JP2004363623A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハWに熱処理を行う熱処理装置の一種であるランプアニールであって、ウエハWを保持する支持ピン61と、支持ピン61に保持されたウエハWに熱処理を行うためのランプ21と、支持ピン61に保持されたウエハWの表面に対向する反射面を有し、かつ穴72が形成された反射板72と、穴72に設けられ、かつウエハWの温度を計測する温度計測部70と、反射板72を覆い、光透過性を有し、上端が平面で閉塞された円筒状の透過キャップ60と、を備える。
【選択図】図1
Description
11 リフレクタ
12 ハウジング
21 ランプ
50 反射部
60 透過キャップ
61 支持ピン
62 エアシリンダ
70 温度計測部
71 反射板
141 均熱リング
W ウエハ
Claims (4)
- 基板に熱処理を行う熱処理装置であって、
基板を保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された基板に熱処理を行うための熱源と、
前記保持手段に保持された基板表面に対向する反射面を有し、かつ穴が形成された反射板と、
前記穴内に設けられ、かつ基板の温度を計測する温度計測手段と、
前記反射板を覆い、光透過性を有し、上端が平面で閉塞された円筒状の透過キャップと、
を備えたことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置であって、
前記透過キャップが石英製であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の熱処理装置であって、
前記保持手段が、基板の周縁部分を保持し、
前記透過キャップの上面に基板を支持する支持ピンが設けられ、
前記透過キャップが昇降されることにより、基板が前記保持手段と前記支持ピンとの間で受け渡しされることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の熱処理装置であって、
前記穴の周囲における前記反射板の反射面に金属薄膜を形成したことを特徴とする熱処理装置。
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