JP2004157060A - 多層薄膜体の界面構造の計測方法 - Google Patents
多層薄膜体の界面構造の計測方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004157060A JP2004157060A JP2002324763A JP2002324763A JP2004157060A JP 2004157060 A JP2004157060 A JP 2004157060A JP 2002324763 A JP2002324763 A JP 2002324763A JP 2002324763 A JP2002324763 A JP 2002324763A JP 2004157060 A JP2004157060 A JP 2004157060A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interface
- layer
- thin film
- multilayer thin
- fitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【課題】多層薄膜体の界面構造の計測方法に関し、薄層化された多層膜デバイスにおける微妙な界面状態の変化を非破壊で精度良く測定する。
【解決手段】一層あたりの厚さが10nm以下である薄膜2,3を順次積層した多層薄膜体の各層界面のフィッティング法を用いた構造解析法において、界面を構成するn層部分1のフィッティングで、解析モデルをm層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルでのフィッティング精度の値の差を評価することにより、n層部分1の界面の凹凸に対応する界面ラフネスと薄膜2,3間の材料的なミキシングに伴う界面状態の変化を測定する。
【選択図】 図1
【解決手段】一層あたりの厚さが10nm以下である薄膜2,3を順次積層した多層薄膜体の各層界面のフィッティング法を用いた構造解析法において、界面を構成するn層部分1のフィッティングで、解析モデルをm層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルでのフィッティング精度の値の差を評価することにより、n層部分1の界面の凹凸に対応する界面ラフネスと薄膜2,3間の材料的なミキシングに伴う界面状態の変化を測定する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は多層薄膜体の界面構造の計測方法に関するものであり、特に、磁気記録媒体等の多層薄膜体の界面の凹凸と界面を介したミキシングを包括した界面状態を検出するための手法に特徴のある多層薄膜体の界面構造の計測方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年のハードディスクドライブ、半導体メモリ、誘電体メモリ等のさらなる高性能化により、それに用いられる薄膜積層体デバイスがより多層化・薄膜化することに伴って、一層あたりの膜厚が界面の幅の大きさに近づくレベルに到達するようになり、デバイスの特性は、膜厚だけでなく、界面の凹凸、或いは、界面を介したミキシングの影響を受けるようになっている。
【0003】
このような多層薄膜積層デバイスは、製造工程上の加熱処理により、界面ラフネス又は界面を介したミキシングの変化に伴う、特性の変化が知られており、したがって、多層薄膜積層体のデバイスの量産には、従来の膜厚管理のみならず、界面状態の的確な計測が必要となってくる。
【0004】
この様な多層薄膜積層体の界面の状態を非破壊で計測する手法として、X線反射率測定がある(例えば、特許文献1参照) 。
このX線反射率測定は、試料に対して微小角度θで入射させたX線が、試料の各層界面で反射・干渉を起こし、入射角度θに対し、反射X線強度が振動することを利用して反射X線データを解析する手法であり、それによって、多層薄膜積層体の膜厚、密度、界面幅の絶対値が求められる。
この界面幅が、界面凹凸に対応するラフネス、と界面における異種層間のミキシングに相当する。
【0005】
ここで、図4を参照して、界面幅σj の概念を説明する。
図4参照
図4は、多層薄膜積層体の構造であり、基板をj=0とした場合、n層の薄膜からなる多層構造であることを示している。
この多層薄膜積層体に外部から強度がI0 のX線を入射角θで入射させた場合に測定される反射X線の強度Iとすると、多層薄膜積層体の全体としての反射率|Rn,n+1 |2 は、
|Rn,n+1 |2 =I/I0
で表される。
但し、各薄膜の複素屈折率をnj 、厚さをdj 、界面幅をσj とする。
【0006】
ここで、Rj,j+1 は、
Rj,j+1 =〔(Rj−1,j +Fj,j+1 )/(Rj−1,j ×Fj,j+1 +1)〕×aj+1 4
で表され、この場合のFj,j+1 は、
Fj,j+1 =〔(gj+1 −gj )/(gj+1 +gj )〕×exp(−8π2 gj gj+1 σj 2 /λ2 )
で表される。
但し、
aj+1 =exp(−iπgj+1 dj+1 /λ),
gj =(nj 2 −cos2 θ)1/2
である。
【0007】
この漸化式を使用して基板(j=0)から順に表面層までのRj,j+1 を計算することによって反射率|Rn,n+1 |2 を求めることができる。
