JP2004158351A - Socket board for ic device test - Google Patents

Socket board for ic device test Download PDF

Info

Publication number
JP2004158351A
JP2004158351A JP2002324170A JP2002324170A JP2004158351A JP 2004158351 A JP2004158351 A JP 2004158351A JP 2002324170 A JP2002324170 A JP 2002324170A JP 2002324170 A JP2002324170 A JP 2002324170A JP 2004158351 A JP2004158351 A JP 2004158351A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
socket board
test socket
arrangement
terminal arrangement
test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002324170A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Teruo Shoji
照雄 庄司
Tomoki Sano
智希 佐野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP2002324170A priority Critical patent/JP2004158351A/en
Publication of JP2004158351A publication Critical patent/JP2004158351A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Connecting Device With Holders (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a test of an IC device by sharing a socket board. <P>SOLUTION: Lands of patterns corresponding to a connecting terminal arrangement of the IC device are respectively formed on both faces of the socket board for the test. That is, in the socket board for the test, because the lands of the patterns corresponding to the connecting terminal arrangement of the IC device which has an even number of terminal arrangement are formed on one face, and because the lands of the patterns corresponding to the connecting terminal arrangement of the IC device which is an odd number of terminal arrangement is formed on another face, it becomes possible to inspect the IC devices of the even number terminal arrangement or the odd number terminal arrangement by exchanging the front and the rear of the socket board for the test. Thus, it becomes possible to test different kinds of IC devices by sharing one socket board for the test. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICデバイス(半導体集積回路)の電気的特性の評価を行うIC試験装置に用いられるテスト用ソケットボードに関する。特に、CSP(Chip Scale Package)型やBGA(Ball Grid Array)型等のパッケージ化されたICデバイスに設けられている複数の接続端子が奇数端子配列又は偶数端子配列のいずれの配列であっても、これらのICデバイス毎に専用のテスト用ソケットボードを個別に製作することなく、1つのテスト用ソケットボードを共用して上記各端子配列のICデバイスを検査することのできるようにしたテスト用ソケットボードに関する。
【0002】
【従来の技術】
最近では、小型化されたパッケージの一側面にハンダボール等の球形電極からなる接続端子を格子状に多数配置した構成のCSP(Chip Scale Package)型あるいはBGA(Ball Grid Array)型などと呼ばれるICデバイスが実用化されている。こうしたCSP型やBGA型等のパッケージ化されたICデバイスを性能や品質の保証された最終製品として出荷するためには、製造部門、検査部門の各工程でICデバイスの全部又は一部を抜き取り、その電気的特性を検査する必要がある。IC試験装置はICデバイスの電気的特性を検査する装置であり、テスト用ソケットボード上に実装された被試験デバイス(DUT:Device Under Test)、つまり試験対象のICデバイスの各接続端子に対して所定の試験用パターンデータを与え、それによる被試験デバイスからの出力データを読み取り、被試験デバイスの基本的動作及び機能に問題がないかどうかを出力データを解析することにより電気的特性の検査を行っている。こうしたIC試験装置において、一般的にはICデバイスをそのまま直接的にテスト用ソケットボードに実装することなく、簡単に多数の同種のICデバイスを交換して検査することができるように、着脱自在に搭載可能なICソケットを介してICデバイスを間接的にテスト用ソケットボードに実装している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のテスト用ソケットボードにおけるICソケット側の表面上にはICソケットに搭載されたICデバイスの接続端子の配列に対応してランドと呼ばれる導電体(例えば金属細線など)からなる接続領域が形成されており、前記接続端子と前記ランドとが接触することによってICデバイスとテスト用ソケットボードとの間における電気的な接続を確保するようになっている。そこで、ICデバイスの外形形状等が同じであっても接続端子の配列が奇数端子配列又は偶数端子配列などのように異なっている場合には、ICデバイスとテスト用ソケットボードとの間における電気的な接続を確保するために、奇数端子配列又は偶数端子配列のそれぞれに対応するようにランドパターンを形成したテスト用ソケットボードを各ICデバイスに応じて個別に製作する必要があった。しかし、テスト用ソケットボードをICデバイスの種類に応じて個別に製作するには長い製作期間と高い製作コストがかかるために、新たなテスト用ソケットボードが完成するまでの間、ユーザはICデバイスの検査を行うことが全くできなかった。すなわち、奇数端子配列又は偶数端子配列の各ICデバイスに応じてテスト用ソケットボードを製作することが、ICデバイスの開発の遅れや開発コストが高くなるなどの原因となっていた、という問題点があった。
【0004】
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、CSP型やBGA型等のパッケージ化されたICデバイスに設けられている複数の接続端子の配列が奇数端子配列又は偶数端子配列のいずれであっても、これらのICデバイス毎に専用のテスト用ソケットボードを個別に製作することなく、1つのテスト用ソケットボードを共用して上記各端子配列のICデバイスを検査することのできるようにしたテスト用ソケットボードを提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係るテスト用ソケットボードはICソケット及びテスト用ソケットボードは中心(センター振り分け)上にくるよう位置合わせピンにより位置が合うようになっており、ICデバイスの電気的特性の検査を行う際にICソケットに交換可能に搭載されたICデバイスを電気的に接続するために用いるテスト用ソケットボードであって、一方の面に偶数端子配列であるICデバイスの接続端子の配列に応じたパターンのランドを形成し、他方の面に奇数端子配列であるICデバイスの接続端子の配列に応じたパターンのランドを形成してなり、前記ICソケットに搭載されたICデバイスに相対する面としてICデバイスの接続端子配列に応じて前記どちらか一方の面を選択的に用いることにより、異なる接続端子配列のICデバイスとの電気的な接続を確保できるようにしたことを特徴とする。
【0006】
この発明によれば、1つのテスト用ソケットボードを共用して異なる接続端子配列のICデバイスを検査することができるようになる。すなわち、テスト用ソケットボードは一方の面に偶数端子配列であるICデバイスの接続端子の配列に応じたパターンのランドを形成し、他方の面に奇数端子配列であるICデバイスの接続端子の配列に応じたパターンのランドを形成していることから、該テスト用ソケットボードの表裏をいれかえることで、偶数端子配列あるいは奇数端子配列のICデバイスを検査することが可能となる。こうすることで、1つのテスト用ソケットボードを共用して異なる種類のICデバイスを検査することができるようになる。
【0007】
本発明の請求項2に係るテスト用ソケットボードは、ICデバイスの電気的特性の検査を行う際にICソケットに交換可能に搭載されたICデバイスを電気的に接続するために用いるテスト用ソケットボードであって、一方の面のみに偶数端子配列及び奇数端子配列であるICデバイスの接続端子の配列に応じたパターンのランドを一体形成してなり、前記ランドがICデバイスの接続端子配列に応じて選択的に用いられることにより、異なる接続端子配列のICデバイスとの電気的な接続を確保できるようにしたことを特徴とする。これによると、テスト用ソケットボードの表裏をいれかえることなく、片面のみで偶数端子配列あるいは奇数端子配列のICデバイスを検査することが可能となる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながらこの発明を詳細に説明する。
