JP2004233975A - Photosensitive resin composition for spacer - Google Patents

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李俊賢
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盛培華
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林伯宣
Shunan Shi
施俊安
Hakugi Kyo
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition for spacers, which adopts a flow coating method in the case of coating a large-sized substrate for a liquid crystal display, is so excellent in uniformity of coating within the substrate as not to leaving linear traces (including horizontal linear traces and vertical linear traces) and cloudy traces, and ensures a small film thickness variation in the periphery of the substrate. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition for spacers comprises (A) an alkali-soluble resin, (B) a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, (C) a photopolymerization initiator and (D) a solvent, and the photosensitive resin composition has a viscosity of 3.0-18.0 cps at 25°C, a solid content of 10-35 wt.% and a contact angle of ≤21° between the photosensitive resin composition and a large-sized substrate for a liquid crystal display. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

本発明は液晶ディスプレイ用大型基板に塗布する際に、流延塗布法を採用して好適に塗布することのできる液晶ディスプレイ用のスペーサー感光性樹脂組成物に関するものであり、特に線状残痕(水平線状残痕及び垂直線状残痕を含む)、雲状残痕を生じることなく、基板内部の塗布均一性に優れており、基板周辺の膜厚偏差が低くて、且つアルカリ性現像液を用いて現像することができるスペーサー用感光性樹脂組成物に関するものである。   The present invention relates to a spacer photosensitive resin composition for a liquid crystal display which can be suitably applied by applying a casting method when applied to a large substrate for a liquid crystal display. (Including horizontal linear residue and vertical linear residue), no cloud-like residue, excellent coating uniformity inside the substrate, low film thickness deviation around the substrate, and using alkaline developer And a photosensitive resin composition for a spacer which can be developed.

従来より、液晶ディスプレイの製造に際しては、二枚のガラス基板の固定間隔を一定に保持するために、ガラスビーズ又はプラスチックビーズ等のスペーサービーズを、基板間に散布させることが知られている。これらのスペーサービーズはガラス基板上にランダムに散布されることから、常に赤(R)、緑(G)、青(B)の画素部位に偏る傾向があり、その結果、入射光は散乱されて液晶ディスプレイのコントラストが低下する問題があった。   2. Description of the Related Art Conventionally, in manufacturing a liquid crystal display, it has been known that spacer beads such as glass beads or plastic beads are dispersed between substrates in order to keep a fixed interval between two glass substrates. Since these spacer beads are randomly scattered on the glass substrate, they tend to be always biased toward red (R), green (G), and blue (B) pixel portions, and as a result, incident light is scattered. There is a problem that the contrast of the liquid crystal display is reduced.

これらの問題を改良するためにスペーサーをフォトリソグラフィー技術により形成する方法が提案されている。この方法によれば感光性樹脂スペーサーは、基板上に現像した後にドット状やストライプ状のスペーサーに形成され、且つR、G、B画素以外の区域にもスペーサーを散布乃至存在させ得ることから、上記の問題を解決できる。またこの方法によれば、セルギャップを感光性樹脂の塗布膜厚によりコントロールできることから、セルギャップ幅のコントロールが容易で、高解析度の液晶ディスプレイ(LCD)を得ることができる。   In order to improve these problems, a method of forming a spacer by a photolithography technique has been proposed. According to this method, the photosensitive resin spacer is formed into a dot-like or stripe-like spacer after being developed on the substrate, and R, G, since the spacer can be dispersed or present in an area other than the B pixel, The above problem can be solved. Further, according to this method, the cell gap can be controlled by the thickness of the applied photosensitive resin, so that the cell gap width can be easily controlled and a liquid crystal display (LCD) with high resolution can be obtained.

一方、液晶ディスプレイの製造において、基板サイズの大型化は必然の傾向であって、最初の320mm×400mmの第一世代基板から、370mm×470mmの第二世代基板、550mm×650mmの第三世代基板を経て、近年では680mm×880mm〜730mm×920mmの第四世代基板が開発されるに至っている。基板サイズの大型化の目的としては、大型ディスプレイのニーズへの対応、製造コストの低減化等が挙げられる。今後基板サイズの大型化に関する動向は、少なくとも一辺の長さが1000mm以上となる第五世代以上の基板に向かっており、かかる基板としては、例えば960mm×1100mm、1100mm×1250mm、1100mm×1300mm、1500mm×1800mm、1800mm×2000mm等が挙げられる。   On the other hand, in the manufacture of liquid crystal displays, the size of the substrate is inevitably increasing, and the first generation substrate of 320 mm × 400 mm is replaced with the second generation substrate of 370 mm × 470 mm and the third generation substrate of 550 mm × 650 mm. In recent years, a fourth generation substrate of 680 mm × 880 mm to 730 mm × 920 mm has been developed. The purpose of increasing the size of the substrate is to meet the needs of large displays, to reduce manufacturing costs, and the like. In the future, the trend regarding the enlargement of the substrate size is toward the fifth generation or more substrates in which at least one side length is 1000 mm or more. For example, such substrates are 960 mm × 1100 mm, 1100 mm × 1250 mm, 1100 mm × 1300 mm, 1500 mm × 1800 mm, 1800 mm × 2000 mm, and the like.

基板のサイズが550mm×650mm以下の場合は、一般にスペーサー用感光性樹脂材料は回転塗布法で基板上に塗布されるが、かかる回転塗布法では、基板の周辺部分に厚さが増す傾向があり、その結果、液晶膜の厚さが不均一となって液晶を現像する時に色相が不均一で画質が悪くなる。また回転塗布法を用いた時に於ける感光性樹脂材料の利用率は、わずか10%以下であることから、感光性樹脂材料の浪費、生産効率が低下する。   When the size of the substrate is 550 mm × 650 mm or less, the photosensitive resin material for the spacer is generally applied onto the substrate by a spin coating method. However, in such a spin coating method, the thickness tends to increase at the peripheral portion of the substrate. As a result, the thickness of the liquid crystal film becomes non-uniform, and when developing the liquid crystal, the hue is non-uniform and the image quality deteriorates. Further, the utilization rate of the photosensitive resin material when using the spin coating method is only 10% or less, so that the photosensitive resin material is wasted and the production efficiency is reduced.

基板サイズが730mm×920mm以上の場合は、単位面積当たりの感光性樹脂材料の使用量を節約するために、感光性樹脂材料の塗布方式は、回転塗布法から流延―回転塗布法(slit‐spin coating)に変更される。この方法では感光性樹脂材料を流延塗布法で基板に塗布し、次いで基板を回転して、感光性樹脂材料を基板上に均一に分布させることができる。この流延・回転塗布方式の利点は感光性樹脂材料の使用量が大幅に低減され、材料の利用効率は約20%になる点であるが(回転塗布法における材料の利用効率は約10%である)、一方で、基板の周辺部において不要に極厚となったレジスト分を除去することができないため、洗浄設備及び洗浄液等のコストも増えるという欠点がある。   When the substrate size is 730 mm × 920 mm or more, the coating method of the photosensitive resin material is changed from the spin coating method to the casting-rotation coating method (slit-coating) in order to save the amount of the photosensitive resin material used per unit area. changed to spin coating). In this method, a photosensitive resin material is applied to a substrate by a flow coating method, and then the substrate is rotated to uniformly distribute the photosensitive resin material on the substrate. The advantage of this casting and spin coating method is that the amount of photosensitive resin material used is greatly reduced and the material usage efficiency is about 20% (the material usage efficiency in the spin coating method is about 10%). On the other hand, since it is not possible to unnecessarily remove the extremely thick resist in the peripheral portion of the substrate, there is a disadvantage that the cost of cleaning equipment and cleaning liquid also increases.

