【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、移載機に関し、特に、クリーンルーム内を高速で搬送される液晶などの大形の基板の移載を、発塵を抑制しつつ、高速で、精度良く行うことができるようにした移載機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルーム内の液晶などの大形の基板を高速で搬送する場合、その移載機として、例えば、図５に示すように、３リンクで基板を直線方向に移載するように構成した移載機（本明細書において、「３リンク式移載機」という。）、或いは、図６に示すように、２本のリンクで同じく直線方向に移載するように構成した移載機（本明細書において、「２リンク式移載機」という。）が提案されている。
これら何れの方式の移載機も、直線移載用に開発され、これは一方の装置から取り出した液晶基板を、該装置と反対側の一直線上の位置に配置した他方の装置、或いはカセットに直線的に移載するように、移載方向と直角方向に長い直線ガイド部（案内部）を、一対のＬＭガイドで構成し、これにより簡潔なリンク構造とすることができるとともに、少ないアクチュエータで液晶基板等を高速で移載できるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来の直線移載用に開発された移載機においては、主リンク４のネック部分を、移載方向と直角方向に長い直線ガイド部を一対のＬＭガイド（ＬＭブロックとＬＭレールの組合せ）で構成し、主リンク４に支持された摺動体６０を直線上の固定レール７０により摺動可能にガイドされるので、このネック部分が被搬送物の移載の直角方向に大きく出張るようになり、このために機械が大形になり、設置に際し、大きな占有面積（フットプリント）を必要とするとともに、さらにこの直角方向の出っ張りは、通路方向のスペースを大きく占め、通路スペースを必要以上に大きく設定する必要があった。このため、直角方向の出っ張りを小さくすることが望まれていた。
また、移載機が旋回すると、その出張った部分が装置部分の中に入り込み、装置と干渉することとになり、旋回が不能となり、この斯種の移載機は旋回を必要としない用途に限定され、適用範囲が狭くなるという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記従来の移載機の有する問題点に鑑み、３リンク式、或いは２リンク式移載機において、主リンクの直角方向のガイド部の位置及び直線状ガイドから楕円状のガイド機構に、それぞれ変更することにより、主リンクの摺動するネック部分（ガイド部分）の出っ張りを小さくし、機械の占有面積（フットプリント）を小さくするとともに、液晶基板等を積載した状態で、装置と干渉することなく旋回可能とし、これにより、直線方向の移載だけではなく、旋回による直角方向の移載も可能とし、適用範囲を大とした移載機を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本第１発明の移載機は、屈伸可能に構成した搬器支持用リンクの先端側に搬器を、基端側に揺動リンクの駆動装置を取り付けた移載機において、基端側を楕円形状をした案内部で運動軌跡が規制された摺動体を介して移動かつ揺動自在に支持した主リンクと、該主リンクの途中に枢着した揺動リンクと、前記搬器支持用リンクの動作を規制して搬器を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンクを含む搬器姿勢保持用平行リンクと、主リンクとの枢軸から揺動リンクの延長線と所定の角度を有するように延出され、主リンクと共に揺動するリンクを含む少なくとも１個の死点解消用平行リンクとから構成したことを特徴とする。
【０００６】
この移載機は、基端側を楕円形状をした案内部で運動軌跡が規制された摺動体を介して移動かつ揺動自在に支持した主リンクと、該主リンクの途中に枢着した揺動リンクと、前記搬器支持用リンクの動作を規制して搬器を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンクを含む搬器姿勢保持用平行リンクと、主リンクとの枢軸から揺動リンクの延長線と所定の角度を有するように延出され、主リンクと共に揺動するリンクを含む少なくとも１個の死点解消用平行リンクとから構成しているから、主リンクの摺動するガイド部分の出っ張りを小さくでき、機械の占有面積（フットプリント）を小さくできるとともに、液晶基板等を積載した状態で、装置と干渉することなく旋回可能となり、直線方向の移載だけではなく、旋回による直角方向の移載も行え、移載機としての適用範囲を拡大することができる。
【０００７】
また、同じ目的を達成するため、本第２発明の移載機は、屈伸可能に構成した搬器支持用リンクの先端側に搬器を、基端側に揺動リンクの駆動装置を取り付けた移載機において、基端側を楕円形状をした案内部で運動軌跡が規制された摺動体を介して移動かつ摺動白在に支持した主リンクと、該主リンクの途中に枢着した揺動リンクと、前記搬器支持用リンクの動作を規制して搬器を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンク及び揺動リンクを含む搬器姿勢保持用平行リンクとから構成したことを特徴とする。
【０００８】