したがって、反射率|Rn,n+1 |2 を測定することによって、逆にFj,j+1 にファクタとして含まれる界面幅σj が求められることになる(例えば、非特許文献1参照)。
【0008】
この様なX線反射率測定法において、X線の膜中での位相変化や界面での反射強度がX線の波長に依存することを利用して、複数の波長のX線を用いて複数の波長により反射率を同時に測定して精度を向上することも提案されている(例えば、非特許文献2参照)。
【0009】
また、本発明者は、X線反射率測定法における精度を高めるために、解析対象となる薄膜を構成する元素の吸収端付近の波長を用いることを提案しており(例えば、非特許文献3参照)、例えば、Ta/Co90Fe10/Cu/Ta積層構造におけるCo90Fe10/Cuを解析する場合、1.61Å(Coの吸収端)と1.38Å(Cuの吸収端)を用いる。
【0010】
【特許文献1】
特開2000−35408号公報
【非特許文献1】
Physical Review,vol.95,p.359,1954
【非特許文献2】
日本応用磁気学会誌 vol.24,p.551−554,2000
【非特許文献3】
第44回応用物理学会講演予稿集 p.530,1997,31a−ZM−1
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一層あたりの膜厚dj が薄くなり、界面幅σj の大きさに近づくと、X線で見た層と層の界面が不明瞭となり、界面幅パラメータと密度パラメータの計測精度が悪化する。
【0012】
この問題は、多層膜デバイスの薄膜化に伴い、従来の膜構造モデルに従ったフィッティング方法では、界面状態の変化を検出することが困難になったことに起因している。
【0013】
したがって、本発明は、薄層化された多層膜デバイスにおける微妙な界面状態の変化を非破壊で精度良く測定することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
図1は本発明の原理的構成図であり、この図1を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。
図1参照
上記目的を達成するため、本発明は、多層薄膜体の界面構造の計測方法において、一層あたりの厚さが10nm以下である薄膜2,3を順次積層した多層薄膜体の各層界面のフィッティング法を用いた構造解析法において、界面を構成するn層部分1のフィッティングで、解析モデルをm層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルでのフィッティング精度の値の差を評価することにより、n層部分1の界面の凹凸に対応する界面ラフネスと薄膜間の材料的なミキシングに伴う界面状態の変化を測定することを特徴とする。
【0015】
この様に、多層薄膜デバイス体における特性変化に起因する界面状態の変化を検出するため、注目する界面を構成するn層部分1をフィッティングで解析する際、m層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルで解析し、そのフィッティング精度(R値)の差を評価することにより、界面状態を判断することができる。
【0016】
即ち、界面ラフネスが増大した場合或いは界面を介したミキシングが増大した場合には、究極的には2層膜が同一の密度を持つ単層膜となるので、2つのモデル間のR値の差ΔRが小さいほど、1 層でも解析可能であり、2層界面の乱れが大きいことを意味する。
この解析方法の特長として、2層間の界面が乱れた場合に層としての安定性を評価するところにある。
【0017】
この様な評価により、界面の凹凸と界面を介したミキシングを包括した界面状態の変化を検出できるので、多層薄膜2,3からなる電子デバイス、磁気デバイス、或いは、磁気記録媒体等の製造において、信頼性の高いデバイス或いは媒体を提供することが可能となる。
【0018】
また、上記の手法を複数の界面に適用することにより、多層薄膜体全体の各界面構造を評価することが可能になる。
【0019】
また、フィッティング工程において、フィッティング対象となる層以外の層部分の密度、膜厚、界面幅4パラメータを予め固定することが望ましい。
それによって、解析に直接関係のない部分の界面の乱れによるパラメータの変化を受けることがなく、注目する界面の本質的なパラメータの変化を精度良く評価することができる。
【0020】
また、上記の構造解析において、多層薄膜体を構成する元素に応じて複数の波長のX線を用いて測定した複数データを用いて解析したり、或いは、多層薄膜体を構成する元素の吸収端波長のX線を用いて測定したデータを用いて解析することが望ましく、それによって、界面状態の検出精度をさらに向上させることが可能となる。
【0021】
【発明の実施の形態】
ここで、図2及び図3を参照して、本発明の実施の形態のスピンバルブ膜の構造解析方法を説明する。
図2参照
図2は、本発明の実施の形態の構造解析方法に使用する試料の概略的構成図であり、シリコン基板11上に、マグネトロンスパッタ法を用いて、下地層12、20nmのPdPtMnピン層13、4nmのCoFeピンド層14、Cu中間層15、4nmのCoFeフリー層16、及び、Cu層17を設けて簡易型のスピンバルブ構造の試料を形成した。
この場合、Cu中間層15を2.2nmと3.0nmの2種類とし、下地層12をNiCrとTa/NiFeの2種類とし、計4種類の試料を作製した。
【0022】
この各試料に対して、入射角θで1.62Å(Co−kβ線)のX線18を入射させて反射X線19の強度スペクトルを測定する。
図3(a)及び(b)参照
図3(a)及び(b)は、4つの試料についての測定結果を示す反射X線強度スペクトルであり、図においては、後述する各モデルについての最小二乗法を用いたフィッティング結果を点線で合わせて示しており、実測値とフィッティング結果との差をR値として示している。
なお、このフィッティング手法の基本的手法は、通常のX線反射率法と同じである。
【0023】
しかし、本発明の実施の形態においては、MR特性に関与する界面は、CoFe/Cu/CoFe3層における2つの界面(CoFe/Cu、Cu/CoFe)であるため、フィッティング時にCoFe/Cu/CoFeを3層モデル(CoFe/Cu/CoFe)、2 層モデル〔(CoFe+Cu)/CoFe〕、1 層モデル(CoFe+Cu+CoFe)で解析したR値を求めて比較した。
【0024】
この場合、試料は6層からなる多層膜であるため、全てのパラメータをフィッティングにかけた場合、CoFe/Cu/CoFeを3層モデル、2層モデル、1層モデルでフィッティングする際に、CoFe/Cu/CoFe界面の本質的なパラメータの変化を、CoFe/Cu/CoFe以外の他層におけるパラメータの変化で吸収してしまうことが懸念される。
そこで、基板/下地/PdPtMnのパラメータは3層モデルでの解析値に固定した。
【0025】
以上のフィッティング結果を纏めたのが表1である。
【表1】
【0026】
表1から明らかなように、Cu中間層が2.2nmの場合も3.0nmの場合も下地がNiCrの場合にΔRが大きくなり、3層モデルと1層モデルとの差が大きくなるので、CoFe/Cu/CoFe各界面における乱れが少なくなっていることが分かる。
【0027】
また、Cu中間層が3.0nmと厚くなると、下地層の種類によるCoFe/Cu/CoFe各界面の乱れの差が小さくなっており、Δρ(抵抗率の変化率)/t(試料のトータルの膜厚)の変化と良く対応していることが分かる
【0028】
以上の結果から、スピンバルブ膜のMR特性は、下地層の種類の影響を受けることが分かり、これは、下地層によってCoFe/Cu/CoFe3層の界面状態が異なるためである。
【0029】
また、Cu中間層の膜厚によって、下地層の影響の現れ方が異なり、中間層が薄いほど、下地層の影響が強く現れることが理解される。
【0030】
以上の構造解析結果を製造工程或いは設計工程にフィードバックすることによって、界面の凹凸が少なくなる或いは界面を介したミキシングが少ない材料組成、温度等の製造条件を選択することが可能になり、それによって、高性能の多層薄膜デバイスを再現性良く製造することが可能になる。
【0031】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は実施の形態に記載した構成及び条件に限られるものではなく、各種の変更が可能である。
例えば、上記の実施の形態において、X線光源として、1.62Å(Co−kβ線)のみを用いているが、上述の非特許文献2に記載されているように、1.54Å(Cu−kα線)、1.392Å(Cu−kβ線)、及び、1.62Å(Co−kβ線)の3種類のX線を用いて測定して複数のデータを取得し、取得した複数のデータを同時にフィッティング解析しても良いものであり、それによって、より精度の高い測定が可能になる。
【0032】
或いは、上記非特許文献3に記載されているように、1.38Å(Cu吸収端)及び1.61Å(Co吸収端)等のスピンバルブ膜を構成する元素の吸収端波長或いはその極近傍の波長を用いても良いのであり、それによって、より精度の高い測定が可能になる。
【0033】
上記の実施の形態においては、スピンバルブ素子を解析対象としているが、スピンバルブ素子に限られるものではなく、各種の金属多層膜に適用されるものでる。
例えば、下地層/中間層/磁性層等の多層構造を有する磁気記録媒体、或いは、半導体装置の多層構造電極、多層半導体ヘテロ接合構造、或いは、誘電体デバイスに用いる多層構造電極等も解析対象となるものである。
【0034】
その場合、解析対象となる多層薄膜体を構成する元素により、入射X線の波長は適宜変更されるものであり、上述の1.62Å(Co−kβ線)に限られるものではない。
【0035】
ここで、再び図1を参照して、改めて本発明の詳細な特徴を説明する。
再び、図1参照
(付記1) 一層あたりの厚さが10nm以下である薄膜2,3を順次積層した多層薄膜体の各層界面のフィッティング法を用いた構造解析法において、前記界面を構成するn型層部分1のフィッティングで、解析モデルをm層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルでのフィッティング精度の値の差を評価することにより、前記n型層部分1の界面の凹凸に対応する界面ラフネスと薄膜間の材料的なミキシングに伴う界面状態の変化を測定することを特徴とする多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記2) 上記n型層部分1の界面ラフネスと界面状態の変化の測定を、上記多層薄膜体の複数の界面に対して行うことを特徴とする付記1記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記3) 