【0009】
図1は、本発明に係るテスト用ソケットボードの全体構成の概要を示す斜視図である。図1から理解できるように、本発明に係るテスト用ソケットボード1に対しては試験対象のCSP(Chip Scale Package)型あるいはBGA(Ball Grid Array)型等のICデバイス(図示せず)を所定位置に搭載することのできるICソケット3を着脱可能に取りつけることができるようになっている。このICソケット3に搭載されるCSP型あるいはBGA型等のICデバイスは、小型化されたパッケージの一側面にハンダボール等の球形電極からなる接続端子を格子状に多数配置した構成のICデバイスである。テスト用ソケットボード1の表面及び裏面にはチップ抵抗やコンデンサ等からなる回路がそれぞれ表面実装されており、また前記回路の他にICソケット3に搭載されたICデバイスの接続端子配列に対応する位置に配置された複数のランドと呼ばれる導電体(例えば金属細線など)からなる端子接続部2が構成される。この端子接続部2におけるランドについての詳細な説明は後述することから、ここでの説明を省略する。
【0010】
ICソケット3に搭載されたICデバイスの検査はICソケット3に相対するテスト用ソケットボード1の表裏どちらか一方の回路を介して、ICデバイスとテスト用ソケットボード1との間で各種信号を送受信することにより行われる。すなわち、ICソケット3は所定位置に搭載された試験対象のICデバイスに構成される複数の球形電極からなる接続端子とテスト用ソケットボード1の端子接続部2に形成される複数のランドとが各々接触するようにしてテスト用ソケットボード1に取りつけられることにより、ICデバイスとテスト用ソケットボード1との間における電気的な接続を確保するようになっている。そして、テスト用ソケットボード1上に表面実装されている各回路からICソケット3に搭載されたICデバイスに対して印加値(例えば、アドレスデータ、試験パターンデータ、書き込みイネーブル信号、チップセレクト信号など)や判定基準情報(判定値とも呼ぶ)等の各種信号が送信され、得られたICデバイスからの出力データ(例えば、出力電圧データや出力タイミング測定値、パス/フェイルデータなど)を解析することによって当該ICデバイスの検査が行われるようになっている。なお、ICソケット3は試験対象のICデバイスをユーザが簡単に交換することができるようになっており、これにより多数の同種のICデバイスを順次に素早く検査することが可能である。
【0011】
上述したように、本発明に係るテスト用ソケットボード1の表面及び裏面に構成される端子接続部2にはそれぞれ複数のランドが形成されており、ICソケット3に搭載された試験対象のICデバイスに設けられている複数の球形電極からなる接続端子と前記ランドとが接触することによりICデバイスとテスト用ソケットボード1との間における電気的な接続を確保するようになっている。そこで、テスト用ソケットボード1上の端子接続部2に形成されるランドについて、図2を用いて説明する。図2は、テスト用ソケットボード表面及び裏面の両面にそれぞれランドを形成した場合におけるランドパターンの一実施例を示す概念図である。図2(a)にテスト用ソケットボード表面側に形成された偶数端子配列(10×10)のICデバイスに対応するランドパターンを示し、図2(b)にテスト用ソケットボード裏面側に形成された奇数端子配列(9×9)のICデバイスに対応するランドパターンを示す。ただし、ここでは説明を理解しやすくするために、テスト用ソケットボード1の端子接続部2における一部分のランドパターンのみを拡大して示した。また、試験対象のICデバイスとしてフルグリッドであるICデバイスに対応するようにしてランドが形成されているものを例に示した。
【0012】
テスト用ソケットボード1の端子接続部2にはテスト用ソケットボード1の基板本体を貫通する複数のスルーホール2bがICデバイスの接続端子Xの配列に対応して予め形成されており、該スルーホール2bはテスト用ソケットボード1表面と裏面とを電気的に接続すると共に、図示しないテスト用マザーボードなどと電気的に接続されている。そして、各スルーホール2bを基準としてランド2aは、図2(a)又は図2(b)に示すようなパターンでテスト用ソケットボード1の表面又は裏面にそれぞれ形成される。すなわち、ICデバイスの接続端子Xの配列が図2(a)右図に示すような偶数端子配列である場合には、図2(a)左図に示すように各スルーホール2bからランド2aを形成する方向を偶数端子配列にあわせた方向、つまりICソケット3にICデバイスを搭載した際にICデバイスの各接続端子Xとランド2aとが接触する方向に、ランド2aの領域を広げるようにしてランド2aを形成する。こうした実施例において、テスト用ソケットボード1とICデバイスとを重ねあわせた状態(つまり、ICデバイスをICソケット3に搭載した状態)にすると、図中において点線で表した四角形の枠内に示す各スルーホール2b毎に形成されたランド2a全てがICデバイスの各接続端子Xとそれぞれ接触することになる(ただし、図中では接触する接続端子Xについて一部のみを示している)。
【0013】
他方、ICデバイスの接続端子Xの配列が図2(b)の右図に示すような奇数端子配列である場合には、図2(b)の左図に示すように各スルーホール2bからランド2aを形成する方向を奇数端子配列にあわせた方向、つまりICソケット3にICデバイスを搭載した際にICデバイスの各接続端子Xとランド2aとが接触する方向に、ランド2aの領域を広げるようにしてランド2aを形成する。こうした実施例において、テスト用ソケットボード1とICデバイスとを重ねあわせた状態(つまり、ICデバイスをICソケット3に搭載した状態)にすると、各スルーホール2b毎に形成されたランド2a全てがICデバイスの各接続端子Xと接触することにはならず、図中において点線で表した四角形の枠内に示す各スルーホール2b毎に形成されたランド2aのみがICデバイスの各接続端子Xと接触することになる(ただし、図中では接触する接続端子Xについて一部のみを示している)。
【0014】
このように、テスト用ソケットボード1の表側と裏側とでスルーホール2bと電気的に接続されるランド2aを、ICデバイスの各接続端子の配列(偶数端子配列又は奇数端子配列)に応じて異なる方向に領域が広がるようにして形成する。これにより、1枚のテスト用ソケットボード1の両面を用いて、偶数端子配列又は奇数端子配列のように異なる端子配列のICデバイスに対応して検査を行うことができるようになる。なお、ランド2aの領域の大きさとしては、全ての接触位置が相対的に同じ位置となるように一律の大きさで形成するとランド2aの形成が簡単となってよい。
【0015】
上述した実施例においては、テスト用ソケットボード1の両面にICデバイスの各接続端子Xの配列にあわせてランド2aを形成したものを示したがこれに限らず、テスト用ソケットボード1を裏返すことなく偶数端子配列又は奇数端子配列のICデバイスを検査することができるように、テスト用ソケットボード1の片面のみに所定のパターンのランド2aを形成するようにしてもよい。そこで、こうしたテスト用ソケットボード1の片面のみでICデバイスの偶数端子配列又は奇数端子配列に対応することを可能としたランドパターンの一実施例を図3に示す。図3は、テスト用ソケットボードの一方の面のみにランドを形成した場合におけるランドパターンの一実施例を示す概念図である。
【0016】
図3から理解できるように、テスト用ソケットボード1の一方の面だけでICデバイスの偶数端子配列又は奇数端子配列に対応することを可能としたランド2aを形成する場合には、各スルーホール2bからランド2aを形成する方向を偶数端子配列及び奇数端子配列にあわせた方向、つまりICソケット3にICデバイスを搭載した際にICデバイスの各接続端子Xと形成したランド2aとが接触する方向に、ランド2aの領域を広げるようにしてランド2aを形成する。すなわち、スルーホール2bを中心にして、ランド2aの領域が偶数端子配列及び奇数端子配列のそれぞれにおいて接触可能な方向へと広がるようにしてランド2aを形成する。こうした実施例において、テスト用ソケットボード1とICデバイスとを重ねあわせた状態(つまり、ICデバイスをICソケット3に搭載した状態)にすると、偶数端子配列である場合には各スルーホール2b毎に形成されたランド2a全てがランド2a左上側でICデバイスの各接続端子Xと接触するし、奇数端子配列である場合には、図中において最下段と最右側に形成されたランド2a以外のランド2aがランド2a右下側でICデバイスの各接続端子Xと接触する。このようにランド2aを形成することにより、テスト用ソケットボード1の片面のみで、つまりテスト用ソケットボード1を裏返す必要もなく、簡単に偶数端子配列又は奇数端子配列のICデバイスの検査を行うことができるようになる。
【0017】
なお、上述した実施例に示すようなテスト用ソケットボード1上に形成されるランド2aの形成パターンは一例であってこれに限られるものではない。つまり、ICデバイスに設けられた球形電極からなる各接続端子Xとテスト用ソケットボード1の端子接続部2に形成される各ランド2aとがそれぞれ接触できるようになっていればどのようなランド2aの形成パターンであってもよいことは言うまでもない。
【0018】
【発明の効果】
この発明によれば、ソケットボード及びICソケット、ICが中心位置となった1つのテスト用ソケットボード上にICデバイスの偶数端子配列又は奇数端子配列のそれぞれに対応したパターンのランドを形成することによって、端子配列が異なるICデバイスであっても新たなテスト用ソケットボードを製作することなく、1つのテスト用ソケットボードを共用してこれらのICデバイスの検査を簡単に行うことができるようになる、という優れた効果を得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るテスト用ソケットボードの全体構成の概要を示す斜視図である。
【図2】テスト用ソケットボード表面及び裏面の両面にそれぞれランドを形成した場合におけるランドパターンの一実施例を示す概念図である。図2(a)に偶数端子配列のICデバイスに対応するランドパターン、図2(b)に奇数端子配列のICデバイスに対応するランドパターンを示す。
【図3】テスト用ソケットボードの一方の面のみにランドを形成した場合におけるランドパターンの一実施例を示す概念図である。
【符号の説明】
1…テスト用ソケットボード、2…端子接触部、2a…ランド、2b…スルーホール、3…ICソケット、X…球形電極(接続端子)
