【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータによりテーブルを固定台に対して自在に移動させるリニアスライダに関するものであり、特に可動子の冷却構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
［第１従来例］
従来、リニアモータにより、テーブルを固定台に対して自在に移動させることのできるリニアスライダは、例えば、図４のようになっている。なお、図４は第１従来例を示すリニアスライダを示す正面図である。
図において、１は固定台、２は可動子を移動自在に案内支持するリニアガイド、２Ａはガイドレール、２Ｂはガイドレール２Ａ上を摺動するスライダ、３はリニアモータ、４は固定台上に垂直方向に互いに間隔を置いて対向配設したリニアモータ界磁部を構成する固定子、５は固定子の間に空隙を介して配置したリニアモータ電機子部を構成する可動子、６は平板状の界磁ヨーク、７は界磁ヨーク６上に沿って（紙面と垂直方向）交互に磁極が異なるように複数配設した永久磁石、８は永久磁石７の高さ方向に電磁鋼板を積層して成るコア、８Ａはコア８に形成されたスロット、８Ｂは同じくコア８の中央部に形成された貫通穴、９はスロット８Ａに巻装された電機子コイルで、図示しない樹脂モールドにより周囲を固着されている。１０は固定台１に平行に対向配置されたテーブル、１０Ａはテーブル１０に形成された貫通穴、１０Ｂはテーブル１０の下部に形成された凹部、１１はボルト、１２は電機子固定板、１２Ａ、１２Ｂは電機子固定板１２に形成された雌ネジ部、１６はボルトである。
この場合、テーブル１０と電機子固定板１２の固定については、テーブル１０は凹部１０Ｂに電機子固定板１２を嵌合させると共に、ボルト１６を貫通穴１０Ａに通した後、雌ネジ部１２Ａにねじ込み、テーブル１０と電機子固定板１２を固定するようになっている。
また、可動子５と電機子固定板１２の固定については、可動子５は可動子５の上面を電機子固定板１２の下面に接触させると共に、ボルト１１を貫通穴８Ｂに通した後、雌ネジ部１２Ｂにねじ込み、可動子５と電機子固定板１２を固定するようになっている。
【０００３】
［第２従来例］
また、第２従来例として特許文献１に示すものがある。図５は第２従来例を示すリニアスライダの正面図である。
なお、第２従来例の構成要素のうち、第１従来例と同じものについては説明を省略し、異なる点のみ説明する。
図において、１０Ｃはテーブル１０に形成された雌ネジ部、１０Ｄはテーブル１０の下部に形成された凹部、１３はテーブル１０と可動子５の間に設けた柱状の間座、１３Ａは関座１３に形成された貫通穴、１４はエアダクトである。この場合、テーブル１０は凹部１０Ｄに関座１３を嵌合させると共に、可動子５の上面を関座１３の下面に接触させた状態で、ボルト１１を貫通穴８Ｂ、１３Ａに通した後、雌ネジ部１０Ｃにねじ込み、テーブル１０、関座１３および可動子５を固定するようになっている。
上記の構成において、図示しない空気供給源より空気をテーブル１０内部に設けたエアダクト１４に供給することにより、間座１３を挟んでテーブル１０と可動子５の間に形成される空間部Ｓに冷却空気を吐出し可動子、固定子を冷却する構成である。
このようなリニアスライダにおいて、電機子に図示しない電源から駆動電流を供給し、可動子５が推力を発生し、テーブル１０がガイドレール２Ａ上を移動するにつれて、電機子で発生した熱は間座１３を介してテーブル１０に伝わるが、テーブル１０の表面からは周囲空気に放出され、エアダクト１４の内面からはエアダクト１４内部の冷却空気に放出されて、テーブルの温度上昇を抑制する。さらに、エアダクト１０から空間部Ｓに吐出した冷却空気は電機子の上部とも接触するため、この電機子の上部からも熱を奪う。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−２２４１５９号公報（第３頁、第４頁、第５頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記の従来技術は以下の問題があった。
（１）第１従来例は、電機子固定板１２を可動子５とテーブル１０側からボルト１１、１６でねじ込み固定する手段を採っているため、可動子５とテーブル１０の結合部の強度は確保されるものの、可動子および固定子に冷却手段が施されていないため、効率よく電機子部の熱を除去してテーブル１０の温度上昇を抑制することはできなかった。
【０００６】
