JP2004262719A - Method of manufacturing fluorine added glass article - Google Patents

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JP2004262719A JP2003055510A JP2003055510A JP2004262719A JP 2004262719 A JP2004262719 A JP 2004262719A JP 2003055510 A JP2003055510 A JP 2003055510A JP 2003055510 A JP2003055510 A JP 2003055510A JP 2004262719 A JP2004262719 A JP 2004262719A
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fluorine
glass
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glass article
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Masataka Ikeda
真挙 池田
Shoji Tanigawa
庄二 谷川
Shoichiro Matsuo
昌一郎 松尾
Kuniharu Himeno
邦治 姫野
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Fujikura Ltd
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Fujikura Ltd
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluorine added glass article having a core material having small curvature and small eccentricity even when one having a fine diameter, one formed from a silica material having a low softening temperature or one formed by depositing a large quantity of low bulk density glass soot is used as the core material in the manufacture of the fluorine added glass article such as a fluorine added optical fiber preform by the outside vapor phase deposition method. <P>SOLUTION: In the manufacture of the fluorine added glass article by depositing the glass soot on the periphery of the core material 21 by the outside vapor phase deposition method to obtain a porous glass preform 2 and adding fluorine into a glass soot layer 22 of the porous glass preform 2 to make transparent, fluorine is added under a condition controlled to 1,100≤x≤1,200 and satisfying a relation, -0.12x+204≤y≤-0.13x+228, when the fluorine addition temperature is expressed by (x) (°C) and the fluorine addition time is expressed by (y) (min). <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、フッ素添加光ファイバ母材などのフッ素添加ガラス物品を製造する方法に関し、コア材の曲がりが少なく、偏心率の小さいフッ素添加ガラス物品が得られるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、フッ素添加光ファイバ母材の製造方法として、外付け法（ＯＶＤ法）をベースとしたものが知られている。
この製造方法は、丸棒状のシリカなどからなるコア材の周囲に、気相反応により生成したガラス微粒子を堆積しガラススート層を形成して、多孔質ガラス母材とし、ついでこの多孔質ガラス母材を加熱炉内で、ＳｉＦ４、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６などのフッ素化合物ガスを含む雰囲気下で加熱してガラススート層にフッ素を添加してたのち、このガラススート層を加熱し、透明ガラス化してフッ素添加光ファイバ母材とするものである。
【０００３】
この製造に際して、フッ素添加時の温度を１１００〜１４００℃とすることが好ましいとされ（特許文献１）、ガラススートの嵩密度を低くするとフッ素の添加が均一に行えるとされている（特許文献２）。
【０００４】
ところで、このようなフッ素添加光ファイバ母材の製造にあっては、コア材として、その直径が１５ｍｍ以下の細いものを用いた場合、あるいはコア材として、ドーパントが添加され、軟化温度が低下しているシリカを用いた場合において、このコア材に多量の低嵩密度のガラススートを堆積した場合には、フッ素添加時においてガラススート層が収縮して、得られるフッ素添加光ファイバ母材内でコア材が湾曲して、コア材の偏心が激しくなる不都合があった。
【０００５】
特に、ガラススート層にフッ素が添加されると、これと同時にその軟化温度が低下し、フッ素添加時の加熱温度によりガラススートが収縮してしまうことになり、コア材の湾曲がさらに増大することが生じる。
コア材の偏心が激しくなった場合、光ファイバの接続において、接続損失が悪化する。このため、偏心率は、一般的なマルチモードファイバにおいては３％以内、一般的なシングルモードファイバにおいては０．６％以内にすることが望ましい。
【０００６】
【特許文献１】
特開昭６０−９０８４２号公報
【特許文献２】
特開２００２−１１４５２２号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
よって、本発明における課題は、外付け法によりフッ素添加光ファイバ母材などのフッ素添加ガラス物品を製造する際、コア材として細径のものを使用した場合、軟化温度が低いシリカなどからなるものを使用した場合において、多量の嵩密度の低いガラススートを堆積した場合でも、湾曲が少なく、偏心量が小さいフッ素添加ガラス物品を製造できるようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため、
請求項１にかかる発明は、コア材の周囲に、外付け法によりガラススートを堆積して多孔質ガラス母材を得た後、この多孔質ガラス母材のガラススート層にフッ素を添加し、さらに透明ガラス化して、フッ素添加ガラス物品を製造する際、
フッ素添加温度をｘ（℃）とし、フッ素添加時間をｙ（分）としたときに、
１１００≦ｘ≦１２００とし、かつ
−０．１２ｘ＋２０４≦ｙ≦−０．１３ｘ＋２２８
を満足する条件で、フッ素添加を行うことを特徴とするフッ素添加ガラス物品の製造方法である。
【０００９】
請求項２にかかる発明は、コア材の直径が、１５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のフッ素添加ガラス物品の製造方法である。
請求項３にかかる発明は、焼結後のコア材の直径をａとし、透明化ガラス母材の直径をｂとしたとき、ｂ／ａが２．５以上であることを特徴とする請求項１または２記載のフッ素添加ガラス物品の製造方法である。
【００１０】
請求項４にかかる発明は、コア材が、純粋シリカまたはゲルマニウムおよび／またはフッ素が添加されたシリカであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の多孔質ガラス物品の製造方法である。
請求項５にかかる発明は、堆積されたガラススート層の嵩密度が、０．２〜０．４ｇ／ｃｍ３であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の多孔質ガラス物品の製造方法である。
【００１１】
請求項６にかかる発明は、フッ素添加時のフッ素化合物ガス濃度が２％以上であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のフッ素添加ガラス物品の製造方法である。
請求項７にかかる発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載の製造方法で製造され、コア材の偏心率が３％以下であることを特徴とするフッ素添加ガラス物品である。
請求項８にかかる発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載の製造方法で製造され、コア材の偏心率が０．６％以下であることを特徴とするフッ素添加ガラス物品である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の製造方法に用いられる製造装置の一例を示すもので、図中符号１は、加熱炉を示し、この例の加熱炉１は傾斜炉である。
【００１３】
この加熱炉１は、多孔質ガラス母材２を収容する円筒状の炉心管３と、この炉心管３を加熱するカーボンヒータ４を有するものである。また、この加熱炉１の上部には、図示しない把持装置が設けられており、この把持装置により炉心管３内に収められた多孔質ガラス母材２が把持され、かつ加熱炉１の上部から下部に向けて往復移動することができるようになっている。
【００１４】
そして、炉心管３内の多孔質ガラス母材２が、カーボンヒータ４によって形成されたヒートゾーン５を通過する際に、その先端から徐々に加熱されるようになっている。また、炉心管３内部にフッ素化合物ガスが図示しない供給装置から供給され、炉心管３内が所望の濃度のフッ素ガス雰囲気になるようになっている。
【００１５】
上記多孔質ガラス母材２は、周知の外付け法によって作製されたもので、丸棒状のシリカなどからなるコア材２１の周囲にシリカなどからなるガラススート層２２が均一に堆積してなるものである。外付け法は、コア材２１をガラス旋盤に回転可能に取付け、ガラス合成用バーナにＳｉＣｌ４などのガラス原料ガス、酸素ガス、水素ガスなどを供給し、火炎中でガラス微粒子（ガラススート）を生成させ、このガラス微粒子をコア材の表面に付着、堆積させ、ガラススート層２２を形成させるものである。
【００１６】
そして、この多孔質ガラス母材２のガラススート層２２にフッ素を添加するには、炉心管３内に多孔質ガラス母材２を収容し、炉心管３内にＳｉＦ４、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６などのフッ素化合物ガスを供給し、多孔質ガラス母材２を下方に移動してヒートゾーン５に送り、その先端から加熱することによって行われる。
【００１７】
本発明では、この操作中において、フッ素添加温度を１１００〜１２００℃とし、かつフッ素添加温度をｘ（℃）とし、フッ素添加時間をｙ（分）としたときに、
−０．１２ｘ＋２０４≦ｙ≦−０．１３ｘ＋２２８
の関係式を満足するように、フッ素添加温度およびフッ素添加時間を設定する。
【００１８】
図２のグラフは、このフッ素添加温度およびフッ素添加時間の条件を図示したもので、グラフ中実線で囲まれた領域の温度および時間が、この条件に該当するものである。ここで、フッ素添加温度とは、ヒートゾーン５での温度を言い、フッ素添加時間とは、多孔質ガラス母材２のある部位がヒートゾーン５を通過する時間を言う。したがって、フッ素添加時間は多孔質ガラス母材２の移動速度によって左右される。
【００１９】
このフッ素添加温度およびフッ素添加時間の範囲外では、フッ素添加温度あるいはフッ素添加時間が過不足になり、フッ素をガラススート層２２に均一に添加できなかったり、コア材２１が湾曲したりするなどの不都合が生じる。
【００２０】
また、この際、ガラススート層２２の嵩密度を０．２〜０．４ｇ／ｃｍ３とすることが好ましく、その嵩密度が０．２ｇ／ｃｍ３未満ではガラススート層２２自体が脆く壊れやすくなり、また収縮量が大きくなる。また、嵩密度が、０．４ｇ／ｃｍ３を越えると傾斜炉を用いた場合にはフッ素の添加が均一に行うことが困難になったり、可能だとしても、長時間を要するため製造上好ましくない。
【００２１】
さらに、炉心管３内のフッ素化合物ガスの濃度を２（体積）％以上とすることが好ましい。これは、従来の製法では、このフッ素化合物濃度が２％以上となると、コア材２１の湾曲が顕著になるのに対し、本発明方法では２％以上としても、コア材２１の湾曲が生じることがなく、従来方法と比較して、その効果が大きくなるためである。
