JP2005012029A - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトニック結晶からなる平行平板状の導波路媒質11と、発光波長がフォトニック結晶のフォトニックバンドギャップの範囲外となる平行平板状の発光媒質12とを交互に積層し、それぞれの導波路媒質11は、導波路媒質11の一端面に設けた開口部から一端面に対向する他端面の近傍まで延在する主導波路と、主導波路の複数の分岐点からそれぞれ分岐して一端面及び他端面に直交する表面に達する複数の分岐導波路とを有するレーザ媒質2と、レーザ媒質2の積層方向に沿って、レーザ媒質2を挟むように互いに対向して共振器を構成するように配置された第1及び第2の反射鏡5、6と、主導波路に対しフォトニックバンドギャップの範囲内の波長を含む光を出力する励起源4とを備える。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はフォトニック結晶を用いたレーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
高出力レーザ光発生は、加工技術、電力送信技術等への応用上重要な技術であり、高出力のレーザ装置の開発が進められている。レーザ装置には、生産現場における取り扱いや、電力送信を行う場所への装置の移動等が容易となる、小型かつ安全な装置の開発が要求されている。
【0003】
従来の高出力レーザ装置としては、炭酸ガス(CO2)レーザやイットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)レーザを光源とした多段増幅型レーザ装置(例えば、非特許文献1参照)、レーザ媒質にフッ化水素(HF)等を用い、化学反応によって解放されるエネルギをレーザ光として取り出す化学レーザ(例えば、非特許文献2参照)が知られている。
【0004】
また、光励起や電子線励起を用いて、高出力レーザ光を得ることができる。例えば、ファブリ−ペロ(Fabry−Perot)型の共振器内にネオジム:ヤグ(Nd:YAG)をレーザ媒質として挿入し、励起源のフラッシュランプ光を照射して大きな反転分布をレーザ媒質中に得る。Qスイッチ等の出力光取り出し機構を作動させることにより共振器内でレーザー発振が起こり、短時間のうちにレーザ媒質内に蓄積されたエネルギが出力光として放射される。
【0005】
【非特許文献1】
石手孝、他,「レーザ研究」,2000年,第28巻,第1号,p.13
【0006】
【非特許文献2】
藤岡知生、他,「応用物理」,1976年,第45巻,第10号,p.869
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
多段増幅型レーザ装置は、多段増幅部が大型化することが大きな欠点であり、例えば1MWクラスの加工用連続波(CW)レーザ装置においては、全長が10m 程度となるものもある。より効率的な空間の利用や、電力送信時の装置の移動等を考えると、このような大型の装置を用いることのディメリットは大きい。
【0008】
また、化学レーザにおいては、レーザ媒質には上記HFの他、塩化水素(HCl)、臭化水素(HBr)といった、ハロゲン元素を含む物質が用いられる。ハロゲン元素を含む物質を用いてレーザ発振した後は、ハロゲン化物を大量に含むガスが排出されるため、人体及び環境への影響は大きく、高出力の光源を長時間あるいは繰り返し用いることには大きな問題がある。
【0009】
また、励起源に光や電子線を用いる機構では、レーザ媒質によって励起光や電子線が吸収されるため、励起源の照射方向のレーザ媒質の厚みは大きく取れないという問題がある。従って、高出力光を得るためには励起源照射方向には薄く、励起源照射方向に垂直な方向には広い面積を持ったレーザ媒質を用いる必要があり、装置形状や持ち運びの観点から取り扱いが困難である。
【0010】
以上説明したように、レーザ装置において高出力を実現するために、装置が大型化したり、あるいは人体や環境に有害なレーザ媒質を使用しているため、効率的な空間利用や装置移動、あるいは安全性等に問題が生じる。
【0011】