上記フィッティング工程において、フィッティング対象となる層以外の層部分の密度、膜厚、界面幅4パラメータを予め固定することを特徴とする付記1または2に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記4) 上記構造解析において、上記多層薄膜体を構成する元素に応じて複数の波長のX線を用いて測定した複数データを用いて解析することを特徴とする付記1乃至3のいずれか1に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記5) 上記構造解析法において、上記多層薄膜体を構成する元素の吸収端波長のX線を用いて測定したデータを用いて解析することを特徴とする付記1乃至4のいずれか1に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記6) 上記構造解析の対象となる多層薄膜体は、磁性体装置、磁気記録媒体、誘電体装置、或いは、半導体装置のいずれかを構成する金属多層膜、半導体多層膜、或いは、金属/半導体多層膜のいずれかであることを特徴とする付記1乃至5のいずれか1に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、注目する界面に対して多層モデルと1層モデルのフィッティング結果の差を比較するだけで多層薄膜積層体デバイスの微妙な界面状態の変化を非破壊で精度良く解析することが可能となり、解析結果を設計工程或いは製造工程にフィードバックすることによって、信頼性の高い多層薄膜積層体デバイスの実現が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理的構成の説明図である。
【図2】本発明の実施の形態における解析対象となる試料の概略的構成図である。
【図3】本発明の実施の形態における測定結果を示す反射X線強度スペクトルである。
【図4】界面幅σj の概念を説明するための多層薄膜積層体の構造図である。
【符号の説明】
1 n層部分
2 薄膜
3 薄膜
4 界面幅
11 シリコン基板
12 下地層
13 PdPtMnピン層
14 CoFeピンド層
15 Cu中間層
16 CoFeフリー層
17 Cu層
18 X線
19 反射X線
【発明の属する技術分野】
本発明は多層薄膜体の界面構造の計測方法に関するものであり、特に、磁気記録媒体等の多層薄膜体の界面の凹凸と界面を介したミキシングを包括した界面状態を検出するための手法に特徴のある多層薄膜体の界面構造の計測方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年のハードディスクドライブ、半導体メモリ、誘電体メモリ等のさらなる高性能化により、それに用いられる薄膜積層体デバイスがより多層化・薄膜化することに伴って、一層あたりの膜厚が界面の幅の大きさに近づくレベルに到達するようになり、デバイスの特性は、膜厚だけでなく、界面の凹凸、或いは、界面を介したミキシングの影響を受けるようになっている。
【0003】
このような多層薄膜積層デバイスは、製造工程上の加熱処理により、界面ラフネス又は界面を介したミキシングの変化に伴う、特性の変化が知られており、したがって、多層薄膜積層体のデバイスの量産には、従来の膜厚管理のみならず、界面状態の的確な計測が必要となってくる。
【0004】
この様な多層薄膜積層体の界面の状態を非破壊で計測する手法として、X線反射率測定がある(例えば、特許文献1参照) 。
このX線反射率測定は、試料に対して微小角度θで入射させたX線が、試料の各層界面で反射・干渉を起こし、入射角度θに対し、反射X線強度が振動することを利用して反射X線データを解析する手法であり、それによって、多層薄膜積層体の膜厚、密度、界面幅の絶対値が求められる。
この界面幅が、界面凹凸に対応するラフネス、と界面における異種層間のミキシングに相当する。
【0005】
ここで、図4を参照して、界面幅σj の概念を説明する。
図4参照
図4は、多層薄膜積層体の構造であり、基板をj=0とした場合、n層の薄膜からなる多層構造であることを示している。
この多層薄膜積層体に外部から強度がI0 のX線を入射角θで入射させた場合に測定される反射X線の強度Iとすると、多層薄膜積層体の全体としての反射率|Rn,n+1 |2 は、
|Rn,n+1 |2 =I/I0
で表される。
但し、各薄膜の複素屈折率をnj 、厚さをdj 、界面幅をσj とする。
【0006】
ここで、Rj,j+1 は、
Rj,j+1 =〔(Rj−1,j +Fj,j+1 )/(Rj−1,j ×Fj,j+1 +1)〕×aj+1 4
で表され、この場合のFj,j+1 は、
Fj,j+1 =〔(gj+1 −gj )/(gj+1 +gj )〕×exp(−8π2 gj gj+1 σj 2 /λ2 )
で表される。
但し、
aj+1 =exp(−iπgj+1 dj+1 /λ),
gj =(nj 2 −cos2 θ)1/2
である。
【0007】
この漸化式を使用して基板(j=0)から順に表面層までのRj,j+1 を計算することによって反射率|Rn,n+1 |2 を求めることができる。
したがって、反射率|Rn,n+1 |2 を測定することによって、逆にFj,j+1 にファクタとして含まれる界面幅σj が求められることになる(例えば、非特許文献1参照)。
【0008】
この様なX線反射率測定法において、X線の膜中での位相変化や界面での反射強度がX線の波長に依存することを利用して、複数の波長のX線を用いて複数の波長により反射率を同時に測定して精度を向上することも提案されている(例えば、非特許文献2参照)。
【0009】
また、本発明者は、X線反射率測定法における精度を高めるために、解析対象となる薄膜を構成する元素の吸収端付近の波長を用いることを提案しており(例えば、非特許文献3参照)、例えば、Ta/Co90Fe10/Cu/Ta積層構造におけるCo90Fe10/Cuを解析する場合、1.61Å(Coの吸収端)と1.38Å(Cuの吸収端)を用いる。
【0010】
【特許文献1】
特開2000−35408号公報
【非特許文献1】
Physical Review,vol.95,p.359,1954
【非特許文献2】
日本応用磁気学会誌 vol.24,p.551−554,2000
【非特許文献3】
第44回応用物理学会講演予稿集 p.530,1997,31a−ZM−1
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一層あたりの膜厚dj が薄くなり、界面幅σj の大きさに近づくと、X線で見た層と層の界面が不明瞭となり、界面幅パラメータと密度パラメータの計測精度が悪化する。
【0012】
この問題は、多層膜デバイスの薄膜化に伴い、従来の膜構造モデルに従ったフィッティング方法では、界面状態の変化を検出することが困難になったことに起因している。
【0013】
したがって、本発明は、薄層化された多層膜デバイスにおける微妙な界面状態の変化を非破壊で精度良く測定することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
図1は本発明の原理的構成図であり、この図1を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。
図1参照
上記目的を達成するため、本発明は、多層薄膜体の界面構造の計測方法において、一層あたりの厚さが10nm以下である薄膜2,3を順次積層した多層薄膜体の各層界面のフィッティング法を用いた構造解析法において、界面を構成するn層部分1のフィッティングで、解析モデルをm層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルでのフィッティング精度の値の差を評価することにより、n層部分1の界面の凹凸に対応する界面ラフネスと薄膜間の材料的なミキシングに伴う界面状態の変化を測定することを特徴とする。
【0015】
この様に、多層薄膜デバイス体における特性変化に起因する界面状態の変化を検出するため、注目する界面を構成するn層部分1をフィッティングで解析する際、m層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルで解析し、そのフィッティング精度(R値)の差を評価することにより、界面状態を判断することができる。
【0016】
即ち、界面ラフネスが増大した場合或いは界面を介したミキシングが増大した場合には、究極的には2層膜が同一の密度を持つ単層膜となるので、2つのモデル間のR値の差ΔRが小さいほど、1 層でも解析可能であり、2層界面の乱れが大きいことを意味する。
この解析方法の特長として、2層間の界面が乱れた場合に層としての安定性を評価するところにある。
【0017】
この様な評価により、界面の凹凸と界面を介したミキシングを包括した界面状態の変化を検出できるので、多層薄膜2,3からなる電子デバイス、磁気デバイス、或いは、磁気記録媒体等の製造において、信頼性の高いデバイス或いは媒体を提供することが可能となる。
【0018】
また、上記の手法を複数の界面に適用することにより、多層薄膜体全体の各界面構造を評価することが可能になる。
【0019】
また、フィッティング工程において、フィッティング対象となる層以外の層部分の密度、膜厚、界面幅4パラメータを予め固定することが望ましい。
それによって、解析に直接関係のない部分の界面の乱れによるパラメータの変化を受けることがなく、注目する界面の本質的なパラメータの変化を精度良く評価することができる。
【0020】
また、上記の構造解析において、多層薄膜体を構成する元素に応じて複数の波長のX線を用いて測定した複数データを用いて解析したり、或いは、多層薄膜体を構成する元素の吸収端波長のX線を用いて測定したデータを用いて解析することが望ましく、それによって、界面状態の検出精度をさらに向上させることが可能となる。
【0021】
【発明の実施の形態】
ここで、図2及び図3を参照して、本発明の実施の形態のスピンバルブ膜の構造解析方法を説明する。
図2参照
図2は、本発明の実施の形態の構造解析方法に使用する試料の概略的構成図であり、シリコン基板11上に、マグネトロンスパッタ法を用いて、下地層12、20nmのPdPtMnピン層13、4nmのCoFeピンド層14、Cu中間層15、4nmのCoFeフリー層16、及び、Cu層17を設けて簡易型のスピンバルブ構造の試料を形成した。
この場合、Cu中間層15を2.2nmと3.0nmの2種類とし、下地層12をNiCrとTa/NiFeの2種類とし、計4種類の試料を作製した。
【0022】