（２）第２従来例はリニアスライダにおいては、推力の作用する可動子５とテーブル１０の結合部に、空間部Ｓを確保するため、可動子５の水平方向の幅より狭い幅寸法を有した柱状の間座１３を設置せざるを得ず、テーブル１０と可動子５を結合する際の強度が不足し、振動しやすい構造であった。
【０００７】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、可動子とテーブルの結合部の強度を保ち、かつ効率よく電機子部の熱を除去してテーブルの温度上昇を抑制したリニアスライダを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項１記載のリニアスライダは、固定台に平行に対向配置されたテーブルを移動自在に案内支持するガイドレールとスライダからなるリニアガイドと、前記テーブルを前記固定台に対して前記ガイドレール上の長手方向に沿って往復動させるリニアモータを備え、前記リニアモータは、前記固定台上に垂直方向に互いに間隔を置いて対向配設したリニアモータ界磁部を構成する固定子と、前記固定子の間に空隙を介して配置したリニアモータ電機子部を構成する可動子よりなり、前記リニアモータに駆動電流を供給することにより前記テーブルを移動させるようにしたリニアスライダにおいて、前記テーブルは当該テーブルの内部に移動方向に向かって貫通したエアダクトを形成できるように、コ字状の断面に切り欠いたプレートと平板状のプレートを複数組合わせて積層してなる多層構造としたものである。
請求項２記載のリニアスライダは、請求項１記載のリニアスライダにおいて、前記プレートは、アルミニウムまたは銅からなる高熱伝導率の材料で構成されたものである。
請求項３記載のリニアスライダは、請求項１または２記載のリニアスライダにおいて、前記プレートに複数のスリットを設けたものである。
請求項４記載のリニアスライダは、請求項１または２記載のリニアスライダにおいて、前記プレートに形成されたエアダクト端面に冷却ファンを設けたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の構成要素が従来技術と同じものについては同一符号を付してその説明を省略し、異なる点のみを説明する。
［第１実施例］
図１は本発明の第１実施例を示すリニアスライダの正面図、図２は第１実施例におけるテーブルの分解斜視図である。
図１、図２において、１５、１８は第１プレート、１６は第２プレート、１７は第３プレート、２０は電機子固定板、２０Ａ、２０Ｂは電機子固定板２０に形成された雌ネジ部、２１はボルト、２２〜２４はエアダクトである。
本発明が従来技術と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、従来のテーブルに替えて、本発明のテーブルは当該テーブルの内部に移動方向に向かって貫通したエアダクト２２〜２４を形成できるように、移動方向から見てコ字状の断面に切り欠いた第１プレート１５、１８と平板状の第２プレート１６、第３プレート１７を複数組合わせて積層してなる多層構造とすると共に、これらのプレート１５〜１８は、何れもアルミニウムまたは銅からなる高熱伝導率の材料で構成されている点である。
なお、各プレートのうち、平板状の第２プレート１６は他のプレートに比べると極めて薄い板材から構成されている。、
また、図２に示したテーブルを構成するプレートの形状は一例を示したが、数や寸法に関して限定はなく、電機子の発熱量やテーブルの幅、高さなどの形状寸法によって任意に決定することができるようになっている。
次にプレート１５〜１８、電機子固定板２０、可動子の固定について説明する。まず、プレート１５〜１８と電機子固定板２０の固定については、各プレート１５〜１８に形成された貫通穴１５Ａ、１６Ａ、１７Ａ、１８Ａにボルト２１を通した後、第３プレート１８の下面を電機子固定板２０の上面に接触させた状態で、ボルト２１を雌ネジ部２０Ａにねじ込み、プレート１５〜１８と電機子固定板２０を固定するようになっている。
また、可動子５と電機子固定板２０の固定については、可動子５は可動子５の上面を電機子固定板２０の下面に接触させると共に、ボルト１１を貫通穴８Ｂに通した後、雌ネジ部２０Ｂにねじ込み、可動子５と電機子固定板２０を固定するようになっている。
【００１０】
次に、動作について説明する。
図示しない電源から可動子５である電機子部に駆動電流を供給すると、テーブルがガイドレール２Ａ上を移動するに連れて、電機子部内では熱が発生し、この熱が電機子固定板２０を通してテーブル側へ伝わるが、テーブルはその構成材である第１プレート１５および１８、第２プレート１６、第３プレート１７とも金属材であることから熱はテーブル内に一様に伝わる。この場合、エアダクトト２２〜２４には冷却空気が流れているので、この冷却空気と第１プレート１５、１８、第２プレート１６および第３プレート１７の接触面間で熱伝達がおこり、各プレートに伝わった熱は冷却空気に放散される。