今後、基板サイズが大型化し、少なくとも一辺の長さが1000mm以上となった時には、感光性樹脂材料の使用効率を改良するために、感光性樹脂材料の塗布方式は“非回転塗布”の方式が使用されることが確実視されており、例えば、回転塗布を使わない流延塗布という方法(以下、流延塗布法と称す)の使用が検討されている。例えば非特許文献1には、流延塗布法を用いて基板の大型化に対応した第五世代のカラーフィルターの製造についての技術及び装置が述べられている。また、非特許文献2には、流延塗布装置を液晶ディスプレイ製造技術に応用したことが述べられている。   In the future, when the substrate size becomes large and the length of one side becomes at least 1000 mm or more, in order to improve the usage efficiency of the photosensitive resin material, the application method of the photosensitive resin material is “non-rotational application”. It is expected to be used, and for example, the use of a method called casting coating without using spin coating (hereinafter, referred to as a casting coating method) is being studied. For example, Non-Patent Document 1 describes a technique and an apparatus for manufacturing a fifth-generation color filter corresponding to an increase in the size of a substrate using a casting coating method. Non-Patent Document 2 describes that a casting coating apparatus is applied to a liquid crystal display manufacturing technique.

上述の流延塗布は回転塗布と異なり、感光性樹脂材料の利用効率が100%で、感光性樹脂材料の費用が大幅に低減されると共に、基板の周辺部の不要のレジスト分がなくなり、洗浄設備及び洗浄液等のコストが増えるという欠点が改良される。その結果、製造コストを有効に削減することができる。   The above-mentioned casting coating is different from spin coating, in that the utilization efficiency of the photosensitive resin material is 100%, the cost of the photosensitive resin material is greatly reduced, and unnecessary resist components at the peripheral portion of the substrate are eliminated, and cleaning is performed. The disadvantage of increased equipment and cleaning solution costs is improved. As a result, manufacturing costs can be effectively reduced.

しかし流延塗布法を使用した場合には、線状残痕、雲状残痕が生じ易く、また基板内部の塗布均一性が悪くなって、基板周辺の膜厚偏差が高いという問題があることから、特に最近のテレビ、パソコン等の大型画面化に伴い画面全体の均一性を確保するということが困難になってきた。
株式会社テクノタイムズ社発行、2002年11月号の「月刊ディスプレイ」第36頁 工業調査会発行、2002年6月号別冊「電子材料」(日本語版)第107頁
However, when the casting coating method is used, there is a problem that a linear residue and a cloud-like residue are easily generated, and the coating uniformity inside the substrate is deteriorated, and the film thickness deviation around the substrate is high. Therefore, it has become difficult to secure uniformity of the entire screen, especially with recent large screens of televisions and personal computers.
Techno Times Co., Ltd., November 2002 issue, Monthly Display, p. 36 Published by the Industrial Research Council, June 2002, separate volume "Electronic Materials" (Japanese version), page 107

本発明は以上のような事情に鑑みてなされたものであり、その課題は、感光性樹脂材料の利用効率を高め且つ製造コストの増大を抑えながらも、液晶ディスプレイ用大型基板に塗布する際に、線状残痕(水平及び垂直線状残痕を含む)、雲状残痕を生じることなく、基板内部の塗布均一性に優れており、基板周辺の膜厚偏差が低くて、且つ流延塗布法に適合するスペーサー用感光性樹脂組成物を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to increase the efficiency of use of a photosensitive resin material and to suppress an increase in manufacturing cost while applying it to a large substrate for a liquid crystal display. , No linear residue (including horizontal and vertical linear residue) and cloud-like residue, excellent coating uniformity inside the substrate, low film thickness deviation around the substrate, and casting An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for a spacer suitable for a coating method.

上記課題は、本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物により解決される。
即ち本発明は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)溶剤を含むスペーサー用感光性樹脂組成物であって、該感光性樹脂組成物は25℃における粘度が3.0〜18.0cpsの範囲にあり、固形分の含量が10〜35重量%で、且つ感光性樹脂組成物と液晶ディスプレイ用大型基板との接触角が21度以下であるスペーサー用感光性樹脂組成物である。
The above object is achieved by the photosensitive resin composition for a spacer of the present invention.
That is, the present invention is a photosensitive resin composition for a spacer comprising (A) an alkali-soluble resin, (B) a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a solvent. The photosensitive resin composition has a viscosity at 25 ° C. in the range of 3.0 to 18.0 cps, a solid content of 10 to 35% by weight, and a contact angle between the photosensitive resin composition and a large substrate for a liquid crystal display. Is 21 ° or less.

更に本発明は、流延塗布法により液晶ディスプレー用大型基板に塗布されるスペーサー用感光性樹脂組成物であって、当該スペーサー用感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)溶剤を含有し、25℃における粘度が3.0〜18.0cpsの範囲にあり、固形分の含量が10〜35重量%で、且つ、該感光性樹脂組成物は、液晶ディスプレー用大型基板との接触角が21度以下であるスペーサー用感光性樹脂組成物である。   Further, the present invention is a photosensitive resin composition for a spacer applied to a large substrate for liquid crystal display by a casting coating method, the photosensitive resin composition for a spacer, (A) an alkali-soluble resin, (B) It contains a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a solvent, the viscosity at 25 ° C. is in the range of 3.0 to 18.0 cps, and the solid content is 10 to 35. By weight, the photosensitive resin composition is a photosensitive resin composition for a spacer having a contact angle with a large substrate for a liquid crystal display of 21 degrees or less.

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物は、後述の比較例1〜3又は比較例5からも分かるように、樹脂組成物の粘度が18.0cpsを超えると、塗布、プリベークした後にスペーサー膜に線状残痕が生じる。また後述の比較例4,6の評価結果からも分かるように、感光性樹脂組成物の粘度が3.0cps未満の場合、或いは固形分が10重量%未満の場合は、塗布、プリベークした後にスペーサー膜に雲状残痕が生じ、基板内部の塗布均一性が悪くなる。更に比較例7の評価結果からも分かるように樹脂組成物と大型基板との接触角が21度を超えると、大型基板上に成型したスペーサー膜の膜厚偏差が5%を超える。一方、本発明によれば、樹脂組成物の粘度、固形分、溶剤(D)の飽和蒸気圧、及び感光性樹脂組成物と大型基板との接触角等の条件を本発明の範囲内に調整することにより、線状残痕、雲状残痕を生じることなく、基板内部の塗布均一性に優れ、且つ基板周辺の膜厚偏差が低く、そして流延塗布法によって液晶ディスプレイ用の大型基板に適合できるスペーサー用感光性樹脂組成物を提供することができる。更に本発明により、大型化された基板の生産効率を第四世代の基板に比べて約2倍とすることができる。   As can be seen from Comparative Examples 1 to 3 or Comparative Example 5 described below, when the viscosity of the resin composition exceeds 18.0 cps, the photosensitive resin composition for a spacer of the present invention is applied to a spacer film after pre-baking. A residue remains. Also, as can be seen from the evaluation results of Comparative Examples 4 and 6 described below, when the viscosity of the photosensitive resin composition is less than 3.0 cps, or when the solid content is less than 10% by weight, the spacer film is applied and pre-baked before coating. Cloudy residue is generated on the substrate, and coating uniformity inside the substrate is deteriorated. Further, as can be seen from the evaluation results of Comparative Example 7, when the contact angle between the resin composition and the large substrate exceeds 21 degrees, the thickness deviation of the spacer film formed on the large substrate exceeds 5%. On the other hand, according to the present invention, conditions such as the viscosity of the resin composition, the solid content, the saturated vapor pressure of the solvent (D), and the contact angle between the photosensitive resin composition and the large substrate are adjusted within the scope of the present invention. By doing so, the coating uniformity inside the substrate is excellent, the film thickness deviation around the substrate is low, and the large-sized substrate for liquid crystal display A compatible photosensitive resin composition for a spacer can be provided. Further, according to the present invention, the production efficiency of a large-sized substrate can be approximately doubled as compared with a fourth-generation substrate.

(A)アルカリ可溶性樹脂
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂(A)は、アルカリ性水溶液に可溶である樹脂を指し、例えばカルボキシル基を有する共重合体、フェノール−ノボラック樹脂等が挙げられる。
(A) Alkali-soluble resin The alkali-soluble resin (A) in the present invention refers to a resin that is soluble in an alkaline aqueous solution, and includes, for example, a copolymer having a carboxyl group, and a phenol-novolak resin.

本発明における好ましいアルカリ可溶性樹脂は、構成単位(a1)を形成する不飽和カルボン酸モノマー、構成単位(a2)を形成するエポキシ基含有不飽和モノマー及び構成単位(a3)を形成するその他の不飽和モノマーより構成された共重合体である。   Preferred alkali-soluble resins in the present invention include an unsaturated carboxylic acid monomer forming the structural unit (a1), an epoxy group-containing unsaturated monomer forming the structural unit (a2), and other unsaturated monomers forming the structural unit (a3). It is a copolymer composed of monomers.