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a test socket board used for an IC test apparatus for evaluating electrical characteristics of an IC device (semiconductor integrated circuit). In particular, even if a plurality of connection terminals provided in a packaged IC device such as a CSP (Chip Scale Package) type or a BGA (Ball Grid Array) type are either an odd-numbered terminal array or an even-numbered terminal array. A test socket in which a single test socket board can be shared and IC devices having the above terminal arrangements can be inspected without separately manufacturing a dedicated test socket board for each of these IC devices. About the board.
[0002]
[Prior art]
Recently, an IC called a CSP (Chip Scale Package) type or a BGA (Ball Grid Array) type, in which a large number of connection terminals formed of spherical electrodes such as solder balls are arranged in a grid on one side of a miniaturized package. The device has been put to practical use. In order to ship such packaged IC devices such as CSP type and BGA type as final products whose performance and quality are guaranteed, all or part of the IC devices are extracted in each step of the manufacturing department and the inspection department. It is necessary to inspect its electrical characteristics. The IC test device is a device for inspecting the electrical characteristics of the IC device. The device under test (DUT: Device Under Test) mounted on the test socket board, that is, the connection terminals of the IC device to be tested. A predetermined test pattern data is given, the output data from the device under test is read out, and the output data is analyzed to determine whether there is any problem in the basic operation and function of the device under test. Is going. In such an IC test apparatus, in general, a large number of the same type of IC devices can be easily exchanged and inspected without directly mounting the IC devices directly on a test socket board. An IC device is indirectly mounted on a test socket board via a mountable IC socket.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, on the surface of the conventional test socket board on the IC socket side, a connection region made of a conductor (for example, a thin metal wire) called a land is arranged corresponding to the arrangement of connection terminals of the IC devices mounted on the IC socket. The connection terminals and the lands are in contact with each other to ensure electrical connection between the IC device and the test socket board. Therefore, if the arrangement of the connection terminals is different, such as the arrangement of the odd-numbered terminals or the arrangement of the even-numbered terminals, even if the external shape of the IC device is the same, the electric connection between the IC device and the test socket board is made. In order to ensure a proper connection, it is necessary to individually manufacture a test socket board having a land pattern formed so as to correspond to each of the odd-numbered terminal arrangement and the even-numbered terminal arrangement according to each IC device. However, it takes a long manufacturing time and high manufacturing cost to individually manufacture the test socket board according to the type of the IC device. Therefore, until the new test socket board is completed, the user must use the IC device. No tests could be performed. That is, there is a problem that the production of a test socket board according to each of the odd-numbered terminal arrangement and the even-numbered terminal arrangement IC devices has caused delays in development of the IC devices and increased development costs. there were.
[0004]
The present invention has been made in view of the above points, and the arrangement of a plurality of connection terminals provided in a packaged IC device such as a CSP type or a BGA type is either an odd terminal arrangement or an even terminal arrangement. However, a test in which a single test socket board is shared and the IC devices of the above-described terminal arrangements can be inspected without separately manufacturing a dedicated test socket board for each of these IC devices. It is intended to provide a socket board for use.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In the test socket board according to the first aspect of the present invention, the IC socket and the test socket board are aligned by positioning pins so as to be located on the center (distributed to the center), and the electrical characteristics of the IC device are determined. A test socket board used for electrically connecting an IC device exchangeably mounted on an IC socket when performing an inspection, wherein an even-numbered terminal array is arranged on one surface of the IC device. A land having a pattern corresponding to the arrangement of the connection terminals of the IC device having an odd-numbered terminal arrangement on the other surface, and a surface facing the IC device mounted on the IC socket. By selectively using one of the surfaces according to the connection terminal arrangement of the IC device, Characterized in that to be able to ensure electrical connection to the device.
[0006]
According to the present invention, it becomes possible to inspect IC devices having different connection terminal arrangements by sharing one test socket board. That is, the test socket board has lands of a pattern corresponding to the arrangement of the connection terminals of the IC devices having an even-numbered terminal arrangement on one surface, and the arrangement of the connection terminals of the IC devices having the odd-numbered terminal arrangement on the other surface. Since the lands having the corresponding patterns are formed, it is possible to inspect an IC device having an even-numbered terminal arrangement or an odd-numbered terminal arrangement by reversing the front and rear sides of the test socket board. In this way, different types of IC devices can be inspected by sharing one test socket board.
[0007]
The test socket board according to claim 2 of the present invention is a test socket board used for electrically connecting an IC device exchangeably mounted on an IC socket when inspecting electrical characteristics of the IC device. And a land having a pattern corresponding to the arrangement of the connection terminals of the IC device, which is an even-numbered terminal arrangement and an odd-numbered terminal arrangement, is formed integrally on only one surface, and the lands correspond to the connection terminal arrangement of the IC device. By being selectively used, electrical connection with IC devices having different connection terminal arrangements can be secured. According to this, an IC device having an even-numbered terminal arrangement or an odd-numbered terminal arrangement can be inspected on only one side without changing the front and back of the test socket board.
[0008]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0009]
FIG. 1 is a perspective view showing an outline of the overall configuration of a test socket board according to the present invention. As can be understood from FIG. 1, an IC device (not shown) such as a CSP (Chip Scale Package) type or a BGA (Ball Grid Array) type to be tested is predetermined for the test socket board 1 according to the present invention. An IC socket 3 that can be mounted at a position can be removably mounted. An IC device such as a CSP type or a BGA type mounted on the IC socket 3 is an IC device having a structure in which a large number of connection terminals formed of spherical electrodes such as solder balls are arranged in a lattice on one side of a miniaturized package. is there. On the front and back surfaces of the test socket board 1, circuits composed of chip resistors, capacitors, and the like are mounted on the respective surfaces, and in addition to the circuits, positions corresponding to the connection terminal arrangement of the IC devices mounted on the IC socket 3. The terminal connection part 2 is formed of a conductor (for example, a thin metal wire or the like) called a plurality of lands arranged on the terminal. Since the detailed description of the land in the terminal connection portion 2 will be described later, the description here is omitted.
[0010]
Inspection of the IC device mounted on the IC socket 3 involves transmitting and receiving various signals between the IC device and the test socket board 1 via one of the front and back circuits of the test socket board 1 facing the IC socket 3. It is done by doing. That is, the IC socket 3 has a connection terminal composed of a plurality of spherical electrodes formed on an IC device to be tested mounted at a predetermined position and a plurality of lands formed on the terminal connection portion 2 of the test socket board 1. The electrical connection between the IC device and the test socket board 1 is ensured by being attached to the test socket board 1 so as to be in contact with each other. Then, a value (for example, address data, test pattern data, a write enable signal, a chip select signal, etc.) applied from each circuit surface-mounted on the test socket board 1 to the IC device mounted on the IC socket 3 And various signals such as reference information (also referred to as judgment values) are transmitted, and the obtained output data from the IC device (eg, output voltage data, output timing measurement values, pass / fail data, etc.) is analyzed. The inspection of the IC device is performed. The IC socket 3 allows the user to easily replace the IC device to be tested, thereby enabling a large number of similar IC devices to be inspected sequentially and quickly.