【００２２】
また、コア材２１の直径については、特に限定されるものではないが、この製法では、コア材２１の湾曲が抑えられるので、直径が１５ｍｍ以下のものでも採用することができる。また、コア材２１の材質についてもやはり限定されるものではないが、同様の理由により軟化温度が低いもの、すなわちゲルマニウム、フッ素などのドーパントがドープされ、軟化温度が約６００〜９００℃程度のものでもよい。
【００２３】
さらに、本発明の製造方法では、焼結後のコア材２１の直径とガラス母材の直径との比を２．５倍以上とすることができる。すなわち、フッ素添加時でのガラススート層２２の収縮によるコア材２１の湾曲が少ないために、多量のガラススートを堆積した多孔質ガラス母材２を用いても、コア材２１が湾曲することがない。
【００２４】
フッ素の添加が終わったならば、ヒートゾーンの温度を高め、多孔質ガラス母材２を再度炉心管３内で移動させ、そのガラススート層２２を透明ガラス化することで、フッ素添加光ファイバ母材を得ることができる。
【００２５】
本発明のフッ素添加ガラス物品は、上述の製造方法で製造されたもので、湾曲がほとんどなく、コア材２１の偏心率が３％以下、さらに望ましくは０．６％以下のものである。ここでの扁心率は、コア中心とクラッド中心との距離をクラッド径に対する百分率で表した値で定義されるものである。
【００２６】
このようなフッ素添加ガラス物品の製造方法にあっては、フッ素添加工程での温度および時間を図２のグラフに示したような適切な範囲に定めたので、フッ素添加時にガラススート層２２が収縮することがなく、このガラススート層２２の収縮に起因してコア材２１が湾曲することがなくなる。
【００２７】
このため、コア材２１として、直径１５ｍｍ以下の細径のものやゲルマニウムなどのドーパントがドープされ軟化温度が約６００〜９００℃の低いものを用いることができる。また、低嵩密度のガラススートを多量に堆積したガラススート層２２を有する多孔質ガラス母材２を採用することができ、これらを用いた場合でも得られるフッ素添加光ファイバ母材などのフッ素添加ガラス物品は、そのコア材２１の曲がりが少なく、偏心の少ないものとなる。
【００２８】
以下、具体例を示すが、本発明は、この具体例に限定されるものではない。
直径１３ｍｍ、長さ１０００ｍｍのコア材を用意した。このコア材は純粋シリカと比較して比屈折率差で−０．３％に相当するフッ素がドープされ、軟化温度が約８００℃のものである。このコア材に対して、外付け法により仕上がり径がコア材の直径のおよそ４倍となるようにシリカ微粒子を堆積し、ガラススート層を設けて、多孔質光ファイバ母材とした。
【００２９】
この多孔質光ファイバ母材を図１に示す傾斜炉の炉心管内に収め、フッ素を添加した。この傾斜炉のヒートゾーンの長さは３９０ｍｍであった。炉心管内に、ヘリウム６ｓｌｍとフッ素化合物としてＳｉＦ４を３００ｓｃｃｍ流した。このとき、フッ素添加温度およびフッ素添加時間を以下のように変化させた。
【００３０】

Figure 2004262719
【００３１】
以上の条件でのフッ素添加を行った後、ヒートゾーンの温度を高めて、ガラススート層を透明ガラス化して、フッ素添加光ファイバ母材を製造した。得られたフッ素添加光ファイバ母材の外観を検査し、コア材の偏心率を測定した。
【００３２】
その結果、例１のものでは、コア材が曲がることなく真っ直ぐであり、コア材の偏心率は全長にわたり０．４％以下であった。
これに対し、例２のものでは、コア材が曲がりくねっており、偏心率は４．８％であり、得られたフッ素添加光ファイバ母材は製品として使用できなかった。
また、例３のものでは、コア材が曲がりくねっており、偏心率は５．７％であり、得られたフッ素添加光ファイバ母材はやはり製品として使用できなかった。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明のフッ素添加ガラス物品の製造方法にあっては、ガラススート層にフッ素を添加する際の温度および時間を適切に定めたので、このフッ素添加の際に、ガラススート層の収縮によりコア材が湾曲することがない。このため、コア材が細径の場合、コア材の軟化温度が低い場合あるいは多量の低嵩密度のガラススート層を形成した場合でも、コア材の湾曲が生じることがなく、良好な品質のフッ素添加ガラス物品を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造方法に用いられる製造装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の製造方法におけるフッ素添加温度とフッ素添加時間の好適な範囲を示す図表である。
【符号の説明】
１・・・加熱炉、２・・・多孔質ガラス母材、２１・・・コア材、２２・・・ガラススート層[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for producing a fluorinated glass article such as a fluorinated optical fiber preform, which is capable of obtaining a fluorinated glass article having a small bending of a core material and a small eccentricity.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a method based on an external method (OVD method) has been known as a method for producing a fluorine-doped optical fiber preform.
In this production method, a glass soot layer is formed by depositing glass fine particles produced by a gas phase reaction around a core material made of silica or the like in the shape of a round bar, and a glass soot layer is formed. The material is heated in a heating furnace in an atmosphere containing a fluorine compound gas such as SiF 4 , CF 4 , C 2 F 6 to add fluorine to the glass soot layer, and then heating the glass soot layer, It is made into a transparent glass to obtain a fluorine-doped optical fiber preform.
