JP2004262044A - Apparatus for flushing mask - Google Patents

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JP2004262044A
JP2004262044A JP2003053664A JP2003053664A JP2004262044A JP 2004262044 A JP2004262044 A JP 2004262044A JP 2003053664 A JP2003053664 A JP 2003053664A JP 2003053664 A JP2003053664 A JP 2003053664A JP 2004262044 A JP2004262044 A JP 2004262044A
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Japan
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mask
cleaning
cleaning liquid
nozzle
fixing
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Pending
Application number
JP2003053664A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Ogino
武司 荻野
Hiroyuki Kawaura
浩幸 川浦
Hideyuki Hoshino
秀之 星野
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Marelli Corp
Kaltech Co Ltd
Original Assignee
Calsonic Kansei Corp
Kaltech Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for flushing a mask which can suppress scattering of a washing liquid jetted from washing nozzles as much as possible. <P>SOLUTION: A mask fixing plate 5 for fixing the mask which is an object to be washed under a condition where the mask is stood, and a mask fixing cylinder 4 are provided in the apparatus for flushing the mask. In addition, washing nozzles 6a and 6b are arranged both on the surface side and the back face side of the mask fixed by the plate 5 and the cylinder 4, and jet the washing liquid on these faces, cylinders 9a and 9b for elevating and lowering for moving slidably the washing nozzles 6a and 6b in the up and down direction, and scattering-proof covers 11a and 11b which are arranged in the neighborhood of the washing nozzles 6a and 6b, are elevated and lowered with the washing nozzles 6a and 6b, and are formed in curved sectional shapes, and whose opening parts are arranged by facing to the mask sides, are provided. It is thereby possible to prevent the washing liquid from being scattered and to prevent the washing liquid from sticking on a driving device or the like. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スクリーン印刷に用いられるマスクを洗浄するマスク洗浄装置に係り、特に、洗浄時に用いる洗浄液の飛散を防止する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、スクリーン印刷に用いられるマスクは、使用頻度が多くなるとクリーム半田が付着し、或いは目詰まりすることがあるので、定期的に洗浄する必要がある。このようなマスクの洗浄には、マスク洗浄機が用いられている。この種のマスク洗浄機の従来例として、例えば、特開平10−71705号公報(以下、特許文献1という)に記載されたスクリーン版洗浄装置が知られている。
【0003】
該特許文献1では、スクリーン版を立てた状態でホルダに固定し、該スクリーン版の両面側にそれぞれ設けられた該洗浄ノズルから洗浄液を噴射する。更に、ホルダを上下方向にスライド移動させて、洗浄液がスクリーン版全体に当たるようにする。
【0004】
また、スクリーン、及びこれを支持するホルダ、及び洗浄ノズルは、ケーシングにより全体が覆われており、更に、このケーシングの下方には、ロート状の仕切板が形成されている。従って、洗浄ノズルより噴射された洗浄液は、スクリーン版を洗浄した後、仕切板を介して、タンクに回収される。
【0005】
【特許文献1】
