JP2004325547A - 貼り合わせ装置および貼り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】巾狭の1/2波長板2を基板1に対して、気泡が入らぬよう簡単な装置によって複数枚同時に且つ平行に貼り合わせるようにする。
【解決手段】レール12a,12bに沿って移動可能に配設された1軸ステージ14上に設けた吸着テーブル16上に、基板1を吸着保持する。柱11の上部の軸支部19aに回転可能に設けられた旋回板20に、旋回テーブル22と弾性ローラ21を配設し、それらの上に1/2波長板2を設けて例えば吸着により保持する。その吸着した1/2波長板2を基板1に対して例えば4度の角度をもって対向させ、第2のエアーシリンダー23の駆動軸端を旋回作用片19に作用させて弾性ローラ21を基板1側に押圧する。この状態で吸着テーブル16をレール12a,12bに沿って移動させて、基板1と1/2波長板2を貼り合わせる。
【選択図】 図4
【解決手段】レール12a,12bに沿って移動可能に配設された1軸ステージ14上に設けた吸着テーブル16上に、基板1を吸着保持する。柱11の上部の軸支部19aに回転可能に設けられた旋回板20に、旋回テーブル22と弾性ローラ21を配設し、それらの上に1/2波長板2を設けて例えば吸着により保持する。その吸着した1/2波長板2を基板1に対して例えば4度の角度をもって対向させ、第2のエアーシリンダー23の駆動軸端を旋回作用片19に作用させて弾性ローラ21を基板1側に押圧する。この状態で吸着テーブル16をレール12a,12bに沿って移動させて、基板1と1/2波長板2を貼り合わせる。
【選択図】 図4
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば光学プロジェクタの製造工程において、複数枚並設された1/2波長板を、平板状の偏光変換素子基板に貼り合わせる貼り合わせ装置および貼り合わせ方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、フィルム材を気泡が入らぬように基材に貼り付ける方法としては、▲1▼真空容器等の中で減圧した状態で貼り付ける方法(特許文献1、2、3参照)や、▲2▼弾性ローラを利用して貼り付ける方法が良く用いられている。
【0003】
前記▲1▼の方法は、容器の真空引きに時間を費やす必要があるため、生産性を考慮すると可能な限り前記▲2▼の方法を採用することが望ましい。
【0004】
【特許文献1】特開平7−125071号公報
【0005】
【特許文献2】特開平8−287826号公報
【0006】
【特許文献3】特開平11−195865号公報
【0007】
【特許文献4】実開平7−37621号公報
【0008】
【特許文献5】特開平7−195527号公報
【0009】
【特許文献6】特開2001−130824号公報。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
前記▲2▼の方法としては、例えば陰極線管のような曲面に皺なく貼り付ける方法(特許文献4)や、円盤状の平面に対して高精度に位置を合わせて貼り付ける方法(特許文献5)などが考案されているが、どれも基材の全面または1箇所にフィルム材を貼り付けるものである。
【0011】
また、フィルムがロール状であれば特許文献6などを応用して基材をフィルム巾方向に一定寸法量移動させることにより、複数枚のフィルム材を平行に貼り付けることは可能であるが、本発明のように薄板状のフィルム材から切り出して貼り付けようとすると、複雑な装置構成を要することになり、生産活動上不都合である。
【0012】
本発明の目的は、比較的剛性がありロール状にするのに適さない複数枚の巾狭の薄板状フィルム材を、平板状の基材の所定の位置に貼りずれを起こさず、また気泡を発生させないように貼り合わせる装置および方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の貼り合わせ装置は、所定の第1の直線に沿って移動可能に配設され、前記第1の直線と、該第1の直線とは所定角度を有して存在する第2の直線とで形成される第1の平面上に第1の部材を保持する第1の保持手段と、回転可能であって、前記第1の平面に直交する方向に所定距離隔てるとともに、前記第1の直線と直交し且つ第1の平面と平行な第3の直線上に回転中心軸が配設された筒体と、前記筒体の回転中心軸と平行であって、該筒体の外周表面の所定部位に存在する軸平行線と、該軸平行線と直角であり且つ前記第1の平面に対して所定角度を有した第4の直線とで形成される第2の平面上に、第2の部材を摺動可能に保持する第2の保持手段と、前記筒体を、所定圧力で前記第1の平面側に押圧する加圧手段と、前記第1の保持手段を前記第1の直線に沿って移動させる第1の移動手段と、前記第1の保持手段を前記筒体の回転中心軸と平行な方向に移動させる第2の移動手段とを備えたことを特徴としている。
【0014】
また前記第1の部材は偏光変換素子基板であり、前記第2の部材は複数枚並設された1/2波長板であることを特徴としている。
【0015】
また前記第2の保持手段を、第2の平面位置と該第2の平面位置以外の位置との間で移動させる第3の移動手段を備えたことを特徴としている。
【0016】
また前記第2の保持手段は、保持物の位置決めを行う位置決め手段を有していることを特徴としている。
【0017】
また前記第2の保持手段は、所定の吸引力で前記第2の部材を保持することを特徴としている。
【0018】
また前記第2の保持手段には、前記軸平行線からの所定距離毎に複数に分割されて、各々独立して吸引される分割吸引領域が形成されていることを特徴としている。
【0019】
また前記第2の保持手段は、所定の弾性力で前記第2の部材を保持することを特徴としている。
【0020】
また前記第2の保持手段は、前記第2の部材を摺動可能に保持する保持部と、前記保持部の、筒体とは反対側であって該保持部に連続して形成された非保持部と、前記非保持部であって、該非保持部の端部から所定距離保持部側に近い部位を、回動自在に且つ前記筒体の回転中心軸と平行に軸支した軸支部とを有し、前記加圧手段は、前記非保持部の端部に作用して前記筒体を前記第1の平面側に押圧することを特徴としている。
【0021】
また前記加圧手段は、前記押圧力を調整する手段を有していることを特徴としている。
【0022】
また前記第1の移動手段は、移動速度を調整する手段を有していることを特徴としている。
【0023】
また、本発明の貼り合わせ方法は、所定の第1の直線に沿って移動可能に配設され、前記第1の直線と、該第1の直線とは所定角度を有して存在する第2の直線とで形成される第1の平面上に第1の部材を保持する第1の保持手段と、回転可能であって、前記第1の平面に直交する方向に所定距離隔てるとともに、前記第1の直線と直交し且つ第1の平面と平行な第3の直線上に回転中心軸が配設された筒体と、前記筒体の回転中心軸と平行であって、該筒体の外周表面の所定部位に存在する軸平行線と、該軸平行線と直角であり且つ前記第1の平面に対して所定角度を有した第4の直線とで形成される第2の平面上に、第2の部材を摺動可能に保持する第2の保持手段とを備え、前記第1の部材が保持された第1の保持手段を前記第1の直線に沿った所定の開始位置に配設し、前記第2の部材を摺動可能に保持した第2の保持手段および筒体を、前記第4の直線に沿い且つ前記第1の平面に対向する開始位置に配設する第1の工程と、前記開始位置に配設された筒体を第1の平面側に所定圧力で押圧する第2の工程と、前記筒体が第1の平面側に押圧された状態で、前記第1の保持手段を前記第1の直線に沿って移動させる第2の工程とを実行することを特徴としている。