【００１１】
したがって、本発明の実施例におけるリニアスライダのテーブルは当該テーブルの内部に移動方向に向かって貫通したエアダクト２２〜２４を形成できるように、移動方向から見てコ字状の断面に切り欠いた第１プレート１５、１８と平板状の第２プレート１６、第３プレート１７を複数組合わせて積層してなる多層構造とすると共に、各プレート１５〜１８を、何れもアルミニウムまたは銅からなる高熱伝導率の材料で構成したので、効率よく電機子部で発生した熱をテーブル内に形成したエアダクト２２〜２４に拡散し、テーブルの温度上昇を抑制することができる。
また、各プレート１５〜１８のうち、第２プレート１６は他のプレートに比べると極めて薄い板材から構成されているため、冷却空気に対するフィンとしての効果を発揮し、テーブルの温度分布の不均一に起因した熱変形を抑制するとともにテーブル全体として高い冷却能力を実現する。
また、本リニアスライダの構造においては、電機子固定板２０を可動子とテーブル側からボルト１１、２６でねじ込み固定する手段を採っているため、可動子とテーブルとを結合する電機子固定板の幅寸法に制約が無くなり可動子とテーブルの結合部の強度を大きくして対振動性を確保することができる。
【００１２】
［第２実施例］
本発明の第２実施例のリニアスライダについて、図３に基づいて説明する。
図３は本発明の第２実施例を示す第２プレートの斜視図で、（ａ）は矩形状のスリット、（ｂ）円形状のスリットを有するプレートである。
第２実施例が第１実施例と異なる点は、第２プレート１６に図３（ａ）に示す矩形状のスリット１６Ｂを設けたり、あるいは図３（ｂ）に示す円形状のスリット１６Ｃを複数設けた点である。
本実施例によれば、第２プレート１６にスリット１６Ｂあるいは１６Ｃを複数いれることにより、各プレート間で形成されるエアダクト２２、２３間とエアダクト２３、２４間の冷却空気の流通が増加すると共に冷却空気の流れが乱流化されるので、熱伝達率がさらに増加し、テーブルの温度上昇を低くして均一化することが可能となる。
なお、テーブルを構成する各プレートに形成されたエアダクト端面に図示しない冷却ファンを設けるようにしても構わない。これにより冷却空気供給源およびエアダクトまでの送風配管が不要になり、エアダクトへの冷却空気も所用の冷却能力に応じて安定供給できるようになる。
【００１３】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の第１実施例によれば、リニアスライダのテーブルは当該テーブルの内部に移動方向に向かって貫通したエアダクトを形成できるように、移動方向から見てコ字状の断面に切り欠いた第１プレートと平板状の第２プレート、第２プレートを複数組合わせて積層してなる多層構造とすると共に、各プレートを、何れもアルミニウムまたは銅からなる高熱伝導率の材料で構成したので、効率よく電機子部で発生した熱をテーブル内に形成したエアダクトに拡散し、テーブルの温度上昇を抑制することができる。
また、各プレートのうち、第２プレートは他のプレートに比べると極めて薄い板材から構成されているため、冷却空気に対するフィンとしての効果を発揮し、テーブルの温度分布の不均一に起因した熱変形を抑制するとともにテーブル全体として高い冷却能力を実現する。
また、本リニアスライダの構造においては、電機子固定板を可動子とテーブル側からボルトでねじ込み固定する手段を採っているため、可動子とテーブルとを結合する電機子固定板の幅寸法に制約が無くなり可動子とテーブルの結合部の強度を大きくして対振動性を確保することができる。
第２実施例によれば、第２プレートにスリットを設けることにより、各プレートの間で形成されるエアダクト間の冷却空気の流通が増加すると共に冷却空気の流れが乱流化されるので、熱伝達率がさらに増加し、テーブルの温度上昇を低くして均一化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示すリニアスライダの正面図
【図２】第１実施例のリニアスライダのテーブルの分解斜視図
【図３】本発明の第２実施例を示す第２プレートの斜視図
【図４】第１従来例を示すリニアスライダの正面図
【図５】第２従来例を示すリニアスライダの正面図
【符号の説明】
１ 固定台
２ リニアガイド
２Ａ ガイドレール
２Ｂ スライダ
３ リニアモータ
４ 固定子（リニアモータ界磁部）
