JP2004281050A - Optical head device and optical disk device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical head device which condenses a light beam on information media (optical disks) different in thickness up to the limit of diffraction by using a hologram lens with the sufficient intensity of transmitted light. <P>SOLUTION: In designing an objective lens, the passage region of light which is incident upon an objective lens used for an optical head is separated into at least a first and second regions according to the distance of the passage region from the optical axis of the incident light. The designing is made so that the light passing through the first region converges on a disk with a transparent substrate of t2 in thickness and the light passing through the second region converges on an optical disk with a transparent substrate of t1+t2 (t2<t1) in thickness by providing a concave-and-convex shaped ring zone. The ring zone is concentrically circular about the optical axis of the objective lens, and the ring zone is integrally formed with the surface of large curvature, that is, surface of a small radius of curvature of the objective lens, thereby restraining the aberration occurring when the ring zone tilts to the optical axis. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光ディスクあるいは光カードなど、光媒体もしくは光磁気媒体(情報媒体)上に記憶される情報の記録・再生あるいは消去を行う光ヘッド装置に関するものである。   The present invention relates to an optical head device for recording / reproducing or erasing information stored on an optical medium or a magneto-optical medium (information medium) such as an optical disk or an optical card.

高密度・大容量の記憶媒体として、ピット状パターンを有する光ディスクを用いる光メモリ技術は、ディジタルオーディオディスク、ビデオディスク、文書ファイルディスク、さらにはデータファイルと用途を拡張しつつ、実用化されてきている。微小に絞られた光ビームを介して光ディスクへの情報の記録再生が高い信頼性のもとに首尾よく遂行されるメカニズムは、ひとえにその光学系によっている。その光学系の主要部である光ヘッド装置の基本的な機能は、回折限界の微小スポットを形成する集光性、前記光学系の焦点制御とトラッキング制御、及び、ピット信号の検出に大別される。これらは、目的、用途に応じて、各種の光学系ならびに光電変換検出方式の組合せによって現わされている。   Optical memory technology using an optical disk having a pit-shaped pattern as a high-density, large-capacity storage medium has been put to practical use while expanding its applications to digital audio disks, video disks, document file disks, and data files. . The mechanism by which recording and reproduction of information on and from an optical disk via a minutely focused light beam is successfully performed with high reliability depends solely on the optical system. The basic functions of the optical head device, which is the main part of the optical system, are broadly divided into light-collecting ability to form a diffraction-limited small spot, focus control and tracking control of the optical system, and detection of a pit signal. You. These are manifested by combinations of various optical systems and photoelectric conversion detection systems depending on the purpose and application.

近年、光学系設計技術の進歩と光源である半導体レーザの短波長化により、従来以上の高密度の記憶容量を持つ光ディスクの開発が進んでいる。高密度化のアプローチとしては、光ディスク上へ光ビームを微小に絞る集光光学系の光ディスク側開口数(NA)を大きくすることが検討されている。その際、問題となるのが光軸の傾き(いわゆるチルト)による収差の発生量の増大である。開口数NAを大きくすると、チルトに対して発生する収差量が大きくなる。これを防ぐためには、光ディスクの基板の厚み(基材厚)を薄くすれば良い。例えばNA=0.5、基板の厚みt1=1.2mmの時と同じ量のチルト許容度を得るためには、NA=0.6の時には基板の厚みt2=0.6mmにすれば良い。上記の理由から、高密度の光ディスクでは基板の厚みを薄くすることが望ましい。このため、既に市販されているコンパクトディスク(CD)を初めとした多くの在来の光ディスクよりも、次世代の高密度光ディスクの基板の厚みは薄くなると考えられる。当然、在来の光ディスクと次世代の高密度光ディスクとの両方を記録再生できる光ディスク装置が必要になる。そのためには、異なる基板の厚みの光ディスク上に、回折限界まで光ビームを集光することのできる集光光学系を備えた光ヘッド装置が必要である。   In recent years, with the progress of optical system design technology and the shortening of the wavelength of a semiconductor laser as a light source, the development of an optical disc having a higher-density storage capacity than before has been progressing. As an approach for increasing the density, it has been considered to increase the numerical aperture (NA) on the optical disc side of a condensing optical system that narrows a light beam onto an optical disc. At this time, a problem is an increase in the amount of aberration generated due to the tilt (so-called tilt) of the optical axis. Increasing the numerical aperture NA increases the amount of aberration generated with respect to tilt. To prevent this, the thickness (base material thickness) of the substrate of the optical disk may be reduced. For example, to obtain the same amount of tilt tolerance as when NA = 0.5 and the substrate thickness t1 = 1.2 mm, the substrate thickness t2 = 0.6 mm when NA = 0.6. For the above reasons, it is desirable to reduce the thickness of the substrate in a high-density optical disk. For this reason, it is considered that the substrate of the next-generation high-density optical disk will be thinner than many conventional optical disks including a compact disk (CD) already on the market. Naturally, an optical disk device that can record and reproduce both conventional optical disks and next-generation high-density optical disks is required. For that purpose, an optical head device having a condensing optical system capable of condensing a light beam to a diffraction limit on an optical disk having a different substrate thickness is required.

本発明者は、基板の厚みの異なる複数の光ディスクに対して使用できる光ヘッドを既に提案している(特開平第7−98431号公報)。光ヘッドにおいて、光源からの光ビームを平行光にし、対物レンズにより微小スポットに集光して光ディスク上を照射する。光ディスクからの反射光は、もとの光路を逆にたどるが、ビームスプリッタで反射され、光検出器により検出される。ここで、基板の厚みの異なる複数の光ディスクに対して光ヘッドを使用するために、対物レンズと、入射光の1部を回折するホログラムレンズとを組み合わせた2焦点レンズを用い、異なる厚みの光ディスク上にそれぞれ回折限界まで集光される集光スポットを形成する。ホログラムレンズは、入射光の1部を回折するため、たとえば、同心円状の格子パターンを備え、透過光(0次回折光)も十分な強度を有する。ホログラムレンズにより回折された光と回折されない光とは、光軸上の異なる焦点位置に集光される。したがって、異なる厚みの基板上に微小スポットを形成できる。ここで、ホログラムレンズはレンズ作用を有するので、2つの焦点の光軸方向の位置は異なり、一方の焦点で情報の記録再生をしているときには、他方の焦点を集光点とする光ビームは大きく広がっており光強度は小さく、記録再生には影響を与えない。
特開平第7−98431号公報 特開昭第61−189504号公報 特開昭第63−241735号公報 特開昭第58−85944号公報 特開昭第62−67737号公報
The present inventors have already proposed an optical head that can be used for a plurality of optical disks having different substrate thicknesses (Japanese Patent Laid-Open No. 7-98431). In an optical head, a light beam from a light source is converted into parallel light, focused on a minute spot by an objective lens, and irradiated onto an optical disk. The reflected light from the optical disk follows the original optical path in reverse, but is reflected by the beam splitter and detected by the photodetector. Here, in order to use the optical head for a plurality of optical disks having different substrate thicknesses, a bifocal lens combining an objective lens and a hologram lens for diffracting a part of the incident light is used. A condensed spot condensed to the diffraction limit is formed on each. Since the hologram lens diffracts a part of the incident light, it has, for example, a concentric lattice pattern, and the transmitted light (zero-order diffracted light) also has a sufficient intensity. The light diffracted by the hologram lens and the light that is not diffracted are collected at different focal positions on the optical axis. Therefore, minute spots can be formed on substrates having different thicknesses. Here, since the hologram lens has a lens function, the positions of the two focal points in the optical axis direction are different, and when recording and reproducing information at one focal point, the light beam having the other focal point as the focal point is It spreads widely, has low light intensity, and does not affect recording and reproduction.
JP-A-7-98431 JP-A-61-189504 JP-A-63-241735 JP-A-58-85944 JP-A-62-67737

上述した2焦点レンズを用いた光ヘッド装置には、改良、発展すべき点がある。たとえば、2焦点レンズを、対物レンズとホログラムレンズとを組み合わせて構成するが、種々の構成が考えられる。特に、光ヘッド装置を小型化するために、光源としては半導体レーザーを用いることが望ましいが、半導体レーザーを用いることによる問題もある。図1に示すように、半導体レーザーは、光ビームを活性層2001の端面近傍の発光点2002から出射する。ここで、光ビームの遠視野像は、活性層2001に平行なX方向の広がり角度θXよりも、活性層2001に直交するY方向の広がり角度θYの方が広い。図2は、半導体レーザーから出射する光ビーム(光ビーム径がφ4mmの場合)のX方向(a)とY方向(b)の光強度分布2003を示す。上述のように、両方向で分布が大きく異なっている。この光ビームを、入射光の1部を回折する上述のホログラムレンズに入射させると、斜線部分にそれぞれ示すように、X方向(a)とY方向(b)において外周部の光強度のほうが内周部よりも強くなる。Y方向の広がり角が広いので、特に、Y方向の外周部の光強度が、内周部の光強度よりも強くなる。 The optical head device using the above-mentioned bifocal lens has points to be improved and developed. For example, the bifocal lens is configured by combining an objective lens and a hologram lens, but various configurations are conceivable. Particularly, in order to reduce the size of the optical head device, it is desirable to use a semiconductor laser as a light source, but there is a problem caused by using a semiconductor laser. As shown in FIG. 1, the semiconductor laser emits a light beam from a light emitting point 2002 near an end face of the active layer 2001. Here, the far-field image of the light beam has a wider spread angle θ Y in the Y direction orthogonal to the active layer 2001 than in the spread direction θ X in the X direction parallel to the active layer 2001. FIG. 2 shows a light intensity distribution 2003 in the X direction (a) and the Y direction (b) of a light beam (when the light beam diameter is 4 mm) emitted from the semiconductor laser. As described above, the distribution is significantly different in both directions. When this light beam is made incident on the above-mentioned hologram lens that diffracts a part of the incident light, the light intensity of the outer peripheral portion is more inner in the X direction (a) and the Y direction (b), as indicated by the hatched portions. Stronger than the periphery. Since the divergence angle in the Y direction is wide, the light intensity at the outer peripheral portion in the Y direction is particularly stronger than the light intensity at the inner peripheral portion.

ここでサイドローブについて、説明する。図3は、入射光の1部を回折するホログラムレンズを用いた場合の、基板厚の薄い情報媒体上での集光スポットのX方向(a)とY方向(b)での光強度分布の計算結果を示したものである。ここに、光強度は、メインローブ380の最大値を100として規格化した。メインローブ380が記録再生に必要な光量であり、サイドローブ381は記録ピット形状や再生信号を劣化させる原因となる不要な光量である。メインローブ380の光強度の最大値を100として規格化したときのサイドローブ381の光強度は、X方向は約1%であり十分に低いが、Y方向は約4%であり、やや高い。サイドローブの高さが4%程度あっても、情報信号の読み取りは十分に可能であるが、振動や温度変化などの外乱に対してより安定に情報信号を読み取るためには、サイドローブをより低くするなどの方法によって、その影響を緩和するほうが望ましい。   Here, the side lobe will be described. FIG. 3 shows the distribution of the light intensity distribution in the X direction (a) and the Y direction (b) of the condensed spot on the information medium having a small substrate thickness when a hologram lens that diffracts a part of the incident light is used. It shows a calculation result. Here, the light intensity was standardized with the maximum value of the main lobe 380 being 100. The main lobe 380 is an amount of light necessary for recording and reproduction, and the side lobe 381 is an unnecessary amount of light that causes deterioration of a recording pit shape and a reproduction signal. When the maximum value of the light intensity of the main lobe 380 is normalized to 100, the light intensity of the side lobe 381 is about 1% in the X direction, which is sufficiently low, but slightly higher in the Y direction, about 4%. Even if the height of the side lobe is about 4%, it is possible to read the information signal sufficiently. However, in order to read the information signal more stably against disturbances such as vibration and temperature change, the side lobe needs to be increased. It is desirable to reduce the influence by a method such as lowering.

本発明の第1の目的は、透過光も十分な強度であるホログラムレンズを利用することによって基板厚みの異なる情報媒体(光ディスク)上に回折限界まで光ビームを集光することができ、さらに、外周部の光強度が高くなることの影響を緩和して、より安定な情報信号を得ることのできる光ヘッド装置を提供することである。
本発明の第2の目的は、透過光も十分な強度であるホログラムレンズを利用することによって基板厚みの異なる情報媒体(光ディスク)上に回折限界まで光ビームを集光することができる改良された光ヘッド装置を提供することである。
A first object of the present invention is to make it possible to focus a light beam up to a diffraction limit on an information medium (optical disk) having a different substrate thickness by using a hologram lens having a sufficient intensity of transmitted light. An object of the present invention is to provide an optical head device capable of obtaining a more stable information signal by alleviating the influence of an increase in the light intensity at the outer peripheral portion.
A second object of the present invention is to improve a light beam to a diffraction limit on an information medium (optical disc) having a different substrate thickness by using a hologram lens having a sufficient intensity of transmitted light. An object of the present invention is to provide an optical head device.

本発明に係る第1の光ヘッド装置は、放射光源と、前記放射光源から出射した光を異なる基板厚を介して光ディスク上に集光する対物レンズと、前記光ディスクから反射して戻る光を受光する光検出器を具備し、前記光検出器で前記光ディスクから反射して戻る光を受光することによって、異なる基板厚の光ディスクの情報再生を行うことを特徴とする。ここで、前記対物レンズは、入射する光の通過領域の前記入射光の光軸からの距離によって、対物レンズ面を少なくとも第1と第2の複数の領域に分割し、前記第1の領域を外周部に形成し、前記第1の領域には第1のホログラムを形成し、前記第1の領域を通る光が前記第1のホログラムで回折された1次回折光は透明基板厚さt2の光ディスクに対して収束し、かつ、前記第2の領域に凹凸形状の輪帯からなる第2のホログラムを具備することによって第2の領域を通る光はt1とt2のいずれかの透明基板厚さの光ディスクに対して収束し、t2<t1であり、前記輪帯は前記対物レンズの光軸を中心とする同心円形状とするものであり、かつ前記輪帯を前記対物レンズの曲率の大きい方の、すなわち曲率半径の小さい方の面に一体形成することによって光軸に対して傾いたときに発生する収差を抑圧することを特徴とする。   A first optical head device according to the present invention includes a radiation light source, an objective lens for condensing light emitted from the radiation light source on an optical disc through different substrate thicknesses, and receiving light reflected from the optical disc and returned. The optical detector having a different substrate thickness to reproduce information by receiving light reflected from the optical disk and returned by the optical detector. Here, the objective lens divides the objective lens surface into at least a first and a second plurality of regions according to a distance of an incident light passing area from the optical axis of the incident light, and divides the first area. A first hologram is formed in an outer peripheral portion, a first hologram is formed in the first region, and a first-order diffracted light obtained by diffracting light passing through the first region by the first hologram is an optical disk having a transparent substrate thickness t2. And the second region is provided with a second hologram composed of a concavo-convex annular zone in the second region, so that light passing through the second region has a thickness of the transparent substrate of either t1 or t2. The convergence with respect to the optical disk, t2 <t1, the orbicular zone has a concentric shape centered on the optical axis of the objective lens, and the orbicular zone has a larger curvature of the objective lens. In other words, integrated on the surface with the smaller radius of curvature It characterized by suppressing the aberrations generated when tilted with respect to the optical axis by.

前記第1の光ヘッド装置は、好ましくは、透明基板厚さt1に対応する光ディスクと、t1と異なる透明基板厚さt2に対応する光ディスクとの両方を記録再生する。   The first optical head device preferably records and reproduces both an optical disk corresponding to a transparent substrate thickness t1 and an optical disk corresponding to a transparent substrate thickness t2 different from t1.

本発明に係る第2の光ヘッド装置は、放射光源と、放射光源から出射される光ビームを受けて光ディスク上へ微小スポットに収束する対物レンズと、光ディスクで反射、回折された光ビームを受けてその光量に応じて電気信号を出力する光検出器と、放射光源から対物レンズへと至る光路中に設けられ、部分的に回折格子部を有するホログラムとを具備する。ここで、前記対物レンズは、入射する光の通過領域の前記入射光の光軸からの距離によって、対物レンズ面を少なくとも第1と第2の複数の領域に分割し、前記第1の領域を外周部に形成し、前記第1の領域には第1のホログラムを形成し、前記第1の領域を通る光が前記第1のホログラムで回折された1次回折光は透明基板厚さt2の光ディスクに対して収束し、かつ、前記第2の領域に凹凸形状の輪帯からなる第2のホログラムを具備することによって第2の領域を通る光はt1とt2のいずれかの透明基板厚さの光ディスクに対して収束し、t2<t1であり、前記輪帯は前記対物レンズの光軸を中心とする同心円形状とするものであり、かつ前記輪帯を前記対物レンズの曲率の大きい方の、すなわち曲率半径の小さい方の面に一体形成することによって光軸に対して傾いたときに発生する収差を抑圧する。前記ホログラムは、放射光源と対物レンズの中心とを結ぶ光軸付近は前記回折格子部のない透過部であり、前記光軸から離れた領域に前記回折格子部を形成したものである。そして、前記回折格子部から回折する回折光のうち、光軸に近づく方向に回折する回折光を前記対物レンズによって前記光ディスク上に集光し、前記光ディスクから反射して戻る光を前記光検出器で受光することによって、トラッキングエラー信号を検出する。   A second optical head device according to the present invention includes a radiation light source, an objective lens that receives a light beam emitted from the radiation light source and converges to a minute spot on an optical disc, and receives a light beam reflected and diffracted by the optical disc. And a hologram provided in the optical path from the radiation light source to the objective lens and partially having a diffraction grating portion. Here, the objective lens divides the objective lens surface into at least a first and a second plurality of regions according to a distance of an incident light passing area from the optical axis of the incident light, and divides the first area. A first hologram is formed in an outer peripheral portion, a first hologram is formed in the first region, and a first-order diffracted light obtained by diffracting light passing through the first region by the first hologram is an optical disk having a transparent substrate thickness t2. And the second region is provided with a second hologram composed of a concavo-convex annular zone in the second region, so that light passing through the second region has a thickness of the transparent substrate of either t1 or t2. The convergence with respect to the optical disk, t2 <t1, the orbicular zone has a concentric shape centered on the optical axis of the objective lens, and the orbicular zone has a larger curvature of the objective lens. In other words, integrated on the surface with the smaller radius of curvature Suppressing aberration that occurs when tilted with respect to the optical axis by. In the hologram, a portion near the optical axis connecting the radiation light source and the center of the objective lens is a transmission portion without the diffraction grating portion, and the diffraction grating portion is formed in a region away from the optical axis. Then, of the diffracted light diffracted from the diffraction grating portion, the diffracted light diffracted in a direction approaching the optical axis is condensed on the optical disk by the objective lens, and the light reflected from the optical disk and returned is detected by the photodetector. , A tracking error signal is detected.

前記第2の光ヘッド装置は、好ましくは、放射光源から出射する光ビームは、放射方向に対して垂直で、かつ、互いに垂直な2方向に対して光強度の変化率が異なり、前記ホログラムは、光強度の変化率が最も緩やかな方向をY方向とし、前記Y方向にも前記放射方向にも垂直な方向をX方向としたときに、前記回折格子部を形成する領域を、Y方向に光軸から離れた方向に具備する。   In the second optical head device, preferably, the light beam emitted from the radiation light source is perpendicular to the radiation direction, and has a different rate of change in light intensity in two directions perpendicular to each other. When the direction in which the rate of change of the light intensity is the slowest is defined as the Y direction and the direction perpendicular to both the Y direction and the radiation direction is defined as the X direction, the area where the diffraction grating portion is formed is defined as the Y direction. It is provided in a direction away from the optical axis.

前記第2の光ヘッド装置は、好ましくは、前記回折格子部を、光軸に近づく方向に回折する1次回折光の強度が強くなる方向にブレーズ化する。   In the second optical head device, preferably, the diffraction grating portion is blazed in a direction in which the intensity of the first-order diffracted light diffracted in a direction approaching the optical axis increases.

前記第2の光ヘッド装置は、好ましくは、さらに、放射光源から対物レンズに至る光路の間に、前記放射光源から出射する光ビームを平行光にするコリメートレンズを具備し、光強度補正手段を、前記コリメートレンズの表面に一体形成する。   Preferably, the second optical head device further includes a collimator lens for converting a light beam emitted from the radiation light source into parallel light between an optical path from the radiation light source to the objective lens, and a light intensity correction unit. , Formed integrally with the surface of the collimating lens.

前記第1または第2の光ヘッド装置において、好ましくは、前記対物レンズは、特定の透明基板厚さt2の光ディスクのみに対して光を収束するように設計される対物レンズの第1の領域を、光軸からの距離の最も遠い最外周領域とすることによって、透明基板厚さt2に対する開口数NA2よりも、透明基板厚さt1に対する開口数NA1を小さく(NA1<NA2)する。   In the first or second optical head device, preferably, the objective lens is a first region of the objective lens designed to focus light only on an optical disk having a specific transparent substrate thickness t2. The numerical aperture NA1 for the transparent substrate thickness t1 is made smaller (NA1 <NA2) than the numerical aperture NA2 for the transparent substrate thickness t2 by setting the outermost peripheral area farthest from the optical axis.

前記第1または第2の光ヘッド装置において、好ましくは、前記第1のホログラムの+1次の回折効率をほぼ100%にする。   In the first or second optical head device, preferably, the + 1st-order diffraction efficiency of the first hologram is set to approximately 100%.

前記第1または第2の光ヘッド装置において、好ましくは、放射光源から出射した光を光ディスク上に集光し、前記光ディスクから反射して戻る光を光検出器で受光することによってトラッキングエラー信号を検出し、光ディスクの情報再生を行う。   In the first or second optical head device, preferably, a tracking error signal is generated by condensing light emitted from a radiation light source on an optical disk and receiving light reflected from the optical disk and returned by a photodetector. Detects and reproduces information from the optical disk.

ここで、「対物レンズ」とは、狭義の「対物レンズ」のみならず、広く、光ビームを情報媒体上へ微小スポットに収束する複合レンズも含む。この光ヘッド装置において、対物レンズにおいて、入射光の一部を回折するホログラムレンズと対物レンズとを組み合わせることによって、異なる基板厚(t1とt2)の光ディスク(情報媒体)上に、それぞれ回折限界にまで集光される集光スポットを形成することのできる2焦点レンズを実現できる。この2焦点レンズを用いて少ない部品点数で小型、軽量、低コストの光ヘッド装置でありながら、異なる基板の厚みの光ディスクの記録再生を一つの光ヘッド装置で行うことができる。   Here, the “objective lens” includes not only the “objective lens” in a narrow sense but also a broadly complex lens that converges a light beam to a minute spot on an information medium. In this optical head device, by combining the objective lens with the hologram lens that diffracts a part of the incident light in the objective lens, the diffraction limit is set on an optical disk (information medium) having different substrate thicknesses (t1 and t2). It is possible to realize a bifocal lens capable of forming a condensed spot that condenses light up to the maximum. Using this bifocal lens, a small, lightweight, low-cost optical head device with a small number of components can be used to perform recording and reproduction of optical disks having different substrate thicknesses with one optical head device.

本発明に係る光ディスク装置は、上述のいずれかの光ヘッド装置を用いて、放射光源から出射した光を情報媒体上に集光し、前記情報媒体から反射して戻る光を光検出器で受光することによってトラッキングエラー信号を検出し、情報媒体の情報再生を行う。   An optical disc device according to the present invention uses any one of the optical head devices described above to condense light emitted from a radiation light source onto an information medium, and receive light reflected from the information medium and returned by a photodetector. Thus, a tracking error signal is detected, and information is reproduced from the information medium.

本発明では以下のような効果が得られる。
(1)入射光の一部を回折するホログラムレンズと対物レンズとを組み合わせることによって、異なる基板厚(t1とt2)の光ディスク(情報媒体)上に、それぞれ回折限界にまで集光される集光スポットを形成する事のできる2焦点レンズを実現でき、この2焦点レンズを用いて少ない部品点数で小型、軽量、低コストの光ヘッド装置でありながら、異なる基板の厚みの光ディスクの記録再生を一つの光ヘッド装置で行うことができる。
(2)補正ホログラムあるいは補正フィルタ等の光強度補正手段を具備することにより、情報媒体上で光ビーム(集光スポット)のサイドローブがより一層低くなり、優良な特性の再生信号を得ることができる。
(3)補正ホログラムあるいは補正フィルタ等の光強度補正手段の0次回折効率あるいは透過率の高い部分を厚くし、光路長を長くすることによって、光源として半導体レーザーを用いる場合に、半導体レーザーの非点隔差の悪影響を取り除くか、あるいは、軽減できる。
(4)補正ホログラムあるいは補正フィルタ等の光強度補正手段と組み合わせて、サーボ信号検出用の光検出器の周囲に大きな(望ましくはφ1mm以上)光検出器を設けて、外周の光を受光し、両光検出器の和を情報信号とすることにより、さらに、一層S/N比を向上し、また、周波数特性の向上を図ることもできる。
(5)補正ホログラムあるいは補正フィルタ等の光強度補正手段を対物レンズあるいはコリメートレンズの表面に形成し、部品点数を削減し、より低価格化を図ることもできる。
(6)ホログラムレンズを対物レンズ表面に形成する際に、格子パターンの格子の平均面と格子パターンのない面との表面を連続的につなぎ、かつ、格子パターンの格子の平均面と格子パターンのない面との表面を光ビームをほぼ回折限界に集光できるように設計することにより、良好な集光特性を得ることができる。
According to the present invention, the following effects can be obtained.
(1) By combining a hologram lens that diffracts a part of the incident light and an objective lens, light condensed to the diffraction limit on optical disks (information media) having different substrate thicknesses (t1 and t2). A bifocal lens capable of forming a spot can be realized. Using this bifocal lens, a small, lightweight, low-cost optical head device with a small number of parts can be used for recording and reproducing optical discs having different substrate thicknesses. And two optical head devices.
(2) By providing a light intensity correction means such as a correction hologram or a correction filter, the side lobe of the light beam (condensed spot) on the information medium is further reduced, and a reproduced signal having excellent characteristics can be obtained. it can.
(3) When a semiconductor laser is used as a light source by increasing the thickness of the portion having high zero-order diffraction efficiency or transmittance of the light intensity correcting means such as a correction hologram or a correction filter, thereby increasing the optical path length, The adverse effects of point difference can be eliminated or reduced.
(4) In combination with a light intensity correcting means such as a correction hologram or a correction filter, a large (preferably φ1 mm or more) photodetector is provided around the photodetector for servo signal detection to receive light on the outer periphery, By using the sum of the two photodetectors as an information signal, the S / N ratio can be further improved, and the frequency characteristics can be further improved.
(5) Light intensity correction means such as a correction hologram or a correction filter is formed on the surface of the objective lens or the collimator lens, so that the number of components can be reduced and the cost can be further reduced.
(6) When the hologram lens is formed on the surface of the objective lens, the surfaces of the lattice plane of the lattice pattern and the plane without the lattice pattern are continuously connected, and the average plane of the lattice pattern and the lattice plane are not connected. By designing the surface with and without the surface to be able to condense the light beam to the diffraction limit, it is possible to obtain good light condensing characteristics.

以下、添付の図面を用いて本発明の実施形態を説明する。
図4は、本発明の第1の実施形態の光ヘッド装置を示す。この光ヘッド装置の特徴は、対物レンズ4とホログラムレンズ107から2焦点レンズを構成することと、外周部の光量を低下させる補正ホログラム1221を設けることである。この光ヘッド装置において、半導体レーザなどの放射光源2から出射した光ビーム3は、コリメートレンズ122によって略平行光になり、補正ホログラム1221を通過して外周部の光強度が低下する。光ビームは、さらに、偏光ビームスプリッタ42を透過し、1/4波長板15によって円偏光になる。次に、光ビームは、ホログラムレンズ107と対物レンズ4とに入射し、異なった焦点位置に位置される厚い情報媒体5または薄い情報媒体51の上に集光される。情報媒体5は、基板の厚みt1=1.2mmの光ディスクであり、情報媒体51は、基板の厚みt2=0.6mmの光ディスクである。ここで、「基板の厚み」とは、情報媒体に光ビームの入射する面から情報記録面までの厚みを指す。また、ここで「集光」という言葉を用いたが、「集光」とは、「発散光または平行光を回折限界の微小スポットにまで収束すること」と定義する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 4 shows an optical head device according to the first embodiment of the present invention. The features of this optical head device are that a bifocal lens is constituted by the objective lens 4 and the hologram lens 107, and that a correction hologram 1221 for reducing the amount of light in the outer peripheral portion is provided. In this optical head device, the light beam 3 emitted from the radiation light source 2 such as a semiconductor laser is converted into substantially parallel light by the collimator lens 122, passes through the correction hologram 1221, and the light intensity at the outer peripheral portion is reduced. The light beam further passes through the polarizing beam splitter 42 and is converted into circularly polarized light by the quarter-wave plate 15. Next, the light beam enters the hologram lens 107 and the objective lens 4 and is focused on the thick information medium 5 or the thin information medium 51 located at different focal positions. The information medium 5 is an optical disk having a substrate thickness t1 = 1.2 mm, and the information medium 51 is an optical disk having a substrate thickness t2 = 0.6 mm. Here, the “thickness of the substrate” refers to the thickness from the surface on which the light beam enters the information medium to the information recording surface. In addition, although the term “light collection” is used here, “light collection” is defined as “to converge divergent light or parallel light to a diffraction-limited small spot”.

ホログラムレンズ107は、図5と図6に図式的に示すように、光ビーム3に対して透明な基板9に形成されていて、中央部の輪帯状の格子パターン107aと、その周囲の格子パターンのない領域107bとからなる。格子パターン107aは、同心円状であり、その中心すなわち光軸は対物レンズ4と組立誤差内で一致している。   As schematically shown in FIGS. 5 and 6, the hologram lens 107 is formed on a substrate 9 which is transparent to the light beam 3, and has a ring-shaped grid pattern 107a at the center and a grid pattern around it. And the region 107b without the region. The lattice pattern 107a is concentric, and its center, that is, the optical axis coincides with the objective lens 4 within an assembly error.

ホログラムレンズ107の+1次回折光の回折効率は100%未満であり、ホログラムレンズ107は、光ビーム3aの透過光(0次回折光)61aも、充分な強度を有するように設計する。これは、ホログラムレンズ107を例えば図4に示したように凹凸形状によって作製する場合には、(レリーフ型)凹凸の高さhをh<λ/(n−1)というようにより小さく、すなわち、格子部107aで光ビームに与える位相変化の振幅量を、2πよりも小さくすることによって、容易に実現できる。ここで、λは光ビーム3の波長、nは透明基板9の屈折率である。このようにホログラムレンズ107のどの位置においても、透過光が充分な強度を持つようにすることによって、情報媒体51上に透過光の形成する集光ビームのサイドローブ(図7参照)を低く抑えることができる効果を有する。   The diffraction efficiency of the + 1st-order diffracted light of the hologram lens 107 is less than 100%, and the hologram lens 107 is designed so that the transmitted light (0th-order diffracted light) 61a of the light beam 3a also has a sufficient intensity. This is because, when the hologram lens 107 is manufactured in an uneven shape as shown in FIG. 4, for example, the height h of the (relief type) unevenness is smaller such that h <λ / (n−1). It can be easily realized by making the amplitude of the phase change given to the light beam by the grating unit 107a smaller than 2π. Here, λ is the wavelength of the light beam 3 and n is the refractive index of the transparent substrate 9. As described above, by making the transmitted light have a sufficient intensity at any position of the hologram lens 107, the side lobe (see FIG. 7) of the condensed beam formed by the transmitted light on the information medium 51 is suppressed. Has the effect that can.

なお、ホログラムレンズ107が格子パターン107aと、格子パターンのない領域107bからなる。格子パターン107aの0次回折光(透過光)の位相は、格子パターン107aによって与えられる位相変調量の平均値となる。これに対し、格子パターンのない領域107bの透過光の位相を同じぐらいに合わせることによって、集光性能を向上させることが望ましい。そこで、例えばホログラムレンズ107の格子パターン107aをレリーフ型にする場合は、図6に示すように、格子パターン部の凹凸の平均ぐらいのレベルに格子パターンのない領域107bの表面の高さを合わせる。   The hologram lens 107 is composed of a lattice pattern 107a and a region 107b having no lattice pattern. The phase of the zero-order diffracted light (transmitted light) of the grating pattern 107a is an average value of the amount of phase modulation given by the grating pattern 107a. On the other hand, it is desirable to improve the light-collecting performance by adjusting the phases of the transmitted light in the region 107b without the lattice pattern to the same degree. Therefore, for example, when the hologram lens 107 has a lattice pattern 107a of a relief type, the height of the surface of the region 107b without the lattice pattern is adjusted to the level of the average of the irregularities of the lattice pattern portion as shown in FIG.

情報媒体5または51で反射した光ビ−ムは、もとの光路を逆にたどる。透過光61は、実線で示したようにホログラムレンズ107を再び透過し、また、+1次回折光64は、破線のようにホログラムレンズ107で再び+1次回折光として回折し、どちらも初めに偏光ビームスプリッタ42を通った後と同じ光路を通り、偏光ビームスプリッタ42で反射される。反射された光は、収束レンズ121によって集光され、シリンドリカルレンズ131などの波面変換手段によってフォーカスエラー信号やトラッキングエラー信号などのサーボ信号を得ることができるように波面を変換された後に、光検出器71に入射する。光検出器71の出力を演算することによって、サーボ信号(フォーカスエラー信号とトラッキングエラー信号)及び情報信号を得ることができる。   The light beam reflected by the information medium 5 or 51 reverses the original optical path. The transmitted light 61 again passes through the hologram lens 107 as indicated by the solid line, and the + 1st-order diffracted light 64 is diffracted again as a + 1st-order diffracted light by the hologram lens 107 as indicated by the broken line. The light passes through the same optical path as that after passing through the light source, and is reflected by the polarization beam splitter. The reflected light is condensed by a converging lens 121, and the wavefront is converted by a wavefront converting means such as a cylindrical lens 131 so that a servo signal such as a focus error signal or a tracking error signal can be obtained. Incident on the container 71. By calculating the output of the photodetector 71, a servo signal (a focus error signal and a tracking error signal) and an information signal can be obtained.

ホログラムレンズ107は、例えば図4に示したようにブレーズ化することによって、後述のように2焦点の光ビームを形成する透過光と+1次回折光との光量和を大きくすることができ、光の利用効率を高くできるという効果がある。   The hologram lens 107 can be blazed as shown in FIG. 4, for example, to increase the sum of the amounts of transmitted light and + 1st-order diffracted light that form a bifocal light beam, as described later. There is an effect that utilization efficiency can be increased.

対物レンズ4は、図8の(a)に示すように、ホログラムレンズ107を回折されずに透過した光ビーム61が入射したときに、開口数NAが0.6以上で、基板37の厚みt2の薄い光ディスク51上に、回折限界の集光スポット38aを形成できるよう設計されている。また、この場合ではホログラムレンズ107の格子パターン107aは、対物レンズ4によって決まる開口よりも小さな径の中にだけ形成されている。従って、ホログラムレンズ107の格子パターンが形成されていない部分107bでは回折が全く起こらず、高NAの集光スポット38aの光量が多くなる。   As shown in FIG. 8A, when the light beam 61 transmitted through the hologram lens 107 without being diffracted is incident, the objective lens 4 has a numerical aperture NA of 0.6 or more and the thickness t2 of the substrate 37. It is designed to be able to form a diffraction-limited condensed spot 38a on an optical disk 51 having a small thickness. Further, in this case, the lattice pattern 107a of the hologram lens 107 is formed only within a diameter smaller than the aperture determined by the objective lens 4. Therefore, no diffraction occurs in the portion 107b of the hologram lens 107 where the lattice pattern is not formed, and the light amount of the high NA focused spot 38a increases.

他方、図8の(b)は、低NAで基板37の厚い(厚さt1)情報媒体5上に、回折限界に集光スポット38bを集光できることを示す。ホログラムレンズ107で回折された+1次回折光64は、対物レンズ4によって情報媒体5上に集光される。ここで+1次回折光64は、厚さt1の基板37を通して回折限界まで絞れるように収差補正を施されている。このような収差補正作用を有するホログラムレンズ107の設計方法は、例えば集光スポット38bから発散する球面波が、厚さt1の基板37を透過した後、対物レンズ4を透過し、ホログラムレンズ107を形成している透明基板9を透過した光ビームと、図8の(b)の光ビーム3の位相の正負を反転した光ビームの干渉パターン(ホログラムレンズの格子パターン107a)を計算すればよい。そして、例えばコンピューター・ジェネレイティッド・ホログラム(CGH)の手法などによって、容易にホログラムレンズ107を作製できる。このように、入射光の一部を回折するホログラムレンズ107と対物レンズ4とを組み合わせることによって、異なる基板厚(t1とt2)の光ディスク上に、それぞれ回折限界にまで集光される集光スポットを形成する事のできる2焦点レンズを実現できる。   On the other hand, FIG. 8B shows that the focused spot 38b can be focused to the diffraction limit on the thick (thickness t1) information medium 5 of the substrate 37 with a low NA. The + 1st-order diffracted light 64 diffracted by the hologram lens 107 is collected on the information medium 5 by the objective lens 4. Here, the + 1st-order diffracted light 64 has been subjected to aberration correction so as to be narrowed down to the diffraction limit through the substrate 37 having a thickness t1. The design method of the hologram lens 107 having such an aberration correcting function is as follows. For example, a spherical wave diverging from the condensing spot 38b transmits through the substrate 37 having a thickness t1, then transmits through the objective lens 4, and An interference pattern (a hologram lens lattice pattern 107a) between the light beam transmitted through the formed transparent substrate 9 and the light beam obtained by inverting the sign of the light beam 3 in FIG. 8B may be calculated. The hologram lens 107 can be easily manufactured by, for example, a computer generated hologram (CGH) method. As described above, by combining the hologram lens 107 that diffracts a part of the incident light and the objective lens 4, condensed spots condensed to the diffraction limit on optical discs having different substrate thicknesses (t1 and t2). Can be realized.

ここで、ホログラムレンズ107はレンズ作用を有するので、2つの焦点の光軸方向の位置は異なり、一方の焦点スポットで情報の記録再生をしているときには、他方の焦点を集光点とする光ビームは大きく広がっており、光強度が小さく記録再生には影響を与えない。例えば図8の(a)のように、情報媒体51に対して集光スポット38aが合焦点位置にあるときは、+1次回折光64は情報媒体51の情報記録面上では大きく広がっており、記録再生には影響を与えない。これは図8の(b)の場合もまた同様である。   Here, since the hologram lens 107 has a lens function, the positions of the two focal points in the optical axis direction are different, and when information is recorded / reproduced at one focal spot, light having the other focal point as a focal point is used. The beam spreads greatly, the light intensity is small, and does not affect recording and reproduction. For example, as shown in FIG. 8A, when the converging spot 38a is at the focal point position with respect to the information medium 51, the + 1st-order diffracted light 64 spreads greatly on the information recording surface of the information medium 51, and Does not affect playback. This is the same in the case of FIG.

この2つの焦点位置の差は、一方の焦点スポットで情報の記録再生をしているときに、他方の焦点を集光点とする光ビームが大きく広がって光強度が小さく記録再生に影響を与えないようにするためには、50μm以上でなるべく大きくすることが望ましい。また、コンパクトディスク(CD)やレーザディスク(LD)などの基板厚t1が1.2mm程度で、高密度光ディスクの基板厚t2は0.4mm〜0.8mmが適当と考えられることから、対物レンズのフォーカスサーボ動作を担うアクチュエータの可動範囲を考えて、2焦点位置の差はt1とt2との差0.8mm程度を大きく越えないことが望ましい。従って、図8の(a)のように、高NAで薄い基板に対応した集光スポット38aの焦点距離を短くする場合、2焦点位置の差は50μm以上1mm以下にする。   The difference between the two focal positions affects the recording / reproducing when the information beam is recorded / reproduced at one focal spot, the light beam having the other focal point as the focal point spreads widely and the light intensity is small. In order to avoid this, it is desirable that the thickness be as large as possible at 50 μm or more. Further, since the substrate thickness t1 of a compact disk (CD) or a laser disk (LD) is about 1.2 mm, and the substrate thickness t2 of a high-density optical disk is considered to be 0.4 mm to 0.8 mm, the objective lens Considering the movable range of the actuator that performs the focus servo operation, it is desirable that the difference between the two focal positions does not greatly exceed the difference between t1 and t2 of about 0.8 mm. Therefore, as shown in FIG. 8A, when shortening the focal length of the condensing spot 38a corresponding to a thin substrate with a high NA, the difference between the two focal positions is set to 50 μm or more and 1 mm or less.

本実施形態において、対物レンズ4は、図4に示すように、ホログラムレンズ107を回折されずに透過した光ビーム61が入射したときに、基板の厚み(t2)の薄い光ディスク上に回折限界の集光スポットを形成できるよう設計されている。また、本実施形態のホログラムレンズ107の格子パターン107aは、対物レンズ4によって決まる開口よりも小さな径の中にだけ形成されている。従って、ホログラムレンズ107の格子パターン107bの形成されていない部分では回折が全く起こらない。このように、入射光の一部を回折するホログラムレンズ107と対物レンズ4とを組み合わせることによって、異なる基板厚(t1とt2)の光ディスク上に、それぞれ回折限界にまで集光される集光スポットを形成することのできる2焦点レンズを実現できる。   In the present embodiment, as shown in FIG. 4, when the light beam 61 that has passed through the hologram lens 107 without being diffracted is incident thereon, the objective lens 4 has a diffraction limit on a thin optical disc having a thin substrate (t2). It is designed to form a focused spot. Further, the grating pattern 107a of the hologram lens 107 of the present embodiment is formed only within a diameter smaller than the aperture determined by the objective lens 4. Therefore, no diffraction occurs in the portion of the hologram lens 107 where the grating pattern 107b is not formed. As described above, by combining the hologram lens 107 that diffracts a part of the incident light and the objective lens 4, condensed spots condensed to the diffraction limit on optical discs having different substrate thicknesses (t1 and t2). Can be realized.

情報媒体5、51により反射されたホログラムレンズ107をふたたび通った上記の透過光61と上記の+1次回折光とは、偏光ビームスプリッタ42を初めに通ったときと同じ光路を通って偏光ビームスプリッタ42で反射され、次に、収束レンズ121によって集光される。この集光された光ビームを用いて光検出器71によりサーボ信号の検出を行う。従って、2焦点から反射してきた光ビームの光検出器側での集光点39は、放射光源2の出射点と共役関係にある点で一致する。このため、サーボ信号検出手段も光検出器71も単一のものを共通に用いることができ、少ない部品点数で小型、軽量、低コストの光ヘッド装置でありながら、異なる基板の厚みの光ディスクの記録再生を一つの光ヘッド装置で行うことができるという効果を有する。   The transmitted light 61 and the + 1st-order diffracted light, which have passed through the hologram lens 107 and have been reflected by the information media 5 and 51 again, pass through the same optical path as when they first passed through the polarizing beam splitter 42, and then pass through the polarizing beam splitter 42. Then, the light is reflected by the converging lens 121. The servo signal is detected by the photodetector 71 using the collected light beam. Therefore, the condensing point 39 of the light beam reflected from the two focal points on the photodetector side coincides with a point conjugate with the emission point of the radiation light source 2. Therefore, a single servo signal detecting means and a single photodetector 71 can be used in common, and a small, lightweight, low-cost optical head device with a small number of components, but an optical disc device having a different substrate thickness. There is an effect that recording and reproduction can be performed by one optical head device.

フォーカスエラー信号の検出方式は、スポットサイズディテクション法(SSD法:特開平2−185722号公報)や、非点収差法や、ナイフエッジ法など任意の方法を用いることができる。また、トラッキングエラー信号は、プッシュプル法、ヘテロダイン法、3ビーム法など、やはり任意の方法を採用可能である。   As a method of detecting a focus error signal, any method such as a spot size detection method (SSD method: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-185722), an astigmatism method, and a knife edge method can be used. As the tracking error signal, any method such as a push-pull method, a heterodyne method, and a three-beam method can be adopted.

本発明の特徴の1つは、補正ホログラム1221や補正フィルタ1225のような光強度を外周部で部分的に補正する素子を用いる点にある。光は強さと位相をもっているが、これらの素子は、光量と位相の変調素子であり、これを光学系に具備して光量と位相を所望どおりに変化させ、外周部での光強度を低下させる。   One of the features of the present invention is that an element such as the correction hologram 1221 or the correction filter 1225 that partially corrects the light intensity at the outer peripheral portion is used. Although light has intensity and phase, these elements are light quantity and phase modulation elements, which are provided in an optical system to change the light quantity and phase as desired, and reduce the light intensity at the outer peripheral portion. .

