JP2004315146A

JP2004315146A - Substrate conveyance method

Info

Publication number: JP2004315146A
Application number: JP2003110909A
Authority: JP
Inventors: Masaki Kusuhara; 昌樹楠原; Masashi Inamitsu; 政司稲光; Takahiro Hatanaka; 貴裕畠中
Original assignee: WAKOMU DENSO KK
Current assignee: WAKOMU DENSO KK
Priority date: 2003-04-15
Filing date: 2003-04-15
Publication date: 2004-11-11
Anticipated expiration: 2023-04-15
Also published as: JP4312493B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate conveyance method for stopping, driving, and changing direction of a conveyance object efficiently to increase the flexibility and work efficiency of conveyance operation. <P>SOLUTION: A guide part 1 is made to abut on a corner part of a base board 20 to be conveyed to regulate movement of the base board 20, the guide part 1 is moved in the horizontal direction, and an angle in the horizontal direction of the guide part 1 is rotated and driven. The base board 20 is temporarily stopped and is fed in an arbitrary horizontal direction by these processes. The base board 20 floats in the air by the injection of gas from below. A sensor 7 detecting a position of the base board when conveying it is provided to take timing of operation of the guide part 1 based on a detection signal of the sensor 7. A guide roller 2 in a peripheral part is operated in the same way in addition to four guide parts 1a, 1b, 1c and 1d to regulate the movement of the base board 20. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板搬送方法に関し、たとえば、液晶表示器用のガラス基板等の各種処理行程における基板搬送装置へ適用される基板搬送方法に関する。なお、本発明は、同時期・同一出願人による他の発明の「基板搬送ガイドおよび同ユニット並びに基板搬送装置」と技術的に関連する発明である。先に出願済の他の発明が機械的な構成に係わる発明であるのに対し、本願発明は前記他の発明の装置を制御する方法の発明である。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板搬送方法は、一般的に基板製造過程における加工処理等の製造ラインへ適用される搬送装置を用いた基板搬送方法に関わるものである。
【０００３】
本発明と技術分野の類似する先願発明例として、下記の特許文献１および特許文献２がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１５１５７１号公報
「基板搬送システム及びそれを用いた基板搬送方法」
【０００５】
【特許文献２】
特開平１０−００６１６６号公報
「搬送装置」
【０００６】
本発明と技術分野の類似する先願発明例１としての上記特開２００２−１５１５７１号公報では、基板の大型化が進んでも基板を損傷することなく搬送することができる、基板搬送システム及びそれを用いた基板搬送方法を提供することを課題としている。本課題の解決手段として、基板浮上プレートにより基板に下面からのエアを吹き付けることにより浮上させ、基板端部を該基板の搬送経路に沿って設けられた搬送用ローラーで挟み込んで搬送する、としている。
【０００７】
先願発明例２としての特開平１０−００６１６６号公報の「搬送装置」は、方向性を有するワークの方向を変換すると共に、搬送時間の短縮を図ることのできる搬送装置を提供することを課題としている。本課題の解決手順として、搬送装置には、機枠に対して回転・上下・水平方向に移動し、ガラス基板を保持し搬送する機構を構成している。この搬送のために搬送アームと、機枠に対して回転可能なワーク支持台とが配設されている。搬送アームとワーク支持台は、それぞれが独立して回転駆動される。また、ワーク支持台にはガイド部材を複数個備えてセンタリング装置が配設され、ガラス基板がセンタリング装置に配置されると自動的に芯出しがなされる。そして、第１カセットからガラス基板を取り出し、センタリング装置に一時的に収納した後に、搬送装置は第１の位置から第２の位置に移動される。その移動の際、搬送アームと、ワーク支持台とが別々に回転され、ガラス基板の方向を変換する。そして、次行程装置にガラス基板を収納する、としている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、被搬送対象の基板、例えばガラス基板等は、ワークサイズが大型化され且つ薄型化の傾向にある。特に昨今、従来の機械的な搬送方法では、搬送の効率性や被搬送基板へ損傷を与え易い等の新たな問題点が顕在化している。
【０００９】
上記の先願発明例１では、浮上方式は取り入れているものの、基板搬送部の構成が従来のベルトコンベア方式の延長上にある。よって、本願発明の十字路上で方向転換させるものとは、基板搬送手順の基本的手順が相違している。
【００１０】
先願発明例２は、上記従来技術で掲げた搬送の効率性や被搬送基板へ損傷を与え易い等の問題点が回避されていない。また、構成が複雑であること、さらに、本願発明の様に浮上状態で機能を発揮させることが困難である等の問題点を有する。
【００１１】
本発明は、効率的に被搬送体の停止・駆動および方向転換を可能とし、搬送行為の柔軟性および作業効率性を高めた基板搬送方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、本発明の基板搬送方法は、被搬送体の基板のガイド部を基板の角部へ当接して該基板の動作を規制する基板動作規制行程と、ガイド部を水平方向へ移動させるガイド位置移動行程と、ガイド部の水平方向角度を回転駆動するガイド回転駆動行程とを有し、基板の一時停止と、任意の水平方向への送り出しを可能としたことを特徴としている。
【００１３】
請求項２記載の発明の基板搬送方法では、請求項１に記載の基板搬送方法において基板の位置を検出するセンサーを設け、このセンサーの検出信号を基にガイド部の動作のタイミングを取り、基板の一時停止と任意の水平方向への送り出しを行うこととする。
【００１４】
請求項３記載の発明の基板搬送方法では、請求項１または２に記載の基板搬送方法であり、上記のガイド部は略９０度の角度を有する突起により凹部を構成し、この凹部を被搬送対象の基板角部へ当接し、基板の四隅方向に設けられた４個のガイド部により該基板の四隅に対して当接が行われることとしている。
【００１５】
請求項４または５記載の発明の基板搬送方法では、ガイド回転駆動行程におけるガイド部の水平方向角度の回転駆動は、送り出しを行う方向と反対方向の基板の、二つの角部へ当接したガイド部の回転駆動であるとし、このガイド回転駆動行程の実行前に、送り出しを行う方向の前面側のガイド部を基板の角部から外し且つ進路を空け、送り出しを実行することとしている。
【００１６】
請求項６記載の発明の基板搬送方法では、基板は下方からの気体の噴出により空中へ浮上状態とされ、この浮上状態の基板の移動に対して移動方向へ対向する前側２個のガイド部を後方へ移動させ、後側２個のガイド部を回転駆動することにより基板へ反力を与え、基板の移動方向への移動を可能としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明による基板搬送方法の実施の形態を詳細に説明する。図１から図１３を参照すると、本発明の基板搬送方法の一実施形態が示されている。
【００１８】
これらの図において、図１は本発明による基板搬送方法の実施の形態へ適用される基板搬送ガイドユニット５０の平面図を示している。また、図２は基板搬送ガイドユニット５０の構成部分である基板搬送ガイドの全体を示し、図３はガイド部の構造例を示し、図４は基板搬送ガイドを駆動する基板搬送ガイドユニットの内部の構成例を示している。さらに、図５および図６は、ガイドローラー２と該ガイドローラー２の上側の稼動状態または下側の休止状態への位置移動を駆動する駆動装置の側面構成例を示している。
【００１９】
図７、図８及び図９は、基板搬送ガイドユニット５０の動作例を説明するための図であり、図７（ａ）〜図７（ｃ）が基板を左方向から右方向へ進める場合の手順例を説明するための図である。また、図８（ａ）〜図８（ｃ）が基板を左方向から下方向へ進める場合（９０度方向転換）の手順例を説明するための図である。図９（ａ）〜図９（ｄ）は、基板を進めるにおいて、基板搬送ガイドが取る動作手順例を説明するために用いる図である。さらに、図１０は、動作例のタイミング図である。図１１は、動作手順例を示したフローチャートである。
【００２０】
本発明の基板搬送方法が発揮可能な機能例としては、１）基板のストッパー機能、２）基板に推力を与える機能、３）基板の方向転換を行う機能、４）基板のガイドを行う機能、等がある。これらの機能を用いた具体例として、１１）基板の９０度の移動方向転換、１２）基板の位置のスライドが可能となる。また、基板へ推力を与え、基板の方向転換を行い、基板を保持してのストッパー、基板を退避させて相対する他の基板から一時的に避ける、等が可能となる。これらの機能を発揮可能な基板搬送方法の実施形態を、以下に詳述する。
【００２１】
図１は、４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを、基板搬送ガイドユニットへ適用した場合の構成例を示す上側から見た平面図である。本図１において、４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄは、基板搬送ガイドユニットの四隅へ設けられ、被搬送体としてガラス基板２０を想定して表している。４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの各々は、被搬送体としてのガラス基板２０の四隅を、夫々相互に隣接して構成された２個のローラー間の凹部で保持する。
【００２２】
被搬送体２０の動作を規制する働きを行うのは、上記４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの他に、側辺部のガイドローラー２も同様の働きをする。このガイドローラー２は、図１において、被搬送体２０の４辺の中間部に各２個設けられ、合計８個で１枚の基板の動作範囲を規制している。
【００２３】
上記４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄで形成される四辺形のエリア内に、被搬送対象となる基板２０が収容される。本収容動作において、基板の存否および搬入・搬出のタイミングを取るための基板検出用のセンサー７が基板の下方位置に設けられている。この基板検出用のセンサー７は、光学式のセンサーであり、被検出対象の基板へ光を照射し、この照射した光の反射光の有無を検出して被検出対象の基板２０の存在有無を検出する。
【００２４】
上記の検出器として、例えば、検出範囲となる反射距離範囲を限定した距離限定型の反射光検出センサーを用いる。また、基板２０の移動速度に対応して関連部と動作のタイミングを取るために、移動方向に対して時間的余裕を持ち得る前方位置へ設置している。本実施例では、既述の様に反射光型の基板検出用のセンサー７を用いて、ガイド部の操作のタイミングを取っている。例えば、図１において、把握固定時の一の基板側面に対しての基板検出用のセンサー７の設置位置距離Ｌは、機械的に調整可能であり、関連する構成部、例えば基板把握固定時に、ガイド部１ａ、１ｂを駆動する動作のタイミングを取るために用いられる。
【００２５】
上記構成の基板搬送ガイドユニットにおける基板搬送の手順へは、図２、図３、図４に示すガイド部１と、図５、図６に示すガイドピン２とが適用される。
【００２６】
図１は、基板１枚に対応する基板搬送用の１ユニットとして構成されたユニット図を示している。図２は、基板搬送ガイドユニット５０へ適用され被搬送体を直接操作する、基板搬送ガイドの構成例を示す平面図である。また、図３は、基板搬送ガイドおよび基板搬送ガイドユニット５０が取り扱う被搬送体と当接する部位となる、ガイド部１の構造例を示す平面図である。図２がガイド部１の動作を概念的に示し、図３が一の構成部であるガイドの、より詳細な構成例を示している。また、本ユニットには不図示であるが、盤面に多数のエアー噴出口が設けられ、このエアー噴出口からのエアー噴出により、被搬送対象の基板を空中へ浮上が可能とされている。なお、図７および図８中の黒点は、エアー噴出口を表している。
【００２７】
図２および図３に詳細構成例を示したガイド部１は、細分化され、十字状またはヒトデ状の金具１１、３個のローラー１２、ダンパー１３、ガイド板１４を有して構成される。ダンパー１３は、被搬送体へ与える衝撃力を吸収する部位であり、さらに、ブッシュ１３１、スリーブ１３２、バネ１３３を有して構成される。尚、本ダンパー１３は、衝突吸収のモーメントにおいて、ヒトデ状の一の金具がダンパー用のブッシュ１３１へ当接し、バネ１３３の反力で衝撃力を吸収する。
【００２８】
十字状またはヒトデ状の金具１１は、該ヒトデ状の金具１１の３個の先端部に樹脂製のローラー１２ａ、１２ｂ、１２ｃが、夫々回転自在の状態で取り付けられている。また、ヒトデ状の金具１１の中心軸下方には、円柱状のブッシュ１５が取り付けられている。このブッシュ１５は、ガイド用のガイド板１４に構成された長孔を可動範囲として前後移動が可能とされる。図２中において、長孔をガイドにした前後移動範囲を符号Ｈとして示している。なお、本実施例では、可動範囲としてガイド板１４に長孔を設けた構成としたが、後述する基板搬送ガイドユニット５０のプレート５の面へ直接長孔を設け、該長孔を可動範囲としてもよい。
【００２９】
図４、および図５と図６は、基板搬送ガイドユニットの内部の構成例を説明するための側面図であり、装置内部の構成状態を概念的に示している。図４は、基板搬送ガイドの構成例を示す機構説明図であり、図５は、ガイドローラー２の動作を説明するための機構説明図である。
【００３０】
図４において、ガイド部１の駆動部としてロータリーアクチュエーター３とスライド用シリンダー４とが設けられている。さらに、ヒトデ状の金具１１の中心部には上記のブッシュ１５を介してガイド部１を回転させるロータリーアクチュエーター３の回転軸１４１と連結される。なお、この回転軸１４１は、ロータリーアクチュエーター３の持つ回転軸である。これにより、ロータリーアクチュエーター３は、ガイド部１を首振り状に回転駆動する回転駆動部とされる。さらに、ロータリーアクチュエーター３は、スライド用シリンダー４と連結されている。本構成により、スライド用シリンダー４は、ロータリーアクチュエーター３を移動させ、ガイド板１４に構成された長孔に沿ってガイド部１を前後移動させる。この前後移動は、図２にも示した移動範囲Ｈ内のスライド移動を可動範囲とする。
【００３１】
図５および図６は、ガイドローラー２と該ガイドローラー２の上側または下側への位置移動を駆動する駆動装置の側面図である。図５はガイドローラー２が可動状態の上側位置に在る状態を示し、図６は休止状態の下側位置に在る状態を示している。これらの図において、ガイドローラー２、ローラーリフト２２、ガイド昇降確認センサー２３の相互の配置状態を示している。なお、これらは、基板搬送ガイドユニット５０のプレート５へ取り付けられたガイドローラー２の、左側面図（図５）と右側面図（図６）である。
【００３２】
図５はガイドローラー２が上側位置に在る状態を表し、図６はガイドローラー２が下側位置に在る状態を表している。これらの図５および図６において、ローラーリフト２２の軸の上下移動により、ガイドローラー２の上下位置の状態が変化可能とされる。本構成のガイドローラー２は、図１で示した状態で、基板搬送ガイドユニット５０の上下左右の４辺部へ各２個の合計８個が装備される。
【００３３】
図７（ａ）、図７（ｂ）、図７（ｃ）は、左方向から入力する被搬送対象のガラス基板を右方向へ前進させる場合の、基板搬送ガイドユニット５０の動作手順例を示した平面図である。また、図８（ａ）、図８（ｂ）、図８（ｃ）は、左方向から入力する被搬送対象のガラス基板を下方向へ９０度方向転換させる場合の、基板搬送ガイドユニット５０の動作手順例を示した平面図である。
【００３４】
図７〜図８には、基板搬送ガイドユニット５０へのガラス基板２０の搬入手順例を説明するための概念図であり、図７（ｂ）、図８（ｂ）は基板搬送ガイドユニット５０が取り込んだガラス基板２０の保持状態を示し、図７（ｃ）、図８（ｃ）は基板搬送ガイドユニット５０が取り込んだガラス基板２０の搬出中の状態を、夫々示している。なお、これらの図中における、直線矢印はガイド部１の移動方向を、円弧状矢印はガイド部１の回転方向を、夫々表している。
【００３５】
上記の状態をさらに詳述すると、図８において、ガラス基板２０の取り込みを実行するに際して、基板搬送ガイドユニット５０の４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの内、ガラス基板搬入方向の２個のガイド部１ａ、１ｂを、基板の搬入に障害とならない様に、プレート５の外側へ位置移動させる。さらに、基板搬送ガイドユニット５０のガラス基板２０に対応する４辺に装備されたガイドローラー２の内の、搬入方向の一辺に在る２個のガイドローラー２ａ、２ｂを、同様の趣旨で基盤搬送装置のプレート５以下へ降下させる。
【００３６】
図７および図８に示す搬送実施例において、基板搬送ガイドユニット５０の４個のガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの動作と、８個のガイドローラー２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ、２ｆ、２ｇ、２ｈの上下動作とが、直接的にガラス基板の可動範囲を制御する。
【００３７】
図７および図８において、ガラス基板２０内に示した矢印は、基板の進行方向を示している。ガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄに添って示した直線の矢印は、夫々のガイド用のガイド板１４に構成された長孔範囲Ｈ内での移動方向を示している。また、ガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄに添って示した曲線の矢印は、ロータリーアクチュエーター３によるガイド部の首振り状の回転駆動方向を表している。
【００３８】
図９（ａ）、図９（ｂ）、図９（ｃ）、図９（ｄ）は、基板搬送動作に伴うガイド部１の、動作パターンを例示した図であり、基板搬送ガイドユニット５０に装備された４個のガイド部１は、本ユニット５０の各々のコーナーを基準として、これら４種類のパターンに分類分けされる。
【００３９】
図９（ａ）および図９（ｂ）において、ガイド用のガイド板１４に構成された長孔を可動範囲Ｈとするコーナー側に位置し、ヒトデ状金具１１の３個の先端部中央のローラー１２ｂが、縦側側面と平行に在る場合／図９（ａ）と、横側側面と平行に在る場合／図９（ｂ）である。同様に図９（ｃ）および図９（ｄ）において、ガイド用のガイド板１４に構成された長孔を可動範囲Ｈとする中央側の端部に位置し、ヒトデ状の金具１１の３個の先端部中央のローラー１２ｂが、縦側側面と平行に在る場合／図９（ｃ）と、横側側面と平行に在る場合／図９（ｄ）である。
【００４０】
図７に示した左方向から入力する被搬送対象のガラス基板２０を右方向へ前進させる場合の動作例を基に、各部の動作タイミングと処理手順例を以下に説明する。図１０は、（１）基板進入側のガイド部の開／閉動作と、（２）基板進入動作のＯＮ／ＯＦＦと、（３）センサー７のＯＮ／ＯＦＦ動作との間の、相互の関連性を示すタイミング図である。また、図１１は、基板搬入動作の手順例を示すフローチャートである。また、図１２は、（１１）基板搬出側のガイド部の開／閉動作と、（１２）送り出しガイド部の回転駆動と、（１３）基板退出動作のＯＮと、（１４）センサー７のＯＮ／ＯＦＦ動作との間の、相互の関連性を示すタイミング図である。また、図１３は、基板搬出動作の手順例を示すフローチャートである。
【００４１】
（基板搬入動作例）
図７（ａ）、図９、図１０および図１１において、ガイド部１ａ、１ｂを図９（ａ）の状態とし、ガイドローラー２ａ、２ｂを下側位置の収納状態とする（ステップＳ１）。本処理により図１０におけるタイミングがｔ０〜ｔ１へと進行し、（１）ガイド部１ａ、１ｂの間の進入路が開状態となる。
【００４２】
上記（１）ガイド部１ａ、１ｂの開状態達成時ｔ１から予め定めたディレー時間経過後の時間ｔ２において、（２）基板進入動作を開始する（ステップＳ２）。基板２０が上記進入路から基板搬送ガイドユニット５０内へ進入し、所定の位置まで搬入すると、センサー７が基板を検知する（ステップＳ３／タイミングｔ３）。
【００４３】
センサー７が基板を感知後、タイマがカウントを開始し（ステップＳ４）、所定時間Ｔ１の経過後に（ステップＳ５／タイミングｔ４）、ガイド部１ａ、１ｂを閉駆動させる（ステップＳ６／図７（ｂ））。ガイド部１ａ、１ｂが、図９（ｃ）の状態位置まで位置駆動されて（タイミングｔ５）、図９（ｂ）の状態とし、ガイド部１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの凹部を被搬送対象の基板２０の角部へ当接して、該基板の動作を規制する基板動作規制行程が完了する（ステップＳ７／タイミングｔ５）。
【００４４】
（基板搬出動作例）
図７（ｃ）、図９、図１２および図１３において、ガイド部１ｃ、１ｄを図９（ａ）の状態とし、ガイドローラー２ｅ、２ｆを下側位置の収納状態とする（ステップＳ１１、Ｓ１２）。本処理により図１２におけるタイミングがｔ１０〜ｔ１１へと進行し、（１１）ガイド部１ｃ、１ｄの退出路が開状態となる。
【００４５】
上記（１１）ガイド部１ｃ、１ｄの退出路を開状態に設定が完了後（ステップＳ１２／ｔ１２）、（１２）基板退出駆動側のガイド部１ａ、１ｂをそれぞれ図７（ｃ）に示した方向へ回転駆動する（ステップＳ２）。本送り出し側のガイド部１ａ、１ｂの回転駆動により基板へ推進力が与えられ、（１３）基板退出動作を開始する（ステップＳ１３／ｔ１２）。基板２０が、基板搬送ガイドユニット５０外へ退出完了する前の所定の位置まで移動すると、基板がセンサー７上を通過し、本時点でセンサー７が基板の退出を検知する（ステップＳ１４／タイミングｔ１３）。
【００４６】
センサー７の検知信号がＯＦＦとなり、基板の不存在を感知後、タイマがカウントを開始し（ステップＳ１５）、所定時間Ｔ２の経過後に（ステップＳ１６／タイミングｔ１５）、ガイド部１ｃ、１ｄを閉駆動させる（ステップＳ１７）。
【００４７】
上記の基板搬出動作における、（１４）センサーのＯＦＦ信号の検出（ｔ１３）と、（１３）基板退出動作の完了（ｔ１４）と、（１１）ガイド部の閉動作の開始（ｔ１５）との間のタイミングは、予め、余裕を持った時間設定を行う。これらは、（１３）基板退出動作に要する時間（ｔ１４−ｔ１２）との係わりにおいて設定される。なお、基板退出時の基板の移動速度は、所要時間（ｔ１２〜ｔ１３）と基板の寸法等から概算時間の算出をすることも可能である。
【００４８】
（９０度方向転換させる場合）
図８に示す９０度方向転換させる場合も、上記の手順に準じて実行することが可能である。なお、本９０度方向転換の場合は、退出路がガイド部１ａ、１ｄであり、推進力はガイド部１ｂ、１ｃの回転駆動により与える。直進の場合と同一のセンサー７を用いた場合、タイミング時間Ｔ１，Ｔ２の設定が変わる。
【００４９】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明の基板搬送方法は、ガイド部を被搬送対象の基板の角部へ当接してこの基板の動作を規制する。その後、前方向のガイド部を水平方向へ移動させて進路を開き、後方向のガイド部の水平方向角度を回転して基板へ駆動力を与える。これにより、基板の一時停止と、任意の水平方向への送り出しを可能とする。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板搬送ガイドを基板搬送ユニットへ適用した構成例を示した平面図である。
【図２】本発明の基板搬送方法の実施形態に適用される基板搬送ガイドユニットの構成例を示している。
【図３】ガイド部の構造例を示した平面図である。
【図４】図３に対応する基板搬送ユニットの装置内部の構成例を示した側面図である。
【図５】ガイドローラーと駆動装置の側面図であり上側位置に在る状態を示している。
【図６】ガイドローラーと駆動装置の側面図であり下側位置に在る状態を示している。
【図７】基板搬送ユニットを用いて基板を左方向から右方向へ進める場合の手順例を説明するための図である。
【図８】基板搬送ユニットを用いて基板を左方向から下方向へ進める場合の手順例を説明するための図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は動作パターン例を示し、基板搬送ガイドが取る動作手順例を説明するために用いる図である。
【図１０】基板搬送ユニットの動作手順例を示す第１のタイミングチャートである。
【図１１】基板搬送ユニットの動作手順例を示す第１のフローチャートである。
【図１２】基板搬送ユニットの動作手順例を示す第２のタイミングチャートである。
【図１３】基板搬送ユニットの動作手順例を示す第２のフローチャートである。
【符号の説明】
１ガイド部
２ガイドローラー
３ロータリーアクチュエーター
４スライド用シリンダー
５（基板搬送方法の）プレート
７基板検出用のセンサー
１１ヒトデ状の金具
１２（樹脂製の）ローラー
１３ダンパー
１４ガイド板
１５（ガイド用）ブッシュ
２０ガラス基板
２２ローラーリフト
２３ガイド昇降確認センサー
５０基板搬送ガイドユニット
１３１（ダンパー用）ブッシュ
１３２スリーブ
１３３バネ
１４１回転軸
Ｈ可動範囲（ガイド板１４に構成された長孔）
Ｔディレー時間[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate transfer method, for example, to a substrate transfer method applied to a substrate transfer apparatus in various processing steps of a glass substrate for a liquid crystal display or the like. The present invention is an invention which is technically related to "substrate transport guide and unit and substrate transport apparatus" of another invention by the same applicant at the same time. While the other invention which has been filed earlier is an invention relating to a mechanical configuration, the present invention is an invention of a method for controlling the device of the other invention.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a substrate transfer method generally relates to a substrate transfer method using a transfer device applied to a manufacturing line such as processing in a substrate manufacturing process.
[0003]
Patent Documents 1 and 2 below are examples of prior inventions similar to the present invention in the technical field.
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-151571 "Substrate transfer system and substrate transfer method using the same"
[0005]
[Patent Document 2]
JP-A-10-006166 "Transportation device"
[0006]
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-151571, which is similar to the present invention and is similar to the prior application example 1 in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-151571, discloses a substrate transport system capable of transporting a substrate without damaging the substrate even if the size of the substrate is increased. An object of the present invention is to provide a method of transporting a substrate using the method. As a means for solving the problem, the substrate is lifted by blowing air from the lower surface onto the substrate by a substrate floating plate, and the substrate is transported by sandwiching the edge of the substrate by a transport roller provided along a transport path of the substrate. .
[0007]
The “transporting device” of Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-006166 as the prior application example 2 is to provide a transporting device capable of changing the direction of a directional work and shortening the transporting time. And As a procedure for solving this problem, the transport device is configured to have a mechanism for rotating, moving vertically, and moving horizontally with respect to the machine frame to hold and transport the glass substrate. For this transfer, a transfer arm and a work support table rotatable with respect to the machine frame are provided. The transfer arm and the work support are driven to rotate independently. In addition, a centering device is provided on the work support table with a plurality of guide members, and the centering is automatically performed when the glass substrate is placed on the centering device. Then, after removing the glass substrate from the first cassette and temporarily storing the glass substrate in the centering device, the transfer device is moved from the first position to the second position. During the movement, the transfer arm and the work support are separately rotated to change the direction of the glass substrate. Then, the glass substrate is stored in the next process device.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, a substrate to be transferred, for example, a glass substrate, tends to have a large work size and a low thickness. In particular, recently, with the conventional mechanical transfer method, new problems such as the efficiency of transfer and the possibility of damaging the transferred substrate are becoming apparent.
[0009]
In the above-mentioned prior application example 1, the floating system is adopted, but the configuration of the substrate transport unit is an extension of the conventional belt conveyor system. Therefore, the basic procedure of the substrate transfer procedure is different from that of the present invention in which the direction is changed on a crossroad.
[0010]
The prior application example 2 does not avoid the problems such as the efficiency of the transfer and the possibility of easily damaging the transferred substrate as described in the prior art. Further, there are problems that the configuration is complicated and that it is difficult to exhibit the function in a floating state as in the present invention.
[0011]
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate transfer method capable of efficiently stopping, driving, and changing the direction of a transferred object, and improving the flexibility of a transfer operation and the work efficiency.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a substrate transfer method according to the present invention includes a substrate operation regulating step of contacting a guide portion of a substrate of an object to be transferred with a corner of the substrate to regulate the operation of the substrate; And a guide rotation driving step for rotating and driving the horizontal angle of the guide portion, so that the substrate can be temporarily stopped and the substrate can be sent out in an arbitrary horizontal direction. .
[0013]
According to a second aspect of the present invention, there is provided the substrate transporting method according to the first aspect, wherein a sensor for detecting the position of the substrate is provided, and the operation of the guide unit is timed based on a detection signal of the sensor. Will be paused and sent out in any horizontal direction.
[0014]
According to a third aspect of the present invention, there is provided the substrate transfer method according to the first or second aspect, wherein the guide portion forms a concave portion by a projection having an angle of approximately 90 degrees, and the concave portion is transferred. It comes into contact with the corners of the target substrate, and the four guides provided in the four corner directions of the substrate make contact with the four corners of the substrate.
[0015]
In the substrate transfer method according to the fourth or fifth aspect of the present invention, the rotation of the guide portion at the horizontal angle in the guide rotation drive step is performed by the guide contacting two corners of the substrate in the direction opposite to the direction in which the sheet is sent out. Before the execution of the guide rotation driving step, the guide section on the front side in the direction in which the sheet is sent out is removed from the corner of the substrate, the path is opened, and the sheet is sent out.
[0016]
According to the substrate transfer method of the present invention, the substrate is floated in the air by jetting gas from below, and the front two guide portions facing the moving direction with respect to the movement of the substrate in the floating state. The substrate is moved rearward and the rear two guide portions are rotationally driven to apply a reaction force to the substrate, thereby enabling the substrate to move in the moving direction.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Next, an embodiment of a substrate transfer method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 to FIG. 13 show an embodiment of the substrate transfer method of the present invention.
[0018]
In these figures, FIG. 1 shows a plan view of a substrate transport guide unit 50 applied to an embodiment of the substrate transport method according to the present invention. FIG. 2 shows the entirety of a substrate transport guide which is a component of the substrate transport guide unit 50, FIG. 3 shows an example of the structure of the guide portion, and FIG. 4 shows the inside of the substrate transport guide unit that drives the substrate transport guide. 2 shows a configuration example. 5 and 6 show an example of a side configuration of the guide roller 2 and a driving device for driving the guide roller 2 to move to an upper operating state or a lower rest state.
[0019]
FIGS. 7, 8, and 9 are diagrams for explaining an operation example of the substrate transport guide unit 50. FIGS. 7A to 7C illustrate a case where the substrate is advanced from the left to the right. It is a figure for explaining an example of a procedure. FIGS. 8A to 8C are diagrams for explaining an example of a procedure in a case where the substrate is advanced downward from the left (90-degree direction change). FIGS. 9A to 9D are diagrams used to explain an example of an operation procedure taken by a substrate transport guide when a substrate is advanced. FIG. 10 is a timing chart of an operation example. FIG. 11 is a flowchart showing an example of the operation procedure.
[0020]
Examples of functions that the substrate transfer method of the present invention can exhibit are: 1) a stopper function of the substrate, 2) a function of applying a thrust to the substrate, 3) a function of changing the direction of the substrate, 4) a function of guiding the substrate, Etc. As specific examples using these functions, it becomes possible to 11) change the moving direction of the substrate by 90 degrees and 12) slide the position of the substrate. In addition, it is possible to apply thrust to the substrate, change the direction of the substrate, stop the substrate while holding the substrate, retreat the substrate and temporarily avoid it from other opposing substrates, and the like. Embodiments of the substrate transfer method capable of exhibiting these functions will be described in detail below.
[0021]
FIG. 1 is a plan view from above showing an example of a configuration in which four guide portions 1a, 1b, 1c, and 1d are applied to a substrate transport guide unit. In FIG. 1, four guide portions 1a, 1b, 1c, and 1d are provided at four corners of the substrate transport guide unit, and represent a glass substrate 20 as a transported object. Each of the four guide portions 1a, 1b, 1c, and 1d holds the four corners of the glass substrate 20 as an object to be conveyed by a concave portion between two rollers formed adjacent to each other.
[0022]
The function of regulating the operation of the transported body 20 is similar to that of the four guide portions 1a, 1b, 1c, and 1d, as well as the guide roller 2 on the side. In FIG. 1, two guide rollers 2 are provided in each of the intermediate portions of the four sides of the transported body 20, and a total of eight guide rollers 2 regulate the operating range of one substrate.
[0023]
The substrate 20 to be transported is accommodated in a quadrangular area formed by the four guide portions 1a, 1b, 1c, and 1d. In this accommodation operation, a sensor 7 for detecting the presence or absence of the substrate and timing for carrying in / out is provided at a position below the substrate. The substrate detection sensor 7 is an optical sensor that irradiates light to the substrate to be detected, detects the presence or absence of reflected light of the irradiated light, and determines whether or not the substrate 20 to be detected exists. To detect.
[0024]
As the above detector, for example, a distance-limited type reflected light detection sensor in which a reflection distance range serving as a detection range is limited is used. In addition, in order to take the timing of operation with the related parts in accordance with the moving speed of the substrate 20, it is installed at a front position that can have a time margin in the moving direction. In the present embodiment, as described above, the timing of the operation of the guide unit is set by using the reflected light type substrate detection sensor 7. For example, in FIG. 1, the installation position distance L of the substrate detection sensor 7 with respect to one substrate side surface at the time of grasping and fixing can be mechanically adjusted. It is used for setting the timing of the operation for driving the guide portions 1a and 1b.
[0025]
The guide section 1 shown in FIGS. 2, 3 and 4 and the guide pins 2 shown in FIGS. 5 and 6 are applied to the board transfer procedure in the board transfer guide unit having the above configuration.
[0026]
FIG. 1 shows a unit diagram configured as one unit for transporting a substrate corresponding to one substrate. FIG. 2 is a plan view showing a configuration example of the substrate transport guide applied to the substrate transport guide unit 50 and directly operating the transported object. FIG. 3 is a plan view showing an example of the structure of the guide portion 1 which is a portion that comes into contact with a transferred object handled by the substrate transfer guide and the substrate transfer guide unit 50. FIG. 2 conceptually shows the operation of the guide unit 1, and FIG. 3 shows a more detailed configuration example of the guide, which is one component. Although not shown, the unit is provided with a number of air outlets on the board surface, and the air to be transferred from the air outlets allows the substrate to be transported to float in the air. Note that the black dots in FIGS. 7 and 8 represent air outlets.
[0027]
The guide portion 1 whose detailed configuration example is shown in FIGS. 2 and 3 is subdivided and includes a cross-shaped or starfish-shaped bracket 11, three rollers 12, a damper 13, and a guide plate 14. The damper 13 is a part that absorbs an impact force applied to the transported body, and further includes a bush 131, a sleeve 132, and a spring 133. In this damper 13, at the moment of collision absorption, a starfish-shaped metal fitting comes into contact with the damper bush 131, and absorbs the impact force by the reaction force of the spring 133.
[0028]
The cross-shaped or star-shaped metal fitting 11 has resin rollers 12a, 12b, and 12c attached to three tip portions of the star-shaped metal fitting 11 in a rotatable state, respectively. A cylindrical bush 15 is attached below the center axis of the star-shaped metal fitting 11. The bush 15 can be moved back and forth by using a long hole formed in the guide plate 14 for guide as a movable range. In FIG. 2, a forward / backward movement range using the long hole as a guide is indicated by reference numeral H. In the present embodiment, the guide plate 14 is provided with a long hole as the movable range. However, a long hole is provided directly on the surface of the plate 5 of the substrate transport guide unit 50 described later, and the long hole is used as the movable range. Is also good.
[0029]
FIGS. 4, 5 and 6 are side views for explaining an example of the internal configuration of the substrate transport guide unit, and conceptually show the internal configuration of the apparatus. FIG. 4 is a mechanism explanatory view showing a configuration example of the substrate transport guide, and FIG. 5 is a mechanism explanatory view for explaining the operation of the guide roller 2.
[0030]
In FIG. 4, a rotary actuator 3 and a slide cylinder 4 are provided as a drive unit of the guide unit 1. Further, the center part of the star-shaped fitting 11 is connected to the rotation shaft 141 of the rotary actuator 3 for rotating the guide part 1 via the bush 15 described above. The rotation shaft 141 is a rotation shaft of the rotary actuator 3. Thus, the rotary actuator 3 is a rotation driving unit that drives the guide unit 1 to rotate in a swinging manner. Further, the rotary actuator 3 is connected to the slide cylinder 4. With this configuration, the slide cylinder 4 moves the rotary actuator 3 to move the guide unit 1 back and forth along the elongated hole formed in the guide plate 14. This forward / backward movement is defined as a sliding movement within the movement range H shown in FIG.
[0031]
5 and 6 are side views of the guide roller 2 and a driving device that drives the guide roller 2 to move upward or downward. FIG. 5 shows a state in which the guide roller 2 is at the upper position in the movable state, and FIG. 6 shows a state in which the guide roller 2 is at the lower position in the rest state. In these figures, the mutual arrangement state of the guide roller 2, the roller lift 22, and the guide up / down confirmation sensor 23 is shown. These are a left side view (FIG. 5) and a right side view (FIG. 6) of the guide roller 2 attached to the plate 5 of the substrate transport guide unit 50.
[0032]
FIG. 5 shows a state where the guide roller 2 is at the upper position, and FIG. 6 shows a state where the guide roller 2 is at the lower position. 5 and 6, the vertical position of the guide roller 2 can be changed by moving the shaft of the roller lift 22 up and down. In the state shown in FIG. 1, a total of eight guide rollers 2 are provided on each of the four sides of the substrate transport guide unit 50 in the upper, lower, left, and right directions in the state shown in FIG. 1.
[0033]
FIGS. 7A, 7B, and 7C show an example of an operation procedure of the substrate transport guide unit 50 when the transported glass substrate input from the left is advanced rightward. FIG. 8 (a), 8 (b) and 8 (c) show the substrate transport guide unit 50 when the glass substrate to be transported input from the left is turned 90 degrees downward. It is the top view which showed the operation procedure example.
[0034]
FIGS. 7 and 8 are conceptual diagrams for explaining an example of a procedure for loading the glass substrate 20 into the substrate transport guide unit 50. FIGS. FIG. 7C and FIG. 8C show a state in which the glass substrate 20 taken in by the substrate transport guide unit 50 is being carried out, respectively. In these figures, straight arrows indicate the direction of movement of the guide 1, and arc-shaped arrows indicate the direction of rotation of the guide 1.
[0035]
The above state will be described in more detail. In FIG. 8, when the glass substrate 20 is loaded, two of the four guide portions 1a, 1b, 1c, and 1d of the substrate transport guide unit 50 in the glass substrate loading direction are set. The individual guide portions 1a and 1b are moved to the outside of the plate 5 so as not to hinder the loading of the substrate. Further, of the guide rollers 2 provided on the four sides corresponding to the glass substrate 20 of the substrate transfer guide unit 50, two guide rollers 2a and 2b on one side in the loading direction are transferred to the substrate in the same manner. Lower to plate 5 or lower of the device.
[0036]
7 and 8, the operation of the four guide portions 1a, 1b, 1c, and 1d of the substrate transfer guide unit 50 and the eight guide rollers 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, and 2f. , 2g and 2h directly control the movable range of the glass substrate.
[0037]
7 and 8, the arrows shown in the glass substrate 20 indicate the traveling direction of the substrate. Straight arrows shown along the guide portions 1a, 1b, 1c, and 1d indicate the directions of movement in the elongated hole ranges H formed on the respective guide plates 14 for guiding. The curved arrows shown along the guides 1a, 1b, 1c, and 1d indicate the direction in which the rotary actuator 3 swings the guide.
[0038]
FIGS. 9A, 9B, 9C, and 9D illustrate operation patterns of the guide unit 1 associated with the substrate transport operation. The four mounted guide portions 1 are classified into these four types of patterns with reference to each corner of the unit 50.
[0039]
9 (a) and 9 (b), a roller located at the corner side where the elongated hole formed in the guide plate 14 for guiding is set to the movable range H and located at the center of the three distal end portions of the starfish-shaped fitting 11. FIG. 9A shows a case where 12b is parallel to the vertical side surface / FIG. 9A, and FIG. 9B shows a case where 12b is parallel to the horizontal side surface. Similarly, in FIGS. 9 (c) and 9 (d), three starfish-shaped fittings 11 are located at the central end where the elongated hole formed in the guide plate 14 for guiding is the movable range H. 9 (c) and FIG. 9 (d) when the roller 12b at the center of the tip is parallel to the vertical side surface / FIG. 9 (c) and when it is parallel to the horizontal side surface.
[0040]
Based on an operation example in which the glass substrate 20 to be transported, which is input from the left direction shown in FIG. 7, is moved rightward, operation timings of each unit and an example of a processing procedure will be described below. FIG. 10 shows the mutual relation between (1) the opening / closing operation of the guide portion on the board entry side, (2) ON / OFF of the board entry operation, and (3) ON / OFF operation of the sensor 7. FIG. 4 is a timing chart showing the characteristics. FIG. 11 is a flowchart illustrating an example of a procedure of a substrate loading operation. FIG. 12 shows (11) opening / closing operation of the guide unit on the substrate unloading side, (12) rotation driving of the sending-out guide unit, (13) ON of the substrate retreat operation, and (14) ON of the sensor 7. FIG. 9 is a timing chart showing a mutual relationship between the / OFF operation and the / OFF operation. FIG. 13 is a flowchart illustrating an example of the procedure of the substrate unloading operation.
[0041]
(Example of board loading operation)
In FIGS. 7A, 9, 10, and 11, the guide portions 1a and 1b are set to the state shown in FIG. 9A, and the guide rollers 2a and 2b are set to the stored state at the lower position (step S1). By this processing, the timing in FIG. 10 advances from t0 to t1, and (1) the approach path between the guide portions 1a and 1b is opened.
[0042]
At a time t2 after the lapse of a predetermined delay time from the time (1) at which the guide portions 1a and 1b are opened, the substrate entry operation is started (step S2). When the substrate 20 enters the substrate transport guide unit 50 from the above-described approach path and carries the substrate 20 to a predetermined position, the sensor 7 detects the substrate (step S3 / timing t3).
[0043]
After the sensor 7 senses the substrate, the timer starts counting (step S4), and after a predetermined time T1 has elapsed (step S5 / timing t4), the guides 1a and 1b are driven to close (step S6 / FIG. 7 (b)). )). The guide portions 1a and 1b are driven to the state shown in FIG. 9C (timing t5) to be in the state shown in FIG. 9B, and the concave portions of the guide portions 1a, 1b, 1c and 1d are moved to the state to be transported. The substrate operation restricting step of restricting the operation of the substrate 20 by contacting the corner of the substrate 20 is completed (step S7 / timing t5).
[0044]
(Example of board unloading operation)
7C, 9, 12, and 13, the guide portions 1c and 1d are set to the state shown in FIG. 9A, and the guide rollers 2e and 2f are set to the stored state at the lower position (steps S11 and S12). ). By this processing, the timing in FIG. 12 advances from t10 to t11, and (11) the exit paths of the guide portions 1c and 1d are opened.
[0045]
After setting the exit paths of the guide sections 1c and 1d to the open state (step S12 / t12), the guide sections 1a and 1b on the substrate exit drive side are shown in FIG. 7C, respectively. It is rotationally driven in the direction (step S2). A propulsive force is applied to the substrate by the rotational drive of the guide portions 1a and 1b on the main delivery side, and (13) the substrate retreat operation is started (step S13 / t12). When the substrate 20 moves to a predetermined position before completing the retreat out of the substrate transport guide unit 50, the substrate passes over the sensor 7, and at this time, the sensor 7 detects the retreat of the substrate (step S14 / timing t13). ).
[0046]
After the detection signal of the sensor 7 is turned off and the absence of the substrate is sensed, the timer starts counting (step S15), and after a lapse of a predetermined time T2 (step S16 / timing t15), the guide units 1c and 1d are driven to close. (Step S17).
[0047]
In the above-mentioned substrate unloading operation, between (14) detection of the OFF signal of the sensor (t13), (13) completion of the substrate retreat operation (t14), and (11) start of the closing operation of the guide unit (t15). Is set in advance with a sufficient time. These are set in relation to (13) the time required for the substrate leaving operation (t14-t12). In addition, the movement speed of the substrate at the time of leaving the substrate can be calculated as an approximate time from the required time (t12 to t13) and the dimensions of the substrate.
[0048]
(When turning 90 degrees)
The direction change by 90 degrees shown in FIG. 8 can also be executed according to the above procedure. In the case of this 90-degree turning, the exit roads are the guide portions 1a and 1d, and the propulsion is given by the rotation of the guide portions 1b and 1c. When the same sensor 7 is used as in the case of going straight, the setting of the timing times T1 and T2 changes.
[0049]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, the substrate transfer method of the present invention restricts the operation of the substrate by bringing the guide portion into contact with the corner of the substrate to be transferred. Thereafter, the front guide is moved in the horizontal direction to open the course, and the rear guide is rotated at a horizontal angle to apply a driving force to the substrate. This enables the substrate to be temporarily stopped and sent out in any horizontal direction.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a configuration example in which a substrate transport guide is applied to a substrate transport unit.
FIG. 2 shows a configuration example of a substrate transport guide unit applied to the embodiment of the substrate transport method of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing a structural example of a guide unit.
FIG. 4 is a side view showing a configuration example inside the apparatus of the substrate transport unit corresponding to FIG. 3;
FIG. 5 is a side view of the guide roller and the driving device, showing a state where the guide roller and the driving device are at an upper position.
FIG. 6 is a side view of the guide roller and the driving device, showing a state at a lower position.
FIG. 7 is a diagram for explaining an example of a procedure when a substrate is advanced from left to right using a substrate transport unit.
FIG. 8 is a diagram for explaining an example of a procedure when a substrate is advanced from the left to the lower direction using the substrate transport unit.
FIGS. 9A to 9D are diagrams illustrating an example of an operation pattern, which is used to explain an example of an operation procedure taken by a substrate transport guide.
FIG. 10 is a first timing chart showing an operation procedure example of the substrate transport unit.
FIG. 11 is a first flowchart illustrating an example of an operation procedure of the substrate transport unit.
FIG. 12 is a second timing chart illustrating an operation procedure example of the substrate transport unit.
FIG. 13 is a second flowchart illustrating an exemplary operation procedure of the substrate transport unit.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Guide part 2 Guide roller 3 Rotary actuator 4 Slide cylinder 5 Plate (of board transfer method) 7 Plate detection sensor 11 Starfish-like metal fittings 12 (Resin) roller 13 Damper 14 Guide plate 15 Bush (for guide) Reference Signs List 20 glass substrate 22 roller lift 23 guide up / down confirmation sensor 50 substrate transport guide unit 131 (for damper) bush 132 sleeve 133 spring 141 rotation axis H movable range (long hole formed in guide plate 14)
T delay time

Claims

A substrate operation regulating step of regulating the operation of the substrate by abutting a guide portion for regulating the operation of the substrate, which is a conveyed body, to a corner of the substrate,
A guide position moving process for moving the guide portion in the horizontal direction,
Having a guide rotation driving step of driving the horizontal angle of the guide portion,
A method of transporting a substrate, wherein the substrate can be temporarily stopped and sent out in an arbitrary horizontal direction.

A sensor for detecting the position of the substrate is provided, and the timing of the operation of the guide unit is set based on a detection signal of the sensor, and the substrate is temporarily stopped and sent out in an arbitrary horizontal direction. The substrate transfer method according to claim 1.

The guide portion forms a concave portion by a projection having an angle of about 90 degrees, the concave portion abuts on the corner of the substrate to be transferred, and the substrate is formed by four guide portions provided in four corner directions of the substrate. The substrate transfer method according to claim 1, wherein the contact is performed on four corners of the substrate.

The rotation drive of the guide part in the horizontal direction angle in the guide rotation drive step is the rotation drive of the guide part abutting on two corners of the substrate in the direction opposite to the direction in which the feeding is performed. The substrate transfer method according to any one of claims 1 to 3.

The method according to claim 4, wherein, prior to the execution of the guide rotation driving step, the guide portion on the front side in the direction in which the feeding is performed is removed from a corner of the substrate and a path is opened, and the feeding is performed. Substrate transfer method.

The substrate is floated into the air by jetting gas from below, and the two guide portions on the front side, which are opposed to the moving direction with respect to the movement of the substrate in the floating state, are moved backward, and the rear side is moved. The substrate transfer method according to claim 5, wherein a reaction force is applied to the substrate by rotating the two guides, and the substrate can be moved in the moving direction.