５ 可動子（リニアモータ電機子部）
６ 界磁ヨーク
７ 永久磁石
８ コア
８Ａ スロット
８Ｂ 貫通穴
９ 電機子コイル
１１ ボルト
１５ 第１プレート（テーブル）
１５Ａ 貫通穴
１６ 第２プレート（テーブル）
１６Ａ 貫通穴
１６Ｂ、１６Ｃ スリット
１７ 第３プレート（テーブル）
１７Ａ 貫通穴
１８ 第１プレート（テーブル）
１８Ａ 貫通穴
２０ 電機子固定板
２０Ａ、２０Ｂ 雌ネジ部
２１ ボルト
２２〜２４ エアダクト[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a linear slider for freely moving a table with respect to a fixed table by a linear motor, and more particularly to a cooling structure for a mover.
[0002]
[Prior art]
[First Conventional Example]
2. Description of the Related Art Conventionally, a linear slider that can freely move a table with respect to a fixed base by a linear motor is, for example, as shown in FIG. FIG. 4 is a front view showing a linear slider showing a first conventional example.
In the figure, 1 is a fixed base, 2 is a linear guide that guides and supports the mover movably, 2A is a guide rail, 2B is a slider that slides on the guide rail 2A, 3 is a linear motor, and 4 is a fixed base. A stator constituting a linear motor field portion which is disposed to be opposed to each other at a distance in the vertical direction, 5 is a mover which constitutes a linear motor armature portion disposed with an air gap between the stators, 6 is a flat plate Field yoke, 7 are permanent magnets arranged so that magnetic poles are alternately different along the field yoke 6 (in a direction perpendicular to the paper surface), and 8 is an electromagnetic steel sheet laminated in the height direction of the permanent magnet 7 8A is a slot formed in the core 8, 8B is a through hole also formed in the center of the core 8, and 9 is an armature coil wound around the slot 8A. Has been fixed. Reference numeral 10 denotes a table disposed in parallel with and facing the fixing base 1, 10A denotes a through hole formed in the table 10, 10B denotes a concave portion formed in a lower portion of the table 10, 11 denotes a bolt, 12 denotes an armature fixing plate, 12A, 12B is a female screw part formed on the armature fixing plate 12, and 16 is a bolt.
