JP2004146816A - Solid image pickup device and equipment using the same - Google Patents

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猪熊 一行
Toshiya Fujii
藤井 俊哉
Takumi Yamaguchi
山口 琢己
Shigetaka Kasuga
春日 繁孝
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small image pickup device having high a performance and an application product of the device by preventing influence of the noise superimposed on a timing-pulse supply line on the output of an image pickup chip. <P>SOLUTION: The image pickup device comprises two chips, an image pickup chip 101 including a sensor part 102 and an image processing chip 106 including an image processing circuit 110, wherein transistors in all the circuits of the image pickup chip 101 are composed of either one of nMOS or pMOS, and the image pickup chip 101 is stacked on the image processing chip 106. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

 本発明は、携帯電話等で使用される小型の撮像装置であって、超小型、低コスト、高性能の3要素を高い次元で両立させた固体撮像装置と、この固体撮像装置を用いた小型の機器に関する。 The present invention relates to a small-sized imaging device used in a mobile phone or the like, which is a solid-state imaging device in which three elements of ultra-small, low-cost, and high-performance are compatible at a high level. Equipment.

 近年、携帯電話等の小型機器にも搭載できる小型の撮像装置が開発されている。この種の撮像装置に求められる条件は、第一に超小型であること、第二に低コストであることであり、ロジックLSIで一般的なCMOSプロセスを用いることで、周辺回路との接続性を容易にし、低コスト化を図れるCMOSセンサが主流となっている。また、CMOSセンサは、ロジック部との1チップ化が可能なので、これにより画像処理部との1チップ化を図り、超小型化を実現することも可能である。図6に、従来の1チップCMOSセンサの構成を示す。図6に示す従来の1チップCMOSセンサは、光を電気信号に変換するセンサ部507、センサ部を駆動する垂直走査回路506、水平走査回路508、タイミング発生回路(TG)503、センサ部からの信号出力を増幅するゲイン制御アンプ(GCA)504、その出力信号をデジタル信号に変換するAD変換回路(ADC)505及び画像処理回路502から構成される。 In recent years, small-sized imaging devices that can be mounted on small devices such as mobile phones have been developed. The conditions required for this type of imaging device are firstly ultra-small size and secondly low cost, and by using a general CMOS process for a logic LSI, connectivity to peripheral circuits can be improved. CMOS sensors, which can facilitate cost reduction and achieve cost reduction, have become mainstream. Further, since the CMOS sensor can be integrated into one chip with the logic unit, it can be integrated into one chip with the image processing unit, thereby realizing ultra-small size. FIG. 6 shows a configuration of a conventional one-chip CMOS sensor. The conventional one-chip CMOS sensor shown in FIG. 6 includes a sensor unit 507 for converting light into an electric signal, a vertical scanning circuit 506 for driving the sensor unit, a horizontal scanning circuit 508, a timing generation circuit (TG) 503, and a signal from the sensor unit. It comprises a gain control amplifier (GCA) 504 for amplifying a signal output, an AD conversion circuit (ADC) 505 for converting the output signal into a digital signal, and an image processing circuit 502.

 しかし、今後は、超小型と低コストだけでなく、感度等の性能の向上も求められるようになってきている。携帯電話のような小型機器では、ストロボ等の照明装置の搭載が難しいため、高感度化は特に要求が強い。また、今後は携帯電話をデジタルスチルカメラ代わりに使うことも考えられ、高性能化がますます重要な開発テーマとなってきている。 However, in the future, not only ultra-small size and low cost, but also improvement in performance such as sensitivity has been required. In a small device such as a mobile phone, it is difficult to mount a lighting device such as a strobe, so that high sensitivity is particularly required. In the future, mobile phones may be used in place of digital still cameras, and higher performance has become an increasingly important development theme.

 高性能化を考えると、従来の構成では次の様な問題が発生する。ロジック回路と、アナログ回路であるセンサ部とでは、要求される電気的性能が異なるが、1チップ化を行うと同一のプロセスで製造されるため、両者の性能を満足することが難しい。即ち、微細プロセスを使用するとセンサ部の性能が悪化し、センサ部の性能を確保するため微細でないプロセスを使用するとロジック部が大きくなり、1チップ化のメリットが無くなる。これを回避するために、センサ部を含んだ撮像チップと画像処理部を含んだ画像処理チップとの2チップ構成を取る方法が提案されている。 と Considering higher performance, the following problems occur in the conventional configuration. The required electrical performance is different between the logic circuit and the sensor unit, which is an analog circuit, but it is difficult to satisfy both performances because the integrated circuit is manufactured by the same process when integrated into one chip. That is, if a fine process is used, the performance of the sensor unit is deteriorated. If a non-fine process is used to secure the performance of the sensor unit, the logic unit becomes large, and the merit of one chip is lost. In order to avoid this, there has been proposed a method of adopting a two-chip configuration of an imaging chip including a sensor unit and an image processing chip including an image processing unit.

 なお、本発明に関連する先行技術として、撮像チップを画像処理チップの上に積層することで、実装面積を減らし、小型化を実現する方法がある(例えば、特許文献1参照)。
特開平5−268535号公報
As a prior art related to the present invention, there is a method of stacking an imaging chip on an image processing chip to reduce a mounting area and realize miniaturization (for example, see Patent Document 1).
JP-A-5-268535

 撮像チップおよび画像処理チップの2チップで構成された従来の撮像装置を、図7に示す。図7に示す従来の撮像装置は、画像処理チップ608の種類にかかわらず、撮像チップ601を独立に動作させるために、撮像チップ601のセンサ部603を駆動する垂直走査回路604や水平走査回路605、これらの走査回路に必要なパルスを発生するタイミングパルス発生回路602、センサ部603からの信号出力を増幅するゲイン制御アンプ606、その出力信号をデジタル信号に変換するAD変換回路607を、撮像チップ601側に搭載している。 FIG. 7 shows a conventional imaging device composed of two chips, an imaging chip and an image processing chip. The conventional imaging apparatus shown in FIG. 7 includes a vertical scanning circuit 604 and a horizontal scanning circuit 605 for driving the sensor unit 603 of the imaging chip 601 to operate the imaging chip 601 independently of the type of the image processing chip 608. A timing pulse generation circuit 602 for generating pulses required for these scanning circuits, a gain control amplifier 606 for amplifying a signal output from the sensor unit 603, and an AD conversion circuit 607 for converting the output signal into a digital signal. It is mounted on the 601 side.

