるスタイラス110の圧縮量(変形量δ1)とを加えた全体の量が、前記半径方向に荷重116が加わった場合の変形量δ2と同じとなるように、平行リンク機構134はスタイラス110を軸方向(図中、Z方向)に変位させる(δ3=δ2−δ1)。
【0042】
このように本実施形態においては、スタイラス110の略球状先端部112の位置で、測定力16を半径方向に加えた場合のスタイラス110の半径方向の変形量δ2と、測定力16を軸方向に加えた場合のスタイラス110の軸方向の変形量δ1及び平行リンク機構134によるスタイラス110の軸方向への変形量δ3を加えた量とを同じにすることで、実質的にスタイラス110の半径方向と軸方向の剛性を、より同じものとすることができる。したがって、本実施形態においては、補正ボール径を、どの方向より測定しても、より等しくできるので、より高精度な測定が行える。
なお、本実施形態において、前記板ばね142,144は、前記数3の関係をより確実に満足するように寸法ないし材質が選定されていることが好ましい。
【0043】
測定装置
図6には本実施形態にかかる接触式プローブ130を用いた測定装置の概略構成が示されている。なお、本実施形態においては、測定装置として三次元測定機を想定し、三次元測定機に接触式プローブ130としてタッチプローブを用いた例について説明する。
同図に示す三次元測定機(測定装置)160は、本実施形態にかかる接触式プローブ130が、三次元測定機本体162のZ軸スピンドル164に着脱自在に設けられている。
同図に示す三次元測定機160において特徴的なことは、接触式プローブ130と被測定物114との接触方向にかかわらず、同一の補正情報を用いて、被測定物114の寸法情報ないし形状情報を補正したことである。
【0044】
すなわち、同図に示す三次元測定機160は、コントロールボックス166と、コンピュータ168を備える。三次元測定機本体162はコントロールボックス166を介してコンピュータ168に接続されている。
コントロールボックス166は、座標値情報取得手段である、例えばプローブインターフェース170と、データ記憶回路172と、リニヤスケール174と、カウンタ176等を備える。
【0045】
このような座標値情報取得手段は、リニヤスケール174、カウンタ176等よりの被測定物114と接触式プローブ130との相対移動量情報に基づいて、接触式プローブ130の座標値情報を得る。
プローブインターフェース170は、信号線178を介して接触式プローブ130と接続され、接触式プローブ130よりのタッチ信号が入力される。
データ記憶回路172は、プローブインターフェース170に信号線180を介して直接接続され、さらに信号線182,184によりカウンタ176を介して接続されている。
【0046】
カウンタ176は信号線186を介してリニヤスケール174に接続されており、リニヤスケール174よりのスケール信号が入力される。
またコントロールボックス166は、制御回路188を備える。
この制御回路188は、三次元測定機本体162のベース189に設けられた送り機構(ボールねじ等)190を駆動するためのモータ192に、信号線194を介して接続されている。またこの制御回路188は、モータ192の後段に設けられたエンコーダ196に、信号線198を介して接続されている。
【0047】
データ記憶回路172は、信号線200を介してコンピュータ168に接続されている。
このコンピュータ168は、CPU202と、メモリ204を備える。
このCPU202は、仮試料情報取得手段206と、真試料情報取得手段208を備える。
メモリ204は、仮試料情報記憶手段210と、補正情報記憶手段212と、真試料情報記憶手段214を備える。
仮試料情報記憶手段210は、データ記憶回路172よりの座標値情報に基づいて得られた補正前の試料情報を記憶する。
【0048】
補正情報記憶手段212は、本実施形態にかかる接触式プローブ130により予め基準球を測定して得ておいた補正ボール径に基づいて定められた一の補正情報を記憶している。
ここで、通常は各方向において補正ボール径を用意する必要があるが、本実施形態においては、補正ボール径をどの方向(全方向)から測定しても等しくできる接触式プローブ130を用いているので、各方向において同一の補正ボール径を用いることができる。
【0049】
真試料情報記憶手段214は、仮試料情報記憶手段210に記憶されている被測定物114の仮の寸法情報ないし形状情報を、補正情報記憶手段212に記憶しておいた一の補正情報で補正した、被測定物の真の値とみなし得る寸法情報ないし形状情報を記憶する。
仮試料情報取得手段206は、データ記憶回路172よりの座標値情報に基づいて、被測定物114の仮の寸法情報ないし形状情報を得る。これを仮試料情報記憶手段210に記憶する。
【0050】
真試料情報取得手段208は、仮試料情報取得手段206により得られた被測定物114の仮の寸法情報ないし形状情報を、補正情報記憶手段212に記憶しておいた一の補正情報で補正し、被測定物114の真の値とみなし得る寸法情報ないし形状情報を得る。これを真試料情報記憶手段214に記憶する。
なお、本実施形態においては、Z軸スピンドル164をZ軸方向に移動自在に保持する門216を備え、門216は、送り機構190により、ベース189に対しX,Y軸方向に移動する。
【0051】
[補正ボール径]
次に、同図に示す三次元測定機160を用いた補正ボール径の求め方について説明する。
すなわち、同図に示す三次元測定機160を用いて、形状精度(半径R)が高い精密球上を均一に25点を測定する。
そして、コンピュータ168は、25点全ての測定結果を用いて、最小二乗法による基準球の中心座標を求める。
【0052】
補正ボール径d´は、25点それぞれについて半径r1、r2…r25を計算し、次式による。
d´={(r1−R)+(r2−R)+…+(r25−R)}/25
ここで、本実施形態においては、測定力が一定に調整されているときのスタイラス110の略球状先端部112での変形量δは、どの方向でもほぼ一定とすることができる。
【0053】
したがって、測定データを処理するのに、実際のボール径dの代わりに、δを加味したボール径d´を用いれば、かたよりのない正確な測定値が得られる。このd´を補正ボール径と呼べば、次式となる。
d´=d−2δ
コンピュータ168は、このようにして得られた補正ボール径に基づいて補正情報を得る。これを補正情報記憶手段212に記憶しておき、方向性のない補正情報で、次のようにして得られた測定結果を補正している。
【0054】
[通常の測定]
次に、同図に示す三次元測定機160を用いた通常の測定例について説明する。
プローブ130と被測定物114との相対移動を行い、スタイラス110の略球状先端部112が被測定物114に接触した瞬間の座標値情報を収集する。
すなわち、三次元測定機本体162の各軸の移動量はカウンタ176にて計数され、このデータ出力信号が、コントロールボックス166のデータ記憶回路172に入力される。
そして、プローブ130が被測定物114に接触した瞬間にX,Y,Z軸の座標値情報を収集し、コンピュータ168に入力する。コンピュータ168では、座標値情報に基づいて、被測定物114の寸法、表面形状を求める。
【0055】
ここで、本実施形態においては、仮試料情報取得手段206によりデータ記憶回路172よりの座標値情報に基づいて、被測定物114の仮の寸法情報ないし形状情報を得た後に、さらに真試料情報取得手段208により、この被測定物114の仮の寸法情報ないし形状情報を、補正情報記憶手段212に記憶しておいた補正情報で補正し、被測定物114の真の値とみなし得る寸法情報ないし形状情報を得る。
【0056】
ここで、同図に示す三次元測定機160においては、本実施形態にかかる接触式プローブ130を用いているので、つまりスタイラス110の略球状先端部112の位置で、半径方向と軸方向の剛性を同一とすることとしたので、補正ボール径を、どの方向に測定しても等しくできる。
したがって、同図に示す三次元測定機160においても、プローブ130が被測定物114に接触した瞬間に得られた座標値情報に基づいて得られた各方向の測定結果を、同一の補正ボール径で補正することができるので、精度の良い測定結果が得られる。
【0057】
なお、前記構成のエクステンションロッドは、任意の接触プローブに使用することができるが、一般的なプローブに比較し、高精度化が要求される三次元測定機用タッチプローブ、倣いプローブ等に使用することが特に好ましい。何れの接触式プローブに用いても、被測定物との接触方向にかかわらず、一定のボール補正量で補正することができる。
【0058】
また前記構成では、プローブ本体に対しエクステンションロッドを介してスタイラスを設け、エクステンションロッドに平行リンク機構を設けた例について説明したが、スタイラスが、エクステンションロッド程度の長さをもつものであれば、エクステンションロッドを設けることなく、プローブ本体に対し直接平行リンクを設け、該平行リンクにスタイラスを設けることも好ましい。
【0059】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかる接触式プローブによれば、スタイラスの略球状先端部における剛性が、その全方向において同一であることとしたので、被測定物との接触方向にかかわらず、精度の高い測定結果が得られる。
また本発明においては、前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、半径方向と軸方向において同一であることにより、前記精度の高い測定結果が、より確実に得られる。
また本発明においては、エクステンションロッドがスタイラスをその軸方向に変位自在に保持する平行リンク機構を備えることにより、エクステンションロッドを用いても、前記精度の高い測定結果が、より確実に得られる。
また本発明においては、平行リンク機構が板ばねを備えることにより、前記精度の高い測定結果が、より確実に得られる。
また本発明にかかる測定装置によれば、前記接触式プローブを用いることとしたので、被測定物との接触方向にかかわらず、同一の補正情報で、測定結果を補正することができるので、精度の良い試料情報が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態にかかる接触式プローブの概略構成の説明図である。
【図2】本実施形態にかかる接触式プローブに用いられるエクステンションロッド及びスタイラスの外観斜視図である。
【図3】本実施形態にかかる接触式プローブに用いられるエクステンションロッドの内部構造の説明図である。
【図4】本実施形態にかかるエクステンションロッドに用いられる平行リンク機構の概略構成の説明図である。
【図5】図4に示した平行リンク機構の作用の説明図である。
【図6】本実施形態にかかる接触式プローブを用いた測定装置の概略構成の説明図である。
【図7】接触式プローブと被測定物との接触状態の説明図である。
【図8】一般的なエクステンションロッドを用いた接触式プローブの説明図である。
【符号の説明】
110 スタイラス
112 略球状先端部
124 プローブ本体
126 エクステンションロッド
130 接触式プローブ
134 平行リンク機構
142,144 板ばね
160 三次元測定機(測定装置)
Claims (9)
- 被測定物に対し所定の測定力で任意の方向より接触する略球状先端部をもつスタイラスと、
前記スタイラスを保持するプローブ本体と、を備えた接触式プローブにおいて、
前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、その全方向において同一であることを特徴とする接触式プローブ。 - 請求項1記載の接触式プローブにおいて、
前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、該スタイラスの軸方向及び該軸方向と略直交する半径方向において同一であることを特徴とする接触式プローブ。 - 請求項1又は2記載の接触式プローブにおいて、
前記スタイラスの軸線上に位置する軸をもち、前記プローブ本体と該スタイラス間に設けられたエクステンションロッドを備え、
前記エクステンションロッドが設けられた状態で、前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、その全方向において同一であることを特徴とする接触式プローブ。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の接触式プローブにおいて、前記スタイラスの略球状先端部における剛性が、前記軸方向及び半径方向において同一となるように、該スタイラスをその軸方向に変位自在となるように保持する平行リンク機構を備えたことを特徴とする接触式プローブ。
- 請求項4記載の接触式プローブにおいて、
前記平行リンク機構は、前記スタイラス略球状先端部の軸方向への変形量δ3が、下記数1の関係を満足するように、該スタイラスをその軸方向に変位自在に保持することを特徴とする接触式プローブ。
【数1】
δ2=δ1+δ3
ただし、前記δ1は、前記スタイラス略球状先端部の軸方向に所定の大きさの測定力を加えた場合の、前記平行リンク機構による変形量を除いた該スタイラス略球状先端部での軸方向への変形量
前記δ2は、前記スタイラス略球状先端部の半径方向に前記測定力と同じ大きさの測定力を加えた場合の、該スタイラス略球状先端部での半径方向への変形量前記δ3は、前記スタイラス略球状先端部の軸方向に前記測定力と同じ大きさの測定力を加えた場合の、前記平行リンク機構による該スタイラス略球状先端部の軸方向への変形量 - 請求項5記載の接触式プローブにおいて、
前記平行リンク機構は、前記数1の関係を満足するように選定された板ばねを備えたことを特徴とする接触式プローブ。 - 請求項6記載の接触式プローブにおいて、
前記板ばねは、前記数1の関係を満足するような寸法ないし材質であることを特徴とする接触式プローブ。 - 請求項3〜7のいずれかに記載の接触式プローブにおいて、前記エクステンションロッドは、前記平行リンク機構を内蔵できるように中空状に構成され、
前記平行リンク機構は、互いに平行に配置され、かつ同じ長さをもつ前記板ばねと共に、平行四辺形を構成するように、互いに平行に配置され、かつ同じ長さをもつ固定部材及び可動部材を備え、
前記固定部材は、前記エクステンションロッド内に固定され、
前記可動部材は、前記エクステンションロッド内で、前記板ばねを介して前記固定部材に対し、前記スタイラスの軸方向に変位し、
前記スタイラスは、前記可動部材に設けられ、該可動部材と共に該固定部材に対し、その軸方向に変位することを特徴とする接触式プローブ。 - 請求項1〜8のいずれかに記載の接触式プローブと、
前記被測定物と前記接触式プローブとの相対移動量に基づいて、前記接触式プローブの座標値情報を得る座標値情報取得手段と、
前記座標値情報取得手段により得られた座標値情報に基づいて、前記被測定物の仮の寸法情報ないし形状情報を得る仮試料情報取得手段と、
前記接触式プローブにより予め得ておいた補正ボール径に基づいて定められた一の補正情報を記憶している補正情報記憶手段と、
前記仮試料情報取得手段により得られた被測定物の仮の寸法情報ないし形状情報を、前記補正情報記憶手段に記憶しておいた一の補正情報で補正し、前記被測定物の真の値とみなし得る寸法情報ないし形状情報を得る真試料情報取得手段と、を備え、前記接触式プローブと被測定物との接触方向にかかわらず、同一の補正情報を用いて、前記仮試料情報取得手段により得られた被測定物の寸法情報ないし形状情報を補正することを特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003188097A JP4299066B2 (ja) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 接触式プローブ及びそれを用いた測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003188097A JP4299066B2 (ja) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 接触式プローブ及びそれを用いた測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005024326A true JP2005024326A (ja) | 2005-01-27 |
JP4299066B2 JP4299066B2 (ja) | 2009-07-22 |
Family
ID=34186744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003188097A Expired - Fee Related JP4299066B2 (ja) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 接触式プローブ及びそれを用いた測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4299066B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102267093A (zh) * | 2011-07-12 | 2011-12-07 | 杭州正强万向节有限公司 | 十字轴万向节内平在线自动测量机构 |
-
2003
- 2003-06-30 JP JP2003188097A patent/JP4299066B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102267093A (zh) * | 2011-07-12 | 2011-12-07 | 杭州正强万向节有限公司 | 十字轴万向节内平在线自动测量机构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4299066B2 (ja) | 2009-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7246448B2 (en) | Method for calibrating a probe | |
JP4504818B2 (ja) | 加工物検査方法 | |
JP5425267B2 (ja) | 座標測定装置 | |
US7918033B2 (en) | Method for correcting the measured values of a coordinate measuring machine, and coordinate measuring machine | |
JP3827548B2 (ja) | 倣いプローブの校正方法および校正プログラム | |
JP2988588B2 (ja) | 位置測定装置 | |
US20030009898A1 (en) | Characterization of compliant structure force-displacement behavior | |
CN108712943B (zh) | 校准装置和方法 | |
US11156446B2 (en) | Position measurement method and position measurement system for object in machine tool | |
Chu et al. | Development of a low-cost nanoscale touch trigger probe based on two commercial DVD pick-up heads | |
JP6552940B2 (ja) | 治具及びゲージ検査機 | |
US6701267B2 (en) | Method for calibrating probe and computer-readable medium | |
JP2005055282A (ja) | 測定方法及び測定装置 | |
EP0420416A2 (en) | Method and apparatus of datuming a coordinate positioning machine | |
JP3153111B2 (ja) | 手動操作型三次元測定機 | |
US11435175B2 (en) | Displacement detector, surface shape measuring apparatus, and roundness measuring apparatus | |
JP4299066B2 (ja) | 接触式プローブ及びそれを用いた測定装置 | |
US3940854A (en) | Three axis precision measuring device | |
JP2007101279A (ja) | 直交座標運動機構の補正係数決定方法および測定データの収集方法 | |
Wozniak et al. | Setup for triggering force testing of touch probes for CNC machine tools and CMMs | |
US20190277615A1 (en) | Measurement apparatus | |
JP2005221320A (ja) | 測定ヘッド及びプローブ | |
Shen et al. | A robust pretravel model for touch trigger probes in coordinate metrology | |
CN117340682A (zh) | 机床误差的补偿方法、装置、设备及存储介质 | |
JP2020139858A (ja) | 検査治具、ゲージ検査機及びゲージの保持方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060530 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090331 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090416 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4299066 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120424 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150424 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |