JP2004199919A - Method for manufacturing organic el display panel - Google Patents

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JP2004199919A JP2002364783A JP2002364783A JP2004199919A JP 2004199919 A JP2004199919 A JP 2004199919A JP 2002364783 A JP2002364783 A JP 2002364783A JP 2002364783 A JP2002364783 A JP 2002364783A JP 2004199919 A JP2004199919 A JP 2004199919A
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Inventor
Isamu Oshita
勇 大下
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Tohoku Pioneer Corp
東北パイオニア株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To allow a smooth operation after the deposition by preventing the supply of a deposition material as much as possible except a pattern forming region corresponding to the panel pattern parts needed to be deposited in one deposition process, and further to enhance the recovery of the deposition material which has not been used effectively by eliminating the wasted use of the deposition material.
SOLUTION: A deposition preventing plate 3 is interposed between a substrate 1 where the panel pattern parts comprising organic EL elements are formed and a deposition source 2. This deposition preventing plate 3 limits a passage amount of the deposition flow generated from the deposition source 2, and thus the deposition material supplied to the region except the pattern forming region corresponding to the panel pattern parts is intercepted or controlled.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は、有機EL表示パネルの製造方法、有機EL表示パネルの製造装置、有機EL表示パネルに関するものである。 The present invention relates to a method of manufacturing an organic EL display panel manufacturing apparatus of an organic EL display panel, it relates to an organic EL display panel.
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
有機EL表示パネルは、透明ガラス等から成る基板上にITO等の透明電極からなる陽極を形成し、その上に有機化合物からなる発光層を含む有機層を形成し、その上にAl等の金属電極からなる陰極を形成してなる有機EL素子を基本構成としており、この有機EL素子を単位面発光要素として平面基板上にドットマトリクス状に配列させることで画像表示を行うものである。 The organic EL display panel, to form an anode made of a transparent electrode such as ITO on a substrate made of transparent glass or the like, to form an organic layer including a light emitting layer made of an organic compound thereon, a metal such as Al thereon the organic EL device obtained by forming a cathode made of the electrode has a basic configuration, in which image display is performed by aligning the planar substrate in a dot matrix to the organic EL element as a unit emitting element.
【0003】 [0003]
この有機EL表示パネルの製造方法としては、一般にマスク蒸着法が採用されている。 As a method for producing the organic EL display panel is generally adopted mask deposition method. すなわち、基板をパネルパターンに応じた開口部を有する蒸着マスクで覆い、この蒸着マスクを介して電極又は有機層の蒸着を行うことで、基板上に有機EL素子からなるパネルパターン部を形成するものである。 That is, covered with a vapor deposition mask having an opening corresponding to the substrate to the panel pattern, by performing vapor deposition of the electrode or the organic layer through the evaporation mask, to form a panel pattern portion made of an organic EL element on a substrate it is.
【0004】 [0004]
また、このような有機EL表示パネルの製造方法においては、量産化の手法として、一枚の基板を複数のパターン形成領域101を有する多面取り用マスク100で覆い(図1参照)、単一の蒸着源でこのマスク100を介して基板上に複数のパネルパターン部を形成する方法が採用されている(下記特許文献1参照)。 Further, in the method for manufacturing such an organic EL display panel, as a method of mass production, to cover the one substrate in gang printing mask 100 having a plurality of pattern forming regions 101 (see FIG. 1), a single a method of forming a plurality of panel patterns unit to the mask 100 via the substrate in the deposition source is employed (see Patent Document 1).
【0005】 [0005]
【特許文献1】 [Patent Document 1]
特開2001−237073号公報【0006】 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-237073 Publication [0006]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
しかしながら、このような有機ELの製造方法によると、蒸着工程において、蒸着源から発せられる蒸着流はマスク100の全面に到達することになり、基板上に蒸着パターンを形成するパターン形成領域101以外の領域102では大量の蒸着材料が付着した状態になる。 However, according to the manufacturing method of the organic EL, in the vapor deposition step, vapor deposition flow emitted from the deposition source will be reached, the entire surface of the mask 100, other than the pattern formation region 101 for forming a deposited pattern on a substrate large amount of the deposition material in the region 102 in a state where the adhered. これは複数のパターン形成領域101を有するマスク100に限らず、単一のパターン形成領域を有するマスクでも同様であり、パターン形成領域以外の領域に大量の蒸着材料が付着することになる。 This is not limited to the mask 100 having a plurality of pattern forming regions 101 are also in the mask having a single pattern formation region, a large amount of evaporation material in an area other than the pattern formation region is attached. このような状態になると、蒸着処理後にマスク100を洗浄する際に蒸着材料の除去に時間が掛かり、作業性が悪いという問題があり、また、高価な有機化合物材料を大量に無駄にすることになるので、経済性にも問題があった。 In such a state, it takes time to remove the deposited material when cleaning the mask 100 after the deposition process, there is a problem of poor workability and also to the large amounts of expensive organic compound material waste since, there has been a problem in the economy.
【0007】 [0007]
また、比較的大型の基板に対してパネルパターン部を形成する場合には、蒸着前になされるフォトリソ工程で、スピンコートによる膜形成の際に基板中央部分の薄膜が不均一になる。 In the case of forming the panel pattern portion relatively large substrate is a photolithographic process to be made prior to the deposition, a thin film of the substrate central portion becomes uneven during film formation by spin coating. 従って、この基板中央部分に形成されるパネルパターン部は使用できないことになるが、一つの蒸着工程で基板全面に蒸着処理を行う従来の有機ELの製造方法によると、このような基板中央部分にも有機化合物材料が蒸着されることになる。 Therefore, although the panel pattern portion formed on the substrate central portion will not be used, according to the conventional method of manufacturing the organic EL performing vapor deposition on the entire substrate surface by one deposition process, such a substrate central portion also be an organic compound material is deposited. この際には、基板上に蒸着された有機化合物材料は、複数層になって単独の材料での回収が不可能になり、また、回収しようとすると基板上の有効なパネルパターン部を傷つけることにもなるので、実質的には回収不能になり、高価な材料を無駄に使ってしまうという問題があった。 At this time, the organic compound material deposited on the substrate, becomes impossible recovery in a single material is a plurality of layers, also damaging the effective panel pattern portion on the substrate when to be recovered also since become, in substantially longer be recovered, there is a problem that using an expensive material waste.
【0008】 [0008]
また、通常、基板の端の部分には、各工程において検査を行うための部分が設けられるが、一つの蒸着工程で基板全面に蒸着処理を行う従来の有機ELの製造方法によると、蒸着が不要なこの検査部分にも有機化合物材料が蒸着されることになり、蒸着された有機化合物材料は前述のように回収不能になるので、高価な材料を無駄に使ってしまうという問題があった。 Also, usually, the end portion of the substrate, but the portion for performing the inspection in each process is provided, according to the manufacturing method of the conventional organic EL performing vapor deposition on the entire substrate surface in a single deposition step, vapor deposition will be unnecessary organic compound material in the test section is deposited, the deposited organic compound material since unrecoverable as described above, there is a problem that use of expensive materials in vain.