特開平10−71705号公報(図1)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の特許文献1に記載された洗浄装置では、洗浄ノズルより噴射された洗浄液が、スクリーン版に当たった後、ケーシング内全体に飛散してしまうので、ケーシング内の洗浄作業が容易でない。また、スクリーン版の昇降駆動部の部品に洗浄液が付着するので、メンテナンス時に多くの労力が強いられる。
【0007】
この発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、洗浄ノズルより噴射された洗浄液の飛散を極力抑えるようにしたマスク洗浄装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本願請求項1に記載の発明は、スクリーン印刷に用いるマスクを洗浄するマスク洗浄装置において、洗浄の対象となるマスクを、立設した状態で固定する固定手段と、前記固定手段に固定されたマスクの第1の面側、及び第2の面側の双方に配置され、当該第1の面、第2の面に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルを上下方向にスライド移動させる昇降手段と、前記洗浄ノズル近傍に設置され、当該洗浄ノズルと共に昇降移動し、断面湾曲形状に形成され、開口部が前記第1の面、及び第2の面に向いて配置された飛散防止手段と、を具備したことを特徴とする。
【0009】
また、請求項2に記載の発明は、前記固定手段の下方に設けられ、前記洗浄ノズルより噴射された洗浄液を回収する回収手段を備えたことを特徴とする。
【0010】
請求項3に記載の発明は、前記第1の面、及び第2の面のうちのいずれか一方の面側に配置された前記洗浄ノズルを、マスクに対して進退移動させる進退用シリンダを備えたことを特徴とする。
【0011】
請求項4に記載の発明は、前記飛散防止手段は、上端部とマスクとの間隔が、下端部とマスクとの間隔よりも小さくなるように設定されることを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明に係るマスク洗浄装置の、一実施形態の構成を示す正面図、図2は、同平面図である。図示のように、このマスク洗浄装置1は、全体が直方体形状をなすケーシング部2と、該ケーシング部2の下部に設けられた断面略V字形状をなすホッパー部(回収手段)3から構成されている。
【0013】
ケーシング部2は、中央部に洗浄対象となるマスクを固定するためのマスク固定プレート(固定手段)5が設けられており、該マスク固定プレート5と対向する部位には、マスク固定シリンダ(固定手段)4が設けられている。従って、マスク固定プレート5と接触するように洗浄対象となるマスクを設置し、この状態でマスク固定シリンダ4のストロークを延出させることにより、マスク固定プレート5にマスクを固定することができる。
【0014】
また、マスク固定プレート5にマスクを固定した際の、マスクの表面側(第1の面側)、及び裏面側(第2の面側)となる部位には、洗浄液を噴射するための洗浄ノズル6a,6bが設置されている。
【0015】
洗浄ノズル6a,6bは、ブラケット7a,7bに固定されており、各ブラケット7a,7bは、上下方向の沿って立設されたレール8a,8bに沿ってスライド移動可能に取り付けられている。
【0016】
また、ケーシング部2の、対向する2つの面の内側近傍には、空気圧で動作するシリンダ(昇降手段)9a,9bが立設されており、該シリンダ9a,9bのストローク部10a,10bは、前述したブラケット7a,7bと連結されている。従って、シリンダ9a,9bのストローク部10a,10bが上下方向に移動すると、これに伴って、ブラケット7a,7bがレール8a,8bに沿ってスライド移動することになり、ひいては洗浄ノズル6a,6bが上下方向の動作する。
【0017】
更に、ブラケット7bには、洗浄ノズル6b進退用のシリンダ19が取り付けられており、マスク着脱時には洗浄ノズル6bを後退させて、各洗浄ノズル6a,6bの間隔を広げるようにし、マスク洗浄時には、洗浄ノズル6bを延出させて、洗浄液がマスクに近接して噴射されるように切り換える操作が行われる。
【0018】
また、ブラケット7a,7bには、マスク側に向けて開口する断面U字形状(湾曲形状)の飛散防止カバー(飛散防止手段)11a,11bが設けられている。
【0019】
図3は、マスク22と、洗浄ノズル6a,6b、及び飛散防止カバー11a,11bの位置関係を模式的に示す説明図であり、図示のように、マスク22と洗浄ノズル6a,6bとの間隔T1は、2〜3[mm]程度とされている。また、飛散防止カバー11a,11bの上端部pと、マスク22との間隔T2は10[mm]程度とされ、下端部qとマスク22との間隔T3は30[mm]程度とされている。
【0020】
また、図1,図2に示されるように、ホッパー部3の下端部には、ストレーナ12が取り付けられており、該ストレーナ12を介して使用済みの洗浄液が回収され、再利用されるようになっている。
【0021】
更に、圧縮空気を生成するコンプレッサ13と、使用済みの洗浄液を回収するための洗浄液回収ポンプ14とを備えている。
【0022】
図4は、圧縮空気の配管系統、及び洗浄液の配管系統を示すフロー図である。まず、圧縮空気の配管から説明すると、コンプレッサ13の出力部は、エアタンク16、ストップバルブV1を介して、電磁弁SV1に接続され、更に、この電磁弁SV1の出力端は、電磁弁SV2,SV3,SV4に接続されている。
【0023】
電磁弁SV2の出力端は、扉開閉用のシリンダ17に接続され、電磁弁SV3の出力端は、洗浄ノズル6a,6b昇降用のシリンダ9a,9bに接続され、電磁弁SV4の出力端は、電磁弁SV5、及びレギュレータRG1に接続されている。
【0024】
電磁弁5の出力端は、逆止弁V2を介して洗浄液タンク21に導入されている。また、レギュレータRG1の出力端は、電磁弁SV6、及び逆止弁V3を介して、洗浄ノズル6a,6bに導入されている。
【0025】
