JP2004127403A - Multilayered perpendicular magnetic recording medium - Google Patents

Multilayered perpendicular magnetic recording medium Download PDF

Info

Publication number
JP2004127403A
JP2004127403A JP2002288662A JP2002288662A JP2004127403A JP 2004127403 A JP2004127403 A JP 2004127403A JP 2002288662 A JP2002288662 A JP 2002288662A JP 2002288662 A JP2002288662 A JP 2002288662A JP 2004127403 A JP2004127403 A JP 2004127403A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
layer
domain control
control layer
backing layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002288662A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3911678B2 (en
Inventor
Toshio Sugimoto
杉本 利夫
Takuya Uzumaki
渦巻 拓也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2002288662A priority Critical patent/JP3911678B2/en
Publication of JP2004127403A publication Critical patent/JP2004127403A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3911678B2 publication Critical patent/JP3911678B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease the leakage magnetic fields occurring in the magnetic walls formed at a backing layer of a multilayered perpendicular magnetic recording medium by a simple structure and simple manufacturing processes. <P>SOLUTION: The multilayered perpendicular magnetic recording medium has at least a magnetic recording layer 5, the backing layer 3, and a magnetic domain control layer 2 making magnetic exchange bonding with the backing layer 3, in which the backing layer 3 and the magnetic domain control layer 2 make magnetic exchange bonding with each other. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は高記録密度媒体に関するものであり、特に、ハードディスクドライブ(HDD)等の磁気記録装置に用いる垂直磁化方式の磁気記録媒体の裏打層の磁壁からの漏洩磁界を低減するための構成に特徴のある高記録密度媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、情報記録装置である磁気記録装置(所謂ハードディスクドライブ)はコンピュータや各種携帯情報端末、例えば、モバイルパソコン、ゲーム機、デジタルカメラ、車載ナビゲーション等の外部記憶装置として一般に広く使用されている。
【0003】
近年、この様なハードディスク装置用の記録媒体として、従来の長手記録媒体と比べても倍以上の高保磁力化が可能な垂直記録媒体が精力的に研究されており、特に、裏打層を用いることでより強いヘッド磁界で記録でき且つより高保磁力化が可能になる。
【0004】
即ち、垂直磁気記録においては、単磁極ヘッド構造の記録ヘッドから発生する記録磁界により記録が行われるため、強いヘッド磁界で記録するためには、単磁極ヘッドからの磁束の受け口として作用する裏打層が必要となり、記録ヘッドから発生した記録磁界は、この裏打層に還流し磁束の閉磁路を形成される。
【0005】
ここで、図7を参照して、従来の垂直磁気記録媒体を説明する。
図7(a)参照
図7(a)は、従来の垂直磁気記録媒体の構造説明図であり、断面図として示している。
図に示すように、DCマグネトロンスパッタ法を用いて、ガラス基板31上に裏打層32、非磁性の中間層33、磁気記録層34、及び、保護膜35を順次製膜し、その上に潤滑剤層36を塗布した構造になっている。
【0006】
図7(b)参照
図7(b)は、図7(a)に示した垂直磁気記録媒体の磁化状態の説明図であり、面内磁化状態になっている裏打層32がスライダー38に備えられた単磁極ヘッドからの磁束の受け口として作用し、単磁極ヘッドから発生した記録磁界は、この裏打層32に還流し磁束の閉磁路が形成される。
【0007】
この様な垂直磁気記録媒体を用いて高密度記録が可能な磁気記録再生装置を実用化させるには、媒体ノイズの低減が不可欠となるが、媒体ノイズは垂直磁化膜と裏打層の双方から発生しており、特に裏打層に起因するスパイク状ノイズなどが問題となっている(例えば、非特許文献1参照。)。
【0008】
例えば、裏打層に起因するノイズの発生要因として以下のように考えられる。
第一に、裏打層が磁化反転して180度磁壁37を形成している場合、そこからの漏洩磁束がスパイク状のノイズとなって再生信号に重畳することにより、媒体ノイズが増大する。
【0009】
第二に、裏打層は軟磁性膜なので、保磁力Hcsul が数〔Oe〕と小さく、再生ヘッドなどからのわずかな漏洩磁界でも磁壁37が移動し易く、そのため、磁壁37の移動による磁束の変化が再生ヘッドに検出され媒体ノイズとなる。
【0010】
この様な問題を解決するために、少なくとも一層の非磁性層と複数の磁性層とを積層させた多層の裏打層を用いることにより、磁区制御膜を用いることなく磁壁を固定することが提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0011】
或いは、Mn系の反強磁性層からなる磁区制御層を設け、この磁区制御層により裏打層を単磁区化し、磁壁からの漏洩磁界によるノイズをなくすことも提案されている(例えば、特許文献2参照。)。
【0012】
【非特許文献1】
IEEE Transaction on Magnetics,Vol.MAG−20,No.5,September 1984,pp.663−668
【特許文献1】
特開2000−348327号公報
【特許文献2】
特開平10−214719号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
【0014】
しかし、多層裏打層を用いた場合には、構造が複雑になるとともに、製造工程が煩雑になり、製造コストが増大するという問題がある。
【0015】
また、Mn系反強磁性層を裏打層の磁区制御層として用いた場合には、Mn系反強磁性層を製膜後、反強磁性特性を付与するために、熱処理が必要になり、この場合も、製造工程が煩雑になり、製造コストが増大するという問題がある。
【0016】
また、従来、裏打層として用いているFeTaC等の材料の多くは、結晶微細化させるために熱処理を必要とし、そのため、量産化工程が複雑になるという欠点もある。
【0017】
したがって、本発明は、裏打層に形成される磁壁に起因する漏洩磁場を、簡素は構造・製造工程により低減することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