【0024】
また前記第1の工程は、前記開始位置以外の位置で第2の部材を保持した後、前記開始位置に配設する工程を含んでいることを特徴としている。
【0025】
また前記第1の工程は、前記第1の保持手段を、前記第1の直線と直交する方向に移動させて位置調整を行う工程を含んでいることを特徴としている。
【0026】
本発明のより具体的な構成は、平板状の基材(第1の部材)を例えばバキュームにて保持する吸着テーブル(第1の保持手段)と、巾狭の薄板状フィルム材(第2の部材)を例えばバキュームにて保持し旋回して前記吸着テーブルと対向可能となる旋回テーブル(第2の保持手段)と、前記旋回テーブルに並設され、前記巾狭の薄板状フィルム材を平板状の基材に押圧する弾性ローラ(筒体)と、前記吸着テーブルを前記弾性ローラの回転軸と直角方向に移動させる1軸ステージ(第1の移動手段)と、を有する貼り合せ機において、前記弾性ローラの圧力調整手段(加圧手段)と、前記1軸ステージの前記回転軸と平行方向への調整手段(第2の移動手段)と、前記巾狭の薄板状フィルム材の吸着力の調整手段と、前記1軸ステージの移動スピード調整手段とを備え、前記旋回テーブルには前記巾狭の薄板状フィルム材の位置決めを行なうための平行な複数の溝(位置決め手段)が、前記回転軸と直角方向に掘られているとともに、前記溝の底に前記回転軸と平行方向に3分割され各々独立したバキューム回路(分割吸引領域)が形成されることを特徴とし、前記複数の溝に前記巾狭の薄板状フィルム材を保持させるかもしくは,溝内壁の一方を基準面として,この面に対して薄板をたとえばバネのような弾性材料を介して薄板状フィルム材を傷めないように押さえることで、複数枚の前記巾狭の薄板状フィルム材を同時に保持し、前記弾性ローラにて気泡を発生させずに、平板状の基材の所定位置に貼り合わせるものである。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照しながら本発明の実施形態例を説明する。図2〜図7は、本発明を図1のようなプロジェクタの光学部品として用いられる偏光変換素子の基板1(第1の部材)に、1/2波長板2(第2の部材)を貼り付ける貼り合わせ装置に適用した場合の構成例を示している。
【0028】
偏光変換素子の基板1は多数のプリズムが一列に接着接合された構造となっていて,そのひとつおきに1/2波長板2を貼り付けるようになっており,透過光量を一定以上に保つためには、各々のプリズムに対し1/2波長板が貼りずれなどを起こさぬようにする必要がある。1/2波長板2の片面には粘着層が備えられているので,離型紙をはがして,貼り付けたい面に接触させ,加圧することによって貼り付けることができる。
【0029】
図2に本実施形態例における1/2波長板の貼付け装置の概略を示す。図2において10は、例えば水平に配設された装置本体のベース板であり、該ベース板10の上面には所定高さの柱11が立設されている。
【0030】
ベース板10の上面であって、前記柱11の下端部からベース板10の一方側端部までの部位には、互いに所定間隔で平行した2本のレール12a,12bが固設されている。
【0031】
これらレール12a,12b上には、該レールに沿って移動可能に直動ガイド13が設けられ、該直動ガイド13上には1軸ステージ14が設けられている。
【0032】
直動ガイド13の、柱11とは反対側の端部には、ガイド延長片13aが、ベース板10の上面側部位からベース板10の下面側部位にかけて延設されている。
【0033】
前記ガイド延長片13aのベース板10の下面側端部には、ベース板10の下面に例えばビス止めで前記レール方向と平行に固設された第1のエアーシリンダー(第1の移動手段)15の駆動軸端部が固定されている。
【0034】
これによって、第1のエアーシリンダー15の駆動軸の駆動に伴って、直動ガイド13上の1軸ステージ14がレール12a,12bに沿って移動する。
【0035】
前記1軸ステージ14上には図3に示すように直方体形状の吸着テーブル16(第1の保持手段)が設けられ、該吸着テーブル16の上面の柱11側のコーナーには、位置決め用のL字形状の基準板17が設けられている。
【0036】
吸着テーブル16の上面には、後述の図6に示すような吸着用穴35が穿設され、前記図1の偏光変換素子の基板1の直交する2カ所の外形基準面を基準板17に突き当てた状態で、図示省略の吸着手段で真空吸着することによって該基板1を保持するものである。また吸着テーブル16は、所定高さ(厚み)に形成することで図6に示すような吸引用エアー室36を構成している。
【0037】
尚基板1は図3のように、各プリズムの長手方向がレール12a,12bの方向と平行になるように設置される。
【0038】
前記1軸ステージ14のレール12a,12b方向に沿った側面には、1軸ステージ14をレール12a,12bと直交する方向に移動させるマイクロメータヘッド18(第2の移動手段)が設けられている。
【0039】
このマイクロメータヘッド18を調整することによって、吸着テーブル16、基準板17および基板1の位置を、基板1のプリズムの巾方向に調整することができる。
【0040】
前記のように、基板1、吸着テーブル16および基準板17は直動ガイド13および第1のエアーシリンダー15によってレール12a,12b方向に平行移動させることができるが、この時の移動スピードは前記第1のエアーシリンダー15に取付けられたスピードコントローラ(図示省略)により調整される。
【0041】
前記柱11の上端部には、図4に示すように旋回作用片19の一端が、レール12a,12bと直交する方向を軸とする軸支部19aにおいて回動自在に軸支され、該旋回作用片19の一方の面には、直方体形状の旋回板20の一端部が固設されている。
【0042】
旋回板20の、柱11とは反対側の端面には、レール12a,12bに直交し且つ吸着テーブルの吸着面と平行な回転中心軸を有した弾性ローラ21(筒体)が回転可能に支持されている。
【0043】
この弾性ローラ21の軸方向寸法は、前記吸着テーブル16に吸着保持される基板1の全幅寸法よりも大きく形成されている。
【0044】
旋回板20の、弾性ローラ21と軸支部19aとの間の面には、例えば図5のように一方の辺の長さが弾性ローラ21の軸方向寸法と略同一に形成され、厚みが弾性ローラ21の直径と略同一に形成された旋回テーブル22(第2の保持手段)が固設されている。
【0045】
この旋回テーブル22は、後述の図5に示すように、例えばそのテーブル面に、弾性ローラ21の回転中心軸に直交して掘られた複数の溝による位置決め手段を有し、図1の1/2波長板2を例えば所定の吸引力により摺動可能に保持するものである。
【0046】
1/2波長板2は、厚さ0.2mm程度で比較的剛性をもっており,ロール状にするのに適さないため、あらかじめ所定寸法に裁断しておき,旋回テーブル22に掘られた複数の溝のそれぞれに吸着保持させる.この時の吸着力はエアエジェクタに供給するエアー圧力をレギュレータ(図示省略)により調整する。
【0047】