この移載機は、基端側を楕円形状をした案内部で運動軌跡が規制された摺動体を介して移動かつ摺動白在に支持した主リンクと、該主リンクの途中に枢着した揺動リンクと、前記搬器支持用リンクの動作を規制して搬器を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンク及び揺動リンクを含む搬器姿勢保持用平行リンクとから構成しているから、主リンクの摺動するガイド部分の出っ張りを小さくでき、移載機をより簡潔に小形化でき、その占有面積（フットプリント）も一層小さくすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の移載機の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１〜図４及び図７〜図１１に、本発明の移載機の実施例を示す。
まず、図１及び図２に、本発明の移載機の第１実施例を示す。
この移載機１は、副リンク３、主リンク４、揺動リンク５より屈伸可能に構成した搬器支持用リンクと、該搬器支持用リンクの動作を規制して搬器を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンクを含む搬器姿勢保持用平行リンクと、主リンクとの枢軸から揺動リンクの延長線と所定の角度を有するように延出され、主リンクと共に揺動するリンクを含む少なくとも１個の死点解消用平行リンクとから構成されている。
【００１１】
液晶基板等の被搬送物Ｗを移載する移載距離に適した長さを備えた主リンク４の基端側に近い途中の位置にてピンＰ１を介して揺動リンク５の端部に軸着するとともに、先端側をピンＰ２を介して搬器２を支持した副リンク３に軸着し、これにより副リンク３、主リンク４、揺動リンク５を屈伸可能とした搬器支持用リンクを構成する。
また、この搬器２には、その上に液晶基板などの被搬送物Ｗを、必要に応じて、吸盤（図示省略）により吸着等させることにより、載置可能に構成する。
なお、本実施例において、搬器２の形状は、Ｈ形のものを示したが、特にこれに限定されるものではなく、パン状のもの、チャック式のもの、フォーク状のもの等、任意の形状のものを採用することができる。
そして、この搬器２は、その中心位置で、ピンＰ３を介し副リンク３に軸着するようにする。
【００１２】
また、主リンク４の基端には、ピンＰ４を介して摺動体であるガイドローラ６を軸着し、このガイドローラ６を楕円形または円弧形をし、かつ昇降フレーム１１に取り付けられてガイドローラ６の運動軌跡を規制するようにした案内部、例えば、ガイド７にて案内するように構成し、これにより搬器２が図２の実線位置から鎖線位置へ、或いはその反対方向へ移動する際、主リンク４はガイドローラ軸着部を軸として、旋回するように揺動し、自由に移動できるようにする。
【００１３】
揺動リンク５の基端側は、昇降フレーム１１に取り付けられた揺動リンクの駆動装置、例えば、正逆回転可能としたモータ１０のモータ軸に支持し、これにより該モータ１０の回転方向を切換可能にして駆動することにより、揺動リンク５をモータ軸を中心として旋回するようにする。
【００１４】
昇降フレーム１１は、ベース１５に昇降可能に支持される。これはベース１５に配設した揺動リンク昇降用のモータ１２に取り付けられた昇降用ピニオン１３と、昇降フレーム１１の縦方向に取り付けられた昇降用ラック１４とを噛合し、昇降用のモータ１２を正逆回転の切換により、昇降用ピニオン１３の正回転或いは逆回転を切り換えることにより、昇降フレーム１１を、該昇降フレーム１１上に配設した搬器２、副リンク３、主リンク４、揺動リンク５ごと同時に昇降させるようにする。これにより搬器２の上に載置され、移載される被搬送物の、装置側とカセット側との高さを一致させるように調整可能とする。
【００１５】
また、揺動リンク駆動用のモータ１０を駆動することにより、前記リンク機構を屈伸、揺動、旋回させて搬器２を、図２の実線位置から鎖線位置へ、或いはその反対方向へ移動する際、搬器２の姿勢を常に同じ方向を向き、かつ同じ姿勢を保つように制御するための制御機構を備える。
この搬器２の姿勢制御機構は、図２に示すように、搬器支持用リンクの動作を規制して搬器２を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンク４を含む搬器姿勢保持用平行リンクと、主リンク４との枢軸から揺動リンク５の延長線と所定の角度を有するように延出され、主リンク４と共に揺動するリンクを含む少なくとも１個の死点解消用平行リンクとより構成される。
搬器姿勢保持用平行リンクは、揺動リンク５と平行するよう配設した１本のリンク１９と、前記揺動リンク５及び該リンク１９、揺動リンク５の両端に配設して平行四辺リンクを構成するように配設した２本のリンク１８、２０とより構成する。
死点解消用平行リンクは、主リンク４と平行するように、かつ先端を副リンク３側に枢着した平行四辺リンクを構成するようにした２本の副リンク駆動リンク１６、１７より構成される。
これにより、搬器支持用リンクの屈伸、揺動、旋回運動により搬器２の位置が移動しても搬器２及びその上に載置した被搬送物Ｗの方向、姿勢を一体に保つようにする。
【００１６】
次に、図３及び図４に、本発明の移載機の第２実施例を示す。
この移載機３１は、主リンク３４、揺動リンク３５より屈伸可能に構成した搬器支持用リンクと、該搬器支持用リンクの動作を規制して搬器３２を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンク３４及び揺動リンク３５を含む搬器姿勢保持用平行リンクとから構成されている。