上記のアルカリ可溶性樹脂(A)中における構成単位(a1)の構成比率は、好ましくは5〜50重量部であって、かかる構成単位(a1)を形成する不飽和カルボン酸モノマーの具体的な例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロロアクリル酸、エチルアクリル酸及び桂皮酸等の不飽和モノカルボン酸類、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸及び無水シトラコン酸等の不飽和ジカルボン酸(無水物)類、3価以上の不飽和多価カルボン酸(無水物)類等が挙げられる。これらの不飽和カルボン酸モノマーの中でより好ましくはアクリル酸、メタクリル酸である。それぞれの不飽和モノマーは単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   The structural ratio of the structural unit (a1) in the alkali-soluble resin (A) is preferably 5 to 50 parts by weight, and specific examples of the unsaturated carboxylic acid monomer forming the structural unit (a1) Examples include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, ethylacrylic acid and cinnamic acid, maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citracone Unsaturated dicarboxylic acids (anhydrides) such as acid and citraconic anhydride; and trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acids (anhydrides). Among these unsaturated carboxylic acid monomers, acrylic acid and methacrylic acid are more preferred. Each unsaturated monomer can be used alone or in combination of two or more.

また上記のアルカリ可溶性樹脂(A)中における構成単位(a2)の構成比率は、好ましくは10〜70重量部であって、かかる構成単位(a2)を形成するエポキシ基含有不飽和モノマーの具体的な例としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α-エチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸-3,4-エポキシブチル、メタクリル酸-6,7-エポキシヘプチル、α-エチルアクリル酸-6,7-エポキシヘプチル、o-ビニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリシジルエーテルp-ビニルベンジルグリシジルエーテル等が挙げられる。これらの中で好ましくはメタクリル酸グリシジル、メタクリル酸-6,7-エポキシヘプチル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル及びp−ビニルベンジルグリシジルエーテルである。   The structural ratio of the structural unit (a2) in the alkali-soluble resin (A) is preferably 10 to 70 parts by weight, and specific examples of the epoxy group-containing unsaturated monomer forming the structural unit (a2) are given below. Examples are glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, glycidyl α-ethyl acrylate, 3,4-epoxybutyl acrylate, -6,7-epoxyheptyl methacrylate, α-ethyl acrylate-6,7- Epoxyheptyl, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether and the like can be mentioned. Among these, glycidyl methacrylate, 6,7-epoxyheptyl methacrylate, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether and p-vinylbenzyl glycidyl ether are preferred.

そして上記のアルカリ可溶性樹脂(A)中における構成単位(a3)の構成比率は、好ましくは0〜70重量部であって、かかる構成単位(a3)を形成するその他の不飽和モノマーの具体的な例としては、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート等のメタクリル酸鎖状アルキルエステル;メチルアクリレート、イソプロピルアクリレート等のアクリル酸鎖状アルキルエステル;シクロヘキシルメタクリレート、2-メチルシクロヘキシルメタクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート等のメタクリル酸環状アルキルエステル;シクロヘキシルアクリレート、2-メチルシクロヘキシルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチルアクリレート等のアクリル酸環状アルキルエステル;マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル;2-ヒドロキシエチルメタクリレート、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等のヒドロキシアルキルエステル;またはスチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレン等が挙げられる。これらの中でスチレン、t−ブチルメタクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチルアクリレート、p−メトキシスチレンが好ましい。それぞれのモノマーは単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   The structural ratio of the structural unit (a3) in the alkali-soluble resin (A) is preferably 0 to 70 parts by weight, and specific examples of other unsaturated monomers forming the structural unit (a3) Examples are methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate and other methacrylic acid chain alkyl esters; methyl acrylate, acrylate acrylate and other acrylic acid chain alkyl esters; cyclohexyl methacrylate, Cyclic alkyl methacrylates such as 2-methylcyclohexyl methacrylate, dicyclopentanyl methacrylate, dicyclopentanyloxyethyl methacrylate, and isobornyl methacrylate; cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl Acrylic acid cyclic alkyl esters such as acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentanyloxyethyl acrylate; dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate; 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxy Hydroxyalkyl esters such as propyl methacrylate and 4-hydroxybutyl methacrylate; and styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, p-methoxystyrene and the like. Of these, styrene, t-butyl methacrylate, dicyclopentanyl methacrylate, dicyclopentanyloxyethyl acrylate, and p-methoxystyrene are preferred. Each monomer can be used alone or in combination of two or more.

本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)の製造に使用される溶媒としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、メチルエチルケトン及びアセトンが挙げられる。これらの中でジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートが好ましい。これらの溶媒は単独でまたは併用して用いることができる。   Examples of the solvent used in the production of the alkali-soluble resin (A) of the present invention include benzene, toluene, xylene, methanol, ethanol, ethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, and ethylene glycol monoethyl ether. , Methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, methyl ethyl ketone and acetone. Of these, diethylene glycol dimethyl ether and propylene glycol methyl ether acetate are preferred. These solvents can be used alone or in combination.

アルカリ可溶性樹脂(A)の製造には、一般的なラジカル重合開始剤を使用することができ、例えば2,2'−アゾビスイソブチロニトリル、2,2'−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2'−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2'−アゾビス−2−メチルブチロニトリル等のアゾ系化合物、ベンゾイルペルオキシド等の過酸化物を使用することができる。   For the production of the alkali-soluble resin (A), a general radical polymerization initiator can be used. For example, 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis- (2,4- Azo compounds such as dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis- (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) and 2,2′-azobis-2-methylbutyronitrile, and peroxides such as benzoyl peroxide. Oxides can be used.

本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)の重量平均分子量は、一般に3,000〜100,000、好ましくは4,000〜80,000、更に好ましくは5,000〜60,000である。アルカリ可溶性樹脂は単独でまたは2種以上を混合して使用することにより、アルカリ可溶性樹脂(A)の分子量を制御することができる。
なお、アルカリ可溶性樹脂(A)として、かかる(a1)〜(a3)のモノマーからなる共重合体を使用することにより、当該樹脂(A)はアルカリ可溶性に優れ、且つこれを用いて形成された感光性樹脂組成物は紫外線硬化性に優れたものとなり、更に優れた機械特性、熱的特性のスペーサーを形成することができる。
The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin (A) of the present invention is generally from 3,000 to 100,000, preferably from 4,000 to 80,000, more preferably from 5,000 to 60,000. The molecular weight of the alkali-soluble resin (A) can be controlled by using the alkali-soluble resin alone or by mixing two or more kinds.
In addition, as the alkali-soluble resin (A), by using a copolymer consisting of such monomers (a1) to (a3), the resin (A) is excellent in alkali solubility, and was formed using this The photosensitive resin composition has excellent ultraviolet curability, and can form a spacer having more excellent mechanical and thermal properties.

(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物
本発明におけるエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して、好ましくは5〜220重量部、更に好ましくは50〜140重量部である。
(B) Polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond In the present invention, the amount of the polymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated bond is preferably 5 to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin (A). To 220 parts by weight, more preferably 50 to 140 parts by weight.

