【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造で使用されるウェーハ輸送容器の蓋体を開閉する操作中および容器本体と蓋体を切り離した後も把持するウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハを輸送するウェーハ輸送容器は、例えば、特開２０００−１５９２８８に詳細に記載されているが、容器本体１と蓋体２から構成されている。容器本体１と蓋体２は閉まっている状態ではクランプ板３によりクランプされている。クランプを解除する方法はウェーハ輸送容器の製造メーカによって異なるが、手動操作で解除できる。
手動で蓋体２を開閉する作業は多くの場合蓋体２を上方に向くようにウェーハ輸送容器を置いて行う。蓋体２を開ける場合はクランプ板３によるクランプを解除し蓋体２を取り去る。取り去られた蓋体２は一時的に保管する場所を設けて保管する。容器本体１はウェーハの装入または取出しを行うためウェーハ搬送機などの処理ステージ上に置かれる。蓋体２を閉じる場合はウェーハ搬送機などの処理ステージ上に置かれた容器本体１を取外し、蓋体２を容器本体１に嵌め、クランプ体３によるクランプを施錠する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の方法でウェーハ輸送容器の蓋体を開閉する操作は、容器本体と蓋体を切り離した後、蓋体の一時的な保管場所を設ける必要があり、操作の安定性もよくない上、蓋体を開けた後容器本体を処理ステージに載置するまで時間と移動距離が長く、または容器本体を処理ステージから取外し蓋体を閉じるまでの時間と移動距離が長く、パーティクル（異物微粒子）がウェーハ輸送容器内に混入しやすいという問題点があった。
【０００４】
本発明は容器本体と蓋体を切り離した後の蓋体の一時的な保管場所を兼ね、簡単かつ安定した操作で短時間に蓋体を開閉し、パーティクル（異物微粒子）のウェーハ輸送容器内への混入を低減させることが可能となるウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置においては、蓋体を把持するための蓋体把持アームを有する。またウェーハ輸送容器を一定位置に置くための位置決めピンを具備した搭載ベースを有する。搭載ベースはウェーハ輸送容器を置く（取外す）位置と蓋体を把持する位置の間をスライドレールによりガイドされ移動する。搭載ベースがウェーハ輸送容器を搭載し、蓋体を把持する位置に移動して蓋体を把持し、ウェーハ輸送容器のクランプ体によるクランプを解除し、搭載ベースをウェーハ輸送容器を置く位置に移動し、容器本体と蓋体を切り離すことができる。蓋体を把持するには機械的に把持する方法と真空吸着による把持する方法が利用できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図３および図４に示される実施例ではベース板１４に前面プレート１０を垂直に固定し、前面プレート１０に蓋体把持アーム１１とアームガイド１２を上下各２組取付ける。上部の蓋体把持アーム１１と下部の蓋体把持アーム１１はアームガイド１２にガイドされ互いに逆方向に同時にスライドさせることで蓋体２を把持、開放できる構造とする。
【０００７】
図４の搭載ベース１３は位置決めピン１５を取付け、ベース板１４との間にスライドレール１６を取付け、前後（図４では左右）に移動できる構造とする。
【０００８】
図５（ａ）はウェーハ輸送容器載置の待機状態である。ウェーハ輸送容器の蓋体２を開けるには、ウェーハ輸送容器は搭載ベース１３上の位置決めピン１５に合わせて置く（図５（ｂ））。ついで搭載ベース１３を蓋体２を把持する位置に前進させる（図５（ｃ））。ついで蓋体把持アーム１１を操作して蓋体２を把持する（図５（ｄ））。ついでウェーハ輸送容器のクランプ板３を解除する（図５（ｅ））。ついで搭載ベース１３を後退させ容器本体１と蓋体２を切り離す（図５（ｆ））。容器本体１を取外した後も蓋体２を把持し続ける（図５（ｇ））。ウェーハ輸送容器の蓋体２を閉じるには、開ける操作の逆順に図５の（ｆ）、（ｅ）、（ｄ）、（ｃ）、（ｂ）の順に操作する。
【０００９】
【実施例】
図６は真空吸着パッド２０により蓋体２を把持する実施例である。
【００１０】
【発明の効果】
本発明によりウェーハ輸送容器の容器本体と蓋体を切り離した後の蓋体の一時的な保管場所が不要となり、簡単な操作で安定かつ短時間で開閉操作が可能となり、パーティクルのウェーハ輸送容器あるいは容器本体への混入を低減できる。さらに構造が簡単であり製造コストも安価である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハ輸送容器の側面図である。
【図２】本発明に係るウェーハ輸送容器の従来の手動開閉操作を説明する側面図である。
【図３】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の正面図である。
【図４】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の側面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）図は本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を把持する装置の操作手順を説明する側面図である。
【図６】本発明のウェーハ輸送容器の蓋体を真空吸着により把持する方法を示す側面図である。
【符号の説明】
１ 容器本体
２ 蓋体
３ クランプ板
４ ウェーハ
１０ 前面プレート
１１ 蓋体把持アーム
１２ アームガイド
１３ ベース板
１４ 搭載ベース
１５ 位置決めピン
１６ スライドレール
１７ ハンドル
１８ 開口
２０ 真空吸着パッド[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for gripping a lid of a wafer transport container that is gripped during an operation of opening and closing a lid of a wafer transport container used in semiconductor manufacturing and also after separating the lid from the container body.
