JP2004327812A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シャロートレンチ素子分離領域2とアクティブ領域3とに分離し、前記アクティブ領域3に第1の酸化膜41、窒化膜42、及び第2の酸化膜43からなるONO層を成膜する際に、先ず、ボトム層をなす第1の酸化膜41を前記シャロートレンチ素子分離領域2及びアクティブ領域3上に形成し、次いで、中間層をなす窒化膜42を、前記アクティブ領域3上に、当該アクティブ領域3を一部露出させる状態で形成し、次いで、トップ層をなす第2の酸化膜42を、前記シャロートレンチ素子分離領域2及びアクティブ領域3上に熱酸化により形成する。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に関し、特に、シャロートレンチ素子分離法によりSTI領域とアクティブ領域とに分離した半導体装置及びその製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、不揮発性半導体記憶装置の一つとして、シリコン窒化膜中に電荷をトラップさせてデータを記憶するMONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Semiconductor)デバイスが知られている。
【0003】
かかるMONOSデバイスには、記憶装置としての性能と併せて、電荷(情報)保持(Data Retention)特性、電荷(情報)書換特性(Endurance特性)、Write Disturb耐性が良いことが求められている。
【0004】
また、上述したMONOSデバイスにおける素子分離構造として、近年では微細化に対応すべく、特許文献1に示すように、シャロートレンチ素子分離(以下「STI:Shallow Trench Isolation」という)法が用いられてきた。
【0005】
これは、Si(シリコン)にドライエッチングで溝を形成し、この溝中にSiO2を化学気相成長法(CVD:Chemical Vapor Deposition)により埋め込み、最後にCMP(Chemical and Mechanical Polishing)によって平坦化して、シャロートレンチ素子分離領域とアクティブ領域とを分離形成したSTI構造を得る技術である。
【0006】
かかるSTI構造を有するMONOSデバイスを製造する場合、図3に示すように、アクティブ領域(Si)100とSTI領域(SiO2)200の両領域100,200上に、ONO膜(酸化膜(トップ層)−窒化膜(中間層)−酸化膜(ボトム層))300を形成し、このONO膜300上にゲート電極400を積層成長させていた。
【0007】
図3中、500はSTI領域200に接するアクティブ領域100のエッジ部であり、600はこのエッジ部500に接してSTI領域200側に形成されるDivotと呼ばれる窪みである。
【0008】
【特許文献1】
特開2002−246480号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、STI構造ではアクティブ領域100に接するSTI領域200の端部でDivotと呼ばれる窪み600が形成されるために、その影響によって前記アクティブ領域100のエッジ部500が相対的に鋭角状になっている。
【0010】
このために、デバイス動作時においてこのエッジ部500に電界が集中しやすくなり、ストレスが増大してONO膜300の劣化を引起し、前記した電荷(情報)保持(Data Retention)特性、電荷(情報)書換特性(Endurance特性)、Write Disturb耐性が低下するという問題があった。また、ONO膜300にも物理的な歪みが生じていた。
【0011】
本発明は、上記課題を解決して、デバイスの動作特性低下を防止することのできる半導体装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の本発明では、基板上でシャロートレンチ素子分離法により分離されたアクティブ領域の上方位置に酸化膜を形成した半導体装置において、前記酸化膜を熱酸化により形成し、前記アクティブ領域のエッジ部の形状を鈍化させた。
【0013】
また、請求項2記載の本発明では、熱酸化により形成する酸化膜は、下側から第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜の前記第1と第2の酸化膜のうちのいずれか一方であることとした。
【0014】
また、請求項3記載の本発明では、前記窒化膜を、前記アクティブ領域上で、かつ当該アクティブ領域のエッジ部近傍を露出させた状態で形成した。
【0015】
さらに、請求項4記載の本発明では、前記第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜の前記第2の酸化膜を熱酸化により形成した。
【0016】
請求項5記載の本発明では、基板上でシャロートレンチ素子分離法により分離されたアクティブ領域の上方位置に、第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜を形成するとともに、前記第1と第2の酸化膜のうちのいずれか一方を熱酸化により形成する半導体装置の製造方法とした。
【0017】