図1は本発明の原理的構成図であり、この図1を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。
なお、図における符号1,4は、夫々、ガラス基板等の非磁性基板及びPd等の中間層である。
図1参照
上記目的を達成するため、本発明は、多層垂直磁気記録媒体において、少なくとも、磁気記録層5、裏打層3、及び、磁区制御層2とを有するとともに、裏打層3と磁区制御層2とが磁気的な交換結合していることを特徴とする。
【0019】
この様に、裏打層3として磁気的な交換結合する磁区制御層2を設けることによって、
▲1▼磁化の反転、即ち、磁壁からの漏洩磁界を相殺する、或いは、
▲2▼裏打層3の磁壁移動を防ぐために、裏打層3の磁化をピンニング (固定) する、
ことにより、裏打層3に起因するノイズを低減することができる。
【0020】
この場合、磁区制御層2の磁力Hccontと裏打層3Hcsul の保磁力が、
Hcsul <Hccont
の関係を有することが望ましく、それによって、裏打層3の磁化方向が反転しずらくなり、記録ヘッドからの漏洩磁界では磁化が固定(ピンニング)されたままになるので、低ノイズ化が可能になる。
【0021】
また、磁区制御層2としては、希土類金属(RE:Rare−Earth metal)と、Fe,Co,Niの内の1種類以上含む遷移金属(TM:Transition Metal)との合金よりなるフェリ磁性体であることが望ましく、それによって、磁区制御層2の遷移金属と裏打層3の遷移金属とは強磁性的にカップリングするが、全体としては反強磁性的にカップリングするので、裏打層3の磁壁による漏洩磁界を相殺することができる。
【0022】
また、磁区制御層2として、TbFeCo等の室温製膜が可能な膜を用いることによって、製造工程が簡素化され、この場合のTbFeCo等は必然的に非晶質合金となる。
【0023】
また、磁区制御層2と裏打層3の各膜厚tcont,tsul が、
sul ≧tcont、或いは、
sul ・Brsul ≧tcont・Brcont(但し、Brは残留飽和磁束密度)
のいずれかの関係を満たすことが望ましく、高い飽和磁束密度と膜厚とにより、単磁極ヘッドとの間で閉磁路を形成することが容易になる。
【0024】
また、磁区制御層2の磁気特性としては、面内磁気異方性を有し、且つ、希土類金属の磁化が遷移金属の磁化より優勢な合金からなることを特徴とすることにより、裏打層3の磁壁による漏洩磁化を相殺することができる。
【0025】
或いは、磁区制御層2としては、ネット磁界がゼロになる室温で補償組成にしても良く、それによって、磁区制御層2は垂直磁化膜となるので保磁力が無限大となり、裏打層3の磁壁を固定することができる。
【0026】
【発明の実施の形態】
ここで、図2及び図4を参照して、本発明の第1の実施の形態の多層垂直磁気記録媒体を説明する。
図2(a)参照
図2(a)は、本発明の第1の実施の形態の多層垂直磁気記録媒体の概略的断面図であり、実際にはガラス基板に対して対称的に磁性層が設けられるが、ここでは、一方の面側の製膜構造を示す。
図に示すように、DCマグネトロンスパッタ法を用いて、ガラス基板11上に磁区制御層12、裏打層13、中間層14、磁気記録層15、及び、保護膜16を順次製膜する。
【0027】
この第1の実施の形態においては、磁区制御層12としては、厚さtcontが、例えば、50nmのTb28Fe60Co12を用いる。
また、裏打層13としては、厚さtsul が、例えば、300nmのCo88ZrTa10を用いる。
【0028】
また、中間層14としては、磁気記録層15と裏打層13とを磁気的に分離するために、厚さが、例えば、5nmのPd層を用いる。
このPd層を用いることによって、磁気記録層15の配向性を向上することができる。
【0029】
また、磁気記録層15としては、製膜Arガス圧を、例えば、3Paとした圧力下で、厚さが、例えば、0.3nmのCoB膜と厚さが、例えば、1.0nmのPd膜とを交互に12層づつ製膜させた多層膜からなる人工格子膜とする。
なお、CoBの原子数比はCo:B=90:10とる。
【0030】
また、保護膜16としては、厚さが、例えば、5nmのDLC(ダイアモンド・ライク・カーボン)膜とする。
したがって、全体構造としては、
DLC(5nm)/〔CoB(0.3nm)/Pd(1.0nm)〕多層膜(15.7nm/3Pa)/Pd(5nm)/CoZrTa(300nm)/TbFeCo(50nm)/ガラス基板
となる。
【0031】
なお、磁気ヘッドによる記録・再生特性評価のため、保護膜16の上にパーフルオロカーボン系の潤滑剤を塗布して潤滑剤層17を形成する。
また、多層膜の全体の膜厚は、多層膜を形成した後の膜厚を意味し、多層膜を構成する各層の膜厚は製膜時の製膜目標膜厚を意味する。
【0032】
なお、磁区制御層を設ける効果を確認するために、上記の第1の実施の形態の垂直磁気記録媒体における磁区制御層を除去した図7に示した従来例と同様の比較媒体も合わせて作成したが、この場合の全体構造としては、
DLC(5nm)/〔CoB(0.3nm)/Pd(1.0nm)〕多層膜(20.9nm/3Pa)/Pd(5nm)/CoZrTa(300nm)/ガラス基板
とした。
【0033】
図2(b)参照
図2(b)は、本発明の第1の実施の形態の垂直磁気記録媒体における各磁性層の磁化状態の説明図であり、磁気記録層15は垂直磁化、裏打層13及び磁区制御層12は面内磁化となっている。
なお、図における符号19は単磁極ヘッドを備えたスライダーである。
【0034】
磁区制御層15が無い場合には、裏打層13の磁壁18からの黒矢印で示す漏洩磁界のみが発生しノイズ要因となるが、裏打層13と反強磁性的にカップルする磁区制御層12を形成することで発生する白矢印で示す漏洩磁界により、漏洩磁界全体では裏打層13と磁区制御層12間で閉路になると同時に相殺され、磁区制御層12の無い場合に比べてノイズを低減することが可能となる。
【0035】
ここで、図3を参照して、磁区制御層12と裏打層13の磁化の関係をさらに説明する。
図3(a)参照
図3(a)は、磁区制御層12における正味に磁化、即ち、ネットの磁化の説明図であり、磁区制御層12は、フェリ磁性を有するRE−TM非晶質合金を用いているので、RE金属〔Tb〕とTM金属〔Fe,Co〕の副格子磁化の和がネットの磁化となる。
【0036】
図3(b)参照
図3(b)は、裏打層13と磁区制御層12との間の磁気結合状態の説明図であり、裏打層13に使われているTM金属〔Co,Zr,Ta 〕と磁区制御層12に使われているTM金属〔Fe,Co〕が磁気的な交換結合により強磁性的に、即ち、平行にに配列する。
【0037】
しかし、磁区制御層12は遷移金属の組成比が大きなRE−rich組成を用いているためにネットの磁化の大きさは裏打層13とは反平行に、即ち、反強磁性的にカップルしたように見え、そのため、裏打層13と磁区制御層12との漏洩磁界が閉磁路を形成するので、再生時には裏打層13で磁壁18が形成されても漏洩磁界を低減することが可能となる。
【0038】
図4(a)参照
図4(a)は、裏打層13と磁区制御層12とからなる交換結合膜の磁化曲線(フルループ)を模式的に表したもので、磁気ヒステリシス (任意の磁界) における磁化状態も合わせて示した。
【0039】
磁区制御層12の保磁力Hccontと裏打層13の保磁力Hcsul が、
Hcsul <Hccont
の関係を有する限り、再生時、単磁極ヘッドからの漏洩磁界が±Hc2 以上の大きさにならなければ、裏打層13の磁化は反転しないので磁化はピンニング(固定) されたままとなり、媒体ノイズにはならない。
また、図から明らかなように、単磁極ヘッドからの漏洩磁界が±Hc1 を超えると磁区制御層12の磁化も反転することになる。
【0040】
図4(b)参照
図4(b)は、裏打層13と磁区制御層12とからなる交換結合膜の磁化曲線(マイナーループ)を模式的に表したもので、原点がHc2’とHc2 との間に移動したのと同じ状況となり、単磁極ヘッドからの漏洩磁界程度では裏打層13の磁化は反転しないことになる。
なお、逆に、Hcsul >Hccontの場合には、磁区制御層12の方が磁化反転し易くなり、再生ヘッドに近い側に位置する裏打層13は磁区制御層12が存在しない単層とほぼ同じ動作となるため効果がない。
【0041】
【表1】