[0002]
[Prior art]
The wafer transport container for transporting wafers is described in detail in, for example, JP-A-2000-159288, and is composed of a container body 1 and a lid 2. The container body 1 and the lid 2 are clamped by the clamp plate 3 in a closed state. The method of releasing the clamp differs depending on the manufacturer of the wafer transport container, but can be released by manual operation.
In many cases, the operation of manually opening and closing the lid 2 is performed by placing the wafer transport container so that the lid 2 faces upward. When opening the lid 2, the clamp by the clamp plate 3 is released, and the lid 2 is removed. The removed lid 2 is stored by providing a place for temporary storage. The container body 1 is placed on a processing stage such as a wafer transfer machine for loading or unloading a wafer. When closing the lid 2, the container body 1 placed on a processing stage such as a wafer transfer machine is removed, the lid 2 is fitted to the container body 1, and the clamp by the clamp body 3 is locked.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The operation of opening and closing the lid of the wafer transport container by the conventional method requires separating the container body and the lid, and then providing a temporary storage space for the lid, which is not stable in operation, and the lid is not good. After opening the body, the time and moving distance is long until the container body is placed on the processing stage, or the time and moving distance until the container body is removed from the processing stage and the lid is closed is long, and particles (foreign matter fine particles) There was a problem that it was easily mixed into the transport container.
[0004]
The present invention also serves as a temporary storage area for the lid after the lid is separated from the container body, and opens and closes the lid in a short time with a simple and stable operation, so that particles (foreign particle) can be transported into the wafer transport container. It is an object of the present invention to provide an apparatus for gripping a lid of a wafer transport container, which can reduce contamination of the wafer.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an apparatus for gripping a lid of a wafer transport container according to the present invention has a lid gripping arm for gripping the lid. Further, it has a mounting base provided with positioning pins for placing the wafer transport container at a fixed position. The mounting base is moved by a slide rail between a position where the wafer transport container is placed (removed) and a position where the lid is gripped. The mounting base mounts the wafer transport container, moves to the position where the lid is gripped, grips the lid, releases the clamp by the clamp body of the wafer transport container, and moves the mounting base to the position where the wafer transport container is placed. The container body and the lid can be separated. To grip the lid, a mechanical gripping method and a gripping method by vacuum suction can be used.
[0006]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the embodiment shown in FIGS. 3 and 4, the front plate 10 is fixed vertically to the base plate 14, and two sets of upper and lower lid gripping arms 11 and arm guides 12 are attached to the front plate 10. The upper lid gripping arm 11 and the lower lid gripping arm 11 are guided by an arm guide 12, and are configured to be able to grip and open the lid 2 by simultaneously sliding in opposite directions.
[0007]
The mounting base 13 shown in FIG. 4 has a structure in which a positioning pin 15 is mounted, a slide rail 16 is mounted between the mounting base 13 and the base plate 14, and the base 13 can be moved back and forth (left and right in FIG. 4).
[0008]
FIG. 5A shows a standby state of mounting the wafer transport container. To open the lid 2 of the wafer transport container, the wafer transport container is placed in alignment with the positioning pins 15 on the mounting base 13 (FIG. 5B). Next, the mounting base 13 is advanced to a position where the lid 2 is gripped (FIG. 5C). Next, the lid gripping arm 11 is operated to grip the lid 2 (FIG. 5D). Next, the clamp plate 3 of the wafer transport container is released (FIG. 5E). Next, the mounting base 13 is retracted to separate the container body 1 and the lid 2 (FIG. 5 (f)). Even after the container body 1 is removed, the lid 2 is kept grasped (FIG. 5 (g)). To close the lid 2 of the wafer transport container, the operation is performed in the order of (f), (e), (d), (c), and (b) in FIG.
[0009]
【Example】
FIG. 6 shows an embodiment in which the lid 2 is gripped by the vacuum suction pad 20.
[0010]
【The invention's effect】
The present invention eliminates the need for a temporary storage space for the lid body after the lid body is separated from the container body of the wafer transport container, and enables stable and short-time opening and closing operation with a simple operation. Mixing into the container body can be reduced. Further, the structure is simple and the manufacturing cost is low.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view of a wafer transport container according to the present invention.
FIG. 2 is a side view illustrating a conventional manual opening / closing operation of the wafer transport container according to the present invention.
FIG. 3 is a front view of an apparatus for gripping a lid of a wafer transport container according to the present invention.
FIG. 4 is a side view of an apparatus for gripping a lid of a wafer transport container according to the present invention.
FIGS. 5 (a), (b), (c), (d), (e), (f), and (g) show operation procedures of the apparatus for gripping the lid of the wafer transport container of the present invention. It is a side view explaining.
FIG. 6 is a side view showing a method of gripping the lid of the wafer transport container of the present invention by vacuum suction.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Container main body 2 Lid 3 Clamp plate 4 Wafer 10 Front plate 11 Lid gripping arm 12 Arm guide 13 Base plate 14 Mounting base 15 Positioning pin 16 Slide rail 17 Handle 18 Opening 20 Vacuum suction pad
