JP2005009766A - 冷却装置および製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】吸熱器を耐圧構造にして、高圧冷媒の使用下でも、吸熱器の変形を防止して、所定の放熱性能を維持できる冷却装置の構造および製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】吸熱器5は、平板状ロー付材料13を介して、吸熱器熱交換主体部11と、吸熱器蓋12が接合面部17で、高温炉による炉中ロー付けによって面接合させ、冷却装置を構成する。
【選択図】 図1
【解決手段】吸熱器5は、平板状ロー付材料13を介して、吸熱器熱交換主体部11と、吸熱器蓋12が接合面部17で、高温炉による炉中ロー付けによって面接合させ、冷却装置を構成する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子機器などに搭載された半導体素子などから発せられる熱を機器外部に放熱するための冷却装置の構造および製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の冷却装置としては、例えば、図10に記載されているようなものがあった。図10は従来の冷却装置の基本回路を示している。この図のように、吸熱器101と、放熱器102、ポンプ103といった構成は同じながら、一般には取り扱いの容易な、水系の冷媒が適用されており、その内部の圧力は、略大気圧の比較的圧力の低いものであった。(例えば、特許文献1参照)
【0003】
【特許文献1】
特開2001−24372号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の構成では、吸熱器の耐圧強度が考慮された構成ではなく、電子機器の冷却装置として、潜熱効果を利用し、冷却効果の大きいフロンなどの高圧な冷媒を使用した場合、吸熱器が変形し、吸熱器と被冷却体との接面の平面度の悪化を引き起こし、放熱性能が損なわれる可能性が高かった。
【0005】
本発明は、上記課題を解決するために、吸熱器の吸熱器熱交換主体部と吸熱器蓋を平板状ロー付け材料を介して面接合し、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる冷却装置の製造方法を提供することができる。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するため、本発明の冷却装置は、放熱部と、ポンプと、吸熱器を配管で接続して、閉回路を形成し、内部に冷媒が充填した構成において、この冷却器が、熱交換主体部と蓋部よりなり、また冷媒流路空間を設けた熱交換主体部と蓋部の間に、平板状のロー材料を挟み、しかる後に炉中ロー付けして、組立てられることで、この熱交換主体部と蓋部を面接合するものである。
【0007】
この構造ならびに製造方法によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【0009】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における冷却装置の回路図である。図2は、本発明の実施の形態1における吸熱器の部品組合せの斜視図である。
【0010】
冷却装置1は、放熱器3とポンプ8と吸熱器5を配管7で繋いで閉回路として、高圧冷媒が内部に充填されて構成する。ポンプ8から圧送された液相にある高圧冷媒は、まず吸熱器5に至り、この吸熱器5に熱伝導材料を介して密着された半導体素子6から発せられる熱9を吸熱する。このとき、吸熱した冷媒は一部が蒸発し、気相に変化する。続いて高圧冷媒は、放熱器3に至り、ファン4によって空冷されることにより、熱10を放熱し、再び液相になる。続いて、ポンプ8に戻り、再び吸熱器5に圧送されるものである。
【0011】
一方、吸熱器5は、吸熱器蓋12の上部に平板状ロー付け材料13、吸熱器熱交換主体部11の順に組合せて構成される。この際、この吸熱器熱交換主体部11の冷媒流路空間16が、吸熱器5の内部に構成されるように組合せられる。このような上下方向の構成によれば、溶融した平板状ロー付け材料13が冷媒流路空間16における熱貫流部21側の面に垂れ落ちることを防止でき、熱交換性能の悪化も抑制することができる。またこの冷媒流路空間16に通じる配管7は、例えば、リング状ロー材15を吸熱器熱交換主体部11との接合部近傍に設置する。
【0012】
この構成の状態で、還元性ガス雰囲気などの高温炉に入れる。高温炉内の温度は、平板状ロー付け材料13とリング状ロー材15の略融点となるように設定される。高温炉に入れて所定の時間を経て、十分に吸熱器蓋12と吸熱器熱交換主体部11、また配管7と吸熱器熱交換主体部11が互いに密着した状態にする。その後、冷却工程を経て完成する。
【0013】
この構成により、特に吸熱器蓋12と吸熱器熱交換主体部11とは、接合面部17で面接合される。この面接合によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる。
【0014】
(実施の形態2)
図3は、本発明の実施の形態2における吸熱器の断面図である。
【0015】
本実施の形態では、冷媒流路空間16の接合面部17に対する深さd=0.5mm以上であり、かつ平板状ロー付け材料13の厚みt=0.05〜0.2mmとしたものである。
【0016】
このように、dに比較して、tを十分小さくすることで、冷媒流路空間16が塞がる可能性をなくすことができる。
【0017】
この構成により、吸熱器蓋12と吸熱器熱交換主体部11とは、接合面部17で面接合される。この面接合によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる。
【0018】
(実施の形態3)
図4は、本発明の実施の形態3における吸熱器の部品組合せの斜視図である。
【0019】
本実施の形態では、平板状ロー付け材料13の中央に、冷媒流路空間16の断面相当の孔をあけたものである。
【0020】
このように、冷媒流路空間16の断面相当の孔をあけることで、冷媒流路空間16を極力大きくとることができる。
【0021】
この構成により、特に吸熱器蓋12と吸熱器熱交換主体部11とは、接合面部17で面接合される。この面接合によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる。
【0022】
(実施の形態4)
図5は、本発明の実施の形態4における吸熱器の加圧方向を示した斜視図である。図6は、本発明の実施の形態4における吸熱器の加圧方向を示した断面図である。
【0023】
吸熱器5は、吸熱器蓋12の上部に平板状ロー付け材料13、吸熱器熱交換主体部11の順に組合せて構成される。
【0024】
実施の形態1〜3で説明したので、説明は割愛するが、炉中ロー付けする際、吸熱器熱交換主体部11が、例えば銅などの高温で極端な軟化性を示す材料である場合、引張り強度が非常に低下する。
【0025】
しかし、プレスなどで吸熱器熱交換主体部11を、吸熱器5の側面方向から加圧することで、熱貫流部21付近において、材料そのものが圧縮されることで加工硬化を起こし、引張り強度を向上することができる。
【0026】
よって、冷媒の内圧が上昇しても、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化をより防止できる。
【0027】
(実施の形態5)
図7〜9は、本発明の実施の形態5における吸熱器の加圧方向と配管の配設方向の斜視図である。
【0028】
本実施の形態では、吸熱器5の表面で配管7が接続されていない面に加圧することを特徴としている。
【0029】
図7においては、配管7は吸熱器5の互いに対側面に配置され、この面と異なる方向を加圧方向としている。
【0030】
図8においては、配管7は吸熱器5の同一側面に配置され、この面と異なる方向を加圧方向としている。
【0031】
図9においては、配管7の一方を吸熱器5の側面に配置され、また配管7の他方はその側面と直交する面に配置され、いずれの面とも異なる方向を加圧方向としている。
【0032】
この構成により、吸熱器熱交換主体部11自体の引張り強度を向上することで、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を一層防止できる。
【0033】
さらに、加圧するためにプレス機械等を使用する場合、その加圧治具に干渉することなく、加圧することが可能となる。
【0034】
なお、高温軟化性を有する材料として、銅などが一般的であり、銅製であれば、高熱伝導性を有しており、吸熱器熱交換主体部11の熱交換性能を向上することも可能となる。
【0035】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、放熱部と、ポンプと、吸熱器を配管で接続して、閉回路を形成し、内部に冷媒が充填された冷却装置において、前記吸熱器は、熱交換主体部と蓋部よりなるものである。
【0036】
また本発明は、吸熱器は、冷媒流路空間を設けた熱交換主体部と蓋部の間に、平板状のロー材料を挟み、しかる後に炉中ロー付けして、組立てるものである。
【0037】
また本発明は、冷媒流路空間は、接合面部からの深さが0.5mm以上であり、かつ平板状ロー付け材料の厚みが0.05〜0.2mmであるものである。
また本発明は、平板状ロー付け材料の中央に、冷媒流路空間の断面相当の孔があいているものである。
また本発明は吸熱器の熱交換主体部を加圧加工するものである。