他方、洗浄液の配管系統について説明すると、回収された洗浄液を蓄積する回収液タンク18の出力端側には、ストップバルブV5、及び電磁弁SV7、SV8が設けられ、電磁弁SV8の出力端は、洗浄液タンク21に導入されている。また、該洗浄液タンク21は、逆止弁V4を介して洗浄ノズル6a,6bと接続されている。更に、洗浄液タンク21には、ドレン抜きバルブV6が設けられている。
【0026】
次に、上述のように構成された本実施形態に係るマスク洗浄装置1の動作について説明する。洗浄対象となるマスクを洗浄する際には、まず、図1,図2に示すマスク固定プレート5にマスクを設置し、この状態でマスク固定シリンダ4を延出させて、マスクをマスク固定プレート5に固定する。なお、扉の開閉操作は、図4に示した電磁弁SV2、及び扉開閉シリンダ17により行われる。
【0027】
その後、ノズル進退用のシリンダ19を延出させ、洗浄ノズル6bをマスク側へ移動させる。この状態で、図4に示したコンプレッサ13を起動させ、電磁弁SV1,SV4,SV5をオンとすると、洗浄液タンク21に圧縮空気が導入され、該洗浄液タンク21に蓄積されている洗浄液が空気圧により、洗浄ノズル6a,6bへと送出される。
【0028】
これにより、加圧された洗浄液が洗浄ノズル6a,6bより噴射されるので、マスク固定プレート5に固定されたマスクを洗浄することができる。そして、電磁弁SV3をオンとして、洗浄ノズル6a,6b昇降用のシリンダ9a,9bを昇降動作させることにより、マスク全体に洗浄液を噴射することができ、マスク全体を満遍なく洗浄することができる。
【0029】
この際、前述したように、洗浄ノズル6a,6bの周囲には飛散防止カバー11a,11bが取り付けられているので、噴射された洗浄液はケーシング部2全体に飛散することなく、当該飛散防止カバー11a,11bにて収集され、ホッパー部3に落ちる。その後、この洗浄液はホッパー部3にて回収され、ストレーナ12により不純物が除去された後、回収液タンク18に戻される。
【0030】
次いで、図4に示す電磁弁SV5をオフとし、電磁弁SV6をオンとする切り換え操作を行う。すると、洗浄ノズル6a,6bにはコンプレッサー13より出力される圧縮空気が導入されるので、洗浄液が付着しているマスクにエアーが噴射され、当該マスクを乾燥させることができる。こうして、洗浄液の噴射によるマスクの洗浄が行われるのである。
【0031】
このようにして、本実施形態に係るマスク洗浄装置1では、洗浄対象となるマスクに洗浄液を噴射し、且つ洗浄ノズル6a,6bを上下方向に移動させることにより、該マスクを満遍なく洗浄することができる。また、洗浄ノズル6a,6bを断面U字形状の飛散防止カバー11a,11bで覆うことにより、洗浄液の飛散を防止することができ、また、洗浄後の使用済み洗浄液は、ホッパー部3にて回収され、回収液タンク18内に戻されるので、洗浄液を有効に再利用することができる。
【0032】
また、洗浄液がケーシング部2内に飛散しないので、駆動装置等に洗浄液が付着することがなく、メンテナンス時における労力を軽減することができる。
【0033】
なお、本実施形態では、飛散防止カバー11a,11bとして、断面U字形状のものを用いる例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、断面「コ」字形状、「く」字形状等の、洗浄液の飛散を防止できる形状であれば、適用可能であることは勿論である。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るマスク洗浄装置では、飛散防止手段を備えることにより、洗浄ノズルより噴射される洗浄液のケーシング内への飛散を防止することができる。従って、各駆動装置などの、ケーシング内に搭載される各種機器への洗浄液の付着を防止することができ、メンテナンス等の作業を容易に行うことができる。
【0035】
また、一度噴射された使用済みの洗浄液は、回収手段により回収されて再利用されるので、洗浄液を有効に用いることができる。更に、マスクの一方の面側に配置された洗浄ノズルは、進退用シリンダにより進退動作させることができるので、マスク着脱時には洗浄ノズルを後退させて対向する洗浄ノズル間の間隔を広くし、洗浄時には洗浄ノズルをマスクに近接させて効率の良い洗浄が可能となる。
【0036】
また、飛散防止手段の上端部とマスクとの間隔が、下端部とマスクとの間隔よりも小さくなるように設定されるので、洗浄液に飛散をより効果的に防止することができ、洗浄液を効率良く回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るマスク洗浄装置の構成を示す側面図である。
【図2】本発明の一実施形態に係るマスク洗浄装置の構成を示す平面図である。
【図3】洗浄対象となるマスクと洗浄ノズル、及び飛散防止カバーの位置関係を模式的に示す説明図である。
【図4】圧縮空気、及び洗浄水の供給系統を示すフロー図である。
【符号の説明】
1 マスク洗浄装置
2 ケーシング部
3 ホッパー部
4 マスク固定シリンダ(固定手段)
5 マスク固定プレート(固定手段)
6a,6b 洗浄ノズル
7a,7b ブラケット
8a,8b レール
9a,9b シリンダ(昇降手段)
10a,10b ストローク部
11a,11b 飛散防止カバー(飛散防止手段)
12 ストレーナ
13 コンプレッサ
14 洗浄液回収ポンプ
16 エアタンク
17 シリンダ(扉開閉用)
18 回収液タンク
19 シリンダ(進退用シリンダ)
21 洗浄液タンク
22 マスク
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a mask cleaning apparatus for cleaning a mask used for screen printing, and more particularly to a technique for preventing scattering of a cleaning liquid used for cleaning.
[0002]
[Prior art]