Figure 2004127403
表1は、上記の第1の実施の形態の垂直磁気記録媒体の記録/再生評価結果を示すもので、記録は、5400rpmで、200kFCI(線記録密度:Flux Change per Inch)としたときのS/Nを示したもので、ノイズ低減によりS/Nが1.6dB改善されたことが確認された。
【0042】
この様に、本発明の第1の実施の形態においては、裏打層13と実効的に反強磁性的に結合するフェリ磁性体の磁区制御層12を設けているので、再生時には裏打層13で磁壁が形成されても漏洩磁界を磁区制御層12の漏洩磁界で相殺し、それによって、スパイク状ノイズの発生を防止することができる。
【0043】
また、本発明の第1の実施の形態においては、室温でフェリ磁性特性を有する磁区制御膜を用いるので、製膜後の熱処理が不要になり、製造工程が簡素化され、且つ、単層の磁区制御膜であるので構造が簡素化され、これらによって低コスト化が能になる。
【0044】
次に、図5を参照して、本発明の第2の実施の形態の垂直磁気記録媒体を説明するが、磁区制御層の組成・機能が異なるだけで媒体の積層構造自体は、上記の第1の実施の形態の垂直磁気記録媒体と同様である。
即ち、本発明の第2の実施の形態においては、磁区制御層として、室温でネット磁化がほぼゼロになる補償組成のTbCo(Tb21原子%)を用いたものである。
【0045】
図5参照
図5は、本発明の第2の実施の形態における裏打層13と磁区制御層22との間の磁気結合状態の説明図であり、磁区制御層22は補償組成なので、ゼロ磁界における磁区制御層22のネット磁化の大きさはほぼゼロとなり、磁気モーメントに付随する反磁界の大きさが小さくなるので、垂直磁化膜となる。
因に、垂直方向に磁界を印加したときの保磁力は、5kOe以上となる。
【0046】
上述のように、補償組成であるので垂直方向の保磁力は非常に大きくなり、そのため、磁区制御層22の磁化は単磁極ヘッドからの漏洩磁化などで容易に反転することがない。
なお、ネット磁化がほぼゼロなので、磁区制御層22からの再生信号への漏洩磁界重畳はない。
【0047】
図6参照
図6は、裏打層13と磁区制御層22とからなる交換結合膜の磁化曲線(マイナーループ)を模式的に表したもので、図4(b)の場合と同様に、原点がHc2’とHc2 との間に移動したのと同じ状況となり、単磁極ヘッドからの漏洩磁界程度では裏打層13の磁化は反転しないことになる。
【0048】
次に、媒体製膜後、垂直方向に保持力を超える15kOeの磁界を印加することのできる永久磁石に媒体を通して磁区制御層22の磁化を一方向に向けて磁磁気特性およびR/W評価を行った。
これは、磁区制御層22に磁壁が存在すると、上記の第1の実施の形態と同様に、裏打層13と閉磁路を形成するので裏打層13の磁壁の固定化はできるが、磁壁からの漏洩磁界の影響は低減できないと考えられるためである。
【0049】
一方、上述のように、磁区制御層22の磁化を一方向に向けた場合には、裏打層13に発生する磁壁18を低減することができ、R/W評価においてもノイズの低減により、S/Nとして1dB向上していることが確認された。
【0050】
以上、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明は各実施の形態に記載した構成及び条件に限られるものではなく、各種の変更が可能である。
例えば、上記の第1の実施の形態においては、磁区制御層として、TbFeCoを用いているが、TbCoを用いても良いものであり、一方、第2の実施の形態においては、磁区制御層として、TbCoを用いているが、TbFeCoを用いても良いものである。
但し、補償組成にする場合には、Feを混入した場合には、Feの磁気モーメントはCo磁気モーメントより大きいので、Tb組成比を大きくする必要がある。
【0051】
さらには、磁区制御層はTbFeCo或いはCoに限られるものではなく、Fe,Co,Niの一種類以上を含む遷移金属とともに、フェリ磁性を出現する重希土類金属〔Tb,Dy,Ho,Er〕の合金金属を用いても良いものである。
【0052】
また、上記の各実施の形態においては、磁区制御層及び裏打層を室温製膜しているので、非晶質合金になっているが、非晶質合金である必要は必ずしもなく、熱処理により結晶化した合金を用いても良いものである。
【0053】
また、上記各実施の形態においては、磁気記録層と裏打層の磁気的な分離を行う中間層として非磁性材料で且つその上に堆積させる記録層の配向性が良好なPdを用いているが、Pdに限られるものではなく、B、C、Siなどのメタロイド(半金属)を単体で、或いは、メタロイド元素を1種類含むPdBのような合金膜で用いても良い。
【0054】
また、上記の各実施の形態においては、説明を簡単にするために、ガラス基板上に直接磁区制御層を設けているが、記録層の配向性を制御するためにCr層やTa膜やそれらの合金膜を介在させても良いものである。
【0055】
また、上記の各実施の形態においては、裏打層をCoZrTaの単層構造で構成しているが、CoZrTaに限られるものではなく、FeTaC、CoZr、FeC等を用いても良く、さらには、FeC/C/FeC或いはFe/C/Fe等の多層構造膜で構成しても良い。
【0056】
また、上記の各実施の形態においては、磁気記録層に結晶粒径を小さくするためにBを添加しているが、Bの添加は必ずしも必要がないものであり、また、構成磁性金属元素としても、Coに限られるものではなく、Feを用いても良いし、CoとFeとを混合して用いても良いものである。
【0057】
また、上記の各実施の形態においては、裏打層と磁区制御層との膜厚の関係は特に言及していないが、裏打層は、単磁極ヘッドとの間で安定した還流磁化による閉磁路を形成するために、所定の厚さを必要とするが、磁区制御層については、そのような必要がないので、磁区制御層と裏打層の各膜厚tcont,tsul が、
sul ≧tcont、或いは、
sul ・Brsul ≧tcont・Brcont(但し、Brは残留飽和磁束密度)
のいずれかの関係を満たすようにすることが望ましい。
【0058】
ここで、再び、図1を参照して、改めて本発明の詳細な特徴を説明する。
再び、図1参照
(付記1) 少なくとも、磁気記録層5、裏打層3、及び、磁区制御層2とを有するとともに、前記裏打層3と前記磁区制御層2とが磁気的な交換結合していることを特徴とする多層垂直磁気記録媒体。
(付記2) 上記磁区制御層2の磁力Hccontと裏打層3Hcsul の保磁力が
Hcsul <Hccont
の関係を有することを特徴とする付記1記載の多層垂直磁気記録媒体。
(付記3) 上記磁区制御層2が、希土類金属と、Fe,Co,Niの内の1種類以上含む遷移金属との合金よりなるフェリ磁性体であることを特徴とする付記1または2に記載の多層垂直磁気記録媒体。
(付記4) 上記磁区制御層2が、非晶質合金であることを特徴とする付記3記載の多層垂直磁気記録媒体。
(付記5) 上記磁区制御層2と裏打層3の各膜厚tcont,tsul が、
sul ≧tcont、或いは、
sul ・Brsul ≧tcont・Brcont(但し、Brは残留飽和磁束密度)
のいずれかの関係を満たすことを特徴とする付記1乃至4のいずれか1に記載の多層垂直磁気記録媒体。
(付記6) 上記磁区制御層2の磁気特性が、面内磁気異方性を有し、且つ、希土類金属の磁化が遷移金属の磁化より優勢な合金からなることを特徴とする付記1乃至5のいずれか1に記載の多層垂直磁気記録媒体。
(付記7) 上記磁区制御層2の磁気特性が、室温で補償組成であることを特徴とする付記1乃至5のいずれか1に記載の多層垂直磁気記録媒体。
【0059】
【発明の効果】
本発明によれば、裏打層の磁壁からの漏洩磁界の影響を相殺するために、裏打層と強磁性的に磁気結合するフェリ磁性体からなる磁区制御層を設けているので、高いS/Nを有する垂直磁気記録媒体を実現することができ、特に、室温製膜が可能な磁区制御層及び裏打層を用いた場合には低コスト化が可能になるので、記録・再生特性を向上することができ、それによって、高密度垂直磁気記録媒体を用いた高密度磁気記録装置の実用化及び低コスト化に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理的構成の説明図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態の多層垂直磁気記録媒体の構成説明図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態における裏打層と磁区制御層との間の磁気結合状態の説明図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態における磁化曲線の説明図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態における裏打層と磁区制御層との間の磁気結合状態の説明図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態における磁化曲線の説明図である。
【図7】従来の多層垂直磁気記録媒体の構成説明図である。
【符号の説明】
1 非磁性基板
2 磁区制御層
3 裏打層
4 中間層
5 磁気記録層
11 ガラス基板
12 磁区制御層
13 裏打層
14 中間層
15 磁気記録層
16 保護膜
17 潤滑剤層
18 磁壁
19 スライダー
22 磁区制御層
31 ガラス基板
32 裏打層
33 中間層
34 磁気記録層
35 保護膜
36 潤滑剤層
37 磁壁
38 スライダー[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a high-density recording medium, and particularly to a configuration for reducing a leakage magnetic field from a domain wall of a backing layer of a perpendicular magnetization type magnetic recording medium used for a magnetic recording device such as a hard disk drive (HDD). The present invention relates to a high-density recording medium having a characteristic.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, magnetic recording devices (so-called hard disk drives), which are information recording devices, are generally widely used as external storage devices for computers and various portable information terminals, for example, mobile personal computers, game machines, digital cameras, in-vehicle navigation, and the like.
[0003]
In recent years, as a recording medium for such a hard disk device, a perpendicular recording medium capable of increasing the coercive force more than twice that of a conventional longitudinal recording medium has been energetically studied. Thus, recording can be performed with a stronger head magnetic field and a higher coercive force can be achieved.
[0004]
That is, in perpendicular magnetic recording, recording is performed by a recording magnetic field generated from a recording head having a single-pole head structure. Therefore, in order to record with a strong head magnetic field, a backing layer acting as a receiving port of magnetic flux from a single-pole head is required. Is required, and the recording magnetic field generated from the recording head returns to the backing layer to form a closed magnetic path of magnetic flux.
[0005]
Here, a conventional perpendicular magnetic recording medium will be described with reference to FIG.
FIG. 7 (a) is a structural explanatory view of a conventional perpendicular magnetic recording medium, and is shown as a sectional view.
As shown in the figure, a backing layer 32, a non-magnetic intermediate layer 33, a magnetic recording layer 34, and a protective film 35 are sequentially formed on a glass substrate 31 by using a DC magnetron sputtering method, and a lubricating film is formed thereon. It has a structure in which the agent layer 36 is applied.
[0006]
FIG. 7B is an explanatory diagram of the magnetization state of the perpendicular magnetic recording medium shown in FIG. 7A. The backing layer 32 in the in-plane magnetization state is provided on the slider 38. The recording magnetic field generated from the single pole head returns to the backing layer 32 to form a closed magnetic path for the magnetic flux.
[0007]
To make a magnetic recording / reproducing apparatus capable of high-density recording using such a perpendicular magnetic recording medium practical, it is essential to reduce medium noise, but medium noise is generated from both the perpendicular magnetization film and the backing layer. In particular, spike-like noise caused by the backing layer is a problem (for example, see Non-Patent Document 1).
[0008]
For example, the following is considered as a factor for generating noise due to the backing layer.
First, in the case where the backing layer reverses the magnetization to form the 180-degree domain wall 37, the leakage magnetic flux therefrom becomes spike-like noise and is superimposed on the reproduction signal, so that the medium noise increases.
[0009]
Second, since the backing layer is a soft magnetic film, the coercive force Hc sul is as small as several [Oe], and the domain wall 37 moves easily even with a slight leakage magnetic field from a reproducing head or the like. The change is detected by the reproducing head and becomes medium noise.
[0010]
In order to solve such a problem, it has been proposed to fix a domain wall without using a magnetic domain control film by using a multilayer backing layer in which at least one nonmagnetic layer and a plurality of magnetic layers are stacked. (For example, see Patent Document 1).
[0011]
Alternatively, it has been proposed to provide a magnetic domain control layer made of an Mn-based antiferromagnetic layer and to form a single magnetic domain on the backing layer by using the magnetic domain control layer to eliminate noise due to a leakage magnetic field from a domain wall (for example, Patent Document 2). reference.).
[0012]
[Non-patent document 1]
IEEE Transactions on Magnetics, Vol. MAG-20, No. 5, September 1984, pp. 146-64. 663-668
[Patent Document 1]
JP 2000-348327 A [Patent Document 2]
JP 10-214719 A
[Problems to be solved by the invention]
[0014]
However, when a multilayer backing layer is used, there is a problem that the structure becomes complicated, the manufacturing process becomes complicated, and the manufacturing cost increases.
[0015]
When the Mn-based antiferromagnetic layer is used as the magnetic domain control layer of the backing layer, after forming the Mn-based antiferromagnetic layer, heat treatment is required to impart antiferromagnetic properties. Also in this case, there is a problem that the manufacturing process becomes complicated and the manufacturing cost increases.
[0016]
In addition, many materials such as FeTaC conventionally used as a backing layer require a heat treatment in order to make the crystal finer, and therefore have the disadvantage that the mass production process becomes complicated.
[0017]
Therefore, an object of the present invention is to simply reduce the leakage magnetic field caused by the domain wall formed in the backing layer by a simple structure and manufacturing process.
[0018]
[Means for Solving the Problems]
FIG. 1 is a diagram showing the basic configuration of the present invention, and means for solving the problems in the present invention will be described with reference to FIG.
Reference numerals 1 and 4 in the figure denote a nonmagnetic substrate such as a glass substrate and an intermediate layer such as Pd, respectively.
Referring to FIG. 1, in order to achieve the above object, the present invention relates to a multilayer perpendicular magnetic recording medium comprising at least a magnetic recording layer 5, a backing layer 3, and a magnetic domain control layer 2, and a backing layer 3 and a magnetic domain control layer. 2 is magnetically exchange-coupled.
[0019]
As described above, by providing the magnetic domain control layer 2 for magnetic exchange coupling as the backing layer 3,
(1) Reversal of magnetization, ie, canceling out the leakage magnetic field from the domain wall, or
(2) Pinning (fixing) the magnetization of the backing layer 3 in order to prevent the domain wall motion of the backing layer 3;
Thereby, noise caused by the backing layer 3 can be reduced.
[0020]
In this case, the magnetic force Hc cont of the magnetic domain control layer 2 and the coercive force of the backing layer 3Hc sul are:
Hc sul <Hc cont
It is desirable that the magnetization direction of the backing layer 3 is hard to be reversed, and the magnetization remains fixed (pinned) by the leakage magnetic field from the recording head, so that the noise can be reduced. Become.
[0021]
Further, the magnetic domain control layer 2 is a ferrimagnetic material made of an alloy of a rare earth metal (RE: Rare-Earth Metal) and a transition metal (TM: Transition Metal) containing at least one of Fe, Co, and Ni. Desirably, the transition metal of the magnetic domain control layer 2 and the transition metal of the backing layer 3 are ferromagnetically coupled, but are antiferromagnetically coupled as a whole. The leakage magnetic field due to the domain wall can be canceled.
[0022]
Further, by using a film that can be formed at room temperature, such as TbFeCo, as the magnetic domain control layer 2, the manufacturing process is simplified, and in this case, TbFeCo or the like is inevitably an amorphous alloy.
[0023]
The thicknesses t cont and t sul of the magnetic domain control layer 2 and the backing layer 3 are as follows:
t sul ≧ t cont , or
t sul · Br sul ≧ t cont · Br cont (where Br is the residual saturation magnetic flux density)
It is desirable to satisfy any one of the above relationships, and the high saturation magnetic flux density and the film thickness facilitate the formation of a closed magnetic path with the single-pole head.
[0024]
The magnetic domain control layer 2 is characterized by having an in-plane magnetic anisotropy and being composed of an alloy in which the magnetization of the rare earth metal is dominant over the magnetization of the transition metal. Leakage magnetization due to the magnetic domain wall can be canceled.
[0025]
Alternatively, the magnetic domain control layer 2 may have a compensating composition at room temperature at which the net magnetic field becomes zero, whereby the magnetic domain control layer 2 becomes a perpendicular magnetization film, so that the coercive force becomes infinite and the magnetic domain wall of the backing layer 3 becomes infinite. Can be fixed.
[0026]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Here, a multilayer perpendicular magnetic recording medium according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 2A is a schematic cross-sectional view of the multilayer perpendicular magnetic recording medium according to the first embodiment of the present invention. In practice, the magnetic layer is symmetrical with respect to the glass substrate. Although provided, here, a film forming structure on one side is shown.
As shown in the figure, a magnetic domain control layer 12, a backing layer 13, an intermediate layer 14, a magnetic recording layer 15, and a protective film 16 are sequentially formed on a glass substrate 11 by using a DC magnetron sputtering method.
[0027]
In the first embodiment, as the magnetic domain control layer 12, for example, Tb 28 Fe 60 Co 12 having a thickness t cont of 50 nm is used.
Further, as the backing layer 13, for example, Co 88 Zr 2 Ta 10 having a thickness t sul of 300 nm is used.
[0028]
As the intermediate layer 14, a Pd layer having a thickness of, for example, 5 nm is used to magnetically separate the magnetic recording layer 15 and the backing layer 13.
By using this Pd layer, the orientation of the magnetic recording layer 15 can be improved.
[0029]
As the magnetic recording layer 15, a CoB film having a thickness of, for example, 0.3 nm and a Pd film having a thickness of, for example, 1.0 nm are formed under a pressure of, for example, 3 Pa for a film forming Ar gas. Are alternately formed into an artificial lattice film composed of a multilayer film formed by 12 layers.
The atomic ratio of CoB is Co: B = 90: 10.
[0030]
The protective film 16 is a DLC (diamond-like carbon) film having a thickness of, for example, 5 nm.
Therefore, as a whole structure,
DLC (5 nm) / [CoB (0.3 nm) / Pd (1.0 nm)] Multilayer film (15.7 nm / 3 Pa) / Pd (5 nm) / CoZrTa (300 nm) / TbFeCo (50 nm) / glass substrate.
[0031]
In order to evaluate the recording / reproducing characteristics of the magnetic head, a lubricant of perfluorocarbon is applied on the protective film 16 to form a lubricant layer 17.
Further, the overall thickness of the multilayer film means the thickness after forming the multilayer film, and the thickness of each layer constituting the multilayer film means the target film thickness at the time of film formation.
[0032]
In order to confirm the effect of providing the magnetic domain control layer, a comparative medium similar to the conventional example shown in FIG. 7 in which the magnetic domain control layer was removed from the perpendicular magnetic recording medium of the first embodiment was also created. However, as a whole structure in this case,
DLC (5 nm) / [CoB (0.3 nm) / Pd (1.0 nm)] Multilayer film (20.9 nm / 3 Pa) / Pd (5 nm) / CoZrTa (300 nm) / glass substrate.
[0033]
FIG. 2B is an explanatory diagram of the magnetization state of each magnetic layer in the perpendicular magnetic recording medium according to the first embodiment of the present invention. The magnetic recording layer 15 has a perpendicular magnetization and a backing layer. 13 and the magnetic domain control layer 12 have in-plane magnetization.
Reference numeral 19 in the drawing denotes a slider provided with a single-pole head.
[0034]
When the magnetic domain control layer 15 is not provided, only the leakage magnetic field indicated by the black arrow from the domain wall 18 of the backing layer 13 is generated and causes noise, but the magnetic domain control layer 12 which is antiferromagnetically coupled to the backing layer 13 is not provided. Due to the leakage magnetic field indicated by the white arrow generated by the formation, the entire leakage magnetic field is simultaneously closed and canceled between the backing layer 13 and the magnetic domain control layer 12, and the noise is reduced as compared with the case without the magnetic domain control layer 12. Becomes possible.
[0035]
Here, the relationship between the magnetization of the magnetic domain control layer 12 and the magnetization of the backing layer 13 will be further described with reference to FIG.
FIG. 3A is an explanatory view of the net magnetization in the magnetic domain control layer 12, that is, the magnetization of the net. The magnetic domain control layer 12 is a RE-TM amorphous alloy having ferrimagnetism. , The sum of the sublattice magnetizations of the RE metal [Tb] and the TM metal [Fe, Co] is the magnetization of the net.
[0036]
FIG. 3B is an explanatory view of a magnetic coupling state between the backing layer 13 and the magnetic domain control layer 12, and shows the TM metal [Co, Zr, Ta used in the backing layer 13. ] And the TM metal [Fe, Co] used for the magnetic domain control layer 12 are arranged ferromagnetically, that is, in parallel by magnetic exchange coupling.
[0037]
However, since the magnetic domain control layer 12 uses the RE-rich composition having a large composition ratio of the transition metal, the magnitude of the magnetization of the net is antiparallel to the backing layer 13, that is, it is antiferromagnetically coupled. Therefore, the leakage magnetic field between the backing layer 13 and the magnetic domain control layer 12 forms a closed magnetic path, so that it is possible to reduce the leakage magnetic field even when the domain wall 18 is formed by the backing layer 13 during reproduction.
[0038]
FIG. 4 (a) schematically shows a magnetization curve (full loop) of an exchange-coupling film composed of a backing layer 13 and a magnetic domain control layer 12, and shows a magnetic hysteresis (arbitrary magnetic field). The magnetization state is also shown.
[0039]
The coercive force Hc cont of the magnetic domain control layer 12 and the coercive force Hc sul of the backing layer 13 are:
Hc sul <Hc cont
As long as the leakage magnetic field from the single pole head does not exceed ± Hc 2 during reproduction, the magnetization of the backing layer 13 does not reverse, so that the magnetization remains pinned (fixed). No noise.
Moreover, as is clear from the figure, the magnetization of the magnetic domain control layer 12 when the leakage magnetic field exceeds ± Hc 1 from single-pole head also inverted.
[0040]
FIG. 4B schematically shows a magnetization curve (minor loop) of the exchange coupling film including the backing layer 13 and the magnetic domain control layer 12, and the origins are Hc 2 ′ and Hc. 2 , the magnetization of the backing layer 13 is not reversed by the leakage magnetic field from the single pole head.
Conversely, when Hc sul > Hc cont , the magnetization of the magnetic domain control layer 12 is more likely to be reversed, and the backing layer 13 located on the side closer to the read head is a single layer without the magnetic domain control layer 12. There is no effect because the operation is almost the same.
[0041]
[Table 1]
Figure 2004127403
Table 1 shows the recording / reproducing evaluation results of the perpendicular magnetic recording medium of the first embodiment. The recording was performed at 5400 rpm at 200 kFCI (linear recording density: Flux Change per Inch). / N, it was confirmed that S / N was improved by 1.6 dB due to noise reduction.
[0042]
As described above, in the first embodiment of the present invention, since the magnetic domain control layer 12 of a ferrimagnetic material that is effectively antiferromagnetically coupled to the backing layer 13 is provided, the backing layer 13 is used during reproduction. Even if a domain wall is formed, the leakage magnetic field is canceled by the leakage magnetic field of the magnetic domain control layer 12, thereby preventing generation of spike noise.
[0043]
Further, in the first embodiment of the present invention, since the magnetic domain control film having the ferrimagnetic property at room temperature is used, the heat treatment after the film formation becomes unnecessary, the manufacturing process is simplified, and the single-layer structure is used. Since it is a magnetic domain control film, its structure is simplified, and these enable cost reduction.
[0044]
Next, a perpendicular magnetic recording medium according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5. The laminated structure of the medium itself is different from that of the above-described medium only in the composition and function of the magnetic domain control layer. This is similar to the perpendicular magnetic recording medium of the first embodiment.
That is, in the second embodiment of the present invention, as the magnetic domain control layer, TbCo (Tb 21 atomic%) having a compensating composition that makes the net magnetization substantially zero at room temperature is used.
[0045]
FIG. 5 is an explanatory view of a magnetic coupling state between the backing layer 13 and the magnetic domain control layer 22 according to the second embodiment of the present invention. Since the magnetic domain control layer 22 has a compensating composition, it has a zero magnetic field. The magnitude of the net magnetization of the magnetic domain control layer 22 is substantially zero, and the magnitude of the demagnetizing field accompanying the magnetic moment is reduced.
Incidentally, the coercive force when a magnetic field is applied in the vertical direction is 5 kOe or more.
[0046]
As described above, because of the compensating composition, the coercive force in the vertical direction becomes very large, so that the magnetization of the magnetic domain control layer 22 is not easily inverted due to leakage magnetization from the single pole head.
Since the net magnetization is substantially zero, there is no superposition of the leakage magnetic field on the reproduction signal from the magnetic domain control layer 22.
[0047]
FIG. 6 schematically shows a magnetization curve (minor loop) of the exchange coupling film including the backing layer 13 and the magnetic domain control layer 22, and the origin is the same as in FIG. The situation is the same as that between Hc 2 ′ and Hc 2, and the magnetization of the backing layer 13 does not reverse with the leakage magnetic field from the single pole head.
[0048]
Next, after forming the medium, the magnetization of the magnetic domain control layer 22 is directed in one direction through the medium through a permanent magnet capable of applying a magnetic field of 15 kOe exceeding the coercive force in the vertical direction, and the magnetic properties and R / W evaluation are evaluated. went.
This is because if a domain wall exists in the magnetic domain control layer 22, a closed magnetic path is formed with the backing layer 13 as in the first embodiment, so that the domain wall of the backing layer 13 can be fixed. This is because it is considered that the influence of the leakage magnetic field cannot be reduced.
[0049]
On the other hand, as described above, when the magnetization of the magnetic domain control layer 22 is oriented in one direction, the domain wall 18 generated in the backing layer 13 can be reduced. It was confirmed that / dB was improved by 1 dB.
[0050]
The embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the configurations and conditions described in the embodiments, and various changes can be made.
For example, in the first embodiment, TbFeCo is used as the magnetic domain control layer. However, TbCo may be used. On the other hand, in the second embodiment, the magnetic domain control layer is used as the magnetic domain control layer. , TbCo, but TbFeCo may be used.
However, in the case of using a compensating composition, when Fe is mixed, the magnetic moment of Fe is larger than the Co magnetic moment, so that it is necessary to increase the Tb composition ratio.
[0051]
Further, the magnetic domain control layer is not limited to TbFeCo or Co, but may be made of a heavy rare earth metal [Tb, Dy, Ho, Er] that exhibits ferrimagnetism together with a transition metal containing at least one of Fe, Co, and Ni. An alloy metal may be used.
[0052]
Further, in each of the above embodiments, the magnetic domain control layer and the backing layer are formed at room temperature, so that they are amorphous alloys. Alternatively, a converted alloy may be used.
[0053]
Further, in each of the above embodiments, as the intermediate layer for magnetically separating the magnetic recording layer and the backing layer, Pd which is a non-magnetic material and has good orientation of the recording layer deposited thereon is used. , Pd, but may be a metalloid (semimetal) such as B, C, or Si alone or an alloy film such as PdB containing one type of metalloid element.
[0054]
In each of the above embodiments, the magnetic domain control layer is provided directly on the glass substrate for the sake of simplicity. However, in order to control the orientation of the recording layer, a Cr layer, a Ta film, May be interposed.
[0055]
Further, in each of the above embodiments, the backing layer has a single-layer structure of CoZrTa, but is not limited to CoZrTa, and may be FeTaC, CoZr, FeC, or the like. It may be composed of a multilayer structure film of / C / FeC or Fe / C / Fe.
[0056]
In each of the above embodiments, B is added to the magnetic recording layer in order to reduce the crystal grain size. However, the addition of B is not always necessary. Is not limited to Co, but may be Fe or a mixture of Co and Fe.
[0057]
Further, in each of the above embodiments, the relationship between the thickness of the backing layer and the thickness of the magnetic domain control layer is not particularly described, but the backing layer forms a closed magnetic path by stable return magnetization between the single pole head. To form the magnetic domain control layer, a predetermined thickness is required. However, since the magnetic domain control layer does not need to have such a thickness, the film thicknesses t cont and t sul of the magnetic domain control layer and the backing layer are:
t sul ≧ t cont , or
t sul · Br sul ≧ t cont · Br cont (where Br is the residual saturation magnetic flux density)
It is desirable to satisfy any one of the following relationships.
[0058]
Here, the detailed features of the present invention will be described again with reference to FIG. 1 again.
Again, see FIG. 1 (Supplementary Note 1) At least the magnetic recording layer 5, the backing layer 3, and the magnetic domain control layer 2 are provided, and the backing layer 3 and the magnetic domain control layer 2 are magnetically exchange-coupled. A multilayer perpendicular magnetic recording medium.
(Supplementary Note 2) a coercive force of the magnetic domain control layer 2 force Hc cont and backing layer 3Hc sul is Hc sul <Hc cont
2. The multilayer perpendicular magnetic recording medium according to claim 1, wherein:
(Supplementary note 3) The supplementary note 1 or 2, wherein the magnetic domain control layer 2 is a ferrimagnetic material made of an alloy of a rare earth metal and a transition metal containing at least one of Fe, Co, and Ni. Multilayer perpendicular magnetic recording medium.
(Supplementary Note 4) The multilayer perpendicular magnetic recording medium according to supplementary note 3, wherein the magnetic domain control layer 2 is an amorphous alloy.
(Supplementary Note 5) The thicknesses t cont and t sul of the magnetic domain control layer 2 and the backing layer 3 are as follows:
t sul ≧ t cont , or
t sul · Br sul ≧ t cont · Br cont (where Br is the residual saturation magnetic flux density)
5. The multilayer perpendicular magnetic recording medium according to any one of appendices 1 to 4, wherein any of the following relations is satisfied.
(Supplementary note 6) Supplementary notes 1 to 5, wherein the magnetic domain control layer 2 has an in-plane magnetic anisotropy in magnetic properties and is made of an alloy in which rare earth metal magnetization is more dominant than transition metal magnetization. The multilayer perpendicular magnetic recording medium according to any one of the above items.
(Supplementary Note 7) The multilayer perpendicular magnetic recording medium according to any one of Supplementary Notes 1 to 5, wherein a magnetic property of the magnetic domain control layer 2 is a compensating composition at room temperature.
[0059]
【The invention's effect】
According to the present invention, a magnetic domain control layer made of a ferrimagnetic material that is ferromagnetically coupled to the backing layer is provided in order to cancel the influence of the leakage magnetic field from the domain wall of the backing layer. A perpendicular magnetic recording medium having the following characteristics can be realized. In particular, when a magnetic domain control layer and a backing layer capable of being formed at room temperature are used, the cost can be reduced, and the recording / reproducing characteristics can be improved. This greatly contributes to the practical application and cost reduction of a high-density magnetic recording device using a high-density perpendicular magnetic recording medium.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of a basic configuration of the present invention.
FIG. 2 is a configuration explanatory diagram of the multilayer perpendicular magnetic recording medium according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an explanatory diagram of a magnetic coupling state between a backing layer and a magnetic domain control layer according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a magnetization curve according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an explanatory diagram of a magnetic coupling state between a backing layer and a magnetic domain control layer according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an explanatory diagram of a magnetization curve according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 7 is an explanatory diagram of a configuration of a conventional multilayer perpendicular magnetic recording medium.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Non-magnetic substrate 2 Magnetic domain control layer 3 Backing layer 4 Intermediate layer 5 Magnetic recording layer 11 Glass substrate 12 Magnetic domain control layer 13 Backing layer 14 Intermediate layer 15 Magnetic recording layer 16 Protective film 17 Lubricant layer 18 Domain wall 19 Slider 22 Domain control layer 31 glass substrate 32 backing layer 33 intermediate layer 34 magnetic recording layer 35 protective film 36 lubricant layer 37 domain wall 38 slider

Claims (5)

少なくとも、磁気記録層、裏打層、及び、磁区制御層とを有するとともに、前記裏打層と前記磁区制御層とが磁気的な交換結合していることを特徴とする多層垂直磁気記録媒体。A multilayer perpendicular magnetic recording medium comprising at least a magnetic recording layer, a backing layer, and a magnetic domain control layer, wherein the backing layer and the magnetic domain control layer are magnetically exchange-coupled. 上記磁区制御層の磁力Hccontと裏打層Hcsul の保磁力が
Hcsul <Hccont
の関係を有することを特徴とする請求項1記載の多層垂直磁気記録媒体。
The magnetic force Hc cont of the magnetic domain control layer and the coercive force of the backing layer Hc sul are Hc sul <Hc cont
2. The multilayer perpendicular magnetic recording medium according to claim 1, wherein:
上記磁区制御層が、希土類金属と、Fe,Co,Niの内の1種類以上含む遷移金属との合金よりなるフェリ磁性体であることを特徴とする請求項1または2に記載の多層垂直磁気記録媒体。3. The multilayer perpendicular magnetic device according to claim 1, wherein the magnetic domain control layer is a ferrimagnetic material made of an alloy of a rare earth metal and a transition metal containing at least one of Fe, Co, and Ni. recoding media. 上記磁区制御層の磁気特性が、面内磁気異方性を有し、且つ、希土類金属の磁化が遷移金属の磁化より優勢な合金からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の多層垂直磁気記録媒体。4. The magnetic domain control layer according to claim 1, wherein the magnetic domain control layer has an in-plane magnetic anisotropy and is made of an alloy in which the magnetization of the rare earth metal is more dominant than the magnetization of the transition metal. Item 14. The multilayer perpendicular magnetic recording medium according to Item 1. 上記磁区制御層の磁気特性が、室温で補償組成であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の多層垂直磁気記録媒体。4. The multilayer perpendicular magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic properties of the magnetic domain control layer are a compensation composition at room temperature.
JP2002288662A 2002-10-01 2002-10-01 Multilayer perpendicular magnetic recording medium Expired - Fee Related JP3911678B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002288662A JP3911678B2 (en) 2002-10-01 2002-10-01 Multilayer perpendicular magnetic recording medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002288662A JP3911678B2 (en) 2002-10-01 2002-10-01 Multilayer perpendicular magnetic recording medium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004127403A true JP2004127403A (en) 2004-04-22
JP3911678B2 JP3911678B2 (en) 2007-05-09

Family

ID=32281086

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002288662A Expired - Fee Related JP3911678B2 (en) 2002-10-01 2002-10-01 Multilayer perpendicular magnetic recording medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3911678B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008071406A (en) * 2006-09-13 2008-03-27 Fuji Electric Device Technology Co Ltd Vertical magnetic recording medium
US7596058B2 (en) 2004-08-27 2009-09-29 Fujitsu Limited Recording medium having multiple magnetic layers

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7596058B2 (en) 2004-08-27 2009-09-29 Fujitsu Limited Recording medium having multiple magnetic layers
JP2008071406A (en) * 2006-09-13 2008-03-27 Fuji Electric Device Technology Co Ltd Vertical magnetic recording medium

Also Published As

Publication number Publication date
JP3911678B2 (en) 2007-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3641611B2 (en) Magnetic recording medium, method for manufacturing the same, and magnetic recording apparatus
US7601443B2 (en) Perpendicular magnetic recording media with laminated soft magnetic underlayer
JP2006190461A (en) Perpendicular magnetic recording medium using magnetically resettable single magnetic domain soft underlayer
EP1302933A1 (en) Magnetic recording medium
US6773826B2 (en) Perpendicular magnetic recording media and magnetic storage apparatus using the same
JP4034485B2 (en) Magnetic recording medium
JP3350512B2 (en) Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing device
JP2004039033A (en) Magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing device
JP2004079043A (en) Perpendicular magnetic recording medium
JP2004118894A (en) Disk-like magnetic recording medium
JP4515690B2 (en) Perpendicular multilayer magnetic recording medium
US6686071B2 (en) Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same
US20090246362A1 (en) Heat assisted magnetic recording medium and method for fabricating the same
JP2002109713A (en) Magnetic recording medium and magnetic storage device using the same
JP3947001B2 (en) Information recording medium and information storage device
JP3911678B2 (en) Multilayer perpendicular magnetic recording medium
JP2007102833A (en) Perpendicular magnetic recording medium
JPWO2004019322A1 (en) Backed magnetic film
JP2003203326A (en) Magnetic recording medium
WO2003100773A1 (en) Information recording medium and information storage device
JP4389381B2 (en) Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus
JP2002063712A (en) Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same
JPH0389502A (en) Magnetic multilayer film
JP2002074638A (en) Magnetic information recording medium
JP2009099197A (en) Perpendicular magnetic recording medium, and perpendicular magnetic recording reproducing unit

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Effective date: 20050328

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060814

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20060829

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061027

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20061226

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070118

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 3

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100209

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 3

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100209

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130209

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees