JP2004309204A - Chip used for high-frequency induction heating and apparatus using the same - Google Patents

Chip used for high-frequency induction heating and apparatus using the same Download PDF

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JP2004309204A
JP2004309204A JP2003100035A JP2003100035A JP2004309204A JP 2004309204 A JP2004309204 A JP 2004309204A JP 2003100035 A JP2003100035 A JP 2003100035A JP 2003100035 A JP2003100035 A JP 2003100035A JP 2004309204 A JP2004309204 A JP 2004309204A
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Japan
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local heating
heating member
resistance region
electric resistance
resin
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Kenji Kitaoka
賢治 北岡
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Cluster Technology Co Ltd
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Cluster Technology Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chip capable of local heating, which is used for chemical reactions and analyses requiring heating. <P>SOLUTION: The chip is made up of a local heating member obtained by a method, in which a surface or an inner section of a transparent and electrically insulating resin is irradiated with pulse laser light; and carbon is partially precipitated in order to form an electrical resistance region. The local heating member has one or more recessed sections for disposing samples therein or channels for liquid samples at positions contiguous or close to the electrical resistance region. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加熱を伴う化学反応および分析に用いられる局所加熱用部材に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、加熱を伴う化学反応または分析には、例えば、反応させるべき物質、分析すべき溶液などの試料をビーカーや試験管などの反応用のガラスまたはプラスチック容器に入れ、これらの容器をホットプレート、電気炉などに入れて加熱反応を行っていた。反応後、必要に応じて、試料を分取し、改めて分析器にかけるという操作も必要であった。このような方法では、スループットが低いという問題がある。また、反応のために大量の試料が必要であり、廃棄物も多くなる。
【0003】
近年は、微細加工技術の進歩により、微量試料を分析できるDNAチップあるいはμTASチップなどが開発されている。しかし、特定の部位のみの加熱は困難であり、チップ全体を加熱せざるを得ない。そのため、個々の部位で異なる加熱条件を設定することは不可能である。
【0004】
局所加熱の目的で、2cm角のフッ素樹脂製の基板上に直径約0.5mmの小さな窪みを100個設け、その窪みの内側に銅メッキを施して釜状構造物とし、その各釜を電熱器で加熱する、極少試料の反応用チップが開発されている(非特許文献1)。しかし、加熱用の金属表面を基板表面に形成しなければならないため、複雑な形状のパターニングは難しい。例えば、プラスチック内部に設けられた管の内表面にこのような金属表面を形成することは、非常に困難である。
【0005】
【非特許文献1】
日本経済新聞、2003年1月10日朝刊、第17面
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、局所加熱部材、例えば、局所加熱が可能なチップなどを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、パルスレーザー光の照射によって樹脂の表面または内部に炭素が析出する現象を見出したことによって完成されたものである。
【0008】
本発明は、透明かつ電気絶縁性の樹脂の表面または内部に電気抵抗領域を有する、局所加熱部材を提供する。
【0009】
好適な実施態様では、上記電気抵抗領域に接する位置または近傍に、試料を配置するための1または複数の窪みを有する。