 この構成の場合、タイミングパルス発生回路602等の本来CMOSロジックが得意とする回路がまだ撮像チップ側に存在するため、センサ部603の性能を上げようとするとそれらの面積が大きくなるという課題がある。 In the case of this configuration, since there is still a circuit, such as the timing pulse generating circuit 602, which is originally good at CMOS logic on the imaging chip side, there is a problem that the area of the sensor unit 603 becomes large when the performance of the sensor unit 603 is to be improved. .

 この課題は、タイミングパルス発生回路602、ゲイン制御アンプ606、アナログデジタル変換回路607を画像処理チップ608側に搭載することで解決できるが、この場合、画像処理チップ608から撮像チップ601へのタイミングパルス供給線が増大し、その供給線に雑音が重畳し、この雑音が撮像チップ601の出力に重畳することにより撮像チップの性能が低下してしまう。 This problem can be solved by mounting the timing pulse generation circuit 602, the gain control amplifier 606, and the analog-to-digital conversion circuit 607 on the image processing chip 608 side. In this case, the timing pulse from the image processing chip 608 to the imaging chip 601 is solved. The number of supply lines increases, noise is superimposed on the supply lines, and the noise is superimposed on the output of the imaging chip 601, thereby deteriorating the performance of the imaging chip.

 この雑音は、主に画素部を駆動する走査回路に供給する電流の変動から発生することがわかっている。電流変動は、走査回路がCMOSロジックで作られている場合、CMOS回路がスイッチするときのいわゆる貫通電流が原因である。一般にはCMOS回路というのは消費電流が小さいというのが特長であるが、スイッチする瞬間は非常に大きな電流(貫通電流)が流れることは、よく知られている。これはスイッチの一瞬の時間だけnMOSとpMOSの両方のトランジスタがON状態になり、電源とグランドがショートするためである。スイッチをコントロールする配線がチップ外を通ると、その配線自身に雑音が重畳したり、配線を通るパルスがなまったりするので、上記の貫通電流による電源のゆすれ雑音が増大してしまう。 雑 音 It has been found that this noise is mainly caused by fluctuations in current supplied to a scanning circuit for driving a pixel portion. The current fluctuation is caused by a so-called through current when the CMOS circuit switches when the scanning circuit is made of CMOS logic. Generally, a CMOS circuit is characterized by low current consumption, but it is well known that a very large current (through current) flows at the moment of switching. This is because both the nMOS and pMOS transistors are turned on for a moment of the switch, and the power supply and the ground are short-circuited. When the wiring for controlling the switch passes outside the chip, noise is superimposed on the wiring itself, or the pulse passing through the wiring is blunted, so that the power supply noise caused by the through current increases.

 本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、タイミングパルス供給線に重畳した雑音が撮像チップの出力に影響を与えないようにすることにより、小型でかつ高性能な撮像装置およびその応用製品を低コストで提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and by preventing noise superimposed on the timing pulse supply line from affecting the output of the imaging chip, a small and high-performance imaging device and The purpose is to provide the applied product at low cost.

 上記の目的を達成するために、本発明にかかる固体撮像装置は、全てのトランジスタが同一導電体のトランジスタで構成された撮像用半導体チップと、CMOS型のトランジスタで構成された画像処理用半導体チップとを備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a solid-state imaging device according to the present invention includes an imaging semiconductor chip in which all transistors are formed of transistors of the same conductor, and an image processing semiconductor chip in which CMOS transistors are formed. And characterized in that:

 本発明にかかる固体撮像装置によれば、撮像用半導体チップの全てのトランジスタを同一導電体のトランジスタで構成したことにより、CMOS回路特有の貫通電流がなくなり、タイミングパルス供給線をチップ外部に配した場合でも、電源に重畳するゆすれ雑音が増大しない。これにより、タイミングパルス発生回路等を、撮像用半導体チップではなく、より微細な製造プロセスを使用できる画像処理用半導体チップ側に設けることができる。この結果、小型でかつ高性能な撮像装置を低コストで提供することが可能となる。 According to the solid-state imaging device of the present invention, since all transistors of the imaging semiconductor chip are formed of transistors of the same conductor, a through current unique to a CMOS circuit is eliminated, and a timing pulse supply line is arranged outside the chip. Even in this case, the shaking noise superimposed on the power supply does not increase. Thus, the timing pulse generation circuit and the like can be provided not on the imaging semiconductor chip but on the image processing semiconductor chip which can use a finer manufacturing process. As a result, a compact and high-performance imaging device can be provided at low cost.

 本発明にかかる固体撮像装置は、撮像用半導体チップの全てのトランジスタが同一導電体のトランジスタで構成されている。本固体撮像装置は、さらに、撮像用半導体チップが画像処理用半導体チップの上に積層された構成とすることが好ましい。これにより、撮像用半導体チップと画像処理用半導体チップとを接続する配線の長さを短縮でき、タイミングパルス供給線への雑音の重畳の低減が図れ、さらなる高性能化を実現できる。これらのチップを積層することにより、配線の長さを短縮することができ、撮像用半導体チップから出力される映像信号に重畳するノイズをも低減することができるからである。撮像用半導体チップの全てのトランジスタを同一導電体で構成した場合、増幅率の高いアンプを構成することが難しい。従って、本固体撮像装置においてチップが積層された構成を採用する効果は、従来のCMOSで構成された撮像用半導体チップを画像処理用半導体チップの上に積層された構成を採用する効果よりもさらに大きいものである。また、実装面積を1チップ構成の場合と同等以下として、超小型化が実現できる。これにより、超小型、低コストかつ高性能の撮像装置を実現でき、撮像機能を備えたさまざまな応用製品の超小型化、低コスト化、高性能化に貢献できる。 固体 In the solid-state imaging device according to the present invention, all the transistors of the imaging semiconductor chip are configured by transistors of the same conductor. It is preferable that the solid-state imaging device further has a configuration in which the imaging semiconductor chip is stacked on the image processing semiconductor chip. As a result, the length of the wiring connecting the imaging semiconductor chip and the image processing semiconductor chip can be reduced, the superimposition of noise on the timing pulse supply line can be reduced, and higher performance can be realized. By stacking these chips, the length of the wiring can be reduced, and noise superimposed on the video signal output from the imaging semiconductor chip can be reduced. When all the transistors of the imaging semiconductor chip are formed of the same conductor, it is difficult to form an amplifier having a high amplification factor. Therefore, the effect of adopting a configuration in which chips are stacked in the present solid-state imaging device is even more than the effect of employing a configuration in which a conventional imaging semiconductor chip formed of CMOS is stacked on an image processing semiconductor chip. It is big. Further, the mounting area can be made equal to or less than that of the case of a one-chip configuration, and ultra-miniaturization can be realized. As a result, an ultra-small, low-cost, high-performance imaging device can be realized, and it is possible to contribute to ultra-miniaturization, low cost, and high performance of various application products having an imaging function.

