JP2004317170A - 圧縮ガス供給システム - Google Patents

圧縮ガス供給システム Download PDF

Info

Publication number
JP2004317170A
JP2004317170A JP2003107976A JP2003107976A JP2004317170A JP 2004317170 A JP2004317170 A JP 2004317170A JP 2003107976 A JP2003107976 A JP 2003107976A JP 2003107976 A JP2003107976 A JP 2003107976A JP 2004317170 A JP2004317170 A JP 2004317170A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas supply
supply system
compressed
air
nitrogen gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003107976A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Muramatsu
浩一 村松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2003107976A priority Critical patent/JP2004317170A/ja
Publication of JP2004317170A publication Critical patent/JP2004317170A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)

Abstract

【課題】原子力発電プラントなどで、負荷に乾燥圧縮空気、圧縮空気、窒素ガスなどの圧縮ガスを供給する圧縮ガス供給システムでは、各圧縮ガスの種類により個別に専用のコンプレッサおよびそれに付随した配管、バルブ、計測制御系を備えている。このため、設置スペースが大きくなり、メンテナンス性が悪く、小型でメンテナンス性の良い圧縮ガス供給システムが望まれている。
【解決手段】計装空気系、サービス空気系、窒素ガス供給系の間で、コンプレッサ15a、15b、15cを共有設備とすると共に、圧縮ガス供給系と共有コンプレッサ15a、15b、15cとの間を合流配管16で接続し、この合流配管16に設けたバッファタンク17内の圧力を測定するか、または合流配管16内の圧力を測定することにより負荷9、10、11の変動に応じたコンプレッサ15a、15b、15cの運転制御を行う。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧縮した空気と、乾燥した圧縮空気と、窒素ガスとをそれぞれプラントの負荷に供給する圧縮ガス供給システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、原子力発電プラント等においては、空気作動弁や調節弁およびその他の計装、制御機器などの計装空気系負荷に対して乾燥圧縮空気を供給する計装空気系と、空気圧を利用した洗浄装置および空気駆動のエア工具などのサービス空気系負荷に対して圧縮空気を供給するサービス空気系と、原子炉冷却系等において、発火防止などの安全性を考慮した窒素ガス供給系負荷に対して液体窒素を気化させたり吸着式または透過式の窒素ガス製造装置でできた窒素ガスを供給する窒素ガス供給系からなる圧縮ガス供給システム備えている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
図4に従来の圧縮ガス供給システムを示す。図4において、1Aは負荷に圧縮空気を供給する2台のコンプレッサで、一方は常用とし、他方は予備機として設けられている。2台のコンプレッサ1Aにはそれぞれチェッキバルブ2Aとアイソレーション用のゲートバルブ3Aとが設けられ、配管4Aを介して共に計装空気系バッファタンク5Aに接続されている。この計装空気系バッファタンク5Aはコンプレッサ1Aの脈動を低減するために設けられたもので、圧縮空気を貯蔵し、計装空気系バッファタンク5A内の圧力を検出する圧力計PTAを備え、圧力計PTAの圧力検出出力はコンプレッサ1Aに入力されている。
【0004】
さらに計装空気系バッファタンク5Aは配管6Aを介して並列接続された2台のドライヤ7Aに接続されている。この2台のドライヤ7Aの一方は常用とし、他方は常用機の不具合時の予備機として設けられている。そして、このドライヤ7Aは配管8Aを介して複数の計装空気系負荷9に接続されて計装空気系Aを構成している。
【0005】
一方、前記計装空気系Aと同様に、2台のコンプレッサ1Bとサービス空気系バッファタンク5Bとを配管4Bを介して接続し、さらにサービス空気系バッファタンク5Bを配管8Bを介して複数のサービス空気系負荷10に接続してサービス空気系Bを構成している。