【0010】
他の好適な実施態様では、上記電気抵抗領域に接する位置または近傍に、1または複数の液状試料の流路を有する。
【0011】
さらに好適な実施態様では、上記電気抵抗領域は、炭素偏析領域である。
【0012】
本発明はまた、透明かつ電気絶縁性の樹脂の表面または内部にパルスレーザー光を照射して、炭素を部分的に析出させる工程を含む、局所加熱部材の製造方法を提供する。
【0013】
本発明はさらに、局所加熱部材を配置するためのステージ;該局所加熱部材に高周波を印荷し得る位置に配置された高周波発生器;該局所加熱部材および該高周波発生器を覆う電磁波シールド;ならびに該高周波発生器の制御装置を備える、局所加熱装置を提供する。
【0014】
本発明はまた、局所加熱部材を、高周波印荷によって加熱する工程を含む、試料加熱方法を提供し、該局所加熱部材は、透明かつ電気絶縁性の樹脂の表面または内部に電気抵抗領域を有し、そして該電気抵抗領域に接する位置または近傍に、試料を配置するための1または複数の窪みおよび/または1または複数の液状の試料の流路を有する。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明の局所加熱部材は、所望の形状に成形された透明かつ電気絶縁性の樹脂の表面または内部に、電気抵抗領域を有する。この電気抵抗領域は、主として、この樹脂の光誘起物質変化によって部分的に析出した炭素からなる領域をいい、炭素単体だけではなく、炭素と電気抵抗性の化合物や金属とが共析出した領域も含む。例えば、樹脂中に含まれる(微量)金属も、レーザー光照射によって炭素とともに析出し得、電気抵抗領域を形成し得る。詳細には、本発明の局所加熱部材は、射出成形、エンボス加工などによって所望の形状に成形された透明かつ電気絶縁性の樹脂成形体の表面または内部に、炭素析出を起こすエネルギー量を有するレーザー光を集光し、樹脂の表面または内部で集光点を相対移動させ、所望の位置に析出した炭素を含む電気抵抗領域を形成することにより製造される。本発明の局所加熱部材は、具体的には、例えば、図1および2に示すように、試料を搭載するための窪み2および/または試料の流路3において加熱しようとする所望の部位に接する位置または近傍に、炭素偏析領域からなる電気抵抗部位4が形成されている。ここで、炭素偏析領域とは、部分的に炭素が析出した領域をいう。
【0016】
本発明において、樹脂とは、透明かつ電気絶縁性の樹脂をいう。ここで、透明とは、レーザー光に対して透過性を有することをいい、可視光域(400nm程度)以上から中赤外線域(5μm程度)未満までの波長域で透明であることを指す。
【0017】
樹脂としては、その構成元素のうち、炭素、水素、および酸素の合計質量に基づいて算出した炭素含有量が60%を超える、好ましくは70%を超える樹脂が用いられ、光重合架橋性樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂が好ましく用いられる。このような樹脂としては、例えば、フェノール樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ポリカルボジイミド、フラン樹脂、フルフラール樹脂、ポリフェニレンサルファイド、ブタジエンスチレン樹脂、ジアリルテレフタレート樹脂、アクリロニトリルスチレン共重合体、メラミン樹脂、ポリアミド、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、不飽和ポリエステル樹脂、ポリエチレングリコールビスアリルカーボネート、ベンゾグアナミン樹脂、ポリメチルペンテンなどが挙げられる。これらは、単独でまたは組み合わせて用いられる。炭素含量が多い点で、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、およびポリイミドがより好ましい。樹脂は、離型剤、色素などを含む組成物であってもよい。
【0018】
このような樹脂または樹脂組成物は、例えば図3または4に示すような所望の形状に成形される。成形体の形状および大きさは、その用途に応じて適宜設計される。好ましくは、チップと称される程度の小片からなる基板1であり、この基板1は、表面に試料を搭載するための窪み2を有するか、および/または内部に試料の流路3を有する。試料を搭載するための窪み2および試料の流路3は、1つであっても複数であってもよく、両方が存在してもよい。また、それらの大きさも適宜設計され得る。成形方法としては、射出成形、プレス成形、キャスティング成形、遠心成形、エンボス加工などが用いられる。
【0019】
本発明の局所加熱部材の電気抵抗領域4は、レーザー光5を、例えばレンズ6によって集光することによって形成される(図5を参照のこと)。
【0020】
レーザー光としては、樹脂の種類によっても異なるが、炭素析出変化を起こすためには、集光点におけるピークパワー強度が1×1014W/cm以上であることが好ましい。ピークパワー強度は、1パルス当たりの出力エネルギー(J)/パルス幅(秒)の比で表されるピーク出力(W)を照射単位面積当りで表した値である。ピークパワー強度が1×1013W/cmに満たないと有効な炭素析出変化が起こらない。ピークパワー強度が高いほど炭素析出変化が促進され、所望の電気抵抗領域が容易に形成される。ピークパワーを高くすることで、レーザー光の集光点のみならず、その近傍においても炭素析出の閾値を超えるので、炭素偏析領域を大きくするなどの制御が可能となる。しかし、アブレーションが発生して、樹脂表面にダメージも発生しやすくなるため、樹脂内部に電気抵抗領域を形成する場合は、集光点を表面付近に近づけ過ぎないようにするなどの配慮が必要である。
【0021】
通常のパルスレーザー光は、パルス幅が広いため、レーザー照射によるエネルギーがレーザー集光点の周辺に熱拡散し、その結果、集光点の周辺部にクラックなどが発生するおそれがある。パルス幅を狭くすると、レーザー照射によるエネルギーが効率よく伝達され、熱拡散を防止できる。このような熱拡散が発生しないパルス幅は、樹脂の種類によっても異なるが、数百フェムト秒以下であることが好ましい。
【0022】
また、レーザー光の繰り返し周波数については、ピークパワー強度に及ぼす影響は少ないため、特に限定されない。通常は、約1KHz〜約200kHzである。
【0023】
レーザー光の波長は、樹脂の種類によって異なるが、400nm〜1500nmが好ましく用いられる。特に、フェムト秒レーザーでは、Tiサファイアレーザーを用いる場合が多く、その中心波長は800nmであるため、800nmが好適である。
【0024】
レーザー光5は、例えば図5に示すようにレンズ6などの集光装置により集光される。このとき、集光点を、樹脂の表面または内部に位置するように調節する。この集光点を樹脂の表面または内部で相対移動させることにより、加熱部として働く連続した電気抵抗領域4が樹脂の表面または内部に形成される。具体的には、レーザー光5の集光点に対し、樹脂を連続的に移動させ、あるいは樹脂の表面または内部でレーザー光の集光点を連続的に移動させることにより、集光点を相対移動させる。相対移動させる速度は、レーザー光や樹脂によっても異なるが、連続した電気抵抗領域を形成できる速度になるように調整する。このように相対移動させることによって、例えば、図6に示すような平らな同心円状の電気抵抗領域4や、図7に示すようなコイル状の電気抵抗領域4を形成し得る。
【0025】
パルスレーザー光の照射によって樹脂内部に炭素が析出するという現象の機構は明らかではないが、以下のように考えられる。レーザー光の集光によるエネルギーによって有機分子の炭素−酸素結合および炭素−水素結合が切断された際に、酸素イオンおよび水素イオンの移動度が炭素イオンのそれよりも大きいために、酸素イオンおよび水素イオンは樹脂中に拡散しやすいのに対し、炭素のみが拡散しにくいことから、炭素同士の新たな結合が形成される。結果として、レーザー集光部に炭素の析出を選択的に行わせることができるため、集光点を移動することにより炭素を連続的に析出させることができる。
【0026】
このようにして形成した連続的または部分的な電気抵抗領域は、高周波の印荷によって温度が上昇するため、加熱部とすることができる。ここで、高周波の印荷による加熱とは、磁場の変化により導電体に電流が流れ、その際、電気抵抗により加熱が行われる作用をいう。この加熱部は、同一の高周波を印荷した場合に、電気抵抗領域の面積または体積が大きいほど、発熱量が大きくなる。したがって、高周波の強度および印荷時間を変化させるだけでなく、加熱部の面積または体積を適宜変化させることによっても、発熱温度を調節することができる。同一樹脂内に複数の加熱部が存在する場合、個々の加熱部の面積または体積を変えることによって、各加熱部での発熱温度を変えることもできる。
【0027】
このようにして製造された本発明の局所加熱部材は、任意の位置に任意の形状で加熱部を配置した樹脂成形体である。したがって、部材の表面だけでなく、部材の内部にも容易に加熱部を配置できる。例えば、図8に示すように、部材の内部を貫通した筒状の流路3に沿って、例えば、流路3のまわりにコイル状にレーザー集光部を移動させて電気抵抗領域4を形成し、流路3に対する局所的な加熱部を形成することもできる。すなわち、本発明により、複雑な形状の樹脂の任意の位置に任意の大きさで加熱部を有する局所加熱部材が容易に得られる。
【0028】
上記局所加熱部材は、上述のように、高周波を印荷することによって、その表面または内部に形成された電気抵抗領域が加熱されて発熱し、局所加熱部材に搭載または投入された試料が加熱される。局所加熱部材に搭載または投入される試料は、特に限定されず、液体および固体のいずれであってもよい。
【0029】
このような局所加熱部材を加熱するための局所加熱装置を、図9を例に挙げて説明する。本発明の局所加熱装置は、局所加熱部材10を配置するためのステージ20;該局所加熱部材に高周波を印荷し得る位置に配置された高周波発生器30;該局所加熱部材および該高周波発生器を覆う電磁波シールド40;ならびに該高周波発生器の制御装置50を備える。この局所加熱装置は、どのような形状、構造、および大きさであってもよい。
【0030】
局所加熱部材10を配置するためのステージ20は、局所加熱部材10を配置すべき位置が認識できるものであればよく、その構造はどのようなものであってもよい。その上面のどの位置に配置してもよいのであれば、単なる平板であってもよく、あるいは局所加熱部材10を固定できるような構造であってもよい。また、局所加熱部材10のみを配置するだけではなく、局所加熱部材10と接続された他の部材も一緒に配置し得る構造であってもよい。このステージ20には、高周波によって発熱しない材質が用いられる。
【0031】
高周波発生器30から印荷される高周波は、その制御装置50によって、強度および時間が制御され、それにより、局所加熱部材10の加熱部の発熱温度を制御することができる。
【0032】
【実施例】
以下、実施例を挙げて図面に基づき本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例および図面に限定されるものではない。
【0033】
(実施例1)
射出成形によって表面に直径200μmおよび深さ100μmの窪み2を4個有するエポキシ樹脂基板1(10mm×10mm×3mm)を作製した(図3)。次に、基板1の上部より、フェムト秒レーザー5を、窪み2の底面からさらに20μmの深さの位置に集光照射し、電気抵抗領域4を形成した(図5)。レーザー5としては、アルゴンレーザー励起のTi:Alレーザーから発振されたパルス幅130フェムト秒、繰り返し周波数1kHz、波長800nm、および平均出力200mWのレーザーを使用した。パルスレーザー光をレンズ6(顕微鏡の対物レンズ、NA0.46)で集光し、ピークパワー強度(フルエンス)を1×1014W/cmとした。スキャン速度を20μm/秒とし、連続的に相対移動させた。各窪みについて、スキャンを繰り返し、図6のA〜Dに黒く示すように異なる面積の電気抵抗領域4をそれぞれ形成した。面積は、B、C、およびDは、それぞれAの2倍、3倍、および4倍であった。なお、各電気抵抗領域4の厚さは同一とした(図1を参照のこと)。
【0034】
各窪み2の底面に、融点が70℃の固形ワックス8を入れ、高周波加熱装置で高周波を10分間印荷した後、取り出して形状の変化を光学顕微鏡で観察した。結果を図10に模式図として示す。AおよびBでは、ワックス8は融解していなかった。Cでは軟化して変形していた。Dでは、ワックス8は完全に融解して底面に広がっていた。このことから、一様な高周波の印荷においても、炭素偏析領域の面積を変化させることによって、加熱温度を制御し得ることがわかった。
【0035】
(実施例2)
フェノール樹脂成形体(製品名:ユニベックス、ユニチカ(株)製、炭素含有量70.6%)から、20mm×20mm×10mmの基板をダイヤモンドカッターで切り出し、表面を研磨仕上げした。この基板1に、直径500μmの貫通穴3をドリル加工によって3本形成した(図4)。次に、1本の貫通穴3の側面に沿って、フェムト秒レーザー5の集光スポットをスキャンすることによって、直径約100μmのコイル状の電気抵抗領域4を形成した(図7)。レーザー照射は、上記実施例1と同様のレーザーを用い、フルエンスを1.33×1015W/cmとし、スキャン速度を60μm/秒とした。さらに、他の2本の貫通穴3についても、スキャン速度を遅くして同様にレーザー照射を行って、それぞれ直径約250μmおよび300μmのコイル状の電気抵抗領域4を側面に形成した。
【0036】
図8に示すように、貫通穴3の一方から水を流しながら高周波加熱装置で高周波を印荷したところ、水流中に気泡7が認められた。このことから、水の沸点を超える加熱が可能であることが確認された。また、炭素の析出量が多いほど、水流中の気泡7が多く見られた。したがって、液体の流路3においても、炭素の析出量を変化させることによって、加熱温度を制御できることがわかった。
【0037】
【発明の効果】
以上のように、本発明の局所加熱部材は、微量試料を局所加熱することができ、そして同一部材内において、試料ごとに個別に異なる温度設定が可能である。また、試料を搭載するための窪みおよび試料の流路が複雑な形状であっても、局所加熱が可能である。本発明の局所加熱部材は、配線を施す必要がないため取り扱いが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の局所加熱部材の一実施態様の斜視図である。
【図2】本発明の局所加熱部材の他の一実施態様の斜視図である。
【図3】本発明の局所加熱部材を製造するための材料となる、試料を搭載するための窪みを有する基板の斜視図である。
【図4】本発明の局所加熱部材を製造するための材料となる、試料の流路を有する基板の斜視図である。
【図5】照射したフェムト秒レーザーをレンズで集光して炭素を析出させる工程を示す模式図である。
【図6】電気抵抗領域が直下に形成された窪みA〜Dの底面の各上面図である。
【図7】照射したフェムト秒レーザーをレンズで集光して炭素を析出させる工程を示す模式図である。
【図8】試料の流路に水を流しながら加熱した場合の試料の流路の模式図である。
【図9】本発明の局所加熱部材をセットした場合の、本発明の局所加熱装置の模式図である。
【図10】図6の窪みA〜Dにそれぞれワックスを配置して加熱した後の、ワックスの形状を示す模式図である。
【符号の説明】
1 基板
2 試料を搭載するための窪み
3 貫通穴
4 電気抵抗領域
5 フェムト秒レーザー
6 レンズ
7 気泡
8 ワックス
10 局所加熱部材
20 局所加熱部材を配置するためのステージ
30 高周波発生器
40 電磁波シールド
50 高周波発生器の制御装置
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a member for local heating used for chemical reaction and analysis involving heating.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, for a chemical reaction or analysis involving heating, for example, a substance to be reacted, a sample such as a solution to be analyzed are placed in a reaction glass or plastic container such as a beaker or a test tube, and these containers are placed on a hot plate. The heating reaction was carried out in an electric furnace or the like. After the reaction, if necessary, it was necessary to take a sample, and apply the sample to the analyzer again. In such a method, there is a problem that the throughput is low. In addition, a large amount of sample is required for the reaction, and waste is increased.
[0003]
In recent years, with the advance of microfabrication technology, a DNA chip or μTAS chip capable of analyzing a small amount of sample has been developed. However, it is difficult to heat only a specific portion, and the entire chip must be heated. Therefore, it is impossible to set different heating conditions for individual parts.
[0004]
For the purpose of local heating, 100 small cavities with a diameter of about 0.5 mm are provided on a 2 cm square fluororesin substrate, and copper plating is applied to the inside of the cavities to form kettle-like structures. A chip for reaction of a very small sample heated by a vessel has been developed (Non-Patent Document 1). However, since a metal surface for heating must be formed on the substrate surface, it is difficult to pattern a complicated shape. For example, it is very difficult to form such a metal surface on the inner surface of a tube provided inside a plastic.
[0005]
[Non-patent document 1]
Nihon Keizai Shimbun, January 10, 2003 morning edition, page 17 [0006]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a local heating member, for example, a chip capable of local heating.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been completed by finding a phenomenon that carbon is deposited on the surface or inside of a resin by irradiation with a pulsed laser beam.
[0008]
The present invention provides a local heating member having an electric resistance region on the surface or inside of a transparent and electrically insulating resin.
[0009]
In a preferred embodiment, one or more depressions for disposing a sample are provided at or near the electric resistance region.
[0010]
In another preferred embodiment, one or more liquid sample channels are provided at or near the electric resistance region.
[0011]
In a further preferred embodiment, the electric resistance region is a carbon segregation region.
[0012]
The present invention also provides a method for producing a local heating member, which includes a step of irradiating a pulse or laser beam onto the surface or inside of a transparent and electrically insulating resin to partially deposit carbon.
[0013]
The present invention further provides a stage for arranging the local heating member; a high-frequency generator arranged at a position where high frequency can be applied to the local heating member; an electromagnetic wave shield covering the local heating member and the high-frequency generator; A local heating device including a control device for the high-frequency generator is provided.
[0014]
The present invention also provides a sample heating method including a step of heating a local heating member by high-frequency imprinting, wherein the local heating member has an electric resistance region on or inside a transparent and electrically insulating resin. And at or near the electrical resistance region, one or more depressions for placing the sample and / or one or more liquid sample flow paths.
[0015]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The local heating member of the present invention has an electric resistance region on the surface or inside of a transparent and electrically insulating resin molded into a desired shape. The electric resistance region is a region mainly composed of carbon partially precipitated due to a change in the photo-induced substance of the resin. Not only carbon alone but also a region in which carbon and an electric resistance compound or metal are co-precipitated. Including. For example, a (trace) amount of metal contained in the resin can also be precipitated together with the carbon by laser beam irradiation, and form an electric resistance region. In detail, the local heating member of the present invention is a laser having an energy amount that causes carbon deposition on the surface or inside of a transparent and electrically insulating resin molded body formed into a desired shape by injection molding, embossing, or the like. It is manufactured by condensing light, relatively moving the converging point on the surface or inside of the resin, and forming an electric resistance region containing carbon deposited at a desired position. The local heating member of the present invention specifically contacts a desired portion to be heated in the recess 2 for mounting the sample and / or the channel 3 of the sample as shown in FIGS. 1 and 2, for example. An electric resistance portion 4 composed of a carbon segregation region is formed at or near the position. Here, the carbon segregation region refers to a region where carbon is partially deposited.
[0016]
In the present invention, the resin refers to a transparent and electrically insulating resin. Here, “transparent” refers to having transparency to laser light, and refers to being transparent in a wavelength range from a visible light range (about 400 nm) to a mid-infrared range (about 5 μm).
[0017]
As the resin, a resin having a carbon content of more than 60%, preferably more than 70%, calculated based on the total mass of carbon, hydrogen, and oxygen among the constituent elements, is used, and a photopolymerizable crosslinkable resin, Thermoplastic resins and thermosetting resins are preferably used. As such a resin, for example, phenol resin, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyimide, polystyrene, epoxy resin, polycarbodiimide, furan resin, furfural resin, polyphenylene sulfide, butadiene styrene resin, diallyl terephthalate resin, acrylonitrile styrene copolymer, Examples include melamine resin, polyamide, polyurethane, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, unsaturated polyester resin, polyethylene glycol bisallyl carbonate, benzoguanamine resin, and polymethylpentene. These are used alone or in combination. Phenolic resins, epoxy resins, and polyimides are more preferred because of their high carbon content. The resin may be a composition containing a release agent, a dye, and the like.
[0018]
Such a resin or resin composition is formed into a desired shape as shown in FIG. 3 or 4, for example. The shape and size of the molded body are appropriately designed according to the application. Preferably, the substrate 1 is composed of small pieces having a size called a chip. The substrate 1 has a depression 2 for mounting a sample on its surface and / or has a sample flow path 3 inside. The number of the recess 2 for mounting the sample and the number of the sample flow paths 3 may be one or more, or both may be present. In addition, their sizes can be appropriately designed. As a molding method, injection molding, press molding, casting molding, centrifugal molding, embossing, or the like is used.
[0019]
The electric resistance region 4 of the local heating member of the present invention is formed by condensing a laser beam 5 with, for example, a lens 6 (see FIG. 5).
[0020]
The laser beam varies depending on the type of the resin, but in order to cause carbon deposition change, the peak power intensity at the focal point is preferably 1 × 10 14 W / cm 2 or more. The peak power intensity is a value representing a peak output (W) expressed by a ratio of output energy (J) per pulse / pulse width (second) per irradiation unit area. If the peak power intensity is less than 1 × 10 13 W / cm 2 , no effective change in carbon deposition occurs. The higher the peak power intensity, the more the carbon precipitation change is promoted, and a desired electric resistance region is easily formed. By increasing the peak power, not only the focal point of the laser beam but also the vicinity thereof exceeds the threshold value of carbon deposition, so that control such as enlarging the carbon segregation region becomes possible. However, since ablation occurs and the resin surface is likely to be damaged, when forming an electric resistance region inside the resin, it is necessary to take care, such as to keep the focal point too close to the surface. is there.
[0021]
Normal pulse laser light has a wide pulse width, so that energy due to laser irradiation is thermally diffused around the laser focal point, and as a result, cracks and the like may occur around the focal point. When the pulse width is reduced, the energy due to the laser irradiation is transmitted efficiently, and heat diffusion can be prevented. The pulse width at which such thermal diffusion does not occur varies depending on the type of resin, but is preferably several hundred femtoseconds or less.
[0022]
Further, the repetition frequency of the laser beam is not particularly limited because it has little effect on the peak power intensity. Usually, it is about 1 kHz to about 200 kHz.
[0023]
The wavelength of the laser beam varies depending on the type of the resin, but is preferably from 400 nm to 1500 nm. In particular, in the case of a femtosecond laser, a Ti sapphire laser is often used, and its center wavelength is 800 nm. Therefore, 800 nm is preferable.
[0024]
The laser beam 5 is focused by a focusing device such as a lens 6 as shown in FIG. 5, for example. At this time, the focal point is adjusted so as to be located on or inside the resin. By moving this converging point relatively on or inside the resin, a continuous electric resistance region 4 serving as a heating unit is formed on the surface or inside the resin. Specifically, by moving the resin continuously with respect to the focal point of the laser beam 5, or by continuously moving the focal point of the laser beam on or inside the resin, the focal point can be relatively moved. Move. The relative movement speed varies depending on the laser light or the resin, but is adjusted so as to be a speed capable of forming a continuous electric resistance region. By such relative movement, for example, a flat concentric electric resistance region 4 as shown in FIG. 6 or a coil-shaped electric resistance region 4 as shown in FIG. 7 can be formed.
[0025]
Although the mechanism of the phenomenon that carbon is deposited inside the resin by irradiation with the pulse laser beam is not clear, it is considered as follows. When the carbon-oxygen bond and the carbon-hydrogen bond of the organic molecule are broken by the energy of the laser beam focusing, the mobility of the oxygen ion and the hydrogen ion is larger than that of the carbon ion. While ions are easily diffused into the resin, only carbon is hardly diffused, so that a new bond between carbons is formed. As a result, carbon can be selectively deposited in the laser condensing portion, so that carbon can be continuously deposited by moving the focal point.
[0026]
The continuous or partial electric resistance region formed in this way can be used as a heating unit because the temperature is increased by high-frequency imprinting. Here, the heating by high-frequency imprinting means an operation in which a current flows through a conductor due to a change in a magnetic field, and at that time, heating is performed by electric resistance. When the same high frequency is applied to the heating unit, the heating value increases as the area or volume of the electric resistance region increases. Therefore, the heat generation temperature can be adjusted not only by changing the high-frequency intensity and the imprinting time, but also by appropriately changing the area or volume of the heating unit. When a plurality of heating units are present in the same resin, the heating temperature of each heating unit can be changed by changing the area or volume of each heating unit.
[0027]
The thus-produced local heating member of the present invention is a resin molded article in which a heating section is arranged at an arbitrary position in an arbitrary shape. Therefore, the heating unit can be easily arranged not only on the surface of the member but also inside the member. For example, as shown in FIG. 8, along the cylindrical flow path 3 penetrating the inside of the member, for example, the laser focusing part is moved in a coil shape around the flow path 3 to form the electric resistance region 4. In addition, a local heating unit for the flow path 3 can be formed. That is, according to the present invention, a local heating member having a heating portion of an arbitrary size at an arbitrary position on a resin having a complicated shape can be easily obtained.
[0028]
As described above, the local heating member is heated by applying a high frequency to heat the electric resistance region formed on the surface or inside thereof, thereby generating heat, and heating the sample mounted or put on the local heating member. You. The sample mounted or introduced into the local heating member is not particularly limited, and may be a liquid or a solid.
[0029]
A local heating device for heating such a local heating member will be described with reference to FIG. 9 as an example. The local heating device according to the present invention includes a stage 20 for arranging the local heating member 10; a high-frequency generator 30 disposed at a position where high frequency can be applied to the local heating member; the local heating member and the high-frequency generator And a control device 50 for the high-frequency generator. The local heating device can be of any shape, structure, and size.
[0030]
The stage 20 for arranging the local heating member 10 only needs to be able to recognize the position where the local heating member 10 is to be arranged, and may have any structure. As long as it can be arranged at any position on the upper surface, it may be a simple flat plate or a structure that can fix the local heating member 10. Further, not only the local heating member 10 may be arranged, but also a structure in which other members connected to the local heating member 10 may be arranged together. The stage 20 is made of a material that does not generate heat due to high frequency.
[0031]
The intensity and time of the high-frequency wave impressed from the high-frequency generator 30 are controlled by the control device 50, whereby the heat generation temperature of the heating unit of the local heating member 10 can be controlled.
[0032]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described more specifically based on the drawings with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples and drawings.
[0033]
(Example 1)
An epoxy resin substrate 1 (10 mm × 10 mm × 3 mm) having four recesses 2 having a diameter of 200 μm and a depth of 100 μm on the surface was produced by injection molding (FIG. 3). Next, a femtosecond laser 5 was condensed and radiated from above the substrate 1 to a position at a depth of 20 μm from the bottom of the depression 2 to form an electric resistance region 4 (FIG. 5). As the laser 5, a laser having a pulse width of 130 femtoseconds, a repetition frequency of 1 kHz, a wavelength of 800 nm, and an average output of 200 mW oscillated from an argon laser-excited Ti: Al 2 O 3 laser was used. The pulse laser light was condensed by the lens 6 (microscope objective lens, NA: 0.46), and the peak power intensity (fluence) was set to 1 × 10 14 W / cm 2 . The scanning speed was set to 20 μm / sec, and the relative movement was continuously performed. Scanning was repeated for each dent, and electric resistance regions 4 having different areas were formed as shown in black in FIGS. The areas B, C, and D were 2, 3, and 4 times that of A, respectively. The thickness of each electric resistance region 4 was the same (see FIG. 1).
[0034]
Solid wax 8 having a melting point of 70 ° C. was put in the bottom surface of each depression 2, and high-frequency heating was applied for 10 minutes using a high-frequency heating device. The results are shown as a schematic diagram in FIG. In A and B, wax 8 was not melted. In C, it was softened and deformed. In D, the wax 8 was completely melted and spread on the bottom surface. From this, it was found that the heating temperature can be controlled by changing the area of the carbon segregation region even in the uniform high-frequency loading.
[0035]
(Example 2)
A 20 mm × 20 mm × 10 mm substrate was cut out from a phenolic resin molded product (product name: Univex, manufactured by Unitika Ltd., carbon content: 70.6%) with a diamond cutter, and the surface was polished. Three through holes 3 having a diameter of 500 μm were formed in the substrate 1 by drilling (FIG. 4). Next, the condensed spot of the femtosecond laser 5 was scanned along the side surface of the single through hole 3 to form the coil-shaped electric resistance region 4 having a diameter of about 100 μm (FIG. 7). Laser irradiation was performed using the same laser as in Example 1 above, with a fluence of 1.33 × 10 15 W / cm 2 and a scan speed of 60 μm / sec. Further, the other two through holes 3 were similarly irradiated with laser at a reduced scanning speed to form coil-shaped electric resistance regions 4 having diameters of about 250 μm and 300 μm on the side surfaces, respectively.
[0036]
As shown in FIG. 8, when high frequency was applied by a high frequency heating device while flowing water from one of the through holes 3, bubbles 7 were observed in the water flow. From this, it was confirmed that heating exceeding the boiling point of water was possible. In addition, the larger the amount of carbon deposited, the more bubbles 7 were found in the water stream. Therefore, it was found that the heating temperature can be controlled also in the liquid flow path 3 by changing the amount of carbon deposited.
[0037]
【The invention's effect】
As described above, the local heating member of the present invention can locally heat a small amount of sample, and can set different temperatures individually for each sample within the same member. In addition, local heating is possible even when the recess for mounting the sample and the sample flow path have a complicated shape. The local heating member of the present invention does not require wiring, and is easy to handle.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of one embodiment of a local heating member of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of another embodiment of the local heating member of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view of a substrate having a depression for mounting a sample, which is a material for manufacturing the local heating member of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view of a substrate having a flow path for a sample, which is a material for manufacturing the local heating member of the present invention.
FIG. 5 is a schematic diagram showing a step of condensing irradiated femtosecond laser with a lens to deposit carbon.
FIG. 6 is a top view of each of the bottom surfaces of depressions A to D in which an electric resistance region is formed immediately below.
FIG. 7 is a schematic view showing a step of condensing irradiated femtosecond laser with a lens to deposit carbon.
FIG. 8 is a schematic view of a sample flow path when heated while flowing water through the sample flow path.
FIG. 9 is a schematic diagram of the local heating device of the present invention when the local heating member of the present invention is set.
FIG. 10 is a schematic view showing the shape of the wax after the wax is placed in the depressions A to D in FIG. 6 and heated.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Depression for mounting sample 3 Through hole 4 Electric resistance region 5 Femtosecond laser 6 Lens 7 Bubble 8 Wax 10 Local heating member 20 Stage for disposing local heating member 30 High frequency generator 40 Electromagnetic wave shield 50 High frequency Generator control

Claims (7)

透明かつ電気絶縁性の樹脂の表面または内部に電気抵抗領域を有する、局所加熱部材。A local heating member having an electric resistance region on the surface or inside of a transparent and electrically insulating resin. 前記電気抵抗領域に接する位置または近傍に、試料を配置するための1または複数の窪みを有する、請求項1に記載の局所加熱部材。The local heating member according to claim 1, wherein the local heating member has one or a plurality of depressions for disposing a sample at or near a position in contact with the electric resistance region. 前記電気抵抗領域に接する位置または近傍に、1または複数の液状試料の流路を有する、請求項1または2に記載の局所加熱部材。3. The local heating member according to claim 1, wherein the local heating member has one or a plurality of liquid sample flow paths at or near the electric resistance region. 4. 前記電気抵抗領域が、炭素偏析領域である、請求項1から3のいずれかに記載の局所加熱部材。The local heating member according to claim 1, wherein the electric resistance region is a carbon segregation region. 請求項1から4のいずれかに記載の局所加熱部材の製造方法であって、透明かつ電気絶縁性の樹脂の表面または内部にパルスレーザー光を照射して、炭素を部分的に析出させる工程を含む、方法。The method for producing a local heating member according to claim 1, wherein the step of irradiating the surface or inside of the transparent and electrically insulating resin with a pulse laser beam to partially deposit carbon is performed. Including, methods. 請求項1から4のいずれかに記載の局所加熱部材を配置するためのステージ;該局所加熱部材に高周波を印荷し得る位置に配置された高周波発生器;該局所加熱部材および該高周波発生器を覆う電磁波シールド;ならびに該高周波発生器の制御装置を備える、局所加熱装置。A stage for arranging the local heating member according to any one of claims 1 to 4; a high frequency generator arranged at a position where high frequency can be applied to the local heating member; the local heating member and the high frequency generator A local heating device comprising: an electromagnetic wave shield covering the radio frequency generator; 局所加熱部材を、高周波印荷によって加熱する工程を含む、試料加熱方法であって、該局所加熱部材が、透明かつ電気絶縁性の樹脂の表面または内部に電気抵抗領域を有し、そして該電気抵抗領域に接する位置または近傍に、試料を配置するための1または複数の窪みおよび/または1または複数の液状の試料の流路を有する、方法。A method for heating a sample, comprising heating a local heating member by high-frequency imprinting, wherein the local heating member has an electric resistance region on or inside a transparent and electrically insulating resin, and A method comprising, at or near a resistance region, one or more depressions for placing a sample and / or one or more liquid sample flow paths.
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