In this case, the table 10 is fixed to the armature fixing plate 12 by fitting the armature fixing plate 12 into the concave portion 10B, passing the bolt 16 through the through hole 10A, and then screwing the female screw portion 12A. , The table 10 and the armature fixing plate 12 are fixed.
As for the fixing of the mover 5 and the armature fixing plate 12, the mover 5 contacts the upper surface of the mover 5 with the lower surface of the armature fixing plate 12 and passes the bolt 11 through the through hole 8B. The mover 5 and the armature fixing plate 12 are fixed by screwing into the screw portion 12B.
[0003]
[Second conventional example]
As a second conventional example, there is one disclosed in Patent Document 1. FIG. 5 is a front view of a linear slider showing a second conventional example.
The description of the same components as those of the first conventional example among the components of the second conventional example will be omitted, and only different points will be described.
In the figure, 10C is a female screw portion formed in the table 10, 10D is a concave portion formed in the lower part of the table 10, 13 is a column-shaped spacer provided between the table 10 and the mover 5, and 13A is a barrier 13 Is a through hole, 14 is an air duct. In this case, the table 10 has the recesses 10D fitted with the seats 13 and the bolts 11 are passed through the through holes 8B and 13A while the upper surface of the mover 5 is in contact with the lower surface of the seats 13. The table 10, the seat 13, and the mover 5 are fixed by being screwed into the screw portion 10 </ b> C.
In the above-described configuration, by supplying air from an air supply source (not shown) to the air duct 14 provided inside the table 10, the space S formed between the table 10 and the movable element 5 with the spacer 13 interposed therebetween is cooled. In this configuration, air is discharged to cool the mover and the stator.
In such a linear slider, a drive current is supplied from a power supply (not shown) to the armature, the mover 5 generates a thrust, and as the table 10 moves on the guide rail 2A, heat generated by the armature is lost. The air is transmitted to the table 10 via the surface 13, but is discharged to the surrounding air from the surface of the table 10, and is discharged to the cooling air inside the air duct 14 from the inner surface of the air duct 14, thereby suppressing a rise in the temperature of the table. Furthermore, since the cooling air discharged from the air duct 10 to the space S also comes into contact with the upper part of the armature, heat is also taken from the upper part of the armature.
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2001-224159 A (Page 3, Page 4, Page 5, FIG. 1)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above prior art has the following problems.
(1) Since the first conventional example employs means for screwing and fixing the armature fixing plate 12 from the mover 5 and the table 10 from the side of the table 10 with bolts 11 and 16, the strength of the joint between the mover 5 and the table 10 is reduced. Although secured, the cooling means is not applied to the mover and the stator, so that it was not possible to efficiently remove the heat of the armature portion and suppress the temperature rise of the table 10.
[0006]
(2) In the second conventional example, the linear slider has a width smaller than the horizontal width of the mover 5 in order to secure a space S at a joint between the mover 5 and the table 10 on which thrust acts. In this case, the columnar spacer 13 must be provided, the strength at the time of coupling the table 10 and the mover 5 is insufficient, and the structure is easy to vibrate.
[0007]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and a linear slider that maintains the strength of a joint between a mover and a table, and efficiently removes heat from an armature to suppress a rise in the temperature of the table. The purpose is to provide.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, the linear slider according to claim 1 is a linear guide including a guide rail and a slider that movably guides and supports a table disposed in parallel to a fixed base and the table is mounted on the fixed base. A linear motor that reciprocates in a longitudinal direction on the guide rail, and the linear motor constitutes a linear motor field portion disposed on the fixed base and opposed to each other at an interval in the vertical direction. A linear slider comprising a stator and a mover constituting a linear motor armature portion disposed with an air gap between the stator and supplying a drive current to the linear motor to move the table; , The table is cut into a U-shaped cross section so that an air duct penetrating in the moving direction can be formed inside the table. Combining a plurality of plates and flat plates lacking in it is obtained by a multilayer structure formed by laminating.