尚前記複数の溝に吸着保持される1/2波長板2は、図2では図示省略しているが、旋回テーブル22の保持面を、前記吸着テーブル16に吸着保持された基板1に対面させたとき、1/2波長板2各々が、図1に示すような基板1のプリズムに沿った貼り合わせ位置に合致するように配設されるものである。
【0048】
また1/2波長板2を旋回テーブル22に保持した状態で弾性ローラ21を吸着テーブル16に当接したとき、吸着テーブル16と旋回テーブル22は例えば約4度の角度をもって対向するように構成されている。
【0049】
柱11の、前記レール12a,12bとは反対側近傍には、加圧用の第2のエアーシリンダー23(加圧手段)が立設されている。この第2のエアーシリンダー23は、例えば図4(b)のように、弾性ローラ21が吸着テーブル16に当接されて旋回作用片19の端部が柱11よりも第2のエアーシリンダー23側に存在するときに、駆動軸端部を上昇させて旋回作用片19を下から上方向へ押し上げ、これによって弾性ローラ21を吸着テーブル16側に押圧するものである。
図3は、レール12a,12b上を直動ガイド13を介して移動する1軸ステージ14や基板1を保持する吸着テーブル16等の機構のみを表しており、図中、L1は本発明における第1の直線、L2は本発明における第2の直線、L3は本発明における第3の直線を各々示している。
図4(a〜d)は上記のように構成された装置によって貼り合わせを行う時の動作説明図であり、図中、L1は本発明における第1の直線、L3は本発明における第3の直線、L4は本発明における第4の直線を各々示している。また図4は、図2の装置を裏側から見た概略構成のみを図示している。
【0050】
まず図4(a)に示すように、旋回板20が下側、旋回テーブル22が上側となるようにそれらを例えば水平に配置し、その状態で1/2波長板2を旋回テーブル22に吸着保持させる。
【0051】
また基板1を、旋回テーブル22の存在位置とは柱11を境として反対側のレール12a,12b上位置で待機している、1軸ステージ14上の吸着テーブル16に吸着保持する。
【0052】
次に図4(b)に示すように、旋回テーブル22を約180°旋回させると,旋回テーブル22は吸着テーブル16に対して約4度の角度をもって対向し、1/2波長板2は弾性ローラ21側の端部が基板1と弾性ローラ21にはさまれた状態になり、1/2波長板2の貼り合せ開始端が2mm程度基板1に貼りあわされる(第1の工程)。
【0053】
次に図4(c)のように、第2のエアーシリンダー23を作動させて駆動軸端部により旋回作用片19を下から上へ押圧させることにより弾性ローラ21に所定の加圧力を付与する(第2の工程)。
【0054】
次に図4(d)のように、前記加圧力を付与した状態で、図2で述べたベース板10下面側の第1のエアーシリンダー15を作動させてその駆動軸を伸長させる。すると基板1を吸着した吸着テーブル16および1軸ステージ14がレール12a,12bに沿って図示矢印方向に30〜60mm/secのスピードで平行移動し、その過程で1/2波長板2は弾性ローラ21により加圧されながら基板1に貼り付けられていく(第3の工程)。
【0055】
この時の弾性ローラ21に付与される加圧力は、前記第2のエアーシリンダー23に供給されるエアー圧をレギュレータと圧力計によって調整し、例えば約2〜3kgfに設定される。
【0056】
このときに、基板1の各々のプリズムに対し複数枚の1/2波長板2のそれぞれが貼りずれを起こさないようにするためには、1/2波長板2の巾方向をできるだけ規制しておく必要がある。本実施形態例では1/2波長板2を吸着保持させる旋回テーブル22の1/2波長板吸着部を図5のように構成している。
【0057】
本実施形態例においては,2種類の巾寸法の1/2波長板を貼り付ける構造となっており,中央に巾の広い1/2波長板を1枚,その両側に巾が半分の1/2波長板をそれぞれ4枚同時に貼り付ける。
【0058】
旋回テーブル22の1/2波長板吸着部(図5)には、弾性ローラ21の回転軸に直交する方向に、1/2波長板2の巾寸法に合わせて広い巾の溝31が1箇所と半分の巾の溝32が8箇所設けられている。これらの溝31,32は各々巾方向に所定間隔で並設され、各々の長手方向寸法は基板1のプリズムの長さに合わせた寸法に形成されている。
【0059】
溝31,32の、弾性ローラ21とは反対側の端部には基準ピン33が各々設けられている。また溝31,32の底部には所定の吸引力で1/2波長板2を吸着するための吸着穴34が所定間隔で複数個設けられている。尚旋回テーブル22は所定高さに形成することで吸引用エアー室を構成している(尚吸着手段は図示省略している)。
【0060】
前記1/2波長板2は、各々の溝31,32の側壁の長手方向の1面と前記溝部にある基準ピン33に突き当てることで位置決めされる。この各々の溝31,32の側壁が1/2波長板2の巾方向位置規制をする役割を持っているが、前記各々の溝31,32の巾寸法およびピッチは+0.05mm〜0の精度で加工される。対して基板1の各プリズム巾およびピッチは±0.02mmであり、1/2波長板2の各プリズム巾に対するはみだしの許容範囲は0.1mm以内であるため、1/2波長板2の巾と基板1の各プリズム巾の公差を加味しても、基板1の各プリズムに対し、複数の1/2波長板2のそれぞれがはみだしの許容範囲を超えることはない(すなわち例えば、最大誤差値どうしを加算しても0.05mm+0.02mm=0.07mmであり、許容範囲の0.1mm以内となる)。
【0061】
また1/2波長板2は、図6(a)に示す貼り合わせ開始時においては、その全域にわたって吸着穴34を介した真空吸着により保持されている。しかし図6(b),(c)のように吸着テーブル16が移動して貼り合わせが進むにつれて1/2波長板2は旋回テーブル22から摺動するので、1/2波長板2によってふさがれていた吸着穴34が開いてエアリークを生じる。
【0062】
このエアリークによる吸着力低下の結果,貼り付け時における1/2波長板2の保持および巾方向規制が不十分となることや、貼付け工程中に弾性ローラ未加圧部分の1/2波長板2が旋回テーブル22から落下して基板1に接触してしまい気泡が発生する事態を避けるため,本実施形態例においては1/2波長板吸着部を、溝31,32の長手方向に分割し、その分割穴エリア34a,34b,34cをそれぞれ独立して真空吸着させる構造となっている。
【0063】
これによって、貼り合わせ開始から終了までの全過程において必要な吸着力が確保され、1/2波長板2が落下することは防止される。
【0064】
尚図6は、貼り合わせに関連する要部のみを図示しており、35は吸着テーブル16に穿設された吸着穴、36は吸引用エアー室である。
【0065】
また1/2波長板2の保持方法の他の実施形態例としては、図7に示す弾性保持による方法が考えられ、この方法によれば,1/2波長板の巾位置規制用溝内壁の一方を基準面としてこれに押し付けるように構成することによって、更に高い位置精度で貼り合わせを行うことができる。
【0066】
図7において、22′は、図5と同様に複数並列的に1/2波長板2′を保持する旋回テーブルであり、図では1つの1/2波長板の保持部分のみを図示している。41は、旋回テーブル22′の保持板40に、1/2波長板2′の巾寸法よりも若干巾広に、且つ図5と同様に弾性ローラ21の回転軸と直交する方向に形成された溝であり、該溝41は所定間隔で複数並設されている。
【0067】