【0009】 [0009]
また、基板上に複数のパネルパターン部を形成する場合には、蒸着の前工程や有機化合物を蒸着する前の陽極パターン形成工程等で複数あるパネルパターン部のいくつかに不良が発生することがある。 In the case of forming a plurality of panel patterns portion on the substrate, that defect occurs in some of a plurality of panels pattern portion in front of the anode pattern formation process or the like for depositing the pre-process and an organic compound deposition is there. このような不良パネルパターン部は蒸着前の検査工程ではじめて発覚するものであり、どの部分に発生するかを予測することはできないが、一つの蒸着工程で全てのパネルパターン部に対するパターン形成領域に蒸着材料を供給する従来の有機ELの製造方法によると、このような不良パネルパターン部にも有機化合物材料が蒸着されることになり、蒸着された有機化合物材料は前述のように回収不能になるので、高価な材料を無駄に使ってしまうという問題があった。 Such defective panel pattern unit is intended for the first time discovered by the inspection process before deposition, it is not possible to predict whether the occurrence in any part, to a pattern formation region for all of the panel pattern portion in a single deposition step According to the manufacturing method of the conventional organic EL supplying an evaporation material, such also will be an organic compound material is deposited on the defective panel pattern portion, an organic compound material deposited is unrecoverable as described above since, there has been a problem that using an expensive material waste.
【0010】 [0010]
そもそも蒸着源から蒸発した材料は、非常に純度の高いものであり、一つの蒸着工程毎に使用されなかった材料を回収して再利用することに成分上の問題はない。 Originally evaporated from the evaporation source material is of very high purity, no component problem to be recovered and reused was not used for each one of the deposition process material. しかしながら、前述したように基板の蒸着不要部分に一旦蒸着されてしまうと回収が不能になるので、再利用のための回収率を低下させてしまうという問題がある。 However, there is a problem that since in loss of recovery and would be temporarily deposited on the deposition unnecessary portion of the substrate as described above, thereby lowering the recovery rate for reuse.
【0011】 [0011]
本発明は、このような問題に対処することを課題の一例とするものである。 The present invention is directed to an example of the object to address these problems. すなわち、一つの蒸着工程で、蒸着が必要なパネルパターン部に応じたパターン形成領域以外にはできる限り蒸着材料の供給を行わないようにして、蒸着後の作業を円滑に行うことを可能にし、また、無駄な蒸着材料の使用を避けて、有効に使用されなかった蒸着材料の回収率を高めること等が本発明の目的である。 That is, in one deposition process, so as not to perform the supply of the deposition material as possible in addition to the pattern forming region corresponding to the panel pattern portion necessary deposition enables smoothly performing the operation after the deposition, also, to avoid the use of unnecessary evaporation material, or the like to increase the recovery rate of the vapor deposition material that has not been effectively used is an object of the present invention.
【0012】 [0012]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
このような目的を達成するために、本発明は、以下の各独立請求項に係る構成を少なくとも具備するものである。 To achieve the above object, the present invention is characterized by at least a configuration according to the independent claims below.
【0013】 [0013]
第1には(請求項1)、有機EL表示パネルの製造方法であって、基板上に有機EL素子からなる少なくとも一つのパネルパターン部を形成する蒸着工程を有し、該蒸着工程において、蒸着源から発せられる蒸着流の通過量を制限することによって、前記パネルパターン部に対応するパターン形成領域以外の領域に供給される蒸着材料を遮断又は抑制することを特徴とする。 The first (claim 1) a method for producing an organic EL display panel has a deposition step of forming at least one panel pattern portion formed of an organic EL element on a substrate, in the vapor deposition step, vapor deposition by limiting the passage of vapor deposition flow emanating from the source, characterized by blocking or inhibiting the deposition material supplied to the region other than the pattern formation region corresponding to the panel pattern portion.
【0014】 [0014]
第2には(請求項8)、有機EL表示パネルの製造方法であって、基板上に有機EL素子からなる少なくとも一つのパネルパターン部を形成する蒸着工程を有し、該蒸着工程において、複数の通過開口部を有する防着板を蒸着源と前記基板間の蒸発領域内に介在させ、前記通過開口部を選択的に閉塞することによって、蒸着が不要になった領域に供給される蒸着材料を遮断又は抑制することを特徴とする。 The second (claim 8) a method for producing an organic EL display panel has a deposition step of forming at least one panel pattern portion formed of an organic EL element on a substrate, in the vapor deposition process, a plurality depositing material deposition preventing plate having passage openings is interposed as an evaporation source to evaporate the region between the substrate, by selectively closing the passage opening, which is supplied to the deposition becomes unnecessary region of characterized by blocking or inhibiting.
【0015】 [0015]
第3には(請求項10)、基板上に複数のパネルパターン部を形成するための蒸着処理を行う有機EL表示パネルの製造装置であって、前記基板に対向配置される蒸着源を備え、前記基板と前記蒸着源との間に配置され、前記パネルパターン部にそれぞれ対応した通過開口部が形成された防着板を備えることを特徴とする。 The third (claim 10), a manufacturing apparatus of an organic EL display panel for deposition process for forming a plurality of panel patterns part on a substrate, comprising a deposition source disposed to face the substrate, wherein disposed between the substrate and the deposition source, characterized by comprising the panel pattern portion deposition preventing plate passage openings are formed corresponding respectively.
【0016】 [0016]
第4には(請求項12)、基板上に複数のパネルパターン部を形成した有機EL表示パネルにおいて、製造過程で蒸着不要になったパネルパターン部を非蒸着領域としたことを特徴とする。 The fourth (claim 12), in the organic EL display panel having a plurality of panels pattern portions on the substrate, characterized in that the panel pattern portion which became unnecessary deposition in the production process and the non-deposition region.
【0017】 [0017]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
以下、本発明の実施形態を説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態は、以下の特徴を有するものである。 Embodiments of the present invention has the following features.
【0018】 [0018]
第1には、前述したように、有機EL表示パネルの製造方法として、基板上に有機EL素子からなる少なくとも一つのパネルパターン部を形成する蒸着工程を有し、該蒸着工程において、蒸着源から発せられる蒸着流の通過量を制限することによって、前記パネルパターン部に対応するパターン形成領域以外の領域に供給される蒸着材料を遮断又は抑制することを特徴とする。 The first, as described above, as a method of manufacturing an organic EL display panel has a deposition step of forming at least one panel pattern portion formed of an organic EL element on a substrate, in the vapor deposition process, the deposition source by limiting the passage of the emitted vapor deposition flow, characterized by blocking or inhibiting the deposition material supplied to the region other than the pattern formation region corresponding to the panel pattern portion.
【0019】 [0019]
これによると、一つの蒸着工程で、蒸着が必要なパネルパターン部に応じたパターン形成領域以外にはできる限り蒸着材料の供給を行わないようにすることで、パターン形成領域以外の領域に付着する蒸着材料を少なくし、マスク洗浄等の蒸着後の作業を円滑に行うことを可能にする。 According to this, in one deposition process, not to perform the supply of the deposition material as possible in addition to the pattern forming region corresponding to the panel pattern portion necessary evaporation, deposited in the region other than the pattern formation region the deposition material is less, it makes it possible to smoothly carry out the operation after the deposition of the mask cleaning or the like.
【0020】 [0020]
第2には、第1の特徴を有する有機EL表示パネルの製造方法において、前記通過量の制限は、通過開口部を有する防着板を前記蒸着源と前記基板間の蒸発領域内に介在させることによってなされることを特徴とする。 Second, in the manufacturing method of the organic EL display panel having a first feature, the throughput limitations, interposing a deposition preventing plate having passage openings in the evaporation region between the substrate and the evaporation source characterized in that it is made by. これによると、蒸発領域に介在された防着板の通過開口部以外の部分で蒸着流を遮ることで、パターン形成領域以外の領域へ供給される蒸着材料を減らすことができる。 According to this, by blocking the evaporation flow in the portion other than the passage openings of the deposition preventing plate interposed evaporation zone, it is possible to reduce the evaporation material to be supplied to a region other than the pattern formation region. また、防着板で遮られた蒸着材料を各蒸着工程毎に回収することによって、混じりのない材料毎の回収が可能になる。 Also, by collecting the vapor deposition material is blocked by the deposition preventing plate for each deposition process allows recovery of each no mixed material.
【0021】 [0021]
第3には、前述の特徴を有する有機EL表示パネルの製造方法において、前記基板上には前記パネルパターン部が複数形成され、前記パターン形成領域以外の領域は、前記パネルパターン部間のスペースに対応する領域であることを特徴とする。 Third, in the manufacturing method of the organic EL display panel having the characteristics described above, the on the substrate the panel pattern portion is formed with a plurality, the region other than the pattern formation region, the space between the panel pattern portion characterized in that it is a corresponding region. これによると、複数のパネルパターン部が形成された基板に対して、パネルパターン部間のスペースに対応した領域に供給される蒸着材料を減らすことができる。 Accordingly, it is possible to reduce the evaporation material in which a plurality of panels pattern part to a substrate which is formed, is supplied in a region corresponding to the space between the panel pattern portion.
【0022】 [0022]
第4には、前述の特徴を有する有機EL表示パネルの製造方法において、前記パターン形成領域以外の領域は、蒸着が不要になったパネルパターン部に対応する領域を含むことを特徴とする。 The fourth, in the manufacturing method of the organic EL display panel having the characteristics described above, a region other than the pattern formation region is characterized by containing a region deposition corresponds to the panel pattern portion that is no longer needed. これによると、基板上の蒸着が不要になったパネルパターン部に蒸着されてしまい回収不能になる蒸着材料を減らすことができるので、蒸着源から蒸発されながら基板上に蒸着されなかった蒸着材料の回収率を高めることができる。 According to this, since the deposition on the substrate can reduce the evaporation material becomes unrecoverable will be deposited in the panel pattern portion becomes unnecessary, the vapor deposition material has not been deposited on the substrate while being evaporated from the evaporation source it is possible to increase the recovery rate.
【0023】 [0023]
第5には、前述の特徴を有する有機EL表示パネルの製造方法において、前記蒸着が不要になったパネルパターン部は、基板の中央部分であることを特徴とする。 The fifth, in the manufacturing method of the organic EL display panel having the characteristics described above, the deposition panel pattern portion that is no longer needed, characterized in that it is a central portion of the substrate. これによると、蒸着の前工程(フォトリソ工程等)で不均一膜が形成されやすい基板の中央部分に蒸着されてしまい回収不能になる蒸着材料を減らすことができるので、蒸着源から蒸発されながら基板上に蒸着されなかった蒸着材料の回収率を高めることができる。 According to this, it is possible to reduce the previous step (photolithography step or the like) becomes impossible recovery will be deposited in the central portion of the substrate uneven film is easily formed deposition material deposition, while being evaporated from the evaporation source substrate it is possible to increase the recovery rate of the vapor deposition material which has not been deposited thereon.
【0024】 [0024]
第6には、前述の特徴を有する有機EL表示パネルの製造方法において、前記蒸着が不要になったパネルパターン部は、前記蒸着工程以外の工程の検査部分(複数蒸着工程がある場合には、該当する蒸着工程(実際に行おうとしている蒸着工程)以外の他の蒸着工程における検査部分を含む。)であることを特徴とする。 The sixth method of manufacturing an organic EL display panel having the characteristics described above, the deposition panel pattern portion that is no longer needed, when there is a test portion (s deposition process steps other than the deposition process, characterized in that it is a relevant deposition process including a test portion in (actually Gyoo it and to that vapor deposition process) than other deposition process.). これによると、蒸着が不要な検査部分に蒸着されてしまい回収不能になる蒸着材料を減らすことができるので、蒸着源から蒸発されながら基板上に蒸着されなかった蒸着材料の回収率を高めることができる。 According to this, it is possible to reduce the evaporation material deposited is irrecoverable will be deposited in unnecessary inspection part, to increase the recovery rate of the vapor deposition material which has not been deposited on the substrate while being evaporated from the evaporation source it can.
【0025】 [0025]
第7には、前述の特徴を有する有機EL表示パネルの製造方法において、前記蒸着が不要になったパネルパターン部は、前記蒸着工程の前工程で不良と判定されたパネルパターン部であることを特徴とする。 The seventh, that in the manufacturing method of the organic EL display panel having the characteristics described above, the panel pattern portion in which the deposition is no longer needed, it is determined to be defective panels pattern unit in the preceding step of the deposition process and features. これによると、前工程で不良と判定されたパネルパターン部に蒸着されてしまい回収不能になる蒸着材料を減らすことができるので、蒸着源から蒸発されながら基板上に蒸着されなかった蒸着材料の回収率を高めることができる。 According to this, before it is possible to reduce the evaporation material becomes cause irrecoverable is deposited on panels pattern portion judged to be defective in the step, the recovery of the vapor deposition material has not been deposited on the substrate while being evaporated from the evaporation source it is possible to increase the rate.
【0026】 [0026]
第8には、前述したように、有機EL表示パネルの製造方法として、基板上に有機EL素子からなる少なくとも一つのパネルパターン部を形成する蒸着工程を有し、該蒸着工程において、複数の通過開口部を有する防着板を蒸着源と前記基板間の蒸発領域内に介在させ、前記通過開口部を選択的に閉塞することによって、蒸着が不要になった領域に供給される蒸着材料を遮断又は抑制することを特徴とする。 The eighth, as described above, as a method of manufacturing an organic EL display panel has a deposition step of forming at least one panel pattern portion formed of an organic EL element on a substrate, in the vapor deposition step, passing a plurality of the deposition preventing plate having an opening and the evaporation source is interposed evaporation area between the substrate, by selectively closing the passage opening, blocking the deposition material supplied to the deposition becomes unnecessary region or which comprises suppressing.