In general, a mask used for screen printing may need to be periodically cleaned because cream solder may adhere or clog if the frequency of use is increased. For cleaning such a mask, a mask cleaning machine is used. As a conventional example of this type of mask cleaning machine, for example, a screen plate cleaning apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-71705 (hereinafter referred to as Patent Document 1) is known.
[0003]
In Patent Document 1, a screen plate is fixed to a holder in an upright state, and a cleaning liquid is sprayed from cleaning nozzles provided on both sides of the screen plate. Further, the holder is slid up and down so that the cleaning liquid hits the entire screen plate.
[0004]
The screen, the holder supporting the screen, and the cleaning nozzle are entirely covered by a casing, and a funnel-shaped partition plate is formed below the casing. Therefore, the cleaning liquid sprayed from the cleaning nozzle is collected in the tank via the partition plate after cleaning the screen plate.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-10-71705 (FIG. 1)
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the cleaning device described in Patent Literature 1, the cleaning liquid sprayed from the cleaning nozzle hits the screen plate and then scatters throughout the casing, so that the cleaning operation of the casing is not easy. Further, since the cleaning liquid adheres to the components of the vertical drive unit of the screen plate, much labor is required at the time of maintenance.
[0007]
The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a mask cleaning apparatus that minimizes scattering of a cleaning liquid sprayed from a cleaning nozzle. It is in.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 of the present application is directed to a mask cleaning apparatus for cleaning a mask used for screen printing, wherein: a fixing means for fixing a mask to be cleaned in an upright state; A cleaning nozzle that is disposed on both the first surface side and the second surface side of the mask fixed to the fixing means, and that sprays a cleaning liquid onto the first surface and the second surface; Raising and lowering means for sliding movement in the direction, and being disposed in the vicinity of the washing nozzle, moving up and down together with the washing nozzle, being formed into a curved cross-section, and having an opening facing the first surface and the second surface. Scatter prevention means provided.
[0009]
According to a second aspect of the present invention, there is provided a recovery means provided below the fixing means for recovering the cleaning liquid jetted from the cleaning nozzle.