溝41に隣接する保持板40の凸部(保持板40の溝41が設けられない部位)40aには、所定巾の貫通孔40bが設けられており、該貫通孔40bには、頭部径が貫通孔40bの巾よりも若干広く形成された位置決めピン42が挿入されている。
【0068】
保持板40の裏面側(溝41と反対側)で位置決めピン42が突出する部位には、溝41の巾方向に沿ってシャフト43が配設されている。位置決めピン42の先端部は、シャフト43の外周に摺動自在に配設された部材44に固定されている。
【0069】
部材44のシャフト43に沿う一方側には止め輪45aが配設され、該止め輪45aはシャフト43に固定されている。部材44のシャフト43に沿う他方側の端面は、シャフト43の外周に伸縮自在に配設されたリング状の圧縮バネ46の軸方向一端部が当接されている。
【0070】
圧縮バネ46の軸方向他端部は、シャフト43の外周に配設された止め輪45bに当接され、該止め輪45bはシャフト43に固定されている。
【0071】
溝41に配設した1/2波長板2′を弾性保持する前は、シャフト43および止め輪45a,45bが図7(a)に示す位置(止め輪45aが凸部40a側となる位置)に配置される。このため部材44の一方側端面は圧縮バネ46によって止め輪45a側に押圧され、位置決めピン42は貫通孔40bの略中央位置で保持されている。
【0072】
次にシャフト43および止め輪45a,45bを図7(b)に示す位置(止め輪45aが溝41側となる位置)に移動させる。すると部材44および位置決めピン42が溝41側に移動し、位置決めピン42は貫通孔40bを溝41側に移動して1/2波長板2′に当接し、1/2波長板2′は位置決めピン42を介して圧縮バネ46のバネ力によって溝内壁41a(基準面)に押し付けられ保持される。
【0073】
この状態で貼り合わせを行えば、1/2波長板2′は、図5のように溝底面で真空吸着する方法に比べ高い位置再現性が得られるので,更に高い位置精度で貼り合わせを行うことができる。
【0074】
これらの構成により、複数枚の1/2波長板2、2′のそれぞれは、基板1の各プリズムに対しはみだしの許容範囲内に、また気泡を発生させずに貼り合せることが可能となった。
【0075】
尚本発明の第3の移動手段は、前記のように旋回テーブル22を回転させて図4(b)のような貼り合わせ開始位置に移動させることに限定されるものではなく、他の構成を用いても良い。すなわち例えば、第1の保持手段(例えば吸着テーブル)の上方部位において、第2の保持手段を垂直、水平、斜め等の各方向に移動させて前記貼り合わせ開始位置にセットするように構成しても良い。
【0076】
また本発明の加圧手段は、図4のように第2のエアーシリンダー23の駆動軸端を旋回作用片19に下から上に押圧する構成に限定されるものではなく、他の構成を用いても良い。すなわち例えば、弾性ローラ21を回転自在に支持する旋回板20の上方から例えば垂下方向に押圧するように構成しても良い。
【0077】
尚本発明は、前記1/2波長板と基板を貼り合わせるに限らず、他の部材を貼り合わせること(例えばARフィルム、タッチパネルの製造分野)に適用することもできる。
【0078】
【発明の効果】
(1)以上のように本発明によれば、巾狭の薄板状フィルム材(第2の部材)、例えば1/2波長板を平板状の基材(第1の部材)、例えば偏光変換素子基板に対して、気泡が入らぬように複数枚同時に、且つそれぞれの1/2波長板を平行に貼り付けることができる。
【0079】
また比較的簡便な装置により貼り合わせを行うことができるため、生産活動上有利である。
(2)また請求項4に記載の発明によれば、位置決め手段によって、第2の部材、例えば複数個平行配設された1/2波長板をより正確な位置に保持することができるので、貼りずれは確実に防止される。
(3)また請求項6に記載の発明によれば、各々独立して吸引される分割吸引領域を形成しているので、第1の部材と第2の部材が貼り合わされる過程において、吸引エアーのリークによって第2の部材が保持されず落下してしまうことを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用される偏光変換素子の基板と1/2波長板を示す斜視図。
【図2】本発明の一実施形態例の全体構成を示す側面図。
【図3】本発明の一実施形態例の要部を示す斜視図。
【図4】本発明の一実施形態例における貼り合わせ方法を示す説明図。
【図5】本発明の第2の保持手段の一実施形態例を表し、(a)は要部断面図、(b)は平面図。
【図6】本発明の一実施形態例における貼り合わせのようすを示す説明図。
【図7】本発明の他の実施形態例を表し、(a),(b)は要部断面図、(c)は要部説明図。
【符号の説明】
1…基板、2,2′…1/2波長板、10…ベース板、11…柱、12a,12b…レール、13…直動ガイド、13a…ガイド延長片、14…1軸ステージ、15…第1のエアーシリンダー、16…吸着テーブル、17…基準板、18…マイクロメーターヘッド、19…旋回作用片、19a…軸支部、20…旋回板、21…弾性ローラ、22,22′…旋回テーブル、23…第2のエアーシリンダー、31…広巾溝、32…狭巾溝、33…基準ピン、34,35…吸着穴、34a〜34c…吸着穴エリア、40…保持板、40a…凸部、40b…貫通孔、41…溝、41a…溝内壁、42…位置決めピン、43…シャフト、44…部材、45a,45b…止め輪、46…圧縮バネ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば光学プロジェクタの製造工程において、複数枚並設された1/2波長板を、平板状の偏光変換素子基板に貼り合わせる貼り合わせ装置および貼り合わせ方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、フィルム材を気泡が入らぬように基材に貼り付ける方法としては、▲1▼真空容器等の中で減圧した状態で貼り付ける方法(特許文献1、2、3参照)や、▲2▼弾性ローラを利用して貼り付ける方法が良く用いられている。
【0003】
前記▲1▼の方法は、容器の真空引きに時間を費やす必要があるため、生産性を考慮すると可能な限り前記▲2▼の方法を採用することが望ましい。
【0004】
【特許文献1】特開平7−125071号公報
【0005】
【特許文献2】特開平8−287826号公報
【0006】
【特許文献3】特開平11−195865号公報
【0007】
【特許文献4】実開平7−37621号公報
【0008】
【特許文献5】特開平7−195527号公報
【0009】
【特許文献6】特開2001−130824号公報。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
前記▲2▼の方法としては、例えば陰極線管のような曲面に皺なく貼り付ける方法(特許文献4)や、円盤状の平面に対して高精度に位置を合わせて貼り付ける方法(特許文献5)などが考案されているが、どれも基材の全面または1箇所にフィルム材を貼り付けるものである。
【0011】
また、フィルムがロール状であれば特許文献6などを応用して基材をフィルム巾方向に一定寸法量移動させることにより、複数枚のフィルム材を平行に貼り付けることは可能であるが、本発明のように薄板状のフィルム材から切り出して貼り付けようとすると、複雑な装置構成を要することになり、生産活動上不都合である。
【0012】
本発明の目的は、比較的剛性がありロール状にするのに適さない複数枚の巾狭の薄板状フィルム材を、平板状の基材の所定の位置に貼りずれを起こさず、また気泡を発生させないように貼り合わせる装置および方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の貼り合わせ装置は、所定の第1の直線に沿って移動可能に配設され、前記第1の直線と、該第1の直線とは所定角度を有して存在する第2の直線とで形成される第1の平面上に第1の部材を保持する第1の保持手段と、回転可能であって、前記第1の平面に直交する方向に所定距離隔てるとともに、前記第1の直線と直交し且つ第1の平面と平行な第3の直線上に回転中心軸が配設された筒体と、前記筒体の回転中心軸と平行であって、該筒体の外周表面の所定部位に存在する軸平行線と、該軸平行線と直角であり且つ前記第1の平面に対して所定角度を有した第4の直線とで形成される第2の平面上に、第2の部材を摺動可能に保持する第2の保持手段と、前記筒体を、所定圧力で前記第1の平面側に押圧する加圧手段と、前記第1の保持手段を前記第1の直線に沿って移動させる第1の移動手段と、前記第1の保持手段を前記筒体の回転中心軸と平行な方向に移動させる第2の移動手段とを備えたことを特徴としている。
【0014】
また前記第1の部材は偏光変換素子基板であり、前記第2の部材は複数枚並設された1/2波長板であることを特徴としている。
【0015】
また前記第2の保持手段を、第2の平面位置と該第2の平面位置以外の位置との間で移動させる第3の移動手段を備えたことを特徴としている。
【0016】
また前記第2の保持手段は、保持物の位置決めを行う位置決め手段を有していることを特徴としている。
【0017】
また前記第2の保持手段は、所定の吸引力で前記第2の部材を保持することを特徴としている。
【0018】
また前記第2の保持手段には、前記軸平行線からの所定距離毎に複数に分割されて、各々独立して吸引される分割吸引領域が形成されていることを特徴としている。
【0019】
また前記第2の保持手段は、所定の弾性力で前記第2の部材を保持することを特徴としている。
【0020】
また前記第2の保持手段は、前記第2の部材を摺動可能に保持する保持部と、前記保持部の、筒体とは反対側であって該保持部に連続して形成された非保持部と、前記非保持部であって、該非保持部の端部から所定距離保持部側に近い部位を、回動自在に且つ前記筒体の回転中心軸と平行に軸支した軸支部とを有し、前記加圧手段は、前記非保持部の端部に作用して前記筒体を前記第1の平面側に押圧することを特徴としている。
【0021】
また前記加圧手段は、前記押圧力を調整する手段を有していることを特徴としている。
【0022】
また前記第1の移動手段は、移動速度を調整する手段を有していることを特徴としている。
【0023】
また、本発明の貼り合わせ方法は、所定の第1の直線に沿って移動可能に配設され、前記第1の直線と、該第1の直線とは所定角度を有して存在する第2の直線とで形成される第1の平面上に第1の部材を保持する第1の保持手段と、回転可能であって、前記第1の平面に直交する方向に所定距離隔てるとともに、前記第1の直線と直交し且つ第1の平面と平行な第3の直線上に回転中心軸が配設された筒体と、前記筒体の回転中心軸と平行であって、該筒体の外周表面の所定部位に存在する軸平行線と、該軸平行線と直角であり且つ前記第1の平面に対して所定角度を有した第4の直線とで形成される第2の平面上に、第2の部材を摺動可能に保持する第2の保持手段とを備え、前記第1の部材が保持された第1の保持手段を前記第1の直線に沿った所定の開始位置に配設し、前記第2の部材を摺動可能に保持した第2の保持手段および筒体を、前記第4の直線に沿い且つ前記第1の平面に対向する開始位置に配設する第1の工程と、前記開始位置に配設された筒体を第1の平面側に所定圧力で押圧する第2の工程と、前記筒体が第1の平面側に押圧された状態で、前記第1の保持手段を前記第1の直線に沿って移動させる第2の工程とを実行することを特徴としている。
【0024】
また前記第1の工程は、前記開始位置以外の位置で第2の部材を保持した後、前記開始位置に配設する工程を含んでいることを特徴としている。
【0025】
また前記第1の工程は、前記第1の保持手段を、前記第1の直線と直交する方向に移動させて位置調整を行う工程を含んでいることを特徴としている。
【0026】
本発明のより具体的な構成は、平板状の基材(第1の部材)を例えばバキュームにて保持する吸着テーブル(第1の保持手段)と、巾狭の薄板状フィルム材(第2の部材)を例えばバキュームにて保持し旋回して前記吸着テーブルと対向可能となる旋回テーブル(第2の保持手段)と、前記旋回テーブルに並設され、前記巾狭の薄板状フィルム材を平板状の基材に押圧する弾性ローラ(筒体)と、前記吸着テーブルを前記弾性ローラの回転軸と直角方向に移動させる1軸ステージ(第1の移動手段)と、を有する貼り合せ機において、前記弾性ローラの圧力調整手段(加圧手段)と、前記1軸ステージの前記回転軸と平行方向への調整手段(第2の移動手段)と、前記巾狭の薄板状フィルム材の吸着力の調整手段と、前記1軸ステージの移動スピード調整手段とを備え、前記旋回テーブルには前記巾狭の薄板状フィルム材の位置決めを行なうための平行な複数の溝(位置決め手段)が、前記回転軸と直角方向に掘られているとともに、前記溝の底に前記回転軸と平行方向に3分割され各々独立したバキューム回路(分割吸引領域)が形成されることを特徴とし、前記複数の溝に前記巾狭の薄板状フィルム材を保持させるかもしくは,溝内壁の一方を基準面として,この面に対して薄板をたとえばバネのような弾性材料を介して薄板状フィルム材を傷めないように押さえることで、複数枚の前記巾狭の薄板状フィルム材を同時に保持し、前記弾性ローラにて気泡を発生させずに、平板状の基材の所定位置に貼り合わせるものである。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照しながら本発明の実施形態例を説明する。図2〜図7は、本発明を図1のようなプロジェクタの光学部品として用いられる偏光変換素子の基板1(第1の部材)に、1/2波長板2(第2の部材)を貼り付ける貼り合わせ装置に適用した場合の構成例を示している。
【0028】
偏光変換素子の基板1は多数のプリズムが一列に接着接合された構造となっていて,そのひとつおきに1/2波長板2を貼り付けるようになっており,透過光量を一定以上に保つためには、各々のプリズムに対し1/2波長板が貼りずれなどを起こさぬようにする必要がある。1/2波長板2の片面には粘着層が備えられているので,離型紙をはがして,貼り付けたい面に接触させ,加圧することによって貼り付けることができる。
【0029】
図2に本実施形態例における1/2波長板の貼付け装置の概略を示す。図2において10は、例えば水平に配設された装置本体のベース板であり、該ベース板10の上面には所定高さの柱11が立設されている。
【0030】
ベース板10の上面であって、前記柱11の下端部からベース板10の一方側端部までの部位には、互いに所定間隔で平行した2本のレール12a,12bが固設されている。
【0031】
これらレール12a,12b上には、該レールに沿って移動可能に直動ガイド13が設けられ、該直動ガイド13上には1軸ステージ14が設けられている。
【0032】
直動ガイド13の、柱11とは反対側の端部には、ガイド延長片13aが、ベース板10の上面側部位からベース板10の下面側部位にかけて延設されている。
【0033】
前記ガイド延長片13aのベース板10の下面側端部には、ベース板10の下面に例えばビス止めで前記レール方向と平行に固設された第1のエアーシリンダー(第1の移動手段)15の駆動軸端部が固定されている。
【0034】
これによって、第1のエアーシリンダー15の駆動軸の駆動に伴って、直動ガイド13上の1軸ステージ14がレール12a,12bに沿って移動する。
【0035】
前記1軸ステージ14上には図3に示すように直方体形状の吸着テーブル16(第1の保持手段)が設けられ、該吸着テーブル16の上面の柱11側のコーナーには、位置決め用のL字形状の基準板17が設けられている。
【0036】
吸着テーブル16の上面には、後述の図6に示すような吸着用穴35が穿設され、前記図1の偏光変換素子の基板1の直交する2カ所の外形基準面を基準板17に突き当てた状態で、図示省略の吸着手段で真空吸着することによって該基板1を保持するものである。また吸着テーブル16は、所定高さ(厚み)に形成することで図6に示すような吸引用エアー室36を構成している。
【0037】
尚基板1は図3のように、各プリズムの長手方向がレール12a,12bの方向と平行になるように設置される。
【0038】
前記1軸ステージ14のレール12a,12b方向に沿った側面には、1軸ステージ14をレール12a,12bと直交する方向に移動させるマイクロメータヘッド18(第2の移動手段)が設けられている。
【0039】
このマイクロメータヘッド18を調整することによって、吸着テーブル16、基準板17および基板1の位置を、基板1のプリズムの巾方向に調整することができる。
【0040】
前記のように、基板1、吸着テーブル16および基準板17は直動ガイド13および第1のエアーシリンダー15によってレール12a,12b方向に平行移動させることができるが、この時の移動スピードは前記第1のエアーシリンダー15に取付けられたスピードコントローラ(図示省略)により調整される。
【0041】
前記柱11の上端部には、図4に示すように旋回作用片19の一端が、レール12a,12bと直交する方向を軸とする軸支部19aにおいて回動自在に軸支され、該旋回作用片19の一方の面には、直方体形状の旋回板20の一端部が固設されている。
【0042】
旋回板20の、柱11とは反対側の端面には、レール12a,12bに直交し且つ吸着テーブルの吸着面と平行な回転中心軸を有した弾性ローラ21(筒体)が回転可能に支持されている。
【0043】
この弾性ローラ21の軸方向寸法は、前記吸着テーブル16に吸着保持される基板1の全幅寸法よりも大きく形成されている。
【0044】
旋回板20の、弾性ローラ21と軸支部19aとの間の面には、例えば図5のように一方の辺の長さが弾性ローラ21の軸方向寸法と略同一に形成され、厚みが弾性ローラ21の直径と略同一に形成された旋回テーブル22(第2の保持手段)が固設されている。
【0045】
この旋回テーブル22は、後述の図5に示すように、例えばそのテーブル面に、弾性ローラ21の回転中心軸に直交して掘られた複数の溝による位置決め手段を有し、図1の1/2波長板2を例えば所定の吸引力により摺動可能に保持するものである。
【0046】
1/2波長板2は、厚さ0.2mm程度で比較的剛性をもっており,ロール状にするのに適さないため、あらかじめ所定寸法に裁断しておき,旋回テーブル22に掘られた複数の溝のそれぞれに吸着保持させる.この時の吸着力はエアエジェクタに供給するエアー圧力をレギュレータ(図示省略)により調整する。
【0047】
尚前記複数の溝に吸着保持される1/2波長板2は、図2では図示省略しているが、旋回テーブル22の保持面を、前記吸着テーブル16に吸着保持された基板1に対面させたとき、1/2波長板2各々が、図1に示すような基板1のプリズムに沿った貼り合わせ位置に合致するように配設されるものである。
【0048】
また1/2波長板2を旋回テーブル22に保持した状態で弾性ローラ21を吸着テーブル16に当接したとき、吸着テーブル16と旋回テーブル22は例えば約4度の角度をもって対向するように構成されている。
【0049】
柱11の、前記レール12a,12bとは反対側近傍には、加圧用の第2のエアーシリンダー23(加圧手段)が立設されている。この第2のエアーシリンダー23は、例えば図4(b)のように、弾性ローラ21が吸着テーブル16に当接されて旋回作用片19の端部が柱11よりも第2のエアーシリンダー23側に存在するときに、駆動軸端部を上昇させて旋回作用片19を下から上方向へ押し上げ、これによって弾性ローラ21を吸着テーブル16側に押圧するものである。
図3は、レール12a,12b上を直動ガイド13を介して移動する1軸ステージ14や基板1を保持する吸着テーブル16等の機構のみを表しており、図中、L1は本発明における第1の直線、L2は本発明における第2の直線、L3は本発明における第3の直線を各々示している。
図4(a〜d)は上記のように構成された装置によって貼り合わせを行う時の動作説明図であり、図中、L1は本発明における第1の直線、L3は本発明における第3の直線、L4は本発明における第4の直線を各々示している。また図4は、図2の装置を裏側から見た概略構成のみを図示している。
【0050】
まず図4(a)に示すように、旋回板20が下側、旋回テーブル22が上側となるようにそれらを例えば水平に配置し、その状態で1/2波長板2を旋回テーブル22に吸着保持させる。
【0051】
また基板1を、旋回テーブル22の存在位置とは柱11を境として反対側のレール12a,12b上位置で待機している、1軸ステージ14上の吸着テーブル16に吸着保持する。
【0052】
次に図4(b)に示すように、旋回テーブル22を約180°旋回させると,旋回テーブル22は吸着テーブル16に対して約4度の角度をもって対向し、1/2波長板2は弾性ローラ21側の端部が基板1と弾性ローラ21にはさまれた状態になり、1/2波長板2の貼り合せ開始端が2mm程度基板1に貼りあわされる(第1の工程)。
【0053】
次に図4(c)のように、第2のエアーシリンダー23を作動させて駆動軸端部により旋回作用片19を下から上へ押圧させることにより弾性ローラ21に所定の加圧力を付与する(第2の工程)。
【0054】
次に図4(d)のように、前記加圧力を付与した状態で、図2で述べたベース板10下面側の第1のエアーシリンダー15を作動させてその駆動軸を伸長させる。すると基板1を吸着した吸着テーブル16および1軸ステージ14がレール12a,12bに沿って図示矢印方向に30〜60mm/secのスピードで平行移動し、その過程で1/2波長板2は弾性ローラ21により加圧されながら基板1に貼り付けられていく(第3の工程)。
【0055】
この時の弾性ローラ21に付与される加圧力は、前記第2のエアーシリンダー23に供給されるエアー圧をレギュレータと圧力計によって調整し、例えば約2〜3kgfに設定される。
【0056】
このときに、基板1の各々のプリズムに対し複数枚の1/2波長板2のそれぞれが貼りずれを起こさないようにするためには、1/2波長板2の巾方向をできるだけ規制しておく必要がある。本実施形態例では1/2波長板2を吸着保持させる旋回テーブル22の1/2波長板吸着部を図5のように構成している。
【0057】