この各試料に対して、入射角θで1.62Å(Co−kβ線)のX線18を入射させて反射X線19の強度スペクトルを測定する。
図3(a)及び(b)参照
図3(a)及び(b)は、4つの試料についての測定結果を示す反射X線強度スペクトルであり、図においては、後述する各モデルについての最小二乗法を用いたフィッティング結果を点線で合わせて示しており、実測値とフィッティング結果との差をR値として示している。
なお、このフィッティング手法の基本的手法は、通常のX線反射率法と同じである。
【0023】
しかし、本発明の実施の形態においては、MR特性に関与する界面は、CoFe/Cu/CoFe3層における2つの界面(CoFe/Cu、Cu/CoFe)であるため、フィッティング時にCoFe/Cu/CoFeを3層モデル(CoFe/Cu/CoFe)、2 層モデル〔(CoFe+Cu)/CoFe〕、1 層モデル(CoFe+Cu+CoFe)で解析したR値を求めて比較した。
【0024】
この場合、試料は6層からなる多層膜であるため、全てのパラメータをフィッティングにかけた場合、CoFe/Cu/CoFeを3層モデル、2層モデル、1層モデルでフィッティングする際に、CoFe/Cu/CoFe界面の本質的なパラメータの変化を、CoFe/Cu/CoFe以外の他層におけるパラメータの変化で吸収してしまうことが懸念される。
そこで、基板/下地/PdPtMnのパラメータは3層モデルでの解析値に固定した。
【0025】
以上のフィッティング結果を纏めたのが表1である。
【表1】
【0026】
表1から明らかなように、Cu中間層が2.2nmの場合も3.0nmの場合も下地がNiCrの場合にΔRが大きくなり、3層モデルと1層モデルとの差が大きくなるので、CoFe/Cu/CoFe各界面における乱れが少なくなっていることが分かる。
【0027】
また、Cu中間層が3.0nmと厚くなると、下地層の種類によるCoFe/Cu/CoFe各界面の乱れの差が小さくなっており、Δρ(抵抗率の変化率)/t(試料のトータルの膜厚)の変化と良く対応していることが分かる
【0028】
以上の結果から、スピンバルブ膜のMR特性は、下地層の種類の影響を受けることが分かり、これは、下地層によってCoFe/Cu/CoFe3層の界面状態が異なるためである。
【0029】
また、Cu中間層の膜厚によって、下地層の影響の現れ方が異なり、中間層が薄いほど、下地層の影響が強く現れることが理解される。
【0030】
以上の構造解析結果を製造工程或いは設計工程にフィードバックすることによって、界面の凹凸が少なくなる或いは界面を介したミキシングが少ない材料組成、温度等の製造条件を選択することが可能になり、それによって、高性能の多層薄膜デバイスを再現性良く製造することが可能になる。
【0031】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は実施の形態に記載した構成及び条件に限られるものではなく、各種の変更が可能である。
例えば、上記の実施の形態において、X線光源として、1.62Å(Co−kβ線)のみを用いているが、上述の非特許文献2に記載されているように、1.54Å(Cu−kα線)、1.392Å(Cu−kβ線)、及び、1.62Å(Co−kβ線)の3種類のX線を用いて測定して複数のデータを取得し、取得した複数のデータを同時にフィッティング解析しても良いものであり、それによって、より精度の高い測定が可能になる。
【0032】
或いは、上記非特許文献3に記載されているように、1.38Å(Cu吸収端)及び1.61Å(Co吸収端)等のスピンバルブ膜を構成する元素の吸収端波長或いはその極近傍の波長を用いても良いのであり、それによって、より精度の高い測定が可能になる。
【0033】
上記の実施の形態においては、スピンバルブ素子を解析対象としているが、スピンバルブ素子に限られるものではなく、各種の金属多層膜に適用されるものでる。
例えば、下地層/中間層/磁性層等の多層構造を有する磁気記録媒体、或いは、半導体装置の多層構造電極、多層半導体ヘテロ接合構造、或いは、誘電体デバイスに用いる多層構造電極等も解析対象となるものである。
【0034】
その場合、解析対象となる多層薄膜体を構成する元素により、入射X線の波長は適宜変更されるものであり、上述の1.62Å(Co−kβ線)に限られるものではない。
【0035】
ここで、再び図1を参照して、改めて本発明の詳細な特徴を説明する。
再び、図1参照
(付記1) 一層あたりの厚さが10nm以下である薄膜2,3を順次積層した多層薄膜体の各層界面のフィッティング法を用いた構造解析法において、前記界面を構成するn型層部分1のフィッティングで、解析モデルをm層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルでのフィッティング精度の値の差を評価することにより、前記n型層部分1の界面の凹凸に対応する界面ラフネスと薄膜間の材料的なミキシングに伴う界面状態の変化を測定することを特徴とする多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記2) 上記n型層部分1の界面ラフネスと界面状態の変化の測定を、上記多層薄膜体の複数の界面に対して行うことを特徴とする付記1記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記3) 上記フィッティング工程において、フィッティング対象となる層以外の層部分の密度、膜厚、界面幅4パラメータを予め固定することを特徴とする付記1または2に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記4) 上記構造解析において、上記多層薄膜体を構成する元素に応じて複数の波長のX線を用いて測定した複数データを用いて解析することを特徴とする付記1乃至3のいずれか1に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記5) 上記構造解析法において、上記多層薄膜体を構成する元素の吸収端波長のX線を用いて測定したデータを用いて解析することを特徴とする付記1乃至4のいずれか1に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
(付記6) 上記構造解析の対象となる多層薄膜体は、磁性体装置、磁気記録媒体、誘電体装置、或いは、半導体装置のいずれかを構成する金属多層膜、半導体多層膜、或いは、金属/半導体多層膜のいずれかであることを特徴とする付記1乃至5のいずれか1に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、注目する界面に対して多層モデルと1層モデルのフィッティング結果の差を比較するだけで多層薄膜積層体デバイスの微妙な界面状態の変化を非破壊で精度良く解析することが可能となり、解析結果を設計工程或いは製造工程にフィードバックすることによって、信頼性の高い多層薄膜積層体デバイスの実現が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理的構成の説明図である。
【図2】本発明の実施の形態における解析対象となる試料の概略的構成図である。
【図3】本発明の実施の形態における測定結果を示す反射X線強度スペクトルである。
【図4】界面幅σj の概念を説明するための多層薄膜積層体の構造図である。
【符号の説明】
1 n層部分
2 薄膜
3 薄膜
4 界面幅
11 シリコン基板
12 下地層
13 PdPtMnピン層
14 CoFeピンド層
15 Cu中間層
16 CoFeフリー層
17 Cu層
18 X線
19 反射X線
Claims (5)
- 一層あたりの厚さが10nm以下である薄膜を順次積層した多層薄膜体の各層界面のフィッティング法を用いた構造解析法において、前記界面を構成するn層部分のフィッティングで、解析モデルをm層モデル(但し、n≧m≧2)と1層モデルの2モデルでのフィッティング精度の値の差を評価することにより、前記n層部分の界面の凹凸に対応する界面ラフネスと薄膜間の材料的なミキシングに伴う界面状態の変化を測定することを特徴とする多層薄膜体の界面構造の計測方法。
- 上記n層部分の界面ラフネスと界面状態の変化の測定を、上記多層薄膜体の複数の界面に対して行うことを特徴とする請求項1記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
- 上記フィッティング工程において、フィッティング対象となる層以外の層部分の密度、膜厚、界面幅パラメータを予め固定することを特徴とする請求項1または2に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
- 上記構造解析において、上記多層薄膜体を構成する元素に応じて複数の波長のX線を用いて測定した複数データを用いて解析することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
- 上記構造解析法において、上記多層薄膜体を構成する元素の吸収端波長のX線を用いて測定したデータを用いて解析することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の多層薄膜体の界面構造の計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002324763A JP2004157060A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | 多層薄膜体の界面構造の計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002324763A JP2004157060A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | 多層薄膜体の界面構造の計測方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004157060A true JP2004157060A (ja) | 2004-06-03 |
Family
ID=32804210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002324763A Withdrawn JP2004157060A (ja) | 2002-11-08 | 2002-11-08 | 多層薄膜体の界面構造の計測方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004157060A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012117603A1 (ja) | 2011-03-03 | 2012-09-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 膜形状取得装置および膜形状取得方法 |
-
2002
- 2002-11-08 JP JP2002324763A patent/JP2004157060A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012117603A1 (ja) | 2011-03-03 | 2012-09-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 膜形状取得装置および膜形状取得方法 |
TWI457536B (zh) * | 2011-03-03 | 2014-10-21 | Dainippon Screen Mfg | 膜形狀取得裝置及膜形狀取得方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Worledge et al. | Magnetoresistance measurement of unpatterned magnetic tunnel junction wafers by current-in-plane tunneling | |
US7582868B2 (en) | Method of nano thin film thickness measurement by auger electron spectroscopy | |
CN104870933A (zh) | 用于测量多层半导体结构的层的厚度变化的方法 | |
JP3382181B2 (ja) | トンネル磁気抵抗効果素子の特性検査方法および特性検査装置、ならびにハードディスクドライブ装置 | |
TW202124941A (zh) | 被動式基材螢光薄膜厚度檢測裝置及方法 | |
JP2003282507A (ja) | 光学測定による残膜の判定方法 | |
FR2800915A1 (fr) | Composant magnetosensible notamment element de capteur muni de systemes a couches magnetoresistantes selon un montage en pont | |
JP2009124058A (ja) | 磁気抵抗効果素子の面積抵抗の測定方法 | |
US7751527B2 (en) | Measurement method of layer thickness for thin film stacks | |
JP2004157060A (ja) | 多層薄膜体の界面構造の計測方法 | |
JP2009250783A (ja) | 多層薄膜の膜厚測定方法 | |
JP2000035408A (ja) | X線反射率法を用いた膜構造解析方法 | |
Romanov et al. | Separation of the diffuse contribution to the specular x-ray scattering of multilayer films | |
JP2001006128A (ja) | 磁気変換素子の製造方法および装置、ならびに磁気ヘッドの製造方法および装置 | |
JP3509483B2 (ja) | X線反射率測定方法および磁気ヘッド用スピンバルブの製造方法 | |
JP3329197B2 (ja) | 薄膜積層体検査方法 | |
TWI405947B (zh) | 產生用於測量在一樣本上之一週期圖案之該樣本之一模型之方法及包括經調適以執行該方法之電腦可實行指令之電腦可讀取儲存媒體 | |
Freeland et al. | Identifying layer switching in magnetic multilayers with x-ray resonant magnetic scattering | |
JP2001217478A (ja) | 磁気抵抗素子 | |
JP3389115B2 (ja) | 積層構造検査法とx線反射率装置 | |
Antos et al. | Evidence of native oxides on the capping and substrate of Permalloy gratings by magneto-optical spectroscopy in the zeroth-and first-diffraction orders | |
JP3883267B2 (ja) | X線反射率測定及び蛍光x線測定による金属多層膜の構造解析方法及びそれに用いる標準試料及び装置 | |
Huang et al. | X-ray fluorescence and reflectivity analysis of multiple-layer thin films | |
Gao et al. | In situ ellipsometric diagnostics of multilayer thin film deposition during sputtering | |
WO2011096328A1 (ja) | パターン検査方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |