JP2004135468A - コアレス形リニアモータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の永久磁石4を互いに異極となるように一方向に沿って交互に配置した界磁ヨーク3を2列、相対する永久磁石4が異極となるように空隙部を介して配置した固定界磁と、固定界磁の空隙部内に配置された電機子巻線1を有する電機子6とを有し、電機子6が固定されたテーブル10を一方向に移動自在に配置した磁石対向型のコアレス形リニアモータにおいて、電機子6を空隙部の機械的な中心から距離Xだけオフセットして配置するとともに、界磁部の相対する永久磁石4の位置誤差に基づくサイドフォースを、電機子電流の位相を電機子巻線1の誘起電圧に対して電気角でπ/2±αずらすことで打ち消す駆動回路を備えた。αとしては、8°以下とすることで、リニアモータの有効推力にほとんど影響することなくサイドフォースを発生させることができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機、半導体製造装置等に用いられる磁石対向型リニアモータに関し、特にクリーンルームや真空中での半導体製造プロセス等に用いられる超精密位置決め装置に好適なコアレス形リニアモータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のコアレス形リニアモータには、例えば、本出願人による特許文献1(特開平11−275849号公報)に示すものがある。
図5はその構成を示すものであり、(a)はガイドおよび電機子巻線、巻線固定板の一体成型後の正面図、(b)は(a)の側断面図、(c)は固定子のキャン取り付け状態の側断面図である。図5に示されるように、従来例のコアレス形リニアモータは、平滑な帯状の電機子巻線1と、両面に電機子巻線1を装着した非磁性体の巻線固定板7と、巻線固定板7および電機子巻線1を収納し両部材の周囲に冷却液を流すための非磁性体のキャン17と、巻線固定板7をキャン17に位置決め固定するために電機子巻線1の上部および下部に配設した第1ガイド18および第2ガイド19と、前記キャン17の底部を勘合する溝を有する固定ベース20とからなる固定子を備えたキャンド・リニアモータにおいて、第1ガイド18は、キャン17と対向する電機子巻線1の側面に設けてあり、電機子巻線1、巻線固定板7、第1ガイド18および第2ガイド19を樹脂材料により一体モールドしたものである。また、第1ガイド18は電機子巻線1の長手方向に向かって所定ピッチの長さで不連続に設けられている。
本モータでは第1および第2ガイド18,19を樹脂材料と一体モールドすることで、キャン17と電機子の組立て精度を高くでき、製作工数も低減できる。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−275849号公報(第3頁、図1)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のコアレス形リニアモータではキャン17と電機子巻線1との接着精度は高くできるものの、可動子の磁気的空隙中心からのずれ、および永久磁石の接着誤差により発生するサイドフォースを低減できないという問題があった。
図4はコアレス形リニアモータの積厚方向断面の一部を示したものである。図4では、磁気的空隙を介して対向する永久磁石4が角度θだけずれた場合を示したものである。空隙部の磁束線を直線と仮定すれば、永久磁石による磁束15もθだけ傾くので、電機子巻線1に発生する推力16は進行方向に対して角度θだけずれ、この分力としてサイドフォースFsmが発生する。サイドフォースFsmは次の(1)式で表される。
Fsm=Bg・sinθ×AT×Lnet ・・・(1)
但し、Bg:空隙部磁束密度
AT:電機子起磁力
Lnet:積厚
【0005】
例えば超精密位置決め装置のX−Yテーブルをリニアモータで駆動する場合、サイドフォースFsmは直交する軸に対して外乱要因となり、精密な位置決めが困難となる。
永久磁石4の接着精度を改善すればサイドフォースFsmは低減できるが、この場合、永久磁石4、界磁ヨーク3の寸法精度を高くする必要があり、コストアップになってしまう。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、コストアップすることなく、サイドフォースを低減できるコアレス形リニアモータを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明は、複数の永久磁石を互いに異極となるように一方向に沿って交互に配置されると共に2列で構成された界磁部と、この2列の界磁部を、相対する前記永久磁石が異極となるように空隙部を介して配置した固定界磁と、前記固定界磁の空隙部内に配置された電機子巻線を有する電機子とを有し、前記電機子が固定された移動子を前記一方向に移動自在に配置した磁石対向型のコアレス形リニアモータにおいて、