図9に、放射光源2から対物レンズ4へと至る往路の光学系を示す。補正ホログラム1221は、例えば(b)に示すように、光軸3000に近いところには、光を全透過する透過部1223を設け、光軸3000から離れたところには、回折格子部1222を設ける。そして、(a)に示したように、往路において、放射光源2から出射した光ビーム3の光軸付近の光を全て透過し、光軸から離れた部分の光は一部を回折して透過率を低くする。   FIG. 9 shows an optical system on the outward path from the radiation light source 2 to the objective lens 4. In the correction hologram 1221, for example, as shown in (b), a transmissive portion 1223 that totally transmits light is provided near the optical axis 3000, and a diffraction grating portion 1222 is provided far from the optical axis 3000. . Then, as shown in (a), in the outward path, all the light near the optical axis of the light beam 3 emitted from the radiation light source 2 is transmitted, and the light away from the optical axis is partially diffracted and transmitted. Decrease rate.

ここで、回折格子部1222の0次回折光(透過光)の位相は、回折格子部1221によって与えられる位相変調量の平均値となる。これに対して、格子パターンのない領域1223の透過光の位相を同じぐらいに合わせることによって、対物レンズ4による集光性能を向上させることが望ましい。そこで、例えば図9の(b)に示すように、ホログラムの格子パターンをレリーフ型にする場合は、回折格子部1222の凹凸の平均(頂上部と底部の平均)ぐらいのレベルに透過部1223の表面の高さを合わせる。   Here, the phase of the zero-order diffracted light (transmitted light) of the diffraction grating unit 1222 is an average value of the amount of phase modulation given by the diffraction grating unit 1221. On the other hand, it is desirable to improve the light-collecting performance of the objective lens 4 by adjusting the phase of the transmitted light in the region 1223 having no lattice pattern to the same degree. Therefore, for example, as shown in FIG. 9B, when the hologram has a relief-type grating pattern, the transmission portion 1223 has an average level of the unevenness of the diffraction grating portion 1222 (average of the top and bottom portions). Adjust the surface height.

ただし、放射光源2に半導体レーザーを用い、かつ、その半導体レーザーが非点隔差を持つ場合(図1参照)は、図10に示すように、光軸3000を含む中央部の透過部1223aの表面の高さを回析格子部1222の平均より高くする。いいかえれば、透過部1223aの厚みを回析格子部1222よりも厚くし、光路長を長くする。これによって、半導体レーザーの非点隔差の悪影響を減らし、光学系の集光特性をより良くすることもできる。半導体レーザーが非点隔差を持った場合、出射光の広がり角の狭い方向の平面内での集光点が、半導体レーザーの活性層内部へ入り込んでいる。従って、これと直角方向、つまり、出射光の広がり角の広い方向に光学系の凸レンズ作用をより大きくすることによって両方向の集光位置を一致させると、波面収差を低減できる。後述のように、図10のY方向を広がり角の広い方向に一致させることが望ましいので、このY方向に凸レンズ作用を持たせることが望ましい。これが、透過部1223aを厚くするとよい理由である。   However, when a semiconductor laser is used as the radiation light source 2 and the semiconductor laser has an astigmatic difference (see FIG. 1), as shown in FIG. 10, the surface of the central transmission part 1223a including the optical axis 3000 is used. Is higher than the average of the diffraction grating part 1222. In other words, the thickness of the transmission part 1223a is made larger than that of the diffraction grating part 1222, and the optical path length is made longer. Thereby, the adverse effect of the astigmatic difference of the semiconductor laser can be reduced, and the light-collecting characteristics of the optical system can be improved. When the semiconductor laser has an astigmatic difference, a condensing point in a plane in a direction in which the spread angle of the emitted light is small enters the active layer of the semiconductor laser. Therefore, if the converging positions in both directions are made to coincide with each other by making the convex lens action of the optical system larger in a direction perpendicular to the direction, that is, in a direction in which the spread angle of the emitted light is wide, the wavefront aberration can be reduced. As described later, it is desirable to make the Y direction in FIG. 10 coincide with the direction in which the divergence angle is wide, so it is desirable to have a convex lens function in this Y direction. This is the reason why the thickness of the transmission portion 1223a should be increased.

また、補正ホログラム1221から回折する回折光1224は、不要な迷光になる。そこで、対物レンズ4の開口内に入らないようにするか、あるいは、情報媒体5または51で反射した後に、光検出器71に入射しないように設計することが望ましい。   Further, the diffracted light 1224 diffracted from the correction hologram 1221 becomes unnecessary stray light. Therefore, it is desirable to design so that the light does not enter the opening of the objective lens 4 or does not enter the photodetector 71 after being reflected by the information medium 5 or 51.

回折光1224を対物レンズ4の開口内に入らないようにするには、回折格子部1222の格子ピッチを5μm以下、望ましくは2μm以下にするか、図9の(b)に示したように、光軸から離れる方向に回折する回折光強度が強くなる方向に回折格子部1222をブレーズ化した上で、格子ピッチを20μm以下、望ましくは12μm以下にする。   In order to prevent the diffracted light 1224 from entering the opening of the objective lens 4, the grating pitch of the diffraction grating 1222 is set to 5 μm or less, preferably 2 μm or less, or as shown in FIG. After the diffraction grating 1222 is blazed in a direction in which the intensity of the diffracted light diffracted away from the optical axis increases, the grating pitch is set to 20 μm or less, preferably 12 μm or less.

他の方法として、回折光1224が情報媒体5または51で反射した後に、光検出器71に入射しないように設計するためには、回折格子部の格子ピッチを30μm以下、望ましくは10μm以下にする。   As another method, in order to design so that the diffracted light 1224 does not enter the photodetector 71 after being reflected by the information medium 5 or 51, the grating pitch of the diffraction grating portion is set to 30 μm or less, preferably 10 μm or less. .

また逆に、この回析光を情報媒体上に集光し、情報媒体からの反射光を光検出器で受光してその出力から、いわゆる3ビーム法によるトラッキングエラー信号を得ることも可能である。この場合は、上述の場合とは逆に光軸に近づく方向に回析する回析光強度が強くなる方向に回析格子部1222をブレーズ化することが望ましい。   Conversely, it is also possible to condense the diffracted light on the information medium, receive the reflected light from the information medium with a photodetector, and obtain a tracking error signal by the so-called three-beam method from the output. . In this case, contrary to the above-described case, it is desirable to blaze the diffraction grating portion 1222 in a direction in which the intensity of the diffracted light diffracting in the direction approaching the optical axis increases.

図11は、補正ホログラム1221を図9の光軸3000の方向、すなわちZ方向から見た例を示す。光軸3000を表す丸と、光ビーム有効径1224を表す円は、説明のために仮想的に描いたもので、補正ホログラム1221には実際には形成しない。座標軸は、図1や図9と共通である。光ビームの広がり角度の広い方向、すなわち図1のY方向に光軸から離れた部分の光量を下げるため、図11においても、Y方向に光軸から離れた部分を回折格子部1222にすることが望ましい。   FIG. 11 shows an example in which the correction hologram 1221 is viewed from the direction of the optical axis 3000 in FIG. 9, that is, the Z direction. The circle representing the optical axis 3000 and the circle representing the effective beam diameter 1224 are virtually drawn for explanation, and are not actually formed on the correction hologram 1221. The coordinate axes are common to FIG. 1 and FIG. In order to reduce the amount of light in the direction in which the spread angle of the light beam is wide, that is, in the portion away from the optical axis in the Y direction in FIG. 1, the portion away from the optical axis in the Y direction in FIG. Is desirable.

また、遠視野像(FFP)の光強度の等高線は楕円形状であるので、回折格子部1222と透過部1223との境界線を光軸3000から外側に向かって凸にすることにより、光量を有効に利用できるという効果を得ることができる。   In addition, since the contour line of the light intensity of the far-field image (FFP) has an elliptical shape, the light amount is made effective by making the boundary between the diffraction grating portion 1222 and the transmission portion 1223 convex outward from the optical axis 3000. The effect that it can be used for is obtained.

図12は、補正ホログラム1221の0次回折効率(透過率)のY軸方向の変化の例を示す。原点は、光軸3000と補正ホログラム1221との交点である。外周ほど0次回折効率を低くする。このように、補正ホログラム1221を具備することにより、ホログラムレンズ107を通過した光ビームの遠視野像は、図13のようになる。   FIG. 12 shows an example of a change in the zero-order diffraction efficiency (transmittance) of the correction hologram 1221 in the Y-axis direction. The origin is the intersection of the optical axis 3000 and the correction hologram 1221. The 0th-order diffraction efficiency is reduced toward the outer periphery. By providing the correction hologram 1221, the far-field image of the light beam that has passed through the hologram lens 107 is as shown in FIG.

図13は、X方向(a)とY方向(b)の光強度の分布を示す。補正ホログラム1221によってY方向の光強度を低減することによって、Y方向の光強度分布(b)が、図2と異なっている。すなわち、Y方向の外周部の光強度が内周部よりも低くなっている。   FIG. 13 shows the distribution of light intensity in the X direction (a) and the Y direction (b). By reducing the light intensity in the Y direction by the correction hologram 1221, the light intensity distribution (b) in the Y direction is different from that in FIG. That is, the light intensity at the outer periphery in the Y direction is lower than that at the inner periphery.

なお、Y方向の外周部の光強度を内周部よりも低くするためには、補正ホログラム1221の回折格子部1222の0次回折効率を、ホログラムレンズ107の0次回折効率より低くすることが望ましい。   In order to make the light intensity at the outer periphery in the Y direction lower than that at the inner periphery, the zero-order diffraction efficiency of the diffraction grating part 1222 of the correction hologram 1221 must be lower than the zero-order diffraction efficiency of the hologram lens 107. desirable.

図13の(b)の破線は、遠視野像を計算する際に用いた補正ホログラム1221の0次回折効率分布であり、図12の例とは少し異なっている。   The dashed line in FIG. 13B is the 0th-order diffraction efficiency distribution of the correction hologram 1221 used when calculating the far-field image, and is slightly different from the example of FIG.

この時の情報媒体51上での集光スポットプロファイルを計算した結果を図14に示す。(a)X方向、(b)Y方向共にサイドローブ381の高さはメインローブ380の最大値の1%程度に納まっている。すなわち、情報媒体上で光ビーム(集光スポット)のサイドローブ381がより一層低くなり、優良な特性の再生信号を得ることができるという効果を得ることができる。   FIG. 14 shows the result of calculating the focused spot profile on the information medium 51 at this time. In both (a) X direction and (b) Y direction, the height of the side lobe 381 is within about 1% of the maximum value of the main lobe 380. That is, it is possible to obtain an effect that the side lobe 381 of the light beam (condensed spot) on the information medium is further reduced, and a reproduced signal having excellent characteristics can be obtained.

なお、図4のようにコリメートレンズ122を具備する構成では、図15に示したように、補正ホログラム1221をコリメートレンズ122の表面の周辺部に形成することによって部品点数を削減し、より安価に光ヘッド装置を構成することができる。   In the configuration including the collimating lens 122 as shown in FIG. 4, the number of components is reduced by forming the correction hologram 1221 on the peripheral portion of the surface of the collimating lens 122 as shown in FIG. An optical head device can be configured.

なお、以上の実施形態では、補正ホログラムはレリーフ型として説明してきたが、特開昭第61−189504号公報や、特開昭第63−241735号公報にも開示されているように、ニオブ酸リチウム基板の一部をプロトン交換したり、液晶セルを利用しても、同様に位相変調型の補正ホログラムを作製することができる。   In the above embodiment, the correction hologram has been described as a relief type. However, as disclosed in JP-A-61-189504 and JP-A-63-241735, niobium acid is used. Even if a part of the lithium substrate is exchanged with a proton or a liquid crystal cell is used, a phase modulation type correction hologram can be similarly produced.

また、補正ホログラム1221において、回折格子部1222は透過率を低減するために設けているので、回折格子部の代わりに金属膜や誘電体膜を形成して透過率を低減しても良い。この場合、たとえば図16に示すように、補正ホログラムを設ける代わりに、図17に示す補正フィルタ1225が、偏光ビームスプリッタ42の表面に備えられる。この補正フィルタ1225は、金属膜または誘電体膜を両側に透過率低減部1226として設け、その間の中央に透過部1227を設けたものである。図16と図17に挿入したX軸とZ軸は共通である。光ビームの有効径1224は、透過部1227の幅より広くする。このようにビームスプリッタ42の表面に補正フィルタ1225を直接形成することにより、部品点数を低減できると共に、光学部品の面の数を低減でき、反射による光量の損失を避けることができるという効果を得ることができる。また、金属膜としては、安定なクロム等で形成することが望ましい。   Further, in the correction hologram 1221, the diffraction grating portion 1222 is provided to reduce the transmittance, so that the transmittance may be reduced by forming a metal film or a dielectric film instead of the diffraction grating portion. In this case, for example, as shown in FIG. 16, instead of providing a correction hologram, a correction filter 1225 shown in FIG. 17 is provided on the surface of the polarization beam splitter 42. This correction filter 1225 has a metal film or a dielectric film provided on both sides as a transmittance reducing portion 1226, and a transmitting portion 1227 provided in the center between them. The X axis and Z axis inserted in FIGS. 16 and 17 are common. The effective diameter 1224 of the light beam is made wider than the width of the transmitting portion 1227. By forming the correction filter 1225 directly on the surface of the beam splitter 42 as described above, the number of components can be reduced, the number of optical components can be reduced, and the loss of light amount due to reflection can be avoided. be able to. Further, it is desirable that the metal film is formed of stable chromium or the like.

なお、ビームスプリッタの表面に代えて、コリメートレンズ122において、表面に透過率低減部を設けても同様の効果を得ることができる。なお、反射光が半導体レーザーへの戻り光となって戻りノイズを誘発しないために、上記補正フィルタ表面の法線を光軸に対して傾けるとよい。特に図16のように補正フィルタ1225をビームスプリッタ42の表面に備える場合はビームスプリッタ42を傾ける。さらに、前述の回折格子を用いた実施形態と同様に、補正フィルタ1225の透過部1227を図18に示すように厚くし、光路長を長くすることによって、半導体レーザーの非点隔差の悪影響を取り除くことができるという効果をも得ることができる。   It should be noted that the same effect can be obtained by providing a transmittance reducing portion on the surface of the collimator lens 122 instead of the surface of the beam splitter. In order to prevent the reflected light from returning to the semiconductor laser and inducing return noise, the normal to the surface of the correction filter may be inclined with respect to the optical axis. In particular, when the correction filter 1225 is provided on the surface of the beam splitter 42 as shown in FIG. 16, the beam splitter 42 is inclined. Further, as in the above-described embodiment using the diffraction grating, the transmission portion 1227 of the correction filter 1225 is made thick as shown in FIG. 18 and the optical path length is lengthened, thereby eliminating the adverse effect of the astigmatic difference of the semiconductor laser. Can also be obtained.

本実施形態に用いる補正ホログラムまたは補正フィルタと一見似たものが特開昭第58−85944号公報及び特開昭第62−67737号公報に開示されている。前者には、光軸の傾きによるクロストークを減少させるため、たとえば透明な中央部と、光を吸収または反射する縁部とからなる放射減衰素子が光路中に設置され、縁部での放射強度を低減させる。また、後者では、主ビームの他に2本の副ビームを形成するため、光分割手段を光路中に設置する。ここで、サイドローブによるクロストークを減少するため、光分割手段は、主ビームの光強度分布を周辺部で小さくする。しかし、これらは、いずれも、通常の光ビームについて、周辺で光強度を低減させ、光ビームのサイドローブを小さくさせるものである。これに対し、本発明は、入射光の1部を回折するホログラムレンズ107を用いた2焦点レンズ特有の問題点を解決するものである。この場合、光量分布が図2の(b)に示したように特にy方向の外周部で大きく、情報読み取りが不安定になる可能性がある。そこで、本発明は、補正ホログラム(あるいは補正フィルタ)を用いて通常の平坦な光強度分布に戻すものである。これにより、本発明は、上述の従来技術よりもサイドローブ低減の効果が大きく、かつ、異なる基材厚に適した光ビームを1つのレンズで形成できるという顕著な効果を得ることができるものである。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-85944 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-67737 disclose a correction hologram or a correction filter seemingly similar to that used in the present embodiment. In the former, in order to reduce crosstalk due to the inclination of the optical axis, a radiation attenuating element having, for example, a transparent central portion and an edge that absorbs or reflects light is installed in the optical path, and the radiation intensity at the edge is reduced. Is reduced. In the latter case, a light splitting unit is provided in the optical path to form two sub beams in addition to the main beam. Here, in order to reduce crosstalk due to side lobes, the light splitting unit reduces the light intensity distribution of the main beam in the peripheral portion. However, these methods reduce the light intensity around the normal light beam and reduce the side lobe of the light beam. On the other hand, the present invention solves a problem unique to a bifocal lens using a hologram lens 107 that diffracts a part of incident light. In this case, as shown in FIG. 2B, the light amount distribution is large especially at the outer peripheral portion in the y direction, and there is a possibility that information reading becomes unstable. Thus, the present invention uses a correction hologram (or a correction filter) to return to a normal flat light intensity distribution. As a result, the present invention has a remarkable effect that the effect of reducing the side lobe is greater than that of the above-described conventional technology and that a light beam suitable for different substrate thicknesses can be formed by one lens. is there.

図19に示すように、本光ヘッド装置では、情報記録面上に集光されて情報を読みとった光の一部は光検出器上で大きく広がる。例えば、ホログラムレンズ107を用いた本発明の光ヘッド装置で、情報媒体51(基板の厚みがt2の時)の再生を行うとき、情報記録面上に集光されて情報を読みとった光が、ホログラムレンズ107を透過した光を用いてサーボ信号や情報信号を読み出す。ここで、情報記録面上に集光されて情報を読みとった光がホログラムレンズ107で回折された光は、図19に示した1次回折光430の様に大きく広がる。そこで、サーボ信号検出用の光検出器75の周囲に大きな(望ましくはφ1mm以上の大きさの)光検出器75cを設けて、これらの光を受光し、光検出器75の出力と、光検出器75cの出力の和を情報信号とする。これにより、さらに、S/Nを向上し、また、周波数特性の向上を図ることもできるという効果を得ることができる。   As shown in FIG. 19, in the optical head device, a part of the light collected on the information recording surface and reading the information spreads largely on the photodetector. For example, when reproducing the information medium 51 (when the thickness of the substrate is t2) with the optical head device of the present invention using the hologram lens 107, the light collected on the information recording surface and reading the information is A servo signal and an information signal are read using the light transmitted through the hologram lens 107. Here, the light that has been condensed on the information recording surface and has read the information and has been diffracted by the hologram lens 107 spreads greatly like the first-order diffracted light 430 shown in FIG. Therefore, a large photodetector 75c (preferably having a size of 1 mm or more) is provided around the photodetector 75 for detecting the servo signal, receives these lights, and outputs the light of the photodetector 75 and the light detection. The sum of the outputs of the detector 75c is used as an information signal. Thereby, it is possible to obtain an effect that the S / N can be further improved and the frequency characteristics can be improved.

本実施形態で用いる対物レンズは、光を屈折する対物レンズ4と光の一部を回折するホログラムレンズ107との組み合わせで基本的に構成されている。そこで、ホログラムレンズ107と対物レンズ4とを、パッケージ化手段を用いて連結したり、図20に示すように、対物レンズ4上にホログラムレンズの格子パターンを直接作製したりすることにより一体化してもよい。こうすることによって、ホログラムレンズと対物レンズとの光軸ずれを小さくすることができ、ホログラムレンズの+1次回折光の軸外収差をより小さくでき、かつ、一層の軽量化と低コスト化を図ることもできるという効果がある。   The objective lens used in the present embodiment is basically configured by a combination of the objective lens 4 that refracts light and the hologram lens 107 that diffracts a part of the light. Therefore, the hologram lens 107 and the objective lens 4 are integrated by connecting them by using packaging means or by directly forming a lattice pattern of the hologram lens on the objective lens 4 as shown in FIG. Is also good. By doing so, the optical axis deviation between the hologram lens and the objective lens can be reduced, the off-axis aberration of the + 1st order diffracted light of the hologram lens can be reduced, and further weight reduction and cost reduction can be achieved. There is also an effect that can be.

さらにまた、設計上ホログラムレンズが光軸に対して傾くと収差が発生するような場合は、図20に示すように、ホログラムレンズ107の格子パターンを対物レンズ4の曲率の大きな(曲率半径の小さな)面、すなわち情報媒体(光ディスク)の逆側に形成することにより、ホログラムレンズの光軸に対する収差を抑圧することができるという効果を得ることもまた可能である。   Furthermore, in a case where the hologram lens is designed to cause an aberration when tilted with respect to the optical axis, as shown in FIG. 20, the lattice pattern of the hologram lens 107 has a large curvature (a small radius of curvature) of the objective lens 4. ) Surface, that is, on the opposite side of the information medium (optical disk), it is also possible to obtain the effect that the aberration with respect to the optical axis of the hologram lens can be suppressed.

なお、図20の格子パターン107aの0次回折光(透過光)の位相は、格子パターン107aによって与えられる位相変調量の平均値となる。従って、格子パターン107aの格子の凹凸の高さの平均の面1070(点線で表示)と、格子パターンのない面1071との表面を連続的につなぎ、かつ、格子パターン107aの格子の平均面1070と格子パターンのない面1071との表面を、基板厚t2を通して光ビームをほぼ回折限界に集光できるように設計する。   Note that the phase of the zero-order diffracted light (transmitted light) of the grating pattern 107a in FIG. 20 is the average value of the amount of phase modulation given by the grating pattern 107a. Therefore, the surface of the average height 1070 (shown by a dotted line) of the height of the unevenness of the lattice of the lattice pattern 107a and the surface 1071 having no lattice pattern are continuously connected, and the average surface 1070 of the lattice of the lattice pattern 107a is formed. And the surface of the surface 1071 having no lattice pattern are designed so that the light beam can be focused to the diffraction limit through the substrate thickness t2.

さらに、次の実施形態として、ホログラムレンズ107を凸レンズ型に設計し、+1次回折光を、基板厚みt2に対して集光し、0次光を基板厚みt1に対して集光することも可能である。この時、外周部の+1次回折効率はほぼ100%とし、内周部の回折効率は100%より小さくする。そして、上述の実施形態の説明中、ホログラムレンズ107の0次回折効率を+1次回折効率と読み代え、ホログラムレンズ107の+1次回折効率を0次回折効率と読み代えることにより、補正ホログラム1221は、同様の構成で同様の効果を得ることができる。そして、この実施形態では基板厚t2に対して、色収差が低減される、あるいは、発生しなくなるという効果がある。また逆に、この回析光を情報媒体上に集光し、情報媒体からの反射光を光検出器で受光して、その出力から、いわゆる3ビーム法によるトラッキングエラー信号を得ることも可能である。この場合は、上述とは逆に、光軸に近づく方向に回析する回析光強度が強くなる方向に回析格子部1222をブレーズ化することが望ましい。   Further, as the next embodiment, it is also possible to design the hologram lens 107 into a convex lens type, focus + 1st-order diffracted light on the substrate thickness t2, and condense 0th-order light on the substrate thickness t1. is there. At this time, the + 1st-order diffraction efficiency at the outer periphery is set to almost 100%, and the diffraction efficiency at the inner periphery is smaller than 100%. In the description of the above-described embodiment, the 0th-order diffraction efficiency of the hologram lens 107 is replaced with the + 1st-order diffraction efficiency, and the + 1st-order diffraction efficiency of the hologram lens 107 is replaced with the 0th-order diffraction efficiency. A similar effect can be obtained with a similar configuration. In this embodiment, there is an effect that chromatic aberration is reduced or no longer occurs with respect to the substrate thickness t2. Conversely, it is also possible to condense this diffracted light on the information medium, receive the reflected light from the information medium with a photodetector, and obtain a tracking error signal by the so-called three-beam method from the output. is there. In this case, contrary to the above, it is desirable to blaze the diffraction grating portion 1222 in a direction in which the diffraction light intensity diffracted in the direction approaching the optical axis increases.

なお、図21は、光ヘッド装置の別の実施形態の概略を示す。この光ヘッド装置が図4に示す光ヘッド装置と異なる点は、有限光学系を用いている点と、ビームスプリッタ363が平板である点である。この差異により、部品点数の低減とコストダウンの効果がある。放射光源2からの光ビーム3は、補正ホログラム1221により外周部の光強度を変化された後、ビームスプリッタ363により90°反射されて、ホログラムレンズの格子パターン107を備えた対物レンズ(2焦点レンズ)4(図20参照)により、情報媒体5、51上に集光される。情報媒体5、51からの反射光は、ビームスプリッタ363を透過して、光検出器71に入射する。   FIG. 21 schematically shows another embodiment of the optical head device. This optical head device differs from the optical head device shown in FIG. 4 in that a finite optical system is used and that the beam splitter 363 is a flat plate. This difference has the effect of reducing the number of parts and cost. The light beam 3 from the radiation light source 2 has its outer peripheral portion changed in intensity by the correction hologram 1221, is reflected 90 ° by the beam splitter 363, and has an objective lens (bifocal lens) having the hologram lens lattice pattern 107. 4) (see FIG. 20), the light is focused on the information media 5, 51. The reflected light from the information media 5 and 51 passes through the beam splitter 363 and enters the photodetector 71.

光量と位相の変調素子(補正フィルタなど)は、簡単に製造できることが望ましい。補正フィルタ1225は、透過率低減部1226と段差の2種のパターンを形成する必要があるが、以下に例示する製作法においては、パターニングのためのマスキング工程は1回だけ行えばよく、簡単かつ安価に製造可能である。以下、透過率低減部1226は、クロムなどの金属膜を例にとって説明するが、誘電体膜に代えることもできる。図22は、補正フィルタ1225の製造法を示す。   It is desirable that the light amount and phase modulation element (such as a correction filter) can be easily manufactured. The correction filter 1225 needs to form two types of patterns, that is, a transmittance reduction unit 1226 and a step. However, in the manufacturing method exemplified below, the masking step for patterning needs to be performed only once, which is simple and easy. It can be manufactured at low cost. Hereinafter, the transmittance reducing unit 1226 will be described using a metal film such as chromium as an example, but it can be replaced with a dielectric film. FIG. 22 shows a method of manufacturing the correction filter 1225.

まず、(a)に示すように、透明基板12252を洗浄したのち、レジスト膜12251をその表面にコートする。基板12252は、図16に示した例のように、ビームスプリッタ42の表面に補正フィルタ1225を作成する場合は、ビームスプリッタそのものである。   First, as shown in (a), after cleaning the transparent substrate 12252, a resist film 12251 is coated on the surface. The substrate 12252 is the beam splitter itself when forming the correction filter 1225 on the surface of the beam splitter 42 as in the example shown in FIG.

次に、(b)に示すように、基板12254上の1部に光を遮るマスク材料(一般的にクロム)12255を形成したフォトマスク12253がレジスト膜12251の上に載せられる。このフォトマスク12253を通してレジスト膜12251をパターニングのために露光する。   Next, as shown in (b), a photomask 12253 in which a mask material (typically chromium) 12255 for blocking light is formed on a part of the substrate 12254 is placed on the resist film 12251. The resist film 12251 is exposed through the photomask 12253 for patterning.

次に、(c)に示すように、フォトマスク12253を除いて、レジスト膜12251を現像する。これにより、補正フィルタ1225の透過部1227に相当する部分のみにレジスト膜が残る。   Next, as shown in (c), the resist film 12251 is developed except for the photomask 12253. As a result, the resist film remains only in the portion corresponding to the transmission portion 1227 of the correction filter 1225.

次に、(d)に示すように、残ったレジスト膜12251をマスクにしてエッチングを行なう。これにより、基板12252の表面のうち、レジスト膜12251のない部分のみがエッチングされる。こうして、レジスト膜12251を上に載せた段差が形成される。   Next, as shown in (d), etching is performed using the remaining resist film 12251 as a mask. Thus, only the portion of the surface of the substrate 12252 where the resist film 12251 is not present is etched. Thus, a step having the resist film 12251 thereon is formed.

次に、(e)に示すように、金属膜12261を蒸着またはスパッタにより形成する。金属膜12261の厚さは、段差の高さより小さい。   Next, as shown in (e), a metal film 12261 is formed by vapor deposition or sputtering. The thickness of the metal film 12261 is smaller than the height of the step.

最後に、(f)に示すように、レジスト膜12251を有機溶剤などにより除去する。このとき、レジスト膜12251上に形成された金属膜も同時に除去できる(リフトオフ)。こうして、補正フィルタ1225が完成する。   Finally, as shown in (f), the resist film 12251 is removed with an organic solvent or the like. At this time, the metal film formed on the resist film 12251 can be simultaneously removed (lift-off). Thus, the correction filter 1225 is completed.

図23は、補正フィルタ1225の別の製造法を示す。まず、(a)に示すように、透明基板12252を洗浄したのち、基板12251の表面上に金属膜12261を蒸着する。   FIG. 23 shows another method of manufacturing the correction filter 1225. First, as shown in (a), after cleaning the transparent substrate 12252, a metal film 12261 is deposited on the surface of the substrate 12251.

次に、(b)に示すように、さらにレジスト膜12251を金属膜12261上に塗布する。   Next, as shown in (b), a resist film 12251 is further applied on the metal film 12261.

次に、(c)に示すように、基板12254上の1部に光を遮るマスク材料(一般的にクロム)12255を形成したフォトマスク12253がレジスト膜12251の上に載せられる。マスク材料12255は、中央部以外に形成される。このフォトマスク12253を通してレジスト膜12251をパターニングのために露光する。   Next, as shown in (c), a photomask 12253 in which a mask material (generally chrome) 12255 for shielding light is formed on a part of the substrate 12254 is placed on the resist film 12251. The mask material 12255 is formed at portions other than the central portion. The resist film 12251 is exposed through the photomask 12253 for patterning.

次に、フォトマスク12253を取り除き、レジスト膜12251を現像する。こうして、(d)に示すように、レジスト膜12251は、露光されない部分にのみ残る。
次に、残ったレジスト膜12251をマスクにして金属膜12261をエッチする。こうして、(e)に示すように、透過部1227に相当する部分の金属膜12261が除去される。
Next, the photomask 12253 is removed, and the resist film 12251 is developed. Thus, as shown in (d), the resist film 12251 remains only in the unexposed portions.
Next, the metal film 12261 is etched using the remaining resist film 12251 as a mask. Thus, as shown in (e), the portion of the metal film 12261 corresponding to the transmission portion 1227 is removed.

次に、(f)に示すように、SiO2などの透明な膜12262を形成する。この膜12262の厚さは、金属膜12261の厚さより大きい。 Next, as shown in (f), a transparent film 12262 such as SiO 2 is formed. The thickness of the film 12262 is larger than the thickness of the metal film 12261.

次に、(g)に示すように、レジスト膜12251を溶剤で溶かすなどして除去する。このとき、レジスト膜12251の上に載っているSiO2は、同時に除去される(リフトオフ)。こうして、補正フィルタ1225が完成する。 Next, as shown in (g), the resist film 12251 is removed by dissolving with a solvent or the like. At this time, the SiO 2 on the resist film 12251 is simultaneously removed (lift-off). Thus, the correction filter 1225 is completed.

本発明に係る対物レンズの設計方法、光ヘッド装置及び光ディスク装置は、光媒体もしくは光磁気媒体(情報媒体)上に記憶される情報の記録・再生あるいは消去に利用される。   The objective lens design method, optical head device, and optical disk device according to the present invention are used for recording / reproducing or erasing information stored on an optical medium or a magneto-optical medium (information medium).

半導体レーザーの出射光の広がりの様子を説明するための斜視図である。FIG. 4 is a perspective view for explaining a state of spread of light emitted from a semiconductor laser. 光ビームの光量分布のグラフであり、(a)はX方向の光量分布を示し、(b)はY方向の光量分布を示す。It is a graph of the light quantity distribution of a light beam, (a) shows the light quantity distribution of an X direction, (b) shows the light quantity distribution of a Y direction. 情報媒体上での集光スポットの光量分布のグラフであり、(a)は、X方向の光量分布を示し、(b)は、Y方向の光量分布を示す。It is a graph of the light quantity distribution of the condensing spot on an information medium, (a) shows the light quantity distribution in the X direction, (b) shows the light quantity distribution in the Y direction. 本発明の実施形態の光ヘッド装置の概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of an optical head device according to an embodiment of the present invention. ホログラムレンズのホログラムパターンを表す平面図である。It is a top view showing the hologram pattern of a hologram lens. ホログラムレンズの断面図である。It is sectional drawing of a hologram lens. 情報媒体上での集光スポットの光量分布のグラフである。5 is a graph of a light amount distribution of a converging spot on an information medium. 2つの焦点での透過光の集光状況を説明するための複合対物レンズの断面図であり、(a)は、ホログラムレンズの格子パタ−ン以外にも透過光が透過する場合、(b)はホログラムレンズの格子パタ−ン以内のみに透過光が透過する場合を示す。It is sectional drawing of the compound objective lens for demonstrating the condensing state of the transmitted light at two focuses, (a) is a case where transmitted light transmits other than the grating pattern of a hologram lens, (b) Indicates a case where the transmitted light is transmitted only within the grating pattern of the hologram lens. 補正ホログラムの作用を説明するための図であり、(a)は、補正ホログラムにより外周部での光強度抑制を説明する概略を示し、(b)は、補正ホログラムを示す。It is a figure for demonstrating the effect | action of a correction | amendment hologram, (a) shows the outline explaining light intensity suppression in an outer peripheral part by a correction | amendment hologram, (b) shows a correction | amendment hologram. 補正ホログラムを備える光ヘッド装置の図式的断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view of an optical head device including a correction hologram. 補正ホログラムの図式的平面図である。It is a schematic plan view of a correction hologram. Y方向の透過率分布を示すグラフである。It is a graph which shows the transmittance distribution of a Y direction. 補正ホログラムを備えるときの光ビームの光量分布のグラフであり、(a)は、X方向の光量分布を、(b)は、Y方向の光量分布を示す。It is a graph of the light amount distribution of the light beam when it has a correction hologram, (a) shows the light amount distribution in the X direction, and (b) shows the light amount distribution in the Y direction. 情報媒体上での集光スポットの光量分布のグラフであり、(a)は、X方向の光量分布を、(b)は、Y方向の光量分布を示す。It is a graph of the light quantity distribution of the condensed spot on the information medium, (a) shows the light quantity distribution in the X direction, and (b) shows the light quantity distribution in the Y direction. 補正ホログラムを備えたコリメートレンズの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a collimator lens provided with a correction hologram. 光ヘッド装置の断面図である。It is sectional drawing of an optical head device. 補正フィルタの平面図である。It is a top view of a correction filter. 補正フィルタの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a correction filter. 光検出器上での光の様子を説明するための斜視図である。FIG. 3 is a perspective view for explaining a state of light on a photodetector. 複合対物レンズの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a compound objective lens. 複合対物レンズを備えた光ヘッド装置の別の実施形態の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of another embodiment of the optical head device including the compound objective lens. 補正フィルタの製造法を示す図である。It is a figure showing the manufacturing method of a correction filter. 補正フィルタの別の製造法を示す図である。It is a figure showing another manufacturing method of a correction filter.

符号の説明Explanation of reference numerals

2 放射光源、 3 光ビーム、 4 対物レンズ、 5、51 情報媒体、 71 光検出器、 36 ビームスプリッタ、 107 ホログラムレンズ、 121 収束レンズ、 122 コリメートレンズ、 1221 補正ホログラム、 1225 補正フィルタ。   2 radiation light source, 3 light beam, 4 objective lens, 5, 51 information medium, 71 photodetector, 36 beam splitter, 107 hologram lens, 121 convergent lens, 122 collimating lens, 1221 correction hologram, 1225 correction filter.

Claims (9)

放射光源と、
前記放射光源から出射した光を異なる基板厚を介して光ディスク上に集光する対物レンズと、
前記光ディスクから反射して戻る光を受光する光検出器を具備し、
前記光検出器で前記光ディスクから反射して戻る光を受光することによって、異なる基板厚の光ディスクの情報再生を行うことを特徴とする光ヘッド装置であって、
前記対物レンズは、入射する光の通過領域の前記入射光の光軸からの距離によって、対物レンズ面を少なくとも第1と第2の複数の領域に分割し、前記第1の領域を外周部に形成し、前記第1の領域には第1のホログラムを形成し、前記第1の領域を通る光が前記第1のホログラムで回折された1次回折光は透明基板厚さt2の光ディスクに対して収束し、かつ、前記第2の領域に凹凸形状の輪帯からなる第2のホログラムを具備することによって第2の領域を通る光はt1とt2のいずれかの透明基板厚さの光ディスクに対して収束し、t2<t1であり、前記輪帯は前記対物レンズの光軸を中心とする同心円形状とするものであり、かつ前記輪帯を前記対物レンズの曲率の大きい方の、すなわち曲率半径の小さい方の面に一体形成することによって光軸に対して傾いたときに発生する収差を抑圧することを特徴とする光ヘッド装置。
A radiation source,
An objective lens for condensing light emitted from the radiation light source on an optical disc through different substrate thicknesses,
Comprising a photodetector for receiving light reflected back from the optical disc,
An optical head device, comprising: reproducing information on an optical disk having a different substrate thickness by receiving light reflected from the optical disk and returned by the optical detector,
The objective lens divides the objective lens surface into at least a first and a second plurality of regions according to a distance from a light axis of the incident light to a passing region of the incident light, and the first region is formed on an outer peripheral portion. A first hologram is formed in the first area, and a first-order diffracted light obtained by diffracting light passing through the first area by the first hologram is applied to an optical disk having a transparent substrate thickness t2. By providing a second hologram composed of concavo-convex annular zones in the second area, the light passing through the second area is transmitted to an optical disk having a transparent substrate thickness of either t1 or t2. T2 <t1, the orbicular zone has a concentric shape centered on the optical axis of the objective lens, and the orbicular zone has a larger curvature of the objective lens, that is, a radius of curvature. Formed on the smaller side of An optical head apparatus characterized by suppressing aberration that occurs when tilted with respect to the optical axis by.
透明基板厚さt1に対応する光ディスクと、t1と異なる透明基板厚さt2に対応する光ディスクとの両方を記録再生する請求項1記載の光ヘッド装置。 2. The optical head device according to claim 1, wherein both the optical disk corresponding to the transparent substrate thickness t1 and the optical disk corresponding to the transparent substrate thickness t2 different from t1 are recorded and reproduced. 放射光源と、放射光源から出射される光ビームを受けて光ディスク上へ微小スポットに収束する対物レンズと、光ディスクで反射、回折された光ビームを受けてその光量に応じて電気信号を出力する光検出器と、放射光源から対物レンズへと至る光路中に設けられ、部分的に回折格子部を有するホログラムとを具備し、
前記対物レンズは、入射する光の通過領域の前記入射光の光軸からの距離によって、対物レンズ面を少なくとも第1と第2の複数の領域に分割し、前記第1の領域を外周部に形成し、前記第1の領域には第1のホログラムを形成し、前記第1の領域を通る光が前記第1のホログラムで回折された1次回折光は透明基板厚さt2の光ディスクに対して収束し、かつ、前記第2の領域に凹凸形状の輪帯からなる第2のホログラムを具備することによって第2の領域を通る光はt1とt2のいずれかの透明基板厚さの光ディスクに対して収束し、t2<t1であり、前記輪帯は前記対物レンズの光軸を中心とする同心円形状とするものであり、かつ前記輪帯を前記対物レンズの曲率の大きい方の、すなわち曲率半径の小さい方の面に一体形成することによって光軸に対して傾いたときに発生する収差を抑圧し、
前記ホログラムは、放射光源と対物レンズの中心とを結ぶ光軸付近は前記回折格子部のない透過部であり、前記光軸から離れた領域に前記回折格子部を形成したものであり、
前記回折格子部から回折する回折光のうち、光軸に近づく方向に回折する回折光を前記対物レンズによって前記光ディスク上に集光し、前記光ディスクから反射して戻る光を前記光検出器で受光することによって、トラッキングエラー信号を検出することを特徴とする光ヘッド装置。
A radiation light source, an objective lens that receives a light beam emitted from the radiation light source, and converges on an optical disk into a minute spot, and a light that receives an optical beam reflected and diffracted by the optical disk and outputs an electric signal according to the light amount Detector, provided in the optical path from the radiation light source to the objective lens, comprising a hologram partially having a diffraction grating portion,
The objective lens divides the objective lens surface into at least a first and a second plurality of regions according to a distance from a light axis of the incident light to a passing region of the incident light, and the first region is formed on an outer peripheral portion. A first hologram is formed in the first area, and a first-order diffracted light obtained by diffracting light passing through the first area by the first hologram is applied to an optical disk having a transparent substrate thickness t2. By providing a second hologram composed of concavo-convex annular zones in the second area, the light passing through the second area is transmitted to an optical disk having a transparent substrate thickness of either t1 or t2. T2 <t1, the orbicular zone has a concentric shape centered on the optical axis of the objective lens, and the orbicular zone has a larger curvature of the objective lens, that is, a radius of curvature. Formed on the smaller side of Suppressing aberration generated when the inclined with respect to the optical axis by,
The hologram is a transmission portion without the diffraction grating portion near the optical axis connecting the radiation light source and the center of the objective lens, the diffraction grating portion is formed in a region away from the optical axis,
Of the diffracted light diffracted from the diffraction grating portion, the diffracted light diffracted in the direction approaching the optical axis is focused on the optical disk by the objective lens, and the light reflected from the optical disk and returned is received by the photodetector. An optical head device for detecting a tracking error signal.
放射光源から出射する光ビームは、放射方向に対して垂直で、かつ、互いに垂直な2方向に対して光強度の変化率が異なり、前記ホログラムは、光強度の変化率が最も緩やかな方向をY方向とし、前記Y方向にも前記放射方向にも垂直な方向をX方向としたときに、前記回折格子部を形成する領域を、Y方向に光軸から離れた方向に具備することを特徴とする請求項3記載の光ヘッド装置。 The light beam emitted from the radiation light source is perpendicular to the radiation direction and has a different rate of change in light intensity in two directions perpendicular to each other, and the hologram has a direction in which the rate of change in light intensity is the gentlest. When a direction perpendicular to both the Y direction and the radiation direction is defined as an X direction, a region forming the diffraction grating portion is provided in a direction away from the optical axis in the Y direction. The optical head device according to claim 3, wherein 前記回折格子部を、光軸に近づく方向に回折する1次回折光の強度が強くなる方向にブレーズ化することを特徴とする請求項3または4に記載の光ヘッド装置。 The optical head device according to claim 3, wherein the diffraction grating portion is blazed in a direction in which the intensity of the first-order diffracted light diffracted in a direction approaching the optical axis increases. さらに、放射光源から対物レンズに至る光路の間に、前記放射光源から出射する光ビームを平行光にするコリメートレンズを具備し、光強度補正手段を、前記コリメートレンズの表面に一体形成することを特徴とする請求項3、4または5に記載の光ヘッド装置。 Further, a collimating lens for collimating a light beam emitted from the radiation light source is provided between an optical path from the radiation light source to the objective lens, and a light intensity correction unit is integrally formed on a surface of the collimating lens. The optical head device according to claim 3, 4 or 5, wherein: 前記対物レンズは、特定の透明基板厚さt2の光ディスクのみに対して光を収束するように設計される対物レンズの第1の領域を、光軸からの距離の最も遠い最外周領域とすることによって、透明基板厚さt2に対する開口数NA2よりも、透明基板厚さt1に対する開口数NA1を小さく(NA1<NA2)することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光ヘッド装置。 In the objective lens, a first region of the objective lens designed to converge light only to an optical disk having a specific transparent substrate thickness t2 is an outermost peripheral region farthest from the optical axis. 7. The optical head device according to claim 1, wherein the numerical aperture NA1 for the transparent substrate thickness t1 is made smaller (NA1 <NA2) than the numerical aperture NA2 for the transparent substrate thickness t2. . 前記第1のホログラムの+1次の回折効率をほぼ100%にすることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の光ヘッド装置。 8. The optical head device according to claim 1, wherein the + 1st-order diffraction efficiency of the first hologram is set to approximately 100%. 請求項1〜8のいずれかに記載の光ヘッド装置を用いて、
放射光源から出射した光を光ディスク上に集光し、
前記光ディスクから反射して戻る光を光検出器で受光することによってトラッキングエラー信号を検出し、
光ディスクの情報再生を行うことを特徴とする光ディスク装置。
Using the optical head device according to any one of claims 1 to 8,
Focus the light emitted from the radiation source on the optical disc,
A tracking error signal is detected by receiving light reflected from the optical disk and returned by a photodetector,
An optical disk device for reproducing information from an optical disk.
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