 本固体撮像装置は、撮像用半導体チップの全てのトランジスタが、nチャネル型MOSトランジスタまたはpチャネル型MOSトランジスタのいずれか一方で構成されることが好ましい。特に、全てのトランジスタをnチャネル型MOSトランジスタで構成した場合、高速化が容易であるという利点がある。 In the present solid-state imaging device, it is preferable that all the transistors of the imaging semiconductor chip are formed of either an n-channel MOS transistor or a p-channel MOS transistor. In particular, when all the transistors are constituted by n-channel MOS transistors, there is an advantage that the speed can be easily increased.

 本固体撮像装置は、撮像用半導体チップと前記画像処理用半導体チップとが、ボンディングワイヤにより電気的に接続された態様としても良いし、撮像用半導体チップに貫通電極が形成され、前記貫通電極に接続された配線を介して、前記撮像用半導体チップと前記画像処理用半導体チップとが電気的に接続された態様としても良い。前者の態様によれば、ワイヤボンディングという一般的な工法を使えるので、コストや信頼性の面で有利である。一方、後者の態様によれば、さらなる小型化が図れるという利点がある。なお、前記貫通電極がSi貫通電極であることがさらに好ましい。 The solid-state imaging device may be configured such that the imaging semiconductor chip and the image processing semiconductor chip are electrically connected by a bonding wire, or a through electrode is formed in the imaging semiconductor chip, and the through electrode is formed on the imaging semiconductor chip. The imaging semiconductor chip and the image processing semiconductor chip may be electrically connected via the connected wiring. According to the former mode, a general method called wire bonding can be used, which is advantageous in terms of cost and reliability. On the other hand, according to the latter aspect, there is an advantage that further miniaturization can be achieved. It is more preferable that the through electrode is a Si through electrode.

 本固体撮像装置において、画像処理用半導体チップに、前記撮像用半導体チップへタイミングパルスを供給するタイミングパルス発生回路と、ゲイン制御アンプと、アナログデジタル変換回路とを備えた態様が好ましい。さらに小型化が図れるからである。 In the solid-state imaging device, it is preferable that the image processing semiconductor chip includes a timing pulse generation circuit that supplies a timing pulse to the imaging semiconductor chip, a gain control amplifier, and an analog-to-digital conversion circuit. This is because the size can be further reduced.

 本固体撮像装置において、画像処理用半導体チップのタイミングパルス出力端子は、撮像用半導体チップのタイミングパルス入力端子の近傍に配置されるのが好ましい。タイミングパルス供給線の配線長を極力短くすることにより、雑音のさらなる低減を図ることができ、撮像装置の高性能化に貢献できるからである。 In the solid-state imaging device, it is preferable that the timing pulse output terminal of the image processing semiconductor chip is arranged near the timing pulse input terminal of the imaging semiconductor chip. This is because by reducing the wiring length of the timing pulse supply line as much as possible, it is possible to further reduce noise and contribute to higher performance of the imaging device.

 本固体撮像装置において、画像処理用半導体チップの映像信号入力端子は、撮像用半導体チップの映像信号出力端子の近傍に配置されるのが好ましい。映像信号線の配線長を極力短くすることにより、映像信号に重畳する雑音の低減を図ることができ、撮像装置の高性能化に貢献できるからである。前述のように、撮像用半導体チップの全てのトランジスタを同一導電体で構成した場合、増幅率の高いアンプを構成することが難しく、撮像用半導体チップから出力される映像信号は微小なレベルとなり、雑音を受けやすくなる。従って、映像信号の配線長を短くする効果は本固体撮像装置においては特に大きいものである。 In the solid-state imaging device, it is preferable that the video signal input terminal of the image processing semiconductor chip is disposed near the video signal output terminal of the imaging semiconductor chip. This is because by reducing the wiring length of the video signal line as much as possible, noise superimposed on the video signal can be reduced, which can contribute to an improvement in the performance of the imaging device. As described above, when all the transistors of the imaging semiconductor chip are formed of the same conductor, it is difficult to configure an amplifier having a high amplification factor, and the video signal output from the imaging semiconductor chip has a very small level. Becomes more susceptible to noise. Therefore, the effect of reducing the wiring length of the video signal is particularly great in the present solid-state imaging device.

 また、本発明にかかる固体撮像装置は、この固体撮像装置で撮影された静止画もしくは動画を処理する画像処理部を備えた機器に適用することにより、小型でかつ高性能な、携帯電話、携帯型情報端末、あるいはデジタルスチルカメラ等を、低コストで実現することが可能となる。 In addition, the solid-state imaging device according to the present invention is applied to a device including an image processing unit that processes a still image or a moving image captured by the solid-state imaging device, so that a small and high-performance A type information terminal, a digital still camera, or the like can be realized at low cost.