【0027】 [0027]
これによると、蒸着工程の前に、基板上に蒸着が不要になった領域ができた場合にも、複数の通過開口部のいずれかを選択して蒸着が不要になった領域に対応する通過開口部を閉塞することが可能になる。 According to this, before the deposition process, even when deposited on the substrate could areas that are no longer needed, corresponding to the area which has become unnecessary is deposited by selecting any of a plurality of passage openings passing the opening portion can be closed. したがって、基板上に形成された任意の蒸着不要領域に対して蒸着材料の供給を遮断又は抑制することができ、蒸着不要領域に蒸着されてしまい回収不能になる蒸着材料を減らすことができる。 Therefore, it is possible to block or inhibit the supply of the deposition material for any deposition unnecessary region formed on the substrate, it is possible to reduce the evaporation material becomes unrecoverable will be deposited in the vapor deposition unnecessary region.
【0028】 [0028]
第9には、前述の特徴を有する有機EL表示パネルの製造方法において、前記蒸着工程の後、前記遮断又は抑制された蒸着材料を回収する工程を有することを特徴とする。 The ninth method of manufacturing an organic EL display panel having the characteristics described above, after the deposition process, characterized by having a step of recovering the blocked or suppressed evaporation material. これによると、蒸着源から蒸発されながら基板に蒸着されなかった蒸着材料を高い回収率で回収することができる。 Accordingly, it is possible to recover the deposition material which has not been deposited on the substrate while being evaporated from the evaporation source at a high recovery rate. また、各蒸着工程毎に回収を行うので、混じりのない材料毎の回収が可能になる。 Further, since the recovery in each deposition process allows recovery of each no mixed material. したがって、高価な有機化合物材料を蒸着材料とする場合であっても無駄な使用が少なくなり経済的である。 Therefore, it is economical less wasteful use even in the case where the expensive organic compound material as the evaporation material.
【0029】 [0029]
第10には、前述したように、有機EL表示パネルの製造装置として、基板上に複数のパネルパターン部を形成するための蒸着処理を行う有機EL表示パネルの製造装置であって、前記基板に対向配置される蒸着源を備え、前記基板と前記蒸着源との間に配置され、前記パネルパターン部にそれぞれ対応した通過開口部が形成された防着板を備えることを特徴とする。 The tenth, as described above, as a manufacturing apparatus of an organic EL display panel, a manufacturing apparatus of an organic EL display panel for deposition process for forming a plurality of panel patterns portion on the substrate, the substrate includes a deposition source disposed opposite, are disposed between the deposition source and the substrate, characterized by comprising the panel pattern portion deposition preventing plate passage openings are formed corresponding respectively.
【0030】 [0030]
これによると、パネルパターン部に対応したパターン形成領域には防着板の通過開口を通じて蒸着流が到達し、パネルパターン部間のスペース領域に対しては防着板によって蒸着材料の供給が遮断又は抑制されることになる。 According to this, in the pattern formation region corresponding to the panel pattern portion reaches the vapor deposition flow through passage opening of the deposition preventing plate, supply cutoff or the vapor deposition material by deposition-preventing plate against the region of space between panels pattern portion It is suppressed. したがって、蒸着材料の無駄な供給を避けることができ、蒸着後のマスク洗浄作業における作業性や蒸着材料の回収性を向上させることができる。 Therefore, it is possible to avoid wasteful supply of the deposition material, thereby improving the collectability of the workability and the deposition material in the mask cleaning work after the vapor deposition.
【0031】 [0031]
第11には、前述の特徴を有する有機EL表示パネルの製造装置において、前記防着板の各通過開口部は、選択的に閉塞体を着脱可能にしていることを特徴とする。 The 11th, in the manufacturing apparatus of an organic EL display panel having the characteristics described above, each of the passage openings of the deposition preventing plate is characterized in that in the removable selectively closure. これによると、蒸着工程の前に、基板上に蒸着が不要になったパネルパターン部ができた場合にも、複数の通過開口部の中から選択して、蒸着が不要になったパネルパターン部に対応する通過開口部に閉塞体を装着することができる。 According to this, before the deposition process, when deposited on the substrate could panel pattern portion which has become unnecessary is also selected from among a plurality of passage openings, the panel pattern portion evaporation becomes unnecessary the closure may be mounted to the passage openings corresponding to the. したがって、基板上に形成された任意の蒸着不要パネルパターン部に対して蒸着材料の供給を遮断又は抑制することができ、蒸着不要パネルパターン部に蒸着されてしまい回収不能になる蒸着材料を減らすことができる。 Therefore, reducing the evaporation material that can be cut off or suppressing the supply of the deposition material for any deposition unnecessary panel pattern portion formed on the substrate, becomes unrecoverable will be deposited in the deposition unnecessary panel pattern portion can.
【0032】 [0032]
第12には、前述したように、有機EL表示パネルとして、基板上に複数のパネルパターン部を形成した有機EL表示パネルにおいて、製造過程で蒸着不要になったパネルパターン部を非蒸着領域としたことを特徴とする。 The first 12, as described above, as the organic EL display panel, an organic EL display panel having a plurality of panel patterns unit onto the substrate to the panel pattern portion which became unnecessary deposition in the production process and the non-deposition region it is characterized in.
【0033】 [0033]
これによると、基板上に複数のパネルパターン部を形成した有機EL表示パネルで、例えば製造工程で不良が判明したパネルパターン部に高価な蒸着材料が蒸着されることが無くなるので、有機EL表示パネルのコストを低減させることができる。 According to this, in the organic EL display panel having a plurality of panels pattern portions on the substrate, for example, since an expensive deposition material to the panel pattern portion defect is found in the manufacturing process is it is no evaporation, organic EL display panel it is possible to reduce the cost of.
【0034】 [0034]
第13には、前述の特徴を有する有機EL表示パネルにおいて、前記非蒸着領域は、前記蒸着が不要になったパネルパターン部へ供給される蒸着材料を遮断又は抑制する防着板を介した蒸着処理によって形成されることを特徴とする。 The first 13, in the organic EL display panel having the characteristics described above, the non-deposition region through the blocking or inhibiting deposition preventing plate an evaporation material in which the deposition is supplied to the panel pattern portion which has become unnecessary deposition characterized in that it is formed by the processing. これによると、前述したように有機EL表示パネルのコストを低減させることができると共に、防着板で遮断又は抑制された蒸着材料を回収することができるので、これを再利用して、パネルの大量生産時にもトータルの製造コストを低減することができる。 According to this, it is possible to reduce the cost of the organic EL display panel as described above, since the vapor deposition material is blocked or suppressed by the deposition preventing plate can be recovered and re-use it, the panel it is possible to reduce the manufacturing cost of the total even at the time of mass production.