[0003]
In this production, it is preferable that the temperature at the time of adding fluorine is set to 1100 to 1400 ° C. (Patent Document 1), and it is said that if the bulk density of the glass soot is reduced, fluorine can be added uniformly (Patent Document 2). ).
[0004]
By the way, in the production of such a fluorine-doped optical fiber preform, when the core material is a thin material having a diameter of 15 mm or less, or as a core material, a dopant is added, and the softening temperature decreases. In the case where a large amount of glass soot having a low bulk density is deposited on this core material when using silica that has been used, the glass soot layer shrinks at the time of fluorine addition, so that the resulting fluorine-doped optical fiber preform is in the preform. There was a disadvantage that the core material was curved and the eccentricity of the core material became severe.
[0005]
In particular, when fluorine is added to the glass soot layer, the softening temperature decreases at the same time, and the glass soot shrinks due to the heating temperature at the time of fluorine addition, and the curvature of the core material further increases. Occurs.
When the eccentricity of the core material becomes severe, the connection loss becomes worse in the connection of the optical fiber. For this reason, the eccentricity is desirably within 3% for a general multi-mode fiber and within 0.6% for a general single-mode fiber.
[0006]
[Patent Document 1]
JP-A-60-90842 [Patent Document 2]
JP-A-2002-114522
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, an object of the present invention is to produce a fluorinated glass article such as a fluorinated optical fiber preform by an external method, when a core having a small diameter is used, a material having a low softening temperature, such as silica. The object of the present invention is to make it possible to manufacture a fluorine-added glass article having a small curvature and a small eccentricity even when a large amount of glass soot having a low bulk density is deposited.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
To solve this problem,
The invention according to claim 1 is to deposit glass soot around the core material by an external method to obtain a porous glass base material, and then add fluorine to the glass soot layer of the porous glass base material, When further glassy transparent, to produce a fluorine-added glass article,
When the fluorine addition temperature is x (° C.) and the fluorine addition time is y (min),
1100 ≦ x ≦ 1200, and −0.12x + 204 ≦ y ≦ −0.13x + 228
Wherein fluorine is added under conditions that satisfy the following condition.