 以下、本発明のさらに具体的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, more specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

 図1および図2に、本発明の撮像装置の一実施形態を示す。図1は、本実施形態にかかる撮像装置の概略構成を示す斜視図であり、図2は、この撮像装置の構成を示す平面図である。本実施形態にかかる撮像装置は、撮像チップ(撮像用半導体チップ)101と画像処理チップ(画像処理用半導体チップ)106との2チップで構成され、画像処理チップ106の上に撮像チップ101が積層されている。撮像チップ101には、光を電気信号に変換するセンサ部102と、センサ部102を駆動する垂直走査回路103および水平走査回路104と、センサ部102の信号を増幅するアンプ105が形成される。また、撮像チップ101は、図2に示すように、タイミングパルス発生回路(TG: Timing Generator)107からタイミングパルスが入力されるタイミングパルス入力端子112と、撮像された映像信号を出力する映像信号出力端子113とを含む複数の端子を有している。なお、図2では、複数の端子の一部のみを示し、他の端子の図示は省略されている。また、図1では、端子の図示は省略されている。 FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the imaging apparatus of the present invention. FIG. 1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of an imaging device according to the present embodiment, and FIG. 2 is a plan view illustrating a configuration of the imaging device. The imaging apparatus according to the present embodiment includes two chips, an imaging chip (semiconductor chip for imaging) 101 and an image processing chip (semiconductor chip for image processing) 106, and the imaging chip 101 is stacked on the image processing chip 106. Have been. The imaging chip 101 includes a sensor unit 102 for converting light into an electric signal, a vertical scanning circuit 103 and a horizontal scanning circuit 104 for driving the sensor unit 102, and an amplifier 105 for amplifying a signal from the sensor unit 102. As shown in FIG. 2, the imaging chip 101 includes a timing pulse input terminal 112 to which a timing pulse is input from a timing pulse generation circuit (TG: Timing Generator) 107, and a video signal output for outputting a captured video signal. And a plurality of terminals including the terminal 113. In FIG. 2, only some of the plurality of terminals are shown, and other terminals are not shown. In FIG. 1, illustration of the terminals is omitted.

 撮像チップ101におけるこれらの回路に使用するトランジスタは、全て同一導電体、即ち、全てnMOS、または全てpMOSで構成される。また、走査回路103,104はダイナミック回路とする。これにより、CMOS回路特有の貫通電流が発生せず、タイミングパルス発生回路107を撮像チップ101の外部に設けた場合でも、タイミングパルス供給線に重畳した雑音が撮像チップ101の出力に与える影響が小さくなる。 The transistors used in these circuits in the imaging chip 101 are all made of the same conductor, that is, all nMOS or all pMOS. The scanning circuits 103 and 104 are dynamic circuits. As a result, a through current peculiar to the CMOS circuit is not generated, and even when the timing pulse generation circuit 107 is provided outside the imaging chip 101, the influence of noise superimposed on the timing pulse supply line on the output of the imaging chip 101 is small. Become.

 画像処理チップ106には、撮像チップ101を駆動するための信号を生成するタイミングパルス発生回路107と、撮像チップ101からの信号の大きさを調整するゲイン制御アンプ(GCA: Gain Control Amplifier)108と、その信号をデジタル信号に変換するAD変換回路(ADC: Analog/Digital Converter)109と、デジタル信号に変換された撮像チップの信号から輝度信号と色信号を生成する画像処理回路110が設けられる。これらの回路で使用されるトランジスタは、従来のロジック回路で用いられるnMOSとpMOSとを組み合わせたCMOS型である。また、画像処理チップ106は、図2に示すように、タイミングパルスを出力するタイミングパルス出力端子111と、撮像チップ101より撮像された映像信号が入力される映像信号入力端子114とを含む複数の端子を有している。 The image processing chip 106 includes a timing pulse generation circuit 107 for generating a signal for driving the imaging chip 101, a gain control amplifier (GCA: Gain Control Amplifier) 108 for adjusting the magnitude of a signal from the imaging chip 101, An AD conversion circuit (ADC: Analog / Digital Converter) 109 for converting the signal into a digital signal and an image processing circuit 110 for generating a luminance signal and a color signal from the signal of the imaging chip converted into the digital signal are provided. The transistors used in these circuits are of the CMOS type combining nMOS and pMOS used in conventional logic circuits. Further, as shown in FIG. 2, the image processing chip 106 includes a plurality of timing pulse output terminals 111 for outputting timing pulses, and a plurality of video signal input terminals 114 to which a video signal captured by the imaging chip 101 is input. It has terminals.

 タイミングパルス出力端子111は、タイミングパルス入力端子112の近傍、具体的には画像処理チップ106が有する他の端子と比較してタイミングパルス入力端子112に最も近い位置に配置される。すなわち、タイミングパルス発生回路107が、タイミングパルス入力端子112の近傍に配置される。タイミングパルス入力端子112から入力されたタイミングパルスは、走査回路103,104に送られ、センサ部102を駆動するのに用いられる。 (4) The timing pulse output terminal 111 is arranged near the timing pulse input terminal 112, specifically, at a position closest to the timing pulse input terminal 112 as compared with other terminals of the image processing chip 106. That is, the timing pulse generation circuit 107 is arranged near the timing pulse input terminal 112. The timing pulse input from the timing pulse input terminal 112 is sent to the scanning circuits 103 and 104 and used to drive the sensor unit 102.

 映像信号入力端子114は、映像信号出力端子113の近傍、具体的には画像処理チップ106が有する他の端子と比較して映像信号出力端子113に最も近い位置に配置される。すなわち、ゲイン制御アンプ108は、映像信号出力端子113の近傍に配置されることになる。撮像チップ101により撮像された映像信号は、映像信号入力端子114を介して画像処理チップ106に入力され、ゲイン制御アンプ108、AD変換回路109を通ってデジタル信号に変換された後、画像処理回路110において画像処理される。さらに、画像処理チップ106において、ゲイン制御アンプ108を映像信号入力端子114に極力近接させることにより、チップ外のみならずチップ内においても映像信号に重畳される雑音を低減させることがより好ましい。 The video signal input terminal 114 is disposed near the video signal output terminal 113, specifically, at a position closest to the video signal output terminal 113 as compared with other terminals of the image processing chip 106. That is, the gain control amplifier 108 is arranged near the video signal output terminal 113. A video signal imaged by the imaging chip 101 is input to the image processing chip 106 via a video signal input terminal 114, and is converted into a digital signal through a gain control amplifier 108 and an AD conversion circuit 109. At 110, image processing is performed. Further, in the image processing chip 106, it is more preferable that the noise superimposed on the video signal is reduced not only outside the chip but also inside the chip by bringing the gain control amplifier 108 as close as possible to the video signal input terminal 114.