前記電機子を前記空隙部の機械的な中心から距離Xだけオフセットして配置するとともに、前記界磁部の相対する前記永久磁石の位置誤差に基づくサイドフォースを、電機子電流の位相を前記電機子巻線の誘起電圧に対して電気角でπ/2±αずらすことで打ち消す駆動回路を備えたものである。
【0007】
本発明においては、電機子を空隙部の機械的な中心から距離Xだけオフセットして配置することで、意図的にサイドフォースを発生させ、磁石のずれなど製造上の誤差により発生するサイドフォースを打ち消すことで、結果的にサイドフォースの小さいコアレス形リニアモータを低コストで実現するものである。
前記駆動回路は、予めリニアモータのサイドフォースを測定し、位置に対するサイドフォースの測定結果をデータとして保持する機能を備えるとともに、そのデータに基づいてリニアモータの位置によりサイドフォースを打ち消すよう電気角αを制御する電気角制御手段を持たせることで実現可能である。
前記電気角α(deg)は、−8≦α≦8、α≠0とすることで、リニアモータの有効推力にほとんど影響することなくサイドフォースを発生させることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図1は本発明の実施の形態に係るコアレス形リニアモータの進行方向から見た正断面図であって、固定台、リニアガイド、テーブルおよび磁気センサを組み込んだ状態を示す。図2はコアレス形リニアモータと駆動回路の接続状況を示すブロック図、図3は本発明の動作原理を示す概略図である。なお、本例では、ムービングコイル型リニアモータを例示して説明する。
図1〜3において、1は電機子巻線、2はヨークホルダ、3は界磁ヨーク、4は永久磁石、5は電機子固定板、6は電機子、7は巻線固定板、8は樹脂モールド、9は固定台、10はテーブル、11はスライダ、12はガイドレール、13は磁気センサ(リニアスケール)、14は磁気センサ(センサヘッド)、21は駆動回路、22は電気角制御手段、23は演算処理回路、24はアンプである。
【0009】
界磁ヨーク3には交互にN極、S極の極性が異なるように界磁極を構成する複数の永久磁石4が等間隔で配置されており、2列からなる界磁ヨーク3の長手方向に沿って直線状に配列されている。2列の界磁ヨーク3はヨークホルダ2により永久磁石4が互いに異極となるよう対向して締結され、固定子を構成している。また、永久磁石4の磁石列の長手方向には、磁気的空隙を介して対向するように複数個の巻線群からなる平板状に成型されたコアレス型の電機子巻線1を有した電機子6が配置されている。ここで、電機子巻線1は、巻線固定板7に樹脂モールド8により固着され、電機子巻線1を固着した巻線固定板7は電機子固定板5に固定され電機子6を構成する。
かかるリニアモータは、図1に示すように、固定された一対の永久磁石4が、空隙部を介して電機子6を両側から挟み込むように設けられ、かつ、永久磁石4の磁束線が電機子巻線1を貫通するよう磁気回路を構成してなるもの(磁束貫通型構造)であり、電機子巻線1に流れる電流と永久磁石4により発生する磁束の電磁作用により、直線移動するようになっている。
【0010】
電流と誘起電圧の位相差は90+α(deg)としている。電機子固定板5には磁気エンコーダのセンサヘッド14が、固定台9には磁気エンコーダのリニアスケール13がそれぞれ取り付けられており、磁気エンコーダの位置信号に基づき駆動回路21に設けた演算処理回路23、アンプ24を介してリニアモータの位置制御や速度制御を行う。
電機子6の中心が磁気的空隙の中心からXだけオフセットするように電機子固定板5はテーブル10に固着され、固定台9に設けたガイドレール12とテーブル10に取り付けたスライダ11とで構成されたリニアガイドにより、テーブル10は進行方向に対して、移動自在に支持される。
また、ここで界磁部を構成する2列の界磁ヨーク3,3の相対する永久磁石4,4の位置誤差に基づくサイドフォースを、電機子電流の位相を電機子巻線1の誘起電圧に対して電気角で90±α(deg)ずらすことで打ち消す駆動回路21を備えている。
また、図2に示すように、駆動回路21は、予めリニアモータのサイドフォースを測定し、位置に対するサイドフォースの測定結果をデータとして保持する機能を備えるとともに、データに基づいてリニアモータの位置によりサイドフォースを打ち消す電気角αを制御する電気角制御手段22を有するようにしている。さらに、電気角αは、−8≦α≦8(deg)、α≠0としている。その理由については後述する。
【0011】
次に、図3に基づいて本発明によるサイドフォース低減方法の原理について説明する。図3(a)は永久磁石による磁束線の概略図、(b)は電機子巻線が磁気的空隙中心からオフセットした状態でのサイドフォースを説明する図、(c)は電機子巻線が磁気的空隙中心からオフセットし、電機子巻線の位相がずれた状態でのサイドフォースを説明する図である。なお、図3において永久磁石411,412の極性は空隙対向面での極性を示す。また、原理の説明に関係のない界磁ヨーク3、電機子巻線固定板7、樹脂モールド8は省略した。
図3においては、説明を簡単にするため、空隙を介して対向する永久磁石4同士がずれていない状態で、本発明によりサイドフォースFsrを発生させ得ることを説明する。サイドフォースFs(Fs=Fsm+Fsr)を低減するには永久磁石のずれなどにより発生したサイドフォースFsmを相殺するように、サイドフォースFsrを発生させれば良い。
【0012】
図3(a)に示すように、磁石対向型リニアモータでは永久磁石411から出て、電機子巻線1と鎖交し、空隙を通って対向面の永久磁石412に到達する主磁束成分Φmと、隣り合う異極の永久磁石413へ向かう漏れ磁束成分Φlが存在する。漏れ磁束成分Φlは空隙対向面では逆方向であるため、磁気的な空隙中心では0となる。空隙には所定の相数、極数を有する電機子巻線1を配置するが、簡単のため1巻線分だけ考えると、図3(b)に示すように磁気的空隙中心からオフセットして電機子巻線1を配置しても電機子電流と誘起電圧の位相が電気角で90(deg)ずれた状態ではΦlにより個々の電線で発生するサイドフォースfsrが互いに打ち消し合うため、電機子巻線1全体で見たサイドフォースFsrは発生しない。
【0013】
図3(c)に示すように電機子巻線1を磁気的空隙中心からオフセットし、さらに電機子巻線1と誘起電圧の位相を90(deg)からさらにα(deg)だけ遅らせると、個々の電線に発生するサイドフォースfsrが完全に打ち消されないため、サイドフォースFsrが発生する。サイドフォースFsrの方向は電流位相により変えることができる。
図3(c)ではFsrは下方向に発生しているが位相を進めればFsrは上方向に発生する。つまり、電機子巻線を空隙中心に対してどちらにオフセットしても、αの位相を調整することで、サイドフォースFsrの方向は自由に決められる。また、図3(c)では図の説明上、電機子巻線1の配置をずらしているが、実際のリニアモータに適用する場合には、駆動回路21の電流位相をソフトウェア等により変更すれば良い。
【0014】
ここで、|α|≦45(deg)電気角の範囲で|α|を増加すれば、発生するサイドフォースFsrは増加するものの、推力16も低下してしまう。
電気角αと有効推力の減少率および有効推力の関係を表1に示す。
【0015】
【表1】
【0016】
この表1から分かるように、αを電気角−8≦α≦8(deg)とすれば有効推力の減少率は100×(1−sin(90±8))=0.973(%)と1%未満になり、有効推力は99%台であるので、有効推力にほとんど影響することなくサイドフォースFsrを発生させることができる。
このようにして、図4で説明した、永久磁石4の磁石自体の寸法誤差や永久磁石4と界磁ヨーク3との接着位置決め精度などにより発生するサイドフォースFsmを打ち消すようなサイドフォースFsrを、電流位相を調整して発生させることで、結果的にサイドフォースを低減したリニアモータが得られる。
【0017】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、電機子を前記空隙部の機械的な中心から距離Xだけオフセットして配置するとともに、前記界磁部の相対する前記永久磁石の位置誤差に基づくサイドフォースを、電機子電流の位相を前記電機子巻線の誘起電圧に対して電気角でπ/2±αずらすことで打ち消す駆動回路を備えたことで、部材の寸法精度や組立て精度を変えることなく、サイドフォースを低減できるため非常に経済的である。また、寸法精度や組立て精度を向上したリニアモータと組み合わせることでさらにサイドフォースの小さいリニアモータを実現できる。
また、前記駆動回路は、予めリニアモータのサイドフォースを測定し、位置に対するサイドフォースの測定結果をデータとして保持する手段を備えるとともに、そのデータに基づいてリニアモータの位置によりサイドフォースを打ち消すよう電気角αを制御する機能を持たせることで、実現可能である。
なお、移動位置によるサイドフォースの変動が問題とならない場合には、電流位相の調整のみ行えば良く、サイドフォースの測定結果を保持する手段や、αを制御する機能も必要ない。
前記角度αは、−8≦α≦8、α≠0とすることで、有効推力の減少率を1%未満に抑えることができ、リニアモータの有効推力にほとんど影響することなくサイドフォースを発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の正断面図である。
【図2】コアレス形リニアモータと駆動回路の接続状況を示すブロック図である。
【図3】(a)は永久磁石による磁束線の概略図、(b)は電機子巻線が磁気的空隙中心からオフセットした状態でのサイドフォースを説明する図、(c)は電機子巻線が磁気的空隙中心からオフセットし、電機子巻線の位相がずれた状態でのサイドフォースを説明する図である。
【図4】コアレス形リニアモータの積厚方向の一部を示す断面図である。
【図5】従来技術を示すもので、(a)はガイドおよび電機子巻線、巻線固定板の一体成型後の正面図、(b)は(a)の側断面図、(c)は固定子のキャン取り付け状態の側面図である。
【符号の説明】
1:電機子巻線
2:ヨークホルダ
3:界磁ヨーク
4:永久磁石
5:電機子固定板
6:電機子
7:巻線固定板
8:樹脂モールド
9:固定台
10:テーブル
11:スライダ
12:ガイドレール
13:磁気センサ(リニアスケール)
14:磁気センサ(センサヘッド)
15:永久磁石による磁束
16:推力
17:キャン
18:第1ガイド
19:第2ガイド
21:駆動回路
22:電気角制御手段
23:演算処理回路
24:アンプ
Claims (3)
- 複数の永久磁石を互いに異極となるように一方向に沿って交互に配置されると共に2列で構成された界磁部と、この2列の界磁部を、相対する前記永久磁石が異極となるように空隙部を介して配置した固定界磁と、前記固定界磁の空隙部内に配置された電機子巻線を有する電機子とを有し、前記電機子が固定された移動子を前記一方向に移動自在に配置した磁石対向型のコアレス形リニアモータにおいて、
前記電機子を前記空隙部の機械的な中心から距離Xだけオフセットして配置するとともに、前記界磁部の相対する前記永久磁石の位置誤差に基づくサイドフォースを、電機子電流の位相を前記電機子巻線の誘起電圧に対して電気角でπ/2±αずらすことで打ち消す駆動回路を備えたことを特徴とするコアレス形リニアモータ。 - 前記駆動回路は、予め前記リニアモータのサイドフォースを測定し、位置に対するサイドフォースの測定結果をデータとして保持する機能を備えるとともに、前記データに基づいてリニアモータの位置により前記サイドフォースを打ち消す電気角αを制御する電気角制御手段を有するものであることを特徴とする、請求項1に記載のコアレス形リニアモータ。
- 前記電気角α(deg)を、−8≦α≦8、α≠0とした請求項1または2に記載のコアレス形リニアモータ。
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JP2009506747A (ja) * | 2005-08-29 | 2009-02-12 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 浮上及び横方向力能力を持つアイアンレス磁気リニアモータ |
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2002
- 2002-10-11 JP JP2002299664A patent/JP4175076B2/ja not_active Expired - Fee Related
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KR101270048B1 (ko) * | 2005-08-29 | 2013-05-31 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 부상력 및 횡단력 성능을 갖는 무철심형 자기 선형 모터 |
US8803372B2 (en) | 2005-08-29 | 2014-08-12 | Koninklijke Philips N.V. | Ironless magnetic linear motors having levitating and transversal force capacities |
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