【0035】 [0035]
【実施例】 【Example】
以下に、本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 図2は、本発明の実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法及び製造装置の概要を示す説明図である。 Figure 2 is an explanatory diagram showing an outline of a manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention. 図において、基板1が蒸着チャンバ10内に設置されて、この基板1に近接してマスク100が設けられている。 In the figure, the substrate 1 is placed in the deposition chamber 10, the mask 100 is provided close to the substrate 1. また、蒸着チャンバ10内には、基板1に対向配置して蒸着源2が設けられている。 Also within the deposition chamber 10, the evaporation source 2 is provided opposite arranged on the substrate 1. そして、この蒸着源2と基板1間の蒸発領域20内に防着板3を介在させている。 Then, it is interposed a deposition preventing plate 3 to the evaporation area 20 between the evaporation source 2 and the substrate 1. この防着板3は、蒸発領域20内であれば、基板1と平行に任意の位置に設けることが可能であり、例えば、マスク100に近接した位置(3a)であってもよいし、蒸着源2に近い位置(3b)であってもよい。 The deposition preventing plate 3, if within the evaporation zone 20, it is possible to provide an arbitrary position in parallel with the substrate 1, for example, may be a position adjacent to the mask 100 (3a), evaporation it may be close (3b) to the source 2. また、防着板3は、設置される位置に応じて有効な面積を有するように構成されている。 Further, deposition preventing plate 3 is configured to have an effective area in accordance with the position to be installed.
【0036】 [0036]
ここで、マスク100は前述した図1に示すものと同様であって、複数のパターン形成領域101を有しており、また、基板1には、パターン形成領域101に対応して、複数のパネルパターン部1Aが形成されることになる。 The mask 100 is a similar to that shown in FIG. 1 described above has a plurality of pattern forming regions 101, In addition, the substrate 1, corresponding to the pattern forming region 101, a plurality of panels so that the pattern portion 1A is formed.
【0037】 [0037]
図3及び図4は、このような実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法及び製造装置の作用を示す説明図である(図2と同様な部分には同じ符号を付して一部重複した説明を省略する。)。 3 and 4 are explanatory views showing the action of the manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel according to this embodiment (partially overlapped by the same reference numerals are given to the same parts as in FIG. 2 omitted the explanation.). 防着板3は、蒸着源2から発せられる蒸着流の通過量を制限するものであって、蒸着流が通過する通過開口部3Aとこの通過開口部3A間で蒸着材料を遮断又は抑制する防着部3Bによって構成されている。 Deposition preventing plate 3 is for limiting the passage of vapor deposition flow emitted from the deposition source 2, blocking or inhibiting anti evaporation materials between passage openings 3A of the passage openings 3A Toko vapor deposition flow passes It is formed by adhering part 3B. また、本実施例においては、通過開口部3Aはパターン形成領域101或いは基板1のパネルパターン部1Aに対応して形成されており、基板1の中央部分1A1及び蒸着工程以外の工程の検査部分1A2のパネルパターン部に対応する位置にも防着部3B1,3B2が形成されている。 In the present embodiment, the inspection portion of the passage openings 3A are formed in correspondence to the panel pattern portion 1A of the pattern forming region 101 or the substrate 1, the central portion 1A1 and deposition processes other steps of the substrate 1 1A2 adhesion-preventing portion 3B1,3B2 in a position corresponding to the panel pattern portion is formed. なお、図においては、蒸着源2の形状は方形としたが、これに限定されるものではなく、円形,多角形,長手方向を有するものであってもよい。 In the figure, the shape of the deposition source 2 was a square, it is not limited thereto, a circular, polygonal, or may have a longitudinal direction. また、蒸着源2の形状にしたがって蒸発領域20が形成されるので、それに合わせて防着板3の形状を適宜決めることができる。 Further, since the evaporation source evaporator region 20 in accordance with the second shape is formed, it is possible to determine the shape of the deposition preventing plate 3 suitably accordingly.
【0038】 [0038]
このような実施例では、図4に示されるように、基板1上に有機EL素子から成るパネルパターン部1Aを形成する蒸着工程において、通過開口部3Aを通過する蒸着流2Aはマスク100のパターン形成領域101に到達するが、蒸着流2Aの一部は防着部3Bによって遮られることになる。 In such an embodiment, as shown in FIG. 4, in the vapor deposition process for forming the panel pattern portion 1A made of an organic EL element on the substrate 1, deposition stream 2A passing through the passage opening section 3A of the mask 100 pattern While reaching the formation area 101, a portion of the vapor deposition flow 2A would be blocked by the adhesion-preventing portion 3B. これによって、基板1上に有機EL素子が形成されるパネルパターン部1Aに対応するパターン形成領域以外の領域に対しては、蒸着材料の供給が遮断又は抑制されることになる。 Thus, for the area other than the pattern formation region corresponding to the panel pattern portion 1A of the organic EL element is formed on the substrate 1, so that the supply of the deposition material is blocked or suppressed.
【0039】 [0039]
これによると、複数のパネルパターン部1Aの間に形成されるスペース1Bに対応するマスク100表面上の領域には多量の蒸着材料が堆積することがなくなり、蒸着後のマスク洗浄等の工程を円滑に行うことができる。 According to this, the area on the mask 100 surface corresponding to the space 1B formed between the plurality of panels pattern portion 1A prevents a large amount of deposition material is deposited, smooth process of the mask such as washing after deposition it can be carried out in. また、マスク表面上に堆積した蒸着材料を無駄にすることもなくなるので、経済性を向上させることができる。 Further, since also eliminated wasting deposition material deposited on the mask surface, thereby improving the economy.
【0040】 [0040]
そして、一般に、蒸着の前工程で行われるフォトリソ工程等で基板1の中央部分1A1は薄膜形成の不均一等によって蒸着が不要になり、また、蒸着の前工程に対する検査で使用される基板1の端の検査部分1A2も蒸着が不要になる。 And, in general, the central portion 1A1 of the substrate 1 by photolithography process or the like performed in the previous step deposition eliminates the need for evaporation by uneven like thin film formation, also, the substrate 1 used in the tests for the previous step of the deposition inspection portion 1A2 of the end even deposition is not required. 複数色の有機EL素子パターンを形成するために、各色毎の蒸着工程を有する場合には、各色の蒸着工程毎に検査部分があり、一つの蒸着工程においては他の蒸着工程の検査部分が蒸着不要になる。 To form a plurality of colors organic EL element pattern, in the case where a step of depositing each color, there is a test portion for each color of the deposition process, the inspection portion of the other deposition process deposited in one deposition process It becomes unnecessary. このように蒸着が不要になったパネルパターン部に対するパターン形成領域にも、防着板の中央部及び端部に形成された防着部3B1,3B2によって蒸着材料の供給を遮断又は抑制することができるので、このような蒸着不要のパネルパターン部が蒸着されて無駄な蒸着材料が使用される不都合を回避することができる。 In the pattern formation region for the panel pattern portion thus deposited is no longer needed, to block or inhibit the supply of the vapor deposition material by the deposition-inhibitory portion 3B1,3B2 formed in the central portion and the end of the deposition preventing plate since it is possible to avoid a disadvantage that waste deposited material panel pattern portion of such deposited required is deposited is used. 蒸着不要のパネルパターン部に蒸着材料が蒸着されてしまうと回収不能になるが、このようにして蒸着不要のパネルパターン部への蒸着を回避することで、蒸着源2から蒸発して有効に使用されなかった蒸着材料の回収率を高めることができる。 While the deposition material to the panel pattern of deposition required is unrecoverable and will be deposited, by avoiding this way evaporation is to unnecessary panel pattern portion, effectively used evaporated from the deposition source 2 recovery of the vapor deposition material which has not been able to increase.
【0041】 [0041]
図5は、本発明の実施例に用いられる防着板3の他の例を示す説明図である。 Figure 5 is an explanatory view showing another example of preventing plate 3 used in the embodiment of the present invention. 図は防着板3の防着部3Bの形態を示しており、この実施例においては、防着部3Bを方向性のある遮蔽部3b1と開口部3b2で形成している。 Figure shows the form of adhesion-preventing portion 3B of the deposition preventing plate 3, in this embodiment, forms the adhesion-preventing portion 3B in the shielding portion 3b1 and an opening 3b2 with directionality. これによると、蒸着流2Aの方向性に応じて蒸着流2Aの透過量を抑制することができる。 According to this, it is possible to suppress the transmission amount of the vapor deposition flow 2A in accordance with the direction of vapor deposition flow 2A. 防着板3の形態としては、これに限らず、メッシュ状等であってもよく、要するに、有機EL素子が形成されるパネルパターン部に対応するパターン形成領域以外の領域に対しては、蒸着材料の供給が遮断又は抑制されるものであればよい。 The form of the deposition preventing plate 3 is not limited thereto, may be a mesh-like, short, for the area other than the pattern formation region corresponding to the panel pattern portion organic EL element is formed, evaporation feed materials as long as it is blocked or suppressed.
【0042】 [0042]
図6及び図7は、本発明の実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法及び製造装置の他の例を示す説明図である(前述の図と同様な部分には同じ符号を付して一部重複した説明を省略する。)。 6 and 7, the embodiment is an explanatory diagram showing another example of a manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel according to the example (same parts as the aforementioned illustration of the present invention are denoted by the same reference numerals the description thereof is omitted that part duplicate.). 本実施例においては、通過開口部3Aはパターン形成領域101或いは基板1のパネルパターン部1Aに対応して形成されており、この通過開口部3Aに対して閉塞体30を着脱可能にしている。 In this embodiment, passage openings 3A are formed in correspondence to the panel pattern portion 1A of the pattern forming region 101 or the substrate 1, and a detachable closure 30 with respect to the passage openings 3A. つまり、図7(図6におけるX−X断面図)に示すように、通過開口部3Aに抜け止め部31(図示においては、段差部を形成しているが、それに限らず、テーパ部等であってもよい。)を形成し、閉塞体30側に係合部30aを形成している。 That is, as shown in FIG. 7 (X-X sectional view of FIG. 6), in the locking portion 31 (shown missing the passage openings 3A, but forms a step portion is not limited to, a tapered portion or the like may be.) to form, to form an engaging portion 30a to the closure 30.
【0043】 [0043]
この実施例によると、通過開口部3Aに閉塞体30を装着することで、選択的に通過開口部3Aを閉塞することができる。 According to this embodiment, by mounting the closure 30 in the passage openings 3A, it can be closed selectively passing opening 3A. すなわち、蒸着の前工程で蒸着が不要なパネルパターン部になる中央部分1A1或いは検査部分1A2に対応する通過開口部3Aに閉塞体30を装着することによって、前述の実施例と同様に、この中央部分1A1或いは検査部分1A2のパネルパターン部に対するパターン形成領域に対して蒸着材料の供給を遮断又は抑制することができる。 That is, by mounting the closure 30 in the passage openings 3A are deposited in the previous step deposition which corresponds to the central portion 1A1 or inspection portion 1A2 becomes unnecessary panel pattern unit, as in the previous embodiments, the central it can block or inhibit the supply of the deposition material relative to the pattern formation region for the panel pattern of the portion 1A1 or inspection portion 1A2. したがって、このような蒸着不要のパネルパターン部が蒸着されて無駄な蒸着材料が使用される不都合を回避することができる。 Therefore, it is possible to panel pattern portion of such deposited unnecessary to avoid a disadvantage that waste deposited material is deposited are used.
【0044】 [0044]
更には、蒸着前の検査工程で、複数のパネルパターン部1Aの内の何れかが不良と判定された場合に、その不良と判定されたパネルパターン部に応じた通過開口部3Aに閉塞体30を装着して、不良と判定されたパネルパターン部に対するパターン形成領域に対して蒸着材料の供給を遮断又は抑制することができる。 Furthermore, in the inspection process before deposition, closure 30 when any of the plurality of panels pattern portion 1A is determined to be defective, the passage openings 3A in accordance with the panels pattern unit determines that the defective the wearing can block or inhibit the supply of the deposition material to the pattern formation region for bad judged panels pattern portion. したがって、このような不良のパネルパターン部が蒸着されて無駄な蒸着材料が使用される不都合を回避することができる。 Therefore, it is possible to panel pattern portion of such failure to avoid a disadvantage that waste deposited material is deposited are used.
【0045】 [0045]
図8は、実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法において、前述した蒸着工程前後の工程を示したフローである。 Figure 8 is a manufacturing method of an organic EL display panel according to the embodiment, a flow showing the before and after deposition step described above process. 前工程S1は、基板1に対してITO等の透明電極からなる陽極,絶縁層,陰極隔壁等のパターニングを行う工程で、主にフォトリソ工程が中心になる。 Before step S1 is anode made of a transparent electrode of ITO or the like to the substrate 1, an insulating layer, in the step of patterning such as cathode separators, primarily photolithography process is centered. この前工程S1の後、陽極,絶縁層,陰極隔壁等が形成された基板1を一旦洗浄する(S2)。 After the previous step S1, the anode, an insulating layer, once cleaned substrate 1 cathode separators, and the like are formed (S2).
【0046】 [0046]
そして、前工程S1が適正になされているか否かの前検査S3を行う。 Then, whether or not pre-inspection S3 before step S1 is performed properly. この工程では、特に陽極のパターニング状況の検査が行われ、陽極の断線或いは短絡等のチェックがなされる。 In this process, in particular carried out inspection of the patterning conditions of the anode, it is made a check disconnection or short circuit of the anode. 基板上に複数のパネルパターン部1Aを形成する場合には、各パネルパターン部毎に検査を行い、不良が判明した場合にはそのパネルパターン部をチェックする。 When forming a plurality of panel patterns part 1A on the substrate, it inspects each panel pattern portion, when a defective is found checks the panel pattern portion.
【0047】 [0047]
次に、検査が行われた基板1を蒸着チャンバ10内に搬入し(S4)、図2に示したように、蒸着チャンバ10内に基板1を設置する。 Then it carries the substrate 1 testing was performed in the deposition chamber 10 (S4), as shown in FIG. 2, placing the substrate 1 into the deposition chamber 10. ここで、前述した防着板3に対して、前述の前検査S1で不良と判定されたパネルパターン部,或いは基板1の中央部分1A1,検査部分1A2等、蒸着が不要になったパネルパターン部に応じた通過開口部3Aを閉塞体30で閉塞して、防着部の選択を行う(S5)。 Here, with respect to preventing plate 3 described above, determined to be defective panels pattern portion before testing S1 described above, or a central portion 1A1 of the substrate 1, like checking portion 1A2, the panel pattern portion becomes unnecessary deposition the passage openings 3A in accordance with the then closed by closure 30, to select the adhesion-preventing section (S5).
【0048】 [0048]
このように防着部が選択された防着板3を蒸着源2と基板1との間の蒸着領域に介在させ、必要なパターン形成領域101を有するマスク100を基板1に近接させて、前述した蒸着工程を行う(S6)。 Thus is interposed a deposition preventing plate 3 which adhesion preventing part is selected deposition region between the deposition source 2 and the substrate 1, in close proximity to the mask 100 having a pattern formation region 101 required for the substrate 1, above performing the deposition process (S6).
【0049】 [0049]
蒸着が完了すると、基板1からマスク100を外して、蒸着がなされた基板1は蒸着チャンバの外に搬出される(S6)。 When deposition is completed, the substrate 1 by removing the mask 100, the substrate 1 the deposition has been performed is carried out outside the vapor deposition chamber (S6). 蒸着チャンバ10内では、蒸着源2から蒸発したが基板1上に蒸着されなかった蒸着材料が分散しているので、これを回収する(S8)。 The deposition chamber 10 has been vaporized from the evaporation source 2 since the evaporation material that has not been deposited on the substrate 1 is dispersed, to recover it (S8). このような回収は一つの蒸着材料を用いた一蒸着工程毎に行われる。 Such recovery is carried out for each one deposition process using a single evaporation material. 一旦蒸着源2から蒸発した蒸着材料は純度が高くなっているので再利用が可能である。 Once deposition material evaporated from the evaporation source 2 is reusable since the purity is high. また、有機EL素子の有機層を形成する有機化合物は非常に高価な材料であるので、再利用による経済的意義は大きい。 Further, since the organic compounds forming the organic layer of the organic EL element is a very expensive material, economic significance due to reuse large. そして、前述したように防着板3の作用によって、無駄に使用される蒸着材料を減らすことができるので、回収率を高めることができる。 Then, by the action of the adhesion-preventing plate 3 as described above, it is possible to reduce the evaporation material used wastefully, it is possible to increase the recovery rate.
【0050】 [0050]
防着板3の材質は特に限定されるものではないが、蒸着材料が付着し難く又付着しても剥離しやすいものが適する。 The material is not particularly limited in the deposition preventing plate 3, but with the deposition material is difficult also adhered adhered suitable those easily peeled off. 一例としては、ガラス或いは金属によって形成できる。 As an example may be formed by glass or metal. また、防着板3への蒸着材料の付着を防いで回収を容易にするために、防着部3Bの蒸着源側表面に凹凸を形成するようにしてもよい。 Further, in order to facilitate recovery prevent deposition of the deposition material to the deposition preventing plate 3 may be forming irregularities on deposition source side surface of the adhesion-preventing portion 3B.
【0051】 [0051]
図9は、このように製造される有機EL表示パネルを示した説明図である。 Figure 9 is an explanatory view showing an organic EL display panel manufactured in this way. この有機EL表示パネルは、基板1上に複数のパネルパターン部1A毎に、ITO等の透明電極からなる陽極11のパターン、絶縁層12のパターン、陰極隔壁13のパターンが形成されている。 The organic EL display panel, for each of a plurality of panels pattern portion 1A on the substrate 1, the pattern of the anode 11 made of a transparent electrode such as ITO, patterned insulation layer 12, a pattern of cathode separators 13 are formed. そして、前検査(S3)で良と判定されたパネルパターン部1A(G)には、単層又は複数層から成る有機層14及び陰極15が形成されて有機EL素子のドットマトリクスパターンが形成されており、前検査(S3)で不良と判定されたか或いは基板1の中央部分(1A1)や検査部分(1A2)で、蒸着が不要となったパネルパターン部1A(NG)においては、有機層14及び陰極15の形成がなされていない。 Then, before inspection good as in (S3) determined panels pattern section 1A (G), single-layer or organic layer 14 and a cathode 15 comprised of a plurality of layers is formed dot matrix pattern of the organic EL element is formed and, before inspection (S3) determined to be defective the or a central portion (1A1) and the inspection portion of the substrate 1 in (1A2), in the panel pattern portion 1A of deposition becomes unnecessary (NG), the organic layer 14 and forming the cathode 15 is not performed.
【0052】 [0052]
すなわち、本発明の実施例に係る有機EL表示パネルにおいては、基板1上に複数のパネルパターン部1Aを形成した有機EL表示パネルで、前工程で不良が判明したパネルパターン部1A(NG)に高価な有機化合物材料が蒸着されることが無くなるので、有機EL表示パネルのコストを低減させることができる。 That is, in the organic EL display panel according to an embodiment of the present invention, an organic EL display panel having a plurality of panel patterns part 1A on the substrate 1, the panel pattern portion 1A which defects were found in the previous step (NG) since no be expensive organic compound material is deposited, it is possible to reduce the cost of the organic EL display panel. また、防着板3で遮断又は抑制された有機化合物材料を回収することができるので、これを再利用して、パネルの大量生産時にもトータルの製造コストを低減することが可能になる。 Further, it is possible to recover the blocking or inhibiting organic compound material at preventing plate 3, and re-use it, it is possible to reduce the manufacturing cost of the total even during mass production of the panel.
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】従来技術の説明図である。 FIG. 1 is an explanatory view of a prior art.
【図2】本発明の実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法及び製造装置の概要を示す説明図である。 FIG. 2 is an explanatory diagram showing an outline of a manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法及び製造装置の作用を示す説明図である。 3 is an explanatory view showing an operation of a manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図4】本発明の実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法及び製造装置の作用を示す説明図である。 4 is an explanatory view showing an operation of a manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図5】本発明の実施例に用いられる防着板の他の例を示す説明図である。 5 is an explanatory diagram showing another example of a deposition preventive plate used in the embodiment of the present invention.