【0006】
このサービス空気系Bにおいてもサービス空気系バッファタンク5B内の圧力を検出する圧力計PTBや各種バルブ類を備えている。
さらに、2台ののコンプレッサ1Cと、吸着式または透過式の2台の窒素ガス製造装置12Cと、窒素ガス供給系バッファタンク5Cとを配管4C、6Cを介して接続し、さらに前記窒素ガス供給系バッファタンク5Cを配管8Cを介して複数の窒素ガス供給系負荷11に接続して窒素ガス供給系Cを構成している。
【0007】
この窒素ガス供給系Cにおいても窒素ガス供給系バッファタンク5C内の圧力を検出する圧力計PTCや各種バルブ類を備え、圧力計PTCの圧力検出出力は2台の窒素ガス製造装置12Cと2台のコンプレッサ1Cとに接続されている。
【0008】
さらにまた、計装空気系Aのドライヤ7Aの上流側とサービス空気系Bのサービス空気系バッファタンク5Bの下流側とが配管13によって接続され、配管13の途中にバルブ14が設けられている。
この配管13の途中に設けられたバルブ14は常時は閉じられている。
【0009】
このような従来の圧縮ガス供給システムでは、各圧縮ガス供給系は、コンプレッサ1A、1B、1Cで圧縮された空気を各々のバッファタンク5A、5B、5C内に一旦貯え、配管8A、8B、8Cを介して各々の負荷9、10、11に乾燥した圧縮空気と、圧縮した空気と、窒素ガスとを供給する。
【0010】
個々のバッファタンク5A、5B、5C内の圧力が規定の圧力範囲より外れるとその圧力変化を圧力計PTA、PTB、PTCで検出し、その信号をコンプレッサ1A、1B、1Cに送って、各コンプレッサ1A、1B、1Cのロード/アンロード制御および予備機起動の制御を行い、安定して圧縮ガスを各負荷9、10、11に供給する。
【0011】
また、万一計装空気系Aのコンプレッサ1Aが2台とも故障した場合はバルブ14を開き、配管13を介してサービス空気系Bより計装空気系Aのドライヤ7Aの上流に圧縮空気を供給し、計装空気系負荷9に対し乾燥した圧縮空気を供給するようにバックアップ機能を有している。またこの逆の場合も同様にバックアップ機能を発揮する。
【0012】
【特許文献1】
特開昭61−99892号公報(第1頁右欄8行目−第2頁上段右欄5行目、 第3図)
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、従来の圧縮ガス供給システムは、プラントの各負荷に供給する圧縮ガスの種類により個別に圧縮ガスを供給する専用コンプレッサ、配管系、バルブ類、バッファタンクおよび計測制御系を備えている。
【0014】
このため、専用コンプレッサの台数が多く、そのために配管系、弁、計測制御系も複系列分有している。よって、その分の設置スペースを必要としており、更に機器、配管系、計測制御系のメンテナンスエリアの確保も必要となり、スペースユーティリティの面からも多くの設置スペースを必要としている。
【0015】
また、メンテナンス対象となる機器の台数も多いことから、メンテナンス性に劣り、メンテナンス費用も多く必要とし、交換部品も必要台数分を確保する必要があるため、イニシャルコスト、ランニングコスト双方にて運用維持に多くの費用がかかっていた。
【0016】
本発明は以上の課題を解決し、メンテナンス性を向上させ、設置エリアを縮小し、プラント建設時の建設コストを低減し、メンテナンス負担の軽減によりランニングコストを低減させた圧縮ガス供給システムを提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項1記載の発明は、乾燥した圧縮空気を負荷に供給する計装空気系と、圧縮した空気を負荷に供給するサービス空気系と、窒素ガスを負荷に供給する窒素ガス供給系と、圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に供給する圧縮ガス供給系共有のコンプレッサと、このコンプレッサの出口側に設けられ、圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に分岐供給する合流配管と、この合流配管に設けられた圧縮ガス供給系共通のバッファタンクとからなることを特徴とする。
【0018】
また、請求項3記載の発明は、乾燥した圧縮空気を負荷に供給する計装空気系と、圧縮した空気を負荷に供給するサービス空気系と、窒素ガスを負荷に供給する窒素ガス供給系と、圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に供給する圧縮ガス供給系共有のコンプレッサと、このコンプレッサの出口側に設けられ、圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に分岐供給する合流配管とからなることを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、以下の説明において図4に示す従来の圧縮ガス供給システムと同一部分には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【0020】
