JP2004175619A - 酸化モリブデンナノチューブとその複合体ならびにそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】タンタルウエハー上に一定の間隙離してモリブデン箔片を配置し、減圧下で950℃〜1000℃に加熱して、単結晶であり、内部に中空部を有し、外形が多角形形状である酸化モリブデンナノチューブとその複合体を製造する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この出願の発明は、酸化モリブデンナノチューブとその複合体ならびにそれらの製造方法に関するものである。さらに詳しくは、この出願の発明は、多孔質の一次元ナノ物質であり、大きな表面積の酸化モリブデンナノチューブとその複合体、そして、それらの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
カーボンナノチューブの発見以来、一次元ナノ物質が注目されている。管状のナノ構造物はその形態に基づく固有の多機能性を有するため、特に注目されており、これまでに炭素、窒化ホウ素、硫化物、酸化物等の多くのナノチューブが研究され、合成されている。層状化した遷移金属酸化物は、学術的観点のみならず工学的応用面から重要視され、これまでに幾つかの成果が得られている。たとえば、タングステン酸化物樹状ナノ構造物及びマイクロチューブ、酸化モリブデン(MoO3)ウィスカーやマイクロベルト及び水酸化モリブデン(MoO3・3H2O)ナノファイバー等がすでに報告されている(たとえば、非特許文献1、2)
ところで、酸化モリブデンは、触媒、フォトクロミズム、エレクトロクロミズム等の性質を示すことが知られており、また、酸化モリブデン薄膜は、情報ディスプレー、センサーデバイス等の次世代の用途への応用が期待されている。このような次世代の機能性薄膜材料等の要求を満たすためには、基板上に配向して成長する酸化モリブデンの一次元ナノ構造物が不可欠であり、加えて高性能の実現のためには、高い多孔性及び大きな表面積も不可欠となる。
【0003】
【非特許文献1】
J. Z. Zhang,外3名,フィジカル・レビューE(Phys. Rev. E),1997年,第55巻,p.5796
【非特許文献2】
M, Niederberger,外4名,ジャーナル・オブ・フィジカル・ケミストリー(J. Phys. Chem),2001年,第11巻,p.1941
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、実際の応用に適用することのできる多孔質の一次元ナノ物質で大きな表面積を有する酸化モリブデンナノ構造物の実現は未だ報告されていない。
【0005】
この出願の発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、酸化モリブデンの価値ある性質に着目し、多孔質の一次元ナノ物質であり、大きな表面積の酸化モリブデンナノチューブとその複合体ならびにそれらの製造方法を提供することを解決すべき課題としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、単結晶であり、内部に中空部を有し、外形が多角形形状であることを特徴とする酸化モリブデンナノチューブ(請求項1)を提供する。
【0007】
また、この出願の発明は、請求項1に係る発明に関し、長さが5μm〜8μmであり、横断面における外形幅が50nm〜300nmで、中空部の直径が20nm〜150nmであること(請求項2)を一態様として提供する。
【0008】
さらに、この出願の発明は、請求項1又は2記載の酸化モリブデンナノチューブがタンタル基板上に配向して成長し、薄膜状に形成していることを特徴とする酸化モリブデンナノチューブ複合体(請求項3)を提供する。
【0009】
さらにまた、この出願の発明は、化学気相成長法による製造方法であり、ターゲット材としてのモリブデン箔片を基板としてのタンタルウエハーの上に一定の間隙をあけて配置し、反応炉のチャンバーを5Torr以下に排気し、次いでモリブデン箔片をその上部表面から950℃〜1000℃に約1時間加熱した後、室温まで冷却し、請求項1、2又は3記載の酸化モリブデンナノチューブ又は酸化モリブデンナノチューブ複合体を製造することを特徴とする酸化モリブデンナノチューブ又は酸化モリブデンナノチューブ複合体の製造方法(請求項4)を提供する。
【0010】
【発明の実施の形態】
この出願の発明は、以上に示したとおりの特徴を有するものであり、以下、実施例を示し、この出願の発明の酸化モリブデンナノチューブとその複合体ならびにそれらの製造方法についてさらに詳しく説明する。
【0011】
【実施例】
反応炉として高真空赤外線照射加熱炉を用い、モリブデン箔片(15mm×15mm×0.2mm)を加熱ターゲット材とし、炉内のタンタルホルダー上に設置した。基板にはタンタルウエハー(15mm×10mm)を用い、モリブデン箔片の下2mmのところに配置した。チャンバー内を5Torr以下に排気し、チャンバーを密閉して残余の空気を加熱時の反応空気とした。そして、モリブデン箔片をその上部表面から急速に950℃〜1000℃に加熱した。この時、タンタル基板の温度は450℃〜500℃であった。加熱は1時間続け、その後、チャンバーを室温まで冷却した。タンタル基板の上部表面は明るい青色の薄膜で覆われた。形成した薄膜の形態を操作型電子顕微鏡(SEM)で観察した。
【0012】
図1(a)(b)に示したように、内部に中空部を有し、外形が多角形状のナノチューブが得られた。ナノチューブの長さは、5μm〜8μmの範囲内にある。
【0013】
図2(a)(b)(c)は、それぞれ、ナノチューブの透過型電子顕微鏡(TEM)像である。図2(a)〜(c)に示したように、ナノチューブの横断面における外形幅は50nm〜300nmの範囲内で、中空部の直径は20nm〜150nmの範囲内にある。ほとんどのナノチューブは、図2(a)に示したように、長さ方向に中空であり、中空部が中心付近にある。この他、ナノチューブには、図2(b)に示したように、中空部が中心にはなく、準筒状となっていたり、図2(c)に示したように、一端部が閉塞していたりするものもある。
【0014】
図2(d)は、得られたナノチューブのエネルギー拡散X線スペクトルであるが、モリブデンと酸素が検出されており、原子比は1:3である。純粋な酸化モリブデンであることが確認される。なお、図2(d)図中のCu(銅)元素に対応するピークは、透過型電子顕微鏡観察に用いた銅格子から生じたものである。
【0015】
図3は、高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)像である。この図3から、すべてのナノチューブが、[100]方向に軸方向を有する斜方晶系の単結晶であることが確認される。
【0016】
以上の酸化モリブデンのナノチューブは、図1(a)(b)に示したように、各々のナノチューブがタンタル基板面の垂直方向に対して約30°以下の角度でタンタル基板上に配向して成長し、大面積の薄膜を形成している。また、酸化モリブデンナノチューブは、透過型電子顕微鏡等の観察のためにサンプルを作製する際に、薄膜から小片を切り出し、細長く切断してアルコール液の中で超音波振動を加え、分散させても、観察後にも変容しない安定した物性を有していた。
【0017】
酸化モリブデンは、加熱時にチャンバー内の酸素ガスによる酸化作用によりモリブデン箔片上で形成し、酸化モリブデンは、融点が約800℃であり、加熱時のモリブデン箔片の温度が950℃〜1000℃であるため、酸化モリブデン分子が、モリブデン箔片から継続的に気化し、タンタル基板上に堆積してナノチューブの核を形成し、成長したと考えられる。
【0018】
もちろん、この出願の発明は、以上の実施例によって限定されるものではない。細部については様々な態様が可能であることはいうまでもない。
【0019】
【発明の効果】
以上詳しく説明したとおり、この出願の発明によって、一次元の酸化モリブデンのナノ構造物である多孔質で大きな表面積を有する酸化モリブデンナノチューブとその複合体ならびにその製造方法が提供される。触媒、光学的デバイス等への応用が期待されるとともに、薄膜として、たとえば、情報ディスプレー、センサーデバイス等の次世代の機能性材料として応用が期待される。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)(b)は、それぞれ、実施例で得られた酸化モリブデンナノチューブ複合体の操作型電子顕微鏡像である。
【図2】(a)〜(c)は、それぞれ、実施例で得られた酸化モリブデンナノチューブの透過型電子顕微鏡像であり、(d)は、実施例で得られた酸化モリブデンナノチューブの原子構成を示すエネルギー拡散X線スペクトルである。
【図3】(a)(b)は、それぞれ、実施例で得られた酸化モリブデンナノチューブの高分解能透過型電子顕微鏡像である。図中の差込み図は、それぞれ、[010]方向、[001]方向の入射ビームによるEDパターンである。
Claims (4)
- 単結晶であり、内部に中空部を有し、外形が多角形形状であることを特徴とする酸化モリブデンナノチューブ。
- 長さが5μm〜8μmであり、横断面における外形幅が50nm〜300nmで、中空部の直径が20nm〜150nmである請求項1記載の酸化モリブデンナノチューブ。
- 請求項1又は2記載の酸化モリブデンナノチューブがタンタル基板上に配向して成長し、薄膜状に形成していることを特徴とする酸化モリブデンナノチューブ複合体。
- 化学気相成長法による製造方法であり、ターゲット材としてのモリブデン箔片を基板としてのタンタルウエハーの上に一定の間隙をあけて配置し、反応炉のチャンバーを5Torr以下に排気し、次いでモリブデン箔片をその上部表面から950℃〜1000℃に約1時間加熱した後、室温まで冷却し、請求項1、2又は3記載の酸化モリブデンナノチューブ又は酸化モリブデンナノチューブ複合体を製造することを特徴とする酸化モリブデンナノチューブ又は酸化モリブデンナノチューブ複合体の製造方法。
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2002
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