本発明は、上記した問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、小型で取り扱いが容易な環境汚染の危惧が生じない高出力レーザ装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の態様は、(イ)フォトニック結晶からなる平行平板状の導波路媒質と、発光波長がフォトニック結晶のフォトニックバンドギャップの範囲外となる平行平板状の発光媒質とを交互に積層し、それぞれの導波路媒質は、導波路媒質の一端面に設けた開口部から一端面に対向する他端面の近傍まで延在する主導波路と、主導波路の複数の分岐点からそれぞれ分岐して一端面及び他端面に直交する表面に達する複数の分岐導波路とを有するレーザ媒質と、(ロ)レーザ媒質の積層方向に沿って、レーザ媒質を挟むように互いに対向して共振器を構成するように配置された第1及び第2の反射鏡と、(ハ)主導波路に対しフォトニックバンドギャップの範囲内の波長を含む光を出力する励起源とを備えるレーザ装置であることを要旨とする。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、形状や寸法は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な形状や寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。
【0014】
本発明の第1〜第3の実施の形態を説明する前に、先ず、レーザ媒質に使用するフォトニック結晶の概略を説明する。フォトニック結晶は、屈折率が異なる多種類の媒質を光の波長程度のピッチで組み合わせた人工的な多次元周期構造であり、フォトニック結晶内の光の伝搬を制御することが可能である。周期配列を有するフォトニック結晶中の光の振る舞いに対して、固体結晶中の電子の振る舞いを表わすエネルギバンドの概念を適用することができる。即ち、電子の運動量とエネルギの関係を表わすエネルギバンドが、光の波数と周波数の関係を表わす「フォトニックバンド]に置き換えられる。周期配列された媒質と背景媒質に屈折率の差があると、光がフォトニック結晶中を伝搬することが許されない周波数帯域が形成され、このような周波数帯域は、固体結晶のエネルギバンドのバンドギャップに対応して、「フォトニックバンドギャップ」と呼ばれている。フォトニックバンドギャップに相当する周波数を有する光をフォトニック結晶表面に入射すると、原理的には100%の反射率で入射光は反射される。フォトニックバンドギャップは、周期配列された媒質と背景媒質として、半導体と空気といった屈折率の差が大きい組み合わせほど大きく開き、高い反射率を実現できる。また、高次元周期構造ほどフォトニックバンドギャップの効果は顕著になるため、フォトニック結晶としては、ロッドを積層したウッドパイル構造や、3回対称の斜孔を配列したヤブロノバイト積層構造、あるいは面心立方格子状に単位胞が配列した3次元周期構造が用いられる。以下の第1〜第3の実施の形態においては、このようなフォトニック結晶を用いたレーザ媒質について説明する。
【0015】
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態に係るレーザ装置は、図1に示すように、複数の導波路媒質11と複数の発光媒質12を交互に積層したレーザ媒質2と、レーザ媒質2を挟んで、図1の紙面左及び右側に対向して配置されている第1の反射鏡5及び第2の反射鏡6と、レーザ媒質2及び第2の反射鏡6の間に配置されているQスイッチ7と、紙面でレーザ媒質2の下側の側面に対向して配置されている励起源4とを備えている。
【0016】
レーザ媒質2、第1及び第2の反射鏡5、6は共振器を構成する。レーザ媒質2から自然放出された光は、共振器の第1及び第2の反射鏡5、6間で反射する。なお、第1及び第2の反射鏡5、6のそれぞれの反射率は100%及び95%であり、第2の反射鏡6側からレーザ光が出力される。励起源4は、例えば、フラッシュランプであり、出力光はレーザ媒質2の側面に入射する。Qスイッチ7は、誘導放出を連続的に効率よく発生させ、パルス状の高出力レーザ光を放出する。
【0017】
レーザ媒質2は、図2に示すように、複数の導波路媒質11a〜11dと、複数の発光媒質12a〜12dとを、第1及び第2の反射鏡5、6の対向する方向に交互に配置した構造である。例えば、図2の紙面左側から導波路媒質11aに接して発光媒質12a、発光媒質12aに接して導波路媒質11bが順に配置される。更に、導波路媒質11bに発光媒質12b、発光媒質12bに導波路媒質11c、導波路媒質11cに発光媒質12c、発光媒質12cに導波路媒質11d、導波路媒質11dに発光媒質12dが順に接して配置される。第1の実施の形態では、レーザ媒質2を模式的に4層構造で説明をしたが、4層構造に限定されず、任意の数の積層構造とすることができるのは勿論である。
【0018】
第1の実施の形態に係るレーザ媒質2の励起源4に対向する側面では、図3に示すように、導波路媒質11の上端の近傍から下端の近傍へ等間隔で複数の主導波路13a〜13c、・・・、13f、13gが配置されている。
【0019】
図3に示す導波路媒質11のAA断面には、図4に示すように、フォトニック結晶からなる導波路媒質11内にフォトニック結晶を除去して設けられた主導波路13aと、主導波路13aから分岐する複数の分岐導波路14a、14b、・・・、14f〜14iが配置されている。主導波路13aは、励起源4に対向する導波路媒質11の一端面に開口部が設けられ、発光媒質12との界面の方向とほぼ平行に導波路媒質11の他端面の近傍まで延在している。分岐導波路14a、14b、・・・、14f〜14iは、主導波路13aに沿って等間隔に配置され、主導波路13aから約直角に分岐して発光媒質12に達するように設けられる。
【0020】
第1の実施の形態に係る導波路媒質11には、ガリウム砒素(GaAs)等の半導体ロッドによるウッドパイル型のフォトニック結晶が用いられる。ウッドパイル型のフォトニック結晶は、図5に示すように、一定のロッドピッチpで一方向に平行に配列されたロッド幅w及びロッド厚さtのストライプ状のロッドからなるフォトニック結晶単位層を積層したものである。例えば、ロッド21a〜21c、・・・を有する第1ロッド層21の上に、第1ロッド層21のロッド21a〜21c、・・・と同一のロッドピッチp、ロッド幅w及びロッド厚さtで、第1ロッド層21のロッド21a〜21c、・・・と直交する方向に平行に配列されたロッド22a、22b、・・・を有する第2ロッド層22が配置されている。更に、第2ロッド層22のロッド22a、22b、・・・に直交する方向に平行に配列された第3ロッド層23のロッド23a〜23c、・・・が配置されている。以下同様に、第3ロッド層23のロッド23a〜23c、・・・と直交する方向に平行に配列された第4ロッド層24のロッド24a、24b、・・・、第4ロッド層24のロッド24a、24b、・・・に直交する方向に平行に配列された第5ロッド層25のロッド25a〜25c、・・・、第5ロッド層25のロッド25a〜25c、・・・と直交する方向に平行に配列された第6ロッド層26のロッド26a、26b、・・・、第6ロッド層26のロッド26a、26b、・・・に直交する方向に平行に配列された第7ロッド層27のロッド27a〜27c、・・・、及び、第7ロッド層27のロッド27a〜27c、・・・と直交する方向に平行に配列された第8ロッド層28のロッド28a、28b、・・・が第1及び第2ロッド層21、22のロッド21a〜21c、・・・、22a、22b、・・・と同一のロッドピッチp、ロッド幅w及びロッド厚さtで積層して配置されている。
【0021】
ウッドパイル型のフォトニック結晶は、例えば、フォトリソグラフィによりGaAs基板をエッチング加工して形成したストライプ構造を、一層毎に90 度ずつ回転しながらウェハ融着法によって積層して作成する(例えば、新保(M. Shimbo)、等,ジャーナル・オブ・アプライド・フィジックス(Journal of Applied Physics),1986年,第60巻,p.2987、参照)。
【0022】