[0010]
According to a third aspect of the present invention, there is provided an advancing / retreating cylinder for advancing / retreating the cleaning nozzle disposed on one of the first surface and the second surface with respect to a mask. It is characterized by having.
[0011]
The invention according to claim 4 is characterized in that the scattering prevention means is set such that the distance between the upper end and the mask is smaller than the distance between the lower end and the mask.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view showing a configuration of an embodiment of a mask cleaning apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the same. As shown in the figure, the mask cleaning apparatus 1 includes a casing 2 having a rectangular parallelepiped shape as a whole, and a hopper (recovery means) 3 having a substantially V-shaped cross section provided at a lower portion of the casing 2. ing.
[0013]
The casing portion 2 is provided with a mask fixing plate (fixing means) 5 for fixing a mask to be cleaned in a central portion, and a mask fixing cylinder (fixing means) is provided at a portion opposed to the mask fixing plate 5. ) 4 is provided. Therefore, the mask to be cleaned is set so as to be in contact with the mask fixing plate 5, and the stroke of the mask fixing cylinder 4 is extended in this state, so that the mask can be fixed to the mask fixing plate 5.
[0014]
Further, when the mask is fixed to the mask fixing plate 5, cleaning nozzles for spraying a cleaning liquid are provided on portions on the front side (first surface side) and the back side (second surface side) of the mask. 6a and 6b are provided.
[0015]
The cleaning nozzles 6a and 6b are fixed to brackets 7a and 7b, and the brackets 7a and 7b are slidably mounted along rails 8a and 8b that are provided upright along the vertical direction.
[0016]
Pneumatically operated cylinders (elevating / lowering means) 9a, 9b are erected near the inside of the two opposing surfaces of the casing part 2, and the stroke parts 10a, 10b of the cylinders 9a, 9b are It is connected to the brackets 7a and 7b described above. Therefore, when the stroke portions 10a, 10b of the cylinders 9a, 9b move in the up-down direction, the brackets 7a, 7b slide along the rails 8a, 8b, thereby causing the cleaning nozzles 6a, 6b to move. Works up and down.
[0017]
Further, a cylinder 19 for advancing and retreating the cleaning nozzle 6b is attached to the bracket 7b. When the mask is attached / detached, the cleaning nozzle 6b is retracted so that the interval between the cleaning nozzles 6a and 6b is increased. An operation is performed in which the nozzle 6b is extended to switch so that the cleaning liquid is sprayed close to the mask.
[0018]
The brackets 7a and 7b are provided with scattering prevention covers (scattering prevention means) 11a and 11b each having a U-shaped cross section (curved shape) and opening toward the mask.
[0019]
FIG. 3 is an explanatory diagram schematically showing the positional relationship between the mask 22, the cleaning nozzles 6a and 6b, and the scattering prevention covers 11a and 11b. As shown in FIG. 3, the distance between the mask 22 and the cleaning nozzles 6a and 6b is illustrated. T1 is about 2 to 3 [mm]. The interval T2 between the upper ends p of the scattering prevention covers 11a and 11b and the mask 22 is about 10 [mm], and the interval T3 between the lower end q and the mask 22 is about 30 [mm].
[0020]
As shown in FIGS. 1 and 2, a strainer 12 is attached to the lower end of the hopper 3 so that the used cleaning liquid is collected and reused via the strainer 12. Has become.
[0021]
Furthermore, a compressor 13 for generating compressed air and a cleaning liquid recovery pump 14 for recovering used cleaning liquid are provided.
[0022]
FIG. 4 is a flowchart showing a piping system for compressed air and a piping system for cleaning liquid. First, the compressed air piping will be described. The output of the compressor 13 is connected to the solenoid valve SV1 via the air tank 16 and the stop valve V1, and the output terminal of the solenoid valve SV1 is connected to the solenoid valves SV2 and SV3. , SV4.
[0023]
An output end of the solenoid valve SV2 is connected to a cylinder 17 for opening and closing a door, an output end of the solenoid valve SV3 is connected to cylinders 9a and 9b for lifting and lowering the cleaning nozzles 6a and 6b, and an output end of the solenoid valve SV4 is It is connected to the solenoid valve SV5 and the regulator RG1.