本発明におけるエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)は、1個以上のエチレン性不飽和基を有するエチレン性不飽和化合物からなる。エチレン性不飽和基を1個有するエチレン性不飽和化合物としては、例えばアクリルアミド、(メタ)アクリロイルモルホリン、7-アミノ-3,7-ジメチルオクチル(メタ)アクリレ−ト、イソブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、イソボルニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、エチルジエチレングリコール(メタ)アクリレート、tert-オクチル(メタ)アクリルアミド、ジアセトン(メタ)アクリルアミド、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、N,N-ジメチル(メタ)アクリルアミド、テトラクロロフェニル(メタ)アクリレート、2-テトラクロロフェノキシエチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、テトラブロモフェニル(メタ)アクリレート、2-テトラブロモフェノキシエチル(メタ)アクリレート、2-トリクロロフェノキシエチル(メタ)アクリレート、トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、2-トリブロモフェノキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ビニルカプロラクタム、N-ビニルピロリドン、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ペンタクロロフェニル(メタ)アクリレート、ペンタブロモフェニル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ボルニル(メタ)アクリレートが挙げられる。   The polymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated bond in the present invention comprises an ethylenically unsaturated compound having one or more ethylenically unsaturated groups. Examples of the ethylenically unsaturated compound having one ethylenically unsaturated group include acrylamide, (meth) acryloylmorpholine, 7-amino-3,7-dimethyloctyl (meth) acrylate, isobutoxymethyl (meth) acrylamide , Isobornyloxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, ethyldiethylene glycol (meth) acrylate, tert-octyl (meth) acrylamide, diacetone (meth) acrylamide, dimethylaminoethyl ( (Meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, N, N-dimethyl (meth) Crylamido, tetrachlorophenyl (meth) acrylate, 2-tetrachlorophenoxyethyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, tetrabromophenyl (meth) acrylate, 2-tetrabromophenoxyethyl (meth) acrylate, 2-trichloro Phenoxyethyl (meth) acrylate, tribromophenyl (meth) acrylate, 2-tribromophenoxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, vinyl caprolactam, N-vinyl Pyrrolidone, phenoxyethyl (meth) acrylate, pentachlorophenyl (meth) acrylate, pentabromophenyl (meth) acrylate, polyethylene glycol mono ( Data) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, bornyl (meth) acrylate.

またエチレン性不飽和基を2個以上有するエチレン性不飽和化合物としては、例えばエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド(以下、「EO」と略記する。)変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド(以下、「PO」と略記する。)変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ポリエステルジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、EO変性水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、フェノールノボラックポリグリシジルエーテルの(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the ethylenically unsaturated compound having two or more ethylenically unsaturated groups include ethylene glycol di (meth) acrylate, dicyclopentenyl di (meth) acrylate, triethylene glycol diacrylate, and tetraethylene glycol di (meth) acrylate. Acrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, caprolactone-modified tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, tri Methylolpropane tri (meth) acrylate, ethylene oxide (hereinafter abbreviated as “EO”) modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propylene oxide (hereinafter abbreviated as “PO”). Modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, polyester di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate , Dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol Tall penta (meth) acrylate, ditrimethylolpropanetetra (meth) acrylate, EO-modified bisphenol A di (meth) acrylate, PO-modified bisphenol A di (meth) acrylate, EO-modified hydrogenated bisphenol A di (meth) acrylate, PO-modified Examples include hydrogenated bisphenol A di (meth) acrylate, EO-modified bisphenol F di (meth) acrylate, and (meth) acrylate of phenol novolak polyglycidyl ether.

上記エチレン性不飽和化合物のうち、特に好ましいものとしてはトリメチロールプロパントリアクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートが挙げられる。   Among the ethylenically unsaturated compounds, particularly preferred are trimethylolpropane triacrylate, EO-modified trimethylolpropane triacrylate, PO-modified trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate. Examples include acrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, caprolactone-modified dipentaerythritol hexaacrylate, and ditrimethylolpropane tetraacrylate.

(C)光重合開始剤
本発明における光重合開始剤(C)の使用量は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)100重量部に対して好ましくは0.02〜60重量部、更に好ましくは0.5〜30重量部である。
(C) Photopolymerization initiator The amount of the photopolymerization initiator (C) used in the present invention is preferably 0.02 to 60 parts by weight per 100 parts by weight of the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond (B). And more preferably 0.5 to 30 parts by weight.

かかる光重合開始剤(C)としては、アセトフェノン系化合物とビイミダゾール系化合物から選ばれる。そのうちアセトフェノン系化合物としては、例えばp−ジメチルアミノアセトフェノン、α,α'−ジメトキシアゾキシアセトフェノン、2,2'−ジメチル−2−フェニルアセトフェノン、p−メトキシアセトフェノン、2−メチル−〔4−(メチルチオ)フェノール〕、2−モルホリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−N,N−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノンが挙げられる。   The photopolymerization initiator (C) is selected from acetophenone-based compounds and biimidazole-based compounds. Among them, examples of the acetophenone-based compound include p-dimethylaminoacetophenone, α, α′-dimethoxyazoxyacetophenone, 2,2′-dimethyl-2-phenylacetophenone, p-methoxyacetophenone, and 2-methyl- [4- (methylthiophene). ) Phenol], 2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-N, N-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone.

またビイミダゾール系化合物としては、例えば2-(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5,−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(2−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等が挙げられる。これらの中で2−ベンジル−2−N,N−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、2−(2−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体を併用した光重合開始剤の効果が比較的好ましい。   Examples of the biimidazole compound include 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5, -diphenylimidazole dimer, and 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer. (O-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5 -Diphenylimidazole dimer, 2- (2-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like. Among them, 2-benzyl-2-N, N-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone and 2- (2-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer are used in combination. The effect of the photopolymerization initiator is relatively preferred.

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物は更にベンゾフェノン系化合物の光重合開始剤を添加してもよく、かかるベンゾフェノン系化合物の光重合開始剤として具体的には、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、チオキサントン−4−スルフォン、ベンゾフェノン、4,4'−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等がある。その他に、ベンジル、ジアセチル等のα−ジケトン類、ベンゾイン等のアシロイン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類、2,4,6−トリメチル-ベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルベンジルホスフィン酸化物等のアシルホスフィン酸化物類、アントラキノン、1,4−ナフトキノン等のキノン類、塩化フェナシル、トリブロムメチルフェニルスルフォン、トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロゲン化合物、ジ−t−ブチルペルオキシド等の過酸化物がある。これらの中でベンゾフェノン系化合物が好ましく、特に4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンの効果が最も優れている。   The photosensitive resin composition for a spacer of the present invention may further include a photopolymerization initiator of a benzophenone-based compound.Specific examples of the photopolymerization initiator of the benzophenone-based compound include thioxanthone and 2,4-diethylthioxanthone. Thioxanthone-4-sulfone, benzophenone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone. In addition, α-diketones such as benzyl and diacetyl, acyloins such as benzoin, acyloin ethers such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin isopropyl ether, and 2,4,6-trimethyl-benzoyldiphenylphosphine oxide Acylphosphine oxides such as bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylbenzylphosphine oxide; quinones such as anthraquinone and 1,4-naphthoquinone; phenacyl chloride; tribromomethylphenyl There are halogen compounds such as sulfone and tris (trichloromethyl) -s-triazine, and peroxides such as di-t-butyl peroxide. Of these, benzophenone compounds are preferred, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is the most effective.

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)、及び光重合開始剤(C)を均一に混合調製して得られる。通常は本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物に適当な有機溶媒を加えて組成物を溶解させ、溶液状態にして用いられる。   The photosensitive resin composition for a spacer of the present invention is obtained by uniformly mixing and preparing an alkali-soluble resin (A), a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond (B), and a photopolymerization initiator (C). . Usually, a suitable organic solvent is added to the photosensitive resin composition for a spacer of the present invention to dissolve the composition and used in a solution state.

(D)溶剤
本発明に使用される溶剤は、他の有機成分と相互溶解し易い有機溶媒から選択される。かかる溶剤(D)は、25℃における飽和蒸気圧が4.5mm-Hg以下、好ましくは4.0mmHg以下、更に好ましくは3.8mmHg以下である。該溶剤(D)の25℃における蒸気圧が4.5mmHg以下であると、スペーサー用感光性樹脂組成物を液晶ディスプレイ用大型基板に塗布した後に雲状残痕を生じにくい。
(D) Solvent The solvent used in the present invention is selected from organic solvents which are easily mutually soluble with other organic components. Such a solvent (D) has a saturated vapor pressure at 25 ° C. of 4.5 mm-Hg or less, preferably 4.0 mmHg or less, more preferably 3.8 mmHg or less. When the vapor pressure of the solvent (D) at 25 ° C. is 4.5 mmHg or less, a cloud-like residue hardly occurs after the photosensitive resin composition for a spacer is applied to a large substrate for a liquid crystal display.

飽和蒸気圧の測定は一般に公知の方法を使用できるが、本発明においてはトランスピレーション法(気体流通法)を用いることにより、当該溶剤(D)の飽和蒸気圧をより正確に測定できる。   Although a generally known method can be used for measuring the saturated vapor pressure, the saturation vapor pressure of the solvent (D) can be measured more accurately by using the transpiration method (gas flow method) in the present invention.

本発明における溶剤(D)の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して500〜2,500重量部、更に好ましくは550〜2,000重量部である。   The amount of the solvent (D) used in the present invention is 500 to 2,500 parts by weight, more preferably 550 to 2,000 parts by weight, based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin (A).

本発明の感光性樹脂組成物に使用される溶剤(D)としては、エーテル類及びエステル類の溶剤を用いることができ、エーテル類としては、エチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。一方エステル類としては、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、3−エトキシプロピオン酸エチルが挙げられる。これらの溶媒のうちジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、3−エトキシプロピオン酸エチルが好ましい。前記溶媒は単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   As the solvent (D) used in the photosensitive resin composition of the present invention, solvents of ethers and esters can be used, and as ethers, ethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether , Ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether and the like. On the other hand, examples of esters include methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, and ethyl 3-ethoxypropionate. Of these solvents, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol methyl ether acetate and ethyl 3-ethoxypropionate are preferred. The solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物においては、その塗布性能を高めるために界面活性剤を使用することができる。界面活性剤の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して、通常は0〜6重量部、好ましくは0〜3重量部である。   In the photosensitive resin composition for a spacer of the present invention, a surfactant can be used to enhance the coating performance. The amount of the surfactant to be used is generally 0-6 parts by weight, preferably 0-3 parts by weight, per 100 parts by weight of the alkali-soluble resin (A).

上記界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業社製)、SF−8427(東レ・ダウコーニング・シリコーン社)、ポリフロー(共栄社油脂化学工業社製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業社製)、フロラード(住友スリーエム社製)、アサヒガード、サーフロン(旭硝子社製)等を挙げることができる。これらの界面活性剤は単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   Specific examples of the surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, and the like. Polyoxyethylene alkyl phenyl ethers; polyethylene glycol diesters such as polyethylene glycol dilaurate and polyethylene glycol distearate; sorbitan fatty acid esters; fatty acid-modified polyesters; tertiary amine-modified polyurethanes; (Manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), SF-8427 (manufactured by Dow Corning Silicone Toray Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoeisha Yushi Kagaku Kogyo Co., Ltd.) Made-time Products Co., Ltd.), Megafac (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), Fluorad (manufactured by Sumitomo 3M Ltd.), mention may be made of Asahi guard, Sarfron (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), and the like. These surfactants can be used alone or in combination of two or more.

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物は、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、本発明のアルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、架橋剤および希釈剤等を配合することができる。本発明において、かかる添加物の使用量は、アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して通常は0〜10重量部、好ましくは0〜6重量部、更に好ましくは0〜3重量部である。   The photosensitive resin composition for a spacer of the present invention includes various additives as necessary, such as a filler, a polymer compound other than the alkali-soluble resin (A) of the present invention, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber. , A coagulation inhibitor, a crosslinking agent, a diluent, and the like. In the present invention, the amount of the additive to be used is generally 0 to 10 parts by weight, preferably 0 to 6 parts by weight, more preferably 0 to 3 parts by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin (A). .

これら添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤、及びポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の、アルカリ可溶性樹脂(A)以外の高分子化合物、及びビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2-メトキシエトキシ)シラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3-クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメトキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤、及び2,2-チオビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、2,6-ジ-t-ブチルフェノール等の酸化防止剤、及び2-(3-t-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤、及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、商品名エピコート1031S(ジャパンエポキシレジン社)等のエポキシ系化合物又は樹脂からなる架橋剤、商品名RE801、RE802(帝国インキ社)のような希釈剤を挙げることができる。   Specific examples of these additives include glass, fillers such as alumina, and polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, and other high molecular compounds other than the alkali-soluble resin (A), And vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyl Trimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloro Propylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane Orchids, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, adhesion promoters such as 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2,6-di-t- Antioxidants such as butylphenol, UV absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone, and aggregation prevention such as sodium polyacrylate And a cross-linking agent made of an epoxy compound or resin such as an agent, trade name Epicoat 1031S (Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), and a diluent such as trade names RE801 and RE802 (Teikoku Ink).

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物は、室温(25℃)における粘度が3.0〜18.0cps、好ましくは4.0〜16cps、更に好ましくは5.0〜14.0cpsである。その粘度が3.0cps未満であると塗布後に雲状残痕を生じやすく、且つ基板内部の塗布均一性が悪くなる。一方、その粘度が18.0cpsを超えると塗布後に線状残痕を生じやすい。上記感光性樹脂組成物の粘度は25℃の恒温下でE型回転粘度計にて回転数6rpmの条件で測定した。また本発明の感光性樹脂組成物の粘度は、アルカリ可溶性樹脂(A)、溶剤(D)及び添加物の種類と使用量により調整又は制御することができる。   The photosensitive resin composition for a spacer of the present invention has a viscosity at room temperature (25 ° C.) of 3.0 to 18.0 cps, preferably 4.0 to 16 cps, and more preferably 5.0 to 14.0 cps. If the viscosity is less than 3.0 cps, cloudy residue is likely to be formed after coating, and the coating uniformity inside the substrate is deteriorated. On the other hand, if the viscosity exceeds 18.0 cps, a linear residue tends to be generated after coating. The viscosity of the photosensitive resin composition was measured at a constant temperature of 25 ° C. using an E-type viscometer at a rotation speed of 6 rpm. The viscosity of the photosensitive resin composition of the present invention can be adjusted or controlled by the types and amounts of the alkali-soluble resin (A), the solvent (D) and the additives.

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物の固形分含量は、通常は10〜35重量%、好ましくは12〜32重量%、更に好ましくは15〜30重量%である。固形分含量が10重量%未満であると塗布後に雲状残痕を生じやすい、且つ基板内部の塗布均一性が悪くなる。固形分含量が35重量%を超えると塗布後に線状残痕を生じやすい。固形分の測定方法は加熱法で測定した。本発明において固形分は、溶剤(D)、アルカリ可溶性樹脂(A)、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)及び添加物の種類と使用量により調整又は制御することができる。   The solid content of the photosensitive resin composition for a spacer of the present invention is usually 10 to 35% by weight, preferably 12 to 32% by weight, and more preferably 15 to 30% by weight. If the solid content is less than 10% by weight, cloudy residue is likely to occur after coating, and the coating uniformity inside the substrate deteriorates. If the solid content exceeds 35% by weight, linear residue tends to occur after coating. The solid content was measured by a heating method. In the present invention, the solid content can be adjusted or controlled by the type and amount of the solvent (D), the alkali-soluble resin (A), the polymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated bond, and the additives.

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物は、液晶ディスプレイ用大型基板との接触角が、通常は21度以下、好ましくは5〜18度、更に好ましくは7〜15度である。その接触角が21度を超えると基板内部の塗布均一性が悪くなり、且つ基板周辺の膜厚偏差が高くなる。特に当該接触角が5〜18度範囲内にあると、基板周辺の膜厚偏差現象(膜厚偏差が高くなる現象)が生じなくなる。この接触角は、液滴法(Sessile Drop法)により測定することができ、より具体的には、大型ガラス基板にスペーサー用感光性樹脂組成物を滴下し、滴下後、30秒後の角度を接触角計(協和界面科学株式会社製CA−VP150型接触角計)を用いることで測定することができる。本発明において、該接触角は、溶剤(D)の選択、アルカリ可溶性樹脂(A)の種類、及び適当な界面活性剤その他の添加物(例えば希釈剤)を添加することによって調整又は制御することができる。   The photosensitive resin composition for a spacer of the present invention has a contact angle with a large substrate for a liquid crystal display of usually 21 ° or less, preferably 5 to 18 °, more preferably 7 to 15 °. If the contact angle exceeds 21 degrees, the coating uniformity inside the substrate will deteriorate, and the thickness deviation around the substrate will increase. In particular, when the contact angle is in the range of 5 to 18 degrees, the phenomenon of film thickness deviation around the substrate (the phenomenon that the film thickness deviation increases) does not occur. This contact angle can be measured by a droplet method (Sessile Drop method). More specifically, the photosensitive resin composition for a spacer is dropped on a large-sized glass substrate, and the angle after 30 seconds is dropped after the dropping. It can be measured by using a contact angle meter (CA-VP150 type contact angle meter manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.). In the present invention, the contact angle is adjusted or controlled by selecting the solvent (D), the type of the alkali-soluble resin (A), and adding an appropriate surfactant or other additives (for example, a diluent). Can be.

本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物は、上記成分(A)〜(D)を各種の混合機を使用して混合することにより溶液状態として調製した後、大型基板に流延塗布によって塗布し、プリベークにより溶剤を除去することによって感光性樹脂組成物層を形成する。プリベークの条件は各成分の種類、配合割合によっても異なるが、通常は70℃〜90℃で1分〜15分間程度である。プリベークした後、感光性樹脂組成物層に所定のパターンマスクを介して露光してから、例えば23±2℃の現像液で通常は30秒〜5分現像して不要な部分を除去することにより、所定パターンを形成する。露光の際に使用される光線としてはg線、h線、i線等の紫外線が好ましい。紫外線照射装置としては高圧水銀灯、メタルハライドランプを用いることができる。   The photosensitive resin composition for a spacer of the present invention is prepared in a solution state by mixing the above components (A) to (D) using various mixers, and then applied to a large substrate by casting. The photosensitive resin composition layer is formed by removing the solvent by pre-baking. Prebaking conditions vary depending on the type and blending ratio of each component, but are usually at 70 ° C to 90 ° C for about 1 minute to 15 minutes. After pre-baking, the photosensitive resin composition layer is exposed through a predetermined pattern mask, and then, for example, is usually developed with a developer at 23 ± 2 ° C. for 30 seconds to 5 minutes to remove unnecessary portions. A predetermined pattern is formed. Ultraviolet rays such as g-rays, h-rays, and i-rays are preferable as the light rays used in the exposure. A high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp can be used as the ultraviolet irradiation device.

大型基板としては、例えば液晶ディスプレイ等に用いられる無アルカリ性ガラス、ソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス及びこれらのガラスに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等が挙げられる。これらの基板は一般に各画素を隔離するブラックマトリックス(遮光膜)が形成されている。また上記の大型基板は、少なくとも一辺の長さが800mm或は800mm以上のものであって、好ましくは少なくとも一辺の長さが1000mm或は1000mm以上であり、これらの大型基板において、本発明に係るスペーサー用感光性樹脂組成物は、より好適に使用することができる。但しこのことは、本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物を、上記大型基板以外の基板、即ち、全ての一辺の長さが800mmを超えない基板に使用することを妨げるものではない。本発明のスペーサー用感光性樹脂組成物は、かかる全ての一辺の長さが800mmを超えない基板に使用する場合であっても、感光性樹脂材料の利用効率を高め且つ製造コストの増大を抑えながらも、線状残痕(水平及び垂直線状残痕を含む)、雲状残痕を生じさせることなく、基板内部の塗布均一性に優れ、基板周辺の膜厚偏差が低くて、且つ流延塗布法に適合することができる。   As a large-sized substrate, for example, alkali-free glass, soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, quartz glass used for a liquid crystal display or the like, a transparent conductive film adhered to these glasses, and a solid-state imaging device are used. A photoelectric conversion element substrate, such as a silicon substrate, may be used. These substrates are generally provided with a black matrix (light shielding film) for isolating each pixel. In addition, the above-mentioned large-sized substrate has a length of at least one side of 800 mm or 800 mm or more, and preferably has a length of at least one side of 1000 mm or 1000 mm or more. The photosensitive resin composition for a spacer can be more preferably used. However, this does not preclude the use of the photosensitive resin composition for a spacer of the present invention on a substrate other than the large-sized substrate, that is, a substrate whose one side does not exceed 800 mm in length. The photosensitive resin composition for a spacer of the present invention enhances the efficiency of use of the photosensitive resin material and suppresses an increase in manufacturing cost, even when used for a substrate whose length of all sides does not exceed 800 mm. However, it does not generate linear residue (including horizontal and vertical linear residue) and cloud-like residue, has excellent coating uniformity inside the substrate, has low film thickness deviation around the substrate, and has low flow. It can be adapted to the roll coating method.

また現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、珪酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8-ジアザビシクロ-〔5,4,0〕-7-ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解させたアルカリ性水溶液を使用することができる。なおこのようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に水で洗浄し、更に圧縮空気や圧縮窒素で風乾することによってパターンを形成することができる。その後このパターンをホットプレート、オーブン等の加熱装置により、所定温度、例えば150℃〜250℃で、所定時間、例えばホットプレート上なら5分〜60分間、オーブン中では30〜90分間加熱処理(ポストベーク)をすることによって、目的とする画素パターンを得ることができる。   Examples of the developing solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, and tetramethyl. Alkaline compounds such as ammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, and 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7-undecene are used at a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 10% by mass. An alkaline aqueous solution dissolved to 1% by mass can be used. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, the pattern can be generally formed by washing with water after development and further air-drying with compressed air or compressed nitrogen. Thereafter, the pattern is heated by a heating device such as a hot plate or an oven at a predetermined temperature, for example, 150 ° C. to 250 ° C., for a predetermined time, for example, 5 to 60 minutes on a hot plate, and 30 to 90 minutes in an oven (post). By performing baking, a target pixel pattern can be obtained.

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明はこれらの実施例に何ら制約されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples. However, the present invention is not limited to these embodiments.

〔アルカリ可溶性樹脂(A)の合成例〕
<合成例a>
窒素ガス雰囲気の下で、窒素ガス導入口、攪拌器、加熱器、冷却管および温度計を備えた1000mlの4ツ口フラスコに、メタクリル酸モノマー(以下、MAAと称す)30重量部、メタクリル酸グリシジルモノマー(以下、GMAと称す)25重量部、t−ブチルメタクリレートモノマー(以下、TBMAと称す)25重量部、スチレンモノマー(以下、SMと称す)20重量部、及びジエチレングリコールジメチルエーテル溶剤(diglyme)240重量部をフィードした。各モノマーのフィード方式は一括添加方式とした。この4ツ口フラスコの内容物が攪拌されている状態でオイルバスの温度を85℃まで上げた。そして、2,2’-アゾビス-2-メチルブチロニトリル(AMBN)2.4重量部をジエチレングリコールジメチルエーテル(diglyme)20重量部に溶かし、該溶液の5等分の量を一時間ごとに4ツ口フラスコ内に添加した。溶液の温度を85℃に上昇させ、この温度を6時間保持し、重合完成後に4ツ口フラスコから重合体を取出して、溶剤を揮発し、重量平均分子量(Mw)が31,024であるアルカリ可溶性樹脂aを得た。該アルカリ可溶性樹脂aにおける各モノマーから誘導される構成単位の比率は、MAAから誘導される構成単位が30重量部、GMAから誘導される構成単位が25.2重量部、TBMAから誘導される構成単位が25.3重量部、SMから誘導される構成単位が19.5重量部であった。
(Synthesis example of alkali-soluble resin (A))
<Synthesis example a>
Under a nitrogen gas atmosphere, 30 parts by weight of methacrylic acid monomer (hereinafter referred to as MAA), Glycidyl monomer (hereinafter referred to as GMA) 25 parts by weight, t-butyl methacrylate monomer (hereinafter referred to as TBMA) 25 parts by weight, styrene monomer (hereinafter referred to as SM) 20 parts by weight, and diethylene glycol dimethyl ether solvent (diglyme) 240 Parts by weight were fed. The feed system for each monomer was a batch addition system. With the contents of the four-necked flask being stirred, the temperature of the oil bath was raised to 85 ° C. Then, 2.4 parts by weight of 2,2'-azobis-2-methylbutyronitrile (AMBN) is dissolved in 20 parts by weight of diethylene glycol dimethyl ether (diglyme), and five equal portions of the solution are transferred four times an hour. It was added to the neck flask. The temperature of the solution was raised to 85 ° C., and this temperature was maintained for 6 hours. After the completion of the polymerization, the polymer was taken out from the four-necked flask, the solvent was volatilized, and the alkali having a weight average molecular weight (Mw) of 31,024 was obtained. A soluble resin a was obtained. The ratio of the structural units derived from each monomer in the alkali-soluble resin a is such that the structural units derived from MAA are 30 parts by weight, the structural units derived from GMA are 25.2 parts by weight, and the structural units derived from TBMA are 25.3 parts by weight, and the structural unit derived from SM was 19.5 parts by weight.

<合成例b〜e>
単量体の種類及び用量、重合開始剤の用量を変えた以外、合成例aと同様な操作方法によりアルカリ可溶性樹脂b〜eを得て、その分子量を評価した。製造条件及び得られた樹脂の重量平均分子量を表1に示す。
<Synthesis examples b to e>
Except that the kind and the dosage of the monomer and the dosage of the polymerization initiator were changed, alkali-soluble resins b to e were obtained by the same operation method as in Synthesis Example a, and the molecular weight was evaluated. Table 1 shows the production conditions and the weight average molecular weight of the obtained resin.

〔スペーサー用感光性樹脂組成物の調製〕
<実施例1〜7及び比較例1〜7>
上述の合成例で得られたアルカリ可溶性樹脂(A)100重量部(固形分)を使って、表2に示す成分、即ちエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、その他の添加剤とを混合し、溶剤(D)に溶解、混合させて、スペーサー用感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
(Preparation of photosensitive resin composition for spacer)
<Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 7>
Using 100 parts by weight (solid content) of the alkali-soluble resin (A) obtained in the above synthesis example, the components shown in Table 2, ie, the polymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated bond, and photopolymerization initiation The agent (C) and other additives were mixed, dissolved and mixed in a solvent (D) to prepare a solution of the photosensitive resin composition for a spacer.

〔評価の方式〕
表2の各種スペーサー用感光性樹脂組成物を振動かき混ぜ機で混合して、しかる後に流延塗布により1100mm×960mmの大型ガラス基板に15μmの塗膜を塗布し、そして85℃で5分間プリベークした後、感光性樹脂組成物の塗膜を得て、その塗膜を以下の項目について評価し、その結果を表2に示した。そしてこの感光性樹脂組成物塗膜に、所定のパターンマスクを介して紫外線(露光機Canon PLA-501F)300mJ/cm2を照射して、23±2℃の現像液に2分間浸漬した後、純水でリンスした。これらの操作により不要な部分は除去され、更に200℃で40分間ポストベークしてガラス基板上に画素パターンを得た。そして以下の評価項目に従って評価し、その結果を表3に示した。
[Evaluation method]
The various photosensitive resin compositions for spacers in Table 2 were mixed with a vibrating stirrer, and then a 15 μm coating film was applied to a large glass substrate of 1100 mm × 960 mm by cast coating, and prebaked at 85 ° C. for 5 minutes. Thereafter, a coating film of the photosensitive resin composition was obtained, and the coating film was evaluated for the following items. The results are shown in Table 2. Then, the photosensitive resin composition coating film was irradiated with ultraviolet rays (exposure machine Canon PLA-501F) at 300 mJ / cm 2 through a predetermined pattern mask, immersed in a developer at 23 ± 2 ° C. for 2 minutes, Rinse with pure water. Unnecessary portions were removed by these operations, and further post-baked at 200 ° C. for 40 minutes to obtain a pixel pattern on a glass substrate. And it evaluated according to the following evaluation items, and the result was shown in Table 3.

〔評価項目〕
「粘度」 感光性樹脂組成物の粘度を25℃の恒温下でE型回転粘度計(東京精密社製)にて回転数6rpmの条件下で測定した。表2に示す値の単位はセンチポアズ(cps)である。
〔Evaluation item〕
“Viscosity” The viscosity of the photosensitive resin composition was measured at a constant temperature of 25 ° C. using an E-type viscometer (manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd.) at a rotation speed of 6 rpm. The unit of the value shown in Table 2 is centipoise (cps).

「固形分」 スペーサー用感光性樹脂組成物5ccをアルミニウム盤に滴下し、220℃、30分間の乾燥処理をした。その乾燥前後の重量差により固形分を計算した。表2に示す値の単位は重量%である。 "Solid Content" 5 cc of the photosensitive resin composition for a spacer was dropped on an aluminum disk and dried at 220 ° C. for 30 minutes. The solid content was calculated from the difference in weight before and after the drying. The unit of the value shown in Table 2 is% by weight.

「接触角」 液滴法により、スペーサー用感光性樹脂組成物を大型ガラス基板に滴下して、滴下30秒後の角度を接触角計(協和界面科学株式会社製CA−VP150型接触角計)を用いて測定した。表2に示す値の単位は度である。 "Contact angle" The photosensitive resin composition for a spacer is dropped on a large glass substrate by a droplet method, and the angle after 30 seconds from the drop is measured by a contact angle meter (CA-VP150 type contact angle meter manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.). It measured using. The units of the values shown in Table 2 are degrees.

「飽和蒸気圧」 トランスピレーション法(気体流通法)を用いて25℃にて測定した。表2に示す値の単位はmmHgである。 “Saturated vapor pressure” was measured at 25 ° C. using a transcription method (gas flow method). The unit of the value shown in Table 2 is mmHg.

「線状残痕」 流延塗布法により、スペーサー用感光性樹脂組成物を1100mm×960mmの大型ガラス基板に塗布し、且つ85℃で5分間プリベークした後、感光性樹脂組成物の塗膜を得た。そしてナトリウムランプを用いて“線状残痕”の現象を目視で検査し、以下の基準に従って評価した。その結果を表3に示す。線状残痕は水平線状残痕及び垂直線状残痕を含んでおり、その形状は図1に示した様に現れる。
○:線状残痕無し
△:線状残痕が少しあるが顕著ではない
×:線状残痕有り
"Linear residue" The photosensitive resin composition for a spacer was applied to a large glass substrate of 1100 mm x 960 mm by a casting coating method, and prebaked at 85 ° C for 5 minutes. Obtained. The phenomenon of "linear residue" was visually inspected using a sodium lamp, and evaluated according to the following criteria. Table 3 shows the results. The linear remnants include horizontal linear remnants and vertical linear remnants, and their shapes appear as shown in FIG.
:: no linear residue △: slight linear residue but not remarkable ×: linear residue present

「雲状残痕」 流延塗布法により、スペーサー用感光性樹脂組成物を1100mm×960mmの大型ガラス基板に塗布し、且つ85℃で5分間プリベークした後、感光性樹脂組成物の塗膜を得た。そしてナトリウムランプを用いて“雲状残痕”の現象を目視で検査し、以下の基準に従って評価した。その結果を表3に示す。雲状残痕の形状は図1に示した様に現れる。
○:雲状残痕無し
△:雲状残痕が少しあるが顕著ではない
×:雲状残痕有り
"Cloudy residue" The photosensitive resin composition for a spacer was applied to a large glass substrate of 1100 mm x 960 mm by a casting coating method and prebaked at 85 ° C for 5 minutes. Obtained. The phenomenon of "cloud-like residue" was visually inspected using a sodium lamp, and evaluated according to the following criteria. Table 3 shows the results. The shape of the cloudy residue appears as shown in FIG.
:: No cloudy residue 残: A little cloudy residue but not noticeable ×: Cloudy residue

「基板内部の塗布均一性」 流延塗布法により感光性樹脂組成物を1100mm×960mmの大型ガラス基板に塗布し、且つ85℃で5分間プリベークした後、感光性樹脂組成物の塗膜を得た。Tencor社製の α−step型の針接触式測定器を用いて塗膜の膜厚を測定した。この膜厚の測定点を図2に示す。 "Coating uniformity inside substrate" The photosensitive resin composition is applied to a large glass substrate of 1100 mm x 960 mm by a casting coating method and prebaked at 85 ° C for 5 minutes to obtain a coating film of the photosensitive resin composition. Was. The film thickness of the coating film was measured using an α-step type needle contact measuring device manufactured by Tencor. FIG. 2 shows the measurement points of this film thickness.

膜厚FT(avg)として、9つの測定点、即ち(x[mm],y[mm])が、(240,275),(480,275),(720,275),(240,550),(480,550),(720,550),(240,825),(480,825),(720,825) の位置における膜厚の平均値を得、FT(x,y)maxとして、前記9つの測定点における膜厚の中の膜厚最大値を得、FT(x,y)minとして、前記9つの測定点における膜厚の中の膜厚最小値を得て、これらの値に基づく下式の算定結果から、以下の基準により基板内部の塗膜均一性をを評価した。その結果を表3に示す。 As the film thickness FT (avg), nine measurement points, that is, (x [mm], y [mm]) are (240,275), (480,275), (720,275), (240,550), (480,550), (720,550) , (240, 825), (480, 825), and the average of the film thickness at the positions of (720, 825), and as FT (x, y) max , the maximum value of the film thickness at the nine measurement points is obtained. As FT (x, y) min , the minimum value of the film thickness among the film thicknesses at the above nine measurement points was obtained. The sex was evaluated. Table 3 shows the results.

式1Equation 1

Figure 2004233975
○:3%未満
△:3〜5%
×:5%を超える
Figure 2004233975
:: less than 3% △: 3 to 5%
×: Over 5%

「基板周辺の膜厚偏差」 前記「基板内部の塗布均一性」の評価と同じようにTencor社製のα−step型の針接触式測定器を用いて9つの測定点における膜厚の平均値(FT(avg))を得、またFT(edge)として、基板周辺(x[mm],y[mm])が (10,550)の位置における膜厚を得て、これらの値に基づく下式の算定結果から、以下の基準により基板周辺の膜厚偏差を評価した。その評価結果を表3に示す。 "Film thickness deviation around substrate" Average value of film thickness at 9 measurement points using an α-step type needle contact measuring device manufactured by Tencor as in the evaluation of "coating uniformity inside substrate". (FT (avg)), and as FT (edge), the film thickness at the position (x [mm], y [mm]) around the substrate (10,550) is obtained. From the calculation results, the film thickness deviation around the substrate was evaluated according to the following criteria. Table 3 shows the evaluation results.

式2Equation 2

Figure 2004233975
○:3%未満
△:3〜5%
×:5%を超える
「モノマーから誘導される構成単位の比率」 フーリエ変換赤外分光光度計 (Foruier Transform Infrared Spectrometer、Nicolet社製、Nexus 470) により測定し、その結果を表1に示した。表1に示す値の単位は重量部である。
「重量平均分子量 (Mw) 」 ウォーターズ(Waters)社のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)装置を用いて下記の条件で測定した。その測定結果を表1に示す。
カラム:KD−806M
検出器:Water RI-2410
移動相:THF(流速1.0c.c./min)
標準分子量のポリスチレンを測定基準とする。
以上に述べた内容は、本発明の比較的良い実施例であり、それをもって本発明の実施範囲を限定するものではない。本発明の請求特許の範囲及び発明説明書内容に基づいて行った容易又は均等な変更及び修飾は、すべて本発明の請求特許の範囲に記載した技術の範疇に含まれるものと主張する。
Figure 2004233975
:: less than 3% △: 3 to 5%
X: "Ratio of structural units derived from monomers" exceeding 5%. The measurement was performed using a Fourier transform infrared spectrophotometer (Foruier Transform Infrared Spectrometer, manufactured by Nicolet, Nexus 470). The results are shown in Table 1. The units of the values shown in Table 1 are parts by weight.
"Weight average molecular weight (Mw)" It was measured under the following conditions using a gel permeation chromatography (GPC) apparatus manufactured by Waters. Table 1 shows the measurement results.
Column: KD-806M
Detector: Water RI-2410
Mobile phase: THF (flow rate 1.0 cc / min)
Polystyrene having a standard molecular weight is used as a measurement standard.
The above description is a comparatively good embodiment of the present invention, and does not limit the scope of the present invention. All easy or equivalent changes and modifications made on the basis of the scope of the claims and the description of the invention are claimed to be included in the scope of the technology described in the claims of the invention.

Figure 2004233975
Figure 2004233975

Figure 2004233975
B-1 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
B-2 ジペンタエリスリトールテトラアクリレート
B-3 PO変性グリセロールトリアクリレート
C-1 2-ベンジル-2-N,N-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン
C-2 4,4’- ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
C-3 2,2’-ビス(2-クロロアミノ)-4,4’,5,5’-テトラフェニルビイミダゾール
Diglyme ジエチレングリコールジメチルエーテル
PGMEA プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
EEP エチル3-エトキシプロピオネート
γ-butyrolactone γ-ブチロラクトン
n-butyl acetate n−ブチルアセテート
界面活性剤-1 商品名フロラード(住友3M社製)
界面活性剤-2 商品名SF-8427(東レダウコーニングシリコーン社製)
密着促進剤-1 3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン
架橋剤-1 商品名1031S(ジャパンエポキシ社製)
希釈剤-1 商品名RE801(帝国インキ社製)
Figure 2004233975
B-1 Dipentaerythritol hexaacrylate
B-2 dipentaerythritol tetraacrylate
B-3 PO-modified glycerol triacrylate
C-1 2-benzyl-2-N, N-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone
C-2 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone
C-3 2,2'-bis (2-chloroamino) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole
Diglyme diethylene glycol dimethyl ether
PGMEA Propylene glycol methyl ether acetate
EEP Ethyl 3-ethoxypropionate γ-butyrolactone γ-butyrolactone
n-butyl acetate n-butyl acetate surfactant-1 trade name Florard (Sumitomo 3M)
Surfactant-2 trade name SF-8427 (Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.)
Adhesion promoter-1 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane crosslinking agent-1 Trade name 1031S (manufactured by Japan Epoxy)
Diluent-1 Trade name RE801 (manufactured by Teikoku Ink)

Figure 2004233975
Figure 2004233975

線状残痕及び雲状残痕を示す略図Schematic showing linear and cloudy residues 膜厚の測定点を示す略図Schematic diagram showing measurement points of film thickness

Claims (4)

流延塗布法により液晶ディスプレー用大型基板に塗布されるスペーサー用感光性樹脂組成物であって、当該スペーサー用感光性樹脂組成物は、
(A)アルカリ可溶性樹脂、
(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、
(C)光重合開始剤、及び
(D)溶剤を含有し、
25℃における粘度が3.0〜18.0cpsの範囲にあり、固形分の含量が10〜35重量%で、且つ、該感光性樹脂組成物は、液晶ディスプレー用大型基板との接触角が21度以下であるスペーサー用感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition for a spacer applied to a large-sized substrate for liquid crystal display by a casting coating method, wherein the photosensitive resin composition for a spacer is:
(A) an alkali-soluble resin,
(B) a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond,
(C) a photopolymerization initiator, and
(D) containing a solvent,
The viscosity at 25 ° C. is in the range of 3.0 to 18.0 cps, the solid content is 10 to 35% by weight, and the photosensitive resin composition has a contact angle with a large liquid crystal display substrate of 21 ° or less. A photosensitive resin composition for a spacer.
前記溶剤(D)は、25℃における飽和蒸気圧が4.5mm-Hg以下である請求項1記載のスペーサー用感光性樹脂組成物。   2. The photosensitive resin composition for a spacer according to claim 1, wherein the solvent (D) has a saturated vapor pressure at 25 ° C. of 4.5 mm-Hg or less. 前記アルカリ可溶性樹脂(A)は、(a1)不飽和カルボン酸モノマーから誘導される構成単位、(a2)エポキシ基含有不飽和モノマーから誘導される構成単位、並びに(a3)前記(a1)及び(a2)以外のオレフィン性不飽和モノマーから誘導される構成単位からなる共重合体である請求項1記載のスペーサー用感光性樹脂組成物。   The alkali-soluble resin (A) is (a1) a structural unit derived from an unsaturated carboxylic acid monomer, (a2) a structural unit derived from an epoxy group-containing unsaturated monomer, and (a3) the (a1) and ( 2. The photosensitive resin composition for a spacer according to claim 1, which is a copolymer comprising a structural unit derived from an olefinically unsaturated monomer other than a2). 前記液晶ディスプレイ用大型基板は、その基板の少なくとも一辺の長さが800mm或は800mm以上である請求項1記載のスペーサー用感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition for a spacer according to claim 1, wherein the large-sized substrate for a liquid crystal display has a length of at least one side of 800 mm or 800 mm or more.
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