搬器支持用リンクは、液晶基板等の被搬送物Ｗを移載する移載距離に適した長さを備えた主リンク３４の基端側をピンＰ１を介して揺動リンク３５の端部に軸着するとともに、先端側をピンＰ３を介して、第１実施例と同様の搬器３２の中心位置を直接軸着し、れにより屈伸、揺動、旋回運動可能に構成する。
【００１７】
また、主リンク３４の基端側の先端部には、ピンＰ４を介して摺動体であるガイドローラ３６を軸着し、このガイドローラ３６を楕円形または円弧形をし、かつ昇降フレーム４１に取り付けられた案内部となるガイド３７にて案内するように構成し、これにより搬器３２が、第１実施例と同様に移動する際、主リンク３４はガイドローラ軸着部を軸として、旋回するように揺動し、自由に移動できるようにする。
【００１８】
揺動リンク３５の基端側は、昇降フレーム４１に取り付けられた揺動リンク駆動装置、例えば、揺動リンク駆動用の正逆回転可能としたモータ４０の軸に支持し、これにより該モータ４０の回転駆動により揺動リンク３５をモータ軸を中心として旋回するようにする。
【００１９】
昇降フレーム４１は、ベース４５に昇降可能に支持されるが、この機構は、第１実施例と同様で、ベース４５に配設した昇降用のモータ４２取り付けられた昇降用ピニオン４３を駆動することにより、該ピニオン４３と噛合した昇降用ラック４４を介して昇降フレーム４１を昇降させるように構成する。
【００２０】
また、揺動リンク駆動用のモータ４０の駆動により、前記リンク機構を屈伸、揺動、旋回させて搬器３２を、図４の実線位置から鎖線位置へ、或いはその反対方向へ移動する際、搬器３２の姿勢を、常に同じ姿勢を保つように制御するための姿勢保持機構を備える。
この搬器３２の姿勢保持用機構は、図４に示すように、搬器支持用リンクの動作を規制して搬器を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンク及び揺動リンクを含む搬器姿勢保持用平行リンクより構成される。
搬器姿勢保持用平行リンクは、主リンク３４と平行するよう配設したリンク４９と、該リンク４９の両先端と主リンク３４とを２本のリンク４８、５０を介して連結し、平行四辺リンクを構成するようにしたリンク機構と、揺動リンク３５と平行するよう配設したリンク４７及びこのリンクの両端と連結し、平行四辺リンク機構を構成するように配設した２本のリンク４６、４８とより構成する。
これにより、搬器３２の位置が移動しても搬器３２及びその上に載置した被搬送物Ｗの姿勢を一体に保つようにする。
【００２１】
次に、この移載機の作用について説明する。
一般に、被移載物Ｗを直線方向に引き出すように移載機を旋回させるとき、移載機が装置と干渉するのは、主リンクの中央部に形成する摺動体（案内部）の出っ張り量が大きいためであり、この出っ張り量を小さくすることによりこの問題は解決される。
図７の原理説明図において、被移載物Ｗを直線方向に引き出すためには、ＯＡ＝ＡＢ（＝Ｌ１）で、かつＢ点がＯＢ上の直線に沿って移動すれば、被移載物Ｗは、図７のＸ軸上に沿って引き出すことができる。
本発明では、主リンク４（ＡＢ）を、Ｂ点となる主リンクの基端部の固定された位置で摺動可能にガイドするのではなく、主リンク４（ＡＢ）上の他の点、すなわち基端に近い中間位置となるＧ点を案内部（ガイド）とする。これにより、Ｂ点でガイドするのと同じ運動を可能とする。そのためには、ＯＡ＝Ｌ１、ＡＧ＝ａとすれば、Ｇ点は各々、Ｌ１−ａを短軸、Ｌ１＋ａを長軸とする楕円上を移動すればよい。このため、本発明では、案内部を楕円形または円弧形としたガイド７に、ガイドローラ６を移動可能に支持するように構成し、主リンク４が揺動、旋回するとき、図７に示すように、ガイド７に沿った楕円形に、Ｇ点の軌跡が描かれるようになる。
【００２２】
このように搬器支持用リンクを構成すると、ＯＢ方向への出っ張り量は、Ｌ１＋ａとなり、従来の移載機、２×Ｌ１よりずっと小さくなる。例えば、ａ／Ｌ１＝０．２５とすると、（Ｌ１＋ａ）／（２×Ｌ１）＝０．６２５、すなわち６２．５％の出っ張り量となり、半期のストロークが変わることなく、移載機を小形化することができる。
【００２３】
したがって、摺動体を上記のような機構とすることにより、旋回時の出っ張りとなる案内部の寸法を小さくでき、装置に干渉することなく、移載機を旋回可能とすることができる。
【００２４】
図８〜図１１に、具体的な寸法関係を示す。図８は、３リンク式の旋回移載機の場合を、また図９は、２リンク式の旋回移載機の場合を示す。
また、図１０は３リンク式の直線移載機の場合を、図１１は２リンク式の直線移載機の場合を示す。
また、この移載機の旋回時における各寸法を纏めて表１に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】
３リンク式移載機は、２リンク式移載機に比較してコンパクトであり、したがって、旋回に必要な寸法（旋回半径）は小さい。
このように、一方の装置から取り出した液晶基板を、移載機のほぼ中央位置で旋回し、該装置と直角線上の位置に配置した他方の装置、或いはカセットに移載する本発明による旋回移載方式は、直線移載方式に比べ、移載の全ストロークが約１／２となり、したがって、リンクの長さが約１／２となり、移載機としてそれだけ小形化することができる。
なお、本発明のベースに走行機能を持たせることにより、元の装置と平行な位置に移載することも可能である。
【００２７】
以上、本発明の移載機について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【００２８】
【発明の効果】
請求項１記載の移載機によれば、基端側を楕円形状をした案内部で運動軌跡が規制された摺動体を介して移動かつ揺動自在に支持した主リンクと、該主リンクの途中に枢着した揺動リンクと、前記搬器支持用リンクの動作を規制して搬器を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンクを含む搬器姿勢保持用平行リンクと、主リンクとの枢軸から揺動リンクの延長線と所定の角度を有するように延出され、主リンクと共に揺動するリンクを含む少なくとも１個の死点解消用平行リンクとから構成しているから、主リンクの摺動するガイド部分の出っ張りを小さくでき、機械の占有面積（フットプリント）を小さくできるとともに、液晶基板等を積載した状態で、装置と干渉することなく旋回可能となり、直線方向の移載だけではなく、旋回による直角方向の移載も行え、移載機としての適用範囲を拡大することができる。
【００２９】
また、請求項２記載の移載機によれば、基端側を楕円形状をした案内部で運動軌跡が規制された摺動体を介して移動かつ摺動白在に支持した主リンクと、該主リンクの途中に枢着した揺動リンクと、前記搬器支持用リンクの動作を規制して搬器を回転することなく所定の直線上を移動するようにする主リンク及び揺動リンクを含む搬器姿勢保持用平行リンクとから構成しているから、主リンクの摺動するガイド部分の出っ張りを小さくでき、移載機をより簡潔に小形化でき、その占有面積（フットプリント）も一層小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の移載機の第１実施例の３リンク式移載機の正面図である。
【図２】同平面図である。
【図３】本発明の移載機の第２実施例の２リンク式移載機の正面図である。
【図４】同平面図である。
【図５】従来の３リンク式移載機の正面図である。
【図６】従来の２リンク式移載機の正面図である。
【図７】本発明の楕円ガイドを用いた移載機の原理説明図である。
【図８】３リンク式旋回移載機の移載ストローク、装置との隙間及び旋回時のはみ出し量等を示す説明図である。
【図９】２リンク式旋回移載機の移載ストローク、装置との隙間及び旋回時のはみ出し量等を示す説明図である。
【図１０】３リンク式直線移載機の移載ストローク、装置との隙間及び旋回時のはみ出し量等を示す説明図である。
【図１１】２リンク式直線移載機の移載ストローク、装置との隙間及び旋回時のはみ出し量等を示す説明図である。
【符号の説明】
Ｗ 被搬送物（液晶基板）
１ 移載機
２ 搬器
３ 副リンク
４ 主リンク
５ 揺動リンク
６ ガイドローラ（摺動体）
７ ガイド
１０ 揺動リンクの駆動用モータ（駆動装置）
１１ 昇降フレーム
１２ 昇降機構の駆動用モータ（駆動装置）
１３ 昇降用ピニオン
１４ 昇降用ラック
１５ べース
１６、１７ 副リンク駆動用リンク
１８、１９、２０、２１、２２、２３、２４ 搬器姿勢保持用リンク
３１ 移載機
３２ 搬器
３４ 主リンク
３５ 揺動リンク
３６ ガイドローラ
３７ ガイド
４０ 揺動リンクの駆動用モータ（駆動装置）
４１ 昇降フレーム
４２ 昇降機構の駆動用モータ（駆動装置）
４３ 昇降用ピニオン
４４ 昇降用ラック
４５ べース
４６、４７、４８、４９、５０ 搬器姿勢保持用リンク
６０ 摺動体
７０ 固定レール[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a transfer machine, and in particular, is capable of transferring a large-sized substrate such as a liquid crystal conveyed at high speed in a clean room at a high speed and with high accuracy while suppressing dust generation. It relates to a transfer machine.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when a large substrate such as a liquid crystal in a clean room is transported at a high speed, as a transfer device, for example, as shown in FIG. Loading machine (referred to as “3-link transfer machine” in the present specification) or a transfer machine (book transfer machine) configured to transfer in the same linear direction by two links as shown in FIG. In the specification, this is referred to as a "two-link transfer machine."
Both types of transfer machines have been developed for linear transfer, in which the liquid crystal substrate taken out of one device is placed in the other device or cassette, which is located in a straight line on the opposite side of the device. A linear guide portion (guide portion), which is long in the direction perpendicular to the transfer direction so as to be transferred linearly, is constituted by a pair of LM guides, so that a simple link structure can be achieved and a small number of actuators can be used. A liquid crystal substrate can be transferred at a high speed.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in this conventional transfer machine developed for linear transfer, the neck portion of the main link 4 is connected to a pair of LM guides (LM block and LM rail) by using a linear guide portion long in a direction perpendicular to the transfer direction. Combination), and the sliding body 60 supported by the main link 4 is slidably guided by the linear fixed rail 70. Therefore, this neck portion travels greatly in the direction perpendicular to the transfer of the load. This requires a large machine, which requires a large footprint for installation, and this perpendicular projection takes up a large amount of space in the direction of the aisle, requiring space for the aisle. It was necessary to set a larger value. For this reason, it has been desired to reduce the protrusion in the perpendicular direction.
In addition, when the transfer machine turns, the traveled part enters the device part and interferes with the device, so that turning becomes impossible, and this type of transfer device is used for applications that do not require turning. There is a problem that the range is limited and the applicable range is narrowed.
[0004]
The present invention has been made in view of the above-described problems of the conventional transfer machine, and in a three-link or two-link transfer machine, a position of a guide portion in a direction perpendicular to a main link and an elliptical guide mechanism from a linear guide. In addition, by changing each of them, the protrusion of the sliding neck portion (guide portion) of the main link is reduced, the area occupied by the machine (footprint) is reduced, and the liquid crystal substrate and the like are mounted on the device. It is an object of the present invention to provide a transfer machine which is capable of turning without interference, thereby enabling not only transfer in a straight line direction but also transfer in a right angle direction by turning, thereby increasing the applicable range.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a transfer machine according to a first aspect of the present invention is a transfer machine in which a transporter is attached to a distal end side of a transporter supporting link configured to bendable and stretchable, and a swing link drive device is attached to a proximal end side. A main link, which is movable and swingably supported via a sliding body whose movement trajectory is regulated by a guide portion having a base end side having an elliptical shape; a swing link pivotally mounted in the middle of the main link; A parallel link for holding the posture of the carriage including a main link that regulates the operation of the carrier support link and moves on a predetermined straight line without rotating the carriage, and an extension line of the swing link from the pivot of the main link. And at least one parallel link for eliminating a dead point, including a link that swings together with the main link and extends so as to have a predetermined angle.
[0006]
This transfer machine has a main link that is movable and swingably supported via a sliding body whose movement trajectory is regulated by a guide portion having an elliptical base end side, and a swing link that is pivotally mounted in the middle of the main link. A movable link, a parallel link for holding the posture of the carriage including a main link for restricting the operation of the link for supporting the carriage so as to move on a predetermined straight line without rotating the carriage, and swinging from a pivot axis of the main link. The main link is slid because it is formed so as to have a predetermined angle with the extension of the moving link and at least one dead link eliminating parallel link including a link that swings together with the main link. The protrusion of the guide part can be reduced, the area occupied by the machine (footprint) can be reduced, and it is possible to rotate without interfering with the device with the liquid crystal substrate etc. loaded. By Perpendicular direction of the transfer is also performed, it is possible to expand the scope of application of the transfer machine.
[0007]
Further, in order to achieve the same object, the transfer machine according to the second aspect of the present invention is a transfer machine in which a transporter is attached to a distal end side of a transportable support link configured to be able to bend and stretched, and a swing link drive device is attached to a proximal end side. A main link that moves through a sliding body whose movement trajectory is regulated by a guide part having an elliptical shape on the base end side and is supported in a sliding white area, and a swing link pivotally mounted in the middle of the main link. And a parallel link for holding the posture of the carriage including a main link and a swing link that regulate the operation of the carrier support link and move on a predetermined straight line without rotating the carriage. And
[0008]
This transfer machine has a main link that moves through a sliding body whose movement trajectory is regulated by an elliptical guide portion on the base end side and is supported in a sliding white area, and is pivotally mounted in the middle of the main link. A swinging link, and a parallel link for holding a posture of the carriage including a main link and a swinging link that regulate the operation of the carrier supporting link and move on a predetermined straight line without rotating the carrier. Therefore, the protrusion of the sliding guide portion of the main link can be reduced, the size of the transfer device can be reduced more simply, and the occupied area (footprint) can be further reduced.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of a transfer machine of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0010]
1 to 4 and 7 to 11 show an embodiment of the transfer machine of the present invention.
1 and 2 show a transfer machine according to a first embodiment of the present invention.
The transfer machine 1 includes a carrier supporting link configured to be able to bend and extend from the sub-link 3, the main link 4, and the swing link 5, and a predetermined operation without rotating the carrier by regulating the operation of the carrier supporting link. A parallel link for holding the posture of the carriage including a main link that moves on a straight line, and extends from a pivot axis with the main link so as to have a predetermined angle with an extension of the swing link, and swings with the main link. And at least one parallel link for eliminating dead points including a link.
[0011]
At an end near the base end of the main link 4 having a length suitable for the transfer distance for transferring the transferred object W such as a liquid crystal substrate or the like, to the end of the swing link 5 via the pin P1. Along with the shaft, the front end is pivotally mounted on a sub-link 3 supporting the transporter 2 via a pin P2, whereby the sub-link 3, the main link 4, and the swing link 5 can be bent and stretched. Constitute.
Further, the transporter 2 is configured such that a transported object W such as a liquid crystal substrate can be placed on the transporter 2 by sucking it with a suction cup (not shown) as necessary.
In the present embodiment, the shape of the transporter 2 is H-shaped, but the shape is not particularly limited thereto, and any shape such as a pan-shaped, a chuck-type, and a fork-shaped can be used. A shape can be adopted.
The transporter 2 is pivotally attached to the auxiliary link 3 via the pin P3 at the center position.
[0012]
At the base end of the main link 4, a guide roller 6, which is a sliding body, is pivotally mounted via a pin P <b> 4, and the guide roller 6 has an elliptical or arc shape and is attached to the lifting frame 11. A guide portion that regulates the movement trajectory of the guide roller 6, for example, is configured to be guided by a guide 7, whereby the transporter 2 moves from the solid line position in FIG. 2 to the chain line position or the opposite direction. At this time, the main link 4 swings around the guide roller shaft attachment portion so as to pivot, so that it can move freely.
[0013]
The base end side of the swing link 5 is supported by a drive device of the swing link attached to the elevating frame 11, for example, a motor shaft of a motor 10 capable of normal and reverse rotation, whereby the rotation direction of the motor 10 is changed. By driving with the switching enabled, the swinging link 5 is turned around the motor shaft.
[0014]
The lifting frame 11 is supported on the base 15 so as to be able to move up and down. This engages an elevating pinion 13 attached to an oscillating link elevating motor 12 provided on a base 15 and an elevating rack 14 attached in the vertical direction of the elevating frame 11, and the elevating motor 12 By switching between forward and reverse rotation of the lifting pinion 13 by switching between forward and reverse rotation, the lifting frame 11 is moved to the transporter 2, the sub-link 3, the main link 4, Link 5 and raise and lower at the same time. As a result, it is possible to adjust the height of the transported object placed and transferred on the transporter 2 so that the height on the apparatus side and the height on the cassette side match.
[0015]
Further, by driving the rocking link drive motor 10, the link mechanism is bent, swung, and swung to move the transporter 2 from the solid line position in FIG. 2 to the chain line position or in the opposite direction. And a control mechanism for controlling the posture of the transporter 2 so that it always faces in the same direction and maintains the same posture.
As shown in FIG. 2, the attitude control mechanism of the transporter 2 includes a main body 4 including a main link 4 that regulates the operation of the transporter support link and moves on a predetermined straight line without rotating the transporter 2. At least one dead center eliminating link including a link extending from the pivot of the holding parallel link and the main link 4 and having a predetermined angle with an extension of the swing link 5 and swinging together with the main link 4. Consists of parallel links.
The parallel link for holding the posture of the transporter is composed of one link 19 arranged in parallel with the swing link 5, and the swing link 5, the link 19, and the parallel four-side links arranged at both ends of the swing link 5. And two links 18 and 20 arranged so as to form
The dead-link eliminating parallel link is composed of two sub-link drive links 16 and 17 which are parallel to the main link 4 and form a parallelogram link whose tip is pivotally connected to the sub-link 3 side. You.
Thereby, even if the position of the transporter 2 moves due to the bending, stretching, swinging, and turning motions of the transporter supporting link, the direction and the attitude of the transporter 2 and the transported object W placed thereon are maintained integrally.
[0016]
Next, FIGS. 3 and 4 show a second embodiment of the transfer machine of the present invention.
The transfer machine 31 includes a carrier support link configured to be able to bend and extend from the main link 34 and the swing link 35, and regulates the operation of the carrier support link so that the carrier 32 rotates on a predetermined straight line without rotating. It is composed of a main link 34 to be moved and a parallel link for holding the posture of the carriage including a swing link 35.
The carrier support link is formed by connecting the base end side of the main link 34 having a length suitable for the transfer distance for transferring the transferred object W such as a liquid crystal substrate to the end of the swing link 35 via the pin P1. While being axially mounted, the center side of the transporter 32 similar to that of the first embodiment is directly axially mounted via the pin P3 on the distal end side, and is configured to be capable of bending, stretching, swinging, and turning movement.
[0017]
A guide roller 36, which is a sliding member, is pivotally mounted on a proximal end portion of the main link 34 via a pin P4, and the guide roller 36 is formed in an elliptical or arc shape. The main link 34 pivots about the guide roller shaft-attached portion when the transporter 32 moves in the same manner as in the first embodiment. Rock so that you can move freely.
[0018]
The base end side of the oscillating link 35 is supported by a shaft of a oscillating link driving device mounted on the lifting frame 41, for example, a forward / reverse rotatable motor 40 for driving the oscillating link. The swing link 35 is turned around the motor shaft by the rotational drive of.
[0019]
The elevating frame 41 is supported by the base 45 so as to be capable of elevating and lowering. This mechanism is similar to that of the first embodiment, and drives the elevating pinion 43 attached to the elevating motor 42 provided on the base 45. Thus, the lifting frame 41 is raised and lowered via the lifting rack 44 meshed with the pinion 43.
[0020]
Further, by driving the rocking link drive motor 40 to bend, stretch, rock, and turn the link mechanism to move the transporter 32 from the solid line position in FIG. There is provided a posture holding mechanism for controlling the 32 postures so as to always maintain the same posture.
As shown in FIG. 4, the attitude maintaining mechanism of the transporter 32 includes a main link and an oscillating link that regulate the operation of the transporter support link and move on a predetermined straight line without rotating the transporter. It is composed of parallel links for maintaining the posture of the transporter.
The parallel link for maintaining the posture of the transporter is formed by connecting a link 49 disposed in parallel with the main link 34, and connecting both ends of the link 49 and the main link 34 via two links 48 and 50 to form a parallel four-sided link. A link mechanism arranged to be parallel to the swing link 35, and two links 46 connected to both ends of this link and arranged to constitute a parallelogram link mechanism. 48.
Thereby, even if the position of the transporter 32 moves, the posture of the transporter 32 and the transported object W placed thereon is maintained integrally.
[0021]
Next, the operation of the transfer machine will be described.
Generally, when the transfer machine is turned so as to pull out the transferred object W in a linear direction, the transfer machine interferes with the device because of the amount of protrusion of a sliding body (guide) formed at the center of the main link. This problem is solved by reducing the amount of protrusion.
In the principle explanatory diagram of FIG. 7, in order to pull out the transferred object W in a linear direction, if OA = AB (= L1) and the point B moves along a straight line on OB, the transferred object W W can be drawn out along the X axis in FIG.
In the present invention, the main link 4 (AB) is not slidably guided at a fixed position of the base end of the main link, which is point B, but other points on the main link 4 (AB), That is, the point G, which is an intermediate position near the base end, is defined as a guide (guide). This enables the same movement as guiding at point B. For this purpose, assuming that OA = L1 and AG = a, the point G may be moved on an ellipse having L1-a as a short axis and L1 + a as a long axis. For this reason, according to the present invention, the guide roller 6 is configured to be movably supported by the guide 7 having an elliptical or arcuate guide portion, and when the main link 4 swings and turns, FIG. As shown, the locus of point G is drawn in an elliptical shape along the guide 7.
[0022]
When the carrier supporting link is configured in this manner, the amount of protrusion in the OB direction is L1 + a, which is much smaller than that of the conventional transfer machine, 2 × L1. For example, if a / L1 = 0.25, (L1 + a) / (2 × L1) = 0.625, that is, the protrusion amount is 62.5%, and the transfer machine can be downsized without changing the half-year stroke. can do.
[0023]
Therefore, by using the above-described mechanism for the sliding body, the size of the guide portion that becomes a protrusion during turning can be reduced, and the transfer machine can be turned without interfering with the device.
[0024]
8 to 11 show specific dimensional relationships. FIG. 8 shows the case of a three-link swing transfer machine, and FIG. 9 shows the case of a two-link swing transfer machine.
FIG. 10 shows a case of a three-link linear transfer machine, and FIG. 11 shows a case of a two-link linear transfer machine.
Table 1 summarizes the dimensions of the transfer machine at the time of turning.
[0025]
[Table 1]
[0026]
The three-link type transfer machine is more compact than the two-link type transfer machine, and therefore, the size (turn radius) required for turning is small.
As described above, the liquid crystal substrate taken out from one apparatus is rotated at a substantially central position of the transfer machine, and the liquid crystal substrate according to the present invention is transferred to the other apparatus or a cassette disposed at a position perpendicular to the apparatus. In the loading method, the total stroke of the transfer is reduced to about 比 べ compared to the linear transfer method, and therefore, the length of the link is reduced to about 、, so that the transfer apparatus can be reduced in size accordingly.
It should be noted that by providing the traveling function to the base of the present invention, it is possible to transfer the apparatus to a position parallel to the original apparatus.
[0027]
As described above, the transfer machine of the present invention has been described based on the embodiment. However, the present invention is not limited to the configuration described in the above embodiment, and the configuration may be appropriately changed without departing from the gist of the present invention. Is what you can do.
[0028]
【The invention's effect】
According to the transfer device of the first aspect, a main link that is movable and swingably supported via a sliding body whose movement trajectory is regulated by a guide portion having an elliptical base end side, A swinging link pivotally mounted on the way, a parallel link for holding the posture of the carrier including a main link for restricting the operation of the link for supporting the carrier so as to move on a predetermined straight line without rotating the carrier. Since it comprises at least one parallel link for eliminating dead center, including a link that swings together with the main link, the link extends from the pivot axis of the link and has a predetermined angle with the extension of the swing link. The protrusion of the sliding guide portion of the main link can be reduced, the area occupied by the machine (footprint) can be reduced, and it is possible to turn without interfering with the device with a liquid crystal substrate or the like loaded, and to move in the linear direction. Just on Without transfer also can orthogonal directions by the swing, it is possible to expand the scope of application of the transfer machine.
[0029]
Further, according to the transfer device of the second aspect, the main link which is moved through a sliding body whose movement trajectory is regulated by an elliptical guide portion on the base end side and supported in a sliding white area, A swinging link pivotally mounted in the middle of the main link, and a carrier attitude including a main link and a swinging link for restricting the operation of the carrier supporting link so as to move on a predetermined straight line without rotating the carrier. Since it is composed of the holding parallel link, the protrusion of the sliding guide portion of the main link can be reduced, the transfer machine can be more simply reduced in size, and its footprint can be further reduced. it can.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view of a three-link transfer machine according to a first embodiment of the transfer machine of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the same.
FIG. 3 is a front view of a two-link type transfer machine according to a second embodiment of the transfer machine of the present invention.
FIG. 4 is a plan view of the same.
FIG. 5 is a front view of a conventional three-link transfer machine.
FIG. 6 is a front view of a conventional two-link transfer machine.
FIG. 7 is a diagram illustrating the principle of a transfer machine using an elliptical guide according to the present invention.
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a transfer stroke of a three-link type turning transfer machine, a gap with the device, an amount of protrusion during turning, and the like.
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a transfer stroke of a two-link type turning transfer machine, a gap with the device, an amount of protrusion during turning, and the like.
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a transfer stroke of a three-link linear transfer machine, a gap with the device, an amount of protrusion during turning, and the like.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing a transfer stroke of a two-link linear transfer machine, a gap with the device, an amount of protrusion during turning, and the like.
[Explanation of symbols]
W Conveyed object (liquid crystal substrate)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transferring machine 2 Carrier 3 Secondary link 4 Main link 5 Swing link 6 Guide roller (sliding body)
7 Guide 10 Oscillating link drive motor (drive device)
11 lifting frame 12 motor for driving the lifting mechanism (drive device)
13 Lifting Pinion 14 Lifting Rack 15 Base 16, 17 Secondary Link Drive Link 18, 19, 20, 21, 22, 23, 24 Carrier Posture Holding Link 31 Transferring Machine 32 Carrier 34 Main Link 35 Swing Link 36 Guide roller 37 Guide 40 Driving motor (drive device) for swing link
41 Elevating frame 42 Motor for driving the elevating mechanism (drive device)
43 lifting pinion 44 lifting rack 45 bases 46, 47, 48, 49, 50 transporter posture maintaining link 60 slide 70 fixed rail