A linear slider according to a second aspect is the linear slider according to the first aspect, wherein the plate is made of a material having a high thermal conductivity made of aluminum or copper.
A linear slider according to a third aspect is the linear slider according to the first or second aspect, wherein the plate is provided with a plurality of slits.
A linear slider according to a fourth aspect is the linear slider according to the first or second aspect, wherein a cooling fan is provided on an end surface of an air duct formed on the plate.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The components of the present invention that are the same as those in the prior art are denoted by the same reference numerals, description thereof is omitted, and only different points will be described.
[First embodiment]
FIG. 1 is a front view of a linear slider showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of a table in the first embodiment.
1 and 2, 15 and 18 are first plates, 16 is a second plate, 17 is a third plate, 20 is an armature fixing plate, and 20A and 20B are female screw portions formed on the armature fixing plate 20. , 21 are bolts and 22 to 24 are air ducts.
The differences between the present invention and the prior art are as follows.
That is, instead of the conventional table, the table of the present invention has a cutout in a U-shaped cross section as viewed from the moving direction so that air ducts 22 to 24 penetrating in the moving direction can be formed inside the table. The first and second plates 15 and 18 and the second and third flat plates 16 and 17 have a multi-layer structure formed by laminating a plurality of plates. The point is that it is made of a material having conductivity.
Note that, among the plates, the second plate 16 in the form of a flat plate is made of a plate material that is extremely thin as compared with the other plates. ,
Further, the shape of the plate constituting the table shown in FIG. 2 is an example, but the number and size are not limited, and are arbitrarily determined according to the heat generation amount of the armature and the shape and size such as the width and height of the table. You can do it.
Next, fixing of the plates 15 to 18, the armature fixing plate 20, and the mover will be described. First, for fixing the plates 15 to 18 and the armature fixing plate 20, the bolts 21 are passed through the through holes 15A, 16A, 17A, and 18A formed in the plates 15 to 18, and then the lower surface of the third plate 18 is fixed. The bolts 21 are screwed into the female screw portions 20 </ b> A while being in contact with the upper surface of the armature fixing plate 20 to fix the plates 15 to 18 and the armature fixing plate 20.
Further, with respect to the fixing of the mover 5 and the armature fixing plate 20, the mover 5 contacts the upper surface of the mover 5 with the lower surface of the armature fixing plate 20 and passes the bolt 11 through the through hole 8B. The mover 5 and the armature fixing plate 20 are fixed by screwing into the screw portion 20B.
[0010]
Next, the operation will be described.
When a drive current is supplied from a power source (not shown) to the armature portion which is the mover 5, heat is generated in the armature portion as the table moves on the guide rail 2A, and this heat passes through the armature fixing plate 20. Although the heat is transmitted to the table side, the heat is uniformly transmitted through the table since the first plate 15 and the second plate 16 and the third plate 17 which are the constituent materials of the table are made of metal. In this case, since the cooling air flows through the air ducts 22 to 24, heat transfer occurs between the cooling air and the contact surfaces of the first plate 15, 18, the second plate 16 and the third plate 17, and each plate is cooled. Is transferred to the cooling air.
[0011]
Therefore, the table of the linear slider according to the embodiment of the present invention has a U-shaped cross section viewed from the moving direction so that air ducts 22 to 24 penetrating in the moving direction can be formed inside the table. Each of the plates 15 to 18 has a high thermal conductivity made of aluminum or copper, and has a multilayer structure in which a plurality of combinations of one plate 15, 18 and a flat plate-shaped second plate 16, third plate 17 are laminated. , The heat generated in the armature portion can be efficiently diffused to the air ducts 22 to 24 formed in the table, and a rise in the temperature of the table can be suppressed.
Further, among the plates 15 to 18, the second plate 16 is made of a plate material which is extremely thin as compared with the other plates, so that the second plate 16 exhibits an effect as a fin for cooling air, and the temperature distribution of the table becomes uneven. This suppresses the resulting thermal deformation and realizes a high cooling capacity for the entire table.
Further, in the structure of the present linear slider, since the armature fixing plate 20 is screwed and fixed from the table side to the mover with the bolts 11 and 26, the armature fixing plate for connecting the mover and the table is fixed. There is no restriction on the width dimension, and the strength of the joint between the mover and the table can be increased to ensure vibration resistance.
[0012]
[Second embodiment]
A linear slider according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 3 is a perspective view of a second plate showing a second embodiment of the present invention. FIG. 3A shows a plate having a rectangular slit, and FIG. 3B shows a plate having a circular slit.
The second embodiment differs from the first embodiment in that the second plate 16 is provided with a rectangular slit 16B shown in FIG. 3A or a plurality of circular slits 16C shown in FIG. This is the point provided.
According to the present embodiment, by providing a plurality of slits 16B or 16C in the second plate 16, the flow of cooling air between the air ducts 22, 23 and the air ducts 23, 24 formed between the plates is increased, and the cooling is performed. Since the flow of the air is turbulent, the heat transfer coefficient is further increased, and the temperature rise of the table can be reduced and uniformized.
A cooling fan (not shown) may be provided on an end face of an air duct formed on each plate constituting the table. This eliminates the need for a cooling air supply source and a ventilation pipe to the air duct, and also enables stable supply of cooling air to the air duct according to the required cooling capacity.
[0013]
【The invention's effect】
As described above, according to the first embodiment of the present invention, the table of the linear slider has a U-shape viewed from the moving direction so that an air duct penetrating in the moving direction can be formed inside the table. A multilayer structure is formed by laminating a plurality of combinations of a first plate, a flat plate-shaped second plate, and a second plate, each of which is notched in cross section, and each plate is made of a material having a high thermal conductivity made of aluminum or copper. With this configuration, the heat generated in the armature portion can be efficiently diffused into the air duct formed in the table, and a rise in the temperature of the table can be suppressed.
Further, among the plates, the second plate is made of a very thin plate material as compared with the other plates, so that the second plate exerts an effect as a fin against the cooling air, and the thermal deformation caused by the uneven temperature distribution of the table. And a high cooling capacity as a whole table is realized.
In addition, in the structure of the linear slider, since the armature fixing plate is secured by screwing the armature and the table from the table side with bolts, the width of the armature fixing plate connecting the mover and the table is limited. And the strength of the joint between the mover and the table can be increased to ensure vibration resistance.
According to the second embodiment, by providing slits in the second plate, the flow of the cooling air between the air ducts formed between the plates is increased and the flow of the cooling air is turbulent. The transmissivity is further increased, and the temperature rise of the table can be reduced and uniformized.
[Brief description of the drawings]
1 is a front view of a linear slider showing a first embodiment of the present invention; FIG. 2 is an exploded perspective view of a table of the linear slider of the first embodiment; FIG. 3 is a second view showing a second embodiment of the present invention; FIG. 4 is a front view of a linear slider showing a first conventional example. FIG. 5 is a front view of a linear slider showing a second conventional example.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fixed base 2 Linear guide 2A Guide rail 2B Slider 3 Linear motor 4 Stator (Linear motor field part)
5 Mover (linear motor armature)
6 Field yoke 7 Permanent magnet 8 Core 8A Slot 8B Through hole 9 Armature coil 11 Bolt 15 First plate (table)
15A Through hole 16 Second plate (table)
16A Through hole 16B, 16C Slit 17 Third plate (table)
17A Through-hole 18 First plate (table)
18A Through-hole 20 Armature fixing plate 20A, 20B Female screw part 21 Bolt 22-24 Air duct