 図3(a)および(b)に、撮像チップ101および画像処理チップ106の積層方法の二つの例を示す。 FIGS. 3A and 3B show two examples of a method of laminating the imaging chip 101 and the image processing chip 106. FIG.

 図3(a)は、撮像チップ101と画像処理チップ106とをワイヤボンディングにより接続したものである。撮像チップ101のパッドから画像処理チップ106のパッドへ、ワイヤ201で接続する。ワイヤボンディングそのものは、量産工程で一般的に用いられている工法であり、コストや信頼性の面で有利である。 FIG. 3A shows an image pickup chip 101 and an image processing chip 106 connected by wire bonding. The pads of the imaging chip 101 are connected to the pads of the image processing chip 106 by wires 201. Wire bonding itself is a method generally used in mass production processes, and is advantageous in terms of cost and reliability.

 この場合、ゲイン制御アンプ108は、撮像チップ101が積層されていない部分にパッドを設けて、パッドの近傍に構成される。 In this case, the gain control amplifier 108 is provided near the pad by providing a pad in a portion where the imaging chip 101 is not stacked.

 図3(b)は、撮像チップ101にSi貫通電極202を設けて底面に電極を引き出し、そこにバンプ203を設けて画像処理チップ106と接続する方法である。Si貫通電極202は、最も小型化が可能である点で有利であり、将来主流になる可能性がある。 FIG. 3B shows a method in which a through silicon electrode 202 is provided on the imaging chip 101, an electrode is drawn out from the bottom surface, and a bump 203 is provided thereon to connect to the image processing chip 106. The Si through electrode 202 is advantageous in that it can be downsized most, and may become mainstream in the future.

 この場合、画像処理チップ106の映像信号入力端子114およびゲイン制御アンプ108は、撮像チップ101の映像信号出力端子113の直下に設けられる。 In this case, the video signal input terminal 114 and the gain control amplifier 108 of the image processing chip 106 are provided directly below the video signal output terminal 113 of the imaging chip 101.

 以上の構成を取ることにより、次の効果を得ることができる。 The following effects can be obtained by adopting the above configuration.

 第一に、撮像チップ101の全回路をnMOSまたはpMOSで構成したことにより、CMOS回路特有の貫通電流がなくなり、タイミングパルス供給線を撮像チップ101の外部に配しても、電源に重畳するゆすれ雑音が増大しない。これにより、タイミングパルス発生回路107やAD変換回路109を、撮像チップ101ではなく、より微細な製造プロセスを使用できる画像処理チップ106側に設けることができ、全体としてのチップ面積を減らせるため低コスト化が可能である。第二に、撮像チップ101の全回路をnMOSまたはpMOSで構成したことにより、製造プロセスが簡略なものとなり、製造プロセスで使用するマスク枚数が減るため、さらなる低コスト化が行える。第三に、撮像チップ101の全回路をnMOSまたはpMOSで構成したことにより、製造工程数が減り、アナログ部の電気特性悪化要因が減少する。これにより高性能化が図れる。 First, since the entire circuit of the imaging chip 101 is formed of an nMOS or a pMOS, a through current peculiar to a CMOS circuit is eliminated, and even if a timing pulse supply line is arranged outside the imaging chip 101, the timing pulse supply line is superimposed on a power supply. The noise does not increase. Thus, the timing pulse generation circuit 107 and the AD conversion circuit 109 can be provided not on the imaging chip 101 but on the image processing chip 106 that can use a finer manufacturing process, and the chip area as a whole can be reduced. Cost reduction is possible. Secondly, since all circuits of the imaging chip 101 are formed of nMOS or pMOS, the manufacturing process is simplified, and the number of masks used in the manufacturing process is reduced, so that cost can be further reduced. Third, since all the circuits of the imaging chip 101 are formed of nMOSs or pMOSs, the number of manufacturing steps is reduced, and the factor of deteriorating the electrical characteristics of the analog section is reduced. Thereby, high performance can be achieved.

 第四に、撮像チップ101を画像処理チップ106の上に積層することにより、両者を接続する配線の長さを短縮でき、タイミングパルス供給線への雑音の重畳の低減が図れ、さらなる高性能化を実現できる。第五に撮像チップ101の映像出力端子113と画像処理チップ106の映像入力端子114とを近傍に配置し、かつ、映像入力端子114の近傍にゲイン制御アンプ108を配置することにより、映像信号に重畳する雑音も低減することができる。全てのトランジスタを同一導電体で構成する本願発明のように、増幅率の大きなアンプを構成することが難しい場合には、これによって特に大きな効果が得られる。第六に、撮像チップ101を画像処理チップ106の上に積層することにより、実装面積を1チップ構成の場合と同等以下として、超小型化が実現できる。 Fourth, by stacking the imaging chip 101 on the image processing chip 106, the length of the wiring connecting them can be shortened, the superposition of noise on the timing pulse supply line can be reduced, and higher performance can be achieved. Can be realized. Fifth, by arranging the video output terminal 113 of the imaging chip 101 and the video input terminal 114 of the image processing chip 106 near each other, and arranging the gain control amplifier 108 near the video input terminal 114, The superimposed noise can also be reduced. In the case where it is difficult to form an amplifier having a large amplification factor as in the present invention in which all the transistors are formed of the same conductor, a particularly large effect can be obtained. Sixth, by stacking the imaging chip 101 on the image processing chip 106, the mounting area can be made equal to or less than that in the case of a one-chip configuration, and ultra-miniaturization can be realized.

 以上のように、本発明によると、超小型、低コストかつ高性能な撮像装置を実現することができる。このため、この撮像装置を使うことで多くの価値ある応用製品を生み出すことができる。例えば携帯電話では小型であることが最も望まれるが、それに加えて高性能化、特に高感度化により、ストロボ等の照明装置を使用することなく、暗い場面でも撮影することができる。ストロボ等の照明装置は消費電力を増大させるため、携帯電話への搭載は極めて困難である。 As described above, according to the present invention, an ultra-small, low-cost, high-performance imaging device can be realized. For this reason, many valuable application products can be produced by using this imaging device. For example, it is most desirable for a mobile phone to be small in size, but in addition to the high performance, particularly the high sensitivity, it is possible to shoot even in a dark scene without using a lighting device such as a strobe. Since a lighting device such as a strobe increases power consumption, it is extremely difficult to mount the lighting device on a mobile phone.