[0011]
As described above, a plurality of lands are formed on each of the terminal connection portions 2 formed on the front surface and the back surface of the test socket board 1 according to the present invention, and the IC device to be tested mounted on the IC socket 3 The electrical connection between the IC device and the test socket board 1 is ensured by the contact between the connection terminals formed of a plurality of spherical electrodes provided on the socket and the lands. Therefore, lands formed on the terminal connection portions 2 on the test socket board 1 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a conceptual diagram showing one embodiment of a land pattern when lands are formed on both the front and rear surfaces of the test socket board. FIG. 2A shows a land pattern corresponding to an IC device having an even-numbered terminal array (10 × 10) formed on the front side of the test socket board, and FIG. 2B shows a land pattern formed on the back side of the test socket board. 3 shows a land pattern corresponding to an odd-numbered terminal array (9 × 9) IC device. However, in order to make the explanation easy to understand, only a part of the land pattern in the terminal connection part 2 of the test socket board 1 is enlarged. Further, an example in which a land is formed so as to correspond to a full-grid IC device as an IC device to be tested has been described.
[0012]
A plurality of through holes 2b penetrating through the substrate body of the test socket board 1 are formed in advance in the terminal connection portion 2 of the test socket board 1 in correspondence with the arrangement of the connection terminals X of the IC device. Reference numeral 2b electrically connects the front and back surfaces of the test socket board 1 and is also electrically connected to a test motherboard (not shown). The lands 2a are formed on the front surface or the back surface of the test socket board 1 in a pattern as shown in FIG. 2A or 2B with reference to each through hole 2b. That is, when the arrangement of the connection terminals X of the IC device is an even-numbered terminal arrangement as shown in the right diagram of FIG. 2A, the lands 2a are removed from the through holes 2b as shown in the left diagram of FIG. The area of the land 2a is expanded in a direction in which the formation direction is matched with the even-numbered terminal arrangement, that is, in a direction in which each connection terminal X of the IC device contacts the land 2a when the IC device is mounted on the IC socket 3. The land 2a is formed. In such an embodiment, when the test socket board 1 and the IC device are overlapped (that is, the IC device is mounted on the IC socket 3), each of the squares shown by dotted lines in FIG. All the lands 2a formed for each through hole 2b come into contact with each connection terminal X of the IC device (however, only some of the connection terminals X that are in contact are shown in the figure).
[0013]
On the other hand, in the case where the arrangement of the connection terminals X of the IC device is an odd-numbered terminal arrangement as shown in the right diagram of FIG. 2B, the land from each through hole 2b as shown in the left diagram of FIG. The area of the land 2a is extended in a direction in which the direction in which the 2a is formed matches the arrangement of the odd-numbered terminals, that is, in a direction in which the connection terminals X of the IC device and the land 2a come into contact when the IC device is mounted on the IC socket 3. To form the land 2a. In such an embodiment, when the test socket board 1 and the IC device are superimposed (that is, the IC device is mounted on the IC socket 3), all the lands 2a formed for each through hole 2b are integrated with the IC. Only the lands 2a formed for each through hole 2b shown in the square frame shown by the dotted line in the figure do not come into contact with each connection terminal X of the IC device. (However, only a part of the connection terminals X that are in contact is shown in the figure).
[0014]
As described above, the lands 2a electrically connected to the through holes 2b on the front side and the back side of the test socket board 1 differ depending on the arrangement of the connection terminals (even terminal arrangement or odd terminal arrangement) of the IC device. It is formed so that the area is widened in the direction. As a result, using both surfaces of one test socket board 1, it is possible to perform a test corresponding to an IC device having a different terminal arrangement such as an even terminal arrangement or an odd terminal arrangement. Note that the land 2a may be formed in a uniform size such that all contact positions are relatively the same, thereby simplifying the formation of the land 2a.