[0024]
The output end of the solenoid valve 5 is introduced into the cleaning liquid tank 21 via a check valve V2. The output end of the regulator RG1 is introduced to the cleaning nozzles 6a and 6b via the solenoid valve SV6 and the check valve V3.
[0025]
On the other hand, the piping system of the cleaning liquid will be described. A stop valve V5 and solenoid valves SV7 and SV8 are provided on the output end side of the recovery liquid tank 18 for accumulating the collected cleaning liquid. It is introduced into the cleaning liquid tank 21. The cleaning liquid tank 21 is connected to the cleaning nozzles 6a and 6b via a check valve V4. Further, the cleaning liquid tank 21 is provided with a drain valve V6.
[0026]
Next, the operation of the mask cleaning apparatus 1 according to the present embodiment configured as described above will be described. When cleaning the mask to be cleaned, first, the mask is set on the mask fixing plate 5 shown in FIGS. 1 and 2, and in this state, the mask fixing cylinder 4 is extended, and the mask is fixed to the mask fixing plate 5. Fixed to. The door opening / closing operation is performed by the solenoid valve SV2 and the door opening / closing cylinder 17 shown in FIG.
[0027]
Thereafter, the nozzle advance / retreat cylinder 19 is extended, and the cleaning nozzle 6b is moved to the mask side. In this state, when the compressor 13 shown in FIG. 4 is started and the solenoid valves SV1, SV4 and SV5 are turned on, compressed air is introduced into the cleaning liquid tank 21, and the cleaning liquid stored in the cleaning liquid tank 21 is compressed by air pressure. Are sent to the cleaning nozzles 6a and 6b.
[0028]
Thus, the pressurized cleaning liquid is jetted from the cleaning nozzles 6a and 6b, so that the mask fixed to the mask fixing plate 5 can be cleaned. Then, by turning on the solenoid valve SV3 and moving the cylinders 9a and 9b for raising and lowering the cleaning nozzles 6a and 6b, the cleaning liquid can be sprayed on the entire mask, and the entire mask can be cleaned uniformly.
[0029]
At this time, as described above, since the scattering prevention covers 11a and 11b are attached around the cleaning nozzles 6a and 6b, the sprayed cleaning liquid does not scatter to the entire casing portion 2 and the scattering prevention cover 11a , 11b and fall into the hopper 3. Thereafter, the cleaning liquid is recovered in the hopper section 3, and after the impurities are removed by the strainer 12, the cleaning liquid is returned to the recovery liquid tank 18.
[0030]
Next, a switching operation of turning off the solenoid valve SV5 and turning on the solenoid valve SV6 shown in FIG. 4 is performed. Then, compressed air output from the compressor 13 is introduced into the cleaning nozzles 6a and 6b, so that air is jetted onto the mask to which the cleaning liquid is attached, and the mask can be dried. Thus, the cleaning of the mask is performed by spraying the cleaning liquid.
[0031]
In this manner, in the mask cleaning apparatus 1 according to the present embodiment, the cleaning liquid is sprayed on the mask to be cleaned, and the cleaning nozzles 6a and 6b are moved in the vertical direction, so that the mask can be cleaned evenly. it can. Further, by covering the cleaning nozzles 6a, 6b with the scattering prevention covers 11a, 11b having a U-shaped cross section, scattering of the cleaning liquid can be prevented, and the used cleaning liquid after cleaning is collected by the hopper 3. Since the cleaning liquid is returned to the collection liquid tank 18, the cleaning liquid can be effectively reused.
[0032]
In addition, since the cleaning liquid does not scatter in the casing 2, the cleaning liquid does not adhere to the driving device and the like, and labor during maintenance can be reduced.
[0033]
In the present embodiment, an example in which the scattering prevention covers 11a and 11b have a U-shaped cross section has been described. However, the present invention is not limited to this. It is needless to say that the present invention can be applied to any shape that can prevent scattering of the cleaning liquid, such as a “-” shape.
[0034]
【The invention's effect】
As described above, in the mask cleaning apparatus according to the present invention, the provision of the scattering prevention means makes it possible to prevent the cleaning liquid sprayed from the cleaning nozzle from scattering into the casing. Therefore, it is possible to prevent the cleaning liquid from adhering to various devices mounted in the casing, such as the driving devices, and to easily perform maintenance and other operations.
[0035]
Further, the used cleaning liquid once injected is recovered by the recovery means and reused, so that the cleaning liquid can be used effectively. Further, the cleaning nozzle arranged on one surface side of the mask can be moved forward and backward by the forward / backward cylinder, so that when the mask is attached / detached, the cleaning nozzle is retracted to increase the distance between the opposed cleaning nozzles, and during cleaning. Efficient cleaning can be performed by bringing the cleaning nozzle close to the mask.
[0036]
In addition, since the distance between the upper end of the scattering prevention means and the mask is set to be smaller than the distance between the lower end and the mask, scattering of the cleaning liquid can be more effectively prevented, and the cleaning liquid can be efficiently used. Can be collected well.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view showing a configuration of a mask cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a mask cleaning apparatus according to one embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an explanatory diagram schematically showing a positional relationship between a mask to be cleaned, a cleaning nozzle, and a scattering prevention cover.
FIG. 4 is a flowchart showing a supply system of compressed air and cleaning water.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mask cleaning device 2 Casing part 3 Hopper part 4 Mask fixing cylinder (fixing means)
5 Mask fixing plate (fixing means)
6a, 6b Cleaning nozzles 7a, 7b Brackets 8a, 8b Rails 9a, 9b Cylinder (elevating means)
10a, 10b Stroke portions 11a, 11b Splash prevention cover (scatter prevention means)
12 Strainer 13 Compressor 14 Cleaning liquid recovery pump 16 Air tank 17 Cylinder (for opening and closing door)
18 Recovered liquid tank 19 Cylinder (cylinder for advance / retreat)
21 Cleaning liquid tank 22 Mask

Claims (4)

スクリーン印刷に用いるマスクを洗浄するマスク洗浄装置において、
洗浄の対象となるマスクを、立設した状態で固定する固定手段と、
前記固定手段に固定されたマスクの第1の面側、及び第2の面側の双方に配置され、当該第1の面、第2の面に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、
前記洗浄ノズルを上下方向にスライド移動させる昇降手段と、
前記洗浄ノズル近傍に設置され、当該洗浄ノズルと共に昇降移動し、断面湾曲形状に形成され、開口部が前記第1の面、及び第2の面に向いて配置された飛散防止手段と、
を具備したことを特徴とするマスク洗浄装置。
In a mask cleaning apparatus for cleaning a mask used for screen printing,
Fixing means for fixing the mask to be cleaned in an upright state,
A cleaning nozzle that is disposed on both the first surface side and the second surface side of the mask fixed to the fixing unit, and that sprays a cleaning liquid on the first surface and the second surface;
Lifting means for slidingly moving the washing nozzle in the vertical direction,
Scattering prevention means installed in the vicinity of the cleaning nozzle, moved up and down together with the cleaning nozzle, formed into a curved cross-sectional shape, and having an opening disposed toward the first surface and the second surface;
A mask cleaning apparatus comprising:
前記固定手段の下方に設けられ、前記洗浄ノズルより噴射された洗浄液を回収する回収手段を備えたことを特徴とするマスク洗浄装置。A mask cleaning apparatus, further comprising a recovery unit provided below the fixing unit and configured to recover the cleaning liquid ejected from the cleaning nozzle. 前記第1の面、及び第2の面のうちのいずれか一方の面側に配置された前記洗浄ノズルを、マスクに対して進退移動させる進退用シリンダを備えたことを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のマスク洗浄装置。2. An advancing / retracting cylinder for moving the cleaning nozzle disposed on one of the first surface and the second surface with respect to a mask. Alternatively, the mask cleaning apparatus according to claim 2. 前記飛散防止手段は、上端部とマスクとの間隔が、下端部とマスクとの間隔よりも小さくなるように設定されることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のマスク洗浄装置。The said scattering prevention means is set so that the space | interval of an upper end part and a mask may become smaller than the space | interval of a lower end part and a mask, The claim 1 characterized by the above-mentioned. Mask cleaning equipment.
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