本発明の第1の実施の形態に係る導波路媒質11に用いるフォトニック結晶は、空気等の背景媒質中に周期配列されたGaAs等の背景媒質とは異なる屈折率の媒質からなる屈折率周期構造である。フォトニック結晶のフォトニックバンドギャップは、周期配列された媒質と背景媒質の屈折率の差が大きい組み合わせほど大きく開き、高い反射率を実現できる。例えば、GaAs及び空気の屈折率はそれぞれ、約3.66及び1.00であり、差が大きい。また、高次元周期構造ほどフォトニックバンドギャップの効果は顕著になる。更に、フォトニック結晶の単位層が5層以上、好ましくは7層以上積層されているときに反射効率が特によくなることが、実験およびシミュレーションによって確認されている。更に、フォトニック結晶においては、光路を90度に急激に曲げても、光が導波路から放射されて損失が生じることがない(例えば、納富(Notomi et al.)、等,エレクトロニックス・レターズ(Electronic. Lett.),2001年,第37巻,p.243、参照)。したがって、第1の実施の形態によれば、レーザ媒質2の発光媒質の厚さに対する制限を解消することができる。
【0023】
本発明の第1の実施の形態においては、導波路媒質11として、上述したようにGaAsロッド層を20層としたウッドパイル型の3次元周期構造を有するフォトニック結晶を用いている。導波路媒質11のフォトニック結晶の積層方向に直交する面の寸法は50×50cmであり、フォトニック結晶の積層方向が共振器の第1及び第2の反射鏡5、6の対向する方向と平行になるように設置する。図3に示す主導波路13a〜13c、・・・、13f、13gは、フォトニック結晶の積層方向の10層目に相当する部分のストライプを、励起源4に対向する導波路媒質11の一端面に設けられた開口部から、導波路媒質11の他端面から10層目の所まで除去して形成されている。主導波路13a〜13c、・・・、13f、13gのそれぞれの間は7ロッドピッチである。また、図4に示す分岐導波路14a、14b、・・・、14f〜14iは、導波路媒質11の開口部が設けられた一端面から10層分を残して、7ロッドピッチごとに主導波路13a〜13c、・・・、13f、13gと発光媒質12との間のストライプを除去して形成されている。発光媒質12は、例えば、Nd:YAGレーザ等であり、導波路媒質11に接する面の寸法は導波路媒質11と同じ50×50cmで、厚さは0.1cmである。第1の実施の形態では、導波路媒質11と発光媒質12をそれぞれ300層交互に積層したレーザ媒質2を用いている。
【0024】
例えば、図5に示すロッドピッチpを1μm、ロッド幅wを0.25μm、及びロッド厚さtを0.3μmとすると、導波路媒質11のフォトニックバンドギャップが、約1.25〜2.0μmの波長領域に形成される。励起源4に用いるフラッシュランプの発光波長は0.5〜10μmの範囲であり、導波路媒質11のフォトニック結晶のフォトニックバンドギャップに相当する波長を含んでいる。したがって、例えば図4においては、導波路媒質11のフォトニックバンドギャップに相当する波長の出力光Bが、導波路媒質11を透過せず主導波路13中に導入される。出力光Bは、各分岐導波路14a、14b、・・・、14f〜14iでエネルギ分配が行われ、分岐したそれぞれの励起光Bexが発光媒質12を励起する。フォトニック結晶による損失が殆どないため、励起光Bexは、発光媒質12に対して、励起源4側の一端面から、励起源4から離れた他端面近傍まで効率よく供給される。励起光Bexによる発光媒質12の自然放出光は、波長が1.06μmであり、レーザ媒質2のフォトニック結晶で反射されず透過することができる。したがって、第1の実施の形態に係るレーザ装置においては、フラッシュランプ光の励起光Bexで励起により自然放出された光は、共振器の第1及び第2の反射鏡5、6間で反射を繰り返す。レーザ媒質2内では、自然放出光により更に励起が進み、高いエネルギ準位にある電子数が増え、反転分布が形成される。レーザ媒質2の反転分布が最高域に達した時に、図1のQスイッチ7を動作させると誘導放出が連続的に効率よく発生し、パルス状の高出力レーザ光が共振器の第2の反射鏡6から得られる。
【0025】