[0015]
In the above-described embodiment, the land 2a is formed on both sides of the test socket board 1 in accordance with the arrangement of the connection terminals X of the IC device. However, the present invention is not limited to this. Alternatively, the lands 2a having a predetermined pattern may be formed on only one side of the test socket board 1 so that an IC device having an even-numbered terminal arrangement or an odd-numbered terminal arrangement can be inspected. FIG. 3 shows an embodiment of a land pattern which can correspond to an even-numbered terminal arrangement or an odd-numbered terminal arrangement of only one side of the test socket board 1. FIG. 3 is a conceptual diagram showing one embodiment of a land pattern in the case where lands are formed only on one surface of the test socket board.
[0016]
As can be understood from FIG. 3, when the lands 2a that can correspond to the even-numbered terminal arrangement or the odd-numbered terminal arrangement of the IC device are formed on only one surface of the test socket board 1, each through hole 2b The direction in which the lands 2a are formed in accordance with the arrangement of the even-numbered terminal arrangement and the odd-numbered terminal arrangement, that is, the direction in which each connection terminal X of the IC device contacts the formed land 2a when the IC device is mounted on the IC socket 3. The land 2a is formed so as to expand the area of the land 2a. That is, the lands 2a are formed such that the area of the lands 2a extends in the contactable direction in each of the even-numbered terminal arrangement and the odd-numbered terminal arrangement centering on the through hole 2b. In such an embodiment, when the test socket board 1 and the IC device are superposed (that is, the IC device is mounted on the IC socket 3), if the terminal arrangement is an even-numbered terminal arrangement, each through hole 2b is provided. All the formed lands 2a are in contact with the respective connection terminals X of the IC device on the upper left side of the lands 2a, and in the case of an odd-numbered terminal arrangement, lands other than the lands 2a formed on the lowermost and rightmost side in the drawing. 2a is in contact with each connection terminal X of the IC device on the lower right side of the land 2a. By forming the lands 2a in this manner, it is possible to easily inspect an IC device having an even-numbered terminal arrangement or an odd-numbered terminal arrangement on only one side of the test socket board 1, that is, without having to turn over the test socket board 1. Will be able to
[0017]
The formation pattern of the land 2a formed on the test socket board 1 as shown in the above-described embodiment is an example, and is not limited to this. In other words, what kind of land 2a can be provided if each connection terminal X formed of a spherical electrode provided on the IC device and each land 2a formed on the terminal connection portion 2 of the test socket board 1 can come into contact with each other. It is needless to say that the formation pattern may be used.
[0018]
【The invention's effect】
According to the present invention, by forming a land having a pattern corresponding to each of the even-numbered terminal arrangement and the odd-numbered terminal arrangement of the IC device on the socket board, the IC socket, and one test socket board having the IC at the center position. Even if the IC devices have different terminal arrangements, it is possible to easily inspect these IC devices by sharing one test socket board without manufacturing a new test socket board. The excellent effect is obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an outline of an overall configuration of a test socket board according to the present invention.
FIG. 2 is a conceptual diagram showing one embodiment of a land pattern in a case where lands are formed on both the front and rear surfaces of a test socket board. FIG. 2A shows a land pattern corresponding to an IC device having an even-numbered terminal arrangement, and FIG. 2B shows a land pattern corresponding to an IC device having an odd-numbered terminal arrangement.
FIG. 3 is a conceptual diagram showing one embodiment of a land pattern in a case where lands are formed only on one surface of a test socket board.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Test socket board, 2 ... Terminal contact part, 2a ... Land, 2b ... Through hole, 3 ... IC socket, X ... Spherical electrode (connection terminal)

Claims (2)

ICデバイスの電気的特性の検査を行う際にICソケットに交換可能に搭載されたICデバイスを電気的に接続するために用いるテスト用ソケットボードであって、
一方の面に偶数端子配列であるICデバイスの接続端子の配列に応じたパターンのランドを形成し、他方の面に奇数端子配列であるICデバイスの接続端子の配列に応じたパターンのランドを形成してなり、
前記ICソケットに搭載されたICデバイスに相対する面としてICデバイスの接続端子配列に応じて前記どちらか一方の面を選択的に用いることにより、異なる接続端子配列のICデバイスとの電気的な接続を確保できるようにしたことを特徴とするテスト用ソケットボード。
A test socket board used for electrically connecting an IC device exchangeably mounted on an IC socket when inspecting electrical characteristics of the IC device,
A land of a pattern corresponding to an arrangement of connection terminals of an IC device having an even-numbered terminal arrangement is formed on one surface, and a land of a pattern corresponding to an arrangement of connection terminals of an IC device having an arrangement of odd-numbered terminals is formed on the other surface. And
By selectively using one of the surfaces according to the connection terminal arrangement of the IC device as a surface facing the IC device mounted on the IC socket, electrical connection with IC devices having different connection terminal arrangements is achieved. A test socket board characterized in that it is possible to secure a test socket board.
ICデバイスの電気的特性の検査を行う際にICソケットに交換可能に搭載されたICデバイスを電気的に接続するために用いるテスト用ソケットボードであって、
一方の面のみに偶数端子配列及び奇数端子配列であるICデバイスの接続端子の配列に応じたパターンのランドを一体形成してなり、
前記ランドがICデバイスの接続端子配列に応じて選択的に用いられることにより、異なる接続端子配列のICデバイスとの電気的な接続を確保できるようにしたことを特徴とするテスト用ソケットボード。
A test socket board used for electrically connecting an IC device exchangeably mounted on an IC socket when inspecting electrical characteristics of the IC device,
A land having a pattern corresponding to the arrangement of the connection terminals of the IC device having the even-numbered terminal arrangement and the odd-numbered terminal arrangement is integrally formed only on one surface,
A test socket board, wherein the lands are selectively used in accordance with the arrangement of connection terminals of an IC device, thereby ensuring electrical connection with IC devices having different arrangements of connection terminals.
JP2002324170A 2002-11-07 2002-11-07 Socket board for ic device test Pending JP2004158351A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002324170A JP2004158351A (en) 2002-11-07 2002-11-07 Socket board for ic device test