[0009]
The invention according to claim 2 is the method for producing a fluorine-containing glass article according to claim 1, wherein the diameter of the core material is 15 mm or less.
The invention according to claim 3 is characterized in that when the diameter of the core material after sintering is a and the diameter of the transparent glass base material is b, b / a is 2.5 or more. 3. A method for producing a fluorine-containing glass article according to 1 or 2.
[0010]
The invention according to claim 4 is characterized in that the core material is pure silica or silica to which germanium and / or fluorine is added, and the method for producing a porous glass article according to any one of claims 1 to 3. It is.
Invention, the bulk density of the deposited glass soot layer, porous glass according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it is 0.2-0.4 g / cm 3 according to claim 5 It is a method of manufacturing an article.
[0011]
The invention according to claim 6 is the method for producing a fluoridated glass article according to any one of claims 1 to 5, wherein the fluorine compound gas concentration at the time of adding fluorine is 2% or more.
The invention according to claim 7 is a fluorine-added glass article manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 6, wherein the eccentricity of the core material is 3% or less.
The invention according to claim 8 is a fluorine-added glass article manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 6, wherein the eccentricity of the core material is 0.6% or less.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
FIG. 1 shows an example of a manufacturing apparatus used in the manufacturing method of the present invention. In the drawing, reference numeral 1 denotes a heating furnace, and the heating furnace 1 in this example is an inclined furnace.
[0013]
The heating furnace 1 has a cylindrical furnace tube 3 for accommodating a porous glass base material 2 and a carbon heater 4 for heating the furnace tube 3. Further, a gripping device (not shown) is provided at the upper part of the heating furnace 1, and the porous glass base material 2 housed in the furnace tube 3 is gripped by the gripping device. It can be moved back and forth toward the bottom.
[0014]
Then, when the porous glass base material 2 in the furnace tube 3 passes through the heat zone 5 formed by the carbon heater 4, it is gradually heated from its tip. Further, a fluorine compound gas is supplied into the furnace tube 3 from a supply device (not shown), so that the inside of the furnace tube 3 becomes a fluorine gas atmosphere having a desired concentration.
[0015]
The porous glass base material 2 is manufactured by a known external method, and is formed by uniformly depositing a glass soot layer 22 made of silica or the like around a core material 21 made of round bar-shaped silica or the like. It is. In the external attachment method, the core material 21 is rotatably mounted on a glass lathe, and a glass raw material gas such as SiCl 4 , an oxygen gas, a hydrogen gas, and the like are supplied to a burner for glass synthesis, and glass fine particles (glass soot) are supplied in a flame. The glass soot layer 22 is formed and adhered and deposited on the surface of the core material to form the glass soot layer 22.
[0016]
To add fluorine to the glass soot layer 22 of the porous glass preform 2, the porous glass preform 2 is housed in the furnace tube 3, and SiF 4 , CF 4 , C 2 This is performed by supplying a fluorine compound gas such as F 6 , moving the porous glass base material 2 downward, sending it to the heat zone 5, and heating from the tip.
[0017]
In the present invention, during this operation, when the fluorine addition temperature is 1100 to 1200 ° C., the fluorine addition temperature is x (° C.), and the fluorine addition time is y (minute),
−0.12x + 204 ≦ y ≦ −0.13x + 228
The fluorine addition temperature and the fluorine addition time are set so as to satisfy the relational expression.
[0018]
The graph of FIG. 2 illustrates the conditions of the fluorine addition temperature and the fluorine addition time, and the temperature and the time in the region surrounded by the solid line in the graph correspond to these conditions. Here, the fluorine addition temperature refers to a temperature in the heat zone 5, and the fluorine addition time refers to a time during which a portion of the porous glass base material 2 passes through the heat zone 5. Therefore, the fluorine addition time depends on the moving speed of the porous glass base material 2.
[0019]
Outside the range of the fluorine addition temperature and the fluorine addition time, the fluorine addition temperature or the fluorine addition time becomes too short or too long, so that the fluorine cannot be uniformly added to the glass soot layer 22 or the core material 21 is curved. Inconvenience occurs.
[0020]
At this time, it is preferred that the bulk density of the glass soot layer 22 and 0.2-0.4 g / cm 3, the bulk density of fragile brittle glass soot layer 22 itself is less than 0.2 g / cm 3 And the amount of shrinkage increases. Further, when the bulk density exceeds 0.4 g / cm 3 , it is difficult to uniformly add fluorine when an inclined furnace is used, or even if possible, it takes a long time, so that it is preferable in production. Absent.
[0021]
Further, it is preferable that the concentration of the fluorine compound gas in the furnace tube 3 be 2 (volume)% or more. This is because in the conventional manufacturing method, when the fluorine compound concentration is 2% or more, the curvature of the core material 21 becomes remarkable, whereas in the method of the present invention, the curvature of the core material 21 occurs even when the concentration is 2% or more. This is because the effect is greater than in the conventional method.
[0022]
Further, the diameter of the core material 21 is not particularly limited, but in this manufacturing method, since the curvature of the core material 21 is suppressed, a material having a diameter of 15 mm or less can be adopted. Also, the material of the core material 21 is not limited, but for the same reason, a material having a low softening temperature, that is, a material doped with a dopant such as germanium or fluorine and having a softening temperature of about 600 to 900 ° C. May be.
[0023]
Furthermore, in the manufacturing method of the present invention, the ratio between the diameter of the core material 21 after sintering and the diameter of the glass base material can be 2.5 times or more. That is, since the core material 21 is less curved due to shrinkage of the glass soot layer 22 when fluorine is added, the core material 21 may be curved even when the porous glass base material 2 on which a large amount of glass soot is deposited is used. Absent.
[0024]
After the addition of fluorine is completed, the temperature of the heat zone is increased, the porous glass preform 2 is moved again in the furnace tube 3, and the glass soot layer 22 is made vitrified to make it transparent. Material can be obtained.
[0025]
The fluorine-containing glass article of the present invention is manufactured by the above-described manufacturing method, has almost no curvature, and has an eccentricity of the core material 21 of 3% or less, more preferably 0.6% or less. Here, the eccentricity is defined as a value representing the distance between the center of the core and the center of the clad as a percentage of the clad diameter.
[0026]
In such a method for producing a fluoridated glass article, the temperature and time in the fluoridation step are set to appropriate ranges as shown in the graph of FIG. The core material 21 does not curve due to the contraction of the glass soot layer 22.
[0027]
Therefore, as the core material 21, a material having a small diameter of 15 mm or less or a material having a low softening temperature of about 600 to 900 ° C. doped with a dopant such as germanium can be used. Further, a porous glass preform 2 having a glass soot layer 22 on which a large amount of low bulk density glass soot is deposited can be employed. In the glass article, the core member 21 is less bent and less eccentric.
[0028]
Hereinafter, specific examples will be described, but the present invention is not limited to these specific examples.
A core material having a diameter of 13 mm and a length of 1000 mm was prepared. This core material is doped with fluorine equivalent to a relative refractive index difference of -0.3% as compared with pure silica, and has a softening temperature of about 800 ° C. Silica fine particles were deposited on the core material by an external method so that the finished diameter was approximately four times the diameter of the core material, and a glass soot layer was provided to obtain a porous optical fiber preform.
[0029]
This porous optical fiber preform was placed in a furnace tube of the inclined furnace shown in FIG. 1 and fluorine was added. The length of the heat zone of this inclined furnace was 390 mm. Helium (6 slm) and 300 sccm of SiF 4 as a fluorine compound were flowed into the furnace tube. At this time, the fluorine addition temperature and the fluorine addition time were changed as follows.
[0030]
Figure 2004262719
[0031]
After performing the fluorine addition under the above conditions, the temperature of the heat zone was increased, and the glass soot layer was transparently vitrified to produce a fluorine-doped optical fiber preform. The appearance of the obtained fluorine-doped optical fiber preform was inspected, and the eccentricity of the core material was measured.
[0032]
As a result, in Example 1, the core material was straight without bending, and the eccentricity of the core material was 0.4% or less over the entire length.
In contrast, in the case of Example 2, the core material was meandering, the eccentricity was 4.8%, and the obtained fluorine-doped optical fiber preform could not be used as a product.
In the case of Example 3, the core material was meandering, the eccentricity was 5.7%, and the obtained fluorine-doped optical fiber preform could not be used as a product.
[0033]
【The invention's effect】
As described above, in the method for manufacturing a fluorine-added glass article of the present invention, the temperature and time for adding fluorine to the glass soot layer are appropriately determined. The core material does not bend due to contraction of the layer. Therefore, even when the core material has a small diameter, when the softening temperature of the core material is low, or when a large amount of low-bulk-density glass soot layer is formed, the core material does not bend and good quality fluorine is obtained. Additive glass articles can be manufactured.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a manufacturing apparatus used in a manufacturing method of the present invention.
FIG. 2 is a chart showing a preferable range of a fluorine addition temperature and a fluorine addition time in the production method of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Heating furnace, 2 ... Porous glass base material, 21 ... Core material, 22 ... Glass soot layer

Claims (8)

コア材の周囲に、外付け法によりガラススート層を堆積して多孔質ガラス母材を得た後、この多孔質ガラス母材のガラススート層にフッ素を添加し、さらに透明ガラス化して、フッ素添加ガラス物品を製造する際、
フッ素添加温度をｘ（℃）とし、フッ素添加時間をｙ（分）としたときに、
１１００≦ｘ≦１２００とし、かつ
−０．１２ｘ＋２０４≦ｙ≦−０．１３ｘ＋２２８
を満足する条件で、フッ素添加を行うことを特徴とするフッ素添加ガラス物品の製造方法。After a glass soot layer is deposited by an external method around the core material to obtain a porous glass base material, fluorine is added to the glass soot layer of the porous glass base material, and the glass soot is further transparently vitrified to form a glass. When manufacturing additive glass articles,
When the fluorine addition temperature is x (° C.) and the fluorine addition time is y (min),
1100 ≦ x ≦ 1200, and −0.12x + 204 ≦ y ≦ −0.13x + 228
A method for producing a fluorine-added glass article, characterized in that fluorine is added under conditions that satisfy the following. コア材の直径が、１５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のフッ素添加ガラス物品の製造方法。The method for producing a fluorine-containing glass article according to claim 1, wherein the diameter of the core material is 15 mm or less. 焼結後のコア材の直径をａとし、透明化ガラス母材の直径をｂとしたとき、ｂ／ａが２．５以上であることを特徴とする請求項１または２記載のフッ素添加ガラス物品の製造方法。The fluorine-containing glass according to claim 1 or 2, wherein b / a is 2.5 or more, where a is the diameter of the core material after sintering and b is the diameter of the transparent glass base material. Article manufacturing method. コア材が、純粋シリカまたはゲルマニウムおよび／またはフッ素が添加されたシリカであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の多孔質ガラス物品の製造方法。The method for producing a porous glass article according to any one of claims 1 to 3, wherein the core material is pure silica or silica to which germanium and / or fluorine is added. 堆積されたガラススート層の嵩密度が、０．２〜０．４ｇ／ｃｍ３であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の多孔質ガラス物品の製造方法。The bulk density of the deposited glass soot layer, the manufacturing method of a porous glass article according to any of claims 1 to 4, characterized in that it is 0.2-0.4 g / cm 3. フッ素添加時のフッ素化合物ガス濃度が２％以上であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のフッ素添加ガラス物品の製造方法。The method for producing a fluorine-containing glass article according to any one of claims 1 to 5, wherein the fluorine compound gas concentration at the time of fluorine addition is 2% or more. 請求項１ないし６のいずれかに記載の製造方法で製造され、コア材の偏心率が３％以下であることを特徴とするフッ素添加ガラス物品。A fluorine-added glass article manufactured by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 6, wherein the eccentricity of the core material is 3% or less. 請求項１ないし６のいずれかに記載の製造方法で製造され、コア材の偏心率が０．６％以下であることを特徴とするフッ素添加ガラス物品。A fluorine-added glass article manufactured by the manufacturing method according to claim 1, wherein the eccentricity of the core material is 0.6% or less.
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