また本発明は吸熱器の表面で、配管が接続されていない面を加圧加工するものである。
【0038】
この構成をなすことにより、本発明の冷却装置は、吸熱器の吸熱器蓋と吸熱器熱交換主体部とは、接合面部で面接合される。この面接合によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1、4における冷却装置の回路図
【図2】本発明の実施の形態1における吸熱器の部品組合せの斜視図
【図3】本発明の実施の形態2における吸熱器の断面図
【図4】本発明の実施の形態3における吸熱器の部品組合せの斜視図
【図5】本発明の実施の形態4における吸熱器の加圧方向を示した斜視図
【図6】本発明の実施の形態4における吸熱器の加圧方向を示した斜視図
【図7】本発明の実施の形態5における吸熱器の加圧方向と配管の配設方向の斜視図
【図8】本発明の実施の形態5における吸熱器の加圧方向と配管の配設方向の斜視図
【図9】本発明の実施の形態5における吸熱器の加圧方向と配管の配設方向の斜視図
【図10】従来の冷却装置の斜視図
【符号の説明】
1 冷却装置
2 放熱部
3 放熱器
4 ファン
5 吸熱器
6 半導体素子
7 配管
8 ポンプ
9 熱
10 熱
11 吸熱器熱交換主体部
12 吸熱器蓋
13 平板状ロー付け材料
15 リング状ロー材
16 冷媒流路空間
17 接合面部
21 熱貫流部
101 吸熱器
102 放熱器
103 ポンプ
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子機器などに搭載された半導体素子などから発せられる熱を機器外部に放熱するための冷却装置の構造および製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の冷却装置としては、例えば、図10に記載されているようなものがあった。図10は従来の冷却装置の基本回路を示している。この図のように、吸熱器101と、放熱器102、ポンプ103といった構成は同じながら、一般には取り扱いの容易な、水系の冷媒が適用されており、その内部の圧力は、略大気圧の比較的圧力の低いものであった。(例えば、特許文献1参照)
【0003】
【特許文献1】
特開2001−24372号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の構成では、吸熱器の耐圧強度が考慮された構成ではなく、電子機器の冷却装置として、潜熱効果を利用し、冷却効果の大きいフロンなどの高圧な冷媒を使用した場合、吸熱器が変形し、吸熱器と被冷却体との接面の平面度の悪化を引き起こし、放熱性能が損なわれる可能性が高かった。
【0005】
本発明は、上記課題を解決するために、吸熱器の吸熱器熱交換主体部と吸熱器蓋を平板状ロー付け材料を介して面接合し、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる冷却装置の製造方法を提供することができる。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するため、本発明の冷却装置は、放熱部と、ポンプと、吸熱器を配管で接続して、閉回路を形成し、内部に冷媒が充填した構成において、この冷却器が、熱交換主体部と蓋部よりなり、また冷媒流路空間を設けた熱交換主体部と蓋部の間に、平板状のロー材料を挟み、しかる後に炉中ロー付けして、組立てられることで、この熱交換主体部と蓋部を面接合するものである。
【0007】
この構造ならびに製造方法によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【0009】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における冷却装置の回路図である。図2は、本発明の実施の形態1における吸熱器の部品組合せの斜視図である。
【0010】
冷却装置1は、放熱器3とポンプ8と吸熱器5を配管7で繋いで閉回路として、高圧冷媒が内部に充填されて構成する。ポンプ8から圧送された液相にある高圧冷媒は、まず吸熱器5に至り、この吸熱器5に熱伝導材料を介して密着された半導体素子6から発せられる熱9を吸熱する。このとき、吸熱した冷媒は一部が蒸発し、気相に変化する。続いて高圧冷媒は、放熱器3に至り、ファン4によって空冷されることにより、熱10を放熱し、再び液相になる。続いて、ポンプ8に戻り、再び吸熱器5に圧送されるものである。
【0011】
一方、吸熱器5は、吸熱器蓋12の上部に平板状ロー付け材料13、吸熱器熱交換主体部11の順に組合せて構成される。この際、この吸熱器熱交換主体部11の冷媒流路空間16が、吸熱器5の内部に構成されるように組合せられる。このような上下方向の構成によれば、溶融した平板状ロー付け材料13が冷媒流路空間16における熱貫流部21側の面に垂れ落ちることを防止でき、熱交換性能の悪化も抑制することができる。またこの冷媒流路空間16に通じる配管7は、例えば、リング状ロー材15を吸熱器熱交換主体部11との接合部近傍に設置する。
【0012】
この構成の状態で、還元性ガス雰囲気などの高温炉に入れる。高温炉内の温度は、平板状ロー付け材料13とリング状ロー材15の略融点となるように設定される。高温炉に入れて所定の時間を経て、十分に吸熱器蓋12と吸熱器熱交換主体部11、また配管7と吸熱器熱交換主体部11が互いに密着した状態にする。その後、冷却工程を経て完成する。
【0013】
この構成により、特に吸熱器蓋12と吸熱器熱交換主体部11とは、接合面部17で面接合される。この面接合によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる。
【0014】
(実施の形態2)
図3は、本発明の実施の形態2における吸熱器の断面図である。
【0015】
本実施の形態では、冷媒流路空間16の接合面部17に対する深さd=0.5mm以上であり、かつ平板状ロー付け材料13の厚みt=0.05〜0.2mmとしたものである。
【0016】
このように、dに比較して、tを十分小さくすることで、冷媒流路空間16が塞がる可能性をなくすことができる。
【0017】
この構成により、吸熱器蓋12と吸熱器熱交換主体部11とは、接合面部17で面接合される。この面接合によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる。
【0018】
(実施の形態3)
図4は、本発明の実施の形態3における吸熱器の部品組合せの斜視図である。
【0019】
本実施の形態では、平板状ロー付け材料13の中央に、冷媒流路空間16の断面相当の孔をあけたものである。
【0020】
このように、冷媒流路空間16の断面相当の孔をあけることで、冷媒流路空間16を極力大きくとることができる。
【0021】
この構成により、特に吸熱器蓋12と吸熱器熱交換主体部11とは、接合面部17で面接合される。この面接合によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる。
【0022】
(実施の形態4)
図5は、本発明の実施の形態4における吸熱器の加圧方向を示した斜視図である。図6は、本発明の実施の形態4における吸熱器の加圧方向を示した断面図である。
【0023】
吸熱器5は、吸熱器蓋12の上部に平板状ロー付け材料13、吸熱器熱交換主体部11の順に組合せて構成される。
【0024】
実施の形態1〜3で説明したので、説明は割愛するが、炉中ロー付けする際、吸熱器熱交換主体部11が、例えば銅などの高温で極端な軟化性を示す材料である場合、引張り強度が非常に低下する。
【0025】
しかし、プレスなどで吸熱器熱交換主体部11を、吸熱器5の側面方向から加圧することで、熱貫流部21付近において、材料そのものが圧縮されることで加工硬化を起こし、引張り強度を向上することができる。
【0026】
よって、冷媒の内圧が上昇しても、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化をより防止できる。
【0027】
(実施の形態5)
図7〜9は、本発明の実施の形態5における吸熱器の加圧方向と配管の配設方向の斜視図である。
【0028】
本実施の形態では、吸熱器5の表面で配管7が接続されていない面に加圧することを特徴としている。
【0029】
図7においては、配管7は吸熱器5の互いに対側面に配置され、この面と異なる方向を加圧方向としている。
【0030】
図8においては、配管7は吸熱器5の同一側面に配置され、この面と異なる方向を加圧方向としている。
【0031】
図9においては、配管7の一方を吸熱器5の側面に配置され、また配管7の他方はその側面と直交する面に配置され、いずれの面とも異なる方向を加圧方向としている。
【0032】
この構成により、吸熱器熱交換主体部11自体の引張り強度を向上することで、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を一層防止できる。
【0033】
さらに、加圧するためにプレス機械等を使用する場合、その加圧治具に干渉することなく、加圧することが可能となる。
【0034】
なお、高温軟化性を有する材料として、銅などが一般的であり、銅製であれば、高熱伝導性を有しており、吸熱器熱交換主体部11の熱交換性能を向上することも可能となる。
【0035】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、放熱部と、ポンプと、吸熱器を配管で接続して、閉回路を形成し、内部に冷媒が充填された冷却装置において、前記吸熱器は、熱交換主体部と蓋部よりなるものである。