図1は本発明の第1の実施の形態を示す図で、15a、15b、15cは50%容量の3台のコンプレッサで、その内の1台(例えば15C)を予備機とし、計装空気系A、サービス空気系Bおよび窒素ガス供給系Cの3つの圧縮ガス供給系に対して共有として設けている。
【0021】
この共有コンプレッサ15a、15b、15cの出口側には共有コンプレッサ15a、15b、15cからの圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に分岐供給するための合流配管16が設けられている。この合流配管16には負荷変動に追従して共有コンプレッサ15a、15b、15cの起動、停止の運転制御を実施するための共通のバッファタンク17が設置されている。バッファタンク17は、圧力計PTを備えており、その圧力計PTでバッファタンク17内の圧力を測定し、規定の圧力範囲から外れると、待機状態にある共有コンプレッサ15aをロード状態にしてバッファタンク17内に圧縮空気を供給し、バッファタンク17内の圧力が所定の範囲の値に戻ったら共有コンプレッサ15aをアンロード状態とする。
【0022】
負荷の増大により圧縮ガス使用量が多くなった場合には2台目の共有コンプレッサ15bが起動し、前記と同様にバッファタンク17内の圧力を圧力計PTで監視し、ロード/アンロードの運転制御を行なう。
【0023】
バッファタンク17より出た圧縮空気は、乾燥した圧縮空気を供給するための計装空気系Aと、圧縮した空気を供給するサービス空気系Bと、窒素ガスを供給する窒素ガス供給系Cとにそれぞれ分岐した配管4A、4B、4Cを介して供給される。
【0024】
圧縮空気の分岐後、計装空気系Aでは、計装空気系バッファタンク5Aおよび圧縮空気を乾燥するためのドライヤ7A、7Aに接続されて、配管8Aを介して各計装空気系負荷9に乾燥した圧縮空気を供給する。
同じく、サービス空気系Bでは、サービス空気系バッファタンク5Bに接続され、配管8Bを介して各サービス空気系負荷10に圧縮した空気を供給する。
【0025】
同じく、窒素ガス供給系Cでは、圧縮空気より窒素ガスを製造する吸着式または透過式の窒素ガス製造装置12Cを介して、その下流に設置される窒素ガス供給系バッファタンク5Cに製造された窒素ガスを貯え、その窒素ガス供給系バッファタンク5Cより配管8Cを介して各窒素ガス供給系負荷11に対し窒素ガスを供給する。
【0026】
以上のように本実施の形態によれば、計装空気系、サービス空気系、窒素ガス供給系の間で、コンプレッサ3台を共有設備とすることにより従来と同様の信頼性を維持しつつ、圧縮ガス系のコンプレッサ台数を従来の計6台から、3台に半減させることができる。
【0027】
コンプレッサの台数が低減されるため、コンプレッサ台数分を必要としていた配管系、バルブ類、計測制御系も削減でき、更にコンプレッサの設置台数の低減に伴う、設置スペースの削減、メンテナンスエリアの削減が可能となる。
【0028】
また、従来プラントで、計装空気系の専用コンプレッサが故障した場合に、サービス空気系の専用コンプレッサから計装空気系のドライヤの上流に圧縮空気を供給するためのバックアップ用の配管が不要となり、配管及びバルブの削減が可能となる。これは、バックアップ用配管設備の建設時のコストを削減し、バルブのメンテナンスを不要とし、設置スペースも削減可能となり、配管設計上も容易となる。
【0029】
また、共有コンプレッサ15a、15b、15cの運転制御に使用する圧力信号を計装空気系バッファタンク5Aとサービス空気系バッファタンク5Bから取らずに共通のバッファタンク17の圧力計PTから取っているので、個々の計器のドリフトなどによる設定値変動が、共有コンプレッサ15a、15b、15cの運転制御に悪影響を及ぼすことを防ぐことができる。
【0030】
また、共通のバッファタンク17を設けて圧力検出点を設けたことにより、共有コンプレッサ15a、15b、15cからの脈動が大きい場合でも、運転制御を妨げない様に圧力脈動を平準化することができる。
【0031】
さらに、一般に窒素ガス製造装置12Cに供給される圧縮空気の圧力によって窒素ガスの純度に影響が及ぼされるが、本実施の形態においては、計装空気系Aやサービス空気系Bの負荷変動により極力圧力変動が少なくなるように、共通のバッファタンク17から窒素ガス供給系Cに至る配管4Cを、計装空気系A、サービス空気系Bに至る配管4A、4Bよりも太くし、また可能な限り窒素ガス製造装置12Cをバッファタンク17に接近させて設置することにより純度の高いかつ安定した窒素ガスが製造できる。
【0032】
更にまた、計装空気系A、サービス空気系B、及び窒素ガス供給系Cの合流配管16と、計装空気系及びサービス空気系のバッファタンク5A、5Bとの間に、逆止弁を設けていないので、間欠負荷による系統内圧力の低下を計装空気系及びサービス空気系のバッファタンク5A、5Bの合計の容量で吸収する事により極力小さくすることができる。