【図6】本発明の実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法及び製造装置の他の例を示す説明図である。 6 is an explanatory diagram showing another example of a manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【図7】本発明の実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法及び製造装置の他の例を示す説明図である(図6のX−X断面図)。 7 is an explanatory diagram showing another example of a manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention (X-X sectional view of FIG. 6).
【図8】実施例に係る有機EL表示パネルの製造方法において、蒸着工程前後の工程を示したフローである。 [8] In the manufacturing method of the organic EL display panel according to the embodiment, a flow showing a deposition process before and after the process.
【図9】本発明の実施例に係る有機EL表示パネルを示した説明図である。 9 is an explanatory view showing an organic EL display panel according to an embodiment of the present invention.
【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS
1 基板1A パネルパターン部1A1 中央部分1A2 検査部分100 マスク101 パターン形成領域102 パターン形成領域以外の領域2 蒸着源2A 蒸着流20 蒸発領域3 防着板3A 通過開口部3B 防着部30 閉塞体 1 substrate 1A panel pattern portion 1A1 central portion 1A2 inspection portion 100 mask 101 pattern forming region 102 region other than the pattern formation region second deposition source 2A vapor deposition flow 20 evaporation zone 3 preventing plate 3A passage openings 3B deposition preventing part 30 closure

Claims (13)

  1. 基板上に有機EL素子からなる少なくとも一つのパネルパターン部を形成する蒸着工程を有し、該蒸着工程において、蒸着源から発せられる蒸着流の通過量を制限することによって、前記パネルパターン部に対応するパターン形成領域以外の領域に供給される蒸着材料を遮断又は抑制することを特徴とする有機EL表示パネルの製造方法。 It has a deposition step of forming at least one panel pattern portion formed of an organic EL element on a substrate, in the vapor deposition step, by limiting the passage of vapor deposition flow emitted from the deposition source, corresponding to the panel pattern portion a method of manufacturing an organic EL display panel, characterized by blocking or inhibiting the deposition material supplied to the region other than the pattern formation region.
  2. 前記通過量の制限は、通過開口部を有する防着板を前記蒸着源と前記基板間の蒸発領域内に介在させることによってなされることを特徴とする請求項1記載の有機EL表示パネルの製造方法。 The throughput limitations, the production of organic EL display panel of claim 1, wherein the done by interposing a deposition preventing plate having passage openings in the evaporation region between the substrate and the evaporation source Method.
  3. 前記基板上には前記パネルパターン部が複数形成され、前記パターン形成領域以外の領域は、前記パネルパターン部間のスペースに対応する領域であることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 Wherein the substrate the panel pattern portion is formed with a plurality, the region other than the pattern formation region, organic according to claim 1 or 2, characterized in that an area corresponding to the space between the panel pattern portion method of manufacturing the EL display panel.
  4. 前記パターン形成領域以外の領域は、蒸着が不要になったパネルパターン部に対応する領域を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の有機EL表示パネルの製造方法。 Region other than the pattern formation region, a method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 1, characterized in that it comprises a region corresponding to the panel pattern portion evaporation becomes unnecessary.
  5. 前記蒸着が不要になったパネルパターン部は、基板の中央部分であることを特徴とする請求項4に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 The deposition panel pattern portion becomes unnecessary, the manufacturing method of the organic EL display panel according to claim 4, characterized in that a central portion of the substrate.
  6. 前記蒸着が不要になったパネルパターン部は、前記蒸着工程以外の工程の検査部分であることを特徴とする請求項4に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 Panel pattern portion in which the deposition is no longer needed, the manufacturing method of the organic EL display panel according to claim 4, wherein an inspection part of the deposition process other than the process.
  7. 前記蒸着が不要になったパネルパターン部は、前記蒸着工程の前工程で不良と判定されたパネルパターン部であることを特徴とする請求項4に記載の有機EL表示パネルの製造方法。 The deposition panel pattern portion becomes unnecessary, the manufacturing method of the organic EL display panel according to claim 4, wherein a determined to be defective panels pattern portion in the previous step deposition process.
  8. 基板上に有機EL素子からなる少なくとも一つのパネルパターン部を形成する蒸着工程を有し、該蒸着工程において、複数の通過開口部を有する防着板を蒸着源と前記基板間の蒸発領域内に介在させ、前記通過開口部を選択的に閉塞することによって、蒸着が不要になった領域に供給される蒸着材料を遮断又は抑制することを特徴とする有機EL表示パネルの製造方法。 Having a vapor deposition step of forming at least one panel pattern portion formed of an organic EL element on a substrate, in the vapor deposition process, the deposition preventing plate having a plurality of passage openings in the evaporation region between the deposition source said substrate is interposed, said by selectively closing the passage opening, a method of manufacturing an organic EL display panel characterized by blocking or inhibiting the deposition material supplied to the deposition becomes unnecessary area.
  9. 前記蒸着工程の後、前記遮断又は抑制された蒸着材料を回収する工程を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の有機EL表示パネルの製造方法。 After the deposition process, the organic EL display manufacturing method of the panel according to claim 1, characterized in that it comprises a step of recovering the blocked or suppressed evaporation material.
  10. 基板上に複数のパネルパターン部を形成するための蒸着処理を行う有機EL表示パネルの製造装置であって、前記基板に対向配置される蒸着源を備え、前記基板と前記蒸着源との間に配置され、前記パネルパターン部にそれぞれ対応した通過開口部が形成された防着板を備えることを特徴とする有機EL表示パネルの製造装置。 A manufacturing apparatus of an organic EL display panel for deposition process for forming a plurality of panel patterns part on a substrate, comprising a deposition source disposed to face the substrate, between the deposition source and the substrate placed, the manufacturing apparatus of an organic EL display panel characterized in that it comprises the panel pattern portion deposition preventing plate passage openings are formed corresponding respectively.
  11. 前記防着板の各通過開口部は、選択的に閉塞体を着脱可能にしていることを特徴とする請求項10に記載の有機EL表示パネルの製造装置。 Each passage openings of the deposition preventing plate, the organic EL display panel manufacturing apparatus according to claim 10, characterized in that in the removable selectively closure.
  12. 基板上に複数のパネルパターン部を形成した有機EL表示パネルにおいて、製造過程で蒸着不要になったパネルパターン部を非蒸着領域としたことを特徴とする有機EL表示パネル。 In the organic EL display panel having a plurality of panels pattern portions on the substrate, an organic EL display panel characterized in that the panel pattern portion which became unnecessary deposition in the production process and the non-deposition region.
  13. 前記非蒸着領域は、前記蒸着が不要になったパネルパターン部へ供給される蒸着材料を遮断又は抑制する防着板を介した蒸着処理によって形成されることを特徴とする請求項12に記載の有機EL表示パネル。 The non-deposition area, according to claim 12, characterized in that the deposition is formed by vapor deposition process through a blocking or inhibiting deposition preventing plate an evaporation material to be supplied to the panel pattern portion which has become unnecessary The organic EL display panel.
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