第1の実施の形態に係るレーザ装置により、レーザ光を出力させる手順を図1及び図4を用いて説明する。まず、Qスイッチ7をオフの状態にして、励起源4よりフラッシュランプの出力光をレーザ媒質2に照射する。レーザ媒質2の導波路媒質11のフォトニック結晶のフォトニックバンドギャップに相当する約1.25〜2.0μmの波長領域の出力光Bが導波路媒質11の主導波路13a〜13c、・・・、13f、13gに導入される。主導波路13a〜13c、・・・、13f、13gに導入され出力光Bから、各分岐導波路14a、14b、・・・、14f〜14iに励起光Bexが分配される。励起光Bexにより発光媒質12が励起され自然放出による発光が生じる。Nd:YAGの発光媒質12の発光波長は、1.06μmであり、導波路媒質11のフォトニックバンドギャップの波長範囲外に相当する。したがって、レーザ媒質2、第1及び第2の反射鏡5、6で構成する共振器内に自然放出光が閉じ込められ、共振器内で反射を繰り返して発生した誘導放出が増幅される。レーザ媒質2内では、高いエネルギ準位にある電子数の増加により、反転分布が形成される。レーザ媒質2の反転分布が最高域に達した時に、Qスイッチ7をオンにすると、誘導放出が連続的に効率よく発生し、共振器の第2の反射鏡6から出力約10kJのレーザ光を得ることができる。
【0026】
上述のように、本発明の第1の実施の形態に係るレーザ装置によれば、励起光を効率よくレーザ媒質2の発光媒質12の領域全面に供給できるため、高出力のレーザ光を得ることが可能となる。また、励起光は導波路媒質11を透過することなく発光媒質12の各部に伝搬することが可能であり、レーザ媒質2の厚さに対する制限が解消され取り扱いが容易となり、共振器も小型化できる。したがって、レーザ装置の重量が軽減され、レーザ装置の移動も容易となる。また、レーザ媒質2にはハロゲン元素を用いた気体を用いる必要がなく、かつ発振時には化学反応の介在も要しないため、副産物として排出される物質に対して環境汚染や人体への悪影響を考慮せずに使用することができ、廃棄物処理法あるいは廃棄物処理装置に対する負担もなく、低コストで使用できる。
【0027】
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態に係るレーザ装置は、図6に示すように、複数の導波路媒質31と複数の発光媒質32を交互に積層したレーザ媒質2aと、紙面でレーザ媒質2aの下側の側面に対向して配置されている励起源4aを備える。他の第1及び第2の反射鏡5、6、Qスイッチ7は第1の実施の形態と同様であるので、重複した説明は省略する。
【0028】
レーザ媒質2aの発光媒質32は、図7に示すように、例えばセレン化鉛(PbSe)等の半導体の量子点38をリン酸ガラス(PSG)等のガラス媒質37に分散させた構造である。量子点38の平均粒径は5nm、分散密度は約1018cm−3、である。また、ガラス媒質37の第1及び第2の反射鏡5、6に対向する面のサイズは50cm×20cmで、厚さは0.1cmである。レーザ媒質2aは励起源4aからエネルギの供給を受けて励起される。レーザ媒質2aの発光波長は、2μmである。レーザ媒質2aの導波路媒質31には、第1の実施の形態と同様に、図5で示したGaAs等の半導体ロッドによるウッドパイル型のフォトニック結晶が用いられる。フォトニック結晶は、ロッドピッチpを0.8μm、ロッド幅wを0.2μm、及びロッド厚さtを0.24μmとしている。導波路媒質31に設ける主導波路および分岐導波路の形態は、図3及び図4と同様である。レーザ媒質2aは、フォトニックス結晶からなる導波路媒質31と発光媒質32とをそれぞれ交互に300層積層している。導波路媒質31のフォトニック結晶のフォトニックバンドギャップは、約1.0〜1.6μmの波長領域に形成されている。
【0029】
励起源4aは、例えば、Nd:YAGレーザ等のレーザ光源であり、発振波長は、1.06μmである。レーザ媒質2aのフォトニックバンドギャップの範囲内であり、導波路媒質の主導波路及び分岐導波路を介して、発光媒質32を励起することができる。発光媒質32の発光波長は、2μmであり、フォトニックバンドギャップの範囲外であり、レーザ媒質2aから自然放出され共振器内に閉じ込められ反射を繰り返し、発生した誘導放出を増幅する。発光媒質32の量子点38では、誘導放出光による励起により、高いエネルギ準位にある電子数が更に増加し、反転分布が形成される。そして、Qスイッチ7をオンにすると、誘導放出が連続的に効率よく発生し、パルス状の高出力レーザ光が共振器の第2の反射鏡6から得られる。発光媒質32の量子点38は、絶縁体であるガラス媒質37に埋め込まれているため、反転分布した電子の閉じ込めの効率が向上し、更に高出力のレーザ光を得ることが可能となる。
【0030】
第2の実施の形態に係るレーザ装置により、レーザ光を出力させる手順を説明する。まず、Qスイッチ7をオフにしておき、励起源4aのNd:YAGレーザを発振させる。レーザ光をレーザ媒質2aに照射してレーザ媒質2aの発光媒質32を励起する。励起された発光媒質32から放出された光は、第1及び第2の反射鏡5、6間の共振器の内部に閉じ込められ、第1及び第2の反射鏡5、6間で反射を繰り返して誘導放出により増幅される。励起源4aを、例えば100秒間駆動した後、レーザ媒質2a内では、高いエネルギ準位にある電子数の増加により、反転分布が形成され、レーザ媒質2aの反転分布が最高域に達した時に、Qスイッチ7をオンにする。その結果、誘導放出が連続的に効率よく発生し、共振器の第2の反射鏡6から出力約45kJのレーザ光を得ることができる。
【0031】
本発明の第2の実施の形態に係るレーザ装置によれば、変転分布した電子を量子点38に効率よく閉じ込め、励起光を効率よく蓄積できるため、小型で取り扱いが容易な装置で高出力のレーザ光を得ることができる。また、レーザ媒質にハロゲン元素等を含むガスを用いていないため、廃棄物による環境汚染の危惧が生じない。
【0032】
(第3の実施の形態)
本発明の第3の実施の形態に係るレーザ装置は、図8に示すように、複数の導波路媒質31と複数の発光媒質42を交互に積層したレーザ媒質2bを備えることが、第2の実施の形態と異なる。その他の構成は、第2の実施の形態と同様であるので,重複した説明は省略する。
【0033】
第3の実施の形態に係るレーザ装置に用いるレーザ媒質2bの発光媒質42には、図9に示すように、例えばPbSe等の半導体ロッドによるウッドパイル型のフォトニック結晶が用いられる。フォトニック結晶からの自然放出レートはバルク結晶よりも一般に大きくなるため、低閾値発振が実現でき、高効率なレーザ光出力が可能となる。フォトニック結晶は、一定のロッドピッチpで一方向に平行に配列されたロッド幅w及びロッド厚さtのストライプ状のロッド51a〜51d、・・・を有する第1ロッド層51の上に、第1ロッド層51のロッド51a〜51d、・・・と同一のロッドピッチp、ロッド幅w及びロッド厚さtで、第1ロッド層51のロッド51a〜51d、・・・と直交する方向に平行に配列されたロッド52a〜52d、・・・を有する第2ロッド層52が配置されている。更に、以下同様に第2ロッド層52のロッド52a〜52d、・・・に直交する方向に平行に配列された第3ロッド層53のロッド53a〜53d、・・・、第3ロッド層53のロッド53a〜53d、・・・と直交する方向に平行に配列された第4ロッド層54のロッド54a〜54d、・・・、第4ロッド層54のロッド54a〜54d、・・・に直交する方向に平行に配列された第5ロッド層55のロッド55a〜55d、・・・、第5ロッド層55のロッド55a〜55d、・・・と直交する方向に平行に配列された第6ロッド層56のロッド56a〜56d、・・・、・・・が第1及び第2ロッド層51、52のロッド51a〜51d、・・・、52a〜52d、・・・と同一のロッドピッチp、ロッド幅w及びロッド厚さtで積層して配置されている。
【0034】
第3の実施の形態では、発光媒質42に用いるフォトニック結晶は、ロッドピッチpが2μm、ロッド幅wが0.5μm及びロッド厚さtが0.6μmで、PbSeロッド層は400層積層している。なお、レーザ媒質2bの導波路媒質31には、第2の実施の形態と同様の、GaAs等の半導体ロッドによるウッドパイル型のフォトニック結晶が用いられているので、重複した説明は省略する。
【0035】
レーザ媒質2bの第1及び第2の反射鏡5、6に対向する面の寸法は、50cm×20cmである。発光媒質42は、例えば、励起源4aのNd:YAGレーザから発振波長が1.06μmのレーザ光が照射されて励起され、発光波長が3.1μmの光を放出する。
【0036】
第3の実施の形態では、レーザ媒質2bの導波路媒質31のフォトニック結晶のフォトニックバンドギャプは、1.0〜1.6μmの波長領域に形成されている。励起源4aの励起光は波長が1.06μmであり、フォトニックバンドギャップの範囲内であり、導波路媒質31を透過せず、主導波路及び分岐導波路を介してレーザ媒質2bの発光媒質42を励起することができる。発光媒質42の発光波長は、3.1μmであり、フォトニックバンドギャップの範囲外であり、導波路媒質を透過する波長に相当するので、レーザ媒質2bから自然放出され、共振器内に閉じ込められ反射を繰り返し、発生した誘導放出を増幅する。発光媒質42では、誘導放出光による励起により、高いエネルギ準位にある電子数が更に増加し、反転分布が形成される。そして、Qスイッチ7をオンにすると、誘導放出が連続的に効率よく発生し、パルス状の高出力レーザ光が共振器の第2の反射鏡6から得られる。フォトニック結晶中からの自然放出率はバルク半導体よりも一般に大きくなるため、更に高効率のレーザ光出力を得ることが可能となる。
【0037】
第3の実施の形態に係るレーザ装置により、レーザ光を出力させる手順を説明する。まず、Qスイッチ7をオフにしておき、励起源4aのNd:YAGレーザを発振させる。レーザ光をレーザ媒質2bに照射してレーザ媒質2bの発光媒質42を励起する。励起された発光媒質42から放出された光は、第1及び第2の反射鏡5、6間の共振器の内部に閉じ込められ、第1及び第2の反射鏡5、6間で反射を繰り返して誘導放出により増幅される。励起源4aを、例えば90秒間駆動した後、レーザ媒質2b内では、高いエネルギ準位にある電子数の増加により、反転分布が形成され、レーザ媒質2bの反転分布が最高域に達した時に、Qスイッチ7をオンにする。その結果、誘導放出が連続的に効率よく発生し、共振器の第2の反射鏡6から出力約90kJのレーザ光を得ることができる。
【0038】
第3の実施の形態に係るレーザ装置によれば、励起光を効率よく蓄積でき、共振器の損失を抑制できるため、小型で取り扱いが容易な装置で高出力のレーザ光を得ることができる。また、発光媒質42にフォトニック結晶を用いることにより、低閾値発振を可能にしたためより高出力が得られる。また、レーザ媒質にハロゲン元素等を含むガスを用いていないため、廃棄物による環境汚染の危惧が生じない。
【0039】
(その他の実施の形態)
上記のように、本発明の第1〜第3の実施の形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【0040】
例えば、本発明の第1〜第3実施の形態に係るレーザ媒質としては、図4に示したように、主導波路13aに対して直角に分岐させた複数の分岐導波路14a、14b、・・・、14f〜14iを紙面左側に配置した発光媒質12を励起するように、主導波路13の片側だけに設けている。しかし、図10に示すように、フォトニック結晶からなる導波路媒質61内にフォトニック結晶を除去して設けられた主導波路63に対して、主導波路63の分岐点で両側に分岐する第1の分岐導波路64a、64b、・・・、64f〜64h及び第2の分岐導波路65a、65b、・・・、65f〜65gを設けてもよい。この場合、導波路媒質61の紙面の左右両側に配置されている発光媒質62a、62bを同時に励起することができる。
【0041】
また、本発明の第2〜第3の実施の形態では、レーザ媒質としてPbSeを用いているが、PbSeに限定されるものではなく、例えば、PbSeの代わりに硫化鉛(PbS)、セレン化亜鉛(ZnSe)、あるいは、窒化ガリウム(GaN)等を用い、それぞれの発光波長にあわせたフォトニック結晶からなる反射鏡を組み合わせてもよいことは、勿論である。
【0042】
また、フォトニック結晶を構成する材料として、シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)、及び各種の化合物半導体等の半導体、あるいは酸化シリコン(SiO2)等の誘電体を用いることができるのは,勿論である。
【0043】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【0044】
【発明の効果】
本発明によれば、小型で取り扱いが容易な環境汚染の危惧が生じない高出力レーザ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るレーザ装置の構成の一例を示す概略図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係るレーザ媒質の積層構造の一例を示す概略図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態に係る同波路媒質の構造の一例を示す概略図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態に係るレーザ媒質の断面構造の一例を示す概略図である。
【図5】本発明の第1の実施の形態に係るフォトニック結晶の構造の一例を示す概略図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態に係るレーザ媒質の構造の一例を示す概略図である。
【図7】本発明の第2の実施の形態に係る発光媒質の構造の一例を示す概略図である。
【図8】本発明の第3の実施の形態に係るレーザ装置の構成の一例を示す概略図である。
【図9】本発明の第3の実施の形態に係るフォトニック結晶の構造の一例を示す概略図である。
【図10】本発明のその他の実施の形態に係るレーザ媒質の断面構造の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
2、2a、2b レーザ媒質
4、4a 励起源
5 第1の反射鏡
6 第2の反射鏡
7 Qスイッチ
11、11a〜11d、31、61 導波路媒質
12、12a〜12d、32、42、62a、62b 発光媒質
13a〜13c、・・・、13f、13g、63 主導波路
14a、14b、・・・、14f〜14i 分岐導波路
21、51 第1ロッド層
21a〜21c、22a、22b、23a〜23c、24a、24b、25a〜25c、26a、26b、27a〜27c、28a、28b、51a〜51d、52a〜52d、53a〜53d、54a〜54d、55a〜55d、56a〜56d、57a〜57d、58a〜58b ロッド
22、52 第2ロッド層
23、53 第3ロッド層
24、54 第4ロッド層
25、55 第5ロッド層
26、56 第6ロッド層
27 第7ロッド層
28 第8ロッド層
37 ガラス媒質
38 量子点
64a、64b、・・・、64f〜64h 第1の分岐導波路
65a、65b、・・・、65f〜65h 第2の分岐導波路
Claims (3)
- フォトニック結晶からなる平行平板状の導波路媒質と、発光波長が前記フォトニック結晶のフォトニックバンドギャップの範囲外となる平行平板状の発光媒質とを交互に積層し、それぞれの前記導波路媒質は、前記導波路媒質の一端面に設けた開口部から前記一端面に対向する他端面の近傍まで延在する主導波路と、前記主導波路の複数の分岐点からそれぞれ分岐して前記一端面及び前記他端面に直交する表面に達する複数の分岐導波路とを有するレーザ媒質と、
前記レーザ媒質の積層方向に沿って、前記レーザ媒質を挟むように互いに対向して共振器を構成するように配置された第1及び第2の反射鏡と、
前記主導波路に対し前記フォトニックバンドギャップの範囲内の波長を含む光を出力する励起源
とを備えることを特徴とするレーザ装置。 - 前記導波路媒質が、10層以上のフォトニック結晶単位層を有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。
- 前記発光媒質が、前記フォトニック結晶とは異なるフォトニック結晶からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ装置。
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