また、請求項6記載の本発明では、前記窒化膜を、前記アクティブ領域上で、かつ当該アクティブ領域のエッジ部近傍を露出させた状態で形成することとした。
【0018】
請求項7記載の本発明では、基板上でシャロートレンチ素子分離法によりシャロートレンチ素子分離領域とアクティブ領域とに分離し、前記アクティブ領域に第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜を形成する半導体装置の製造方法において、前記3層膜を成膜する際に、先ず、前記第1の酸化膜を前記シャロートレンチ素子分離領域及びアクティブ領域上に形成し、次いで、前記窒化膜を、前記アクティブ領域上に、当該アクティブ領域を一部露出させる状態で形成し、次いで、前記第2の酸化膜を、前記シャロートレンチ素子分離領域及びアクティブ領域上に熱酸化により形成すること。
【0019】
【発明の実施の形態】
本発明は、基板上でシャロートレンチ素子分離法により分離されたアクティブ領域の上方位置に酸化膜を形成した半導体装置において、前記酸化膜を熱酸化により形成し、前記アクティブ領域のエッジ部の形状を鈍化させたものである。
【0020】
適用する半導体装置としては、前記アクティブ領域上に下側から第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜、すなわち、ONO(酸化膜−窒化膜−酸化膜)層を形成するとともに、このONO層上にゲート電極を形成し、前記窒化膜中に電荷をトラップさせてデータを記憶するMONOS構造の不揮発性メモリなどの半導体記憶装置に好適である。
【0021】
CVD法にて形成する酸化膜は、熱酸化法により得られる酸化膜に比べて質的にやや劣る面があるので、前記酸化膜は、前記ONO(酸化膜−窒化膜−酸化膜)層のボトム層(第1の酸化膜)とトップ層(第2の酸化膜)をなす酸化膜のうちの一方であればよい。そして、好ましくはトップ層をなす第2の酸化膜を熱酸化により形成することとする。
【0022】
また、このとき、前記ONO層の中間層をなす窒化膜を、前記アクティブ領域上で、かつ当該アクティブ領域のエッジ部近傍を露出させた状態で形成し、その後、前記ONO層のトップ層を熱酸化により形成することが好ましい。すなわち、前記窒化膜をマスクとすることにより、熱酸化によりアクティブ領域のエッジ部近傍のみを鈍化させることができる。
【0023】
このように、アクティブ領域のエッジ部の形状を鈍化させることにより、半導体記憶装置の動作時において、前記エッジ部への電界集中を防止してストレスの増大を防ぎ、電荷(情報)保持(Data Retention)特性、電荷(情報)書換特性(Endurance特性)、Write Disturb耐性の低下を防止することができる。また、ONO層が歪むこともない。
【0024】
上記半導体記憶装置を製造する場合は、先ず、基板上でシャロートレンチ素子分離法によりシャロートレンチ素子分離領域とアクティブ領域とに分離し、その後ONO層を成膜する際に、先ず、ボトム層をなす第1の酸化膜を前記シャロートレンチ素子分離領域及びアクティブ領域上に形成し、次いで、中間層をなす窒化膜を、前記アクティブ領域上に、当該アクティブ領域を一部露出させる状態で形成し、次いで、トップ層をなす第2の酸化膜を、前記シャロートレンチ素子分離領域及びアクティブ領域上に熱酸化により形成する。
【0025】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態をより詳細に説明する。
【0026】
図1及び図2に本実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す。
【0027】
先ず、Si(シリコン)基板1上で、シャロートレンチ素子分離法によりシャロートレンチ素子分離領域(以下「STI領域」という)2とアクティブ領域3とに分離する。
【0028】
次に、前記STI領域2及びアクティブ領域3の上に、ONO(酸化膜−窒化膜−酸化膜)層4を形成するが、このとき、ボトム層をなす第1の酸化膜として第1のSiO2層41をCVDにより積層成長させる。この第1のSiO2層41は、HTO(High Temperature Oxide)材質の酸化膜である。
【0029】
次に、前記第1のSiO2層41上全面に、中間層をなす窒化膜としてのSi3N4層42をCVDにより積層成長させるとともに、リソグラフィ加工により、このSi3N4層42を、前記アクティブ領域3上で、かつ当該アクティブ領域3のエッジ部30近傍を露出させる形状に成形する。すなわち、Si3N4層42については、STI領域2上には残らないようにするのである。
【0030】
さらに、図2に示すように、トップ層をなす第2の酸化膜として第2のSiO2層43を熱酸化により形成する。この熱酸化により、アクティブ領域3のエッジ部30のSi基板が酸化されて、その形状が丸みを帯びた鈍化状態となる。なお、このとき、ボトム層をなす第1のSiO2層41と中間層をなすSi3N4層42との間に熱酸化により形成された第2のSiO2層43が成長し、ビーク(Beak)5が伸びた状態となっている。
【0031】
このような構造からなるONO層4を形成した後、ゲート電極6を形成して本実施形態に係る半導体記憶装置を得ることができる。
【0032】
このように、本実施形態では、半導体記憶装置には通常用いることのない熱酸化による酸化膜を形成し、これによってアクティブ領域3のエッジ部30の形状を鈍化させ、半導体記憶装置の動作時において、前記エッジ部30への電界集中を防止してストレスの増大を防ぎ、電荷(情報)保持(Data Retention)特性、電荷(情報)書換特性(Endurance特性)、Write Disturb耐性の低下を防止している。
【0033】
【発明の効果】
本発明は、以上説明してきたような形態で実施され、以下の効果を奏する。
【0034】
(1)請求項1記載の本発明では、基板上でシャロートレンチ素子分離法により分離されたアクティブ領域の上方位置に酸化膜を形成した半導体装置において、前記酸化膜を熱酸化により形成し、前記アクティブ領域のエッジ部の形状を鈍化させたことにより、エッジ部への電界集中を防止することができる。したがって、半導体装置が記憶装置である場合、シャロートレンチ素子分離法によって半導体記憶装置の微細化に対応しつつ、電荷(情報)保持(Data Retention)特性、電荷(情報)書換特性(Endurance特性)、Write Disturb耐性の低下を防止することができる。
【0035】
(2)請求項2記載の本発明では、熱酸化により形成する前記酸化膜は、下側から第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜(ONO層)の前記第1と第2の酸化膜のうちのいずれか一方であることとしたので、酸化膜の質を大きく低下させることがない。
【0036】
(3)請求項3記載の本発明では、前記窒化層を、前記アクティブ領域上で、かつ当該アクティブ領域のエッジ部近傍を露出させた状態で形成したことにより、この窒化層を、前記ONO層のトップ層である第1の酸化膜を熱酸化で形成する場合のマスクとすることができる。
【0037】
(4)請求項4記載の本発明では、前記第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜の前記第2の酸化膜を熱酸化により形成したことにより、前記窒化層をマスクとして、アクティブ領域のエッジ部を所望する範囲で鈍化させることができる。また、前記ONO層である3層全体が歪むこともない。
【0038】
(5)請求項5記載の本発明では、基板上でシャロートレンチ素子分離法により分離されたアクティブ領域の上方位置に、第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜(ONO層)を形成するとともに、前記第1と第2の酸化膜のうちのいずれか一方を熱酸化により形成する半導体記憶装置の製造方法としたことにより、アクティブ領域のエッジ部の形状を酸化により鈍化させて、当該エッジ部への電界集中を防止することのできる半導体装置を得ることができる。したがって、半導体装置が記憶装置である場合、シャロートレンチ素子分離法によって半導体記憶装置の微細化に対応しつつ、電荷(情報)保持(Data Retention)特性、電荷(情報)書換特性(Endurance特性)、Write Disturb耐性の低下を防止することができる。また、3層の酸化膜の質を大きく低下させることなく特性の良好な半導体装置を得ることができる。
【0039】
(6)請求項6記載の本発明では、前記窒化膜を、前記アクティブ領域上で、かつ当該アクティブ領域のエッジ部近傍を露出させた状態で形成することとしたので、半導体装置の製造工程において、前記第2の酸化膜を熱酸化で形成する場合にこの窒化層をマスクとすることができる。
【0040】
(7)請求項7記載の本発明では、基板上でシャロートレンチ素子分離法によりシャロートレンチ素子分離領域とアクティブ領域とに分離し、前記アクティブ領域に第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜を形成する半導体装置の製造方法において、前記3層膜を成膜する際に、先ず、前記第1の酸化膜を前記シャロートレンチ素子分離領域及びアクティブ領域上に形成し、次いで、前記窒化膜を、前記アクティブ領域上に、当該アクティブ領域を一部露出させる状態で形成し、次いで、前記第2の酸化膜を、前記シャロートレンチ素子分離領域及びアクティブ領域上に熱酸化により形成した。したがって、第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る前記3層の歪みを防止しつつ、アクティブ領域のエッジ部の所望する範囲をを酸化により鈍化させて、当該エッジ部への電界集中を防止することのできる半導体装置を得ることができ、例えば半導体装置が記憶装置である場合、シャロートレンチ素子分離法によって半導体記憶装置の微細化に対応しつつ、電荷(情報)保持(Data Retention)特性、電荷(情報)書換特性(Endurance特性)、Write Disturb耐性の低下を防止した高性能の半導体記憶装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態に係る半導体装置の製造工程の一を示す説明図である。
【図2】本実施形態に係る半導体装置の製造工程の一を示す説明図である。
【図3】従来のMONOS構造からなる半導体装置の説明図である。
【符号の説明】
1 Si(シリコン)基板
2 STI領域
3 アクティブ領域
4 ONO層
5 ビーク(Beak)
6 ゲート電極
41 第1のSiO2層
42 Si3N4層
43 第2のSiO2層
Claims (7)
- 基板上でシャロートレンチ素子分離法により分離されたアクティブ領域の上方位置に酸化膜を形成した半導体装置において、
前記酸化膜を熱酸化により形成し、前記アクティブ領域のエッジ部の形状を鈍化させたことを特徴とする半導体装置。 - 熱酸化により形成する酸化膜は、下側から第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜の前記第1と第2の酸化膜のうちのいずれか一方であることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
- 前記窒化膜を、前記アクティブ領域上で、かつ当該アクティブ領域のエッジ部近傍を露出させた状態で形成したことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。
- 前記第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜の前記第2の酸化膜を熱酸化により形成したことを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。
- 基板上でシャロートレンチ素子分離法により分離されたアクティブ領域の上方位置に、第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜を形成するとともに、前記第1と第2の酸化膜のうちのいずれか一方を熱酸化により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記窒化膜を、前記アクティブ領域上で、かつ当該アクティブ領域のエッジ部近傍を露出させた状態で形成することを特徴とする請求項5記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上でシャロートレンチ素子分離法によりシャロートレンチ素子分離領域とアクティブ領域とに分離し、前記アクティブ領域に第1の酸化膜、窒化膜、第2の酸化膜から成る3層膜を形成する半導体装置の製造方法において、
前記3層膜を成膜する際に、先ず、前記第1の酸化膜を前記シャロートレンチ素子分離領域及びアクティブ領域上に形成し、次いで、前記窒化膜を、前記アクティブ領域上に、当該アクティブ領域を一部露出させる状態で形成し、次いで、前記第2の酸化膜を、前記シャロートレンチ素子分離領域及びアクティブ領域上に熱酸化により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP2003122041A JP2004327812A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 半導体装置及びその製造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007081294A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Sharp Corp | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
US7495285B2 (en) | 2005-06-23 | 2009-02-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | FinFETs and nonvolatile memory devices including FinFETs |
JP2018006694A (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2003
- 2003-04-25 JP JP2003122041A patent/JP2004327812A/ja active Pending
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US7495285B2 (en) | 2005-06-23 | 2009-02-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | FinFETs and nonvolatile memory devices including FinFETs |
US7879677B2 (en) | 2005-06-23 | 2011-02-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods of forming FinFETs and nonvolatile memory devices including FinFETs |
JP2007081294A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Sharp Corp | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP2018006694A (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
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