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002324170A JP2004158351A (en) 2002-11-07 2002-11-07 Socket board for ic device test

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004158351A true JP2004158351A (en) 2004-06-03

Family

ID=32803842

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002324170A Pending JP2004158351A (en) 2002-11-07 2002-11-07 Socket board for ic device test

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2004158351A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8143909B2 (en) 2009-05-22 2012-03-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Universal test socket and semiconductor package testing apparatus using the same
JP2019163943A (en) * 2018-03-19 2019-09-26 東芝メモリ株式会社 Tester calibration device and tester calibration method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8143909B2 (en) 2009-05-22 2012-03-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Universal test socket and semiconductor package testing apparatus using the same
JP2019163943A (en) * 2018-03-19 2019-09-26 東芝メモリ株式会社 Tester calibration device and tester calibration method
JP7037398B2 (en) 2018-03-19 2022-03-16 キオクシア株式会社 Tester calibration device and tester calibration method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7168162B2 (en) Method of manufacturing a probe card
KR100712561B1 (en) Wafer type probe card and method for fabricating the same and semiconductor test apparatus having wafer type probe card
JP4252491B2 (en) Module with inspection function and inspection method thereof.
JP2005209239A (en) Semiconductor integrated circuit apparatus
JP3063687B2 (en) Multi-chip module
JPH1164425A (en) Method and device for continuity inspection in electronic part
US7535239B1 (en) Probe card configured for interchangeable heads
GB2353399A (en) Testing printed or integrated circuits
JP2004158351A (en) Socket board for ic device test
JP4041663B2 (en) Semiconductor device and its inspection device
JP2006278374A (en) Semiconductor device and packaging structure thereof
JP2006234780A (en) Evaluation board and method for evaluating cable assembly
JP2004138552A (en) Ic socket
KR100609918B1 (en) Test unit for board with electronic component
JP2003050262A (en) High-frequency ic socket, semiconductor testing device, semiconductor test method and manufacturing method of semiconductor device
JP4147575B2 (en) Relay board
KR100216992B1 (en) A test board having a plurality of power supply wiring patterns
JP3135135B2 (en) Semiconductor device, its manufacturing method, its testing method and its testing device
JP4022698B2 (en) Inspection circuit board
JP3178424B2 (en) Integrated circuit test apparatus and integrated circuit test method
KR101469114B1 (en) Inspecting apparatus using electrical signals
JPH04369253A (en) Semiconductor integrated circuit package
JPH0658987A (en) Burn-in board
JPS6340391A (en) Surface mount printed circuit board
JPH06180343A (en) Test board for ic measuring instrument

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050224

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20060516

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070824

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070904

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080108