 図4に、本発明にかかる撮像装置を携帯電話に応用した場合の構成の一例を示す。図4に示す携帯電話は、マイク301、音声符号化部302、システム制御部303、通信制御部304、アンテナ305、スピーカー306、表示制御部307、および、表示装置308を備えている。これらは、従来の携帯電話に備わっている構成要素である。 FIG. 4 shows an example of a configuration in a case where the imaging device according to the present invention is applied to a mobile phone. The mobile phone illustrated in FIG. 4 includes a microphone 301, an audio encoding unit 302, a system control unit 303, a communication control unit 304, an antenna 305, a speaker 306, a display control unit 307, and a display device 308. These are components provided in a conventional mobile phone.

 この携帯電話は、さらに、本発明にかかる撮像装置309と、撮像装置309から出力される画像信号を符号化する画像符号化部310とを備えている。撮像装置309は、図1および図2に示すように、撮像チップおよび画像処理チップの2チップ構成で実装される。 This mobile phone further includes an imaging device 309 according to the present invention, and an image encoding unit 310 that encodes an image signal output from the imaging device 309. As shown in FIGS. 1 and 2, the imaging device 309 is mounted in a two-chip configuration including an imaging chip and an image processing chip.

 図4に示す携帯電話において、マイク301から入力された音声は、音声符号化部302により符号化され圧縮される。圧縮された音声データはシステム制御部303により通信制御部304に転送され、通信のための変調処理等が行なわれ、アンテナ305から送信される。受信の場合はその逆の経路を通り、スピーカー306から音声が出力される。また適時、システム制御部303が表示制御部307を制御し、表示装置308に必要な情報を表示する。このように、従来の携帯電話に、本発明の撮像装置309と、撮像装置309から出力される画像信号を符号化する画像符号化部310とを追加するだけで、カメラ付き携帯電話を実現できる。 に お い て In the mobile phone shown in FIG. 4, the voice input from the microphone 301 is encoded and compressed by the voice encoding unit 302. The compressed audio data is transferred by the system control unit 303 to the communication control unit 304, where modulation processing and the like for communication are performed, and transmitted from the antenna 305. In the case of reception, sound is output from the speaker 306 via the reverse route. In addition, the system control unit 303 controls the display control unit 307 as necessary, and displays necessary information on the display device 308. As described above, a camera-equipped mobile phone can be realized only by adding the imaging device 309 of the present invention and the image encoding unit 310 for encoding an image signal output from the imaging device 309 to a conventional mobile phone. .

 なお、静止画の場合、画像の復号化はシステム制御部303で行なうことができる。画像の符号化もシステム制御部303で行うことも可能であり、場合によっては、画像符号化部310を省略した構成とすることもできる。ただし、動画の符号化は処理量が大きいので、動画を扱える仕様とする場合は、画像符号化部310を設けることが好ましい。復号化は、前述のように、システム制御部303で行うことも可能であるが、動画を扱う仕様の場合は、専用の復号化回路を設けることが好ましい。 In the case of a still image, the decoding of the image can be performed by the system control unit 303. Encoding of an image can also be performed by the system control unit 303, and in some cases, the image encoding unit 310 can be omitted. However, since the encoding of a moving image requires a large amount of processing, it is preferable to provide the image encoding unit 310 when the specification is such that the moving image can be handled. Although the decoding can be performed by the system control unit 303 as described above, it is preferable to provide a dedicated decoding circuit in the case of a specification that handles moving images.

 なお、本発明にかかる撮像装置は、携帯電話だけでなく、類似の構成をとる携帯情報端末、所謂PDA等にも同様な構成で組み込むことができる。本発明の撮像装置を使うことにより、これら小型の携帯情報端末に高性能なカメラを搭載でき、デジタルスチルカメラ代わりに使うことも可能となる。 The imaging device according to the present invention can be incorporated not only in a mobile phone but also in a portable information terminal having a similar configuration, such as a so-called PDA, with a similar configuration. By using the imaging apparatus of the present invention, a high-performance camera can be mounted on these small portable information terminals, and can be used instead of a digital still camera.

 図5は、本発明にかかる撮像装置を、デジタルスチルカメラに応用した場合の構成の一例である。図5に示すデジタルスチルカメラは、本発明の撮像装置401の他に、全体を制御するシステム制御部402、画像の圧縮、伸張を行なうための画像符号化/復号化部403、記録メディア405に圧縮された画像データを記録するための記録メディア制御部404、表示を行なうための表示制御部406、および、表示装置407を備えている。 FIG. 5 shows an example of a configuration in which the imaging apparatus according to the present invention is applied to a digital still camera. The digital still camera shown in FIG. 5 includes, in addition to the imaging device 401 of the present invention, a system control unit 402 for controlling the whole, an image encoding / decoding unit 403 for compressing and expanding images, and a recording medium 405. A recording medium control unit 404 for recording the compressed image data, a display control unit 406 for displaying, and a display device 407 are provided.

 撮像装置401は、図1および図2に示すように、撮像チップおよび画像処理チップの2チップ構成で実装される。また、図5に点線で示すように、システム制御部402、画像符号化/復号化部403、記録メディア制御部404、および表示制御部406を、撮像装置401の画像処理チップに実装した構成としてもよい。 (1) As shown in FIGS. 1 and 2, the imaging device 401 is mounted in a two-chip configuration including an imaging chip and an image processing chip. As shown by a dotted line in FIG. 5, a system control unit 402, an image encoding / decoding unit 403, a recording medium control unit 404, and a display control unit 406 are configured to be mounted on an image processing chip of the imaging device 401. Is also good.

 デジタルスチルカメラの場合、高画素の撮像チップが必要となるため、必然的に撮像チップの大きさが携帯電話用等に比べて大きくなる。このため画像処理チップも必然的に大きくなり、画像処理部以外の回路も集積した方が好ましい。 (4) In the case of a digital still camera, an imaging chip with high pixels is required, so that the size of the imaging chip is inevitably larger than that of a mobile phone or the like. Therefore, the size of the image processing chip is inevitably increased, and it is preferable to integrate circuits other than the image processing unit.