【0033】
図2は本発明の第2の実施の形態を示す図で、本実施の形態においては、図1に示す第1の実施の形態における計装空気系バッファタンクとサービス空気系バッファタンクを廃し、共有コンプレッサ15a、15b、15cの出口側に設けた合流配管16に共通のバッファタンク18を設置し、そのバッファタンク18に設けた圧力計PTによりバッファタンク18内の圧力を測定して共有コンプレッサ15a、15b、15cの起動、停止の運転制御を行う。圧縮空気は、バッファタンク18から出た後、分岐した配管4A、4B、4Cを介して各圧縮ガス系に供給される。
【0034】
圧縮空気の分岐後、計装空気系Aでは、圧縮空気を乾燥するためのドライヤ7Aに接続されて、配管8Aを介して各計装空気系負荷9に乾燥した圧縮空気を供給する。
同じく、サービス空気系Bでは、配管8Bを介して各サービス空気系負荷10に圧縮した空気を供給する。
【0035】
同じく、窒素ガス供給系では、分岐後、圧縮空気より窒素ガスを製造する吸着式または透過式の窒素ガス製造装置12Cを介して、その下流に設置される窒素ガス供給系バッファタンク5Cに製造された窒素ガスを貯え、その窒素ガス供給系バッファタンク5Cより配管8Cを介して各窒素ガス供給系負荷11に対し窒素ガスを供給する。
【0036】
本実施の形態によれば、共通設備となるバッファタンク18は、請求項1に示す実施の形態より大型のバッファタンクとなるが、バッファタンクが1つとなることから、設置エリアが少なく、メンテナンス対象の機器を削減することができる。
【0037】
図3は本発明の第3の実施の形態を示す図で、共有コンプレッサ15a、15b、15c出口側に設けた合流配管16の圧力脈動が共有コンプレッサ制御上問題ない場合の例である。
【0038】
共有コンプレッサ15a、15b、15cの合流配管16内の圧力を計測する圧力計PTを設け、この圧力計PTで測定した圧力に基づいて共有コンプレッサ15a、15b、15cの運転制御を行う。このため、図1、図2にて共有コンプレッサ15a、15b、15cの起動停止を制御するために設置されたバッファタンク17、18が不要となる。
【0039】
共有コンプレッサ15a、15b、15cの合流配管16は一旦合流した後、再び分岐し、乾燥した圧縮空気を供給するための計装空気系Aと、圧縮した空気を供給するサービス空気系Bと、窒素ガスを供給する窒素ガス供給系Cに圧縮空気を供給する。
【0040】
圧縮空気の分岐後、計装空気系Aでは、計装空気系バッファタンク5A及び圧縮空気を乾燥するためのドライヤ7Aに接続されて、配管8Aを介して各計装空気系負荷9に乾燥した圧縮空気を供給する。
同じく、サービス空気系Bでは、サービス空気系バッファタンク5Bに接続され、配管8Bを介して各サービス空気系負荷10に圧縮した空気を供給する。
【0041】
同じく、窒素ガス供給系Cでは、圧縮空気より窒素ガスを製造する吸着式または透過式の窒素ガス製造装置12Cを介して、その下流に設置される窒素ガス供給系バッファタンク5Cに製造された窒素ガスを貯え、その窒素ガス供給系バッファタンク5Cより配管8Cを介して各窒素ガス供給系負荷11に対し窒素ガスを供給する。
【0042】
本実施の形態によれば、共有コンプレッサ15a、15b、15cの起動、停止の運転制御を、前記第1、第2の実施の形態のようにバッファタンク17、18内の圧力を測定せず、共有コンプレッサの合流配管16内の圧力を測定することで、共有コンプレッサの起動停止を行うため、バッファタンク17、18を削減することが可能となり、バッファタンク17、18削減に伴う、設置スペースの削減、メンテナンスエリアの削減ができる。
【0043】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、メンテナンス性を向上させ、設置エリアを縮小し、プラント建設時の建設コストを低減し、メンテナンス負担の軽減によりランニングコストを低減させた圧縮ガス供給システムを得ることとができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による圧縮ガス供給システムを示すブロック図。
【図2】本発明の第2の実施の形態による圧縮ガス供給システムを示すブロック図。
【図3】本発明の第3の実施の形態による圧縮ガス供給システムを示すブロック図。
【図4】従来の圧縮ガス供給システムを示すブロック図。
【符号の説明】
4A、4B、4C…配管、5A…計装空気系バッファタンク、5B…サービス空気系バッファタンク、5C…窒素ガス供給系バッファタンク、8A、8B、8C…配管、7A…ドライヤ、9…計装空気系負荷、10…サービス空気系負荷、11…窒素ガス供給系負荷、12C…窒素ガス製造装置、15a、15b、15c…共有コンプレッサ、16…合流配管、17、18…バッファタンク、…計装空気系、…サービス空気系、…窒素ガス供給系、PT…圧力計。

Claims (4)

  1. 乾燥した圧縮空気を負荷に供給する計装空気系と、圧縮した空気を負荷に供給するサービス空気系と、窒素ガスを負荷に供給する窒素ガス供給系と、圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に供給する圧縮ガス供給系共有のコンプレッサと、このコンプレッサの出口側に設けられ、圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に分岐供給する合流配管と、この合流配管に設けられた圧縮ガス供給系共通のバッファタンクとからなることを特徴とする圧縮ガス供給システム。
  2. バッファタンク内の圧力を測定することにより圧縮ガスを消費する負荷の変動に応じてコンプレッサの起動、停止の運転制御を行うことを特徴とする請求項1記載の圧縮ガス供給システム。
  3. 乾燥した圧縮空気を負荷に供給する計装空気系と、圧縮した空気を負荷に供給するサービス空気系と、窒素ガスを負荷に供給する窒素ガス供給系と、圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に供給する圧縮ガス供給系共有のコンプレッサと、このコンプレッサの出口側に設けられ、圧縮空気を前記圧縮ガス供給系に分岐供給する合流配管とからなることを特徴とする圧縮ガス供給システム。
  4. 合流配管内の圧力を測定することにより圧縮ガスを消費する負荷の変動に応じてコンプレッサの起動、停止の運転制御を行うことを特徴とする請求項3記載の圧縮ガス供給システム。
JP2003107976A 2003-04-11 2003-04-11 圧縮ガス供給システム Pending JP2004317170A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003107976A JP2004317170A (ja) 2003-04-11 2003-04-11 圧縮ガス供給システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003107976A JP2004317170A (ja) 2003-04-11 2003-04-11 圧縮ガス供給システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004317170A true JP2004317170A (ja) 2004-11-11

Family

ID=33469666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003107976A Pending JP2004317170A (ja) 2003-04-11 2003-04-11 圧縮ガス供給システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004317170A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009543964A (ja) * 2006-07-18 2009-12-10 アトラス コプコ エアーパワー,ナームローゼ フェンノートシャップ 圧縮空気装置を制御する方法ならびに該方法を使用するための制御器および圧縮空気装置
CN102678524A (zh) * 2012-05-15 2012-09-19 珠海市精钰科技设备有限公司 辅助节能型医用压缩空气设备系统
CN102691645A (zh) * 2012-05-15 2012-09-26 珠海市精钰科技设备有限公司 辅助型医用压缩空气设备系统
JP2014030776A (ja) * 2012-08-01 2014-02-20 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd 気体分離装置
WO2016032074A1 (ko) * 2014-08-28 2016-03-03 김영선 원자력 발전 시스템
CN116753465A (zh) * 2023-08-07 2023-09-15 广州广钢气体能源股份有限公司 一种多套制氮装置仪表气共享的系统及方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009543964A (ja) * 2006-07-18 2009-12-10 アトラス コプコ エアーパワー,ナームローゼ フェンノートシャップ 圧縮空気装置を制御する方法ならびに該方法を使用するための制御器および圧縮空気装置
CN102678524A (zh) * 2012-05-15 2012-09-19 珠海市精钰科技设备有限公司 辅助节能型医用压缩空气设备系统
CN102691645A (zh) * 2012-05-15 2012-09-26 珠海市精钰科技设备有限公司 辅助型医用压缩空气设备系统
JP2014030776A (ja) * 2012-08-01 2014-02-20 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd 気体分離装置
WO2016032074A1 (ko) * 2014-08-28 2016-03-03 김영선 원자력 발전 시스템
CN116753465A (zh) * 2023-08-07 2023-09-15 广州广钢气体能源股份有限公司 一种多套制氮装置仪表气共享的系统及方法
CN116753465B (zh) * 2023-08-07 2024-03-19 广州广钢气体能源股份有限公司 一种多套制氮装置仪表气共享的系统及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2615876C2 (ru) Способ контроля разделения текучих сред, топливная система, способ контроля состояния клапана и газовая турбина
JP2004317170A (ja) 圧縮ガス供給システム
US20060010909A1 (en) Backup system and method for production of pressurized gas
KR101230207B1 (ko) 반도체 제조 플랜트
US20090047564A1 (en) Electrical Power Consuming Installation Using a Fuel Cell and Method of Supplying One Such Installation
JP2005257340A (ja) 高圧タンクシステムのガス漏れ検出装置
CN201944547U (zh) 压缩天然气供气站的系统
JP4776413B2 (ja) 補助蒸気供給装置
CN114321716A (zh) 具有副路切换功能的智能燃气调压设备
CN100400960C (zh) 用于惰性气体的阀系统
JP2587108B2 (ja) ガス流路漏洩監視システム
US20090068517A1 (en) Systems and methods for verifying fuel cell feed line functionality
JPH0972495A (ja) 液化ガス供給装置
JP2000265184A (ja) 都市ガスの安定供給装置
JP2003065498A (ja) 圧縮空気の供給設備
JP3355279B2 (ja) ガス供給ユニット
Garg Medical Gases Pipeline System (MGPS) Works of the Hospital Building
US20080173353A1 (en) Gas supply piping system and method for replacing purifier
KR100349358B1 (ko) 가스 공급 장치
CN220727944U (zh) 一种连续供气的压缩空气控制系统
JP2004295296A (ja) ユーティリティ消費機器及びユーティリティ消費機器運転認識装置
CN212615272U (zh) 一种用于燃机机组的空压机组系统
JP2019214487A (ja) 水素供給システム
JPH08167418A (ja) 発電プラント制御方法および該方法を用いる燃料電池発電プラント制御装置
JPH0133151Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060405

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20060829

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20070222

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090528

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090602

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20091020