【0036】
また本発明は、吸熱器は、冷媒流路空間を設けた熱交換主体部と蓋部の間に、平板状のロー材料を挟み、しかる後に炉中ロー付けして、組立てるものである。
【0037】
また本発明は、冷媒流路空間は、接合面部からの深さが0.5mm以上であり、かつ平板状ロー付け材料の厚みが0.05〜0.2mmであるものである。
また本発明は、平板状ロー付け材料の中央に、冷媒流路空間の断面相当の孔があいているものである。
また本発明は吸熱器の熱交換主体部を加圧加工するものである。
また本発明は吸熱器の表面で、配管が接続されていない面を加圧加工するものである。
【0038】
この構成をなすことにより、本発明の冷却装置は、吸熱器の吸熱器蓋と吸熱器熱交換主体部とは、接合面部で面接合される。この面接合によって、高圧冷媒による吸熱器内部の圧力を比較的広い面で支持することで、吸熱器としての耐圧強度を向上できる。その結果、吸熱器の、半導体素子などに対する接面の平面度の悪化を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1、4における冷却装置の回路図
【図2】本発明の実施の形態1における吸熱器の部品組合せの斜視図
【図3】本発明の実施の形態2における吸熱器の断面図
【図4】本発明の実施の形態3における吸熱器の部品組合せの斜視図
【図5】本発明の実施の形態4における吸熱器の加圧方向を示した斜視図
【図6】本発明の実施の形態4における吸熱器の加圧方向を示した斜視図
【図7】本発明の実施の形態5における吸熱器の加圧方向と配管の配設方向の斜視図
【図8】本発明の実施の形態5における吸熱器の加圧方向と配管の配設方向の斜視図
【図9】本発明の実施の形態5における吸熱器の加圧方向と配管の配設方向の斜視図
【図10】従来の冷却装置の斜視図
【符号の説明】
1 冷却装置
2 放熱部
3 放熱器
4 ファン
5 吸熱器
6 半導体素子
7 配管
8 ポンプ
9 熱
10 熱
11 吸熱器熱交換主体部
12 吸熱器蓋
13 平板状ロー付け材料
15 リング状ロー材
16 冷媒流路空間
17 接合面部
21 熱貫流部
101 吸熱器
102 放熱器
103 ポンプ
Claims (6)
- 放熱部と、ポンプと、吸熱器を配管で接続して、閉回路を形成し、内部に冷媒が充填された冷却装置において、前記吸熱器は、熱交換主体部と蓋部よりなることを特徴とした冷却装置。
- 吸熱器は、冷媒流路空間を設けた熱交換主体部と蓋部の間に、平板状のロー材料を挟み、しかる後に炉中ロー付けして、組立てることを特徴とする冷却装置の製造方法。
- 冷媒流路空間は、接合面部からの深さが0.5mm以上であり、かつ平板状ロー付け材料の厚みが0.05〜0.2mmであることを特徴とする、請求項1〜2のいずれかに記載の冷却装置の製造方法。
- 平板状ロー付け材料の中央に、冷媒流路空間の断面相当の孔があいていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の冷却装置の製造方法。
- 吸熱器の熱交換主体部を加圧加工することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の冷却装置の製造方法。
- 吸熱器の表面で、配管が接続されていない面を加圧加工することを特徴とする、請求項5に記載の冷却装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003174342A JP2005009766A (ja) | 2003-06-19 | 2003-06-19 | 冷却装置および製造方法 |
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---|---|---|---|
JP2003174342A JP2005009766A (ja) | 2003-06-19 | 2003-06-19 | 冷却装置および製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005009766A true JP2005009766A (ja) | 2005-01-13 |
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---|---|---|---|
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2003
- 2003-06-19 JP JP2003174342A patent/JP2005009766A/ja active Pending
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