JP2004327852A - プローブ装置およびその試験方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハステージ4に載置されたウエハ3に、プローブカード2の針先1が接触し、そのプローブ針とウエハとの接触箇所5の位置からオーバードライブが徐々にかかる機構になっているが、オーバードライブを段階的にかけながらウエハステージ4をX軸、Y軸、θ軸方向に微移動させる。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はプローブ装置に関し、特にウエハステージを微移動させ半導体ウエハの電極とプローブ探針との接触を改善させる機能を有したプローブ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種のプローブ装置は、半導体ウエハから電気測定によって良品チップを選別することを目的として用いられる。これら装置に電気測定時の接触抵抗を改善させる技術として、公知例の特許第3208734号を図3、を用いて説明する。半導体ウエハ31上に設けられた電極パッド32にプローブ針33を接触させ、このプローブ針33を設けたプローブカードテスタにそれぞれ接続して各素子の電気的特性を測定するように構成している。基板34や支持部材36を設けた振動子39,40を介してプローブ針を微振動させ、或いはチャック38に設けたX,YステージをX軸又はY軸に数μm単位で微移動させて測定するように構成したもので、プローブ針でウエハ31を測定する際にオーバードライブをかけた状態でX軸、Y軸、θ軸方向に数μm単位の移動を行うものである。
【0003】
次に、公知例の特開平6−124985を、図4を用いて説明する。プローブカード41のプローブ針42の先端位置を、ウエハ50の検査位置と対応するように配設する。載置台20の進退駆動機構(矢印Z)により各プローブ針2をウエハ50面と接触した後、オーバードライブして接触圧をかけたまま、載置台をX方向、Y方向へ微小制御駆動するものである。
【0004】
これら、公知例はいずれもウエハにオーバードライブをかけた状態にてウエハステージを微移動させている為、製品にかかる負荷は大きいと考えられる。この問題は、高集積化され、パッドの下にある配線が細く薄くなる程、負荷がかかるとクラックが生じやすく配線不良をきたし易くなる。又、パッド上に半田バンプが載置された製品では、オーバードライブをかけた状態で微移動させると、バンプにかかる負荷が大きく、バンプの根元からクラックが入り製品の歩留を大きく下げることになり対応不可能となる。
【0005】
また、公知例の特開2001−250850ではウエハステージを超音波で駆動する先行技術が記載されているがウエハステージを超音波で駆動すると針先にかかる機械的エネルギーの調整が困難で、共振が発生するとウエハを破壊する懸念が大きい。
【0006】
【特許文献1】
特許第3208734号公報(第2頁、図1)
【特許文献2】
特開平6−124985号公報(第3頁、図1)
【特許文献3】
特開2001−250850号公報(第2頁、図1)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の先行技術においては、両者共、ウエハステージの微移動はオーバードライブをかけた状態にて行う為、ウエハにかかる負荷が大きく、特にパッド上に半田バンプが載置された製品ではバンプが潰されるため製品の歩留低下を招く恐れがあり対応不可であった。
【0008】
したがって、本発明の目的は、プローブ装置において、プローブ針でウエハを測定する際にオーバードライブをかけながら、X軸、Y軸、θ軸方向に数μm単位の微移動を行うことができる。オーバードライブを徐々にかけながらウエハステージの微移動を行うことにより、接圧がかかりきった状態で微移動するのと異なり、ウエハへかかる負荷を少なくできるため、製品の歩留向上が可能となる。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明のプローブ装置は、ウエハステージに載置されたウエハに、プローブカードの針先が接触し、そのプローブ針とウエハとの接触箇所の位置からオーバードライブがかかる機構をもち、オーバードライブを徐々にかけながらウエハステージを微移動させることを特徴とする。
また、前記微移動がX軸方向あるいはY軸方向であることを特徴とする。
また、前記微移動がX軸方向及びY軸方向であることを特徴とする。
また、前記微移動がθ軸方向であることを特徴とする。
また、ウエハステージ駆動用のステッピングモータを駆動することによって前記微移動を実現することを特徴とする。
また、半発明の試験方法は、第1のステップで規定のプローブ装置のオーバードライブをかけ、第2のステップでウエハステージを微移動させた後、第3のステップで導通試験を行い、この導通試験が予め設定された規格値内であれば、第5のステップの本試験を行って良否判定をする、規格値外であるならば第4のステップに進み、前記オーバードライブ量が規定値を超えたか否かを判定し超えているならばそのまま不良判定し、超えていないならば、前記オーバードライブ量を前記第1のステップの設定値より微小増加させて前記第2のステップにもどることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施形態の構成を示す概略図である。図1に示されるように、本実施形態は、ウエハステージ4に載置されたウエハ3に、プローブカード2の針先1が接触し、そのプローブ針とウエハとの接触箇所5の位置からオーバードライブがかかる機構になっているが、オーバードライブを徐々にかけながらウエハステージ4をX軸、Y軸、θ軸方向に微移動させることが可能な機構を持つことを特徴とする。この微移動を実現するのにプローブ装置のステッピングモータを使用することが可能である。
【0011】
この機構によって、ウエハステージ4に載置されたウエハ3に、プローブカード2の針先1が接触し、そのプローブ針とウエハとの接触箇所5の位置からオーバードライブが徐々にかかる機構になっているが、オーバードライブを徐々にかけながらウエハステージ4をX軸、Y軸、θ軸方向に微移動させる動きをとる。
【0012】
ここで、図2は本発明のプローブ装置によるウエハソート方法を示したフロー図である。この図に従って本発明の試験方法を説明する。まずステップ1でオーバードライブをかけ、ステップ2でウエハステージを微移動させた後、ステップ3で導通試験を行い、この導通試験が予め設定された規格値内であれば、ステップ5の本試験を行い良否判定をする、規格値外であるならばステップ4に進み、オーバードライブ量が規定値を超えたか否かを判定し超えているならばそのまま不良判定し、超えていないならば、前記ステップ1にもどる。
【0013】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、オーバードライブを徐々にかけながらウエハステージを微移動させることによって、ウエハにかかる負荷を低減しながら接触抵抗値の低減も可能となり、製品の歩留向上に効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の構成を示す概略図である。
【図2】本発明の試験方法を示すフロー図である。
【図3】従来例1の構成を示す概略図である。
【図4】従来例2の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
1 針先
2 プローブカード
3 ウエハ
4 ウエハステージ
5 接触箇所
6 ステップ1
7 ステップ2
8 ステップ3
9 ステップ4
10 ステップ5
11 ステップ6
31 半導体ウエハ
32 電極パッド
33 プローブ針
34 基板
36 支持部材
38 チャック
39,40 振動子
41 プローブカード
42 プローブ針
43 載置台
44 ウエハ
Claims (7)
- ウエハステージに載置されたウエハに、プローブカードの針先が接触し、そのプローブ針とウエハとの接触箇所の位置からオーバードライブがかかる機構をもち、オーバードライブを徐々にかけながらウエハステージを微移動させることを特徴とするプローブ装置。
- 前記微移動がX軸方向あるいはY軸方向であることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記微移動がX軸方向及びY軸方向であることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記微移動がθ軸方向であることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- ウエハステージ駆動用のステッピングモータを駆動することによって前記微移動を実現することを特徴とする請求項1乃至4に記載のプローブ装置。
- 導通特性の試験を、プローブ装置のオーバードライブ量をステップ毎に増加させ、且つウエハステージをステップ毎に微移動させ、あらかじめ規定された導通特性の値に達したことを確認してから本試験を行うことを特徴とした半導体ウエハの試験方法。
- 第1のステップで規定のプローブ装置のオーバードライブをかけ、第2のステップでウエハステージを微移動させた後、第3のステップで導通試験を行い、この導通試験が予め設定された規格値内であれば、第5のステップの本試験を行って良否判定をする、規格値外であるならば第4のステップに進み、前記オーバードライブ量が規定値を超えたか否かを判定し超えているならばそのまま不良判定し、超えていないならば、前記オーバードライブ量を前記第1のステップの設定値より微小増加させて前記第2のステップにもどることを特徴とした半導体ウエハの試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003122589A JP2004327852A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | プローブ装置およびその試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003122589A JP2004327852A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | プローブ装置およびその試験方法 |
Publications (1)
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JP2004327852A true JP2004327852A (ja) | 2004-11-18 |
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ID=33500765
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JP2003122589A Pending JP2004327852A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | プローブ装置およびその試験方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2004327852A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015105834A (ja) * | 2013-11-28 | 2015-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 電子部品検査装置、電子部品の検査方法、及び、検査方法のプログラム |
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2003
- 2003-04-25 JP JP2003122589A patent/JP2004327852A/ja active Pending
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