本実施形態例においては,2種類の巾寸法の1/2波長板を貼り付ける構造となっており,中央に巾の広い1/2波長板を1枚,その両側に巾が半分の1/2波長板をそれぞれ4枚同時に貼り付ける。
【0058】
旋回テーブル22の1/2波長板吸着部(図5)には、弾性ローラ21の回転軸に直交する方向に、1/2波長板2の巾寸法に合わせて広い巾の溝31が1箇所と半分の巾の溝32が8箇所設けられている。これらの溝31,32は各々巾方向に所定間隔で並設され、各々の長手方向寸法は基板1のプリズムの長さに合わせた寸法に形成されている。
【0059】
溝31,32の、弾性ローラ21とは反対側の端部には基準ピン33が各々設けられている。また溝31,32の底部には所定の吸引力で1/2波長板2を吸着するための吸着穴34が所定間隔で複数個設けられている。尚旋回テーブル22は所定高さに形成することで吸引用エアー室を構成している(尚吸着手段は図示省略している)。
【0060】
前記1/2波長板2は、各々の溝31,32の側壁の長手方向の1面と前記溝部にある基準ピン33に突き当てることで位置決めされる。この各々の溝31,32の側壁が1/2波長板2の巾方向位置規制をする役割を持っているが、前記各々の溝31,32の巾寸法およびピッチは+0.05mm〜0の精度で加工される。対して基板1の各プリズム巾およびピッチは±0.02mmであり、1/2波長板2の各プリズム巾に対するはみだしの許容範囲は0.1mm以内であるため、1/2波長板2の巾と基板1の各プリズム巾の公差を加味しても、基板1の各プリズムに対し、複数の1/2波長板2のそれぞれがはみだしの許容範囲を超えることはない(すなわち例えば、最大誤差値どうしを加算しても0.05mm+0.02mm=0.07mmであり、許容範囲の0.1mm以内となる)。
【0061】
また1/2波長板2は、図6(a)に示す貼り合わせ開始時においては、その全域にわたって吸着穴34を介した真空吸着により保持されている。しかし図6(b),(c)のように吸着テーブル16が移動して貼り合わせが進むにつれて1/2波長板2は旋回テーブル22から摺動するので、1/2波長板2によってふさがれていた吸着穴34が開いてエアリークを生じる。
【0062】
このエアリークによる吸着力低下の結果,貼り付け時における1/2波長板2の保持および巾方向規制が不十分となることや、貼付け工程中に弾性ローラ未加圧部分の1/2波長板2が旋回テーブル22から落下して基板1に接触してしまい気泡が発生する事態を避けるため,本実施形態例においては1/2波長板吸着部を、溝31,32の長手方向に分割し、その分割穴エリア34a,34b,34cをそれぞれ独立して真空吸着させる構造となっている。
【0063】
これによって、貼り合わせ開始から終了までの全過程において必要な吸着力が確保され、1/2波長板2が落下することは防止される。
【0064】
尚図6は、貼り合わせに関連する要部のみを図示しており、35は吸着テーブル16に穿設された吸着穴、36は吸引用エアー室である。
【0065】
また1/2波長板2の保持方法の他の実施形態例としては、図7に示す弾性保持による方法が考えられ、この方法によれば,1/2波長板の巾位置規制用溝内壁の一方を基準面としてこれに押し付けるように構成することによって、更に高い位置精度で貼り合わせを行うことができる。
【0066】
図7において、22′は、図5と同様に複数並列的に1/2波長板2′を保持する旋回テーブルであり、図では1つの1/2波長板の保持部分のみを図示している。41は、旋回テーブル22′の保持板40に、1/2波長板2′の巾寸法よりも若干巾広に、且つ図5と同様に弾性ローラ21の回転軸と直交する方向に形成された溝であり、該溝41は所定間隔で複数並設されている。
【0067】
溝41に隣接する保持板40の凸部(保持板40の溝41が設けられない部位)40aには、所定巾の貫通孔40bが設けられており、該貫通孔40bには、頭部径が貫通孔40bの巾よりも若干広く形成された位置決めピン42が挿入されている。
【0068】
保持板40の裏面側(溝41と反対側)で位置決めピン42が突出する部位には、溝41の巾方向に沿ってシャフト43が配設されている。位置決めピン42の先端部は、シャフト43の外周に摺動自在に配設された部材44に固定されている。
【0069】
部材44のシャフト43に沿う一方側には止め輪45aが配設され、該止め輪45aはシャフト43に固定されている。部材44のシャフト43に沿う他方側の端面は、シャフト43の外周に伸縮自在に配設されたリング状の圧縮バネ46の軸方向一端部が当接されている。
【0070】
圧縮バネ46の軸方向他端部は、シャフト43の外周に配設された止め輪45bに当接され、該止め輪45bはシャフト43に固定されている。
【0071】
溝41に配設した1/2波長板2′を弾性保持する前は、シャフト43および止め輪45a,45bが図7(a)に示す位置(止め輪45aが凸部40a側となる位置)に配置される。このため部材44の一方側端面は圧縮バネ46によって止め輪45a側に押圧され、位置決めピン42は貫通孔40bの略中央位置で保持されている。
【0072】
次にシャフト43および止め輪45a,45bを図7(b)に示す位置(止め輪45aが溝41側となる位置)に移動させる。すると部材44および位置決めピン42が溝41側に移動し、位置決めピン42は貫通孔40bを溝41側に移動して1/2波長板2′に当接し、1/2波長板2′は位置決めピン42を介して圧縮バネ46のバネ力によって溝内壁41a(基準面)に押し付けられ保持される。
【0073】
この状態で貼り合わせを行えば、1/2波長板2′は、図5のように溝底面で真空吸着する方法に比べ高い位置再現性が得られるので,更に高い位置精度で貼り合わせを行うことができる。
【0074】
これらの構成により、複数枚の1/2波長板2、2′のそれぞれは、基板1の各プリズムに対しはみだしの許容範囲内に、また気泡を発生させずに貼り合せることが可能となった。
【0075】
尚本発明の第3の移動手段は、前記のように旋回テーブル22を回転させて図4(b)のような貼り合わせ開始位置に移動させることに限定されるものではなく、他の構成を用いても良い。すなわち例えば、第1の保持手段(例えば吸着テーブル)の上方部位において、第2の保持手段を垂直、水平、斜め等の各方向に移動させて前記貼り合わせ開始位置にセットするように構成しても良い。
【0076】
また本発明の加圧手段は、図4のように第2のエアーシリンダー23の駆動軸端を旋回作用片19に下から上に押圧する構成に限定されるものではなく、他の構成を用いても良い。すなわち例えば、弾性ローラ21を回転自在に支持する旋回板20の上方から例えば垂下方向に押圧するように構成しても良い。
【0077】
尚本発明は、前記1/2波長板と基板を貼り合わせるに限らず、他の部材を貼り合わせること(例えばARフィルム、タッチパネルの製造分野)に適用することもできる。
【0078】
【発明の効果】
(1)以上のように本発明によれば、巾狭の薄板状フィルム材(第2の部材)、例えば1/2波長板を平板状の基材(第1の部材)、例えば偏光変換素子基板に対して、気泡が入らぬように複数枚同時に、且つそれぞれの1/2波長板を平行に貼り付けることができる。
【0079】
また比較的簡便な装置により貼り合わせを行うことができるため、生産活動上有利である。
(2)また請求項4に記載の発明によれば、位置決め手段によって、第2の部材、例えば複数個平行配設された1/2波長板をより正確な位置に保持することができるので、貼りずれは確実に防止される。
(3)また請求項6に記載の発明によれば、各々独立して吸引される分割吸引領域を形成しているので、第1の部材と第2の部材が貼り合わされる過程において、吸引エアーのリークによって第2の部材が保持されず落下してしまうことを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用される偏光変換素子の基板と1/2波長板を示す斜視図。
【図2】本発明の一実施形態例の全体構成を示す側面図。
【図3】本発明の一実施形態例の要部を示す斜視図。
【図4】本発明の一実施形態例における貼り合わせ方法を示す説明図。
【図5】本発明の第2の保持手段の一実施形態例を表し、(a)は要部断面図、(b)は平面図。
【図6】本発明の一実施形態例における貼り合わせのようすを示す説明図。
【図7】本発明の他の実施形態例を表し、(a),(b)は要部断面図、(c)は要部説明図。
【符号の説明】
1…基板、2,2′…1/2波長板、10…ベース板、11…柱、12a,12b…レール、13…直動ガイド、13a…ガイド延長片、14…1軸ステージ、15…第1のエアーシリンダー、16…吸着テーブル、17…基準板、18…マイクロメーターヘッド、19…旋回作用片、19a…軸支部、20…旋回板、21…弾性ローラ、22,22′…旋回テーブル、23…第2のエアーシリンダー、31…広巾溝、32…狭巾溝、33…基準ピン、34,35…吸着穴、34a〜34c…吸着穴エリア、40…保持板、40a…凸部、40b…貫通孔、41…溝、41a…溝内壁、42…位置決めピン、43…シャフト、44…部材、45a,45b…止め輪、46…圧縮バネ。
Claims (14)
- 所定の第1の直線に沿って移動可能に配設され、前記第1の直線と、該第1の直線とは所定角度を有して存在する第2の直線とで形成される第1の平面上に第1の部材を保持する第1の保持手段と、
回転可能であって、前記第1の平面に直交する方向に所定距離隔てるとともに、前記第1の直線と直交し且つ第1の平面と平行な第3の直線上に回転中心軸が配設された筒体と、
前記筒体の回転中心軸と平行であって、該筒体の外周表面の所定部位に存在する軸平行線と、該軸平行線と直角であり且つ前記第1の平面に対して所定角度を有した第4の直線とで形成される第2の平面上に、第2の部材を摺動可能に保持する第2の保持手段と、
前記筒体を、所定圧力で前記第1の平面側に押圧する加圧手段と、
前記第1の保持手段を前記第1の直線に沿って移動させる第1の移動手段と、
前記第1の保持手段を前記筒体の回転中心軸と平行な方向に移動させる第2の移動手段と
を備えたことを特徴とする貼り合わせ装置。 - 前記第1の部材は偏光変換素子基板であり、前記第2の部材は複数枚並設された1/2波長板であることを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第2の保持手段を、第2の平面位置と該第2の平面位置以外の位置との間で移動させる第3の移動手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第2の保持手段は、保持物の位置決めを行う位置決め手段を有していることを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第2の保持手段は、所定の吸引力で前記第2の部材を保持することを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第2の保持手段には、前記軸平行線からの所定距離毎に複数に分割されて、各々独立して吸引される分割吸引領域が形成されていることを特徴とする請求項5に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第2の保持手段は、所定の弾性力で前記第2の部材を保持することを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第2の保持手段は、前記第2の部材を摺動可能に保持する保持部と、前記保持部の、筒体とは反対側であって該保持部に連続して形成された非保持部と、前記非保持部であって、該非保持部の端部から所定距離保持部側に近い部位を、回動自在に且つ前記筒体の回転中心軸と平行に軸支した軸支部とを有し、
前記加圧手段は、前記非保持部の端部に作用して前記筒体を前記第1の平面側に押圧することを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。 - 前記加圧手段は、前記押圧力を調整する手段を有していることを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 前記第1の移動手段は、移動速度を調整する手段を有していることを特徴とする請求項1に記載の貼り合わせ装置。
- 所定の第1の直線に沿って移動可能に配設され、前記第1の直線と、該第1の直線とは所定角度を有して存在する第2の直線とで形成される第1の平面上に第1の部材を保持する第1の保持手段と、
回転可能であって、前記第1の平面に直交する方向に所定距離隔てるとともに、前記第1の直線と直交し且つ第1の平面と平行な第3の直線上に回転中心軸が配設された筒体と、
前記筒体の回転中心軸と平行であって、該筒体の外周表面の所定部位に存在する軸平行線と、該軸平行線と直角であり且つ前記第1の平面に対して所定角度を有した第4の直線とで形成される第2の平面上に、第2の部材を摺動可能に保持する第2の保持手段とを備え、
前記第1の部材が保持された第1の保持手段を前記第1の直線に沿った所定の開始位置に配設し、前記第2の部材を摺動可能に保持した第2の保持手段および筒体を、前記第4の直線に沿い且つ前記第1の平面に対向する開始位置に配設する第1の工程と、
前記開始位置に配設された筒体を第1の平面側に所定圧力で押圧する第2の工程と、
前記筒体が第1の平面側に押圧された状態で、前記第1の保持手段を前記第1の直線に沿って移動させる第2の工程と
を実行することを特徴とする貼り合わせ方法。 - 前記第1の工程は、前記開始位置以外の位置で第2の部材を保持した後、前記開始位置に配設する工程を含んでいることを特徴とする請求項11に記載の貼り合わせ方法。
- 前記第1の工程は、前記第1の保持手段を、前記第1の直線と直交する方向に移動させて位置調整を行う工程を含んでいることを特徴とする請求項11に記載の貼り合わせ方法。
- 前記第1の工程は、前記第1の保持手段を、前記第1の直線と直交する方向に移動させて位置調整を行う工程を含んでいることを特徴とする請求項12に記載の貼り合わせ方法。
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JP2006276589A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Sanyo Epson Imaging Devices Corp | 貼付装置及び電気光学装置の製造方法 |
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2003
- 2003-04-22 JP JP2003116799A patent/JP2004325547A/ja active Pending
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