 デジタルスチルカメラに本発明の撮像装置を応用した場合の最も大きい効果は小型化の点であるが、本発明の撮像装置を用いることは、以下に説明するように、デジタルカメラの性能向上にも寄与し得る。 The biggest effect of applying the imaging device of the present invention to a digital still camera is the point of miniaturization, but using the imaging device of the present invention also improves the performance of the digital camera as described below. Can contribute.

 従来のデジタルスチルカメラは、撮像チップとしてCCD型撮像チップを使用しているが、次のような問題があった。CCD型撮像チップは、センサ部が、光を電荷に変換する光電変換素子と電荷を運ぶCCD素子とにより構成される。CCD素子は、光電変換素子で発生した電荷を運ぶため、その大きさを光電変換素子に比べてあまり小さくできない。すなわち、従来のデジタルスチルカメラでは、光電変換素子の面積割合を大きくすることができなかった。 The conventional digital still camera uses a CCD type imaging chip as an imaging chip, but has the following problems. In the CCD type imaging chip, the sensor unit includes a photoelectric conversion element that converts light into electric charges and a CCD element that carries electric charges. Since the CCD element carries charges generated by the photoelectric conversion element, its size cannot be made much smaller than that of the photoelectric conversion element. That is, in the conventional digital still camera, the area ratio of the photoelectric conversion element cannot be increased.

 これに対し、本実施形態のデジタルスチルカメラは、撮像チップのセンサ部を、光電変換素子とトランジスタから構成することにより、光電変換素子に比べトランジスタを小さくすることができるので、光電変換素子の面積割合を大きくできる。従って、CCD型撮像チップよりも高感度にできる可能性がある。本発明に用いられる所謂MOSセンサは、各画素のトランジスタのバラツキ等の要因により、CCD型撮像チップより性能が劣ると言われてきた。しかし、近年、それらの要因を克服できる技術が開発されてきており、加えて、本発明の撮像チップは、全回路がnMOSまたはpMOSで構成されていることより、製造工程数が減り、アナログ部の電気特性悪化要因が減少する。これらの結果、従来のCCD型撮像チップを使用したデジタルスチルカメラより画質を向上できる可能性が十分ある。また、感度を向上させやすいということから監視カメラに応用しても多大な効果を得られる。本発明の撮像装置は、高感度でありながら極めて超小型にできるので、監視カメラの小型化にも貢献し、監視されていることがわからないような所在を隠せる監視カメラを実現することも可能である。 On the other hand, in the digital still camera of the present embodiment, since the sensor portion of the imaging chip includes the photoelectric conversion element and the transistor, the size of the transistor can be smaller than that of the photoelectric conversion element. The ratio can be increased. Therefore, there is a possibility that the sensitivity can be made higher than that of the CCD type imaging chip. It has been said that the so-called MOS sensor used in the present invention has inferior performance to a CCD type imaging chip due to factors such as variations in transistors of each pixel. However, in recent years, techniques capable of overcoming these factors have been developed, and in addition, the imaging chip of the present invention has a reduced number of manufacturing steps due to the fact that all circuits are formed of nMOS or pMOS, and the analog section The cause of the deterioration of the electrical characteristics is reduced. As a result, there is a good possibility that the image quality can be improved as compared with a digital still camera using a conventional CCD imaging chip. Further, since the sensitivity is easily improved, a great effect can be obtained even when applied to a surveillance camera. Since the imaging device of the present invention can be extremely miniaturized while having high sensitivity, it can also contribute to miniaturization of the surveillance camera, and can realize a surveillance camera that can hide the location where it is difficult to know that the surveillance camera is being monitored. is there.

 以上のように、本発明は、全体としてのチップ面積が小さく、低コスト化が可能な固体撮像装置およびこれを用いた機器として有用である。 As described above, the present invention is useful as a solid-state imaging device having a small chip area as a whole and capable of reducing costs, and a device using the same.

本発明の撮像装置の一実施形態の構成を示す斜視図1 is a perspective view illustrating a configuration of an embodiment of an imaging device according to the present invention. 図1に示した撮像装置の平面図FIG. 1 is a plan view of the imaging device illustrated in FIG. 1. 本発明の撮像装置におけるチップ積層方法を示すものであって、(a)はワイヤボンディング方式、(b)はSi貫通電極を用いた方式の断面図1A and 1B show a chip laminating method in an imaging device of the present invention, wherein FIG. 1A is a cross-sectional view of a wire bonding method, and FIG. 本発明の撮像装置を使用した携帯電話の構成を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a mobile phone using the imaging device of the present invention. 本発明の撮像装置を使用したデジタルスチルカメラの構成を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a digital still camera using the imaging device of the present invention. 従来の1チップCMOSカメラの構成を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a conventional one-chip CMOS camera. 従来の2チップCMOSカメラの構成を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a conventional two-chip CMOS camera.

符号の説明Explanation of reference numerals

 101 撮像チップ
 102 センサ部
 103 水平走査回路
 104 垂直走査回路
 105 アンプ
 106 画像処理チップ
 107 タイミングパルス発生回路
 108 ゲイン制御アンプ
 109 AD変換回路
 110 画像処理回路
 111 タイミングパルス出力端子
 112 タイミングパルス入力端子
 113 映像信号出力端子
 114 映像信号入力端子
 301 マイク
 302 音声符号化部
 303 システム制御部
 304 通信制御部
 305 アンテナ
 306 スピーカー
 307 表示制御部
 308 表示装置
 309 撮像装置
 310 画像符号化部
 401 撮像装置
 402 システム制御部
 403 画像符号化/復号化部
 404 記録メディア制御部
 405 記録メディア
 406 表示制御部
 407 表示装置
 501 1チップCMOSセンサ
 502 画像処理回路
 503 タイミングパルス発生回路
 504 ゲイン制御アンプ
 505 AD変換回路
 506 垂直走査回路
 507 センサ部
 508 水平走査回路
 601 撮像チップ
 602 タイミングパルス発生回路
 603 センサ部
 604 垂直走査回路
 605 水平走査回路
 606 ゲイン制御アンプ
 607 AD変換回路
 608 画像処理チップ
Reference Signs List 101 imaging chip 102 sensor unit 103 horizontal scanning circuit 104 vertical scanning circuit 105 amplifier 106 image processing chip 107 timing pulse generation circuit 108 gain control amplifier 109 AD conversion circuit 110 image processing circuit 111 timing pulse output terminal 112 timing pulse input terminal 113 video signal Output terminal 114 Video signal input terminal 301 Microphone 302 Audio encoding unit 303 System control unit 304 Communication control unit 305 Antenna 306 Speaker 307 Display control unit 308 Display device 309 Imaging device 310 Image encoding unit 401 Imaging device 402 System control unit 403 Image Encoding / decoding unit 404 Recording media control unit 405 Recording media 406 Display control unit 407 Display device 501 One-chip CMOS sensor 502 Image processing Path 503 Timing pulse generation circuit 504 Gain control amplifier 505 AD conversion circuit 506 Vertical scanning circuit 507 Sensor unit 508 Horizontal scanning circuit 601 Imaging chip 602 Timing pulse generation circuit 603 Sensor unit 604 Vertical scanning circuit 605 Horizontal scanning circuit 606 Gain control amplifier 607 AD Conversion circuit 608 Image processing chip

Claims (15)

全てのトランジスタが同一導電体のトランジスタで構成された撮像用半導体チップと、
 CMOS型のトランジスタで構成された画像処理用半導体チップとを備えたことを特徴とする固体撮像装置。
An imaging semiconductor chip in which all transistors are formed of transistors of the same conductor,
A solid-state imaging device, comprising: an image processing semiconductor chip formed of a CMOS transistor.
前記撮像用半導体チップが前記画像処理用半導体チップの上に積層された、請求項1に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the imaging semiconductor chip is stacked on the image processing semiconductor chip. 前記撮像用半導体チップの全てのトランジスタが、nチャネル型MOSトランジスタで構成された、請求項1に記載の固体撮像装置。 2. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein all the transistors of the imaging semiconductor chip are configured by n-channel MOS transistors. 前記撮像用半導体チップの全てのトランジスタが、pチャネル型MOSトランジスタで構成された、請求項1に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 1, wherein all transistors of the imaging semiconductor chip are configured by p-channel MOS transistors. 前記撮像用半導体チップが、光を電荷に変換する光電変換部と、前記光電変換部で発生した電荷に応じた信号を増幅するアンプとを備えた、請求項1に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the imaging semiconductor chip includes a photoelectric conversion unit that converts light into electric charge, and an amplifier that amplifies a signal corresponding to the electric charge generated in the photoelectric conversion unit. 前記撮像用半導体チップと前記画像処理用半導体チップとが、ボンディングワイヤにより電気的に接続された、請求項1に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the imaging semiconductor chip and the image processing semiconductor chip are electrically connected by a bonding wire. 前記撮像用半導体チップに貫通電極が形成され、前記貫通電極に接続された配線を介して、前記撮像用半導体チップと前記画像処理用半導体チップとが電気的に接続された、請求項1に記載の固体撮像装置。 The through-electrode is formed in the imaging semiconductor chip, and the imaging semiconductor chip and the image processing semiconductor chip are electrically connected to each other via a wiring connected to the through-electrode. Solid-state imaging device. 前記貫通電極がSi貫通電極である、請求項7に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 7, wherein the through electrode is a Si through electrode. 前記画像処理用半導体チップに、前記撮像用半導体チップへタイミングパルスを供給するタイミングパルス発生回路と、ゲイン制御アンプと、アナログデジタル変換回路とを備えた、請求項1に記載の固体撮像装置。 The solid-state imaging device according to claim 1, further comprising a timing pulse generation circuit that supplies a timing pulse to the imaging semiconductor chip, a gain control amplifier, and an analog-to-digital conversion circuit. 前記画像処理用半導体チップが、タイミングパルスを出力するタイミングパルス出力端子を含む複数の端子を有し、
 前記撮像用半導体チップが、前記タイミングパルスが入力されるタイミングパルス入力端子を含む複数の端子を有し、
 前記タイミングパルス入力端子と前記タイミングパルス出力端子とが近傍に配置されるように、前記撮像用半導体チップが前記画像処理用半導体チップの上に積層された、請求項2に記載の固体撮像装置。
The image processing semiconductor chip has a plurality of terminals including a timing pulse output terminal that outputs a timing pulse,
The imaging semiconductor chip has a plurality of terminals including a timing pulse input terminal to which the timing pulse is input,
The solid-state imaging device according to claim 2, wherein the imaging semiconductor chip is stacked on the image processing semiconductor chip such that the timing pulse input terminal and the timing pulse output terminal are arranged near each other.
前記撮像用半導体チップが、撮像した映像信号を出力する映像信号出力端子を含む複数の端子を有し、
 前記画像処理用半導体チップが、前記映像信号が入力される映像信号入力端子を含む複数の端子を有し、
 前記映像信号出力端子と前記映像信号入力端子とが近傍に配置されるように、前記撮像用半導体チップが前記画像処理用半導体チップの上に積層された、請求項2に記載の固体撮像装置。
The imaging semiconductor chip has a plurality of terminals including a video signal output terminal for outputting a captured video signal,
The image processing semiconductor chip has a plurality of terminals including a video signal input terminal to which the video signal is input,
The solid-state imaging device according to claim 2, wherein the imaging semiconductor chip is stacked on the image processing semiconductor chip such that the video signal output terminal and the video signal input terminal are arranged near each other.
請求項1〜11のいずれか一項に記載の固体撮像装置と、前記固体撮像装置で撮影された静止画もしくは動画を処理する画像処理部とを備えたことを特徴とする機器。 An apparatus comprising: the solid-state imaging device according to claim 1; and an image processing unit that processes a still image or a moving image captured by the solid-state imaging device. 携帯電話である請求項12に記載の機器。 13. The device according to claim 12, which is a mobile phone. 携帯型情報端末である請求項12に記載の機器。 The device according to claim 12, which is a portable information terminal. デジタルスチルカメラである請求項12に記載の機器。 13. The device according to claim 12, which is a digital still camera.
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